JPH0734031Y2 - Semiconductor manufacturing equipment - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔概要〕 被処理物を収納したマガジンの供給部を有する半導体製
造装置に関し， バーコードを自動的に読み取ることができる半導体製造
装置を提供して，工程のロット管理を確実にすることを
目的とし， 製造装置のマガジン供給部が，マガジン保持部（１）と
バーコードリーダ（２）とエレベータ（５）とマガジン
移動手段（８）とを有し，該マガジン保持部（１）は複
数のマガジン（３）を縦１列に収納するものであり，該
バーコードリーダ（２）はマガジン保持部（１）に取り
つけられ，マガジン（３）に貼付されたバーコード
（４）を読み取るものであり，該エレベータ（５）はマ
ガジン保持部（１）に収納された一番下のマガジン
（３）を保持して上下し，マガジン保持部（１）よりそ
の下側にマガジン（３）を下ろすものであり，該マガジ
ン移動手段（８）はマガジン保持部（１）より下ろされ
たマガジン（３）を排出方向に移動するものであり，こ
の移動によりバーコードリーダ（２）がバーコード
（４）を読み取るように構成される。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Overview] Regarding a semiconductor manufacturing apparatus having a supply unit of a magazine accommodating an object to be processed, a semiconductor manufacturing apparatus capable of automatically reading a bar code is provided to manage a lot in a process. For the purpose of ensuring, the magazine supply unit of the manufacturing apparatus has a magazine holding unit (1), a bar code reader (2), an elevator (5), and a magazine moving unit (8). (1) stores a plurality of magazines (3) in one vertical column, and the bar code reader (2) is attached to the magazine holding section (1), and the bar code (3) attached to the magazine (3). 4) is read, and the elevator (5) holds the lowermost magazine (3) housed in the magazine holder (1) and moves up and down so that it is below the magazine holder (1). Magazine (3 ), The magazine moving means (8) moves the magazine (3) lowered from the magazine holding portion (1) in the discharging direction, and the bar code reader (2) causes the bar code reader (2) to move. It is configured to read the code (4).

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本考案はマガジン供給部を有する半導体製造装置に関す
る。The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus having a magazine supply unit.

本考案はリードフレームやウエハ等をマガジンに収納し
て製造装置間を搬送する半導体製造工程において，ロッ
ト管理を省力化してできる製造装置として適用すること
ができる。INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied as a manufacturing apparatus capable of labor saving in lot management in a semiconductor manufacturing process in which lead frames, wafers, etc. are housed in a magazine and transported between manufacturing apparatuses.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

半導体製造工程において，従来製造ロットの管理を行う
ため，マガジンにバーコードを貼付し，これを製造装置
への供給ごとに手動で読み取っていた。In the conventional semiconductor manufacturing process, in order to manage the manufacturing lot, a barcode was attached to the magazine, and this was manually read every time it was supplied to the manufacturing equipment.

この作業は，製造装置に流れてくるマガジンに貼付され
たバーコードの上を，人がバーコードスキャナを移動さ
せて行っていた。This work was performed by a person moving the barcode scanner over the barcode attached to the magazine flowing into the manufacturing apparatus.

〔考案が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the device]

上記のように手動で読み取る場合は，製造工程の省力
化，効率化の観点から好ましくない。そこでバーコード
を自動的に読み取る機能をダイボンダ，ワイヤボンダ等
の製造装置に付加する必要が生じた。Manual reading as described above is not preferable from the viewpoint of labor saving and efficiency improvement in the manufacturing process. Therefore, it became necessary to add a function to automatically read barcodes to manufacturing equipment such as die bonders and wire bonders.

本考案はバーコードを自動的に読み取ることができる半
導体製造装置を提供することを目的とする。It is an object of the present invention to provide a semiconductor manufacturing device capable of automatically reading a bar code.

〔課題を解決するための手段〕[Means for Solving the Problems]

