JPH07321284A - 半導体装置用パッケージ、半導体装置および回路装置 - Google Patents

半導体装置用パッケージ、半導体装置および回路装置

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JPH07321284A
JPH07321284A JP6110656A JP11065694A JPH07321284A JP H07321284 A JPH07321284 A JP H07321284A JP 6110656 A JP6110656 A JP 6110656A JP 11065694 A JP11065694 A JP 11065694A JP H07321284 A JPH07321284 A JP H07321284A
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JP
Japan
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metal plate
semiconductor element
fixed
semiconductor device
decoupling capacitor
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JP6110656A
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Yukiharu Takeuchi
之治 竹内
Yukio Shimizu
幸男 清水
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Shinko Electric Industries Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Industries Co Ltd
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Publication date
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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 デカップリングコンデンサを半導体素子の近
くに配設でき、インダクタンスを小さくできる。 【構成】 インナーリード12先端側に、半導体素子2
8が搭載される電源用もしくは接地用の金属板16が配
設され、該金属板16の半導体素子28が搭載される面
と反対側の面に板状のデカップリングコンデンサ20が
固定されていることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置用パッケー
ジ、半導体装置および回路装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体素子を搭載するパッケージでは、
同時スイッチングノイズを低減するため、パッケージ内
部に薄膜法によってデカップリングコンデンサを形成し
たり、パッケージ内部にチップコンデンサを設けるなど
している。ここに同時スイッチングノイズとは、パッケ
ージ内外へ信号を入出力させる際、同時に複数の信号を
出力させたときに、電源やグランドのインダクタンスに
より生じる電源系のノイズである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記デカップ
リングコンデンサをパッケージ内部に薄膜法で形成する
のは、パッケージの製造工程が複雑となり、コストアッ
プが免れない。またパッケージ内にチップコンデンサを
設ける場合には、チップコンデンサへの引出し線を要
し、構造が複雑化するという不具合がある。
【0004】そこで、本発明は上記問題点を解決すべく
なされたものであり、その目的とするところは、構造が
簡易で製造が容易な半導体装置用パッケージ、半導体装
置および回路装置を提供するにある。また本発明では、
デカップリングコンデンサを半導体素子の近くに形成で
き、同時スイッチングノイズを低減できるできる半導体
装置用パッケージ、半導体装置および回路装置を提供す
ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。本発明の半導体装置用パッ
ケージでは、半導体素子を搭載する搭載部に金属板を用
い、該金属板の半導体素子が搭載される面と反対側の面
に板状のデカップリングコンデンサを固定している。あ
るいは半導体素子を搭載する搭載部下面に金属板を固定
し、該金属板下面に板状のデカップリングコンデンサを
固定している。この場合に素子搭載部に金属板にビアを
介して接続する端子を設ける。金属板は電源用プレーン
もしくは接地用プレーンを兼用すると好適である。上記
パッケージを用いた半導体装置では、搭載部に半導体素
子が搭載され、所要の電気的接続がなされた後、封止部
材により気密封止される。そしてデカップリングコンデ
ンサは、前記金属板が電源用であるときは基板上の接地
パターンに、前記金属板が接地用であるときは基板上の
電源パターンに接続される。また基板の回路パターンに
外部接続用のリードが接続される。
【0006】
