JPH0735696A - 粒子凝集検出除去装置 - Google Patents
粒子凝集検出除去装置Info
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- JPH0735696A JPH0735696A JP5182561A JP18256193A JPH0735696A JP H0735696 A JPH0735696 A JP H0735696A JP 5182561 A JP5182561 A JP 5182561A JP 18256193 A JP18256193 A JP 18256193A JP H0735696 A JPH0735696 A JP H0735696A
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】平面上に散布された粒子が凝集していると、周
囲に影響を与えることなく、その凝集粒子のみを除去し
て不良品を救済する。 【構成】スペーサ粒子2を散布したガラス基板1をカメ
ラ4で撮像した画像情報を画像処理部5に入力し、2値
化処理部6,ラベリング処理部7,面積判定部8,重心
位置検出部9によって粒子凝集部分2aの位置と個数を
検出する。その情報を受けた制御コンピュータ13は、
粒子凝集部分2aが吸引ノズル11の真下に来るように
XYステージ3を制御し、吸引ノズル11から粒子凝集
部分2aの凝集粒子を局所的に吸引除去する。このよう
な位置合わせ,吸引除去は検出されたすべての粒子凝集
部分2aに対して実行される。
囲に影響を与えることなく、その凝集粒子のみを除去し
て不良品を救済する。 【構成】スペーサ粒子2を散布したガラス基板1をカメ
ラ4で撮像した画像情報を画像処理部5に入力し、2値
化処理部6,ラベリング処理部7,面積判定部8,重心
位置検出部9によって粒子凝集部分2aの位置と個数を
検出する。その情報を受けた制御コンピュータ13は、
粒子凝集部分2aが吸引ノズル11の真下に来るように
XYステージ3を制御し、吸引ノズル11から粒子凝集
部分2aの凝集粒子を局所的に吸引除去する。このよう
な位置合わせ,吸引除去は検出されたすべての粒子凝集
部分2aに対して実行される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、平面上に均一に散布さ
れているべき粒子が凝集しているか否かを検出し、粒子
凝集があった場合にその凝集粒子を除去するように構成
された粒子凝集検出除去装置に関する。
れているべき粒子が凝集しているか否かを検出し、粒子
凝集があった場合にその凝集粒子を除去するように構成
された粒子凝集検出除去装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば液晶パネルにおいては、対向する
ガラス基板間のセルギャップを基板全面にわたって均一
に保つために、その製造工程においてガラス基板平面上
に光透過性のスペーサ粒子を散布する。
ガラス基板間のセルギャップを基板全面にわたって均一
に保つために、その製造工程においてガラス基板平面上
に光透過性のスペーサ粒子を散布する。
【0003】ところが、この散布したスペーサ粒子がガ
ラス基板平面上で凝集を生じた場合、そのままでは液晶
パネルの表示特性に重大な悪影響を及ぼすため、粒子凝
集が生じたかどうかの検査を行うことが重要となってい
る。そして、粒子凝集が生じている場合には、その液晶
パネル半製品を不良品として処分してしまうか、あるい
は凝集粒子を除去するかしている。これへの対応とし
て、従来、次のような2つの方法がある。
ラス基板平面上で凝集を生じた場合、そのままでは液晶
パネルの表示特性に重大な悪影響を及ぼすため、粒子凝
集が生じたかどうかの検査を行うことが重要となってい
る。そして、粒子凝集が生じている場合には、その液晶
パネル半製品を不良品として処分してしまうか、あるい
は凝集粒子を除去するかしている。これへの対応とし
て、従来、次のような2つの方法がある。
【0004】第1の方法は、ガラス基板平面上にスペー
サ粒子が散布された状態において、ガラス基板平面を光
