JPH0748671A - 基板交換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板交換時のロードロック室の大気にさらさ
れる領域を少なくし、真空排気時間を短縮する。 【構成】 成膜室１にゲートバルブ３を介して設けられ
たロードロック室２と、ロードロック室２の開口１１を
開閉する蓋体１２と、基板２２を載置するトレイ２１
と、トレイ２１を成膜室１とロードロック室２とに搬送
する搬送手段７と、ロードロック室２の搬送手段７との
間でトレイ２１を受け渡しする受け渡し手段と、受け渡
し手段のトレイ２１の周縁部を開口１１の内側縁に気密
に圧接する密閉手段と、密閉手段のトレイ２１と外部と
の間で基板２２を交換する交換手段２８とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、成膜室に隣接したロー
ドロック室と外部との間の基板の交換を効率よく行える
ようにする基板交換装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の基板交換装置は、図３に示すよう
になっている。同図において、１は成膜処理を行う成膜
室、２は成膜室１の一側に角型ゲートバルブ３を介して
設けられたロードロック室、４は成膜室１に設けられた
回転軸、５は回転軸４の上端部に固着された搬送アー
ム、６は搬送アーム５の先端部に形成されたＣ字形の支
持部であり、回転軸４の回転により搬送アーム５を介
し、成膜室１の成膜位置とロードロック室２の受け渡し
位置との間を移行し、回転軸４，搬送アーム５，支持部
６により搬送手段７が形成されている。８は基板を載置
するトレイであり、支持部６に載置される。

【０００３】９はロードロック室２の底板から導入され
た昇降軸、１０は昇降軸９の基部を包囲したベローズで
あり、昇降軸９の基部とロードロック室２の底板との間
の気密を維持している。１１はロードロック室２の上面
の開口、１２は開口１１を開閉する蓋体、１３は開口１
１の周縁の上面と蓋体１２との間に設けられたＯリング
である。

【０００４】そして、成膜室１において、トレイ８上の
基板に成膜が終了すると、搬送手段７の支持部６上にト
レイ８を載置し、ゲートバルブ３を開け、回転軸４を回
転し、図の実線に示すように、支持部６をロードロック
室２に搬入する。

【０００５】つぎに、昇降軸９が図の実線の位置から上
動し、昇降軸９の上端部がトレイ８の中央部の透孔に嵌
入してトレイ８を図の鎖線の位置に持ち上げ、回転軸４
が逆回転する。このとき、支持部６はＣ字形の開口によ
り昇降軸９から抜け出し、搬送アーム５が成膜室１に移
行し、ゲートバルブ３を閉じる。

【０００６】そして、ロードローク室２を乾燥窒素等に
よりパージして大気圧に戻し、蓋体１２を開け、交換手
段により、成膜終了の基板を取り出し、未成膜の基板と
交換し、蓋体１２を閉じる。

【０００７】つぎに、ロードロック室２を真空排気し、
ゲートバルブ３を開けて搬送手段７の支持部６をロード
ロック室２に移行し、昇降軸９を下動してトレイ８を支
持部６に載置し、回転軸４によりトレイ８を成膜室１に
移行し、ゲートバルグ３を閉じて成膜を行う。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】従来の前記装置の場
合、蓋体１２を開けて基板を交換する際、大気がロード
ロック室２の全域に進入し、気中の水分が内壁に付着す
るため、ロードロック室２の真空排気に長時間を要し、
基板交換の効率が低下するという問題点がある。本発明
は、前記の点に留意し、基板交換時のロードロック室の
大気にさらされる領域を少なくし、真空排気時間を短縮
し、基板交換効率を向上した基板交換装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の基板交換装置は、成膜室にゲートバルブを
介して設けられたロードロック室と、該ロードロック室
の開口を開閉する蓋体と、基板を載置するトレイと、該
トレイを前記成膜室と前記ロードロック室とに搬送する
搬送手段と、前記ロードロック室の前記搬送手段との間
で前記トレイを受け渡しする受け渡し手段と、該受け渡
し手段の前記トレイの周縁部を前記開口の内側縁に気密
に圧接する密閉手段と、該密閉手段の前記トレイと外部
との間で基板を交換する交換手段とを備えたものであ
る。

【００１０】

【作用】前記のように構成された本発明の基板交換装置
は、搬送手段との間で基板を受け渡しする受け渡し手段
が、トレイの周縁部をロードロック室の開口の内側縁に
気密に圧接する密閉手段を備えているため、基板の交換
時、ロードロック室の大気にさらされる領域が極めて少
なく、基板交換後のロードロック室の真空排気時間が大
幅に短縮され、基板交換効率が向上する。

