JPH0752395A - Manufacture for inkjet recording head - Google Patents
Manufacture for inkjet recording headInfo
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- JPH0752395A JPH0752395A JP5206394A JP20639493A JPH0752395A JP H0752395 A JPH0752395 A JP H0752395A JP 5206394 A JP5206394 A JP 5206394A JP 20639493 A JP20639493 A JP 20639493A JP H0752395 A JPH0752395 A JP H0752395A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置に用いるインクジェット記録ヘッドの撥水処理に関わ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a water repellent treatment of an ink jet recording head used in an ink jet recording apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】インクジェット記録ヘッドにはガラス、
金属、樹脂等の材質が用いられている。しかしインクジ
ェット記録ヘッドにおいて、ノズル表面の撥水性が不十
分だとインクの液滴が付着するため、吐出するインク滴
の直進性が損なわれ、印字乱れ等のトラブルによって記
録不能となることがあった。2. Description of the Related Art Inkjet recording heads are made of glass,
Materials such as metal and resin are used. However, in the ink jet recording head, when the water repellency of the nozzle surface is insufficient, ink droplets adhere, so that the straightness of the ejected ink droplets is impaired, and recording may become impossible due to troubles such as print disturbance. .
【０００３】そこでインクが吐出するノズルプレート表
面を、インクの付着をなくすために撥水処理することが
示され、静電粉体塗装（特開昭５７−１５７７６５）、
共析メッキ、プラズマ重合（特開昭６０−１８３１６
１）等によりノズル表面に含フッ素樹脂粒子を付着させ
て撥水化するという方法が提供されている。また、含フ
ッ素シリコンカップリング処理する方法（特開昭５６−
８９５６９）や、溶媒可溶性含フッ素樹脂を塗布して薄
膜を形成する方法（特開平３−１３２７３）も提供され
ている。Therefore, it has been shown that the surface of the nozzle plate from which ink is ejected is subjected to a water repellent treatment in order to eliminate the adhesion of ink, and electrostatic powder coating (JP-A-57-157765),
Eutectoid plating, plasma polymerization (JP-A-60-18316)
There is provided a method in which the fluorine-containing resin particles are attached to the nozzle surface by the method 1) or the like to make the surface water-repellent. Also, a method of fluorine-containing silicon coupling treatment (Japanese Patent Laid-Open No. 56-
89569) and a method of forming a thin film by coating a solvent-soluble fluorine-containing resin (JP-A-3-13273).
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
湿式法による撥水処理では、撥水層がノズル穴をふさい
だり狭めたりする問題があった。吐出するインク滴の直
進性を考慮すると、ノズルプレート表面のみに撥水処理
が施され、ノズル穴内部には処理がされないことが望ま
しい。表面のみに撥水処理を施すためには、マスク形成
等の工程が必要となり、工程数が増える上、工程管理が
複雑である。一方乾式法により、ノズル表面に含フッ素
樹脂粒子を付着させて撥水化するという方法は撥水層の
密着性が弱く、また均質性も得られにくいという課題が
あった。However, in the conventional water repellent treatment by the wet method, there is a problem that the water repellent layer blocks or narrows the nozzle hole. Considering the straightness of the ejected ink droplets, it is desirable that only the surface of the nozzle plate be subjected to the water repellent treatment and not the inside of the nozzle holes. In order to apply the water-repellent treatment only to the surface, a process such as mask formation is required, the number of processes is increased, and process management is complicated. On the other hand, the dry method in which the fluorine-containing resin particles are adhered to the nozzle surface to render it water-repellent has problems that the water-repellent layer has poor adhesion and that it is difficult to obtain homogeneity.
