JPH0752068B2 - Heating device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、各種電気、電子装置、
その部品、各種材料等を所定温度にさらしてその耐熱性
等を試験したり、所望の熱処理を加える等のために用い
る加熱装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to various electric and electronic devices,
The present invention relates to a heating device used for exposing the parts and various materials to a predetermined temperature to test their heat resistance and for applying a desired heat treatment.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、各種物品の耐熱性等について試験
したり、所望の熱処理を加える等のために用いる加熱装
置として、被加熱物を目的の温度にさらす前に、先ず徐
熱し、その後目的の温度にさらし、所定の加熱が終わる
と、徐冷したのち装置外へ搬出する加熱装置が知られて
いる。2. Description of the Related Art Conventionally, as a heating apparatus used for testing the heat resistance and the like of various articles and applying a desired heat treatment, the object to be heated is first gradually heated before being exposed to the desired temperature, and then the purpose. There is known a heating device which is exposed to the temperature of 1, and after predetermined heating is finished, is gradually cooled and then carried out of the device.

【０００３】このタイプの装置では、徐熱ゾーン、目的
の温度の恒温ゾーン、徐冷ゾーンが横に順次配置されて
おり、これらゾーン内に、図５に示すように、徐熱用ホ
ットプレート９１、恒温加熱用ホットプレート９２、徐
冷用ホットプレート９３が順次敷設され、これらホット
プレート上を複数の被加熱物ｗが搬送される。In this type of apparatus, a slow heating zone, a constant temperature zone of a desired temperature, and a slow cooling zone are arranged side by side in this order, and within these zones, as shown in FIG. 5, a slow heating hot plate 91. A constant temperature heating hot plate 92 and a slow cooling hot plate 93 are sequentially laid, and a plurality of objects w to be heated are conveyed on these hot plates.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、この種の装置
における被加熱物ｗの搬送は、通常、帯状の搬送装置９
４により一旦持ち上げられたのち前進させられ、その後
ホットプレート上に再び載置されるという手順で行われ
る。このため、物品ｗの搬送にあたり、物品ｗが一旦ホ
ットプレートから離れることになり、物品を加熱したい
徐熱ゾーンや恒温ゾーンでそれだけ物品ｗの温度低下を
招くことになる。However, the transfer of the object w to be heated in this type of apparatus is usually a belt-shaped transfer device 9.
After being temporarily lifted by 4, it is moved forward and then mounted again on the hot plate. Therefore, when the article w is conveyed, the article w is once separated from the hot plate, and the temperature of the article w is lowered correspondingly in the slow heating zone or the constant temperature zone where the article is desired to be heated.

【０００５】また、ホットプレートを横に敷設するため
物品搬送距離が長くなり、装置設置面積が大きくなると
いう問題がある。さらに、ホットプレートを用いている
ので、ホットプレート表面温度がそのまま被加熱物温度
のばらつきになり、ベーキング処理等の熱処理を行う場
合、製品の歩どまりが悪くなるという問題がある。Further, since the hot plate is laid sideways, there is a problem that the article conveying distance becomes long and the apparatus installation area becomes large. Further, since the hot plate is used, the temperature of the surface of the hot plate directly changes the temperature of the object to be heated, and when heat treatment such as baking is performed, there is a problem that the yield of the product deteriorates.