学的に検査することにより、散布されたスペーサ粒子が
凝集している部分が発見された場合、そのガラス基板を
不良品として処分するものである。
サ粒子が散布された状態において、ガラス基板平面を光
学的に検査することにより、散布されたスペーサ粒子が
凝集している部分が発見された場合、そのガラス基板を
不良品として処分するものである。
【0005】また、第2の方法は、ガラス基板平面上に
スペーサ粒子が散布された状態において、スペーサ粒子
の凝集が発見された場合、ガラス基板平面の全面に対し
てほぼ均一に弱い吸引作用を与え、凝集粒子を除去しよ
うとするものである。
スペーサ粒子が散布された状態において、スペーサ粒子
の凝集が発見された場合、ガラス基板平面の全面に対し
てほぼ均一に弱い吸引作用を与え、凝集粒子を除去しよ
うとするものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スペー
サ粒子散布後の粒子凝集を検出しあるいは凝集粒子を除
去する上記した従来の方法には、次のような問題点があ
る。
サ粒子散布後の粒子凝集を検出しあるいは凝集粒子を除
去する上記した従来の方法には、次のような問題点があ
る。
【0007】すなわち、第1の方法にあっては、ガラス
基板平面上にスペーサ粒子が散布された状態において、
ガラス基板平面を光学的に検査することによりスペーサ
粒子の凝集部分が発見された場合、そのガラス基板を不
良品として処分してしまうので、液晶パネル製造におけ
るスペーサ粒子散布工程の歩留まりが悪化し、液晶パネ
ルの製造コストを上昇させる原因となっていた。
基板平面上にスペーサ粒子が散布された状態において、
ガラス基板平面を光学的に検査することによりスペーサ
粒子の凝集部分が発見された場合、そのガラス基板を不
良品として処分してしまうので、液晶パネル製造におけ
るスペーサ粒子散布工程の歩留まりが悪化し、液晶パネ
ルの製造コストを上昇させる原因となっていた。
【0008】また、第2の方法にあっては、ガラス基板
平面上にスペーサ粒子が散布された状態において、ガラ
ス基板平面全面にわたってほぼ均一に弱い吸引作用を与
えて凝集粒子を除去しようとしたときに、同時に、正常
に散布されているスペーサ粒子をも吸引除去してしまう
可能性がきわめて高く、このことは、散布の均一化とい
う方向性は与えられても、ガラス基板平面に対するスペ
ーサ粒子の散布不足という新たな散布不良を生じさせ
る。
平面上にスペーサ粒子が散布された状態において、ガラ
ス基板平面全面にわたってほぼ均一に弱い吸引作用を与
えて凝集粒子を除去しようとしたときに、同時に、正常
に散布されているスペーサ粒子をも吸引除去してしまう
可能性がきわめて高く、このことは、散布の均一化とい
う方向性は与えられても、ガラス基板平面に対するスペ
ーサ粒子の散布不足という新たな散布不良を生じさせ
る。
【0009】本発明は、このような事情に鑑みて創案さ
れたものであって、平面上に粒子が散布されている状態
において、散布された粒子が凝集している部分が検出さ
れた場合、それ以外の正常に散布されている粒子の状態
を損ねることなく、その凝集粒子のみを除去することに
より、不良品を救済することを目的とする。
れたものであって、平面上に粒子が散布されている状態
において、散布された粒子が凝集している部分が検出さ
れた場合、それ以外の正常に散布されている粒子の状態
を損ねることなく、その凝集粒子のみを除去することに
より、不良品を救済することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため次のような構成をとる。その最大の特徴
は、粒子凝集部分を個別的に検出し、個々の粒子凝集部
分に対して局所的に吸引除去を行うように構成したとい
う点にある。
達成するため次のような構成をとる。その最大の特徴
は、粒子凝集部分を個別的に検出し、個々の粒子凝集部
分に対して局所的に吸引除去を行うように構成したとい
う点にある。
【0011】すなわち、本発明に係る粒子凝集検出除去
装置は、平面上に粒子が散布された基板を固定してXY
方向に変位自在な手段と、前記粒子散布の基板を撮像す
る手段と、撮像によって得られた画像情報に基づいた画
像処理により粒子凝集部分の位置と個数を割り出す手段
と、その位置情報に基づいて粒子凝集部分を吸引位置に
移動させるよう前記基板の変位手段を駆動制御する手段
と、前記吸引位置に配置され基板平面上から粒子凝集部
分の凝集粒子を吸引除去する手段と、他の粒子凝集部分
に対しても同様の処理を前記個数情報が示す回数だけ繰
り返す手段とを備えたことを特徴とするものである。
装置は、平面上に粒子が散布された基板を固定してXY
方向に変位自在な手段と、前記粒子散布の基板を撮像す
る手段と、撮像によって得られた画像情報に基づいた画
像処理により粒子凝集部分の位置と個数を割り出す手段
と、その位置情報に基づいて粒子凝集部分を吸引位置に
移動させるよう前記基板の変位手段を駆動制御する手段
と、前記吸引位置に配置され基板平面上から粒子凝集部
分の凝集粒子を吸引除去する手段と、他の粒子凝集部分
に対しても同様の処理を前記個数情報が示す回数だけ繰
り返す手段とを備えたことを特徴とするものである。
【0012】
【作用】単数または複数の粒子凝集部分を自動的に検出
し、かつ、その粒子凝集部分に限定して吸引作用を働か
せ、粒子が正常に散布された他の部分に影響を及ぼすこ
となく、凝集粒子のみを局所的に吸引除去することがで
きる。
し、かつ、その粒子凝集部分に限定して吸引作用を働か
せ、粒子が正常に散布された他の部分に影響を及ぼすこ
となく、凝集粒子のみを局所的に吸引除去することがで
きる。
【0013】
【実施例】以下、本発明に係る粒子凝集検出除去装置の
一実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
一実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
【0014】図1は実施例の粒子凝集検出除去装置の概
略構成図である。図1において、1は液晶パネルのガラ
ス基板、2はガラス基板1の平面上に散布されているス
ペーサ粒子、2aは散布されたスペーサ粒子2のうちの
粒子凝集部分(1箇所とは限らず、複数箇所に分布して
いる可能性も当然にある)、3はガラス基板1を載置固
定し水平面内で2軸方向に移動自在なXYステージ、4
はスペーサ粒子2が散布されたガラス基板1を撮像する
カメラ、5はカメラ4から入力した画像情報に所定の処
理を施して粒子凝集部分2aを割り出す画像処理部であ
る。
略構成図である。図1において、1は液晶パネルのガラ
ス基板、2はガラス基板1の平面上に散布されているス
ペーサ粒子、2aは散布されたスペーサ粒子2のうちの
粒子凝集部分(1箇所とは限らず、複数箇所に分布して
いる可能性も当然にある)、3はガラス基板1を載置固
定し水平面内で2軸方向に移動自在なXYステージ、4
はスペーサ粒子2が散布されたガラス基板1を撮像する
カメラ、5はカメラ4から入力した画像情報に所定の処
理を施して粒子凝集部分2aを割り出す画像処理部であ
る。
【0015】この画像処理部5は、入力されてきた画像
情報を2値化する2値化処理部6と、2値化データに基
づいて粒子集合部分の個数と面積を求めるラベリング処
理を行うラベリング処理部7と、ラベリング処理の結果
に基づいて個々の粒子集合部分の面積を所定値と比較し
所定値より大きいときに粒子凝集があると判定する面積
判定部8と、粒子凝集があると判定された粒子集合部分
の面積重心のXY座標を演算によって求め、その重心位
置を粒子凝集部の位置情報として出力する重心位置検出
部9とから構成されている。したがって、これら2値化
処理部6,ラベリング処理部7,面積判定部8および重
心位置検出部9からなる画像処理部5は凝集部分検出手
段を構成している。
情報を2値化する2値化処理部6と、2値化データに基
づいて粒子集合部分の個数と面積を求めるラベリング処
理を行うラベリング処理部7と、ラベリング処理の結果
に基づいて個々の粒子集合部分の面積を所定値と比較し
所定値より大きいときに粒子凝集があると判定する面積
判定部8と、粒子凝集があると判定された粒子集合部分
