JPH07333169A - Pattern inspection device - Google Patents
Pattern inspection deviceInfo
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- JPH07333169A JPH07333169A JP15269594A JP15269594A JPH07333169A JP H07333169 A JPH07333169 A JP H07333169A JP 15269594 A JP15269594 A JP 15269594A JP 15269594 A JP15269594 A JP 15269594A JP H07333169 A JPH07333169 A JP H07333169A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は，プリント配線板等の被
検査体に形成されているパターンを検査するためのパタ
ーン検査装置，特にその光照射装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pattern inspection device for inspecting a pattern formed on an object to be inspected such as a printed wiring board, and more particularly to a light irradiation device thereof.
【０００２】[0002]
【従来技術】プリント配線板に形成された回路パターン
は，その製造過程において断線，ショート等の欠陥を生
ずることがある。そのため，各プリント配線板はパター
ン検査装置を用いて検査される。このパターン検査装置
としては，パターンに対して光照射するための光照射装
置と，パターンを撮像するカメラ部とを有するものがあ
る。2. Description of the Related Art A circuit pattern formed on a printed wiring board may have defects such as disconnection and short circuit during its manufacturing process. Therefore, each printed wiring board is inspected using a pattern inspection device. As this pattern inspection device, there is a device having a light irradiation device for irradiating the pattern with light and a camera unit for imaging the pattern.
【０００３】従来，かかる光照射式のパターン検査装置
としては，図７に示すパターン検査装置９がある。この
パターン検査装置９は，光照射装置９０とカメラ部９５
とを有する。光照射装置９０は，光源９４と，プリント
配線板９６上のパターン９６１に対してライン状に光照
射する透明円柱９２１と，両者間を光学的に連結する透
明光ファイバ束９３とよりなる（実公平５−３１５６
２）。As a conventional light irradiation type pattern inspection apparatus, there is a pattern inspection apparatus 9 shown in FIG. The pattern inspection device 9 includes a light irradiation device 90 and a camera unit 95.
Have and. The light irradiator 90 includes a light source 94, a transparent cylinder 921 that linearly irradiates the pattern 961 on the printed wiring board 96, and a transparent optical fiber bundle 93 that optically connects the two. Fair 5-3156
2).
【０００４】透明光ファイバ束９３は，光源９４側にお
いては略円形状に束ねられており，一方光照射側におい
ては上記透明円柱９２１の軸方向に沿って整列されてい
る。なお，透明光ファイバ束９３の光照射端と透明円柱
９２１との間には，平面鏡９２及び乳白色板９２２が設
けてある。また，被検査体としてのプリント配線板９６
は，検査中は移動テーブル９７上に固定されている。The transparent optical fiber bundle 93 is bundled into a substantially circular shape on the light source 94 side, and is aligned along the axial direction of the transparent cylinder 921 on the light irradiation side. A plane mirror 92 and a milky white plate 922 are provided between the light irradiation end of the transparent optical fiber bundle 93 and the transparent cylinder 921. In addition, a printed wiring board 96 as an object to be inspected
Are fixed on the moving table 97 during the inspection.
【０００５】上記パターン検査装置９においては，光源
９４から発した光を透明光ファイバ束９３等を介して透
明円柱９２１に導き，プリント配線板９６上に光照射す
る。このとき，プリント配線板９６上のパターン９６１
から反射される検出光をカメラ部９５においてキャッチ
する。カメラ部９５でキャッチされた検出光は，２値画
像に変換され，図示しないパターン回析装置により，マ
スターパターンとの間で比較検査に付される。これによ
り，上記パターンにおける欠陥の有無が検出される。ま
た，上記光照射装置９０とカメラ部９５とは，フレーム
により一体化され，被検査体であるプリント配線板９６
に対して相対的に走査される。In the pattern inspection apparatus 9, the light emitted from the light source 94 is guided to the transparent cylinder 921 through the transparent optical fiber bundle 93 and the like, and the printed wiring board 96 is irradiated with the light. At this time, the pattern 961 on the printed wiring board 96
The detection light reflected by the camera unit 95 is caught by the camera unit 95. The detection light caught by the camera unit 95 is converted into a binary image and subjected to comparison inspection with the master pattern by a pattern diffraction device (not shown). As a result, the presence or absence of a defect in the pattern is detected. The light irradiation device 90 and the camera unit 95 are integrated by a frame, and a printed wiring board 96 which is an object to be inspected.