【０００６】そこで本発明は、複数の被加熱物を順次所
望温度にさらして安定した加熱を行うことができ、全体
がコンパクトにまとまっていて設置面積が少なく済む加
熱装置を提供することを目的とする。[0006] Therefore, an object of the present invention is to provide a heating device capable of exposing a plurality of objects to be heated to a desired temperature one by one and performing stable heating, and being compact in size as a whole and having a small installation area. To do.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的に従
い、下から上へ順次配置された徐熱ゾーン、恒温ゾーン
及び徐冷ゾーンを有する加熱槽と、前記ゾーンに積み重
ね配置できる被加熱物支持パレットと、前記徐熱ゾーン
に対し設けた加熱槽の第１の入口から該徐熱ゾーン内の
空いたパレットに被加熱物を搬入する手段と、被加熱物
を搬入されたパレットを該パレットより上方のパレット
に重ねつつ該上方のパレットと共に順次上方へ持ち上げ
る手段と、前記徐冷ゾーンに対し設けた加熱槽の出口か
ら該徐冷ゾーン内の徐冷済物を支持するパレットを取り
出し、前記徐熱ゾーンに対し設けた加熱槽の第２の入口
から該徐熱ゾーン内へ戻すパレット移動手段と、前記パ
レット移動手段にて前記徐熱ゾーンへ戻されるパレット
から徐冷済物を取り出す手段とを備えたことを特徴とす
る加熱装置を提供する。According to the above object, the present invention provides a heating tank having a slow heating zone, a constant temperature zone and a slow cooling zone, which are sequentially arranged from the bottom to the top, and an object to be heated that can be stacked in the zone. A pallet, a means for loading an object to be heated into a vacant pallet in the gradual heating zone from a first inlet of a heating tank provided for the gradual heating zone, and a pallet loaded with the object to be heated from the pallet. Means for sequentially lifting the upper pallet while stacking it on the upper pallet, and taking out the pallet supporting the gradually cooled product in the slow cooling zone from the outlet of the heating tank provided for the slow cooling zone, Pallet moving means for returning from the second inlet of the heating tank provided for the heat zone into the slow heating zone, and the gradually cooled product from the pallet returned to the slow heating zone by the pallet moving means To provide a heating apparatus characterized in that a to means.

【０００８】[0008]

【作用】本発明装置によると、加熱槽内の恒温ゾーンは
所望の加熱温度雰囲気に制御され、徐熱ゾーン及び徐冷
ゾーンはそれより低い温度雰囲気に制御される。被加熱
物は先ず搬入手段により徐熱ゾーンの空きパレットに搬
入される。被加熱物を上面に又は上方に搬入されたパレ
ットは加熱槽内で、それより上方のパレット下に重ねら
れつつ、該搬入被加熱物及び該上方のパレットと共に順
次持ち上げられる。According to the apparatus of the present invention, the constant temperature zone in the heating tank is controlled to a desired heating temperature atmosphere, and the slow heating zone and the slow cooling zone are controlled to a lower temperature atmosphere. The object to be heated is first carried into the empty pallet in the slow heating zone by the carrying-in means. The pallet loaded with the object to be heated on the upper surface or upward is sequentially lifted together with the loaded object to be heated and the upper pallet while being stacked under the pallet above the pallet in the heating tank.

【０００９】このようにして、被加熱物が搬入される毎
にパレットが徐熱ゾーンから恒温ゾーンへさらに徐冷ゾ
ーンへ持ち上げられ、その間に被加熱物は徐熱され、次
いで目的温度にさらされ、その後、徐冷される。徐冷ゾ
ーン内の徐冷済物を支持するパレットはそのゾーンから
取り出され、該徐冷済物を降ろされたのち、再び徐熱ゾ
ーンへ戻され、被加熱物の搬入を待つ。In this way, every time the object to be heated is carried in, the pallet is lifted from the slow heating zone to the constant temperature zone and further to the slow cooling zone, during which the object to be heated is gradually heated and then exposed to the target temperature. , Then slowly cooled. The pallet supporting the slow-cooled material in the slow-cooling zone is taken out from the zone, the slow-cooled material is unloaded, and then returned to the slow-heating zone again to wait for the object to be heated.

【００１０】[0010]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は本発明の一実施例の全体の断面を、図２は
図１のＸ−Ｘ線に沿う加熱槽の断面を示しており、図３
はパレット及び該パレットの搬入装置、移動装置等の相
対的位置関係を示しており、図４はパレット脚部を示し
ている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows the entire cross section of one embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows the cross section of the heating tank along the line XX of FIG.
Shows the relative positional relationship between the pallet and the loading device, moving device, etc. of the pallet, and FIG. 4 shows the pallet legs.