【０００５】本発明は前記課題を解決するためのもので
あり、インクジェット記録ヘッドのノズルプレート表面
のみに優れた特性の撥水処理を簡単な工程で行い、しか
もその効果の持続性に優れ、長期間にわたって印字品質
の高いインクジェット記録ヘッドの製造方法の提供を目
的としている。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a water-repellent treatment having excellent characteristics is performed only on the surface of a nozzle plate of an ink jet recording head in a simple process, and the effect is long-lasting. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing an inkjet recording head having high print quality over a period of time.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的は、インクが吐
出するノズルプレート表面に撥水層が形成されているイ
ンクジェット記録ヘッドの製造において、重合性のモノ
マーまたはオリゴマーをセラミックスに含浸させ、真空
槽内で加熱し、該化合物を蒸発させてノズルプレート表
面に反応あるいは吸着させた後、電子線を照射して重合
および架橋させ、撥水層とすることにより達成される。In order to solve the above problems, in manufacturing an ink jet recording head in which a water repellent layer is formed on the surface of a nozzle plate from which ink is ejected, ceramics are impregnated with a polymerizable monomer or oligomer, and a vacuum chamber is used. It is achieved by heating in a room to evaporate the compound to cause reaction or adsorption on the surface of the nozzle plate, and then irradiate an electron beam to polymerize and crosslink to form a water repellent layer.
【０００７】[0007]
【作用】本発明のノズルプレート表面の撥水処理方法
は、基本的に真空蒸着法によるため、大面積に均一な膜
質及び膜厚の膜を形成するのに有効な方法である。さら
に、セラミックスに含浸させる化合物の量を一定にして
おけば、常に一定の膜厚を得ることができる。また、蒸
着源から蒸発する分子の直進性が高いため、ノズルプレ
ート表面を蒸着源に対向させることで、マスクを設ける
ことなくノズルプレート表面のみに、撥水膜を容易に形
成することが可能である。ノズルの孔径は数十ミクロン
であり、蒸着する化合物は重合していないため、ノズル
穴を膜で塞ぐことはない。The water repellent treatment method for the surface of the nozzle plate of the present invention is basically a vacuum deposition method, and is therefore an effective method for forming a film having a uniform film quality and film thickness on a large area. Furthermore, if the amount of the compound with which the ceramic is impregnated is kept constant, a constant film thickness can be obtained. In addition, since the molecules that evaporate from the vapor deposition source have high straightness, it is possible to easily form a water-repellent film only on the nozzle plate surface without providing a mask by facing the nozzle plate surface to the vapor deposition source. is there. Since the hole diameter of the nozzle is several tens of microns and the compound to be vapor-deposited is not polymerized, the nozzle hole is not blocked with the film.
【０００８】均質な膜を得るには、蒸着物は単一成分が
好ましい。そのため、モノマーあるいはオリゴマーの他
に、蒸気圧の異なる重合開始剤等を添加することはでき
ない。重合性物質のみを蒸発させて、ノズルプレート表
面に反応あるいは吸着させた後、電子線を照射すれば重
合が進み高分子層が形成できる。電子線照射により、三
次元的に架橋したポリマーが形成するため、０．１μｍ
程度の膜厚でも膜強度の強い撥水層が得られる。撥水性
に優れた高分子としては、フッ素樹脂とシリコーン樹脂
が挙げられる。To obtain a homogeneous film, the deposit is preferably a single component. Therefore, it is not possible to add a polymerization initiator having a different vapor pressure in addition to the monomer or oligomer. By evaporating only the polymerizable substance to cause reaction or adsorption on the surface of the nozzle plate and then irradiating with an electron beam, polymerization proceeds to form a polymer layer. 0.1 μm because a three-dimensionally crosslinked polymer is formed by electron beam irradiation.
A water-repellent layer having a strong film strength can be obtained even if the film thickness is about the same. Examples of the polymer having excellent water repellency include fluororesin and silicone resin.