Scanned relative to.
【０００６】[0006]
【解決しようとする課題】しかしながら，上記従来のパ
ターン検査装置においては，次の問題がある。即ち，上
記従来のパターン検査装置においては，光源９４からの
光は透明光ファイバ束９３によって導いており，該透明
光ファイバ束９３は光源９４に対する面は円形状に束ね
られている。そのため，透明光ファイバ束９３に入る光
量が，円形の透明光ファイバ束９３における中心部分と
外周部分とで異なる。それ故，パターン９６１に光照射
される光量が不均一となり，検査に正確性を欠く場合が
ある。However, the above conventional pattern inspection apparatus has the following problems. That is, in the above-mentioned conventional pattern inspection apparatus, the light from the light source 94 is guided by the transparent optical fiber bundle 93, and the surface of the transparent optical fiber bundle 93 with respect to the light source 94 is bundled into a circular shape. Therefore, the amount of light entering the transparent optical fiber bundle 93 differs between the central portion and the outer peripheral portion of the circular transparent optical fiber bundle 93. Therefore, the amount of light irradiated onto the pattern 961 becomes non-uniform, and the inspection may be inaccurate.
【０００７】また，光源９４の光は，透明光ファイバ束
９３等を経てプリント配線板９６に光照射されるが，そ
の中には可視光の他に多量の赤外線（熱線）を含んでい
るため，プリント配線板９６が加熱される。そのため，
この加熱によって，プリント配線板９６に損傷を受ける
おそれがある。また，長期間の使用中に，上記赤外線に
よって，透明光ファイバ束９３等の光ガイド部分が損傷
を受け，パターン検査を不正確にするおそれもある。The light from the light source 94 is applied to the printed wiring board 96 through the transparent optical fiber bundle 93 and the like, but it contains a large amount of infrared rays (heat rays) in addition to visible light. The printed wiring board 96 is heated. for that reason,
This heating may damage the printed wiring board 96. In addition, there is a possibility that the light guide portion such as the transparent optical fiber bundle 93 is damaged by the infrared rays during long-term use, which makes the pattern inspection inaccurate.
【０００８】本発明はかかる従来の問題点に鑑み，被検
査体のパターンに対して均一な光照射を行なうことがで
き，被検査体及び光ガイド部分の熱損傷がなく，正確な
パターン検査を行なうことができるパターン検査装置を
提供しようとするものである。In view of the above conventional problems, the present invention can perform uniform light irradiation on the pattern of the object to be inspected, the object to be inspected and the light guide portion are not thermally damaged, and accurate pattern inspection can be performed. An object of the present invention is to provide a pattern inspection device that can be used.
【０００９】[0009]
【課題の解決手段】本発明は，被検査体におけるパター
ンを光照射するための光照射装置と，上記パターンを撮
像するカメラ部とを有するパターン検査装置において，
上記光照射装置は，光源用の棒状ランプと，該棒状ラン
プの光を上記被検査体に向けて導出するための板状ライ
トガイドと，該板状ライトガイドと上記棒状ランプとの
間に配置されたコールドフィルターと，上記棒状ランプ
の後方に配置したコールドミラーとを有することを特徴
とするパターン検査装置にある。The present invention provides a pattern inspection device having a light irradiation device for light-irradiating a pattern on an object to be inspected, and a camera section for imaging the pattern.
The light irradiation device includes a rod-shaped lamp for a light source, a plate-shaped light guide for guiding the light of the rod-shaped lamp toward the object to be inspected, and arranged between the plate-shaped light guide and the rod-shaped lamp. The pattern inspection apparatus is characterized in that it has a cold filter that has been formed and a cold mirror that is arranged behind the rod-shaped lamp.
