JPH0760674A - Suction pad - Google Patents
Suction padInfo
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- JPH0760674A JPH0760674A JP21663193A JP21663193A JPH0760674A JP H0760674 A JPH0760674 A JP H0760674A JP 21663193 A JP21663193 A JP 21663193A JP 21663193 A JP21663193 A JP 21663193A JP H0760674 A JPH0760674 A JP H0760674A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ワークを吸着し、ある
いは吸着後にこのワークを保持して搬送するための吸着
用パッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a suction pad for sucking a work, or for holding and transporting the work after suction.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から、例えば、傾斜面を有するワー
クを吸着して搬送するために、図3に示すような形状か
らなる吸着用パッドが用いられている。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, a suction pad having a shape as shown in FIG. 3 has been used to suck and convey a work having an inclined surface.
【0003】この吸着用パッド2は、基本的には、図示
しない真空吸引源に連通する通路4が画成されたアダプ
タ6に装着される根本部8と、前記根本部8と一体的に
形成されたスカート部10とから構成される。前記アダ
プタ6は、根本部8内の孔部に配設されたドーナツ状の
固定板12を介して該根本部8にねじ止めして固定され
る。スカート部10は、前記根本部8の周端部から拡径
して延在する第1スカート体14と、前記第1スカート
体14の周端部から屈曲部16を介して内方に縮径する
第2スカート体18と、前記第2スカート体18の周端
部から屈曲部20を介して外方に拡径する第3スカート
体22とからなる。The suction pad 2 is basically formed integrally with the root portion 8 mounted on an adapter 6 having a passage 4 communicating with a vacuum suction source (not shown). The skirt portion 10 is formed. The adapter 6 is screwed and fixed to the root portion 8 via a doughnut-shaped fixing plate 12 arranged in a hole in the root portion 8. The skirt portion 10 has a first skirt body 14 extending from the peripheral end portion of the root portion 8 so as to extend in diameter, and a diameter reduced inward from the peripheral end portion of the first skirt body 14 via a bent portion 16. The second skirt body 18 includes a second skirt body 18 and a third skirt body 22 whose diameter is expanded outward from a peripheral end portion of the second skirt body 18 via a bent portion 20.
【0004】この吸着用パッド2は、通常、ロボットの
アームの先端部に装着され、前記アームを介してスカー
ト部10の終端部をワーク24に近接する位置に変位さ
せる(図4A参照)。続いて、ロボットのアームを矢印
X方向に変位させることにより、スカート部10の終端
部がワーク24の表面に接触し、スカート部10内の減
圧作用下にワーク24を吸着する。この場合、図4Bに
示すように、スカート部10の第2、第3スカート体1
8、22が屈曲部20から互いに近接するように撓み、
前記第2、第3スカート体18、22の外壁面同士が密
着した状態でワーク24が吸着される。なお、スカート
部10内の減圧程度によっては、第1、第2スカート体
14、18が屈曲部16から互いに近接するように撓ん
で前記第1、第2スカート体14、18の内壁面同士が
密着する場合がある。The suction pad 2 is usually attached to the tip of an arm of a robot, and the end of the skirt 10 is displaced to a position near the work 24 via the arm (see FIG. 4A). Then, by displacing the arm of the robot in the direction of the arrow X, the terminal end of the skirt portion 10 comes into contact with the surface of the work 24, and the work 24 is adsorbed under the reduced pressure in the skirt portion 10. In this case, as shown in FIG. 4B, the second and third skirt bodies 1 of the skirt portion 10 are
8 and 22 are bent from the bent portion 20 so as to be close to each other,
The work 24 is adsorbed with the outer wall surfaces of the second and third skirt bodies 18, 22 in close contact with each other. In addition, depending on the degree of pressure reduction in the skirt portion 10, the first and second skirt bodies 14 and 18 are bent from the bent portion 16 so as to be close to each other, and the inner wall surfaces of the first and second skirt bodies 14 and 18 are separated from each other. May come into close contact.
