JPH0739288B2 - デイスク基板搬送装置 - Google Patents
デイスク基板搬送装置Info
- Publication number
- JPH0739288B2 JPH0739288B2 JP60207566A JP20756685A JPH0739288B2 JP H0739288 B2 JPH0739288 B2 JP H0739288B2 JP 60207566 A JP60207566 A JP 60207566A JP 20756685 A JP20756685 A JP 20756685A JP H0739288 B2 JPH0739288 B2 JP H0739288B2
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- JP
- Japan
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- disk substrate
- disc
- substrate
- dust
- moves
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- Expired - Lifetime
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- Manipulator (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Auxiliary Methods And Devices For Loading And Unloading (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は光ディスク等の高密度に信号を記録するディス
クの製造装置において、ディスク基板を搬送するディス
ク基板搬送装置に関するものである。
クの製造装置において、ディスク基板を搬送するディス
ク基板搬送装置に関するものである。
従来の技術 光ディスクはサブミクロンオーダーの信号をその表面に
記録するものであり、その製造は厳重にクリーン度が管
理されたクリーンルームの中で行なわれている。又、近
年はビデオディスクやコンパクトディスク等の民生用用
途だけではなく、コンピュータのメモリーとしての光デ
ィスクの使用が行なわれつつある。それにつれてディス
ク自体に欠陥の少ない高品質が益々要求されている。従
来、光ディスクの製造プロセスはオペレータの手による
手動操作が大半であったが、前記したような事情等によ
り、よりクリーンな製造プロセスの開発が求められてお
り、人の手によらない自動化プロセスが考えられてい
る。空気中の塵埃を取り除いたクリーンルーム内での作
業においては人間が発塵源になることが報告されてい
る。従って、工程中のディスク原盤又はディスクとオペ
レータをできる限り接触させないことが欠陥の少ないデ
ィスクを製造させるための１つの方策である。又、生産
性の向上のために製造プロセスをロボットにより自動化
することが検討されている。
記録するものであり、その製造は厳重にクリーン度が管
理されたクリーンルームの中で行なわれている。又、近
年はビデオディスクやコンパクトディスク等の民生用用
途だけではなく、コンピュータのメモリーとしての光デ
ィスクの使用が行なわれつつある。それにつれてディス
ク自体に欠陥の少ない高品質が益々要求されている。従
来、光ディスクの製造プロセスはオペレータの手による
手動操作が大半であったが、前記したような事情等によ
り、よりクリーンな製造プロセスの開発が求められてお
り、人の手によらない自動化プロセスが考えられてい
る。空気中の塵埃を取り除いたクリーンルーム内での作
業においては人間が発塵源になることが報告されてい
る。従って、工程中のディスク原盤又はディスクとオペ
レータをできる限り接触させないことが欠陥の少ないデ
ィスクを製造させるための１つの方策である。又、生産
性の向上のために製造プロセスをロボットにより自動化
することが検討されている。
以下、図面を参照しながら上述した従来の自動化された
製造プロセスの中におけるディスク基板の搬送装置につ
いて説明する。ディスクの製造プロセスはその原盤であ
るスタンパーを作るまでのマスタリングプロセスとスタ
ンパーによって多数のレプリカを作るデュプリケーショ
ンプロセスの２つに大きく分けることができる。しか
し、その何れのプロセスにおいても１ケ所で複数の処理
ができるのではなく、ディスク原盤又はディスクは１つ
の処理が終ると次の工程場所へと移動して行き連続的に
順次処理が行なわれる。第３図はそのディスク原盤又は
ディスク（以下ディスク基板と言う。）の従来の搬送装
置を示したものである。図において、１はディスク基
