JPH07299777A - 搬送ロボットの制御方法 - Google Patents
搬送ロボットの制御方法Info
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- JPH07299777A JPH07299777A JP9468894A JP9468894A JPH07299777A JP H07299777 A JPH07299777 A JP H07299777A JP 9468894 A JP9468894 A JP 9468894A JP 9468894 A JP9468894 A JP 9468894A JP H07299777 A JPH07299777 A JP H07299777A
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- Numerical Control (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 動作中にエラーが発生した時、自動的に原点
に復帰させる搬送ロボットの制御方法を提供する。 【構成】 被処理物であるウェハが収容されたカセット
2をつかむ把持部3と、該把持部3が取り付けられたア
ーム部4と、搬送ロボットの架台となるロボット本体5
とからなる搬送ロボット1であり、該搬送ロボット1の
動作中にエラーが発生した時、搬送ロボット1に搭載さ
れるサブプログラムの構成要素であるロボット位置監視
プログラムが原点復帰手段である原点復帰プログラムを
生成し、搬送ロボット1を自動的に原点に復帰させる。
に復帰させる搬送ロボットの制御方法を提供する。 【構成】 被処理物であるウェハが収容されたカセット
2をつかむ把持部3と、該把持部3が取り付けられたア
ーム部4と、搬送ロボットの架台となるロボット本体5
とからなる搬送ロボット1であり、該搬送ロボット1の
動作中にエラーが発生した時、搬送ロボット1に搭載さ
れるサブプログラムの構成要素であるロボット位置監視
プログラムが原点復帰手段である原点復帰プログラムを
生成し、搬送ロボット1を自動的に原点に復帰させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造技術におい
て、半導体ウェハ(以降、単にウェハという)などが収
容されたカセットを搬送する搬送ロボットに関し、特
に、動作中のエラー発生時における搬送ロボットの制御
方法に関するものである。
て、半導体ウェハ(以降、単にウェハという)などが収
容されたカセットを搬送する搬送ロボットに関し、特
に、動作中のエラー発生時における搬送ロボットの制御
方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】以下に説明する技術は、本発明を開発す
るに際し、本発明者によって検討されたものであり、そ
の概要は次のとおりである。
るに際し、本発明者によって検討されたものであり、そ
の概要は次のとおりである。
【0003】被処理物であるウェハが収容されたカセッ
トを搬送する搬送ロボットの制御は、搬送ロボットを制
御するメインプログラムの他にユーザプログラムを用い
て行い、所望の動作点や処理装置への移動を可能にす
る。
トを搬送する搬送ロボットの制御は、搬送ロボットを制
御するメインプログラムの他にユーザプログラムを用い
て行い、所望の動作点や処理装置への移動を可能にす
る。
【0004】また、前記動作点の認識は、人間がリモー
トコントロール式のロボットマニュアル操作盤を使用し
て、所望のデータを入力することにより行う。
トコントロール式のロボットマニュアル操作盤を使用し
て、所望のデータを入力することにより行う。
【0005】なお、ウェハなどが収容されたカセットを
運ぶ自動搬送装置(搬送ロボット)については、工業調
査会発行「電子材料」1992年11月号別冊、平成4
年11月20日発行、142頁〜146頁に紹介されて
いる。
運ぶ自動搬送装置(搬送ロボット)については、工業調
査会発行「電子材料」1992年11月号別冊、平成4
年11月20日発行、142頁〜146頁に紹介されて
いる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記した技
術において、搬送ロボットの制御は、前記制御プログラ
ムとユーザプログラムを用いて行っているが、前記搬送
ロボットの位置を自動で監視していないため、搬送ロボ
ットの動力が切れるエラー(搬送ロボットの位置がわか
らなくなるエラー)が発生した場合は、一度記憶させた
位置情報が使用できなくなる。
術において、搬送ロボットの制御は、前記制御プログラ
ムとユーザプログラムを用いて行っているが、前記搬送
ロボットの位置を自動で監視していないため、搬送ロボ
ットの動力が切れるエラー(搬送ロボットの位置がわか
らなくなるエラー)が発生した場合は、一度記憶させた
位置情報が使用できなくなる。
【0007】そのため、搬送ロボットの複数の動作軸に
おける各軸を1つずつ手動で動作させて処理装置などの