【００１１】この加熱装置は液晶ディスプレイ装置のガ
ラス基板を焼成（ベーキング）処理する等に採用できる
ものであり、ガラス基板Ｗを支持するための複数のパレ
ット６を含んでいる。さらにこの装置は、加熱槽１、加
熱槽内のパレット６を順次上方へ持ち上げる持ち上げ装
置２、加熱槽内へガラス基板Ｗを搬入する搬入装置３、
加熱槽からパレット６を取り出し、再びこれを加熱槽へ
戻すパレット移動装置４及びベーキング処理を終了した
ガラス基板Ｗをパレット６から降ろして搬出する装置５
を含んでいる。This heating device can be used for baking (baking) a glass substrate of a liquid crystal display device, and includes a plurality of pallets 6 for supporting the glass substrate W. Further, this apparatus comprises a heating tank 1, a lifting apparatus 2 for sequentially lifting the pallets 6 in the heating tank, a loading apparatus 3 for loading the glass substrate W into the heating tank,
A pallet moving device 4 for taking out the pallet 6 from the heating tank and returning it to the heating tank again, and a device 5 for unloading and carrying out the glass substrate W for which the baking process has been completed from the pallet 6.
Is included.

【００１２】加熱槽１はその内部に下から上へ向け順次
徐熱ゾーン１１、恒温ゾーン１２及び徐冷ゾーン１３を
備えており、これら３つのゾーン相互には仕切りはな
い。図１及び図２から分かるように、これら３つのゾー
ンはその一側が加熱槽１内に設けた仕切り板１４によ
り、他側が加熱槽の側壁１５により、背面が加熱槽内に
設けた仕切り板１６によってそれぞれ仕切られており、
前面側は開閉可能な扉１７の内面に設けたダクト１８に
よって仕切られている。The heating tank 1 is provided therein with a slow heating zone 11, a constant temperature zone 12 and a slow cooling zone 13 in this order from bottom to top, and there is no partition between these three zones. As can be seen from FIGS. 1 and 2, one of these three zones is a partition plate 14 provided inside the heating tank 1, one side is a side wall 15 of the heating tank, and the other side is a partition plate 16 provided inside the heating tank. It is divided by each,
The front side is partitioned by a duct 18 provided on the inner surface of the openable / closable door 17.

【００１３】槽１内の仕切り板１４及び１６は相互に連
通しており、これら仕切り板とこれに隣る槽側壁１９及
び背面壁２０との間には空間部が形成されている。この
空間部は上下の仕切り板１２０ａ、１２０ｂによってゾ
ーン１１、１２、１３にそれぞれ対応する三つの小空間
部Ｐ、Ｑ、Ｒに分けられている。いま恒温ゾーン１２を
例にとって説明すると、図２に示すように、前記空間部
Ｑのうち仕切り板１４と槽側壁１９との間には空気循環
用ファン１２１が配置され、モータ１２２により回転駆
動されるようになっている。また空間部Ｑのうち背面仕
切り板１６と背面壁２０との間にはヒータ１２３が配置
され、仕切り板１６にはエアフィルタ１２４が取り付け
られている。The partition plates 14 and 16 in the tank 1 communicate with each other, and a space is formed between these partition plates and the tank side wall 19 and the back wall 20 adjacent to the partition plates. This space portion is divided into three small space portions P, Q, R corresponding to the zones 11, 12, 13 by the upper and lower partition plates 120a, 120b. Now, taking the constant temperature zone 12 as an example, as shown in FIG. 2, an air circulation fan 121 is arranged between the partition plate 14 and the tank side wall 19 in the space Q and is rotationally driven by a motor 122. It has become so. A heater 123 is arranged between the rear partition plate 16 and the rear wall 20 in the space Q, and an air filter 124 is attached to the partition plate 16.

【００１４】モータ１２２によりファン１２１を回す
と、空気は該ファンからヒータ１２３に流れ、ここで加
熱されてフィルタ１２４を通り恒温ゾーン１２へ流入
し、該恒温ゾーンから扉内面のダクト１８を通って再び
ファン１２１へ戻るように循環する。なお、図面には示
していないがダクト１８には空気が流通する多数の開孔
を設けてある。When the fan 122 is rotated by the motor 122, the air flows from the fan to the heater 123, where it is heated and flows into the constant temperature zone 12 through the filter 124 and from the constant temperature zone through the duct 18 on the inner surface of the door. It circulates so as to return to the fan 121 again. Although not shown in the drawing, the duct 18 is provided with a large number of openings through which air flows.