板、2a,2bはディスク基板１を支持するための爪、3a,3b
は爪2a,2bが固定されていて図示されない駆動機構によ
り爪2a,2bをディスク基板１の径方向に移動させるガイ
ドロッド、４は前記駆動機構を含むディスク基板挟持部
材、５はディスク基板挟持部材４を先端に固定して上下
動する可動部材、６は可動部材５を上下に動かす駆動機
構を含み且つガイド７に沿って各処理工程間を移動する
搬送部材であり、ガイド７に沿って動く駆動機構もその
中に含まれている。
製造プロセスの中におけるディスク基板の搬送装置につ
いて説明する。ディスクの製造プロセスはその原盤であ
るスタンパーを作るまでのマスタリングプロセスとスタ
ンパーによって多数のレプリカを作るデュプリケーショ
ンプロセスの２つに大きく分けることができる。しか
し、その何れのプロセスにおいても１ケ所で複数の処理
ができるのではなく、ディスク原盤又はディスクは１つ
の処理が終ると次の工程場所へと移動して行き連続的に
順次処理が行なわれる。第３図はそのディスク原盤又は
ディスク（以下ディスク基板と言う。）の従来の搬送装
置を示したものである。図において、１はディスク基
板、2a,2bはディスク基板１を支持するための爪、3a,3b
は爪2a,2bが固定されていて図示されない駆動機構によ
り爪2a,2bをディスク基板１の径方向に移動させるガイ
ドロッド、４は前記駆動機構を含むディスク基板挟持部
材、５はディスク基板挟持部材４を先端に固定して上下
動する可動部材、６は可動部材５を上下に動かす駆動機
構を含み且つガイド７に沿って各処理工程間を移動する
搬送部材であり、ガイド７に沿って動く駆動機構もその
中に含まれている。
以上のように構成されたディスク基板搬送装置の動作に
ついて以下に説明する。先ずある工程での処理が終った
ディスク基板１の上方に搬送部材６がガイド７に沿って
移動してくる。そして搬送部材６の中の駆動機構により
回動部材５及びその先端に取り付けられたディスク基板
挟持部材４が下方に移動する。そしてガイドロッド3a及
び3bがディスク基板１を爪2a及び2bで挟持するように動
く。その後再び可動部材５及びディスク基板挟持部材４
が上方に移動する。そして所定の高さに移動すると、次
の処理が行なわれるところまで搬送部材６が移動する。
それからは逆の動作でディスク基板１を次のステージの
上に載置する。
ついて以下に説明する。先ずある工程での処理が終った
ディスク基板１の上方に搬送部材６がガイド７に沿って
移動してくる。そして搬送部材６の中の駆動機構により
回動部材５及びその先端に取り付けられたディスク基板
挟持部材４が下方に移動する。そしてガイドロッド3a及
び3bがディスク基板１を爪2a及び2bで挟持するように動
く。その後再び可動部材５及びディスク基板挟持部材４
が上方に移動する。そして所定の高さに移動すると、次
の処理が行なわれるところまで搬送部材６が移動する。
それからは逆の動作でディスク基板１を次のステージの
上に載置する。
発明が解決しようとする問題点 上記のような自動搬送装置においては、オペレータがデ
ィスク基板を取り扱うことがないので、オペレータより
生じる塵埃等がディスク基板を汚染することはないが、
駆動部分のギヤや摺動部よりゴミや金属粉が生じてそれ
がディスク基板上に付着することが問題となっている。
ここで言う駆動部分とは搬送部材６内にあってガイド７
に沿って搬送部材６を動かす機構或いは同じく搬送部材
６内にあって可動部材５を上下に動かす機構、及びディ
スク基板挟持部材４にあってガイドロッド3a及び3bを水
平に動かす機構のことである。一般にこのような装置又
はクリーンルームでは、上方に高性能のフィルターを設
けて清浄な空気を常に上から下に向かって流している。
従って、ゴミ等の発生の可能性のある機構部をディスク
基板の下方に設けることが有利とされている。しかしデ
ィスク基板の処理の内容によってそのような構成を取れ
ない場合も多くある。又、装置上方又はクリーンルーム
天井に設けられたフィルターも完全にゴミを取り除いて
いるわけではなく、空気中にはある程度の塵埃が常に浮
遊しており、それが搬送中にディスク基板表面に付着
し、ドロップアウトの原因となっている。
ィスク基板を取り扱うことがないので、オペレータより
生じる塵埃等がディスク基板を汚染することはないが、
駆動部分のギヤや摺動部よりゴミや金属粉が生じてそれ
がディスク基板上に付着することが問題となっている。
ここで言う駆動部分とは搬送部材６内にあってガイド７
に沿って搬送部材６を動かす機構或いは同じく搬送部材
６内にあって可動部材５を上下に動かす機構、及びディ
スク基板挟持部材４にあってガイドロッド3a及び3bを水
平に動かす機構のことである。一般にこのような装置又
はクリーンルームでは、上方に高性能のフィルターを設