【０００９】フルオロアルキル基を有するモノマーやオ
リゴマーは、重合したポリマーが電子線照射により崩壊
せず、架橋するものでなくてはならない。アクリル酸エ
ステルのエステル残基にフルオロアルキル基が置換され
ていたり、ビニル基にフルオロアルキル基の誘導体が導
入されているものが、その対象となる。また、ジアルキ
ルシロキサンまたはそのフルオロアルキル基の誘導体も
その対象となる。The monomer or oligomer having a fluoroalkyl group must be a polymer which does not disintegrate upon irradiation with an electron beam and crosslinks. Those in which a fluoroalkyl group is substituted in the ester residue of an acrylate ester or a fluoroalkyl group derivative is introduced into a vinyl group are targeted. Further, a dialkyl siloxane or a derivative of a fluoroalkyl group thereof is also applicable.
【００１０】[0010]
（実施例１）図１はインクジェット記録ヘッドの一例を
模式的に示した断面図である。１は圧力室であり、ＰＺ
Ｔ素子または発熱体等によってインク吐出のための圧力
を得る部分である。３はインク吐出ノズルである。４は
第一基板でありインク流路用のパターン溝が形成されて
いる。５は第二基板であり、両者の張り合わせによって
インク流路は形成される。２がノズルプレートである。
ノズルプレートには孔径数十μｍのノズルが、多数配置
されている。ノズルプレート表面の撥水処理方法を以下
に述べる。(Embodiment 1) FIG. 1 is a sectional view schematically showing an example of an ink jet recording head. 1 is a pressure chamber, PZ
This is a portion for obtaining a pressure for ejecting ink by the T element or the heating element. Reference numeral 3 is an ink ejection nozzle. Reference numeral 4 is a first substrate on which a pattern groove for an ink flow path is formed. Reference numeral 5 is a second substrate, and an ink flow path is formed by bonding the two. 2 is a nozzle plate.
A large number of nozzles having a hole diameter of several tens of μm are arranged on the nozzle plate. The water repellent treatment method on the surface of the nozzle plate will be described below.
【００１１】多孔質アルミナのタブレットに、パーフル
オロオクチルアクリラートのオリゴマーを含浸させた。
このタブレットを予め抵抗加熱できる様に真空槽内にセ
ットしておき、被処理基板であるステンレス製のノズル
プレートをインクが吐出する面を蒸着源に向け、同真空
槽内にセットした。１０-5Ｔｏｒｒ以下まで排気し、酸
素プラズマに曝した後、予めセットされたセラミックス
製タブレットを電気抵抗で加熱し、パーフルオロオクチ
ルアクリラートのオリゴマーを３０秒間蒸発させノズル
プレート表面に反応あるいは吸着させた。形成された蒸
着層の厚さは約１０００Åであり、ノズル孔内には蒸着
物の存在は認められなかった。Porous alumina tablets were impregnated with perfluorooctyl acrylate oligomers.
This tablet was set in advance in a vacuum tank so that it could be resistance-heated, and a stainless nozzle plate which was the substrate to be processed was set in the same vacuum tank with the surface from which the ink was ejected facing the vapor deposition source. After exhausting to 10 -5 Torr or less and exposing to oxygen plasma, a preset ceramic tablet is heated by electric resistance to evaporate perfluorooctyl acrylate oligomer for 30 seconds to cause reaction or adsorption on the nozzle plate surface. It was The thickness of the formed vapor deposition layer was about 1000Å, and no vapor deposit was found in the nozzle holes.
【００１２】窒素雰囲気中、ノズルプレート表面に電子
線を１５０キロボルトの加速電圧で照射し、蒸着層を安
定なフッ素樹脂とした。赤外吸収スペクトル分析で、残
存二重結合は極微量であり、重合開始剤がなくとも、重
合が進んでいることが確認できた。また適度な硬度を有
し、フッ素系の溶媒にも溶解せず、三次元架橋が進んで
いることが示唆された。図２にノズルプレートの、ノズ
ル付近の拡大図を示した。ノズルの孔径は数十μｍであ
り、ノズルプレート表面のみに撥水層２１が形成されて
いる。水の接触角は１００度以上あり、非常に優れた撥
水性を示した。In a nitrogen atmosphere, the surface of the nozzle plate was irradiated with an electron beam at an accelerating voltage of 150 kilovolts to make the vapor deposition layer a stable fluororesin. Infrared absorption spectrum analysis confirmed that the amount of residual double bonds was extremely small and that the polymerization was proceeding even without a polymerization initiator. It was also suggested that it has moderate hardness, does not dissolve in a fluorine-based solvent, and progresses three-dimensional crosslinking. FIG. 2 shows an enlarged view of the nozzle plate and its vicinity. The hole diameter of the nozzle is several tens of μm, and the water-repellent layer 21 is formed only on the surface of the nozzle plate. The contact angle of water was 100 degrees or more, and it showed very excellent water repellency.