【００１５】本例ではこの熱風空気の循環により恒温槽
１２が約１２０℃の雰囲気にされる。同様に、徐熱ゾー
ン１１においては、仕切り板１４と槽側壁１９との間に
配置されたファン１１１がモータ１１２により運転さ
れ、それによって空気が背面仕切り板１６後方の図示し
ないヒータに触れて熱せられたのちエアフィルタ１１４
を通って徐熱ゾーンに流入し、さらに扉１７内側のダク
ト１８を通って再びファン１１１へ循環する。本例では
これによって徐熱ゾーン１８が約８０℃の雰囲気とされ
る。In this example, the circulation of the hot air causes the constant temperature bath 12 to have an atmosphere of about 120.degree. Similarly, in the slow heating zone 11, the fan 111 arranged between the partition plate 14 and the tank side wall 19 is operated by the motor 112, whereby the air touches a heater (not shown) behind the rear partition plate 16 to heat the air. After the air filter 114
Through the duct 18 inside the door 17 and circulates again to the fan 111. In this example, this causes the slow heating zone 18 to have an atmosphere of about 80 ° C.

【００１６】同様に、徐冷ゾーン１３においては、仕切
り板１４と槽側壁１９との間に配置されたファン１３１
がモータ１３２により運転され、それによって空気が背
面仕切り板１６後方の図示しないヒータに触れて熱せら
れたのちエアフィルタ１３４を通って徐冷ゾーン１３に
流入し、さらに扉１７内側のダクト１８を通って再びフ
ァン１３１へ循環する。本例ではこれによって徐冷ゾー
ン１３が約８０℃の雰囲気とされる。Similarly, in the slow cooling zone 13, a fan 131 disposed between the partition plate 14 and the side wall 19 of the tank.
Is driven by a motor 132, whereby air is heated by touching a heater (not shown) behind the rear partition plate 16 and then flows into the slow cooling zone 13 through the air filter 134 and further through the duct 18 inside the door 17. And recirculates to the fan 131 again. In this example, this makes the slow cooling zone 13 have an atmosphere of about 80 ° C.

【００１７】なお、加熱槽１の一側壁１９にはガラス基
板Ｗを搬入するための入口Ａが、他側壁１５にはパレッ
ト６を取り出すための出口Ｂ及びパレット６を搬入する
ための入口Ｃがそれぞれ設けられている。入口ＡとＣは
それぞれ徐熱ゾーン１１に臨んでおり、互いに対向する
位置関係にある。又、パレット取り出し口Ｂは徐冷ゾー
ン１３に臨んでいる。An inlet A for loading the glass substrate W is provided on one side wall 19 of the heating tank 1, and an outlet B for taking out the pallet 6 and an inlet C for loading the pallet 6 are provided on the other side wall 15. Each is provided. The inlets A and C face the slow heating zone 11 and are in a positional relationship of facing each other. The pallet take-out port B faces the slow cooling zone 13.

【００１８】パレット６は図３及び図４から分かるよう
に、底板６１とその周縁部から立ち上がる周側壁６０を
備えており、全体がほぼ四角形状に形成されている。底
板６１にはガラス基板Ｗの支持域の外側において四本の
脚部６２が下方へ向け突設してある。各脚部６２はその
上端が凹所６２１に形成されており、該凹所の底は円錐
面に形成されている。脚部６２の下端６２２は円錐形状
に形成されている。上下に隣るパレット６、６は上側の
パレット６における各脚部６２が下側のパレット６にお
ける脚部の上端凹所６２１に嵌まることにより、それら
上下に隣り合うパレットが相互に位置決めされ、且つ、
上下に重ねられるようになっている。As can be seen from FIGS. 3 and 4, the pallet 6 is provided with a bottom plate 61 and a peripheral side wall 60 rising from the peripheral portion thereof, and is formed in a substantially quadrangular shape as a whole. On the bottom plate 61, four leg portions 62 are provided so as to protrude downward outside the supporting area of the glass substrate W. The upper end of each leg 62 is formed in a recess 621, and the bottom of the recess is formed in a conical surface. The lower end 622 of the leg portion 62 is formed in a conical shape. By vertically fitting the legs 62 of the upper pallet 6 into the upper recesses 621 of the legs of the lower pallet 6, the vertically adjacent pallets 6 are positioned relative to each other. and,
It is designed to be stacked vertically.