対象物から干渉しない位置に退避させる必要があり、そ
の作業が大変であることが問題とされている。
おける各軸を1つずつ手動で動作させて処理装置などの
対象物から干渉しない位置に退避させる必要があり、そ
の作業が大変であることが問題とされている。
【0008】また、この作業は、前記ロボットマニュア
ル操作盤を使用して行うため、労働安全衛生規則によっ
て特別教育が義務づけられており、だれもが前記作業を
行うことができないという問題もある。
ル操作盤を使用して行うため、労働安全衛生規則によっ
て特別教育が義務づけられており、だれもが前記作業を
行うことができないという問題もある。
【0009】そこで、本発明の目的は、動作中にエラー
が発生した時、自動的に原点に復帰させる搬送ロボット
の制御方法を提供することにある。
が発生した時、自動的に原点に復帰させる搬送ロボット
の制御方法を提供することにある。
【0010】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0011】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0012】すなわち、被処理物が収容されたカセット
をつかむ把持部を備えた搬送ロボットのロボット動作手
段と並列して、前記把持部の位置を監視するロボット位
置監視手段を起動し、前記搬送ロボットの動作中にエラ
ーが発生した時、前記ロボット位置監視手段が前記搬送
ロボットを自動的に原点に復帰させる原点復帰手段を生
成するものである。
をつかむ把持部を備えた搬送ロボットのロボット動作手
段と並列して、前記把持部の位置を監視するロボット位
置監視手段を起動し、前記搬送ロボットの動作中にエラ
ーが発生した時、前記ロボット位置監視手段が前記搬送
ロボットを自動的に原点に復帰させる原点復帰手段を生
成するものである。
【0013】また、被処理物が収容されたカセットをつ
かむ把持部を備えた搬送ロボットのロボット動作手段と
並列して、前記把持部の動作を監視するロボット動作監
視手段を起動し、前記搬送ロボットの動作中にエラーが
発生した時、前記ロボット動作監視手段が、原点からエ
ラーが発生した箇所までの前記ロボット動作手段を全く
逆に自動的に動作させるロボット逆動作手段を生成する
ものである。
かむ把持部を備えた搬送ロボットのロボット動作手段と
並列して、前記把持部の動作を監視するロボット動作監
視手段を起動し、前記搬送ロボットの動作中にエラーが
発生した時、前記ロボット動作監視手段が、原点からエ
ラーが発生した箇所までの前記ロボット動作手段を全く
逆に自動的に動作させるロボット逆動作手段を生成する
ものである。
【0014】
【作用】上記した手段によれば、搬送ロボットを動かす
ロボット動作手段と並列して、前記ロボット位置監視手
段もしくは前記ロボット動作監視手段を起動し、さら
に、前記搬送ロボットの動作中のエラー発生時に、前記
ロボット位置監視手段が前記原点復帰手段を生成し、あ
るいは前記ロボット動作監視手段が前記ロボット逆動作
手段を生成することにより、前記搬送ロボットを自動的
に原点に復帰させることができる。
ロボット動作手段と並列して、前記ロボット位置監視手
段もしくは前記ロボット動作監視手段を起動し、さら
に、前記搬送ロボットの動作中のエラー発生時に、前記
ロボット位置監視手段が前記原点復帰手段を生成し、あ
るいは前記ロボット動作監視手段が前記ロボット逆動作
手段を生成することにより、前記搬送ロボットを自動的
に原点に復帰させることができる。
【0015】その結果、作業者が搬送ロボットの操作資
格を保有していない場合でも、前記ロボットマニュアル
操作盤を使用せずに前記搬送ロボットの原点への復帰作
業を行うことができる。
格を保有していない場合でも、前記ロボットマニュアル
操作盤を使用せずに前記搬送ロボットの原点への復帰作
業を行うことができる。
【0016】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
に説明する。
【0017】(実施例1)図1は本発明の搬送ロボット
の制御方法で用いられる該搬送ロボットの構造およびそ
の動作状態の一実施例を示す側面図と断面図、図2は図
1に示す搬送ロボットに搭載される副制御手段であるサ
ブプログラムの構成の一実施例を示す構成概念図、図3
は図1に示す搬送ロボットにおけるエラー発生時の操作
手順の一実施例を示すフローチャートである。
の制御方法で用いられる該搬送ロボットの構造およびそ
の動作状態の一実施例を示す側面図と断面図、図2は図
1に示す搬送ロボットに搭載される副制御手段であるサ
ブプログラムの構成の一実施例を示す構成概念図、図3
は図1に示す搬送ロボットにおけるエラー発生時の操作
手順の一実施例を示すフローチャートである。
【0018】まず、図1を用いて、本実施例1の搬送ロ
ボットの構成について説明すると、被処理物であるウェ
ハが収容されたカセット2をつかむ把持部3と、該把持
部3が取り付けられたアーム部4と、搬送ロボットの架
台となるロボット本体5とからなるものである。
