JPH074074B2 - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JPH074074B2 JPH074074B2 JP63233803A JP23380388A JPH074074B2 JP H074074 B2 JPH074074 B2 JP H074074B2 JP 63233803 A JP63233803 A JP 63233803A JP 23380388 A JP23380388 A JP 23380388A JP H074074 B2 JPH074074 B2 JP H074074B2
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- Japan
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- ultrasonic motor
- piezoelectric ceramic
- motion
- piezoelectric
- ceramic cylinder
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Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 36
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000005491 wire drawing Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/106—Langevin motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0015—Driving devices, e.g. vibrators using only bending modes
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、電子機器などに用いられる超音波モータに関
し、特にロータ直径の小さい小型の超音波モータに関す
る。
し、特にロータ直径の小さい小型の超音波モータに関す
る。
［従来の技術］ 超音波モータは従来の電磁モータと比較して、低回転で
高いトルクが得られること、停止保持力を有すること、
電磁ノイズが小さいことなどの利点を有しており、カメ
ラのオートフォーカス用や自動車用パワーモータ等に使
用されている。
高いトルクが得られること、停止保持力を有すること、
電磁ノイズが小さいことなどの利点を有しており、カメ
ラのオートフォーカス用や自動車用パワーモータ等に使
用されている。
第７図及び第８図は従来の超音波モータの構造を示す概
略図であり、リング上の串歯状の突起部を設けた金属板
51の突起部の形成されている面の裏側に２枚の圧電セラ
ミック円板52,53を接着した構造のステータ51の上に円
板状ロータ54を圧接した構造となっている。圧電セラミ
ック円板52,53は、偶数等分に分極の向きが逆向きとな
っており、これら２枚の圧電セラミックス板は分割角度
の半分の角度だけずらして接着されている。
略図であり、リング上の串歯状の突起部を設けた金属板
51の突起部の形成されている面の裏側に２枚の圧電セラ
ミック円板52,53を接着した構造のステータ51の上に円
板状ロータ54を圧接した構造となっている。圧電セラミ
ック円板52,53は、偶数等分に分極の向きが逆向きとな
っており、これら２枚の圧電セラミックス板は分割角度
の半分の角度だけずらして接着されている。
［発明が解決しようとする課題］ 第７図から判るように従来の超音波モータにおいては、
ステータの超音波振動を平面的にローターに伝達してい
るため、駆動トルクを大きくするには、ステータ及びロ
ータの直径を大きくする必要がある。その為、従来の超
音波モータの実用的な最小直径は20〜30mmに限定されて
いた。
ステータの超音波振動を平面的にローターに伝達してい
るため、駆動トルクを大きくするには、ステータ及びロ
ータの直径を大きくする必要がある。その為、従来の超
音波モータの実用的な最小直径は20〜30mmに限定されて
いた。
そこで、本発明の技術的課題は、ローターの直径を小さ
くした小型の超音波モータを提供することにある。
くした小型の超音波モータを提供することにある。
本発明の他の技術的課題は、ローターの直径として、20
mm以下の超音波モータを提供することにある。
mm以下の超音波モータを提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、圧電セラミックス円柱の側面に設けら