【００１９】また、パレット６はその左右端部のそれぞ
れに３つの搬送ローラ突出孔６３を有している。いま図
１に示す状態では、徐熱ゾーン１１、恒温ゾーン１２、
徐冷ゾーン１３の３つのゾーンにわたってガラス基板Ｗ
を支持したパレット６が上下方向に積み重ね配置されて
おり、さらにその下方に空きパレット６（以下「６ａ」
で示す）が配置されている。Further, the pallet 6 has three conveying roller projecting holes 63 at each of its left and right ends. In the state shown in FIG. 1, the slow heating zone 11, the constant temperature zone 12,
The glass substrate W is spread over the three zones of the slow cooling zone 13.
The pallets 6 supporting the pallets are vertically stacked, and an empty pallet 6 (hereinafter referred to as “6a”) is arranged below the pallets.
(Shown by) are arranged.

【００２０】積み重ねられたパレット６群の最下段パレ
ットの四隅のそれぞれに対し支持ロッド２３が配置され
ており、この支持ロッドによりパレット６群が前記ゾー
ンに支持されている。各支持ロッド２３は図３から分か
るように、上端に水平屈曲部２３１を有しており、加熱
槽１の底部に設けたロッド駆動部２４によりロッドが回
されることでこの水平屈曲部２３１が最下段のパレット
６を支持する位置と、その位置から外れた位置とを択一
的に採ることができる。Support rods 23 are arranged at each of the four corners of the lowermost pallet of the stacked pallet 6 group, and the pallet 6 group is supported in the zone by the support rods. As can be seen from FIG. 3, each support rod 23 has a horizontal bent portion 231 at the upper end, and the rod driving portion 24 provided at the bottom of the heating tank 1 turns the rod to cause the horizontal bent portion 231 to move. A position for supporting the pallet 6 at the bottom and a position deviating from the position can be alternatively selected.

【００２１】空きパレット６ａは昇降台２１の上に載置
されており、加熱槽底部に設けた駆動部２２によってこ
の昇降台２１が上昇することで該パレット６ａを上方へ
持ち上げることができる。図１及び図３から分かるよう
に、昇降台２１の両側（奥側及び手前側）にはガラス基
板Ｗの搬入ローラ３２が二列に配置されており、各ロー
ラ３２はパレット６（６ａ）の底板に設けたローラ突出
孔６３から若干上方へ突出し、回転可能となっている。The empty pallet 6a is placed on the elevating table 21, and the elevating table 21 can be lifted by the drive unit 22 provided at the bottom of the heating tank to lift the pallet 6a upward. As can be seen from FIG. 1 and FIG. 3, the carry-in rollers 32 of the glass substrate W are arranged in two rows on both sides (back side and front side) of the lift table 21, and each roller 32 is arranged on the pallet 6 (6a). The roller projection hole 63 provided in the bottom plate projects slightly upward and is rotatable.

【００２２】なお、前記昇降台２１及びパレット支持ロ
ッド２３はパレット持ち上げ装置２を構成している。ガ
ラス基板Ｗの搬入装置３は図１及び図３から分かるよう
に、加熱装置１外から加熱槽の入口Ａを通って前記ロー
ラ３２に向け二列に配置されたローラ３１と前記ローラ
３２とからなっている。これらローラは図示しない駆動
手段により図１中、時計方向に回転駆動される。The lifting table 21 and the pallet supporting rod 23 constitute a pallet lifting device 2. As can be seen from FIGS. 1 and 3, the glass substrate W loading device 3 includes rollers 31 and 32 arranged in two rows from outside the heating device 1 through the inlet A of the heating tank toward the roller 32. Has become. These rollers are rotationally driven in the clockwise direction in FIG. 1 by a driving means (not shown).

【００２３】パレット６を加熱槽１から取り出し、再び
該槽へ戻す移動装置４は図１及び図３から分かるよう
に、図示しない駆動手段により上下方向に駆動される昇
降台４１と、図示しない駆動手段により該台４１上をガ
ラス基板Ｗの搬入方向と同方向に往復動できるパレット
掬い部材４２とを備えている。前記移動装置４により加
熱槽１から取り出されたパレットから熱処理済みのガラ
ス基板Ｗを降ろして搬出する装置５は、図１及び図３か
ら分かるように、加熱槽１の入口Ｃに臨む部分から二列
に配置されたローラ５１からなっており、これらローラ
５１は図示しない駆動手段により図１中、時計方向に回
転駆動される。As can be seen from FIGS. 1 and 3, the moving device 4 for taking out the pallet 6 from the heating tank 1 and returning it to the heating tank 1 again includes an elevating table 41 which is vertically driven by a driving means (not shown) and a driving means (not shown). The pallet scooping member 42 is reciprocally movable on the table 41 in the same direction as the loading direction of the glass substrate W by means. As can be seen from FIGS. 1 and 3, the device 5 for lowering and carrying out the heat-treated glass substrate W from the pallet taken out from the heating tank 1 by the moving device 4 has two parts from the part facing the inlet C of the heating tank 1. The rollers 51 are arranged in rows, and these rollers 51 are rotationally driven in the clockwise direction in FIG. 1 by a driving means (not shown).