【００１０】本発明においても最も注目すべきことは，
上記光照射装置が上記棒状ランプと，板状ライトガイド
と，コールドフィルターとコールドミラーとを具備して
いることである。上記棒状ランプは，直線状に伸びたラ
ンプである。また，この光源用棒状ランプとしては，ハ
ロゲンランプ，クセノンランプ等がある。The most remarkable thing in the present invention is that
The light irradiation device includes the rod-shaped lamp, a plate-shaped light guide, a cold filter, and a cold mirror. The rod-shaped lamp is a linearly extending lamp. In addition, examples of the rod-shaped lamp for the light source include a halogen lamp and a xenon lamp.
【００１１】次に，上記板状ライトガイドは，棒状ラン
プからの光をライン状に導き，かつライン状にパターン
に向けて光照射するための，光ガイド部分である。この
板状ライトガイドは，図４に示すごとき透明な板状体で
ある。また，板状ライトガイドは，溶融石英ガラス，又
は合成石英ガラスを用いることが好ましい。これらの石
英系ガラスは，光をガイドする場合において光歪の発生
が極めて少なく，より正確なパターン検査を行なうこと
ができる。Next, the plate-shaped light guide is a light guide portion for guiding the light from the rod-shaped lamp in a line shape and irradiating the light in a line shape toward the pattern. This plate-shaped light guide is a transparent plate-shaped body as shown in FIG. Further, it is preferable to use fused silica glass or synthetic silica glass for the plate-shaped light guide. These quartz-based glasses generate very little optical distortion when guiding light, and can perform more accurate pattern inspection.
【００１２】また，上記板状ライトガイドは，板状体の
六面の全てが研磨されていることが好ましい。これによ
り，散乱光が板状ライトガイド内にのみ反射される。そ
のため，パターンに対してより多くの光量を光照射する
ことができる。次に，上記コールドフィルターは，光源
からの光中の赤外線を反射し，可視光は透過させる性質
を有するもので，上記板状ライトガイドと棒状ランプと
の間に長尺状に配設する。このような性質を有するコー
ルドフィルターとしては，例えば各種ガラスの表面に真
空蒸着等により，厚さ１μｍ程度の薄膜を形成したもの
が知られている。In the plate light guide, it is preferable that all six surfaces of the plate body are polished. As a result, the scattered light is reflected only inside the plate-shaped light guide. Therefore, a larger amount of light can be applied to the pattern. Next, the cold filter has a property of reflecting infrared rays in the light from the light source and transmitting visible light, and is arranged in a long shape between the plate light guide and the rod lamp. As a cold filter having such properties, there are known, for example, those in which a thin film having a thickness of about 1 μm is formed on the surface of various glasses by vacuum deposition or the like.
【００１３】次に，上記コールドミラーは，光源からの
光中の赤外線は透過させ，一方可視光は上記コールドフ
ィルターの方向へ反射する性質を有するもので，例えば
各種のガラス又は金属に，上記性質を有する薄膜を形成
したものがある。上記コールドミラーは，棒状ランプの
後方に長尺状に配置する。Next, the cold mirror has a property that infrared rays in the light from the light source are transmitted, while visible light is reflected in the direction of the cold filter. There is a thin film having The cold mirror is arranged in a long shape behind the rod lamp.
【００１４】上記コールドミラーは，光源の近くにあっ
て，かつ赤外線を透過させるため，オーバーヒートされ
易い。そのため，適宜の空気流通部を有する事が好まし
い。これにより，コールドミラーのオーバーヒートを防
止できる。また，光源の周囲の空気流通も盛んになるた
め，光源の冷却にも役立つ。上記空気流通部としては多
数の小孔，軸方向に沿った開口部分，スリットなどがあ
る。Since the cold mirror is near the light source and transmits infrared rays, it is easily overheated. Therefore, it is preferable to have an appropriate air circulation part. This prevents overheating of the cold mirror. In addition, air circulation around the light source is also active, which is useful for cooling the light source. The air circulation portion includes a large number of small holes, openings along the axial direction, slits, and the like.
【００１５】上記光照射装置は，上記棒状ランプ，コー
ルドフィルター，コールドミラーを収納するランプハウ
ス（図２，図３参照）を有することが好ましい。これに
より，これら各部分品を一体的に収納し，かつそれらの
光学的位置決めを容易にすることができる。The light irradiation device preferably has a lamp house (see FIGS. 2 and 3) for accommodating the rod-shaped lamp, the cold filter and the cold mirror. As a result, it is possible to integrally store each of these component parts and facilitate their optical positioning.