ボットの構成について説明すると、被処理物であるウェ
ハが収容されたカセット2をつかむ把持部3と、該把持
部3が取り付けられたアーム部4と、搬送ロボットの架
台となるロボット本体5とからなるものである。
【0019】なお、本実施例1による搬送ロボット1
は、前記ウェハのイオン打ち込み工程などにおいて、ウ
ェハ入りのカセット2をロボット本体5上に搭載して搬
送し、前記ウェハの処理装置6内にカセット2を供給す
る自走式のものである。
は、前記ウェハのイオン打ち込み工程などにおいて、ウ
ェハ入りのカセット2をロボット本体5上に搭載して搬
送し、前記ウェハの処理装置6内にカセット2を供給す
る自走式のものである。
【0020】次に、図1および図2を用いて、前記搬送
ロボットに搭載される副制御手段であるサブプログラム
の構成と前記搬送ロボットの制御方法の概要について説
明する。
ロボットに搭載される副制御手段であるサブプログラム
の構成と前記搬送ロボットの制御方法の概要について説
明する。
【0021】まず、前記搬送ロボット1の動作全般は、
該搬送ロボット1内に搭載されているメモリ内に書き込
まれた主制御手段であるメインプログラム7によって行
われ、その下位に副制御手段であるサブプログラム8が
書き込まれている。
該搬送ロボット1内に搭載されているメモリ内に書き込
まれた主制御手段であるメインプログラム7によって行
われ、その下位に副制御手段であるサブプログラム8が
書き込まれている。
【0022】ここで、前記サブプログラム8は、例え
ば、搬送ロボット1を動かすロボット動作手段であるロ
ボット動作プログラム9と、搬送ロボット1の各関節の
動作軸4aを少しずつ動かしてキャリブレーションを行
うキャリブレーションプログラム10と、少なくとも把
持部3の位置を監視するロボット位置監視手段であるロ
ボット位置監視プログラム11などから構成されてい
る。
ば、搬送ロボット1を動かすロボット動作手段であるロ
ボット動作プログラム9と、搬送ロボット1の各関節の
動作軸4aを少しずつ動かしてキャリブレーションを行
うキャリブレーションプログラム10と、少なくとも把
持部3の位置を監視するロボット位置監視手段であるロ
ボット位置監視プログラム11などから構成されてい
る。
【0023】なお、前記ロボット位置監視プログラム1
1を起動するに当たっては、搬送ロボット1の動作範囲
と前記ウェハの処理装置6との取り合いを全て動作範囲
データとして入力する。
1を起動するに当たっては、搬送ロボット1の動作範囲
と前記ウェハの処理装置6との取り合いを全て動作範囲
データとして入力する。
【0024】また、搬送ロボット1の把持部3の位置に
ついては、例えば、ロボットコントローラとは別に、位
置検出用コントローラなどによって制御され、かつ搬送
ロボット1に設置されたエンコーダまたは搬送ロボット
1の外部に設けられたセンサなどの角度検出手段13に
より、各関節による複数の動作軸4aの回転運動や前屈
運動時などの動作角度を求め、それからロボット位置監
視プログラム11が把持部3の位置を割り出す。
ついては、例えば、ロボットコントローラとは別に、位
置検出用コントローラなどによって制御され、かつ搬送
ロボット1に設置されたエンコーダまたは搬送ロボット
1の外部に設けられたセンサなどの角度検出手段13に
より、各関節による複数の動作軸4aの回転運動や前屈
運動時などの動作角度を求め、それからロボット位置監
視プログラム11が把持部3の位置を割り出す。
【0025】つまり、前記ロボット位置監視プログラム
11は、前記複数の動作軸4aにおけるそれぞれの動作
角度と搬送ロボット1の前記動作範囲データとを組み合
わせて、搬送ロボット1の把持部3の位置を監視するも
のである。
11は、前記複数の動作軸4aにおけるそれぞれの動作
角度と搬送ロボット1の前記動作範囲データとを組み合
わせて、搬送ロボット1の把持部3の位置を監視するも
のである。
【0026】さらに、前記搬送ロボット1の動作中にエ
ラーが発生した時、前記ロボット位置監視プログラム1
1が原点復帰手段である原点復帰プログラム12を生成
し、搬送ロボット1を自動的に原点に復帰させるもので
ある。
ラーが発生した時、前記ロボット位置監視プログラム1
1が原点復帰手段である原点復帰プログラム12を生成
し、搬送ロボット1を自動的に原点に復帰させるもので
ある。
【0027】次に、図1、図2および図3を用いて、本
実施例1による搬送ロボットの制御方法の詳細について
説明する。
実施例1による搬送ロボットの制御方法の詳細について
説明する。
【0028】まず、搬送ロボット1が動作するには主制
御手段であるメインプログラム7から、ロボット動作手
段であるロボット動作プログラム9に対しロボット動作
指令14が出され動作開始になる。これと同時に、ロボ
ット位置監視プログラム11を起動するロボット位置監
視プログラム起動15を行い、搬送ロボット1の位置の
監視を行う。
御手段であるメインプログラム7から、ロボット動作手
段であるロボット動作プログラム9に対しロボット動作
指令14が出され動作開始になる。これと同時に、ロボ
ット位置監視プログラム11を起動するロボット位置監
視プログラム起動15を行い、搬送ロボット1の位置の
監視を行う。
【0029】その後、搬送ロボット1が動作中に何らか
の原因でエラー発生16となった場合、搬送ロボット1
を安全にかつ障害物などに当てないように原点位置に戻
す必要がある。この際、まず、搬送ロボット1を自動制
御から手動制御に切り換えるモード切り換え17を行
う。さらに、ロボット位置監視プログラム11は搬送ロ
ボット1を原点位置に安全に戻すような経路を自動的に
算出し、原点復帰手段である原点復帰プログラム12を
生成する原点復帰プログラム自動生成18を実行する。
の原因でエラー発生16となった場合、搬送ロボット1
を安全にかつ障害物などに当てないように原点位置に戻
す必要がある。この際、まず、搬送ロボット1を自動制
御から手動制御に切り換えるモード切り換え17を行
う。さらに、ロボット位置監視プログラム11は搬送ロ
ボット1を原点位置に安全に戻すような経路を自動的に
算出し、原点復帰手段である原点復帰プログラム12を
生成する原点復帰プログラム自動生成18を実行する。
【0030】これは、例えば、ロボット位置監視プログ
ラム11が演算プログラムを保有し、前記演算プログラ
ムによる計算結果を原点復帰プログラム12とするもの
である。
ラム11が演算プログラムを保有し、前記演算プログラ
ムによる計算結果を原点復帰プログラム12とするもの
である。
【0031】その後、操作者は、ロボットマニュアル操
作盤のスイッチなどを押すことによって、搬送ロボット
1に原点復帰指令19を与える。これにより、搬送ロボ
ット1は、自動的に原点位置に戻り、その後必要な処理
を実施し、今度は手動制御から自動制御に切り換えるモ
ード切り換え17を行い、通常運転復帰20とすること
ができる。
作盤のスイッチなどを押すことによって、搬送ロボット
1に原点復帰指令19を与える。これにより、搬送ロボ
ット1は、自動的に原点位置に戻り、その後必要な処理
を実施し、今度は手動制御から自動制御に切り換えるモ
ード切り換え17を行い、通常運転復帰20とすること
ができる。
【0032】なお、生成された原点復帰プログラム12
は、処理終了後、直ちに消去する必要はなく、次に別の
原点復帰プログラム12が生成された時に、前記別の原
点復帰プログラム12を上書きすることにより、古い原
点復帰プログラム12が自然に消去されるものである。
は、処理終了後、直ちに消去する必要はなく、次に別の
原点復帰プログラム12が生成された時に、前記別の原
点復帰プログラム12を上書きすることにより、古い原
点復帰プログラム12が自然に消去されるものである。
【0033】次に、本実施例1の搬送ロボットおよびそ
の制御方法によれば、以下のような効果が得られる。
の制御方法によれば、以下のような効果が得られる。
【0034】すなわち、搬送ロボット1を動かすロボッ
ト動作手段であるロボット動作プログラム9と並列し
て、ロボット位置監視手段であるロボット位置監視プロ
グラム11を起動し、さらに、搬送ロボット1の動作中
にエラーが発生した場合でも、前記ロボット位置監視プ
ログラム11が原点復帰手段である原点復帰プログラム
12を生成することにより、前記搬送ロボット1を自動
的に原点に復帰させることができる。
ト動作手段であるロボット動作プログラム9と並列し
て、ロボット位置監視手段であるロボット位置監視プロ
グラム11を起動し、さらに、搬送ロボット1の動作中
にエラーが発生した場合でも、前記ロボット位置監視プ
ログラム11が原点復帰手段である原点復帰プログラム
12を生成することにより、前記搬送ロボット1を自動
的に原点に復帰させることができる。
【0035】その結果、作業者が搬送ロボット1の操作
資格を保有していない場合でも、前記ロボットマニュア
ル操作盤を使用せずに搬送ロボット1の原点への復帰作
業を行うことができる。
資格を保有していない場合でも、前記ロボットマニュア
ル操作盤を使用せずに搬送ロボット1の原点への復帰作
業を行うことができる。
【0036】(実施例2)図4は図1に示す搬送ロボッ
トに搭載される副制御手段であるサブプログラムの構成
の他の実施例を示す構成概念図、図5は図1に示す搬送
ロボットにおけるエラー発生時の操作手順の他の実施例
を示すフローチャートである。
トに搭載される副制御手段であるサブプログラムの構成
の他の実施例を示す構成概念図、図5は図1に示す搬送
ロボットにおけるエラー発生時の操作手順の他の実施例
を示すフローチャートである。
【0037】なお、本実施例2による搬送ロボット1
は、その構成が実施例1で説明したものと同様であるた
め、その構成についての説明は省略する。
は、その構成が実施例1で説明したものと同様であるた
め、その構成についての説明は省略する。
【0038】次に、図1および図4を用いて、前記搬送
ロボットに搭載される副制御手段であるサブプログラム
の構成と前記搬送ロボットの制御方法の概要について説
明する。
ロボットに搭載される副制御手段であるサブプログラム
の構成と前記搬送ロボットの制御方法の概要について説
明する。
【0039】まず、前記搬送ロボット1の動作全般は、
該搬送ロボット1内に搭載されているメモリ内に書き込
まれた主制御手段であるメインプログラム7によって行
われ、その下位に副制御手段であるサブプログラム8が
書き込まれている。
該搬送ロボット1内に搭載されているメモリ内に書き込
まれた主制御手段であるメインプログラム7によって行
われ、その下位に副制御手段であるサブプログラム8が
書き込まれている。
【0040】ここで、前記サブプログラム8は、例え
ば、搬送ロボット1を動かすロボット動作手段であるロ
ボット動作プログラム9と、搬送ロボット1の各関節の
動作軸4aを少しずつ動かしてキャリブレーションを行
うキャリブレーションプログラム10と、少なくとも搬
送ロボット1の把持部3の動作を監視するロボット動作
監視手段であるロボット動作監視プログラム21などか
ら構成されている。
ば、搬送ロボット1を動かすロボット動作手段であるロ
ボット動作プログラム9と、搬送ロボット1の各関節の
動作軸4aを少しずつ動かしてキャリブレーションを行
うキャリブレーションプログラム10と、少なくとも搬
送ロボット1の把持部3の動作を監視するロボット動作
監視手段であるロボット動作監視プログラム21などか
ら構成されている。
【0041】さらに、前記ロボット動作監視プログラム
21は、作業開始前に入力する所定の通過点(ロボット
マニュアル操作盤などによって覚え込ませる複数のティ
ーチングポイント)における搬送ロボット1の通過を確
認し、搬送ロボット1の動作中にエラーが発生した時に
は、その直前の前記通過点の判別を行い、原点からエラ
ーが発生した箇所までのロボット動作プログラム9を全
く逆に自動的に動作させるロボット逆動作プログラム2
2(ロボット逆動作手段)を生成するものである。
21は、作業開始前に入力する所定の通過点(ロボット
マニュアル操作盤などによって覚え込ませる複数のティ
ーチングポイント)における搬送ロボット1の通過を確
認し、搬送ロボット1の動作中にエラーが発生した時に
は、その直前の前記通過点の判別を行い、原点からエラ
ーが発生した箇所までのロボット動作プログラム9を全
く逆に自動的に動作させるロボット逆動作プログラム2
2(ロボット逆動作手段)を生成するものである。
【0042】つまり、搬送ロボット1の動作中にエラー
が発生した場合、それまで起動していたロボット動作プ
ログラム9を利用し、動作したところまでのロボット動
作プログラム9を全く逆に自動的に動作させるロボット
逆動作プログラム22を生成する。その後、エラーが発
生したその場所からまず一番最後に通過した通過点に搬
送ロボット1を移動させ、前記ロボット逆動作プログラ
ム22によって、原点位置に戻すものである。
が発生した場合、それまで起動していたロボット動作プ
ログラム9を利用し、動作したところまでのロボット動
作プログラム9を全く逆に自動的に動作させるロボット
逆動作プログラム22を生成する。その後、エラーが発
生したその場所からまず一番最後に通過した通過点に搬
送ロボット1を移動させ、前記ロボット逆動作プログラ
ム22によって、原点位置に戻すものである。
【0043】次に、図1、図4および図5を用いて、本
実施例2による搬送ロボットの制御方法の詳細について
説明する。
実施例2による搬送ロボットの制御方法の詳細について
説明する。
【0044】まず、搬送ロボット1が動作するには主制
御手段であるメインプログラム7から、ロボット動作手
段であるロボット動作プログラム9に対しロボット動作
指令14が出され動作開始になる。これと同時に、ロボ
ット動作監視プログラム21を起動するロボット動作監
視プログラム起動23を行い、搬送ロボット1の動作の
監視を行う。
御手段であるメインプログラム7から、ロボット動作手
段であるロボット動作プログラム9に対しロボット動作
指令14が出され動作開始になる。これと同時に、ロボ
ット動作監視プログラム21を起動するロボット動作監
視プログラム起動23を行い、搬送ロボット1の動作の
監視を行う。
【0045】その後、搬送ロボット1が動作中に何らか
の原因でエラー発生16となった場合、搬送ロボット1
を安全にかつ障害物などに当てないように原点位置に戻
す必要がある。この際、まず、搬送ロボット1を自動制
御から手動制御に切り換えるモード切り換え17を行
う。さらに、ロボット動作監視プログラム21は、原点
からエラーが発生した箇所までのロボット動作プログラ
ム9を全く逆に自動的に動作させるロボット逆動作プロ
グラム22(ロボット逆動作手段)を生成するロボット
逆動作プログラム自動生成24を実行する。
の原因でエラー発生16となった場合、搬送ロボット1
を安全にかつ障害物などに当てないように原点位置に戻
す必要がある。この際、まず、搬送ロボット1を自動制
御から手動制御に切り換えるモード切り換え17を行
う。さらに、ロボット動作監視プログラム21は、原点
からエラーが発生した箇所までのロボット動作プログラ