けて清浄な空気を常に上から下に向かって流している。
従って、ゴミ等の発生の可能性のある機構部をディスク
基板の下方に設けることが有利とされている。しかしデ
ィスク基板の処理の内容によってそのような構成を取れ
ない場合も多くある。又、装置上方又はクリーンルーム
天井に設けられたフィルターも完全にゴミを取り除いて
いるわけではなく、空気中にはある程度の塵埃が常に浮
遊しており、それが搬送中にディスク基板表面に付着
し、ドロップアウトの原因となっている。
本発明はこのような問題点を解決するもので、たとえ搬
送機構部をディスク基板の上方に設けざるを得ない場合
においても、その駆動部その他からの塵埃をディスク表
面に付着させないようにすることを目的とするものであ
る。
送機構部をディスク基板の上方に設けざるを得ない場合
においても、その駆動部その他からの塵埃をディスク表
面に付着させないようにすることを目的とするものであ
る。
問題点を解決するための手段 この問題点を解決するために本発明は、ディスク基板の
処理面に近接対向して保持されて前記ディスク基板と共
に移動する遮蔽板と、この遮蔽板に設けられて前記ディ
スク基板の処理面と前記遮蔽板との間に清浄な乾燥気体
を送り込み静圧気体膜を形成させる気体供給部とを有し
たものである。
処理面に近接対向して保持されて前記ディスク基板と共
に移動する遮蔽板と、この遮蔽板に設けられて前記ディ
スク基板の処理面と前記遮蔽板との間に清浄な乾燥気体
を送り込み静圧気体膜を形成させる気体供給部とを有し
たものである。
作用 この構成により、ディスク基板処理面とそれに近接対向
させた遮蔽板との間に送り込まれた清浄な気体はディス
ク基板の外周から外部に流出するため、搬送駆動部から
の塵埃や外部から浮遊して来た塵埃がディスク基板の表
面に付着することがない。
させた遮蔽板との間に送り込まれた清浄な気体はディス
ク基板の外周から外部に流出するため、搬送駆動部から
の塵埃や外部から浮遊して来た塵埃がディスク基板の表
面に付着することがない。
実施例 以下、本発明の実施例について、図面に基づいて説明す
る。
る。
先ず第１図に示す第１実施例について説明する。
図において、11はディスク基板で、上面が処理面になっ
ている。12a,12bはディスク基板11を支持する爪、13a,1
3bは爪12a,12bを固定したガイドロッド、14は保持部材
であり、ロッド13a,13bを動かす駆動機構が含まれてい
る。15は保持部材14を先端に固定した可動部材、16は搬
送部材であり、可動部材15を上下に動かす機構を含んで
いる。又、搬送部材16はガイド17に沿って移動可能であ
り、その駆動機構は搬送部材16の中に含まれても良い
し、外部に設けても良い。18は保持部材14に取り付けら
れてディスク基板11の処面めに近接対向し、略その表面
を覆うとともに前記ディスク基板11と共に移動する遮蔽
板であり、その中央付近にディスク基板11処理面に対向
して１つ又は複数個の孔（気体供給部）19が設けられて
いて、その孔19よりコイルチューブ20を通して外部から
送られてきた清浄な乾燥気体を吹き出している。
ている。12a,12bはディスク基板11を支持する爪、13a,1
3bは爪12a,12bを固定したガイドロッド、14は保持部材
であり、ロッド13a,13bを動かす駆動機構が含まれてい
る。15は保持部材14を先端に固定した可動部材、16は搬
送部材であり、可動部材15を上下に動かす機構を含んで
いる。又、搬送部材16はガイド17に沿って移動可能であ
り、その駆動機構は搬送部材16の中に含まれても良い
し、外部に設けても良い。18は保持部材14に取り付けら
れてディスク基板11の処面めに近接対向し、略その表面
を覆うとともに前記ディスク基板11と共に移動する遮蔽
板であり、その中央付近にディスク基板11処理面に対向
して１つ又は複数個の孔（気体供給部）19が設けられて
いて、その孔19よりコイルチューブ20を通して外部から
送られてきた清浄な乾燥気体を吹き出している。
以上のように構成された搬送装置について、その動作を
説明する。ある工程での処理が終るとディスク基板11の
上方に搬送部材16が移動して来る。そのとき保持部材14
は上の位置にあり、爪12a,12bは開いた状態にある。保
持部材14が下降し、爪12a,12bの受部がディスク基板11
の下面より下になったところで停止する。遮蔽板18の孔
19からは清浄な気体が既に流出されている。次にロッド
13a,13bの動きによって爪12a,12bが閉じてディスク基板
11が挟持される。その後、保持部材14は上昇し、定位置
で停止する。そして搬送部材16がガイド17に沿って動き
始め、次の工程のところまで移動する。それからは上記
の動作と逆の動作によりディスク基板11を処理の行なわ
れるステージの上に載置する。この動作が必要な工程を