【００１６】また，ランプハウスは，上記光源からの熱
を放出するため，空気取入口と空気放出口とを有するこ
とが好ましい。これにより，ランプハウス内における空
気流通を促進させ，冷却を促進することができる。ま
た，上記空気放出口には，空気吸引用ブロワーを連結す
ることが好ましい。これにより，ランプハウス内の空気
を強制的に入れ替え，上記冷却を一層促進することがで
きる。The lamp house preferably has an air intake port and an air discharge port in order to radiate heat from the light source. Thereby, the air circulation in the lamp house can be promoted and the cooling can be promoted. Further, it is preferable to connect an air suction blower to the air outlet. As a result, the air in the lamp house can be forcibly replaced and the cooling can be further promoted.
【００１７】また，上記光照射装置は補助光源を有する
ことが好ましい（図１）。該補助光源は，本体としての
上記光照射装置と同様に棒状ランプ，コールドフィルタ
ー，コールドミラーを有することが好ましい。これによ
り，一層優れたパターン検査装置を得ることができる。The light irradiation device preferably has an auxiliary light source (FIG. 1). It is preferable that the auxiliary light source has a rod-shaped lamp, a cold filter, and a cold mirror, like the light irradiation device as the main body. As a result, a more excellent pattern inspection device can be obtained.
【００１８】また，上記光照射装置及びカメラ部は，一
体的に移動可能に装着されている。本発明のパターン検
査装置は，実施例に示すごときプリント配線板のパター
ン検査の他，プラスチックス板，金属板等の各種板材等
に印刷した文字，図形等のパターンの検査等にも用いる
ことができる。Further, the light irradiation device and the camera unit are mounted so as to be movable integrally. The pattern inspection apparatus of the present invention can be used not only for pattern inspection of printed wiring boards as shown in the embodiments but also for inspection of patterns such as characters and figures printed on various plate materials such as plastics plates and metal plates. it can.
【００１９】[0019]
【作用及び効果】本発明のパターン検査装置において
は，光源として棒状ランプを用い，かつその光を板状ラ
イトガイドを用いてパターンに光照射している。そのた
め，照射光は均一なライン状を呈し，カメラ部のライン
状の撮像視野内において，パターンに対し均一な光照射
を行なうことができる。In the pattern inspection apparatus of the present invention, a rod-shaped lamp is used as a light source, and the light is applied to the pattern by using a plate-shaped light guide. Therefore, the irradiation light has a uniform linear shape, and uniform light irradiation can be performed on the pattern in the linear imaging visual field of the camera unit.
【００２０】また，棒状ランプと板状ライトガイドとの
間にはコールドフィルターを設けているので，棒状ラン
プの光中の赤外線をカットし，可視光を板状ライトガイ
ドへ送ることができる。また，棒状ランプの背面にはコ
ールドミラーを配置しているので，棒状ランプの光中の
赤外線は透過放出し，可視光を板状ライトガイドの方向
へ反射することができる。Further, since the cold filter is provided between the rod-shaped lamp and the plate-shaped light guide, it is possible to cut infrared rays in the light of the rod-shaped lamp and send visible light to the plate-shaped light guide. Further, since a cold mirror is arranged on the back surface of the rod-shaped lamp, infrared rays in the light of the rod-shaped lamp are transmitted and emitted, and visible light can be reflected toward the plate-shaped light guide.
【００２１】そのため，板状ライトガイド及び被検査体
へは，殆ど赤外線を含まない状態で，可視光が高照度で
光照射される。それ故，被検査体及び板状ライトガイド
が熱損傷を受けることがない。また，そのため，高照度
で正確なパターン検査を行なうことができる。Therefore, the plate-shaped light guide and the object to be inspected are irradiated with visible light at a high illuminance while containing almost no infrared rays. Therefore, the device under test and the plate-shaped light guide are not damaged by heat. Further, therefore, accurate pattern inspection can be performed with high illuminance.