れた長さ方向に平行な複数対の電極を有し、この圧電セ
ラミックス円柱の端面が円を含む楕円運動を行う圧電楕
円運動振動子と、この圧電楕円運動振動子の少なくとも
一方の端部に配された楕円運動−回転変換部材と、この
圧電セラミックス円柱の振動の節に設けられた絶縁材料
よりなる支持部材とを有し、前記圧電楕円運動振動子の
楕円運動を前記楕円運動−回転変換部材により回転運動
に変換して回転出力を得る超音波モータにおいて、 前記支持部材は、前記電極と対応した位置に導体パター
ンが形成されたリング形状を有し、前記電極と前記導体
パターンとを電気的に接続し、前記導体パターンより外
部リードを引き出したことを特徴とする超音波モータが
得られる。
れた長さ方向に平行な複数対の電極を有し、この圧電セ
ラミックス円柱の端面が円を含む楕円運動を行う圧電楕
円運動振動子と、この圧電楕円運動振動子の少なくとも
一方の端部に配された楕円運動−回転変換部材と、この
圧電セラミックス円柱の振動の節に設けられた絶縁材料
よりなる支持部材とを有し、前記圧電楕円運動振動子の
楕円運動を前記楕円運動−回転変換部材により回転運動
に変換して回転出力を得る超音波モータにおいて、 前記支持部材は、前記電極と対応した位置に導体パター
ンが形成されたリング形状を有し、前記電極と前記導体
パターンとを電気的に接続し、前記導体パターンより外
部リードを引き出したことを特徴とする超音波モータが
得られる。
［作用］ 本発明の超音波モータにおいては、圧電セラミックス円
柱の側面に設けられた長さ方向に平行な複数対の電極を
有し、この圧電セラミックス円柱の端面が円を含む楕円
運動を行う圧電楕円運動振動子の振動の節が、リング状
の支持枠で支持されているために、支持による振動への
影響が均一になり安定な楕円運動の励振が可能となる。
柱の側面に設けられた長さ方向に平行な複数対の電極を
有し、この圧電セラミックス円柱の端面が円を含む楕円
運動を行う圧電楕円運動振動子の振動の節が、リング状
の支持枠で支持されているために、支持による振動への
影響が均一になり安定な楕円運動の励振が可能となる。
さらに、圧電セラミックス円柱の側面に設けられた電極
と、前記支持枠状に設けられた導体部が半田等により、
電気的に接続された後にリード線は、前記支持枠上の導
体部から取り出されるため、リード線の断線も発生しに
くくなる。
と、前記支持枠状に設けられた導体部が半田等により、
電気的に接続された後にリード線は、前記支持枠上の導
体部から取り出されるため、リード線の断線も発生しに
くくなる。
［実施例］ 以下本発明の超音波モータについて、詳しく説明する。
第１図は本発明の実施例に係る超音波モータの構成を示
す図である。
す図である。
この図において、超音波モータは、圧電セラミックス円
柱11と、リング状支持枠12と、カップ状ロータ13とを有
する。
柱11と、リング状支持枠12と、カップ状ロータ13とを有
する。
第２図は本発明の超音波モータに用いる圧電セラミック
ス円柱を示す斜視図である。第３図は本発明の超音波モ
ータに用いる圧電セラミックス円柱の断面図であり、第
３図（ａ）は電極32,34を（＋），電極31,33を（−）に
して、電圧を印加した場合の分極の向きを破線の矢印で
示している。第３図（ｂ）は、第３図（ａ）のように分
極した圧電セラミックス円柱において電極33,34を
（＋）、電極31,32を（−）にして電圧を印加した場合
の断面の歪みを示す図である。第３図（ｂ）において、
電圧は電極34から31,電極33から32に印加される。その
ために、分極方向に依存して、圧電セラミックス円柱の
周面に沿うように電極34,31間は伸び、電極33,32間は縮
む。その結果として、第３図（ｂ）において、長さ方向
に下側が膨むように屈曲する。また、印加電圧の極性が
逆方向であれば、屈曲も逆になる。
ス円柱を示す斜視図である。第３図は本発明の超音波モ
ータに用いる圧電セラミックス円柱の断面図であり、第
３図（ａ）は電極32,34を（＋），電極31,33を（−）に
して、電圧を印加した場合の分極の向きを破線の矢印で
示している。第３図（ｂ）は、第３図（ａ）のように分
極した圧電セラミックス円柱において電極33,34を
（＋）、電極31,32を（−）にして電圧を印加した場合
の断面の歪みを示す図である。第３図（ｂ）において、
電圧は電極34から31,電極33から32に印加される。その
ために、分極方向に依存して、圧電セラミックス円柱の
周面に沿うように電極34,31間は伸び、電極33,32間は縮
む。その結果として、第３図（ｂ）において、長さ方向
に下側が膨むように屈曲する。また、印加電圧の極性が