終るまで繰り返される。
説明する。ある工程での処理が終るとディスク基板11の
上方に搬送部材16が移動して来る。そのとき保持部材14
は上の位置にあり、爪12a,12bは開いた状態にある。保
持部材14が下降し、爪12a,12bの受部がディスク基板11
の下面より下になったところで停止する。遮蔽板18の孔
19からは清浄な気体が既に流出されている。次にロッド
13a,13bの動きによって爪12a,12bが閉じてディスク基板
11が挟持される。その後、保持部材14は上昇し、定位置
で停止する。そして搬送部材16がガイド17に沿って動き
始め、次の工程のところまで移動する。それからは上記
の動作と逆の動作によりディスク基板11を処理の行なわ
れるステージの上に載置する。この動作が必要な工程を
終るまで繰り返される。
以上のように本実施例によれば、ディスク基板11の処理
面に近接対向して保持された遮蔽板18を設け、この遮蔽
板18のディスク基板対向面に設けられた孔19より清浄な
乾燥気体を流出し、ディスク基板11との間に静圧気体膜
（エアーベアリングともいう）を形成し気体を充満させ
ているので、搬送駆動部から発生するゴミや周囲空気中
の浮遊塵埃がディスク基板11の処理面に付着することが
ない。
面に近接対向して保持された遮蔽板18を設け、この遮蔽
板18のディスク基板対向面に設けられた孔19より清浄な
乾燥気体を流出し、ディスク基板11との間に静圧気体膜
（エアーベアリングともいう）を形成し気体を充満させ
ているので、搬送駆動部から発生するゴミや周囲空気中
の浮遊塵埃がディスク基板11の処理面に付着することが
ない。
ところで第１図に示す実施例ではディスク基板11を爪12
a,12bによって挟持して持ち上げて搬送するメカニズム
について説明したが、本発明はそれに限られるものでは
ない。
a,12bによって挟持して持ち上げて搬送するメカニズム
について説明したが、本発明はそれに限られるものでは
ない。
次に第２図に示す第２実施例について説明する。第２図
において、21はディスク基板、22は搬送部であり、ディ
スク基板21を載せるステージ23及びディスク基板21の処
理面に近接対向する遮蔽板24を取り付けたアーム25を有
している。アーム25は回動軸26の周りに図示されない機
構により回動することができる。27は送りガイドであ
り、これに沿って搬送部22は紙面に垂直な向きに図示さ
れない駆動機構により移動する。この実施例においても
ディスク基板21に近接対向して保持された遮蔽板24の中
央付近から清浄な気体が流出されていて、ディスク基板
21との間に静圧気体膜を形成している。そのために清浄
な気体が常にディスク基板21と遮蔽板24の間から外に向
って流出し、外部からの塵埃の進入を防いでいる。又、
形成された静圧気体膜によりディスク基板21の表面には
若干の下向きの圧力が発生し、ディスク基板21をステー
ジ23に押し付けている。それにより搬送中のディスク基
板21の振動やガタつきをなくしている。この場合も遮蔽
板24が気体膜形成板の作用をしている。
において、21はディスク基板、22は搬送部であり、ディ
スク基板21を載せるステージ23及びディスク基板21の処
理面に近接対向する遮蔽板24を取り付けたアーム25を有
している。アーム25は回動軸26の周りに図示されない機
構により回動することができる。27は送りガイドであ
り、これに沿って搬送部22は紙面に垂直な向きに図示さ
れない駆動機構により移動する。この実施例においても
ディスク基板21に近接対向して保持された遮蔽板24の中
央付近から清浄な気体が流出されていて、ディスク基板
21との間に静圧気体膜を形成している。そのために清浄
な気体が常にディスク基板21と遮蔽板24の間から外に向
って流出し、外部からの塵埃の進入を防いでいる。又、
形成された静圧気体膜によりディスク基板21の表面には
若干の下向きの圧力が発生し、ディスク基板21をステー
ジ23に押し付けている。それにより搬送中のディスク基
板21の振動やガタつきをなくしている。この場合も遮蔽
板24が気体膜形成板の作用をしている。
発明の効果 以上のように本発明によれば、ディスク基板処理面に近
接対向するとともにディスク基板と共に移動する遮蔽板
を設け、この遮蔽板からディスク基板との間に正常な乾
燥空気を送り込んで静圧気体膜を形成させているので、
ディスク基板と遮蔽板との間の狭い空間に常に一定量の
清浄な空気を提供でき、従って、搬送駆動部や周囲空気
中からのゴミや塵埃がディスク基板上に付着することが
ない。又前工程中に付着したゴミ等は遮蔽板から流出さ
れる気体によって吹き飛ばされる。
接対向するとともにディスク基板と共に移動する遮蔽板
を設け、この遮蔽板からディスク基板との間に正常な乾
燥空気を送り込んで静圧気体膜を形成させているので、