【００２２】上記のごとく，本発明によれば，被検査体
のパターンに対して均一で高照度の光照射を行なうこと
ができ，被検査体及び板状ライトガイドの熱損傷がな
く，正確なパターン検査を行なうことができる，パター
ン検査装置を提供することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to irradiate the pattern of the object to be inspected with uniform and high illuminance, and the object to be inspected and the plate-shaped light guide are not damaged by heat and are accurate. A pattern inspection device capable of performing a pattern inspection can be provided.
【００２３】[0023]
【実施例】本発明の実施例にかかるパターン検査装置に
つき，図１〜図６を用いて説明する。本例のパターン検
査装置１０は，図１〜図３に示すごとく，被検査体とし
てのプリント配線板９６におけるパターンを光照射する
ための光照射装置１と，上記パターンを撮像するカメラ
部２とを有する。上記光照射装置１は，光源用の棒状ラ
ンプ１１と，該棒状ランプ１１の光を上記プリント配線
板９６に向けて導出するための透明な板状ライトガイド
１２を有する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIGS. 1 to 3, the pattern inspection apparatus 10 of the present example includes a light irradiation apparatus 1 for light-irradiating a pattern on a printed wiring board 96 as an object to be inspected, and a camera unit 2 for imaging the pattern. Have. The light irradiation device 1 has a rod-shaped lamp 11 for a light source, and a transparent plate-shaped light guide 12 for guiding the light of the rod-shaped lamp 11 toward the printed wiring board 96.
【００２４】また，該板状ライトガイド１２と上記棒状
ランプ１１との間に配置したコールドフィルター１３
と，上記棒状ランプ１１の後方に配置したコールドミラ
ー１４とを有する。上記棒状ランプ１１，コールドフィ
ルター１３及びコールドミラー１４は，図２，図３に示
すごとく，ランプハウス１５内に設けてある。また，板
状ライトガイド１２は，ランプハウス１５の下方に垂設
した固定板１５５により，その両側を固定されている。Also, a cold filter 13 arranged between the plate-shaped light guide 12 and the rod-shaped lamp 11.
And a cold mirror 14 arranged behind the rod-shaped lamp 11. The rod-shaped lamp 11, the cold filter 13 and the cold mirror 14 are provided in a lamp house 15 as shown in FIGS. Further, the plate-shaped light guide 12 is fixed on both sides thereof by fixing plates 155 vertically provided below the lamp house 15.
【００２５】上記棒状ランプ１１は，直線円管状のハロ
ゲンランプであり，図３に示すごとく，その両端は，ソ
ケット１１５により支持されている。上記板状ライトガ
イド１２は，図２〜図４に示すごとく，透明な板状体
で，厚み約１０ｍｍの溶融石英ガラスにより作製されて
いる。また，板状ライトガイド１２の六面は，鏡面仕上
げされている。The rod-shaped lamp 11 is a straight circular tubular halogen lamp, and both ends thereof are supported by sockets 115 as shown in FIG. As shown in FIGS. 2 to 4, the plate-shaped light guide 12 is a transparent plate-shaped member and is made of fused silica glass having a thickness of about 10 mm. Further, the six faces of the plate-shaped light guide 12 are mirror-finished.
【００２６】上記コールドフィルター１３は，図１〜図
３に示すごとく，長板状である。コールドフィルター１
３は，赤外線は反射し，可視光は透過させる性質を有す
る。上記コールドミラー１４は，図２，図３，図５に示
すごとく，左右一対の円弧状体により形成し，その頂部
に空気流通部としての，スリット状の空気穴１４１を有
する。コールドミラー１４は，赤外線は透過し，可視光
は反射する性質を有する。The cold filter 13 has a long plate shape as shown in FIGS. Cold filter 1
3 has the property of reflecting infrared rays and transmitting visible light. As shown in FIGS. 2, 3, and 5, the cold mirror 14 is formed by a pair of left and right arcuate bodies, and has a slit-shaped air hole 141 as an air circulation portion at the top thereof. The cold mirror 14 has a property of transmitting infrared rays and reflecting visible light.
