JPH07294822A - 顕微鏡の落射暗視野照明装置 - Google Patents
顕微鏡の落射暗視野照明装置Info
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- JPH07294822A JPH07294822A JP9217594A JP9217594A JPH07294822A JP H07294822 A JPH07294822 A JP H07294822A JP 9217594 A JP9217594 A JP 9217594A JP 9217594 A JP9217594 A JP 9217594A JP H07294822 A JPH07294822 A JP H07294822A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 リング状照明光束の光量バランスの調整を行
うことにより、レボルバの回転による対物レンズ交換時
に発生する眩しさによる不快感を一掃できる顕微鏡の落
射暗視野照明装置を提供すること。 【構成】 本発明の装置は、リング状照明光束によって
落射暗視野照明を行う顕微鏡において、二つ以上の遮光
部５ａ，５ｂを設け上記リング状照明光束を二箇所以上
の部分で遮光し、対物レンズの移動の際にこのレンズに
直接入射する光束の光量を大幅に減少させることができ
るように構成されている。
うことにより、レボルバの回転による対物レンズ交換時
に発生する眩しさによる不快感を一掃できる顕微鏡の落
射暗視野照明装置を提供すること。 【構成】 本発明の装置は、リング状照明光束によって
落射暗視野照明を行う顕微鏡において、二つ以上の遮光
部５ａ，５ｂを設け上記リング状照明光束を二箇所以上
の部分で遮光し、対物レンズの移動の際にこのレンズに
直接入射する光束の光量を大幅に減少させることができ
るように構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡の落射暗視野照
明装置に関する。
明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、顕微鏡の落射暗視野照明装置で
は、一般に、その装置に備えられた対物レンズの外周部
分にリング状照明光束を導光し観察すべき標本へ向けて
集光させることのできる構成又は光学素子を有してい
た。この落射暗視野照明装置の対物レンズの原理構成を
図４に示す。図中、１は標本面、２はリング状照明光
束、３は対物レンズ、４は対物レンズ鏡筒、８は光軸で
ある。図示しない光源から供給されるリング状照明光束
２は、対物レンズ鏡筒４へと向かい、対物レンズ鏡筒４
内の対物レンズ３の先端近傍に設けられた図示しないリ
ング状集光部材により反射又は集光されて、標本面１に
導かれるようになっている。そして、このような顕微鏡
では、観察倍率を変換させるための対物レンズ交換は、
複数の対物レンズ鏡筒を備えたレボルバを回転させて行
っている。
は、一般に、その装置に備えられた対物レンズの外周部
分にリング状照明光束を導光し観察すべき標本へ向けて
集光させることのできる構成又は光学素子を有してい
た。この落射暗視野照明装置の対物レンズの原理構成を
図４に示す。図中、１は標本面、２はリング状照明光
束、３は対物レンズ、４は対物レンズ鏡筒、８は光軸で
ある。図示しない光源から供給されるリング状照明光束
２は、対物レンズ鏡筒４へと向かい、対物レンズ鏡筒４
内の対物レンズ３の先端近傍に設けられた図示しないリ
ング状集光部材により反射又は集光されて、標本面１に
導かれるようになっている。そして、このような顕微鏡
では、観察倍率を変換させるための対物レンズ交換は、
複数の対物レンズ鏡筒を備えたレボルバを回転させて行
っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
従来の顕微鏡では、落射暗視野照明での観察の場合に、
対物レンズ交換のためにレボルバを回転させると、非常
に眩しい光が視野内に入り込んで強い不快感を覚えるこ
とがある。この様子を図５に示す。この図は、対物レン
ズ３がレボルバの回転に伴って僅かに移動した状態を示
している。このとき、リング状照明光束２の一部が対物
レンズ３の射出瞳側から対物レンズ３を透過して標本１
に向かって入射し、更に、標本１で反射された後に観察
側に再入射してくる場合がある。これは、特に、射出瞳
径の口径の大きな５〜１０倍程度の低倍率の対物レンズ
を使用した場合に顕著である。又、シリコンウェハ等の
如き平滑な標本を観察する場合にも同様なことが起き