【0005】このようにして、スカート部10がワーク
24を吸着した状態を保持しながら、ロボットのアーム
を所定方向に変位させることにより所定の位置にワーク
24を搬送する。続いて、所定の位置に搬送されたワー
ク24から吸着用パッド2を離間させる。前記ワーク2
4からの吸着用パッド2の離間は、スカート部10内の
減圧作用を解除した後、アームを矢印Y方向に変位させ
ることにより行われる。In this way, the work 24 is conveyed to a predetermined position by displacing the arm of the robot in a predetermined direction while maintaining the state where the skirt portion 10 attracts the work 24. Then, the suction pad 2 is separated from the work 24 conveyed to a predetermined position. The work 2
The suction pad 2 is separated from the suction pad 4 by releasing the depressurizing action in the skirt portion 10 and then displacing the arm in the arrow Y direction.
【0006】この場合、図4Cに示すように、第2スカ
ート体18と第3スカート体22の外壁面同士が密着し
て保持されることから、場合によっては新たなワーク2
4を吸着して搬送することが困難となる。前記第2、第
3スカート体18、22の外壁面同士が密着する原因と
しては、スカート部10がゴム等の材料で成形されるた
め粘着性を有し、且つ前記第2、第3スカート体18、
22の接する面が平坦であることから密着しやすいとい
うことが想定される。In this case, as shown in FIG. 4C, the outer wall surfaces of the second skirt body 18 and the third skirt body 22 are held in close contact with each other.
It will be difficult to adsorb and transport 4 The reason why the outer wall surfaces of the second and third skirt bodies 18 and 22 are in close contact with each other is that the skirt portion 10 is formed of a material such as rubber and thus has adhesiveness, and the second and third skirt bodies are 18,
Since the contact surface of 22 is flat, it is assumed that it is easy to adhere.
【0007】このため、図5A、図5Bに示すように、
第2スカート体18の外周面に所定間隔離間して外方に
突出する複数のリブ26a〜26fを設けた吸着用パッ
ド28が案出される。なお、図5A、図5Bに示す吸着
用パッド28は、前記リブ26a〜26fを除いて図3
に示す吸着用パッド2と略同一に構成されるため、同一
の構成要素には同一の参照符号を付している。Therefore, as shown in FIGS. 5A and 5B,
A suction pad 28 is devised in which a plurality of ribs 26a to 26f are provided on the outer peripheral surface of the second skirt body 18 so as to be spaced apart by a predetermined distance and project outward. The suction pad 28 shown in FIGS. 5A and 5B is the same as that shown in FIG. 3 except for the ribs 26a to 26f.
Since the suction pad 2 has the same structure as that of the suction pad 2, the same constituent elements are designated by the same reference numerals.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに複数のリブ26a〜26fを設けた従来の吸着用パ
ッド28において、ワーク24の吸着搬送を繰り返すこ
とによって、ワーク24を吸着して保持する際に前記リ
ブ26a〜26fが第3スカート体22の外壁面に接触
する。このため、前記第3スカート体22の外壁面が、
前記リブ26a〜26fとの接触により摩耗してしまう
という不都合がある。このため、吸着用パッド28の耐
久性が劣化して効率的なワーク24の搬送ができないと
いう問題がある。However, in the conventional suction pad 28 having the plurality of ribs 26a to 26f as described above, when the work 24 is sucked and held by repeating the suction transfer of the work 24. The ribs 26a to 26f contact the outer wall surface of the third skirt body 22. Therefore, the outer wall surface of the third skirt body 22 is
There is an inconvenience that the ribs 26a to 26f are worn due to contact with the ribs 26a to 26f. Therefore, there is a problem that the durability of the suction pad 28 deteriorates and the work 24 cannot be efficiently transported.