ディスク基板と遮蔽板との間の狭い空間に常に一定量の
清浄な空気を提供でき、従って、搬送駆動部や周囲空気
中からのゴミや塵埃がディスク基板上に付着することが
ない。又前工程中に付着したゴミ等は遮蔽板から流出さ
れる気体によって吹き飛ばされる。
第１図は本発明の第１実施例におけるディスク基板搬送
装置の正面図、第２図は本発明の第２実施例におけるデ
ィスク基板搬送装置の正面図、第３図は従来のディスク
基板搬送装置の正面図である。 11……ディスク基板、12a,12b……爪、14……保持部
材、15……可動部材、16……搬送部材、17……ガイド、
18……遮蔽板、19……孔、21……ディスク基板、22……
搬送部、23……ステージ、24……遮蔽板、25……アー
ム、27……送りガイド
装置の正面図、第２図は本発明の第２実施例におけるデ
ィスク基板搬送装置の正面図、第３図は従来のディスク
基板搬送装置の正面図である。 11……ディスク基板、12a,12b……爪、14……保持部
材、15……可動部材、16……搬送部材、17……ガイド、
18……遮蔽板、19……孔、21……ディスク基板、22……
搬送部、23……ステージ、24……遮蔽板、25……アー
ム、27……送りガイド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ６５Ｇ 47/90 Ｚ 7633−3Ｆ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ
Claims (1)
- 【請求項１】ディスク基板の処理面に近接対向して保持
されて前記ディスク基板と共に移動する遮蔽板と、この
遮蔽板に設けられて前記ディスク基板の処理面と前記遮
蔽板との間に清浄な乾燥気体を送り込み静圧気体膜を形
成される気体供給部とを有するディスク基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60207566A JPH0739288B2 (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 | デイスク基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60207566A JPH0739288B2 (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 | デイスク基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6265827A JPS6265827A (ja) | 1987-03-25 |
| JPH0739288B2 true JPH0739288B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=16541867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60207566A Expired - Lifetime JPH0739288B2 (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 | デイスク基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0739288B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL9201825A (nl) * | 1992-10-21 | 1994-05-16 | Od & Me Bv | Inrichting voor het vervaardigen van een matrijs voor een schijfvormige registratiedrager. |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5022788A (ja) * | 1973-07-02 | 1975-03-11 | ||
| JPS5994840A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-05-31 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
-
1985
- 1985-09-18 JP JP60207566A patent/JPH0739288B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6265827A (ja) | 1987-03-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |