JPH07301519A - 距離測定装置 - Google Patents

距離測定装置

Info

Publication number
JPH07301519A
JPH07301519A JP12070694A JP12070694A JPH07301519A JP H07301519 A JPH07301519 A JP H07301519A JP 12070694 A JP12070694 A JP 12070694A JP 12070694 A JP12070694 A JP 12070694A JP H07301519 A JPH07301519 A JP H07301519A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
reflected
window
light receiving
window member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12070694A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Morishita
耕次 森下
Yuichi Inoue
祐一 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Corp
Priority to JP12070694A priority Critical patent/JPH07301519A/ja
Publication of JPH07301519A publication Critical patent/JPH07301519A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 距離測定装置の窓ガラス部で生じる迷光によ
る影響をなくすること。 【構成】 光ビームを出射する投光窓2を投光ビーム8
の垂直面から所定角度θ傾けて構成する。又投光窓2に
よって反射される1次迷光8Aをケース1内の遮光材1
0により吸収する。測定対象物9から反射される光は一
部が投光窓2で反射するが、この光は受光領域Rdに入
射することはなく、迷光による影響が除かれる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は三角測量法を用いて光学
的に物体までの距離を測定する距離測定装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来三角測量法を用いた距離測定装置と
して光を測定対象物に照射し、投光ビームから所定角度
傾けて位置検出素子等の受光素子上に散乱光の像を結像
させ、その像の位置によって距離を測定する距離測定装
置が用いられている。このような距離測定装置では、ケ
ースの一部に投光ビームを照射し散乱光を受光するため
の窓が設けられる。この窓は埃等の付着に対し清掃を容
易にするため、平坦な窓板ガラス等で構成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかるにこのような従
来の光学式距離測定装置では、以下のような意図された
光以外に、受光素子や測定対象物に照射される以下の迷
光によって正常な距離測定を乱すことがある。 投光レンズからの光が窓により反射・散乱され、直接
受光素子に入射する迷光。 投光レンズからの光が窓により反射・散乱され、再び
投光レンズ等の投光部の部材に反射・散乱され、測定対
象物に照射される迷光。 投光レンズから窓を通り、測定対象物に照射された光
の反射光で窓によって反射され、再び対象物に照射され
る迷光。このような迷光は窓ガラスに無反射コーティン
グを施すことによって低減することができるが、完全に
除去することはできず、距離測定に悪影響を及ぼすとい
う欠点があった。
【0004】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであって、窓等により生じる迷光を影響
を除き、距離測定に影響されないようにすることを目的
とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本願の請求項1の発明
は、光を発生し投光ビームを物体に照射する投光素子
と、測定対象物からの反射光を受光レンズを介して受光
する位置検出型の受光素子と、受光素子の出力に基づい
て測定対象物までの距離を検出する信号処理手段と、を
具備する距離測定装置であって、投光ビーム及び測定対
象物からの散乱光を透過させる位置に投光ビームに対し
垂直な面から傾けて配置され、ケースの一部を構成する
窓材と、投光ビームが窓材によって直接反射される位置
に配置され、反射光を減衰させる光減衰手段と、を具備
することを特徴とするものである。
【0006】本願の請求項2の発明は、光を発生し投光
ビームを物体に照射する投光素子と、測定対象物からの
反射光を受光レンズを介して受光する位置検出型の受光
素子と、受光素子の出力に基づいて測定対象物までの距
離を検出する信号処理手段と、を具備する距離測定装置
であって、投光ビームを透過させる位置に投光ビームに
対し垂直な面から傾けて配置され、ケースの一部を構成
する投光用窓材と、測定対象物からの散乱光を透過させ
る位置に投光ビームに対し垂直に配置され、ケースの一
部を構成する受光用窓材と、投光ビームが投光用窓材に
よって直接反射される位置に配置され、反射光を減衰さ
せる光減衰手段と、投光用窓材及び受光用窓材の間のケ
ース表面に設けられた非光沢部材と、を具備することを
特徴とするものである。
【0007】本願の請求項3の発明は、光を発生し投光
ビームを物体に照射する投光素子と、測定対象物からの
反射光を受光レンズを介して受光する位置検出型の受光
素子と、受光素子の出力に基づいて測定対象物までの距
離を検出する信号処理手段と、を具備する距離測定装置
であって、投光ビームを透過させる位置に投光ビームに
対し垂直な面から傾けて配置され、ケースの一部を構成
する投光用窓材と、測定対象物からの散乱光を透過させ
る位置に、投光ビームに対し投光用窓材の傾きと反対方
向への傾斜して配置された受光用窓材と、投光ビームが
投光用窓材によって直接反射される位置に配置され、反
射光を減衰させる光減衰手段と、投光用窓材及び受光用
窓材の間のケース表面に設けられた非光沢部材と、を具
備することを特徴とするものである。
【0008】
【作用】このような特徴を有する本発明によれば、投光
素子から照射された光は窓材を介して測定対象物に照射
される。そして測定対象物が所定の検知範囲内にあれば
その散乱光が窓材を介して受光素子によって受光され、
その受光位置に基づいて測定対象物の位置を検出するよ
うにしている。ここで窓材は投光ビームの垂直面から傾
けて配置しているため、その直接反射光は距離測定装置
内部の光減衰手段によって減衰され、迷光として悪影響
を及ぼすことはない。又測定対象物から直接反射された
光も窓材に反射するが、受光視野と異なった位置に入射
することとなり、迷光として悪影響を及ぼすことがなく
なる。
【0009】
【実施例】図1は本発明の第1実施例による距離測定装
置の構成を示す断面図であって、光学系部分を示してい
る。ケース1はその一部に投光窓2及び受光窓3を有し
ており、夫々に窓ガラスから成る窓材が設けられケース
1内を密封している。そしてケース1内には投光素子4
が投光窓2に向けて取付けられ、その光軸に沿って絞り
5及び投光レンズ6が設けられる。投光レンズ6は例え
ば黒色アルマイト製の鏡筒7内に配置するものとし、投
光素子4から出た投光ビーム8を集束して投光窓2の窓
材、即ち窓ガラス2aを介して測定対象物9に照射する
ものである。又ケース1内にはこの鏡筒7に隣接する位
置に光吸収用の遮光体10を設ける。遮光体10は単に
光を遮光するだけでなく、入射する光を吸収し反射させ
ない部材で構成される光吸収手段である。又その側方に
は受光部の光学系を構成する。即ち投光ビーム8を測定
対象物9に照射すれば、測定対象物9からの散乱光の一
部が受光窓3の窓材、即ち窓ガラス3aを介して距離測
定装置のケース1内に入射し、受光レンズ11を介して
受光素子12に光が入射されることとなる。ここで受光
素子12は、受光位置によって一対の出力端の電流値が
異なる位置検出素子(PSD)を用いるものとする。又
ケース1の投光窓2と受光窓3との間は、反射光を防止
するために光沢のない非光沢部材を用いて構成するもの
とする。
【0010】図2は距離測定装置の全体構成を示すブロ
ック図である。本図に示すように投光素子4は駆動回路
21によってパルス駆動されるものとし、測定対象物9
からの散乱光は受光素子12の両端に電流信号として出
力される。この信号はI/V変換器22a,22bによ
って電圧に変換され、プリアンプを介して直線性補正回
路23に出力される。そして直線性が補正された後、除
算回路24によってこれらの出力が割算され、照射位置
に応じた出力信号となる。この信号は出力回路25を介
して外部に出力される。このような信号処理部の構成に
ついては従来の距離測定装置と同一である。
【0011】このような構成によれば、距離測定装置か
ら測定対象物9までの距離がLa〜Lcまでの範囲内で
受光素子12の所定領域に光が反射され、物体の位置が
検出される。こうすれば距離La〜Lcの範囲内にある
測定対象物9までの距離を測定することができる。受光
素子12はこの範囲よりわずかに外側の散乱光までを受
光するため、図1に示すRdが受光視野となる。
【0012】ここで投光窓2は投光軸に対して直角でな
く、垂直な面から所定角度θ傾けて配置している。この
ため投光ビーム8が投光窓2の窓ガラス2aによってケ
ース1内に反射され、反射された1次迷光8Aが生じて
も、その光は直接投光素子4側に反射されることなくケ
ース内に反射される。ここでケース1内には遮光体10
が設けられており、この1次迷光8Aが遮光される。従
って1次迷光8Aが投光素子4に入射したり、受光素子
12に入射することなく1次迷光8Aの影響を除去する
ことができる。
【0013】又測定対象物9によって反射された光の一
部は、投光窓2の窓ガラス2aによって反射されて2次
迷光8Bとなる。この光はθが90°であれば再度正反
射して2次迷光8Bが測定対象物9のうち受光視野Rd
内を照射する。しかし本実施例のようにθは90°以下
の角度としているため、2次迷光8Bは受光視野Rd外
に反射され、受光素子12に入射されることはない。又
図3に示すように測定対象物9が投光ビーム8に対して
所定角度傾いており、その正反射光が受光窓3の窓ガラ
ス3aに入射し、反射して2次迷光8Bが生じたとして
も、2次迷光8Bは受光視野Rd外に入射して受光素子
12には入射しないため、距離測定に悪影響を及ぼすこ
とはない。
【0014】又測定対象物9の傾斜角度が図3よりも小
さく、投光ビーム8の正反射光がケース1の投光窓2と
受光窓3との間に照射されることがある。この場合には
これらの間隙を非光沢の部材で構成しているため、光が
ほとんど反射しない。又受光視野内に2次迷光の一部が
入射したとしても、その反射光が再び受光素子に入射す
るレベルを大幅に減衰することができる。
【0015】尚本実施例は投光窓2の傾きを投光ビーム
の垂直な面から所定角度傾けて配置し、受光窓3は投光
ビームに垂直な面としているが、受光窓3の傾き角を投
光ビーム8に垂直な面でなく、図4に示すように傾きθ
とは反対方向に傾いているように、即ち投光ビーム8と
受光窓3′のガラス3aの成す角度αを90°以上に設
定してもよい。こうすれば2次迷光8Bが受光領域Rd
に入射することを確実に防止することができる。
【0016】次に本発明の第3実施例について説明す
る。図5は第3実施例の構成を示す縦断面図であり、距
離測定装置の光学系部分を示している。本実施例におい
て前述した第1実施例と同一部分は同一符号を付して詳
細な説明を省略する。本実施例ではケース31内に投光
用及び受光用の共通の窓32を設ける。そしてこの窓は
前述した第1実施例と同様に投光ビームに対する傾きを
90°でなく、これより異なった値、例えばθ=72°
に設定しておくものとする。鏡筒7内には螺旋状の切削
処理を施し、投光レンズに迷光が戻らないようにしてい
る。そうすれば投光ビーム8が窓ガラス32aで反射さ
れて生じる1次迷光は鏡筒7によって吸収され、投光レ
ンズ6や投光素子4側に戻ることはない。従ってこの鏡
筒7が反射光を減衰させる光減衰手段となる。又測定用
光の正反射光が再び窓ガラス32aで反射される場合
も、θを適切な値に設定しておくことによって2次反射
による迷光8Bを受光視野Rd外に入射させることがで
きる。
【0017】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、投光レンズから出射された光ビームはケースの窓で
反射されてもケース内の光吸収手段によって減衰され、
迷光となることはない。又対象物に反射した光が窓によ
って再び反射されてもそれによって反射する2次光が受
光視野内に入ることはない。そのため極めて簡単な構成
にもかかわらず迷光による誤差を軽減することができる
という効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例による距離測定装置の光学
系部分を示す断面図である。
【図2】本発明の第1実施例による距離測定装置の構成
を示すブロック図である。
【図3】本発明の第1実施例において測定対象物を傾け
た状態を示す縦断面図である。
【図4】本発明の第2実施例による距離測定装置の縦断
面図である。
【図5】本発明の第3実施例による距離測定装置の縦断
面図である。
【符号の説明】
1,31 ケース 2 投光窓 2a,3a,32a 窓ガラス 3 受光窓 4 投光素子 5 絞り 6 投光レンズ 7 鏡筒 8 投光ビーム 8A 1次迷光 8B 2次迷光 9 測定対象物 10 遮光体 11 受光レンズ 12 受光素子 32 窓