の面積重心のXY座標を演算によって求め、その重心位
置を粒子凝集部の位置情報として出力する重心位置検出
部9とから構成されている。したがって、これら2値化
処理部6,ラベリング処理部7,面積判定部8および重
心位置検出部9からなる画像処理部5は凝集部分検出手
段を構成している。
【0016】10はXYステージ3の図示しない駆動部
を制御してXYステージ3を所定方向へ所定量だけ移動
させるステージ制御部、11は凝集しているスペーサ粒
子を負圧吸引作用によって除去する吸引ノズル、12は
吸引ノズル11の図示しない駆動部(真空ポンプまたは
吸引系のバルブ)を一定時間ずつ駆動制御する吸引制御
部、13は画像処理部5から受け取った粒子凝集部の位
置情報と個数情報に基づいてステージ制御部10と吸引
制御部12とを制御する制御コンピュータである。
を制御してXYステージ3を所定方向へ所定量だけ移動
させるステージ制御部、11は凝集しているスペーサ粒
子を負圧吸引作用によって除去する吸引ノズル、12は
吸引ノズル11の図示しない駆動部(真空ポンプまたは
吸引系のバルブ)を一定時間ずつ駆動制御する吸引制御
部、13は画像処理部5から受け取った粒子凝集部の位
置情報と個数情報に基づいてステージ制御部10と吸引
制御部12とを制御する制御コンピュータである。
【0017】次に、以上のように構成された粒子凝集検
出除去装置の動作を図2,図3に基づいて説明する。図
2は画像処理のフローチャート、図3は凝集粒子吸引除
去のフローチャートである。
出除去装置の動作を図2,図3に基づいて説明する。図
2は画像処理のフローチャート、図3は凝集粒子吸引除
去のフローチャートである。
【0018】スペーサ粒子2が散布されたガラス基板1
を、ホームポジションにあるXYステージ3上の所定位
置に載置固定する。カメラ4によってガラス基板1を撮
像し、得られた画像情報を画像処理部5(凝集部分検出
手段)に入力する(ステップS1)。画像処理部5にお
いて、2値化処理部6により入力されてきた画像情報を
予め設定されている閾値を基準として2値化する(ステ
ップS2)。なお、スペーサ粒子2の存在部分は非存在
部分に比べて暗くなる。得られた2値化データはラベリ
ング処理部7に送られ、ラベリング処理により、2値化
データに基づいて粒子集合部分の個数と面積を求める
(ステップS3)。面積判定部8は、ある1つの粒子集
合部分の面積を基準面積と比較し(ステップS4)、粒
子集合部分の面積の方が基準面積よりも大きいときは粒
子凝集があると判定し(ステップS5に進む)、小さい
ときは粒子凝集ではないと判定する(ステップS7に進
む)。粒子凝集があったと判定したとき、重心位置検出
部9は、その粒子凝集があったと判定した粒子集合部分
の面積重心のXY座標を算出し(ステップS5)、その
重心位置を粒子凝集部の位置情報として制御コンピュー
タ13に送出する(ステップS6)。以上のステップS
4〜S6の処理を、ラベリング処理によって検出した粒
子集合部分の数の回数だけ繰り返す(ステップS7)。
を、ホームポジションにあるXYステージ3上の所定位
置に載置固定する。カメラ4によってガラス基板1を撮
像し、得られた画像情報を画像処理部5(凝集部分検出
手段)に入力する(ステップS1)。画像処理部5にお
いて、2値化処理部6により入力されてきた画像情報を
予め設定されている閾値を基準として2値化する(ステ
ップS2)。なお、スペーサ粒子2の存在部分は非存在
部分に比べて暗くなる。得られた2値化データはラベリ
ング処理部7に送られ、ラベリング処理により、2値化
データに基づいて粒子集合部分の個数と面積を求める
(ステップS3)。面積判定部8は、ある1つの粒子集
合部分の面積を基準面積と比較し(ステップS4)、粒
子集合部分の面積の方が基準面積よりも大きいときは粒
子凝集があると判定し(ステップS5に進む)、小さい
ときは粒子凝集ではないと判定する(ステップS7に進
む)。粒子凝集があったと判定したとき、重心位置検出
部9は、その粒子凝集があったと判定した粒子集合部分
の面積重心のXY座標を算出し(ステップS5)、その
重心位置を粒子凝集部の位置情報として制御コンピュー