ム9を全く逆に自動的に動作させるロボット逆動作プロ
グラム22(ロボット逆動作手段)を生成するロボット
逆動作プログラム自動生成24を実行する。
【0046】これは、例えば、ロボット動作監視プログ
ラム21が演算プログラムを保有し、前記演算プログラ
ムによって、搬送ロボット1の動作を自動的にリバース
モードで動作させるプログラムを計算し、その計算結果
をロボット逆動作プログラム22とするものである。
ラム21が演算プログラムを保有し、前記演算プログラ
ムによって、搬送ロボット1の動作を自動的にリバース
モードで動作させるプログラムを計算し、その計算結果
をロボット逆動作プログラム22とするものである。
【0047】その後、操作者は、ロボットマニュアル操
作盤のスイッチなどを押すことによって、搬送ロボット
1に原点復帰指令19を与える。これにより、搬送ロボ
ット1は、自動的に原点位置に戻り、その後必要な処理
を実施し、今度は手動制御から自動制御に切り換えるモ
ード切り換え17を行い、通常運転復帰20とすること
ができる。
作盤のスイッチなどを押すことによって、搬送ロボット
1に原点復帰指令19を与える。これにより、搬送ロボ
ット1は、自動的に原点位置に戻り、その後必要な処理
を実施し、今度は手動制御から自動制御に切り換えるモ
ード切り換え17を行い、通常運転復帰20とすること
ができる。
【0048】なお、生成されたロボット逆動作プログラ
ム22は、処理終了後、直ちに消去する必要はなく、次
に別のロボット逆動作プログラム22が生成された時
に、前記別のロボット逆動作プログラム22を上書きす
ることにより、古いロボット逆動作プログラム22が自
然に消去されるものである。
ム22は、処理終了後、直ちに消去する必要はなく、次
に別のロボット逆動作プログラム22が生成された時
に、前記別のロボット逆動作プログラム22を上書きす
ることにより、古いロボット逆動作プログラム22が自
然に消去されるものである。
【0049】また、本実施例2の搬送ロボットおよびそ
の制御方法によって得られる効果は、実施例1で説明し
たものと同じであるため、その説明は省略する。
の制御方法によって得られる効果は、実施例1で説明し
たものと同じであるため、その説明は省略する。
【0050】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【0051】例えば、実施例1で説明した搬送ロボット
は、サブプログラムにロボット位置監視プログラムを有
し、実施例2で説明した搬送ロボットはサブプログラム
にロボット動作監視プログラムを有するものであった
が、本発明による搬送ロボットの制御方法に用いられる
搬送ロボットは、サブプログラムにロボット位置監視プ
ログラムとロボット動作監視プログラムの両方を有し、
そのどちらかを使い分けるものであってもよい。
は、サブプログラムにロボット位置監視プログラムを有
し、実施例2で説明した搬送ロボットはサブプログラム
にロボット動作監視プログラムを有するものであった
が、本発明による搬送ロボットの制御方法に用いられる
搬送ロボットは、サブプログラムにロボット位置監視プ
ログラムとロボット動作監視プログラムの両方を有し、
そのどちらかを使い分けるものであってもよい。
【0052】また、実施例1における搬送ロボットの把
持部の位置を割り出す方法としては、まず、エンコーダ
などによって搬送ロボットの各関節の動作軸の動作角度
を計測し、前記搬送ロボットの動作モードと組み合わせ
て把持部の位置を割り出すこともできる。
持部の位置を割り出す方法としては、まず、エンコーダ
などによって搬送ロボットの各関節の動作軸の動作角度
を計測し、前記搬送ロボットの動作モードと組み合わせ
て把持部の位置を割り出すこともできる。
【0053】この動作モードは、搬送ロボットを動作さ
せる上で、どの座標系(把持部の座標系やアーム部の座
標系など)を用いて動作させるかを、例えば、動作モー
ドプログラムとして、サブプログラムに加えるものであ
る。
せる上で、どの座標系(把持部の座標系やアーム部の座
標系など)を用いて動作させるかを、例えば、動作モー
ドプログラムとして、サブプログラムに加えるものであ
る。
【0054】これによって求められた前記把持部の位置
の情報を利用し、トラブル発生時は、前記した方法で搬
送ロボットを原点位置に戻すことができる。
の情報を利用し、トラブル発生時は、前記した方法で搬
送ロボットを原点位置に戻すことができる。
【0055】さらに、実施例1で説明したロボット位置
監視プログラムは、他の用途として、搬送ロボットを所
定場所から他の所定場所へ移動させる時に使用すること
もできる。
監視プログラムは、他の用途として、搬送ロボットを所
定場所から他の所定場所へ移動させる時に使用すること
もできる。
【0056】つまり、対象となる設備との取り合いデー
タおよび搬送ロボットの動作範囲のデータが、あらかじ
め設定・登録されているため、搬送ロボットの動作の最
短移動パターンを見つけ出すことができる。
タおよび搬送ロボットの動作範囲のデータが、あらかじ