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光を発生し投光ビームを物体に照射する
    投光素子と、 測定対象物からの反射光を受光レンズを介して受光する
    位置検出型の受光素子と、 前記受光素子の出力に基づいて測定対象物までの距離を
    検出する信号処理手段と、を具備する距離測定装置にお
    いて、 前記投光ビーム及び測定対象物からの散乱光を透過させ
    る位置に前記投光ビームに対し垂直な面から傾けて配置
    され、前記ケースの一部を構成する窓材と、 前記投光ビームが前記窓材によって直接反射される位置
    に配置され、反射光を減衰させる光減衰手段と、を具備
    することを特徴とする距離測定装置。
  2. 【請求項2】 光を発生し投光ビームを物体に照射する
    投光素子と、 測定対象物からの反射光を受光レンズを介して受光する
    位置検出型の受光素子と、 前記受光素子の出力に基づいて測定対象物までの距離を
    検出する信号処理手段と、を具備する距離測定装置にお
    いて、 前記投光ビームを透過させる位置に前記投光ビームに対
    し垂直な面から傾けて配置され、前記ケースの一部を構
    成する投光用窓材と、 測定対象物からの散乱光を透過させる位置に前記投光ビ
    ームに対し垂直に配置され、前記ケースの一部を構成す
    る受光用窓材と、 前記投光ビームが前記投光用窓材によって直接反射され
    る位置に配置され、反射光を減衰させる光減衰手段と、 前記投光用窓材及び受光用窓材の間のケース表面に設け
    られた非光沢部材と、を具備することを特徴とする距離
    測定装置。
  3. 【請求項3】 光を発生し投光ビームを物体に照射する
    投光素子と、 測定対象物からの反射光を受光レンズを介して受光する
    位置検出型の受光素子と、 前記受光素子の出力に基づいて測定対象物までの距離を
    検出する信号処理手段と、を具備する距離測定装置にお
    いて、 前記投光ビームを透過させる位置に前記投光ビームに対
    し垂直な面から傾けて配置され、前記ケースの一部を構
    成する投光用窓材と、 前記測定対象物からの散乱光を透過させる位置に、前記
    投光ビームに対し前記投光用窓材の傾きと反対方向への
    傾斜して配置された受光用窓材と、 前記投光ビームが前記投光用窓材によって直接反射され
    る位置に配置され、反射光を減衰させる光減衰手段と、 前記投光用窓材及び受光用窓材の間のケース表面に設け
    られた非光沢部材と、を具備することを特徴とする距離
    測定装置。
JP12070694A 1994-05-09 1994-05-09 距離測定装置 Pending JPH07301519A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12070694A JPH07301519A (ja) 1994-05-09 1994-05-09 距離測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12070694A JPH07301519A (ja) 1994-05-09 1994-05-09 距離測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07301519A true JPH07301519A (ja) 1995-11-14