【００１３】得られたノスルプレートを浸透性の高い染
料インクに浸漬し、７０℃で５日間保持した後もインク
との接触角は８０度以上あり、十分な撥水効果が得られ
ていることがわかった。このように作製したノズルプレ
ートを用いて製造したインクジェット記録ヘッドを、記
録装置に装着して印字試験を行なったところ、印字乱れ
等のトラブルは発生せず、高精細でコントラストの高い
印字が可能となった。インクを注入しながらシリコンゴ
ムによる擦り試験をしたところ、１００００回擦った後
にもインクとの接触角は８０度以上あり、撥水効果がほ
とんど劣化せず長期間にわたって印字品質の高いインク
ジェット記録ヘッドを達成できた。The obtained Nosul plate was immersed in a highly penetrative dye ink and kept at 70 ° C. for 5 days, the contact angle with the ink was 80 ° or more, and a sufficient water repellent effect was obtained. I understood it. When an ink jet recording head manufactured using the nozzle plate manufactured in this way was mounted on a recording device and a printing test was performed, troubles such as print disturbance did not occur, and high-definition and high-contrast printing was possible. became. A rubbing test with silicone rubber was performed while injecting ink, and the contact angle with the ink was 80 degrees or more even after rubbing 10,000 times. I was able to achieve it.
【００１４】（実施例２）多孔質窒化ケイ素のタブレッ
トに、シス−（１，３，５，７−テトラヒドロキシ）−
１，３，５，７−テトラフェニルシクロテトラシロキサ
ンを含浸させた。このタブレットを予めランプ加熱でき
る様に真空槽内にセットしておき、被処理基板であるニ
ッケル製のノズルプレートをインクが吐出する面を蒸着
源に向け、同真空槽内にセットした。０．１Ｔｏｒｒ以
下まで排気し、予めセットされたセラミックス製タブレ
ットをランプの輻射熱で加熱し、シス−（１，３，５，
７−テトラヒドロキシ）−１，３，５，７−テトラフェ
ニルシクロテトラシロキサンを３０秒間蒸発させノズル
プレート表面に反応あるいは吸着させた。形成された蒸
着層の厚さは約５００Åであり、ノズル孔内には蒸着物
の存在は認められなかった。(Example 2) Porous silicon nitride tablets were coated with cis- (1,3,5,7-tetrahydroxy)-
It was impregnated with 1,3,5,7-tetraphenylcyclotetrasiloxane. This tablet was set in advance in a vacuum chamber so that the lamp could be heated, and the nozzle plate made of nickel, which was the substrate to be processed, was set in the same vacuum chamber with the surface from which the ink was ejected facing the vapor deposition source. Exhaust to 0.1 Torr or less, and heat a preset ceramic tablet with radiant heat of a lamp to produce cis- (1, 3, 5,
7-Tetrahydroxy) -1,3,5,7-tetraphenylcyclotetrasiloxane was evaporated for 30 seconds and reacted or adsorbed on the nozzle plate surface. The thickness of the formed vapor deposition layer was about 500Å, and no vapor deposit was found in the nozzle holes.
