JPH0738956U - 漏洩磁気検出センサ - Google Patents
漏洩磁気検出センサInfo
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- JPH0738956U JPH0738956U JP6913893U JP6913893U JPH0738956U JP H0738956 U JPH0738956 U JP H0738956U JP 6913893 U JP6913893 U JP 6913893U JP 6913893 U JP6913893 U JP 6913893U JP H0738956 U JPH0738956 U JP H0738956U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型で漏洩磁束を高感度に検出できる漏洩磁
気検出センサを提供すること。 【構成】 磁化された被検査材の表面や内部欠陥より漏
洩する磁場を検出する漏洩磁気検出センサにおいて、磁
気感受面にコイル11aを作成したコイルセンサ11b
の磁気感受面の反対側に、この磁気感受面と所定の間隔
を存して強磁性体11cを配置し、漏洩磁束を強磁性体
11cに引き寄せ、その多くをコイルセンサ11bの磁
気感受面を集中的に横切らせる。
気検出センサを提供すること。 【構成】 磁化された被検査材の表面や内部欠陥より漏
洩する磁場を検出する漏洩磁気検出センサにおいて、磁
気感受面にコイル11aを作成したコイルセンサ11b
の磁気感受面の反対側に、この磁気感受面と所定の間隔
を存して強磁性体11cを配置し、漏洩磁束を強磁性体
11cに引き寄せ、その多くをコイルセンサ11bの磁
気感受面を集中的に横切らせる。
Description
【0001】
本考案は、強磁性体である被検査材の表面や表面近傍から漏洩する磁束を検出 する漏洩磁束探傷法において用いられる漏洩磁気検出センサに関するものである 。
【0002】
漏洩磁束探傷法は、被検査材を磁化した時に表面疵等から漏洩する磁束を検出 して表面疵等を探傷する方法であり、その漏洩磁束の検出に用いる漏洩磁気検出 センサとして、磁気ダイオード等の半導体磁気センサや、フェライトに導線を巻 回したり、あるいは図6に示すような平面的に導線1aを巻回した2つのコイル 1を磁気感受面に配置したコイルセンサ2がある。この図6に示すコイルセンサ 2は、磁気感受面に対して垂直方向の磁場を検出し、2つのコイル1を用いて空 間磁場の差動出力を得る構造である。
【0003】 この漏洩磁気検出センサのうち、半導体磁気センサは検出感度が高く、形状も 小さく、さらに直流磁場の計測が可能なために漏洩磁束探傷法用の漏洩磁気検出 センサとして広く用いられている。また、コイルセンサは構造が簡単であり、環 境特性(耐熱性)が良いので交流の漏洩磁束探傷法用の漏洩磁気検出センサとし て用いられている。
【0004】
しかしながら、前記した漏洩磁気検出センサは両者とも次のような問題を有し ている。 まず、半導体磁気センサは温度特性が悪く高温での使用が不可能なために冷却 機能を有するセンサホルダーに収納する必要がある。従って、センサホルダーが 複雑かつ大型,大重量になって保守性や被検査材表面への追従性等に問題がある 。また、一般に周波数特性も悪いので、高周波磁化法を適用する漏洩磁束探傷法 用の漏洩磁気検出センサとして用いることができない。
【0005】 次に、コイルセンサは磁気ダイオード等と比較して磁気感度が低いので、微小 な欠陥の探傷を行う場合には検出感度が低いという問題がある。なお、コイルセ ンサの検出感度はコイルの巻数に比例するので、感度を高めるためには巻数を多 くすればよいが、コイルの巻数を多くすると寸法が大きくなり、微小欠陥から生 じる非常に狭い漏洩磁束を検出するには不適当である。
【0006】 本考案は、上記した問題点に鑑みてなされたものであり、小型で漏洩磁束を高 感度に検出できる漏洩磁気検出センサを提供することを目的としている。
【0007】
上記した目的を達成するために、本考案の漏洩磁気検出センサは、磁化された 被検査材の表面や内部欠陥より漏洩する磁場を検出する漏洩磁気検出センサにお いて、平面コイルの磁気感受面の反対側に、この磁気感受面と所定の間隔を存し て強磁性体を配置しているのである。
【0008】
本考案の漏洩磁気検出センサは、空間中の透磁率に比べて非常に大きい透磁率 を有する強磁性体を、平面コイルの磁気感受面の反対側に、この磁気感受面と所 定の間隔を存して配置しているので、漏洩磁束は強磁性体に引き寄せられる。こ の引き寄せられた漏洩磁束の多くは、図5(a)に示すように、コイルセンサ2 の磁気感受面2aを集中的に横切ることになって検出感度が向上する。なお、図 5(b)はコイルセンサ2単体の場合の漏洩磁束分布図で、この場合には漏洩磁 束は浅い角度で磁気感受面2aを通過するので、磁気感受面2aの垂直磁場成分 が小さく検出漏洩磁場の出力が小さい。なお、図5中の3は強磁性体、4は被検 査材、4aは欠陥を示す。
【0009】
【実施例】 以下、本考案の漏洩磁気検出センサを図1〜図3に示す実施例に基づいて説明 する。 図1は本考案の漏洩磁気検出センサの1実施例の説明図、図2(a)(b)は 本考案の漏洩磁気検出センサを構成する強磁性体の形状の説明図、図3は本考案 の漏洩磁気検出センサを配置した実験装置の概略図である。
【0010】 図1〜図3において、11は本考案の漏洩磁気検出センサであり、アルミ蒸着 によって作成されたコイル11a(幅2mm,長さ4mm)を例えばシリコンウ エハの正面(磁気感受面)に配置したコイルセンサ11bの背面に、このコイル 11aと略同じ大きさを有する直方体形状(幅2mm,長さ4mm,高さ0.5 mm)の強磁性体11c、例えばフェライトを接着し、全体を成形したものであ る。なお図1中の12は出力端子を示す。