【００２４】移動装置４は図１に実線で示す位置におい
てその掬い部材４２を加熱槽のパレット出口Ｂを通して
徐冷ゾーンの最上段パレット６の下に差し込み、しかる
のち昇降台４１を若干上昇させることで該パレットを掬
い上げることができる。そのあと、掬い部材４２を槽外
へ引き出すことによりパレット６を外へ取り出すことが
できる。そのようにパレット６を外部へ取り出したのち
は昇降台４１を図１に二点鎖線で示す位置まで下降さ
せ、該パレットのローラ突出孔６３からローラ５１が上
方へ突出するように配置し、それによって該パレット６
上に支持されていた徐冷済ガラス基板Ｗをローラ５１の
上に乗せ、該ローラ５１の運転によって基板Ｗを搬出す
ることができる。At the position shown by the solid line in FIG. 1, the moving device 4 inserts its scooping member 42 under the uppermost pallet 6 in the slow cooling zone through the pallet outlet B of the heating tank, and then raises the elevating table 41 slightly. The pallet can be picked up with. Then, the pallet 6 can be taken out by pulling the scooping member 42 out of the tank. After taking out the pallet 6 to the outside in such a manner, the elevating table 41 is lowered to the position shown by the chain double-dashed line in FIG. 1, and the roller 51 is arranged so as to project upward from the roller projecting hole 63 of the pallet. By the pallet 6
The gradually cooled glass substrate W supported above can be placed on the roller 51, and the substrate W can be unloaded by the operation of the roller 51.

【００２５】基板Ｗの搬出後は昇降台４１を若干上昇さ
せ、それによってパレット６をローラ５１から外したの
ち掬い部材４２をパレットと共に加熱槽１の入口Ｃから
徐熱ゾーン１１内へ差し込み、その後、昇降台４１を再
び若干下降させることにより該空きパレット６を図１に
示すように槽内の昇降台２１上に載置することができ
る。その後は掬い部材４２を外側へ引き出し、昇降台４
１を上昇させて再び徐冷ゾーンからパレットを取り出せ
る位置に配置する。After unloading the substrate W, the lifting table 41 is slightly raised, whereby the pallet 6 is removed from the roller 51, and then the scooping member 42 is inserted together with the pallet into the slow heating zone 11 from the inlet C of the heating tank 1 and thereafter. The empty pallet 6 can be placed on the lift table 21 in the tank by slightly lowering the lift table 41 again, as shown in FIG. After that, pull out the scooping member 42 to the outside,
1 is moved up and placed again at a position where the pallet can be taken out from the slow cooling zone.

