JPH07318128A - クリーンルームで発生する汚染物質の除去方法 - Google Patents
クリーンルームで発生する汚染物質の除去方法Info
- Publication number
- JPH07318128A JPH07318128A JP32361191A JP32361191A JPH07318128A JP H07318128 A JPH07318128 A JP H07318128A JP 32361191 A JP32361191 A JP 32361191A JP 32361191 A JP32361191 A JP 32361191A JP H07318128 A JPH07318128 A JP H07318128A
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- clean room
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームにおいてプロセスを実施する
際に発生する粉塵と有害ガスの除去。 【構成】 プロセス実施装置の前縁又は前縁直下の床面
に空気吸込口を設け、吸込空気によりエアーカーテンを
形成し、吸込空気中に浮遊する粉塵と有害ガスを除去す
るようにしたもの。
際に発生する粉塵と有害ガスの除去。 【構成】 プロセス実施装置の前縁又は前縁直下の床面
に空気吸込口を設け、吸込空気によりエアーカーテンを
形成し、吸込空気中に浮遊する粉塵と有害ガスを除去す
るようにしたもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩ製造におけるク
リーンルーム内の有毒ガス除去方法に関するものであ
る。
リーンルーム内の有毒ガス除去方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】超清浄空間を必要とする最近の超ＬＳＩ
製造工場等のクリーンルームにおいては、第３図に示す
ように、ウエハ加工処理装置（以下プロセス装置とい
う）１を設置してウエハ加工を行うプロセス域Ａと自動
搬送用ロボットを設置して、ウエハを加工工程に従って
プロセス装置間を移動させたり、作業者が加工処理を行
う作業域２から構成されるのが一般的である。
製造工場等のクリーンルームにおいては、第３図に示す
ように、ウエハ加工処理装置（以下プロセス装置とい
う）１を設置してウエハ加工を行うプロセス域Ａと自動
搬送用ロボットを設置して、ウエハを加工工程に従って
プロセス装置間を移動させたり、作業者が加工処理を行
う作業域２から構成されるのが一般的である。
【０００３】上記クリーンルームにおいてはプロセス域
Ａ、作業域Ｂ共にその天井部にＨＥＰＡフィルタ又はＵ
ＬＰＡフィルタ２を取り付けて、送風機３により送り込
まれる空気を清浄化し、夫々の区域内を上方から下方に
整流された空気の流れを形成する。プロセス域では背面
を間仕切りパネル４で仕切られるため、天井部からの気
流はプロセス装置１の上面から前方即ち作業域Ｂの方向
に流れの向きを変えて流れる。このことは逆に作業域Ｂ
からプロセス域Ａへ空気が流れ込まないということで、
これにより、作業域Ｂの自動搬送装置や、作業者より発
生した汚染物質がウエハに付着し、製品が不良品となる
のを防止している。
Ａ、作業域Ｂ共にその天井部にＨＥＰＡフィルタ又はＵ
ＬＰＡフィルタ２を取り付けて、送風機３により送り込
まれる空気を清浄化し、夫々の区域内を上方から下方に
整流された空気の流れを形成する。プロセス域では背面
を間仕切りパネル４で仕切られるため、天井部からの気
流はプロセス装置１の上面から前方即ち作業域Ｂの方向
に流れの向きを変えて流れる。このことは逆に作業域Ｂ
からプロセス域Ａへ空気が流れ込まないということで、
これにより、作業域Ｂの自動搬送装置や、作業者より発
生した汚染物質がウエハに付着し、製品が不良品となる
のを防止している。
【０００４】一般にウエハの加工工程においては、フッ
酸や塩酸等の強酸類や有機溶剤等の化学薬品が多量に使
用され、これらの蒸気による有害ガスが発生する。また
プロセスの中には例えばＣＶＤのように微細な粒状物質
が多量に発生するものもあり、その他、プロセス装置の
可動部からも粉塵の発生がある。これらの汚染物質はプ
ロセス域Ａから作業域Ｂを通る気流に混入して作業域Ｂ
にある開口床５を通ってリターン空気プレナムＣから空
調機６を通り、フィルタ上流側プレナムＤに送り込まれ
る。ＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィルタ２では粒子状の汚染
物質即ち粉塵は捕集されて再循環空気中から除去される
が、ガス状汚染物質はフィルタ３を通過して再びクリー
ンルーム内に流入する。この結果空気が循環を繰り返す
度にＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィルタ２を通過したガス状
汚染物質はクリーンルーム内で次第に濃度を増し、人体
及び製品に害を与える。また、ＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフ
ィルタ２の上流側にリターンした空気中の汚染物質は送
風機３による攪拌作用によりプレナム内で均一な濃度で