【００２７】また，上記ランプハウス１５は，図２，図
３に示すごとく，断面略六角形の長いボックスで，その
下部両側には，上記板状ライトガイド１２を固定するた
めの固定プレート１５５を有する。また，ランプハウス
１５は，その前面及び後面に複数の空気取入口１５１，
１５２を有し，更にその底面にも空気取入口（図示略）
を有する。前面の空気取入口１５１には，遮光板１５６
が設けてある（図２）。As shown in FIGS. 2 and 3, the lamp house 15 is a long box having a substantially hexagonal cross section, and fixing plates 155 for fixing the plate-shaped light guide 12 are provided on both lower sides of the box. Have. Further, the lamp house 15 has a plurality of air intakes 151, on its front and rear surfaces.
152 has an air intake (not shown) on the bottom
Have. The front air intake 151 has a light-shielding plate 156.
Is provided (FIG. 2).
【００２８】ランプハウス１５は，図２，図３に示すご
とく，その上面に２つの空気放出口１６１を有し，該空
気放出口１６１は，図３に示すごとく，パイプ１６４に
より空気吸引用ブロワー１６５に連結されている。上記
カメラ部２は，図１に示すごとく，ＣＣＤ素子を用いた
ラインセンサ２１と，レンズ２２と，これらを収納する
カメラボックス２３とを有する。As shown in FIGS. 2 and 3, the lamp house 15 has two air discharge ports 161 on its upper surface. The air discharge ports 161 are, as shown in FIG. It is connected to 165. As shown in FIG. 1, the camera unit 2 has a line sensor 21 using a CCD element, a lens 22, and a camera box 23 for housing these.
【００２９】また，図１に示すごとく，本例において
は，補助光源４を設けている。補助光源４は，上記光照
射装置１と同じ構造を有している。上記板状ライトガイ
ド１２，補助光源４の板状ライトガイド４２及びカメラ
部２は，フレーム１９により，一体的移動可能に固定さ
れている。そして，これらの各軸芯１２０，４２０，２
０は，プリント配線板９６上の同一部位に，ライン状に
一致するよう位置合わせされている。Further, as shown in FIG. 1, an auxiliary light source 4 is provided in this example. The auxiliary light source 4 has the same structure as the light irradiation device 1. The plate-shaped light guide 12, the plate-shaped light guide 42 of the auxiliary light source 4, and the camera unit 2 are integrally movably fixed by a frame 19. And, each of these shaft cores 120, 420, 2
The 0s are aligned with the same portion on the printed wiring board 96 so as to be linearly aligned.
【００３０】上記パターン検査装置１０は，図６に示す
ごとく，これをプリント配線板９６に対して，そのの走
査方向に移動できるよう構成すると共に，カメラ部２か
らの検出信号を回析するためのパターン回析装置１００
に電気的に接続されている。図６には，上記パターン検
査装置１０による，パターン検査時における走査方向を
矢印で示してある。同図の区画１０９が，一回の走査に
おいて検査される検査ライン幅，つまりカメラ部２の撮
像視野幅である。As shown in FIG. 6, the pattern inspecting apparatus 10 is constructed so that it can be moved in the scanning direction of the printed wiring board 96, and in order to diffract the detection signal from the camera section 2. Pattern diffraction device 100
Electrically connected to. In FIG. 6, the scanning direction at the time of pattern inspection by the pattern inspection apparatus 10 is shown by an arrow. The section 109 in the figure is the inspection line width that is inspected in one scan, that is, the imaging field width of the camera unit 2.
【００３１】上記プリント配線板９６は，検査時には，
図１に示すごとく，移動テーブル８の上に固定されてい
る。移動テーブル８は，サーボモータ８１によってＸ方
向に移動する。一方上記パターン検査装置１０は，Ｙ方
向に移動する。When the printed wiring board 96 is inspected,
As shown in FIG. 1, it is fixed on the moving table 8. The moving table 8 is moved in the X direction by the servo motor 81. On the other hand, the pattern inspection apparatus 10 moves in the Y direction.