【００２６】以上説明した加熱装置によると、ガラス基
板Ｗは搬入装置３によって加熱槽１の入口Ａから徐熱ゾ
ーン１１へ送り込まれ、ローラ３２上に達し、徐熱ゾー
ン１１底部に配置された昇降台２１上の空きパレット６
ａ上方に配置される。その後、昇降台２１が上昇するこ
とによりパレット６ａが上昇し、その途中ローラ３２上
のガラス基板Ｗをパレット６ａ上に支持してさらに上昇
し、上方パレット群の最下段パレットの脚部６２に当接
するように上方パレット群に重なる。さらにその後、上
方パレット群と共に若干持ち上げられる。これによって
上方パレット群が支持ロッド２３より若干離間すると、
昇降台２１をその位置に止めたままパレット群支持ロッ
ド２３を回動させて該ロッドの水平屈曲部２３１をパレ
ットから外側へ回動させる。さらにその後、昇降台２１
を上昇させ、パレット６ａの底板下面が支持ロッドの水
平屈曲部２３１より上方に位置するまで全体を上昇させ
る。しかるのち支持ロッド２３を回動させてその水平屈
曲部２３１をパレット６ａを含むパレット群の下に回動
させ、そのあと昇降台２１を空きパレットを受け取る当
初の位置まで下降させる。According to the heating device described above, the glass substrate W is sent from the inlet A of the heating tank 1 to the slow heating zone 11 by the carry-in device 3, reaches the roller 32, and is lifted and lowered at the bottom of the slow heating zone 11. Empty pallet 6 on stand 21
It is arranged above a. After that, the pallet 6a rises as the lift table 21 rises, and the glass substrate W on the roller 32 on the way is supported on the pallet 6a and further rises to hit the leg portion 62 of the lowermost pallet of the upper pallet group. Overlap the upper pallet group so that they touch. After that, it is slightly lifted together with the upper pallet group. As a result, when the upper pallet group is slightly separated from the support rod 23,
The pallet group support rod 23 is rotated while the lifting table 21 is held at that position to rotate the horizontal bending portion 231 of the rod outward from the pallet. After that, the lift 21
And the entire bottom surface of the pallet 6a is raised until the lower surface of the bottom plate is positioned above the horizontal bent portion 231 of the support rod. Then, the support rod 23 is rotated to rotate the horizontal bent portion 231 below the pallet group including the pallet 6a, and then the lifting platform 21 is lowered to the initial position for receiving the empty pallet.

【００２７】このようにしてガラス基板Ｗを支持するパ
レット６が下方から順次上方へ持ち上げられ、所定の時
間をかけて徐熱ゾーン、恒温ゾーン、徐冷ゾーンと進め
られる。ガラス基板Ｗは徐熱ゾーンにおいて目的温度に
さらされるに先立って予熱され、恒温ゾーンで目的の温
度にさらされ、徐冷ゾーンで急激な冷却を避けるように
徐冷され、しかるのち前述のとおり移動装置４の掬い部
材４２によってパレットごと加熱槽１外へ搬出される。
加熱槽１外へ搬出されたパレット６は移動装置の昇降台
４１の下降により加熱槽１の入口Ｃに臨む位置に配置さ
れ、且つ、ここで該パレット６上の徐冷済ガラス基板Ｗ
がローラ５１に支持されて搬出される。徐冷済ガラス基
板を取り除かれたパレット６は移動装置４により加熱槽
入口Ｃから徐冷ゾーンに戻され、昇降台２１上に配置さ
れ、次のガラス基板の搬入を待つことになる。In this way, the pallet 6 supporting the glass substrate W is sequentially lifted from the lower side to the upper side, and is advanced to the slow heating zone, the constant temperature zone, and the slow cooling zone over a predetermined time. The glass substrate W is preheated before being exposed to the target temperature in the slow heating zone, exposed to the target temperature in the constant temperature zone, and gradually cooled in the slow cooling zone so as to avoid rapid cooling, and then moved as described above. The scooping member 42 of the apparatus 4 carries the pallet out of the heating tank 1.
The pallet 6 carried out of the heating tank 1 is arranged at a position facing the entrance C of the heating tank 1 by lowering the elevating table 41 of the moving device, and here, the gradually cooled glass substrate W on the pallet 6 is placed.
Is supported by the roller 51 and is carried out. The pallet 6 from which the gradually cooled glass substrate has been removed is returned from the heating tank inlet C to the gradually cooled zone by the moving device 4, is placed on the elevating table 21, and waits for the next glass substrate to be loaded.

【００２８】以上説明した加熱装置によると、徐熱、恒
温及び徐冷ゾーンが上下方向に配置されているので、全
体がそれだけコンパクトになり、装置設置面積がそれだ
け少なく済む利点がある。又、ガラス基板Ｗは徐熱ゾー
ン、恒温ゾーン及び徐冷ゾーンと順次進められ、その
間、所定の温度雰囲気に常時さらされるので、安定した
熱処理を行うことができる利点がある。さらに、前記装
置によると、各ゾーンにおいてその温度の制御及び風速
の制御がヒータ出力の制御及びファンの回転速度制御等
により容易に行えるので、ガラス基板Ｗへの熱ストレス
をできるだけ少なくして所望の熱処理を行える利点があ
る。According to the heating device described above, since the slow heating, constant temperature, and slow cooling zones are arranged in the vertical direction, there is an advantage that the whole is compact and the device installation area is reduced accordingly. Further, the glass substrate W is sequentially advanced to the slow heating zone, the constant temperature zone, and the slow cooling zone, and during that time, the glass substrate W is constantly exposed to the atmosphere of a predetermined temperature, so that there is an advantage that a stable heat treatment can be performed. Further, according to the above apparatus, the temperature control and the wind speed control in each zone can be easily performed by the heater output control, the fan rotation speed control, etc., so that the thermal stress on the glass substrate W can be reduced as much as possible. There is an advantage that heat treatment can be performed.