【００１５】２５０℃で２時間加熱した後、窒素雰囲気
中、ノズルプレート表面に電子線を１００キロボルトの
加速電圧で照射し、蒸着層を安定なシリコーン素樹脂と
した。水の接触角は９０度以上あり、非常に優れた撥水
性を示した。After heating at 250 ° C. for 2 hours, the surface of the nozzle plate was irradiated with an electron beam at an accelerating voltage of 100 kilovolts in a nitrogen atmosphere to make the vapor deposition layer a stable silicone base resin. The contact angle of water was 90 degrees or more, and it showed very excellent water repellency.
【００１６】得られたノスルプレートを界面活性剤及び
安定化剤を含んだ顔料インクに浸漬し、７０℃で５日間
保持した後もインクとの接触角は８０度以上あり、十分
な撥水効果が得られていることがわかった。このように
作製したノズルプレートを用いて製造したインクジェッ
ト記録ヘッドを、記録装置に装着して印字試験を行なっ
たところ、印字乱れ等のトラブルは発生せず、高精細で
コントラストの高い印字が可能となった。インクを注入
しながらネオプレンゴムによる擦り試験をしたところ、
１００００回擦った後にもインクとの接触角は８０度以
上あり、撥水効果がほとんど劣化せず長期間にわたって
印字品質の高いインクジェット記録ヘッドを達成でき
た。The resulting nosul plate was immersed in a pigment ink containing a surfactant and a stabilizer and kept at 70 ° C. for 5 days, the contact angle with the ink was 80 degrees or more, and sufficient water repellency was obtained. It turned out that the effect was obtained. When an ink jet recording head manufactured using the nozzle plate manufactured in this way was mounted on a recording device and a printing test was performed, troubles such as print disturbance did not occur, and high-definition and high-contrast printing was possible. became. When rubbing test with neoprene rubber while injecting ink,
Even after rubbing 10,000 times, the contact angle with ink was 80 degrees or more, and the water repellent effect was hardly deteriorated, and an ink jet recording head with high printing quality could be achieved for a long period of time.
【００１７】（実施例３）ＳｉＯ2 ７０wt％、Ａｌ2Ｏ3
３０wt％を混合し、焼結し、多孔質のタブレットを形成
した。このタブレットに、ジトリフルオロメチルシロキ
サンのオリゴマーの末端にアミノ基が置換し、ジシラザ
ンとなっている化合物を含浸させた。このタブレットを
予め抵抗加熱できる様に真空槽内にセットしておき、被
処理基板であるステンレス製のノズルプレートをインク
が吐出する面を蒸着源に向け、同真空槽内にセットし
た。１０-4Ｔｏｒｒ以下まで排気し、予めセットされた
セラミックス製タブレットをランプの輻射熱で加熱し、
含浸させた化合物を１分間蒸発させノズルプレート表面
に反応あるいは吸着させた。形成された蒸着層の厚さは
約１５００Åであり、ノズル孔内には蒸着物の存在は認
められなかった。(Example 3) SiO 2 70 wt%, Al 2 O 3
30 wt% was mixed and sintered to form a porous tablet. This tablet was impregnated with a compound in which the terminal of the ditrifluoromethylsiloxane oligomer was substituted with an amino group and became disilazane. This tablet was set in advance in a vacuum tank so that it could be resistance-heated, and a stainless nozzle plate which was the substrate to be processed was set in the same vacuum tank with the surface from which the ink was ejected facing the vapor deposition source. Evacuate to below 10 -4 Torr and heat the preset ceramic tablet with the radiant heat of the lamp,
The impregnated compound was evaporated for 1 minute and reacted or adsorbed on the surface of the nozzle plate. The thickness of the formed vapor deposition layer was about 1500Å, and no vapor deposit was found in the nozzle holes.
【００１８】窒素雰囲気中、ノズルプレート表面に電子
線を１００キロボルトの加速電圧で照射し、蒸着層を安
定なフッ化シリコーン樹脂とした。水の接触角は１００
度以上あり、非常に優れた撥水性を示した。In a nitrogen atmosphere, the surface of the nozzle plate was irradiated with an electron beam at an accelerating voltage of 100 kilovolts to form a stable fluorinated silicone resin as the vapor deposition layer. Water contact angle is 100
The water repellency was extremely high and the water repellency was extremely excellent.