混合されるため、ＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィルタ２の通
過後はクリーンルーム内全体に拡散することになる。
酸や塩酸等の強酸類や有機溶剤等の化学薬品が多量に使
用され、これらの蒸気による有害ガスが発生する。また
プロセスの中には例えばＣＶＤのように微細な粒状物質
が多量に発生するものもあり、その他、プロセス装置の
可動部からも粉塵の発生がある。これらの汚染物質はプ
ロセス域Ａから作業域Ｂを通る気流に混入して作業域Ｂ
にある開口床５を通ってリターン空気プレナムＣから空
調機６を通り、フィルタ上流側プレナムＤに送り込まれ
る。ＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィルタ２では粒子状の汚染
物質即ち粉塵は捕集されて再循環空気中から除去される
が、ガス状汚染物質はフィルタ３を通過して再びクリー
ンルーム内に流入する。この結果空気が循環を繰り返す
度にＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィルタ２を通過したガス状
汚染物質はクリーンルーム内で次第に濃度を増し、人体
及び製品に害を与える。また、ＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフ
ィルタ２の上流側にリターンした空気中の汚染物質は送
風機３による攪拌作用によりプレナム内で均一な濃度で
混合されるため、ＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィルタ２の通
過後はクリーンルーム内全体に拡散することになる。
【０００５】上記の有害ガスを除去するために、従来は
第３図で示すように活性炭や硅酸マグネシウム等を主成
分とするガス吸着剤、或は二酸化マンガンや白金、パラ
ジウム等の触媒剤を用いたガス除去フィルタ６を空気調
和機の空気吸込口に取付けるとか、第４図で示すように
開口床５の下部に取り付けて除去する方法が一般に用い
られてきた。また、粒状物質については適当な捕集性能
のエアフィルタを送風機３の空気吸込口或は開口床５の
下部に取り付けて捕集し、天井部のＨＥＰＡ又はＵＬＰ
Ａフィルタ２の目詰まりを防いでいる。
第３図で示すように活性炭や硅酸マグネシウム等を主成
分とするガス吸着剤、或は二酸化マンガンや白金、パラ
ジウム等の触媒剤を用いたガス除去フィルタ６を空気調
和機の空気吸込口に取付けるとか、第４図で示すように
開口床５の下部に取り付けて除去する方法が一般に用い
られてきた。また、粒状物質については適当な捕集性能
のエアフィルタを送風機３の空気吸込口或は開口床５の
下部に取り付けて捕集し、天井部のＨＥＰＡ又はＵＬＰ
Ａフィルタ２の目詰まりを防いでいる。
【０００６】送風機３の空気吸込口に粉塵及びガス除去
フィルタを取り付ける従来方式ではフィルタを通過する
風速は普通２〜２．５ｍ／ｓ程度と速いためフィルタの
圧力損失は２０〜３０ｍｍＨ２Ｏ程度と高くなり、空調
機の送風機動力が大きくなると共にフィルタの寿命が短
くなる。特にガス除去フィルタについてはこれを頻繁に
交換するか、または２系統のフィルタ装置を設置して交
互に切り換えて使用する等の方法が必要で、装置が複
雑、高価になる。また、開口床５の下に上記フィルタを
取り付けた場合は、風速はほぼクリーンルーム内の垂直
流の風速に近く、１ｍ／ｓ以下であるため、フィルタに
よる圧力損失は５〜１０ｍｍＨ２Ｏ程度と低くなり、送
風機の動力の上昇は小さくて済むが、クリーンルーム内
の風速分布を均一に保つためには、開口床下全面に取付
けなければならず、非常に多くのフィルタユニットが必
要となり、設備費、保守費共に大きくなる欠点があっ
た。
フィルタを取り付ける従来方式ではフィルタを通過する
風速は普通２〜２．５ｍ／ｓ程度と速いためフィルタの
圧力損失は２０〜３０ｍｍＨ２Ｏ程度と高くなり、空調
機の送風機動力が大きくなると共にフィルタの寿命が短
くなる。特にガス除去フィルタについてはこれを頻繁に
交換するか、または２系統のフィルタ装置を設置して交
互に切り換えて使用する等の方法が必要で、装置が複
雑、高価になる。また、開口床５の下に上記フィルタを
取り付けた場合は、風速はほぼクリーンルーム内の垂直
流の風速に近く、１ｍ／ｓ以下であるため、フィルタに
よる圧力損失は５〜１０ｍｍＨ２Ｏ程度と低くなり、送
風機の動力の上昇は小さくて済むが、クリーンルーム内
の風速分布を均一に保つためには、開口床下全面に取付
けなければならず、非常に多くのフィルタユニットが必
要となり、設備費、保守費共に大きくなる欠点があっ
た。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、粉塵捕集用
エアフィルタ７とガス除去用フィルタ８及び送風機を内
蔵したファンフィルタユニット９をクリーンルームの空
気の循環経路である開口床下５のリターンプレナムＣ内
に取付け有害ガス又は粉塵を発生するプロセス装置１の
直下で局所的にそれらの汚染物質を除去するものであ
る。
エアフィルタ７とガス除去用フィルタ８及び送風機を内
蔵したファンフィルタユニット９をクリーンルームの空
気の循環経路である開口床下５のリターンプレナムＣ内