上記課題の解決は，製造装置のマガジン供給部が，マガ
ジン保持部（１）とバーコードリーダ（２）とエレベー
タ（５）とマガジン移動手段（８）とを有し，該マガジ
ン保持部（１）は複数のマガジン（３）を縦１列に収納
するものであり，該バーコードリーダ（２）はマガジン
保持部（１）に取りつけられ，マガジン（３）に貼付さ
れたバーコード（４）を読み取るものであり，該エレベ
ータ（５）はマガジン保持部（１）に収納された一番下
のマガジン（３）を保持して上下し，マガジン保持部
（１）よりその下側にマガジン（３）を下ろすものであ
り，該マガジン移動手段（８）はマガジン保持部（１）
より下ろされたマガジン（３）を排出方向に移動するも
のであり，この移動によりバーコードリーダ（２）がバ
ーコード（４）を読み取るように構成されている半導体
製造装置により達成される。In order to solve the above problems, the magazine supply unit of the manufacturing apparatus has a magazine holding unit (1), a bar code reader (2), an elevator (5), and a magazine moving unit (8), and the magazine holding unit (1). ) Is for accommodating a plurality of magazines (3) in a vertical row, and the barcode reader (2) is attached to the magazine holder (1) and the barcode (4) attached to the magazine (3). The elevator (5) holds the lowermost magazine (3) housed in the magazine holding unit (1) and moves up and down, and below the magazine holding unit (1) the magazine ( 3), and the magazine moving means (8) is a magazine holder (1).
The lower magazine (3) is moved in the ejection direction, and this movement is achieved by a semiconductor manufacturing apparatus configured so that the bar code reader (2) reads the bar code (4).

〔作用〕[Action]

本考案はバーコードリーダを製造装置のマガジン供給部
のマガジン保持部に設け，マガジンを排出方向にロード
するときの移動手段によるマガジンの移動を利用して，
マガジンに貼付されたバーコードを読み取るようにした
ものである。The present invention provides a bar code reader in the magazine holding part of the magazine supply part of the manufacturing apparatus, and uses the movement of the magazine by the moving means when loading the magazine in the ejection direction,
It is designed to read the barcode attached to the magazine.

〔実施例〕〔Example〕

第１図は本考案の機能を説明するマガジン供給部の斜視
図である。FIG. 1 is a perspective view of a magazine feeder for explaining the function of the present invention.

この図は，半導体製造装置としてボンダを例にとり，そ
のマガジン供給部（ローダ／アンローダ部）を示す。This figure shows a magazine supply unit (loader / unloader unit) of a bonder as an example of a semiconductor manufacturing apparatus.

図において,1はマガジンを縦１列に収納して順次下降さ
せるエレベータを持つマガジン保持部,2はマガジン保持
部に設けられたバーコードリーダ,3はエレベータより下
ろされてボンダに供給しようとするマガジン,4はマガジ
ンの上部に貼付されたバーコードである。In the figure, 1 is a magazine holding unit having an elevator that stores the magazines in a vertical column and sequentially lowers them, 2 is a bar code reader provided in the magazine holding unit, and 3 is lower than the elevator and tries to supply to the bonder Magazine, 4 is a bar code attached to the top of the magazine.

マガジン３はプッシャ等による移動手段により，矢印の
方向に押しだされるようにして，排出方向に移動され
る。この移動により，バーコードリーダ２はバーコード
４を読み取る。The magazine 3 is moved in the discharge direction by being pushed out in the direction of the arrow by a moving means such as a pusher. By this movement, the barcode reader 2 reads the barcode 4.

第２図（１）〜（３）は実施例のマガジン供給部の三面
図で，第２図（１）は正面図，第２図（２）は平面図，
第２図（３）は側面図である。2 (1) to (3) are three-side views of the magazine supply unit of the embodiment, FIG. 2 (1) is a front view, FIG. 2 (2) is a plan view,
FIG. 2 (3) is a side view.

図において,5は一番下のマガジン３を保持して上下する
エレベータ,6はエレベータのハウジング,7はエレベータ
が上下にしゅう動する３本の支柱,8はマガジンの移動手
段で２個のプッシャである。In the figure, 5 is an elevator which holds the lowermost magazine 3 and moves up and down, 6 is an elevator housing, 7 is three pillars on which the elevator slides up and down, and 8 is a magazine moving means and two pushers. Is.

この図の状態は，エレベータ５が一番下のマガジン３を
保持したところを示し，この後，第３図を用いて読み取
り過程を説明する。The state of this figure shows that the elevator 5 holds the lowermost magazine 3, and then the reading process will be described with reference to FIG.

第３図（１）〜（８）は読み取り過程を説明するマガジ
ン供給部の側面図と平面図である。FIGS. 3 (1) to 3 (8) are a side view and a plan view of the magazine supply unit for explaining the reading process.

第３図（１）において，エレベータ５を最下端まで下降
させる。又，下から２番目のマガジンは落ちないように
保持部１にクランプされる。In FIG. 3 (1), the elevator 5 is lowered to the lowest end. Also, the second magazine from the bottom is clamped by the holding unit 1 so as not to fall.

第３図（２）において，プッシャ８が矢印の方向に移動
してマガジン３は床面９上に押し出される。In FIG. 3 (2), the pusher 8 moves in the direction of the arrow and the magazine 3 is pushed out onto the floor surface 9.

この間に，バーコードリーダ２はバーコード４を読み取
る。During this time, the barcode reader 2 reads the barcode 4.