【作用】デカップリングコンデンサの極板の面積を広く
確保でき容量設計が容易となるばかりでなく、半導体素
子の直下に近接してデカップリングコンデンサが配設さ
れるので、同時スイッチングノイズを好適に低減化でき
る。またデカップリングコンデンサは基板表面に形成さ
れる電源パターンもしくは接地パターンに直接接続され
るので、構造が簡単で製造が容易となるだけでなく、半
導体装置の支持構造をなし、装置全体の強度の向上に寄
与し、さらに、デカップリングコンデンサが外部に露出
する構造となるので放熱性にも優れている。
【0007】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図1はリードフレームタイプの
半導体装置用パッケージ10を示す。12はインナーリ
ード、14はアウターリードであり、金属板に公知のプ
レス加工もしくはエッチング加工を施して形成される。
本実施例では、インナーリード12は搭載される半導体
素子を四方から囲む(図示せず)、いわゆるQFPタイ
プのものに形成しているが、DIPタイプその他のタイ
プに形成してもよいことはもちろんである。16は金属
板であり、インナーリード12先端で囲む空間を閉塞す
るようにしてインナーリード12先端下面に絶縁性の接
着テープ18(絶縁材)を介して固定されている。金属
板16上面には半導体素子が搭載され、また金属板16
は電源用あるいは接地用のプレーンとして兼用される。
20はデカップリングコンデンサであり、銀粉が混入さ
れたエポキシ樹脂(銀エポキシ)等からなる導電性接着
剤22により金属板16下面に固定されている。デカッ
プリングコンデンサ20はほぼ金属板16と同じ大きさ
の板状のものに形成されている。なお23、23は電
極、24は両電極23、23間に介在された高誘電体か
らなるシートである。電極23は銅箔などの薄厚の導体
膜を用いることでコンデンサそのものを薄くすることが
可能となる。また高誘電体のシート24は、チタン酸ス
トロンチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、酸化タ
ンタル、酸化アルミニウム等の誘電体を用いることがで
き、これらを薄膜状に形成して用いると好適である。
【0008】図2は上記リードフレームタイプの半導体
装置用パッケージ10を用いた半導体装置26を示す。
前記金属板16上には半導体素子28が搭載される。本
実施例では金属板16は接地用プレーンに使用される。
半導体素子28とインナーリード12の信号ラインおよ
び電源ラインが、ワイヤ29、30により接続され、イ
ンナーリード12の接地ラインと金属板16とがワイヤ
31により接続されている。金属板16と半導体素子2
8とは半導体素子28下面に設けた背面電極端により接
続され接地されている。なおインナーリード12の接地
ラインと金属板16との接続はワイヤでなく、金属板1
6の周縁部に突設した突起(図示せず)をインナーリー
ド12に溶接等により接続してもよい。上記のように電
気的接続がなされた後、半導体素子28が封止樹脂(封
止部材)32により封止されて半導体装置26に形成さ
れる。このときデカップリングコンデンサ20の金属板
16に固定されている面の反対側の面が封止樹脂32よ
り露出するように封止する。なお半導体素子28は図示
しないキャップ(封止部材)で封止するようにしてもよ
い。
【0009】図3は上記半導体装置26を基板34に実
装して回路装置33を形成した例を示す。すなわち、ア
ウターリード14が基板34に設けられている配線パタ
ーン35に接続され、またデカップリングコンデンサ2
0が銀エポキシ等の導電性接着剤22により基板34の
電源パターン36に接続されて回路装置33に完成され
る。なお図3に図示した電源パターン36は、図示しな
い回路により配線パターン35の中の電源パターンに接
続されており、この電源パターンがアウターリード1
4、インナーリード12、ワイヤ30を介して半導体素
子28に接続されている。このように本実施例では、デ
カップリングコンデンサ20の極板の面積を広く確保で
き容量設計が容易となるばかりでなく、半導体素子28
の直下に近接してデカップリングコンデンサ20が配設
されるので、同時スイッチングノイズを好適に低減化で
きる。またデカップリングコンデンサ20は基板34表
面に形成される電源パターンもしくは接地パターンに直
接接続されるので、構造が簡単で製造が容易となるだけ
でなく、半導体装置26の支持構造をなし、装置全体の
強度の向上に寄与し、さらに、デカップリングコンデン
サ20が封止樹脂32の外部に露出する構造となるので
放熱性にも優れている。なお、本実施例における回路装
置33においては、デカップリングコンデンサ20はあ
らかじめ基板34の電源パターン36に導電性接着剤2
2により固定しておくようにしてもよい。
【0010】上記実施例では金属板16を接地用プレー
ンとして使用したが、電源用プレーンとして使用しても
よい。図4は金属板16を電源用プレーンに使用した場
合の半導体装置26を示す。図5は上記半導体装置26
を基板34に実装して回路装置33に形成した例を示
す。この場合に、インナーリード12の電源ラインと金
属板16とがワイヤ30により接続されている。金属板
16と半導体素子28とは半導体素子28下面に設けた