に取付け有害ガス又は粉塵を発生するプロセス装置１の
直下で局所的にそれらの汚染物質を除去するものであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】該ファン・フィルタユニ
ット９の空気吸込口には扁平な形状の吸込ノズル１０及
ダクト１１を接続し吸込ノズル１０がプロセス装置１の
プロセス作業面の前縁、またはその下部床面に位置する
ようにし、プロセス装置の前面に清浄空気によるエアカ
ーテンＥを形成させ、前記プロセス装置１内で発生する
ガス状及び粒子状汚染物質を該ファン・フィルタユニッ
ト９に吸引し、その内部に取り付けられたガス除去フィ
ルタ８及び粉塵捕集フィルタ７により除去して、リター
ンプレナムＤ内に清浄空気として排出し、空調機３に汚
染物質が流入しないようにするものである。
ット９の空気吸込口には扁平な形状の吸込ノズル１０及
ダクト１１を接続し吸込ノズル１０がプロセス装置１の
プロセス作業面の前縁、またはその下部床面に位置する
ようにし、プロセス装置の前面に清浄空気によるエアカ
ーテンＥを形成させ、前記プロセス装置１内で発生する
ガス状及び粒子状汚染物質を該ファン・フィルタユニッ
ト９に吸引し、その内部に取り付けられたガス除去フィ
ルタ８及び粉塵捕集フィルタ７により除去して、リター
ンプレナムＤ内に清浄空気として排出し、空調機３に汚
染物質が流入しないようにするものである。
【０００９】
【実施例】第１図は本発明の一実施例を示すものであ
り、ガス除去用エアーフィルタ８と粉塵捕集用エアーフ
ィルタ７及び送風機を、一個のボックス内に収納したフ
ァンフィルタユニット９を構成し、その空気吸込口に、
扁平形状の吸込みノズルを有するダクト１１を接続し、
該ダクトをプロセス装置１の前縁に取り付けることによ
り、クリーンルーム天井部のＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィ
ルタ２より流入する清浄空気が該吸込ノズル１０の吸引
圧力によりプロセス装置の前面にエアカーテンＥを形成
し、これにより、プロセス域Ａと作業域Ｂが遮断され、
プロセス域Ａで発生したガス状及び粒子状汚染物質を該
エアカーテンＥの気流と共に床下に取り付けたファン・
フィルタユニット９内に吸引し、ユニット内に取り付け
られた粉塵捕集用エアーフィルタ７及びガス除去用エア
ーフィルタ８により除去し、清浄空気としてリターン空
気プレナム内に放出し、これらの汚染物質がプロセス域
Ａから作業域Ｂの空間に拡散するのを防止している。ま
た、第２図は他の実施例を説明するためのものであり、
この場合には、第１図で示すファンフィルタユニット９
の空気吸込口に扁平形状のダクトをそなえた吸込ノズル
１０をプロセス装置の前縁下部床面に取り付けた構造と
している。この場合においても先の実施例と同様の効果
が期待できる。
り、ガス除去用エアーフィルタ８と粉塵捕集用エアーフ
ィルタ７及び送風機を、一個のボックス内に収納したフ
ァンフィルタユニット９を構成し、その空気吸込口に、
扁平形状の吸込みノズルを有するダクト１１を接続し、
該ダクトをプロセス装置１の前縁に取り付けることによ
り、クリーンルーム天井部のＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィ
ルタ２より流入する清浄空気が該吸込ノズル１０の吸引
圧力によりプロセス装置の前面にエアカーテンＥを形成
し、これにより、プロセス域Ａと作業域Ｂが遮断され、
プロセス域Ａで発生したガス状及び粒子状汚染物質を該
エアカーテンＥの気流と共に床下に取り付けたファン・
フィルタユニット９内に吸引し、ユニット内に取り付け
られた粉塵捕集用エアーフィルタ７及びガス除去用エア
ーフィルタ８により除去し、清浄空気としてリターン空
気プレナム内に放出し、これらの汚染物質がプロセス域
Ａから作業域Ｂの空間に拡散するのを防止している。ま
た、第２図は他の実施例を説明するためのものであり、
この場合には、第１図で示すファンフィルタユニット９
の空気吸込口に扁平形状のダクトをそなえた吸込ノズル
１０をプロセス装置の前縁下部床面に取り付けた構造と
している。この場合においても先の実施例と同様の効果
が期待できる。
【００１０】本発明の方法によると、従来、空調機の空
気吸込口に取付け、循環風量全体を通過させるようにし
た例えば有毒ガス除去フィルタに対し、有毒ガス発生部
の小風量のみを処理すれば済むため、ガス除去フィルタ
の容量が従来方式の１／１０程度で済み、極めて経済的
かつ有効である。また本発明の方法では、ファン・フィ
ルタユニット９内の送風機により、ガス除去用エアーフ
ィルタ及び粉塵捕集用エアーフィルタの圧力損失を補償
するため、従来方式で必要としたフィルタ圧力損失に対
する、空調機の送風機動力の増加は全く必要とせず、既
設の空調装置には全く影響を与えず、更にファン・フィ
ルタユニット９内のフィルタ交換等の保守作業もクリー
ンルームの運転停止などの特別な処置を必要とせず、極
めて容易に行うことができる利点がある。
気吸込口に取付け、循環風量全体を通過させるようにし
た例えば有毒ガス除去フィルタに対し、有毒ガス発生部
の小風量のみを処理すれば済むため、ガス除去フィルタ
の容量が従来方式の１／１０程度で済み、極めて経済的