【0009】本発明は、前記問題を解決するためになさ
れたものであって、スカート部を構成するスカート体同
士の密着並びに前記密着によって発生するスカート体の
摩耗を防止して耐久性に富む吸着用パッドを提供するこ
とを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above problems, and prevents the skirt bodies constituting the skirt portion from adhering to each other and abrasion of the skirt body caused by the adhering, so that the adsorption is highly durable. The purpose is to provide a pad for use.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めに、本発明は、ワークを吸着するための吸着用パッド
において、真空吸引源に接続される根本部と、前記根本
部と一体的に設けられるスカート部とからなり、前記ス
カート部は前記根本部の周端部から拡径して延在する第
1スカート体と、前記第1スカート体の周端部から内方
に縮径して屈曲する第2スカート体と、前記第2スカー
ト体の周端部から外方に拡径して屈曲する第3スカート
体とを有し、前記第1スカート体の内壁面、前記第2ス
カート体の内外壁両面並びに前記第3スカート体の外壁
面に複数の凹凸を設けることを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention relates to a suction pad for sucking a work, in which a root portion connected to a vacuum suction source and the root portion are integrated. A skirt portion provided on the first skirt body, and the skirt portion has a first skirt body that extends from the peripheral end portion of the root portion and has a diameter reduced inward from the peripheral end portion of the first skirt body. A second skirt body that bends and bends, and a third skirt body that expands outward from a peripheral end portion of the second skirt body and bends, and an inner wall surface of the first skirt body and the second skirt A plurality of irregularities are provided on both inner and outer wall surfaces of the body and the outer wall surface of the third skirt body.
【0011】[0011]
【作用】上記のように構成した本発明に係る吸着用パッ
ドでは、スカート部の第1〜第3スカート体が屈曲して
撓んだ状態でワークを吸着する。すなわち、第1スカー
ト体の内壁面と第2スカート体の内壁面とが当接し、さ
らに第2スカートの外壁面と第3スカート体の外壁面と
が当接した状態でワークを吸着する。In the suction pad according to the present invention configured as described above, the work is sucked in a state where the first to third skirt bodies of the skirt portion are bent and bent. That is, the work is adsorbed in a state where the inner wall surface of the first skirt body and the inner wall surface of the second skirt body are in contact with each other, and the outer wall surface of the second skirt and the outer wall surface of the third skirt body are in contact with each other.
【0012】前記ワークを吸着搬送して所定位置に載置
し、ワークからスカート部を離間させた場合、前記当接
するスカート部の第1スカート体の内壁面、第2スカー
ト体の内外壁両面並びに第3スカート体の外壁面に複数
の凹凸が形成されているため、前記当接する面同士が密
着することがない。従って、スカート部の弾性力によっ
てスカート部が元の状態の形状に容易に復帰し、次なる
搬送動作に待機することができる。When the work is sucked and conveyed, placed at a predetermined position, and the skirt is separated from the work, the inner wall surface of the first skirt body, the inner and outer wall surfaces of the second skirt body, and both surfaces of the second skirt body, which are in contact with each other, Since the plurality of irregularities are formed on the outer wall surface of the third skirt body, the abutting surfaces do not adhere to each other. Therefore, the elastic force of the skirt portion allows the skirt portion to easily return to its original shape and stand by for the next conveyance operation.
【0013】[0013]
【実施例】本発明に係る吸着用パッドについて実施例を
挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。Embodiments of the suction pad according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
【0014】図1並びに図2において、参照符号30
は、本実施例に係る吸着用パッドを示す。1 and 2, reference numeral 30
Shows a suction pad according to the present embodiment.
【0015】この吸着用パッド30は、図示しない真空
吸引源に連通する通路32が画成されたアダプタ34に
装着される根本部36と、前記根本部36と一体的に形
成されたスカート部38とから構成される。前記アダプ
タ34は、根本部36内に配設されたドーナツ状の固定
板40を挿通する複数のねじ部材42が該アダプタ34
に螺入することにより根本部36の上面部に固定され
る。前記根本部36の略中心部には、アダプタ34の通
路32に連通する孔部44が貫通して画成されている。The suction pad 30 has a root portion 36 attached to an adapter 34 having a passage 32 communicating with a vacuum suction source (not shown), and a skirt portion 38 formed integrally with the root portion 36. Composed of and. The adapter 34 has a plurality of screw members 42 that pass through a doughnut-shaped fixing plate 40 arranged in the root portion 36.