背面電極端により接続されている。またデカップリング
コンデンサ20は基板34の接地パターン37に導電性
接着剤22により固定される。そして接地パターン37
は図示しない回路により配線パターン35の中の接地パ
ターンに接続されており、この接地パターンがアウター
リード14、インナーリード12、ワイヤ31を介して
半導体素子28に接続されている。本実施例でも上記と
同様の作用効果を奏する。
【0011】さらに上記実施例では、デカップリングコ
ンデンサ20は電極23、23の間に高誘電体からなる
シート24を介装したもので形成したが、図6に示すよ
うに、金属板16と電源パターン36あるいは接地パタ
ーン37との間に銀エポキシ等の導電性接着剤38によ
り前記実施例と同様の高誘電体のシート24を介装、固
定するようにしてもよい。すなわち、金属板16、電源
パターン36あるいは接地用パターン37が電極を兼用
する。
【0012】図7はプリント配線回路基板(PCB)を
用いた半導体装置用パッケージ40を示す。42はプリ
ント配線回路基板であり、中央に半導体素子収納孔43
が貫設され、この半導体素子収納孔43の周囲に銅箔に
より回路パターン44が形成されている。回路パターン
44には外部接続用のリード45が固定されている。1
6は金属板であり、半導体素子収納孔43を下面側から
閉塞するようにしてプリント配線回路基板42下面に固
定されている。この固定手段は接着剤シート(図示せ
ず)を用いることができる。金属板16は半導体素子が
搭載される部位であり、やはり電源用あるいは接地用プ
レーンとして兼用される。金属板16下面には図1に示
すと同様のデカップリングコンデンサ20が銀エポキシ
等の導電性接着剤22により固定される。
【0013】図8は上記半導体装置用パッケージ40を
用いた半導体装置26を示す。本実施例では金属板16
を接地用に用いた例を示す。金属板16上に半導体素子
28が搭載され、該半導体素子28とリード45の信号
ライン、電源ラインとがワイヤ29、30により接続さ
れ、金属板16とリード45の接地ラインとがワイヤ3
1により接続される。このワイヤ31による接続でな
く、プリント配線回路基板42にスルーホールを設けて
リード45の設置ラインと金属板16を接続してもよ
い。金属板16と半導体素子28とは半導体素子28下
面に設けた背面電極端により接続され接地されている。
また、半導体素子28、金属板16とリード45を直接
ワイヤで接続するかわりに、リード45を回路パターン
44に電気的に接続し、該回路パターン44と半導体素
子28、金属板16をワイヤにより接続するようにして
もよい。半導体素子28は樹脂(封止部材)32がポッ
ティングされて封止される。なお、半導体素子28は図
示しないキャップ(封止部材)にて封止するようにして
もよい。このようにして半導体装置26に完成される。
【0014】図9は上記半導体装置26を基板34に搭
載して回路装置33に形成した例を示す。リード44は
基板34の回路パターン35に接続され、またデカップ
リングコンデンサ20は銀エポキシ等の導電性接着剤2
2により基板34の電源パターン36に接続される。な
お図9に図示した電源パターン36は、図示しない回路
により配線パターン35の中の電源パターンに接続され
ており、この電源パターンがリード45、ワイヤ30を
介して半導体素子28に接続されている。また金属板1
6を電源用として用いることができる。この場合の回路
接続パターンは図5に示すのと同じになるので図示を省
略する。このように本実施例においても、デカップリン
グコンデンサ20の極板の面積を広く確保でき容量設計
が容易となるばかりでなく、半導体素子28の直下に近
接してデカップリングコンデンサ20が配設されるの
で、同時スイッチングノイズを好適に低減化できる。ま
たデカップリングコンデンサ20は基板34表面に形成
される電源パターンもしくは接地パターンに直接接続さ
れるので、構造が簡単で製造が容易となるだけでなく、
半導体装置26の支持構造をなし、装置全体の強度の向
上に寄与し、さらに、デカップリングコンデンサ20が
外部に露出する構造となるので放熱性にも優れている。
なお、本実施例における回路装置33においては、デカ
ップリングコンデンサ20はあらかじめ基板34の電源
パターン36に導電性接着剤22により固定しておくよ
うにしてもよい。
【0015】図10は半導体装置用パッケージ50の他
の実施例を示す。42はプリント配線回路基板であり、
中央に半導体素子収納孔43が凹設され、該半導体素子
収納孔43の周囲に銅箔により回路パターン44が形成
され、該回路パターン44に外部接続用のリード45が
固定されている。プリント配線回路基板42の下面側に
は金属板16が固定されている。金属板16はやはり電
源用あるいは接地用に兼用される。また金属板16の下
面に上記と同様に形成したデカップリングコンデンサ2
0が銀エポキシ等の導電性接着剤22により固定されて
いる。半導体素子収納孔43の内底面には金属板16に
至る貫通孔が形成され、該貫通孔内に導電性ペーストが
充填されてビア52が形成され、該ビア52の半導体素
子収納孔43内底面に露出する部位が端子54に形成さ
れている。
【0016】図11は上記プリント配線回路基板タイプ
の半導体装置用パッケージ50を用いた半導体装置26