る。レボルバを素早く回転させれば、観察者は一瞬眩し
さを感じる程度に過ぎないが、これでは、効果的な解決
方法とは云い難い。暗視野照明光束がリング状を形成し
ている限り、レボルバの回転の際には、対物レンズに上
記光束の一部が必ず入射することになるため、上記のよ
うな眩しさによる不快感を避けることはできない。
従来の顕微鏡では、落射暗視野照明での観察の場合に、
対物レンズ交換のためにレボルバを回転させると、非常
に眩しい光が視野内に入り込んで強い不快感を覚えるこ
とがある。この様子を図５に示す。この図は、対物レン
ズ３がレボルバの回転に伴って僅かに移動した状態を示
している。このとき、リング状照明光束２の一部が対物
レンズ３の射出瞳側から対物レンズ３を透過して標本１
に向かって入射し、更に、標本１で反射された後に観察
側に再入射してくる場合がある。これは、特に、射出瞳
径の口径の大きな５〜１０倍程度の低倍率の対物レンズ
を使用した場合に顕著である。又、シリコンウェハ等の
如き平滑な標本を観察する場合にも同様なことが起き
る。レボルバを素早く回転させれば、観察者は一瞬眩し
さを感じる程度に過ぎないが、これでは、効果的な解決
方法とは云い難い。暗視野照明光束がリング状を形成し
ている限り、レボルバの回転の際には、対物レンズに上
記光束の一部が必ず入射することになるため、上記のよ
うな眩しさによる不快感を避けることはできない。
【０００４】そこで、本発明は、上記のような従来技術
の有する問題点に鑑みなされたもので、上記リング状照
明光束の光量バランスの調整を行うことにより、レボル
バの回転による対物レンズ交換時に発生する眩しさによ
る不快感を一掃できる顕微鏡の落射暗視野照明装置を提
供することを目的とする。
の有する問題点に鑑みなされたもので、上記リング状照
明光束の光量バランスの調整を行うことにより、レボル
バの回転による対物レンズ交換時に発生する眩しさによ
る不快感を一掃できる顕微鏡の落射暗視野照明装置を提
供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び作用】上記目的を達成
するため、本発明による顕微鏡の落射暗視野照明装置
は、リング状照明光束によって落射暗視野照明を行う顕
微鏡において、二つ以上の遮光部を設け上記リング状照
明光束の二箇所以上の部分を遮光し得るようにしたこと
を特徴としている。又、本発明の装置は、前記二つ以上
の遮光部は、照明光束の光軸を対称の中心として１８０
°対称な方向に位置する二つの遮光部を含み、更に、こ
の１８０°対称な方向に位置する二つの遮光部は、レボ
ルバの回転に伴い照明光束下を移動する対物レンズの軌
跡にほぼ沿うように位置していることも特徴としてい
る。
するため、本発明による顕微鏡の落射暗視野照明装置
は、リング状照明光束によって落射暗視野照明を行う顕
微鏡において、二つ以上の遮光部を設け上記リング状照
明光束の二箇所以上の部分を遮光し得るようにしたこと
を特徴としている。又、本発明の装置は、前記二つ以上
の遮光部は、照明光束の光軸を対称の中心として１８０
°対称な方向に位置する二つの遮光部を含み、更に、こ
の１８０°対称な方向に位置する二つの遮光部は、レボ
ルバの回転に伴い照明光束下を移動する対物レンズの軌
跡にほぼ沿うように位置していることも特徴としてい
る。
【０００６】このように、本発明の装置では、暗視野観
察時にレボルバを回転させて対物レンズの交換を行う際
に、観察者に不快な眩しさを生じさせないように、照明
光路中にリング状照明光束の一部を遮光する遮光部を設
けている。この遮光部は、レボルバの回転によって移動
する対物レンズの軌跡にほぼ沿うように、リング状照明
光束の一部を遮光し得るように暗視野照明系内の適切な
位置に設けられている。図１に、本発明の装置の原理構
成図を示す。この図は、遮光部によって一部遮光された
リング状照明光束を光軸方向から示している。図中、５
ａ，５ｂは遮光部、６は対物レンズ３の移動方向、７は
遮光部５ａ，５ｂによって一部遮光されたリング状照明
光束、８は光軸である。遮光部５ａ，５ｂを設ける位置
は、照明光学系内でリング状光束が形成されている部分
であれば何れでもよい。対物レンズはレボルバの回転に
伴い図の矢印６によって示された軌跡を描いて移動す
る。従って、その移動する対物レンズの軌跡に沿うよう
な位置に遮光部５ａ，５ｂが設けられていることから、
対物レンズの移動によってこのレンズに直接入射する光
束は、遮光部５ａ，５ｂによって遮光され、その光量は
大幅に減少する。遮光部５ａ，５ｂの形状や大きさは、
光束を遮る面積が大きい程眩しさを低減させる効果が増