It is fixed to the upper surface of the root part 36 by being screwed into. A hole portion 44 communicating with the passage 32 of the adapter 34 is defined by penetrating the substantially central portion of the root portion 36.
【0016】スカート部38は、前記根本部36の周端
部から拡径して延在する第1スカート体46と、前記第
1スカート体46の周端部から屈曲部48を介して内方
に縮径する第2スカート体50と、前記第2スカート体
50の周端部から屈曲部52を介して外方に拡径する第
3スカート体54とからなる。なお、前記スカート部3
8は、根本部36側の第1スカート体46から第3スカ
ート体54の終端部に至るにしたがって、その肉厚は徐
々に肉薄になるように形成されている。The skirt portion 38 extends inward from the peripheral end portion of the root portion 36 and extends inward from the peripheral end portion of the first skirt body 46 via a bent portion 48. The second skirt body 50 is reduced in diameter, and the third skirt body 54 is expanded outward from the peripheral end portion of the second skirt body 50 through the bent portion 52. In addition, the skirt portion 3
8 is formed so that its thickness gradually decreases from the first skirt body 46 on the side of the root portion 36 to the end portion of the third skirt body 54.
【0017】前記第1スカート体46の内壁面、第2ス
カート体50の内外壁両面、並びに第3スカート体54
の外壁面には、夫々微細な複数の凹凸56が形成されて
いる。前記凹凸56は、例えば、吸着用パッド30を製
造するために溶融したゴム材料が注入される成形金型の
特定部位にシボ加工またはショットブラスト等の方法で
凹凸を設けることにより形成される。The inner wall surface of the first skirt body 46, both inner and outer wall surfaces of the second skirt body 50, and the third skirt body 54.
A plurality of fine irregularities 56 are formed on the outer wall surface of each. The unevenness 56 is formed, for example, by providing unevenness by a method such as graining or shot blasting at a specific portion of a molding die into which a melted rubber material is injected to manufacture the suction pad 30.
【0018】金型の特定部位、すなわち、吸着用パッド
30の第1スカート体46の内壁面、第2スカート体5
0の内外壁両面、並びに第3スカート体54の外壁面に
夫々対応する金型の所定部位に凹凸を設け、このような
金型内に溶融したゴム材料を流入して凝固させることに
より、完成品である吸着用パッド30の第1スカート体
46の内壁面、第2スカート体50の内外壁面、並びに
第3スカート体54の外壁面に複数の微細な凹凸56を
形成することができる。なお、前記シボ加工とは、金型
の特定部位に酸等の液体を付着してその付着面に凹凸を
形成することをいい、ショットブラストとは、圧縮空気
を利用して金型に砂等の粒子を吹きつけて、前記吹きつ
け面に凹凸を形成することをいう。A specific portion of the die, that is, the inner wall surface of the first skirt body 46 of the suction pad 30, the second skirt body 5
No. 0 inner and outer wall surfaces and the outer wall surface of the third skirt body 54 are provided with irregularities at corresponding predetermined portions of the mold, and the melted rubber material is flowed into such a mold to be solidified. It is possible to form a plurality of fine irregularities 56 on the inner wall surface of the first skirt body 46, the inner and outer wall surface of the second skirt body 50, and the outer wall surface of the third skirt body 54 of the suction pad 30, which is a product. Incidentally, the texturing means that a liquid such as an acid is attached to a specific portion of the mold to form irregularities on the attachment surface, and the shot blast is sand or the like on the mold using compressed air. Of particles to form irregularities on the surface to be sprayed.
【0019】本実施例に係る吸着用パッド30は基本的
には以上のように構成されるものであり、次に、その動
作について説明する。The suction pad 30 according to this embodiment is basically constructed as described above, and its operation will be described below.
