JPH074148Y2 - テープ切断装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔概要〕 円板刃でフレーム上に貼られたテープ状の被切断体を切
断する装置に関し， テープ切断時に，フレームに刃がくい込まないようにし
て，塵埃の発生を防止し，フレームを軽量材で作製して
そのハンドリングを容易にすることを目的とし， 移動可能な回転軸の周りに回転する円板刃を有する装置
であって，該円板刃のテープに対するくい込み量調整機
構を有し，該調整機構は，テープ上に回転可能なアイド
ラーと，該アイドラーの両側に移動及び固定可能な２個
の調整コロとが同一母体に設けられてなり、且つ該調整
コロを該円板刃の周囲に接触させる手段を有し，該アイ
ドラーをテープに，該調整コロを該円板刃の周囲に接触
させ，該調整コロの固定位置を移動させてくい込み量を
調整するように構成する。

〔産業上の利用分野〕

本考案は円板刃でフレーム上に貼られたテープ状の被切
断体を切断する装置に関する。

半導体装置の製造プロセスにおいて，塵埃防止及び自動
化のためダイシング工程等において，ウエハを高分子材
料からなるテープに貼り付けて取り扱う方法が採用され
ている。

この際，テープはリング状の金属フレームに貼り付けら
れ，フレーム上において切断されるが，テープ切断装置
はこの際に使用するものである。

この後，ウエハはフレーム内のテープ上に貼りつけられ
て，ハンドリングされる。

〔従来の技術〕

テープをフレームに貼り付けた後，切断する方法は種々
あるが，一般的には円板刃をフレーム上に転がして，圧
切する方法がある。

第３図（１），（２）は従来のテープ切断装置を説明す
る模式的な平面図と断面図である。

図において，テープ１は，フレーム２上に貼り付けら
れ，テープ１に回転する円板刃４を圧しつけながらフレ
ーム上を矢印のように移動して切断する。

この後，想像線で示される位置にウエハ３が貼り付けら
れる。

〔考案が解決しようとする課題〕

上記従来装置による切断は次のような欠点を持つ。

テープ切断時，金属フレームに刃がくい込みフレーム
を傷める。

刃がフレームにあたり，刃の磨耗が激しい。

刃による傷痕をつけないようにフレームは硬い金属，
例えばステンレスで作られねばならず，フレームは重く
なる。

フレームに傷がつくと，この傷は切断毎に深くなり，
テープの切れを悪くする。

以上の欠点を除去するため，本考案は切断時，フレーム
に刃がくい込まない構造を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題の解決は（第１図及び第２図参照），回転軸
（10）の回りに回転する円板刃（４）を移動させてテー
プ（１）を切断する装置であって，回転可能なアイドラ
（５）及び該アイドラの両側にその間隔が調整可能な２
個の回転可能な調整コロ（６），（７）が保持された母
体（８）と，該調整コロ（６），（７）の外周が該円板
刃（４）の周囲に接触するように，該回転軸（10）を支
持する軸受けに該母体（８）を保持する手段（12）と，
該調整コロ（６），（７）を該円板刃（４）の周囲に押
しつける円板刃押しつけ手段（９）とを有し，該アイド
ラ（５）を該テープ（１）上に接触させ、該調整コロ
（６），（７）の間隔を調節して該円板刃（４）の該テ
ープ（１）に対するくい込み量を調整するように構成さ
れているテープ切断装置により達成される。

〔作用〕

第１図（１），（２）は本考案の機能を説明する装置の
模式的な正面図と側断面図である。

本考案は，上下に移動可能な回転軸の周りに回転する円
板刃４により，テープ１に刃４がくい込めるようにし，
アイドラ５を接触させたテープ上面を基準面とし,2個の
調整コロ6,7を左右に移動してくい込み量Ｄを調整し，
その位置で調整コロを固定してくい込み量を常に一定に
保つようにしたものである。