タ13に送出する(ステップS6)。以上のステップS
4〜S6の処理を、ラベリング処理によって検出した粒
子集合部分の数の回数だけ繰り返す(ステップS7)。
【0019】以上のようにして、粒子凝集部分2aの個
数と位置の情報が求められると、次に、粒子凝集部分2
aの吸引除去の工程へ進む。制御コンピュータ13には
画像処理部5より粒子凝集部分2aの位置情報と個数情
報とが送られてくる。制御コンピュータ13は、位置情
報に基づいてまず1番目の粒子凝集部分2aが吸引ノズ
ル11の真下に移動して停止するようにステージ制御部
10を制御する(ステップS11)。ステージ制御部1
0は、制御コンピュータ13からの指令に基づいてXY
ステージ3を駆動制御し、1番目の粒子凝集部分2aを
吸引ノズル11の真下に位置させる。次いで、制御コン
ピュータ13は、吸引ノズル11を一定時間にわたって
駆動するよう吸引制御部12を制御する(ステップS1
2〜S14)。吸引ノズル11による一定時間の吸引作
用により粒子凝集部分2aは吸引除去されることにな
る。この吸引作用は粒子凝集部分2aに対してのみ局所
的に機能する。検出した粒子凝集部分2aの個数分だけ
の吸引除去の処理が終わるまで、次の粒子凝集部分2a
を吸引ノズル11の真下に移動させ、局所的な吸引除去
を行う上記ステップS11〜S14の動作を繰り返す
(ステップS15)。
数と位置の情報が求められると、次に、粒子凝集部分2
aの吸引除去の工程へ進む。制御コンピュータ13には
画像処理部5より粒子凝集部分2aの位置情報と個数情
報とが送られてくる。制御コンピュータ13は、位置情
報に基づいてまず1番目の粒子凝集部分2aが吸引ノズ
ル11の真下に移動して停止するようにステージ制御部
10を制御する(ステップS11)。ステージ制御部1
0は、制御コンピュータ13からの指令に基づいてXY
ステージ3を駆動制御し、1番目の粒子凝集部分2aを
吸引ノズル11の真下に位置させる。次いで、制御コン
ピュータ13は、吸引ノズル11を一定時間にわたって
駆動するよう吸引制御部12を制御する(ステップS1
2〜S14)。吸引ノズル11による一定時間の吸引作
用により粒子凝集部分2aは吸引除去されることにな
る。この吸引作用は粒子凝集部分2aに対してのみ局所
的に機能する。検出した粒子凝集部分2aの個数分だけ
の吸引除去の処理が終わるまで、次の粒子凝集部分2a
を吸引ノズル11の真下に移動させ、局所的な吸引除去
を行う上記ステップS11〜S14の動作を繰り返す
(ステップS15)。
【0020】以上のようにして、自動的に、粒子凝集部
分2aの存在の有無を検出し、存在するときはその位置
情報および個数情報を求め、それらの情報に基づいて粒
子凝集部分2aに対してのみ局所的な吸引作用を与えて
凝集粒子を吸引除去するから、スペーサ粒子2の散布状
態が正常な部分には影響をほとんど与えることなく、散
布不良の凝集粒子のみを選択的に除去することができ
る。
分2aの存在の有無を検出し、存在するときはその位置
情報および個数情報を求め、それらの情報に基づいて粒
子凝集部分2aに対してのみ局所的な吸引作用を与えて
凝集粒子を吸引除去するから、スペーサ粒子2の散布状
態が正常な部分には影響をほとんど与えることなく、散
布不良の凝集粒子のみを選択的に除去することができ
る。
【0021】その結果、ガラス基板1の平面上における
スペーサ粒子2の散布の状態が全面にわたって均一化さ
れ、対向するガラス基板間のセルギャップが高精度なも
のとなり、液晶パネルの表示特性が向上する。また、ス
ペーサ粒子2の散布不良を生じていたガラス基板1の救
済の度合いが高まり、液晶パネルの製造の歩留まりが改
善される。
スペーサ粒子2の散布の状態が全面にわたって均一化さ
れ、対向するガラス基板間のセルギャップが高精度なも
のとなり、液晶パネルの表示特性が向上する。また、ス
ペーサ粒子2の散布不良を生じていたガラス基板1の救
済の度合いが高まり、液晶パネルの製造の歩留まりが改
善される。
【0022】なお、本発明は、液晶パネルにおけるガラ
ス基板に対して実施するほか、何らかの粒子が散布され