を示す。半導体素子28は半導体素子収納孔43内に搭
載される。その他本実施例で図8に示す実施例と相違す
る点は、半導体素子28をワイヤ31により端子54、
ビア52を介して金属板16に接続し、また端子54と
リード45の接地ラインとを接続した点である。図12
は上記半導体装置26を基板34に搭載して回路装置3
3に形成した例を示す。リード44は基板34の回路パ
ターン35に接続され、またデカップリングコンデンサ
20は銀エポキシ等の導電性接着剤22により基板34
の電源パターン36に接続される。なお図9に図示した
電源パターン36は、図示しない回路により配線パター
ン35の中の電源パターンに接続されており、この電源
パターンがリード45、ワイヤ30を介して半導体素子
28に接続されている。また金属板16を電源用として
用いることができる。この場合の回路接続パターンは図
5に示すのと同じになるので図示を省略する。本実施例
でも前記と同様の作用効果を奏する。
【0017】以上本発明につき好適な実施例を挙げて種
々説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
はなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を
施し得るのはもちろんである。
【0018】
【発明の効果】本発明によれば、デカップリングコンデ
ンサの極板の面積を広く確保でき容量設計が容易となる
ばかりでなく、半導体素子の直下に近接してデカップリ
ングコンデンサが配設されるので、同時スイッチングノ
イズを好適に低減化できる。またデカップリングコンデ
ンサは基板表面に形成される電源パターンもしくは接地
パターンに直接接続されるので、構造が簡単で製造が容
易となるだけでなく、半導体装置の支持構造をなし、装
置全体の強度の向上に寄与し、さらに、デカップリング
コンデンサが外部に露出する構造となるので放熱性にも
優れている。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例を示した断面図である。
【図2】図1の半導体装置用パッケージを用いた半導体
装置の断面図である。
【図3】図2の半導体装置を基板に搭載して回路装置を
形成した実施例を示す断面図である。
【図4】図2の半導体装置において金属板を電源プレー
ンとして用いた半導体装置の断面図である。
【図5】図4の半導体装置を基板に搭載して回路装置を
形成した実施例を示す断面図である。
【図6】デカップリングコンデンサの他の実施例を示す
断面説明図である。
【図7】半導体装置用パッケージの他の実施例を示す断
面図である。
【図8】図7の半導体装置用パッケージを用いた半導体
装置の断面図である。
【図9】図7の半導体装置を基板に搭載して回路装置を
形成した実施例を示す断面図である。
【図10】半導体装置用パッケージのさらに他の実施例
を示す断面図である。
【図11】図10の半導体装置パッケージを用いた半導
体装置の断面図である。
【図12】図11の半導体装置を基板に搭載して回路装
置を形成した実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
10 半導体パッケージ 12 インナーリード 14 アウターリード 16 金属板 20 デカップリングコンデンサ 22 導電性接着剤 26 半導体装置 28 半導体素子 32 封止樹脂 33 回路装置 34 基板 36 接地パターン 37 電源パターン 40 半導体装置パッケージ 42 PCB基板 43 半導体素子収納孔 44 回路パターン 45 リード 50 半導体装置用パッケージ 52 ビア 54 端子
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成6年10月7日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0005
【補正方法】変更
【補正内容】
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。本発明の半導体装置用パッ
ケージでは、半導体素子を搭載する搭載部に金属板を用
い、該金属板の半導体素子が搭載される面と反対側の面
に板状のデカップリングコンデンサを固定している。あ
るいは半導体素子を搭載する搭載部下面に金属板を固定
し、該金属板下面に板状のデカップリングコンデンサを
固定している。この場合に素子搭載部に金属板にビアを
介して接続する端子を設ける。金属板は電源用プレーン
もしくは接地用プレーンを兼用する。上記パッケージを
用いた半導体装置では、搭載部に半導体素子が搭載さ
れ、所要の電気的接続がなされた後、封止部材により気
密封止される。そしてデカップリングコンデンサは、前
記金属板が電源用であるときは基板上の接地パターン
に、前記金属板が接地用であるときは基板上の電源パタ
ーンに接続される。また基板の回路パターンに外部接続
用のリードが接続される。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 インナーリード先端側に、半導体素子が
    搭載される金属板が絶縁材を介して固定され、該金属板
    の半導体素子が搭載される面の反対側の面に板状のデカ
    ップリングコンデンサが固定されていることを特徴とす