め設定・登録されているため、搬送ロボットの動作の最
短移動パターンを見つけ出すことができる。
【0057】その結果、この情報を利用すれば、ロボッ
ト動作プログラムを最適化して自動生成することも可能
であり、操作者によるティーチング時間や搬送ロボット
の動作経路のばらつきを無くすことができる。
ト動作プログラムを最適化して自動生成することも可能
であり、操作者によるティーチング時間や搬送ロボット
の動作経路のばらつきを無くすことができる。
【0058】また、実施例1および実施例2において
は、被処理物をウェハとして説明したが、前記被処理物
はウェハだけでなく液晶基板や磁気ディスクなどであっ
てもよい。
は、被処理物をウェハとして説明したが、前記被処理物
はウェハだけでなく液晶基板や磁気ディスクなどであっ
てもよい。
【0059】さらに、本発明による搬送ロボットの制御
方法は、ウェハのイオン打ち込み工程だけで用いられる
ものではなく、ウェハなどの被処理物あるいは該被処理
物が収容されたカセットを搬送する全ての工程で適用さ
れるものである。
方法は、ウェハのイオン打ち込み工程だけで用いられる
ものではなく、ウェハなどの被処理物あるいは該被処理
物が収容されたカセットを搬送する全ての工程で適用さ
れるものである。
【0060】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0061】(1).搬送ロボットを動かすロボット動
作手段と並列して、ロボット位置監視手段もしくはロボ
ット動作監視手段を起動し、さらに、前記搬送ロボット
の動作中のエラー発生時に、前記ロボット位置監視手段
が原点復帰手段を生成し、あるいは前記ロボット動作監
視手段がロボット逆動作手段を生成することにより、前
記搬送ロボットを自動的に原点に復帰させることができ
る。
作手段と並列して、ロボット位置監視手段もしくはロボ
ット動作監視手段を起動し、さらに、前記搬送ロボット
の動作中のエラー発生時に、前記ロボット位置監視手段
が原点復帰手段を生成し、あるいは前記ロボット動作監
視手段がロボット逆動作手段を生成することにより、前
記搬送ロボットを自動的に原点に復帰させることができ
る。
【0062】(2).搬送ロボットが動作中、エラーを
発生した時にも前記搬送ロボットを自動的に原点に復帰
させることができるため、作業者が搬送ロボットの操作
資格を保有していない場合でも、ロボットマニュアル操
作盤を使用せずに前記搬送ロボットの原点への復帰作業
を行うことができる。
発生した時にも前記搬送ロボットを自動的に原点に復帰
させることができるため、作業者が搬送ロボットの操作
資格を保有していない場合でも、ロボットマニュアル操
作盤を使用せずに前記搬送ロボットの原点への復帰作業
を行うことができる。
【0063】(3).搬送ロボットを所定場所から他の
所定場所へ移動させる時に前記ロボット位置監視プログ
ラムを使用すれば、前記搬送ロボットの動作の最短移動
パターンを見つけ出すことができる。
所定場所へ移動させる時に前記ロボット位置監視プログ
ラムを使用すれば、前記搬送ロボットの動作の最短移動
パターンを見つけ出すことができる。
【0064】その結果、この情報を利用すれば、ロボッ
ト動作プログラムを最適化して自動生成することも可能
であり、操作者によるティーチング時間や搬送ロボット
の動作経路のばらつきを無くすことができる。
ト動作プログラムを最適化して自動生成することも可能
であり、操作者によるティーチング時間や搬送ロボット
の動作経路のばらつきを無くすことができる。
【図1】本発明の搬送ロボットの制御方法で用いられる
該搬送ロボットの構造およびその動作状態の一実施例を
示す側面図と断面図である。
該搬送ロボットの構造およびその動作状態の一実施例を
示す側面図と断面図である。
【図2】本発明の搬送ロボットの制御方法で用いられる
該搬送ロボットに搭載される副制御手段の構成の一実施
例を示す構成概念図である。
該搬送ロボットに搭載される副制御手段の構成の一実施
例を示す構成概念図である。
【図3】本発明の搬送ロボットの制御方法で用いられる
該搬送ロボットにおけるエラー発生時の操作手順の一実
施例を示すフローチャートである。
該搬送ロボットにおけるエラー発生時の操作手順の一実
施例を示すフローチャートである。
【図4】本発明の搬送ロボットの制御方法で用いられる
該搬送ロボットに搭載される副制御手段の構成の他の実
施例を示す構成概念図である。
該搬送ロボットに搭載される副制御手段の構成の他の実
施例を示す構成概念図である。
【図5】本発明の搬送ロボットの制御方法で用いられる
該搬送ロボットにおけるエラー発生時の操作手順の他の
実施例を示すフローチャートである。
該搬送ロボットにおけるエラー発生時の操作手順の他の
実施例を示すフローチャートである。
1 搬送ロボット 2 カセット 3 把持部 4 アーム部 4a 動作軸 5 ロボット本体 6 処理装置 7 メインプログラム(主制御手段) 8 サブプログラム(副制御手段) 9 ロボット動作プログラム(ロボット動作手段) 10 キャリブレーションプログラム 11 ロボット位置監視プログラム(ロボット位置監視