た平面基板に対しても実施することができる。また、本
発明を、例えばシリコンウエハ上のゴミや異物の検出除
去に適用することも考えられる。
ス基板に対して実施するほか、何らかの粒子が散布され
た平面基板に対しても実施することができる。また、本
発明を、例えばシリコンウエハ上のゴミや異物の検出除
去に適用することも考えられる。
【0023】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、粒子凝
集部分を自動的に検出し、その部分に限定して局所的に
吸引作用を与えて凝集粒子のみを除去するので、結果と
して、粒子の散布状態が均一な良品へと救済でき、歩留
まりの改善を図ることができるとともに製品コストを低
減することができる。
集部分を自動的に検出し、その部分に限定して局所的に
吸引作用を与えて凝集粒子のみを除去するので、結果と
して、粒子の散布状態が均一な良品へと救済でき、歩留
まりの改善を図ることができるとともに製品コストを低
減することができる。
【図1】本発明の一実施例に係る粒子凝集検出除去装置
を示す概略構成図である。
を示す概略構成図である。
【図2】実施例における画像処理の動作説明に供するフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図3】実施例における凝集粒子吸引除去の動作説明に
供するフローチャートである。
供するフローチャートである。
1……ガラス基板 2……スペーサ粒子 2a……粒子凝集部分 3……XYステージ 4……カメラ 5……画像処理部 6……2値化処理部 7……ラベリング処理部 8……面積判定部 9……重心位置検出部 10……ステージ制御部 11……吸引ノズル 12……吸引制御部 13……制御コンピュータ
Claims (1)
- 【請求項1】 平面上に粒子が散布された基板を固定し
てXY方向に変位自在な手段と、前記粒子散布の基板を
撮像する手段と、撮像によって得られた画像情報に基づ
いた画像処理により粒子凝集部分の位置と個数を割り出
す手段と、その位置情報に基づいて粒子凝集部分を吸引
位置に移動させるよう前記基板の変位手段を駆動制御す
る手段と、前記吸引位置に配置され基板平面上から粒子
凝集部分の凝集粒子を吸引除去する手段と、他の粒子凝
集部分に対しても同様の処理を前記個数情報が示す回数
だけ繰り返す手段とを備えたことを特徴とする粒子凝集
検出除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5182561A JPH0735696A (ja) | 1993-07-23 | 1993-07-23 | 粒子凝集検出除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5182561A JPH0735696A (ja) | 1993-07-23 | 1993-07-23 | 粒子凝集検出除去装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0735696A true JPH0735696A (ja) | 1995-02-07 |
Family
ID=16120428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5182561A Pending JPH0735696A (ja) | 1993-07-23 | 1993-07-23 | 粒子凝集検出除去装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0735696A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003107488A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-09 | Shibaura Mechatronics Corp | スペーサ散布装置及びスペーサ散布方法 |
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