【００２９】さらに前記実施例によると、各ゾーンに吹
き出す熱風はエアフィルタを通るから、ガラス基板Ｗの
汚染がそれだけ少なく済むという利点もある。Further, according to the above-mentioned embodiment, since the hot air blown to each zone passes through the air filter, there is an advantage that the glass substrate W is less contaminated.

【００３０】[0030]

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、複
数の被加熱物を順次、徐熱後、所望温度にさらし、さら
に徐冷するようにして、ばらつき無く、又は少なく安定
して加熱することができ、しかも全体がコンパクトにま
とまっていて設置面積が少なく済む加熱装置を提供する
ことができる。As described above, according to the present invention, a plurality of objects to be heated are successively heated, then exposed to a desired temperature, and then gradually cooled, so that they are stably heated with little variation. In addition, it is possible to provide a heating device that is compact and has a small installation area.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の一実施例の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the present invention.

【図２】図１のＸ−Ｘ線に沿う加熱槽の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of the heating tank taken along line XX of FIG.

【図３】パレット、搬入装置、パレット持ち上げ装置、
パレット移動装置等の相対的位置関係を示す平面図であ
る。[Fig. 3] Pallet, loading device, pallet lifting device,
It is a top view which shows the relative positional relationship of a pallet moving device.

【図４】パレット脚部の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a pallet leg portion.

【図５】従来例の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 加熱槽 Ａ 被加熱物入口 Ｂ パレット出口 Ｃ パレット入口 １１ 徐熱ゾーン １２ 恒温ゾーン １３ 徐冷ゾーン ２ 持ち上げ装置 ３ 搬入装置 ４ 移動装置 ５ 取り出し装置 ６、６ａ パレット Ｗ ガラス基板 1 Heating Tank A Heated Material Inlet B Pallet Outlet C Pallet Inlet 11 Gradual Heating Zone 12 Constant Temperature Zone 13 Gradual Cooling Zone 2 Lifting Device 3 Loading Device 4 Moving Device 5 Ejecting Device 6, 6a Pallet W Glass Substrate

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 下から上へ順次配置された徐熱ゾーン、
恒温ゾーン及び徐冷ゾーンを有する加熱槽と、前記ゾー
ンに積み重ね配置できる被加熱物支持パレットと、前記
徐熱ゾーンに対し設けた加熱槽の第１の入口から該徐熱
ゾーン内の空いたパレットに被加熱物を搬入する手段
と、被加熱物を搬入されたパレットを該パレットより上
方のパレットに重ねつつ該上方のパレットと共に順次上
方へ持ち上げる手段と、前記徐冷ゾーンに対し設けた加
熱槽の出口から該徐冷ゾーン内の徐冷済物を支持するパ
レットを取り出し、前記徐熱ゾーンに対し設けた加熱槽
の第２の入口から該徐熱ゾーン内へ戻すパレット移動手
段と、前記パレット移動手段にて前記徐熱ゾーンへ戻さ
れるパレットから徐冷済物を取り出す手段とを備えたこ
とを特徴とする加熱装置。1. A slow heating zone sequentially arranged from bottom to top,
A heating tank having a constant temperature zone and a slow cooling zone, a heated object supporting pallet that can be stacked in the zone, and an empty pallet in the slow heating zone from the first inlet of the heating tank provided for the slow heating zone. Means for loading the article to be heated, means for sequentially lifting the pallet loaded with the article to be heated upward together with the pallet above the pallet, and a heating tank provided for the slow cooling zone Pallet moving means for taking out the pallet supporting the slow-cooled product in the slow-cooling zone from the outlet of the pallet and returning it to the slow-heating zone from the second inlet of the heating tank provided for the slow-heating zone; And a means for taking out the gradually cooled product from the pallet returned to the slow heating zone by the moving means.