【００３２】次に，本例の作用効果につき説明する。本
例のパターン検査装置１０においては，光源として棒状
ランプ１１を用いており，かつその光を板状ライトガイ
ド１２を用いてパターンに光照射している。そのため，
照射光は均一なライン状に照射され，カメラ部２のライ
ン状の撮像視野内において，プリント配線板９６のパタ
ーンに対して均一な光照射を行なうことができる。Next, the function and effect of this example will be described. In the pattern inspection apparatus 10 of this example, a rod-shaped lamp 11 is used as a light source, and the light is applied to a pattern using a plate-shaped light guide 12. for that reason,
The irradiation light is irradiated in a uniform line shape, and the light of the pattern of the printed wiring board 96 can be uniformly irradiated in the linear imaging field of view of the camera unit 2.
【００３３】また，上記コールドフィルター１３によっ
て，棒状ランプ１１の光中の赤外線がカットされ，更に
棒状ランプ背面のコールドミラー１４においては赤外線
が放出され可視光が反射される。そのため，棒状ランプ
１１の光中の可視光の殆どが板状ライトガイド１２に導
かれ，高照度でプリント配線板９６に照射される。ま
た，板状ライトガイド１２へは赤外線が殆ど導かれない
ため，プリント配線板９６及び板状ライトガイド１２が
損傷を受けることがない。そのため，高照度で正確なパ
ターン検査を行なうことができる。Further, the cold filter 13 cuts off infrared rays in the light of the rod-shaped lamp 11, and further, infrared rays are emitted and reflected by the cold mirror 14 on the rear surface of the rod-shaped lamp. Therefore, most of visible light in the light of the rod-shaped lamp 11 is guided to the plate-shaped light guide 12 and is applied to the printed wiring board 96 with high illuminance. Further, since the infrared light is hardly guided to the plate-shaped light guide 12, the printed wiring board 96 and the plate-shaped light guide 12 are not damaged. Therefore, accurate pattern inspection can be performed with high illuminance.
【００３４】また，ランプハウス１５には，上記空気取
入口１５１，１５２を設け，空気放出口１６１から空気
吸引用ブロワー１６５によってランプハウス内の空気を
強制的に入れ替えている。そのため，ランプハウス１５
及び棒状ランプ１１，コールドフィルター１３，コール
ドミラー１４もオーバーヒートすることがない。The lamp house 15 is provided with the air intake ports 151 and 152, and the air in the lamp house is forcibly replaced by the air suction blower 165 from the air discharge port 161. Therefore, the lamp house 15
Also, the rod lamp 11, the cold filter 13, and the cold mirror 14 do not overheat.
【００３５】また，板状ライトガイド１２は，その六面
が全て研磨されているので，プリント配線板への光伝達
性に優れている。さらに，一対のコールドミラー１４
は，その間に空気穴１４１を有するので，そのオーバー
ヒートもない。Further, the plate-shaped light guide 12 has excellent light transmissivity to the printed wiring board because all six surfaces thereof are polished. Furthermore, a pair of cold mirrors 14
Does not overheat because it has air holes 141 between them.
【図１】実施例におけるパターン検査装置の全体説明
図。FIG. 1 is an overall explanatory diagram of a pattern inspection apparatus according to an embodiment.
【図２】実施例の検査装置におけるランプハウスの，図
３のＡ−Ａ線矢視断面図。FIG. 2 is a sectional view of the lamp house in the inspection apparatus of the embodiment taken along the line AA of FIG.
【図３】実施例のパターン検査装置におけるランプハウ
スの，図２のＢ−Ｂ線矢視断面図。FIG. 3 is a sectional view of the lamp house in the pattern inspection apparatus of the embodiment taken along the line BB of FIG.
【図４】実施例における板状ライトガイドの斜視図。FIG. 4 is a perspective view of a plate-shaped light guide in the embodiment.
【図５】実施例におけるコールドミラーの斜視図。FIG. 5 is a perspective view of a cold mirror in the embodiment.
【図６】実施例におけるパターン検査装置の検査時の説
明図。FIG. 6 is an explanatory diagram at the time of inspection of the pattern inspection apparatus in the embodiment.
【図７】従来例におけるパターン検査装置の説明図。FIG. 7 is an explanatory diagram of a pattern inspection apparatus in a conventional example.