【0020】例えば、チューブ等の管路を接続すること
によって図示しない真空吸引源にアダプタ34の通路3
2を連通させる。そこで、ロボットのアームの変位作用
下に該アームに保持されているアダプタ34をワークに
近接させ、スカート部38の終端の第3スカート体54
がワークの表面に接することにより屈曲部48、52を
介して第1〜第3スカート体46、50、54が撓んだ
状態でワークを吸着する。この場合、真空吸引源に連通
するアダプタ34の通路32並びに根本部36の孔部4
4を介してスカート部38内の空気を吸引することによ
り減圧作用を生起させ、この減圧作用によってワークを
吸着することができる。ワークの吸着時においては、第
1スカート体46の内壁面と第2スカート体50の内壁
面とが当接し、さらに第2スカート体50の外壁面と第
3スカート体54の外壁面とが当接した状態となる。For example, the passage 3 of the adapter 34 is connected to a vacuum suction source (not shown) by connecting a conduit such as a tube.
Connect two. Then, the adapter 34 held by the arm of the robot is brought close to the work under the displacement action of the arm, and the third skirt body 54 at the end of the skirt portion 38 is
Is in contact with the surface of the work, the work is adsorbed in a state in which the first to third skirt bodies 46, 50, 54 are bent via the bent portions 48, 52. In this case, the passage 32 of the adapter 34 communicating with the vacuum suction source and the hole 4 of the root portion 36
By sucking the air in the skirt portion 38 via 4, the pressure reducing action is generated, and the work can be adsorbed by this pressure reducing action. When the work is sucked, the inner wall surface of the first skirt body 46 and the inner wall surface of the second skirt body 50 contact each other, and the outer wall surface of the second skirt body 50 and the outer wall surface of the third skirt body 54 contact each other. It comes into contact with them.
【0021】このようにしてワークを吸着保持した後、
該ワークを搬送ライン等の所定位置に搬送し、前記スカ
ート部38内の減圧作用を解除するとともにロボットの
アームを変位させることにより、所定位置に載置された
ワークからスカート部38を離間させる。この場合、第
1スカート体46の内壁面と第2スカート体50の内壁
面、並びに第2スカート体50の外壁面と第3スカート
体54の外壁面には、夫々複数の微細な凹凸56が形成
されている。従って、ワークの吸着時において当接して
いた夫々の内壁面、外壁面同士は密着することなく、ス
カート部38における弾性力によって互いに離間して元
の状態の形状に復帰する。After adsorbing and holding the work in this way,
By transferring the work to a predetermined position such as a transfer line, releasing the depressurizing action in the skirt portion 38 and displacing the arm of the robot, the skirt portion 38 is separated from the work placed at the predetermined position. In this case, the inner wall surface of the first skirt body 46 and the inner wall surface of the second skirt body 50, and the outer wall surface of the second skirt body 50 and the outer wall surface of the third skirt body 54 are respectively provided with a plurality of fine irregularities 56. Has been formed. Therefore, the inner wall surface and the outer wall surface, which are in contact with each other when the work is attracted, are separated from each other by the elastic force of the skirt portion 38 and are restored to the original shape.
【0022】従って、従来のようにスカート部38が撓
んだ状態のまま密着することがなく、新たなワークを吸
着保持して所定の位置に搬送することができる。以上の
ような作業を連続的に繰り返すことにより、ワークの搬
送作業を効率的に行うことができる。Therefore, unlike the conventional case, the skirt portion 38 does not come into close contact in a bent state, and a new work can be sucked and held and conveyed to a predetermined position. By continuously repeating the above work, the work transfer work can be efficiently performed.
【0023】[0023]
【発明の効果】以上のように、本発明に係る吸着用パッ
ドは、次のような効果を有する。As described above, the suction pad according to the present invention has the following effects.
【0024】すなわち、ワークの吸着搬送後に該ワーク
からスカート部を離間させた場合、ワークの吸着時に密
着状態にあったスカート部が、その密着状態を解除して
スカート部を元の状態の形状に復帰させることができ
る。従って、継続的にワークの搬送を反復して繰り返す
ことが可能となり、効率的なワークの搬送作業を行うこ
とができる。That is, when the skirt is separated from the work after the work is sucked and conveyed, the skirt that was in the close contact state at the time of sucking the work is released from the close contact and the skirt is returned to the original shape. Can be restored. Therefore, it becomes possible to continuously repeat the work transfer, and the work can be efficiently transferred.