逆方向であれば、屈曲も逆になる。
第４図（ａ）及び第４図（ｂ）は圧電セラミックス円柱
11に交流電圧を加えた場合の振動状態の説明図である。
11に交流電圧を加えた場合の振動状態の説明図である。
電極33,34と電極31,32間に振動子の共振周波数に等しい
交流電圧を印加した場合、第４図（ａ）のように、白抜
き矢印の方向に屈曲振動を発生する。電極31,33及び32,
33を接続して同様に振動子の共振周波数に等しい周波数
の交流電圧を印加すると、屈曲振動の方向は第４図
（ａ）の方向とは直角になる。したがって、以上の２つ
の方向の屈曲振動の位相を90°ずらせること、具体的に
は夫々の駆動電極の印加電圧の位相を90°ずらせること
により、圧電セラミックス円柱11の両端部に、第４図
（ｂ）に示すような円運動を含む楕円運動を励起するこ
とが可能である。
交流電圧を印加した場合、第４図（ａ）のように、白抜
き矢印の方向に屈曲振動を発生する。電極31,33及び32,
33を接続して同様に振動子の共振周波数に等しい周波数
の交流電圧を印加すると、屈曲振動の方向は第４図
（ａ）の方向とは直角になる。したがって、以上の２つ
の方向の屈曲振動の位相を90°ずらせること、具体的に
は夫々の駆動電極の印加電圧の位相を90°ずらせること
により、圧電セラミックス円柱11の両端部に、第４図
（ｂ）に示すような円運動を含む楕円運動を励起するこ
とが可能である。
第５図は圧電セラミックス円柱の振動の節を固定するた
めのリング状支持枠12を示す図で、導体パターンが形成
されている。
めのリング状支持枠12を示す図で、導体パターンが形成
されている。
第５図において、導体パターン35,36,37,38は絶縁体よ
りなる圧電セラミックス円柱の電極と位置が合うよう
に、円周方向に４等分された位置に夫々形成されてい
る。圧電セラミック円柱11をこのリング状支持枠12で支
持し、さらにその両端に回転出力伝達のための一端に突
出軸を有し、他端に孔部を有するカップ状ロータ13の他
端側より付けると第１図示の超音波モータとなる。
りなる圧電セラミックス円柱の電極と位置が合うよう
に、円周方向に４等分された位置に夫々形成されてい
る。圧電セラミック円柱11をこのリング状支持枠12で支
持し、さらにその両端に回転出力伝達のための一端に突
出軸を有し、他端に孔部を有するカップ状ロータ13の他
端側より付けると第１図示の超音波モータとなる。
第６図は本発明の超音波モータにおいて圧電セラミック
ス円柱11をリング状支持枠で支持し、さらに円筒状外枠
に支持した場合の斜視図あり、圧電セラミックス円柱11
はリング状支持枠12でその振動の節を支持される。圧電
セラミックス円柱11の両端には、カップ状ローター13
が、その空筒部に前記圧電セラミックス円柱11の端部が
微小隙間をもって、挿入された状態で、装着されてい
る。リング状支持枠12は、円筒状外枠14に挿入され、円
筒状外枠に固定する。また、円筒状外枠14に設けられた
リード線引き出し穴16よりリード線が引き出されてい
る。第６図において、圧電セラミックス円柱11の端部が
楕円運動を行うと、カップ状ロータ13の軸は、外枠内に
挿入される軸受け17によって、回転自在に支持されてい
るために安定に回転する。
ス円柱11をリング状支持枠で支持し、さらに円筒状外枠
に支持した場合の斜視図あり、圧電セラミックス円柱11
はリング状支持枠12でその振動の節を支持される。圧電
セラミックス円柱11の両端には、カップ状ローター13
が、その空筒部に前記圧電セラミックス円柱11の端部が
微小隙間をもって、挿入された状態で、装着されてい
る。リング状支持枠12は、円筒状外枠14に挿入され、円
筒状外枠に固定する。また、円筒状外枠14に設けられた
リード線引き出し穴16よりリード線が引き出されてい
る。第６図において、圧電セラミックス円柱11の端部が
楕円運動を行うと、カップ状ロータ13の軸は、外枠内に
挿入される軸受け17によって、回転自在に支持されてい
るために安定に回転する。
第１図に示したように、本発明においては、リング支持
枠を用いて圧電セラミックス円柱よりなる楕円運動振動
子の振動の節の部分を支持しており、支持枠の形状が対
称的であるため、円を含む楕円運動を励起するための互
いに直角な方向に対して支持による影響が同じように作
用するため、安定した楕円運動が可能であり、さらに、
外部リード線を圧電セラミックス円柱の電極と電気的に
接続されたリング状の支持枠の導体部より引き出すこと
により、リード線の断線も発生しにくくなる。
枠を用いて圧電セラミックス円柱よりなる楕円運動振動
子の振動の節の部分を支持しており、支持枠の形状が対