〔実施例〕

第２図（１），（２）は本考案の一実施例を説明する装
置の正面図と側断面図である。

図において，円板刃４の回転軸10は，駆動回転軸11から
傘歯車により垂直に回転が伝達されるが，この機構は本
考案に特に関係がないので図示しないで省略してある。

又，回転軸11は，先端についた円板刃４をこの軸の周り
に回転させて，フレーム上のテープを円形に圧切するた
めの軸でもある。

回転軸10が支点12の周りに回転できことにより，円板刃
４を上下に移動することができ，円板刃４がテープ１に
くい込めるようになっている。

円板刃押しつけ手段９により，調整コロ6,7が円板刃４
の円周に押しつけられるようになっている。円板刃押し
つけ手段９は，回転軸10の軸受けを固定した金具に開け
られた貫通孔を緩く通り且つ母体８に固定されたボルト
の頭と，前記軸受けを固定した金具との間に挿入された
コイルバネとからなっている。

又，第２図（１）において，調整コロ6,7の円周が円板
刃４の円周と重なっているのは，調整コロ6,7の円周面
に円板刃４の一部が入り込む溝が切られており，この溝
の底面で円板刃４を押し付けている。

アイドラ５は母体８の中央に取り付けられ，高精度のベ
アリングを用いて，テープ上をアイドラが移動する時，
偏心，ガタによるくい込み量のばらつきの発生を抑制す
るようにすることにより，くい込み量をμｍオーダで調
整できる。

２個の調整コロ6,7は，母体８に移動及び固定可能に取
りつ付けられる。例えば，これはダイヤモンド砥石で作
製し，回転させないでテープ切断時（円板刃が回転する
時）研摩ができるようにしてもよい。

この場合は，調整コロを回転させないで切断中円板刃を
研摩してもその磨耗量は無視でき，くい込み量は変動し
ない。

円板刃押付スプリング９は円板刃４を常に調整コロ6,7
に押し付ける役割を持つ。

円板刃４は例えば、超硬質鋼製で厚さ1mm,外径50φのも
のを用いる。

なお，フレーム２の切欠は位置決めのためのものであ
る。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案によれば，テープ切断時，フ
レームに刃がくい込まない。

その結果，以下のような効果を持つ。

テープのみを切断するため、塵埃が発生しない。

フレームをアルミニウム等の軽量材で作製でき，フレ
ームのハンドリングが容易になる。

調整コロをダイヤモンド砥石で作製すると，テープ切
断時に研摩ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（１），（２）は本考案の機能を説明する装置の
模式的な正面図と側断面図， 第２図（１），（２）は本考案の一実施例を説明する装
置の正面図と側断面図， 第３図（１），（２）は従来のテープ切断装置を説明す
る模式的な平面図と断面図である。 図において， １はテープ,2はフレーム,3はウエハ,4は円板刃,5はアイ
ドラ,6,7はくい込み量の調整コロ,8はアイドラと調整コ
ロを保持する母体,9は円板刃押しつけ手段を構成するボ
ルトとコイルバネ,10は円板刃の回転軸,11は駆動回転
軸,12は円板刃の回転軸の支点 である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】回転軸（10）の回りに回転する円板刃
   （４）を移動させてテープ（１）を切断する装置であっ
   て， 回転可能なアイドラ（５）及び該アイドラの両側にその
   間隔が調整可能な２個の回転可能な調整コロ（６），
   （７）が保持された母体（８）と， 該調整コロ（６），（７）の外周が該円板刃（４）の周
   囲に接触するように，該回転軸（10）を支持する軸受け
   に該母体（８）を保持する手段（12）と， 該調整コロ（６），（７）を該円板刃（４）の周囲に押
   しつける円板刃押しつけ手段（９）とを有し， 該アイドラ（５）を該テープ（１）上に接触させ，該調
   整コロ（６），（７）の間隔を調節して該円板刃（４）
   の該テープ（１）に対するくい込み量を調整するように
   構成されていることを特徴とするテープ切断装置。