【００１９】得られたノスルプレートをカラー染料を含
んだインクに浸漬し、７０℃で５日間保持した後もイン
クとの接触角は７０度以上あり、十分な撥水効果が得ら
れていることがわかった。このように作製したノズルプ
レートを用いて製造したインクジェット記録ヘッドを、
記録装置に装着して印字試験を行なったところ、印字乱
れ等のトラブルは発生せず、高精細でコントラストの高
い印字が可能となった。インクを注入しながらネオプレ
ンゴムによる擦り試験をしたところ、１００００回擦っ
た後にもインクとの接触角は７０度以上あり、撥水効果
がほとんど劣化せず長期間にわたって印字品質の高いイ
ンクジェット記録ヘッドを達成できた。The obtained nosul plate was immersed in the ink containing the color dye and kept at 70 ° C. for 5 days, the contact angle with the ink was 70 ° or more, and a sufficient water repellency effect was obtained. I understood it. Inkjet recording head manufactured using the nozzle plate manufactured in this way,
When a printing test was carried out by mounting it on a recording device, troubles such as print disturbance did not occur, and high-definition and high-contrast printing was possible. A rubbing test with neoprene rubber was performed while injecting ink, and the contact angle with the ink was 70 degrees or more even after rubbing 10,000 times. I was able to achieve it.
【００２０】（実施例４）多孔質アルミナのタブレット
に、Ｎ，Ｎ−ジパーフルオロプロピルビニルアミンのオ
リゴマーの末端にメトキシシランが置換している化合物
を含浸させた。このタブレットを予めランプ加熱できる
様に真空槽内にセットしておき、被処理基板であるポリ
エーテルサルフォン製のノズルプレートをインクが吐出
する面を蒸着源に向け、同真空槽内にセットした。１０
-5Ｔｏｒｒ以下まで排気し、予めセットされたセラミッ
クス製タブレットをランプの輻射熱で加熱し、含浸させ
た化合物を３０秒間蒸発させノズルプレート表面に反応
あるいは吸着させた。形成された蒸着層の厚さは約２０
００Åであり、ノズル孔内には蒸着物の存在は認められ
なかった。Example 4 A tablet of porous alumina was impregnated with a compound having N, N-diperfluoropropylvinylamine oligomer having a terminal substituted with methoxysilane. This tablet was set in advance in a vacuum tank so that it could be heated by a lamp, and the nozzle plate made of polyethersulfone, which is the substrate to be processed, was set in the same vacuum tank with the surface from which the ink was ejected facing the vapor deposition source. . 10
The gas was exhausted to -5 Torr or less, and the preset ceramic tablet was heated by the radiant heat of the lamp to evaporate the impregnated compound for 30 seconds to cause reaction or adsorption on the nozzle plate surface. The thickness of the deposited layer is about 20.
It was 00Å, and the presence of the deposit was not recognized in the nozzle hole.
【００２１】窒素雰囲気中、ノズルプレート表面に電子
線を２００キロボルトの加速電圧で照射し、蒸着層を安
定なフッ素樹脂とした。水の接触角は１００度以上あ
り、非常に優れた撥水性を示した。In a nitrogen atmosphere, the surface of the nozzle plate was irradiated with an electron beam at an accelerating voltage of 200 kilovolts to make the vapor-deposited layer a stable fluororesin. The contact angle of water was 100 degrees or more, and it showed very excellent water repellency.