手段) 12 原点復帰プログラム(原点復帰手段) 13 角度検出手段 14 ロボット動作指令 15 ロボット位置監視プログラム起動 16 エラー発生 17 モード切り換え 18 原点復帰プログラム自動生成 19 原点復帰指令 20 通常運転復帰 21 ロボット動作監視プログラム(ロボット動作監視
手段) 22 ロボット逆動作プログラム(ロボット逆動作手
段) 23 ロボット動作監視プログラム起動 24 ロボット逆動作プログラム自動生成
手段) 12 原点復帰プログラム(原点復帰手段) 13 角度検出手段 14 ロボット動作指令 15 ロボット位置監視プログラム起動 16 エラー発生 17 モード切り換え 18 原点復帰プログラム自動生成 19 原点復帰指令 20 通常運転復帰 21 ロボット動作監視プログラム(ロボット動作監視
手段) 22 ロボット逆動作プログラム(ロボット逆動作手
段) 23 ロボット動作監視プログラム起動 24 ロボット逆動作プログラム自動生成
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G05B 19/19 M V 19/4093 G05D 3/00 X 3/12 X Q // H01L 21/68 A G05B 19/403 K
Claims (5)
- 【請求項1】 被処理物が収容されたカセットをつかむ
把持部を備えた搬送ロボットのロボット動作手段と並列
して、前記把持部の位置を監視するロボット位置監視手
段を起動し、前記搬送ロボットの動作中にエラーが発生
した時、前記ロボット位置監視手段が前記搬送ロボット
を自動的に原点に復帰させる原点復帰手段を生成するこ
とを特徴とする搬送ロボットの制御方法。 - 【請求項2】 請求項1記載の搬送ロボットの制御方法
であって、前記ロボット位置監視手段は、被処理物の処
理装置と前記搬送ロボットの位置関係を示す動作範囲デ
ータ、および前記搬送ロボットの複数の動作軸における
それぞれの動作角度とによって、前記把持部の位置を求
め、その結果を基に前記原点復帰手段を生成することを
特徴とする搬送ロボットの制御方法。 - 【請求項3】 請求項2記載の搬送ロボットの制御方法
であって、前記搬送ロボットの複数の動作軸におけるそ
れぞれの動作角度は、前記搬送ロボットまたはその外部
に設けられた角度検出手段により検出されることを特徴
とする搬送ロボットの制御方法。 - 【請求項4】 被処理物が収容されたカセットをつかむ
把持部を備えた搬送ロボットのロボット動作手段と並列
して、前記把持部の動作を監視するロボット動作監視手
段を起動し、前記搬送ロボットの動作中にエラーが発生
した時、前記ロボット動作監視手段が、原点からエラー
が発生した箇所までの前記ロボット動作手段を全く逆に
自動的に動作させるロボット逆動作手段を生成すること
を特徴とする搬送ロボットの制御方法。 - 【請求項5】 請求項4記載の搬送ロボットの制御方法
であって、前記ロボット動作監視手段は、作業開始前に
入力する所定の通過点における前記搬送ロボットの通過
を確認し、前記搬送ロボットのエラー発生時には、その
直前の通過点を判別することを特徴とする搬送ロボット
の制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9468894A JPH07299777A (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 搬送ロボットの制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9468894A JPH07299777A (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 搬送ロボットの制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07299777A true JPH07299777A (ja) | 1995-11-14 |
Family
ID=14117142
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9468894A Pending JPH07299777A (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 搬送ロボットの制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07299777A (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1994
- 1994-05-09 JP JP9468894A patent/JPH07299777A/ja active Pending
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