【００１１】

【実施例】１実施例について図１及び図２を参照して説
明する。それらの図において図３と同一符号は同一もし
くは相当するものを示す。１４は成膜室１の他側に設け
られたイオン源、１５はイオン源１４に対向して設けら
れたターゲット、１６は防着板、１７は防着板１６に形
成された成膜口、１８は支杆１９に回転自在に支持され
た支持装置、２０は上下動軸、２１は中央部に透孔が形
成されていないトレイ、２２はトレイ２１上に載置され
る基板である。

【００１２】そして、搬送手段７の回転軸４により、支
持部６が成膜室１に移行すると、上下動軸２０が上動し
てトレイ２１を成膜口１７に位置させるとともに、トレ
イ２１上の基板２２を支持装置１８に圧接し、上下動軸
２０を回転し、トレイ２１とともに基板２２を回転して
成膜を行う。

【００１３】２３はロードロック室２の上面にＯリング
２４を介してボルト２５により装着されたフランジであ
り、フランジ２３によりロードロック室２の開口１１が
形成されている。２６は蓋体１２を支持した支軸であ
り、蓋体１２がフランジ２３の上面のＯリング２４を介
して開口１１を気密に閉塞する。

【００１４】２７はトレイ２１の周縁部に形成された段
部であり、トレイ２１の上動時、段部２７がフランジ２
３の下面のＯリング２４を介して開口１１を気密に閉塞
する。２８は交換手段であり、蓋体１２の開放時、トレ
イ２１上の基板２２を取り出し、新しい基板２２をトレ
イ２１上に載置する。

【００１５】そして、成膜終了により搬送手段７により
支持部６をロードロック室２に搬送すると、受け渡し手
段の昇降軸９が若干上動し、トレイ２１の中央部に当接
してトレイ２１を若干持ち上げ、回転軸４が逆回転して
支持部６が成膜室１に移行し、ゲートバルブ３を閉じ
る。

【００１６】つぎに、ロードロック室２を乾燥窒素等に
よりパージして大気圧に戻し、密閉手段を兼ねた昇降軸
９をさらに上動してトレイ２１の周縁部の段部２７をフ
ランジ２３の下面に圧接し、開口１１を気密に閉塞す
る。この時、トレイ２１上の基板２２の上面と蓋体１２
の下面との間隙は極めて小である。

【００１７】つぎに蓋体１２を開き、交換手段２８によ
り、成膜済みの基板２２を取り出し、新しい基板２２を
トレイ２１に載置し、蓋体１２を閉じ、昇降軸９を若干
下動してトレイ２１の段部２７をフランジ２３より外
し、ロードロック室２を真空排気する。

【００１８】そして、ゲートバルブ３を開き、搬送手段
７の支持部６をロードロック室２に移行し、昇降軸９を
さらに下動してトレイ２１を支持部６に載置する。

【００１９】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているため、以下に記載する効果を奏する。本発明の基
板交換装置は、搬送手段７との間で基板２２を受け渡し
する受け渡し手段が、トレイ２１の周縁部をロードロッ
ク室２の開口１１の内側縁に、気密に圧接する密閉手段
を備えているため、基板２２の交換時、ロードロック室
２の大気にさらされる領域が極めて少なく、ロードロッ
ク室２の内壁への水分の付着を防止し、基板交換後のロ
ードロック室２の真空排気時間を大幅に短縮することが
でき、基板交換効率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例の切断正面図である。

【図２】図１の一部の拡大図である。

【図３】従来例の切断正面図である。

【符号の説明】

１ 成膜室 ２ ロードロック室 ３ ゲートバルブ ７ 搬送手段 １１ 開口 １２ 蓋体 ２１ トレイ ２２ 基板 ２８ 交換手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 成膜室にゲートバルブを介して設けられ
   たロードロック室と、該ロードロック室の開口を開閉す
   る蓋体と、 基板を載置するトレイと、該トレイを前記成膜室と前記
   ロードロック室とに搬送する搬送手段と、前記ロードロ
   ック室の前記搬送手段との間で前記トレイを受け渡しす
   る受け渡し手段と、 該受け渡し手段の前記トレイの周縁部を前記開口の内側
   縁に気密に圧接する密閉手段と、該密閉手段の前記トレ
   イと外部との間で基板を交換する交換手段とを備えた基
   板交換装置。