【００２２】得られたノスルプレートを浸透性の高い染
料インクに浸漬し、７０℃で５日間保持した後もインク
との接触角は８０度以上あり、十分な撥水効果が得られ
ていることがわかった。このように作製したノズルプレ
ートを用いて製造したインクジェット記録ヘッドを、記
録装置に装着して印字試験を行なったところ、印字乱れ
等のトラブルは発生せず、高精細でコントラストの高い
印字が可能となった。インクを注入しながらシリコンゴ
ムによる擦り試験をしたところ、１００００回擦った後
にもインクとの接触角は８０度以上あり、撥水効果がほ
とんど劣化せず長期間にわたって印字品質の高いインク
ジェット記録ヘッドを達成できた。The obtained Nosul plate was immersed in a highly penetrative dye ink and kept at 70 ° C. for 5 days, the contact angle with the ink was 80 ° or more, and a sufficient water repellency effect was obtained. I understood it. When an ink jet recording head manufactured using the nozzle plate manufactured in this way was mounted on a recording device and a printing test was performed, troubles such as print disturbance did not occur, and high-definition and high-contrast printing was possible. became. A rubbing test with silicone rubber was performed while injecting ink, and the contact angle with the ink was 80 degrees or more even after rubbing 10,000 times. I was able to achieve it.
【００２３】（比較例１）実施例１と同様の蒸着法でノ
ズルプレート表面に、パーフルオロオクチルアクリレー
トのオリゴマーを約１０００Åの厚みで吸着させた。電
子線を照射することなく、インクを注入しながらシリコ
ンゴムによる擦り試験をしたところ、初期的には７０度
以上あったインクとの接触角は、５００回擦った後は４
０度以下に低下した。オイル状の撥水層がワイピングに
より、そのほとんどが除去されたことを示唆した。(Comparative Example 1) An oligomer of perfluorooctyl acrylate was adsorbed on the surface of a nozzle plate in a thickness of about 1000 Å by the same vapor deposition method as in Example 1. A rubbing test with silicon rubber was performed while injecting the ink without irradiating with an electron beam. The contact angle with the ink, which was initially 70 degrees or more, was 4 after rubbing 500 times.
It fell below 0 degrees. It was suggested that most of the oily water-repellent layer was removed by wiping.
【００２４】（比較例２）実施例１と同様の材料である
パーフルオロオクチルアクリレートのオリゴマーを、ト
リフルオロメチルベンゼンに溶解させ、ディップ法でノ
ズルプレート全面に、約１０００Åの厚みで塗布した。
乾燥して溶媒を除去した後、ノズルプレート表面に電子
線を照射し、撥水層とした。このように作製したノズル
プレートを用いて製造したインクジェット記録ヘッド
を、記録装置に装着して印字試験を行なったところ、吐
出するインク滴の直進性が各ノズルで安定せず、高精細
の印字は不可能であった。(Comparative Example 2) An oligomer of perfluorooctyl acrylate, which is the same material as in Example 1, was dissolved in trifluoromethylbenzene and applied to the entire surface of the nozzle plate by the dip method to a thickness of about 1000Å.
After drying to remove the solvent, the surface of the nozzle plate was irradiated with an electron beam to form a water repellent layer. When an ink jet recording head manufactured using the nozzle plate manufactured in this way was mounted on a recording device and a printing test was performed, the straightness of the ejected ink droplets was not stable at each nozzle, and high-definition printing was not possible. It was impossible.
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、イン
クジェット記録ヘッドにおいてノズルプレート表面のみ
に優れた特性の撥水処理を施し、高い印字品質のインク
ジェット記録ヘッドを提供できた。また本発明による表
面処理は、その持続性に非常に優れているために、記録
ヘッドの長寿命化が可能となる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide an ink jet recording head having high printing quality by subjecting only the surface of the nozzle plate to the water repellent treatment having excellent characteristics in the ink jet recording head. Further, since the surface treatment according to the present invention is extremely excellent in its durability, the life of the recording head can be extended.
【００２６】さらに本発明のインクジェット記録ヘッド
の製造方法は、極めて簡単な工程で撥水化処理ができる
ため、不良が発生しにくく、コストも大幅に下げられる
ものであり、その効果は大きい。Further, the method of manufacturing the ink jet recording head of the present invention can perform the water repellent treatment in an extremely simple process, so that it is less likely to cause defects and the cost can be greatly reduced, and the effect thereof is great.