かつ有効である。また本発明の方法では、ファン・フィ
ルタユニット９内の送風機により、ガス除去用エアーフ
ィルタ及び粉塵捕集用エアーフィルタの圧力損失を補償
するため、従来方式で必要としたフィルタ圧力損失に対
する、空調機の送風機動力の増加は全く必要とせず、既
設の空調装置には全く影響を与えず、更にファン・フィ
ルタユニット９内のフィルタ交換等の保守作業もクリー
ンルームの運転停止などの特別な処置を必要とせず、極
めて容易に行うことができる利点がある。
【００１１】
【第１図】本発明の１実施例を示すための図である。
【第２図】本発明の他の１実施例を示すための図であ
る。
る。
【第３図】従来のクリーンルームのウェハ加工処理装置
における浮遊物汚染物質の除去方法を説明するための図
である。
における浮遊物汚染物質の除去方法を説明するための図
である。
１ プロセス装置 ２ ＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタ ３ 送風機 ４ 間仕切りパネル ５ 開口床 ６ ガス除去フィルタ ７ 粉塵捕集用エアフィルタ ８ ガス除去用エアフィルタ ９ ファンフィルタユニット １０ 吸込ノズル １１ ダクト Ａ プロセス域 Ｂ 作業域 Ｃ リターン空気プレナム Ｄ フィルタ上流側プレナム Ｅ エアーカーテン
Claims (1)
- 【請求項１】 垂直層流形クリーンルームにおいて、プ
ロセス装置の前縁又は前縁直下の床面にプロセス装置の
横巾とほぼ同じ長さの空気吸込口を設け、その床下部に
該吸込口に接続された吸込ダクトを有するファン・フィ
ルタユニットを取付け、該吸込口の吸込風速をクリーン
ルームの垂直層流の風速より僅かに速くすることによ
り、プロセス装置の前面に清浄空気のエアカーテンが形
成されるようにし、かつ該ファン・フィルタユニット内
に粉塵捕集用エアフィルタとガス除去フィルタを装着し
て、プロセス装置内で発生する粉塵及び有害ガスなどの
汚染物質をプロセス装置前面に形成される清浄空気エア
カーテンによって前記吸込口に吸引し、ファン・フィル
タユニット内のフィルタで捕集、除去するようにしたク
リーンルームで発生する汚染物質の除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32361191A JPH07318128A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | クリーンルームで発生する汚染物質の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32361191A JPH07318128A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | クリーンルームで発生する汚染物質の除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07318128A true JPH07318128A (ja) | 1995-12-08 |
Family
ID=18156659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32361191A Pending JPH07318128A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | クリーンルームで発生する汚染物質の除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07318128A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100517905B1 (ko) * | 2002-10-21 | 2005-10-04 | 주식회사 오리엔트바이오 | 무균동물 사육용 청정 작업대 |
| US7717107B2 (en) * | 2003-11-18 | 2010-05-18 | Shinpo Kabushiki Kaisha | Smokeless cooker |
| CN107367010A (zh) * | 2017-08-30 | 2017-11-21 | 重庆祥云制冷设备厂 | 一种自循环风幕机以及风幕*** |
-
1991
- 1991-10-03 JP JP32361191A patent/JPH07318128A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100517905B1 (ko) * | 2002-10-21 | 2005-10-04 | 주식회사 오리엔트바이오 | 무균동물 사육용 청정 작업대 |
| US7717107B2 (en) * | 2003-11-18 | 2010-05-18 | Shinpo Kabushiki Kaisha | Smokeless cooker |
| CN107367010A (zh) * | 2017-08-30 | 2017-11-21 | 重庆祥云制冷设备厂 | 一种自循环风幕机以及风幕*** |
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