【0011】 前記強磁性体11cの材質としては、本実施例で示したフェライトに限るもの ではなく、電磁鋼板,アモルファス,パーマロイ等でもよい。また、強磁性体1 1cの形状は、本実施例のような直方体に限らず、図2(a)に示すようなアー チ型や、(b)に示すような分離したものであっても同等の効果がある。さらに 、強磁性体11cとして、フェライト等の強磁性体の表面に蒸着やめっき等でコ イルを直接形成したものを使用した場合には強磁性体とコイルとの距離を非常に 小さくできるため、さらに高感度化を実現できる。
【0012】 本考案の漏洩磁気検出センサ11は上記したような構成であり、次に本考案の 効果を確認するために行った実験結果について説明する。 図3に示すように、炭素鋼鋼管13に、人工欠陥13aとして軸方向に深さ0 .1mm,0.15mm,0.23mm,0.33mmのノッチ状欠陥(幅0. 1mm,長さ20mm)を4個、放電加工したものを、電磁鋼板を積層した交流 電磁石14で磁化し本考案の漏洩磁気検出センサ11を用いて前記人工欠陥13 aを検出した。なお、比較として、コイルセンサ単体でも同じ条件で人工欠陥1 3aを検出した。
【0013】 その結果、本考案の漏洩磁気検出センサ11を使用した場合〔図4(a)〕に は、従来のコイルセンサ単体の場合〔図4(b)〕と比較して出力感度が2倍に なっているのが確認できた。
【0014】
以上説明したように、本考案の漏洩磁気検出センサは、空間中の透磁率に比べ て非常に大きい透磁率を有する強磁性体を、平面コイルの磁気感受面の反対側に この磁気感受面と所定の間隔を存して配置するもので、漏洩磁束は強磁性体に引 き寄せられてその多くがコイルセンサの磁気感受面を集中的に横切る。従って、 小型に構成できて、かつ漏洩磁気検出センサの検出感度が向上し、微細な欠陥の 探傷が可能となる。
【図1】本考案の漏洩磁気検出センサの1実施例の説明
図である。
図である。
【図2】(a)(b)は本考案の漏洩磁気検出センサを
構成する強磁性体の形状の説明図である。
構成する強磁性体の形状の説明図である。
【図3】本考案の漏洩磁気検出センサを配置した実験装
置の概略図である。
置の概略図である。
【図4】(a)は本考案の漏洩磁気検出センサによる人
工欠陥探傷波形を、(b)は従来の漏洩磁気検出センサ
による人工欠陥探傷波形を示す図である。
工欠陥探傷波形を、(b)は従来の漏洩磁気検出センサ
による人工欠陥探傷波形を示す図である。
【図5】(a)は本考案の漏洩磁気検出センサによる漏
洩磁束分布を、(b)は従来の漏洩磁気検出センサによ
る漏洩磁束分布を示す図である。
洩磁束分布を、(b)は従来の漏洩磁気検出センサによ
る漏洩磁束分布を示す図である。
【図6】従来のコイルセンサの説明図である。
11 漏洩磁気検出センサ 11a コイル 11b コイルセンサ 11c 強磁性体
Claims (1)
- 【請求項1】 磁化された被検査材の表面や内部欠陥よ
り漏洩する磁場を検出する漏洩磁気検出センサにおい
て、平面コイルの磁気感受面の反対側に、この磁気感受
面と所定の間隔を存して強磁性体を配置したことを特徴
とする漏洩磁気検出センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6913893U JPH0738956U (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 漏洩磁気検出センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6913893U JPH0738956U (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 漏洩磁気検出センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0738956U true JPH0738956U (ja) | 1995-07-14 |
Family
ID=13393994
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6913893U Pending JPH0738956U (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 漏洩磁気検出センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0738956U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002033398A1 (fr) * | 2000-10-18 | 2002-04-25 | Kawasaki Steel Corporation | Capteur de fuites magnetiques d"un appareil de penetration magnetique |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP6913893U patent/JPH0738956U/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002033398A1 (fr) * | 2000-10-18 | 2002-04-25 | Kawasaki Steel Corporation | Capteur de fuites magnetiques d"un appareil de penetration magnetique |
JP2002195984A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-07-10 | Kawasaki Steel Corp | 磁気探傷装置の漏洩磁気検出センサ |
US6774627B2 (en) | 2000-10-18 | 2004-08-10 | Kawasaki Steel Corporation | Leak magnetism detection sensor for magnetic flaw detection system |
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