【図１】 実施例１におけるインクジェット記録ヘッド
の概略を、模式的に示した断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an inkjet recording head according to a first exemplary embodiment.
【図２】 実施例１におけるノズルプレート表面の撥水
処理を、模式的に示した断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the water repellent treatment on the surface of the nozzle plate in the first embodiment.
１ 圧力室 ２ ノズルプレート ３ インク吐出ノズル ４ 第一基板 ５ 第二基板 ２１ 撥水層 1 Pressure Chamber 2 Nozzle Plate 3 Ink Discharge Nozzle 4 First Substrate 5 Second Substrate 21 Water Repellent Layer
Claims (3)
撥水層が形成されているインクジェット記録ヘッドの製
造において、重合性のモノマーまたはオリゴマーをセラ
ミックスに含浸させ、真空槽内で加熱し、該化合物を蒸
発させてノズルプレート表面に反応あるいは吸着させた
後、電子線を照射して重合および架橋させ、撥水層とす
ることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方
法。1. In the production of an ink jet recording head having a water repellent layer formed on the surface of a nozzle plate for ejecting ink, ceramics is impregnated with a polymerizable monomer or oligomer, and the compound is heated in a vacuum chamber. A method for manufacturing an ink jet recording head, which comprises evaporating and reacting or adsorbing on a nozzle plate surface, and then irradiating with an electron beam to polymerize and crosslink to form a water repellent layer.
合物が、フルオロアルキル基を有するモノマーまたはオ
リゴマーであり、必要に応じ反応性置換基を導入した誘
導体であることを特徴とする請求項１記載のインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法。2. The inkjet according to claim 1, wherein the compound to be vacuum-deposited on the surface of the nozzle plate is a monomer or oligomer having a fluoroalkyl group, and a derivative into which a reactive substituent is introduced if necessary. Recording head manufacturing method.
合物が、シロキサン系のモノマーまたはオリゴマーであ
り、必要に応じ反応性置換基を導入した誘導体であるこ
とを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the compound to be vacuum-deposited on the surface of the nozzle plate is a siloxane-based monomer or oligomer, and a derivative into which a reactive substituent is optionally introduced. Manufacturing method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5206394A JPH0752395A (en) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | Manufacture for inkjet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5206394A JPH0752395A (en) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | Manufacture for inkjet recording head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0752395A true JPH0752395A (en) | 1995-02-28 |
Family
ID=16522630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5206394A Pending JPH0752395A (en) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | Manufacture for inkjet recording head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0752395A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006093293A1 (en) * | 2005-03-04 | 2006-09-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ceramic multilayer board and method for manufacturing same |
| JP2018199318A (en) * | 2017-05-26 | 2018-12-20 | セイコーエプソン株式会社 | Nozzle plate, liquid injection head, liquid injection device, and manufacturing method for nozzle plate |
| US10399340B2 (en) | 2017-05-26 | 2019-09-03 | Seiko Epson Corporation | Nozzle plate, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and method of manufacturing nozzle plate |
-
1993
- 1993-08-20 JP JP5206394A patent/JPH0752395A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006093293A1 (en) * | 2005-03-04 | 2006-09-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ceramic multilayer board and method for manufacturing same |
| JPWO2006093293A1 (en) * | 2005-03-04 | 2008-08-07 | 株式会社村田製作所 | Ceramic multilayer substrate and manufacturing method thereof |
| JP2018199318A (en) * | 2017-05-26 | 2018-12-20 | セイコーエプソン株式会社 | Nozzle plate, liquid injection head, liquid injection device, and manufacturing method for nozzle plate |
| US10399340B2 (en) | 2017-05-26 | 2019-09-03 | Seiko Epson Corporation | Nozzle plate, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and method of manufacturing nozzle plate |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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