１．．．光照射装置， １０．．．パターン検査装置， １１．．．棒状ランプ， １２．．．板状ライトガイド， １３．．．コールドフィルター， １４．．．コールドミラー， １５．．．ランプハウス， １６１．．．空気放出口， １９．．．フレーム， ２．．．カメラ部， ４．．．補助光源， ４２．．．板状ライトガイド， 1. ． ． Light irradiation device, 10. ． ． Pattern inspection device, 11. ． ． Rod-shaped lamp, 12. ． ． Plate-shaped light guide, 13. ． ． Cold filter, 14. ． ． Cold mirror, 15. ． ． Lamp House, 161. ． ． Air outlet, 19. ． ． Frame, 2. ． ． Camera section, 4. ． ． Auxiliary light source, 42. ． ． Plate light guide,
Claims (4)
ための光照射装置と，上記パターンを撮像するカメラ部
とを有するパターン検査装置において，上記光照射装置
は，光源用の棒状ランプと，該棒状ランプの光を上記被
検査体に向けて導出するための板状ライトガイドと，該
板状ライトガイドと上記棒状ランプとの間に配置された
コールドフィルターと，上記棒状ランプの後方に配置し
たコールドミラーとを有することを特徴とするパターン
検査装置。1. A pattern inspection apparatus having a light irradiating device for irradiating a pattern on an object to be inspected with light, and a camera section for imaging the pattern, wherein the light irradiating device is a rod-shaped lamp for a light source, A plate-shaped light guide for guiding the light of the rod-shaped lamp toward the object to be inspected, a cold filter arranged between the plate-shaped light guide and the rod-shaped lamp, and arranged behind the rod-shaped lamp. A pattern inspection apparatus having a cold mirror.
は，空気流通部を有することを特徴とするパターン検査
装置。2. The pattern inspection apparatus according to claim 1, wherein the cold mirror has an air circulating portion.
上記光照射装置は上記棒状ランプとコールドフィルター
とコールドミラーとを収納するランプハウスを有し，上
記ランプハウスは空気取入口と空気放出口とを有するこ
とを特徴とするパターン検査装置。3. The method according to claim 1, wherein
The light irradiation device has a lamp house that houses the rod-shaped lamp, a cold filter, and a cold mirror, and the lamp house has an air inlet and an air outlet.
上記板状ライトガイドは板状体の六面が研磨されている
ことを特徴とするパターン検査装置。4. The method according to claim 1, wherein
The plate light guide is a pattern inspection apparatus in which six faces of a plate are polished.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15269594A JPH07333169A (en) | 1994-06-10 | 1994-06-10 | Pattern inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15269594A JPH07333169A (en) | 1994-06-10 | 1994-06-10 | Pattern inspection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07333169A true JPH07333169A (en) | 1995-12-22 |
Family
ID=15546126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15269594A Pending JPH07333169A (en) | 1994-06-10 | 1994-06-10 | Pattern inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07333169A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006201015A (en) * | 2005-01-20 | 2006-08-03 | Toppan Printing Co Ltd | Inspection device using linear line like ultraviolet illumination light |
| US7281835B2 (en) * | 2005-02-16 | 2007-10-16 | Au Optronics Corp. | Backlight module for flat panel display |
| KR100784854B1 (en) * | 2007-02-14 | 2007-12-14 | 한국기초과학지원연구원 | Optical stimulation unit and luminescence measurement system having the same |
| US7601544B2 (en) | 2001-01-17 | 2009-10-13 | Siemens Healthcare Diagnostics Inc. | Method and apparatus for using infrared readings to detect misidentification of a diagnostic test strip in a reflectance spectrometer |
| JP2013092469A (en) * | 2011-10-26 | 2013-05-16 | Nippon Filcon Co Ltd | Work inspection system |
-
1994
- 1994-06-10 JP JP15269594A patent/JPH07333169A/en active Pending
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|---|---|---|---|---|
| US7601544B2 (en) | 2001-01-17 | 2009-10-13 | Siemens Healthcare Diagnostics Inc. | Method and apparatus for using infrared readings to detect misidentification of a diagnostic test strip in a reflectance spectrometer |
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