    る半導体装置用パッケージ。
  2. 【請求項2】 請求項1の半導体装置用パッケージの金
    属板上に半導体素子が搭載され、該半導体素子がインナ
    ーリードと金属板との間で所要の電気的接続がなされる
    と共に、デカップリングコンデンサの金属板に固定され
    ている面の反対側の面が露出するように該半導体素子が
    封止部材により封止されていることを特徴とする半導体
    装置。
  3. 【請求項3】 インナーリードと、 該インナーリード先端側に絶縁材を介して固定された、
    半導体素子搭載用の金属板と、 該金属板下面と基板との間に配設され、前記金属板と前
    記基板上の配線パターンとに接続された板状のデカップ
    リングコンデンサと、 前記金属板上に搭載され、該金属板および前記インナー
    リードとに所要の電気的接続がなされた半導体素子と、 前記デカップリングコンデンサの金属板に固定されてい
    る面の反対側の面が露出するように、該半導体素子が封
    止された封止部材と、 前記インナーリードに続いて形成されたアウターリード
    とを具備し、該アウターリードが前記基板上の配線パタ
    ーンに接続されていることを特徴とする回路装置。
  4. 【請求項4】 半導体素子収納孔が貫設されると共に、
    表面の該半導体素子収納孔の回りに回路パターンが形成
    され、該回路パターンに外部接続用のリードが固定され
    たプリント配線回路基板と、 該プリント配線回路基板の裏面側に前記半導体素子収納
    孔を覆って固定された、半導体素子が搭載される金属板
    と、 該金属板下面に固定された板状のデカップリングコンデ
    ンサとを具備することを特徴とする半導体装置用パッケ
    ージ。
  5. 【請求項5】 請求項4の半導体装置用パッケージの半
    導体素子収納孔内の金属板上に半導体素子が搭載され、
    該半導体素子がリードと金属板との間で所要の電気的接
    続がなされると共に、デカップリングコンデンサの金属
    板に固定されている面の反対側の面が露出するように、
    該半導体素子が封止部材により封止されていることを特
    徴とする半導体装置。
  6. 【請求項6】 半導体素子収納孔が貫設されると共に、
    表面の該半導体素子収納孔の回りに回路パターンが形成
    され、該回路パターンに外部接続用のリードが固定され
    たプリント配線回路基板と、 該プリント配線回路基板の裏面側に前記半導体素子収納
    孔を覆って固定された、半導体素子搭載用の金属板と、 該金属板下面と基板との間に配設され、前記金属板と前
    記基板上の配線パターンとに接続された板状のデカップ
    リングコンデンサと、 前記金属板上に搭載され、該金属板および前記リードと
    に所要の電気的接続がなされた半導体素子と、 前記デカップリングコンデンサの金属板に固定されてい
    る面の反対側の面が露出するように、該半導体素子が封
    止された封止部材とを具備し、 前記リードが前記基板上の配線パターンに接続されてい
    ることを特徴とする回路装置。
  7. 【請求項7】 半導体素子収納孔が凹設されると共に、
    表面の該半導体素子収納孔の回りに回路パターンが形成
    され、該回路パターンに外部接続用のリードが固定され
    たプリント配線回路基板と、 該プリント配線回路基板の裏面側に固定された金属板
    と、 前記半導体素子収納孔内底面に形成され、ビアを介して
    前記金属板に接続された端子と、 前記金属板下面に固定された板状のデカップリングコン
    デンサとを具備することを特徴とする半導体装置用パッ
    ケージ。
  8. 【請求項8】 請求項7の半導体装置用パッケージの半
    導体素子収納孔内に半導体素子が搭載され、該半導体素
    子がリードと金属板との間で所要の電気的接続がなされ
    ると共に、デカップリングコンデンサの金属板に固定さ
    れている面の反対側の面が露出するように、該半導体素
    子が封止部材により封止されていることを特徴とする半
    導体装置。
  9. 【請求項9】 半導体素子収納孔が凹設されると共に、
    表面の該半導体素子収納孔の回りに回路パターンが形成
    され、該回路パターンに外部接続用のリードが固定され
    たプリント配線回路基板と、 該プリント配線回路基板の裏面側に固定された金属板
    と、 前記半導体素子収納孔内底面に形成され、ビアを介して
    前記金属板に接続された端子と、 該金属板下面と基板との間に配設され、前記金属板と前
    記基板上の配線パターンとに接続された板状のデカップ
    リングコンデンサと、 前記半導体素子収納孔内に搭載され、前記リードおよび
    前記端子とに所要の電気的接続がなされた半導体素子
    と、 前記デカップリングコンデンサの金属板に固定されてい
    る面の反対側の面が露出するように、該半導体素子が封
    止された封止部材とを具備し、 前記リードが前記基板上の配線パターンに接続されてい
    ることを特徴とする回路装置。
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