第３図（３）は読み取りが終わったときのマガジンの位
置を示す。FIG. 3C shows the position of the magazine when the reading is completed.

第３図（４）〜（８）は上記過程の間のバーコードリー
ダ２とバーコード４の相関位置を示す平面図である。3 (4) to (8) are plan views showing the correlation positions of the barcode reader 2 and the barcode 4 during the above process.

図で，第３図（４），（６），（８）はそれぞれ第３図
（１），（２），（３）に対応する平面図であり，第３
図（５），（７）は中間位置の平面図である。3 (4), (6), and (8) are plan views corresponding to FIGS. 3 (1), (2), and (3), respectively.
(5) and (7) are plan views of the intermediate position.

実施例では，バーコードリーダ２がスキャナの場合につ
いて説明したが，バーコードリーダ２が固定式の場合
は，バーコードリーダ２がバーコード４の上で一時停止
して読み取るようにプッシャ８の運動を調節するように
すればよい。In the embodiment, the case where the bar code reader 2 is a scanner has been described, but when the bar code reader 2 is a fixed type, the movement of the pusher 8 causes the bar code reader 2 to pause and read on the bar code 4. Should be adjusted.

又実施例では，マガジン供給部はローダとして用いる例
について説明したが，アンローダとして用いても考案の
効果は変わらない。Further, in the embodiment, an example in which the magazine supply unit is used as a loader has been described, but the effect of the invention does not change even if it is used as an unloader.

〔考案の効果〕[Effect of device]

以上説明したように本考案によれば，バーコードを自動
的に読み取ることができる半導体製造装置を提供するこ
とができ，ロット管理体制が強化される。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a semiconductor manufacturing apparatus capable of automatically reading a bar code and strengthen the lot management system.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図は本考案の機能を説明する斜視図， 第２図（１）〜（３）は実施例のマガジン供給部の三面
図で，（１）は正面図，（２）は平面図，（３）は側面
図， 第３図（１）〜（８）は読み取り過程を説明するマガジ
ン供給部の側面図と平面図である。 図において， １はマガジン保持部,2はバーコードリーダ,3はマガジ
ン,4はマガジンの上部に貼付されたバーコード,5は一番
下のマガジンを保持して上下するエレベータ,6はエレベ
ータのハウジング,7はエレベータがしゅう動する支柱,8
はマガジンの移動手段でプッシャである。FIG. 1 is a perspective view for explaining the function of the present invention, FIGS. 2 (1) to (3) are three-sided views of the magazine supply unit of the embodiment, (1) is a front view, and (2) is a plan view. FIG. 3 (3) is a side view, and FIGS. 3 (1) to 3 (8) are a side view and a plan view of the magazine supply unit for explaining the reading process. In the figure, 1 is a magazine holder, 2 is a barcode reader, 3 is a magazine, 4 is a barcode attached to the top of the magazine, 5 is an elevator that holds the bottom magazine up and down, and 6 is an elevator. Housing, 7 is a pillar on which the elevator slides, 8
Is a pusher for moving the magazine.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項１】製造装置のマガジン供給部が，マガジン保
持部（１）とバーコードリーダ（２）とエレベータ
（５）とマガジン移動手段（８）とを有し， 該マガジン保持部（１）は複数のマガジン（３）を縦１
列に収納するものであり， 該バーコードリーダ（２）はマガジン保持部（１）に取
りつけられ，マガジン（３）に貼付されたバーコード
（４）を読み取るものであり， 該エレベータ（５）はマガジン保持部（１）に収納され
た一番下のマガジン（３）を保持して上下し，マガジン
保持部（１）よりその下側にマガジン（３）を下ろすも
のであり， 該マガジン移動手段（８）はマガジン保持部（１）より
下ろされたマガジン（３）を排出方向に移動するもので
あり，この移動によりバーコードリーダ（２）がバーコ
ード（４）を読み取るように構成されていることを特徴
とする半導体製造装置。1. A magazine supply section of a manufacturing apparatus has a magazine holding section (1), a bar code reader (2), an elevator (5) and a magazine moving means (8), and the magazine holding section (1). Has multiple magazines (3) vertically 1
The bar code readers (2) are stored in a row, and the bar code readers (2) are attached to the magazine holding unit (1) and read the bar codes (4) attached to the magazine (3). Is for holding and moving up and down the lowest magazine (3) housed in the magazine holder (1) and lowering the magazine (3) below the magazine holder (1). The means (8) moves the magazine (3) lowered from the magazine holding portion (1) in the discharging direction, and the bar code reader (2) reads the bar code (4) by this movement. A semiconductor manufacturing apparatus characterized in that