称的であるため、円を含む楕円運動を励起するための互
いに直角な方向に対して支持による影響が同じように作
用するため、安定した楕円運動が可能であり、さらに、
外部リード線を圧電セラミックス円柱の電極と電気的に
接続されたリング状の支持枠の導体部より引き出すこと
により、リード線の断線も発生しにくくなる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の超音波モータにおいて
は、駆動力を発生させるための振動子の形状が単純で、
回転あるいは、楕円運動振動を発生させるための２つの
振動モードが同じ屈曲振動であることから、構造が簡単
になる。また、楕円運動振動子として、棒状の振動子を
使用しているため、ローターの直径を小さくすることが
容易で、ローター直径の小さい超音波モータを得ること
ができる。
は、駆動力を発生させるための振動子の形状が単純で、
回転あるいは、楕円運動振動を発生させるための２つの
振動モードが同じ屈曲振動であることから、構造が簡単
になる。また、楕円運動振動子として、棒状の振動子を
使用しているため、ローターの直径を小さくすることが
容易で、ローター直径の小さい超音波モータを得ること
ができる。
さらに、本発明によれば、外部リード線も圧電セラミッ
クス円柱の電極より直接引き出さず、リング状支持枠の
導体パターンより半田付け等により引き出すことが可能
であるために、強度を増し、外部リード線の断線の可能
性も少なくなる。
クス円柱の電極より直接引き出さず、リング状支持枠の
導体パターンより半田付け等により引き出すことが可能
であるために、強度を増し、外部リード線の断線の可能
性も少なくなる。
第１図は本発明の実施例に係る超音波モータの構成を示
す斜視図、第２図は本発明の超音波モータに用いる圧電
セラミックス円柱を示す斜視図、第３図は本発明の超音
波モータに用いる圧電セラミックス円柱の断面図、第３
図（ａ）は電極32,34を（＋）、電極31,33を（−）にし
て電圧を印加した場合の分極の向きを示す図、第３図
（ｂ）は第３図（ａ）のように分極した圧電セラミック
ス円柱において，電極33,34を（＋）、電極31,32を
（−）にして印加した場合の断面の歪みを示す図、第４
図（ａ）及び第４図（ｂ）は圧電セラミックス円柱に交
流電圧を加えた場合の振動状態の説明図、第５図は圧電
セラミックス円柱の振動の節を固定するためのリング状
支持枠を示す斜視図、第６図は本発明の超音波モータに
おいて圧電セラミックス円柱をリング状支持枠で支持
し、さらに円筒状外枠で支持した場合の斜視図、第７図
及び第８図は従来の超音波モータの構造例の説明に供す
る図である。 図中11は圧電セラミックス円柱、12はリング状支持枠、
13はカップ状ローター、14は円筒状外枠、16はリード線
引き出し穴、17は軸受け、31,32,33,34は電極、51は金
属板、52,53は圧電セラミック円板である。
す斜視図、第２図は本発明の超音波モータに用いる圧電
セラミックス円柱を示す斜視図、第３図は本発明の超音
波モータに用いる圧電セラミックス円柱の断面図、第３
図（ａ）は電極32,34を（＋）、電極31,33を（−）にし
て電圧を印加した場合の分極の向きを示す図、第３図
（ｂ）は第３図（ａ）のように分極した圧電セラミック
ス円柱において，電極33,34を（＋）、電極31,32を
（−）にして印加した場合の断面の歪みを示す図、第４
図（ａ）及び第４図（ｂ）は圧電セラミックス円柱に交
流電圧を加えた場合の振動状態の説明図、第５図は圧電
セラミックス円柱の振動の節を固定するためのリング状
支持枠を示す斜視図、第６図は本発明の超音波モータに
おいて圧電セラミックス円柱をリング状支持枠で支持
し、さらに円筒状外枠で支持した場合の斜視図、第７図
及び第８図は従来の超音波モータの構造例の説明に供す
る図である。 図中11は圧電セラミックス円柱、12はリング状支持枠、
13はカップ状ローター、14は円筒状外枠、16はリード線
引き出し穴、17は軸受け、31,32,33,34は電極、51は金
属板、52,53は圧電セラミック円板である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白鳥 晃 宮城県仙台市郡山６丁目７番１号 東北金 属工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−220781（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−106077（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】圧電セラミックス円柱の側面に設けられた