Family

ID=14792980

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12070694A Pending JPH07301519A (ja) 1994-05-09 1994-05-09 距離測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07301519A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014157511A1 (ja) * 2013-03-29 2014-10-02 東亜ディーケーケー株式会社 反射光測定装置
CN104634313A (zh) * 2015-02-04 2015-05-20 金华马卡科技有限公司 一种测距仪
JP2016033482A (ja) * 2014-07-31 2016-03-10 船井電機株式会社 レーザレンジファインダ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014157511A1 (ja) * 2013-03-29 2014-10-02 東亜ディーケーケー株式会社 反射光測定装置
JPWO2014157511A1 (ja) * 2013-03-29 2017-02-16 東亜ディーケーケー株式会社 反射光測定装置
JP2016033482A (ja) * 2014-07-31 2016-03-10 船井電機株式会社 レーザレンジファインダ
CN104634313A (zh) * 2015-02-04 2015-05-20 金华马卡科技有限公司 一种测距仪
WO2016123877A1 (zh) * 2015-02-04 2016-08-11 金华马卡科技有限公司 一种测距仪

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4024912B2 (ja) レーザ距離測定装置
US5886777A (en) Electronic distance measuring device
JPS60127403A (ja) 厚み測定装置
JPS6036013B2 (ja) 金属表面の欠陥検査方法
JP3793315B2 (ja) 傾斜検出装置
JP2000193586A (ja) 光学式雨滴検出装置
JPH06148543A (ja) 光ビーム走査光学系
JPH07301519A (ja) 距離測定装置
KR840002359B1 (ko) 적외선 필름 두께 측정기
JPH05223533A (ja) 高さ測定装置
JP3106521B2 (ja) 透明基板の光学的検査装置
JP3230625B2 (ja) 反射型光電センサ
JP4247729B2 (ja) 照射点検出装置
JPH07318648A (ja) 光波測距計
JP2666032B2 (ja) 散乱光と散乱角度分布の測定方法
JPH07146115A (ja) 光センサ
JPS5982726A (ja) ペリクル付基板の異物検査装置
JP2936644B2 (ja) 異物検査装置
JPH076753U (ja) シート状物体の水分測定装置
JPS58216904A (ja) 厚さ測定装置
JPH0372248A (ja) 塵埃検出装置
JPS6212282Y2 (ja)
JPH03130639A (ja) Mtf測定装置の光軸整合方法
JPH0725618Y2 (ja) 変位測定装置
JPS60222756A (ja) 異物検査装置