【0025】また、スカート部の摩耗を防止することが
でき、吸着用パッドの耐久性の向上を図ることが可能と
なる。Further, the wear of the skirt portion can be prevented, and the durability of the suction pad can be improved.
【図1】本発明の実施例に係る吸着用パッドを示す斜視
図である。FIG. 1 is a perspective view showing a suction pad according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1に示す吸着用パッドの中央部縦断面図であ
る。2 is a vertical cross-sectional view of a central portion of the suction pad shown in FIG.
【図3】従来例に係る吸着用パッドを示す縦断面図であ
る。FIG. 3 is a vertical cross-sectional view showing a suction pad according to a conventional example.
【図4】図4A〜図4Cは、図3に示す吸着用パッドの
動作を示す縦断面図である。4A to 4C are vertical sectional views showing the operation of the suction pad shown in FIG.
【図5】図5Aは、従来例に係る吸着用パッドを示す縦
断面図であり、図5Bは、図5AのB−B線に沿った横
断面図である。5A is a vertical cross-sectional view showing a suction pad according to a conventional example, and FIG. 5B is a horizontal cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 5A.
2、28、30…吸着用パッド 6、34…アダ
プタ 8、36…根本部 10、38…ス
カート部 14、46…第1スカート体 16、20、4
8、52…屈曲部 18、50…第2スカート体 22、54…第
3スカート体 40…固定板 44…孔部 56…凹凸2, 28, 30 ... Adsorption pad 6, 34 ... Adapter 8, 36 ... Root portion 10, 38 ... Skirt portion 14, 46 ... First skirt body 16, 20, 4
8, 52 ... Bent portion 18, 50 ... Second skirt body 22, 54 ... Third skirt body 40 ... Fixing plate 44 ... Hole portion 56 ... Concavity and convexity
Claims (2)
いて、 真空吸引源に接続される根本部と、前記根本部と一体的
に設けられるスカート部とからなり、 前記スカート部は前記根本部の周端部から拡径して延在
する第1スカート体と、前記第1スカート体の周端部か
ら内方に縮径して屈曲する第2スカート体と、前記第2
スカート体の周端部から外方に拡径して屈曲する第3ス
カート体とを有し、 前記第1スカート体の内壁面、前記第2スカート体の内
外壁両面並びに前記第3スカート体の外壁面に複数の凹
凸を設けることを特徴とする吸着用パッド。1. A suction pad for sucking a work, comprising: a root portion connected to a vacuum suction source; and a skirt portion integrally provided with the root portion, wherein the skirt portion is formed of the root portion. A first skirt body that extends from the peripheral end portion while expanding its diameter; a second skirt body that contracts and bends inward from the peripheral end portion of the first skirt body;
A third skirt body that expands and bends outward from a peripheral end portion of the skirt body, and includes an inner wall surface of the first skirt body, both inner and outer wall surfaces of the second skirt body, and the third skirt body. A suction pad having a plurality of irregularities on the outer wall surface.
記複数の凹凸はシボ模様であることを特徴とする吸着用
パッド。2. The suction pad according to claim 1, wherein the plurality of irregularities have a grain pattern.
Priority Applications (7)
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---|---|---|---|
JP21663193A JPH0760674A (en) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Suction pad |
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GB9417438A GB2281281B (en) | 1993-08-31 | 1994-08-30 | Suction pad, rotation-stop and guide mechanism for the same |
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US08/701,740 US5707093A (en) | 1993-08-31 | 1996-08-22 | Suction pad, rotation--stop and guide mechanism for the same |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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JPH0760674A true JPH0760674A (en) | 1995-03-07 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21663193A Pending JPH0760674A (en) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Suction pad |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0760674A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100900555B1 (en) * | 2007-09-28 | 2009-06-02 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | Absorber unit |
JP2010201536A (en) * | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Mitsubishi Materials Techno Corp | Vacuum suction pad |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP21663193A patent/JPH0760674A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100900555B1 (en) * | 2007-09-28 | 2009-06-02 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | Absorber unit |
JP2010201536A (en) * | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Mitsubishi Materials Techno Corp | Vacuum suction pad |
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