長さ方向に平行な複数対の電極を有し、該圧電セラミッ
クス円柱の端面が円を含む楕円運動を行う圧電楕円運動
振動子と、該圧電楕円運動振動子の少なくとも一方の端
部に配された楕円運動−回転変換部材と、該圧電セラミ
ックス円柱の振動の節に設けられた絶縁材料よりなる支
持部材とを有し、前記圧電楕円運動振動子の楕円運動を
前記楕円運動−回転変換部材により回転運動に変換して
回転出力を得る超音波モータにおいて、 前記支持部材は、前記電極と対応した位置に導体パター
ンが形成されたリング形状を有し、前記電極と前記導体
パターンとを電気的に接続し、前記導体パターンより外
部リードを引き出したことを特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63233803A JPH074074B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63233803A JPH074074B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0284078A JPH0284078A (ja) | 1990-03-26 |
| JPH074074B2 true JPH074074B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=16960830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63233803A Expired - Lifetime JPH074074B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH074074B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2977253B2 (ja) * | 1990-09-04 | 1999-11-15 | 三菱重工業株式会社 | 中空型超音波モータ |
| JP3245245B2 (ja) * | 1993-02-05 | 2002-01-07 | 沖電気工業株式会社 | 超音波モータ及び超音波搬送装置 |
| JP3041242B2 (ja) * | 1996-06-28 | 2000-05-15 | 株式会社アルテクス | 超音波振動用共振器の支持装置 |
| DE69936300T2 (de) | 1998-12-21 | 2008-06-19 | Seiko Epson Corp. | Piezoelektrischer aktor, uhrwerk und tragbares bauelement |
| US7170214B2 (en) * | 2003-09-08 | 2007-01-30 | New Scale Technologies, Inc. | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor |
| JP4550620B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2010-09-22 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電アクチュエータおよびそれを用いた電子機器 |
| KR100691270B1 (ko) * | 2005-08-05 | 2007-03-12 | 삼성전기주식회사 | 압전 스테이터의 노달 지점을 자동으로 찾아 지지하는 구조 |
| KR100691269B1 (ko) | 2005-08-05 | 2007-03-12 | 삼성전기주식회사 | 압전 초음파 모터 |
| JP4296196B2 (ja) | 2006-11-15 | 2009-07-15 | シーケーディ株式会社 | 真空弁 |
| JP5153185B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2013-02-27 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置及び振動子 |
-
1988
- 1988-09-20 JP JP63233803A patent/JPH074074B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0284078A (ja) | 1990-03-26 |
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