大する。
察時にレボルバを回転させて対物レンズの交換を行う際
に、観察者に不快な眩しさを生じさせないように、照明
光路中にリング状照明光束の一部を遮光する遮光部を設
けている。この遮光部は、レボルバの回転によって移動
する対物レンズの軌跡にほぼ沿うように、リング状照明
光束の一部を遮光し得るように暗視野照明系内の適切な
位置に設けられている。図１に、本発明の装置の原理構
成図を示す。この図は、遮光部によって一部遮光された
リング状照明光束を光軸方向から示している。図中、５
ａ，５ｂは遮光部、６は対物レンズ３の移動方向、７は
遮光部５ａ，５ｂによって一部遮光されたリング状照明
光束、８は光軸である。遮光部５ａ，５ｂを設ける位置
は、照明光学系内でリング状光束が形成されている部分
であれば何れでもよい。対物レンズはレボルバの回転に
伴い図の矢印６によって示された軌跡を描いて移動す
る。従って、その移動する対物レンズの軌跡に沿うよう
な位置に遮光部５ａ，５ｂが設けられていることから、
対物レンズの移動によってこのレンズに直接入射する光
束は、遮光部５ａ，５ｂによって遮光され、その光量は
大幅に減少する。遮光部５ａ，５ｂの形状や大きさは、
光束を遮る面積が大きい程眩しさを低減させる効果が増
大する。
【０００７】次に、遮光部５ａ，５ｂを設ける装置内の
おおよその位置を図２により説明する。図２は、本発明
の落射暗視野照明装置の概略構成図である。図中、９は
図示しない光源からの照明光束の進行方向を対物レンズ
鏡筒４の方向へ変えるリング状ミラー、１０は照明光束
を遮光し観察光路を構成するための光学部材である。
又、Ａは照明光束の折り返し位置の直前の位置、Ｂは照
明光束の折り返し位置の直後の位置、Ｃは対物レンズ近
傍の位置を示している。その他装置の構成部材は、従来
装置のものと同様である。これらＡ〜Ｃの三箇所のうち
少なくとも一箇所に、且つ、移動する対物レンズ３の軌
跡に沿うような位置に、遮光部５ａ，５ｂを設けること
で、図１に示したような光束の一部が遮光されているリ
ング状照明光束が得られ、本発明の目的が達成される。
遮光部５ａ，５ｂの形状や大きさは、要求される眩しさ
の低減の程度に応じて適切に決定すればよい。又、遮光
部５ａ，５ｂを設ける位置は、Ａの位置一箇所に限られ
ず、更にＢ及びＣの位置に設けてもよく、遮光部５ａを
Ａの位置に、遮光部５ｂをＢの位置に設けるような、二
つ以上の遮光部を二箇所以上の位置に亘って設けてもよ
い。尚、二つ以上の遮光部が二箇所以上の位置に亘る場
合であっても、二つの遮光部が、照明光束のうちかかる
照明光束の光軸の対称を中心として１８０°対称な方向
に位置するその照明光束の部分を遮光するように配置す
ることによっても本発明の効果を奏することはいうまで
もない。
おおよその位置を図２により説明する。図２は、本発明
の落射暗視野照明装置の概略構成図である。図中、９は
図示しない光源からの照明光束の進行方向を対物レンズ
鏡筒４の方向へ変えるリング状ミラー、１０は照明光束
を遮光し観察光路を構成するための光学部材である。
又、Ａは照明光束の折り返し位置の直前の位置、Ｂは照
明光束の折り返し位置の直後の位置、Ｃは対物レンズ近
傍の位置を示している。その他装置の構成部材は、従来
装置のものと同様である。これらＡ〜Ｃの三箇所のうち
少なくとも一箇所に、且つ、移動する対物レンズ３の軌
跡に沿うような位置に、遮光部５ａ，５ｂを設けること
で、図１に示したような光束の一部が遮光されているリ
ング状照明光束が得られ、本発明の目的が達成される。
遮光部５ａ，５ｂの形状や大きさは、要求される眩しさ
の低減の程度に応じて適切に決定すればよい。又、遮光
部５ａ，５ｂを設ける位置は、Ａの位置一箇所に限られ
ず、更にＢ及びＣの位置に設けてもよく、遮光部５ａを
Ａの位置に、遮光部５ｂをＢの位置に設けるような、二
つ以上の遮光部を二箇所以上の位置に亘って設けてもよ
い。尚、二つ以上の遮光部が二箇所以上の位置に亘る場
合であっても、二つの遮光部が、照明光束のうちかかる
照明光束の光軸の対称を中心として１８０°対称な方向
に位置するその照明光束の部分を遮光するように配置す
ることによっても本発明の効果を奏することはいうまで
もない。
【０００８】
【実施例】以下、図示した実施例に基づき、本発明を詳
細に説明する。図３は、本発明による顕微鏡の落射暗視
野照明装置に設けられる遮光部を示している。この遮光
部５ａ，５ｂは図２に示したＡの位置に備えられてお
り、又、図３に示した矢印の方向６はレボルバの回転に
伴って対物レンズが移動する方向である。レボルバの回
転に伴う対物レンズの移動によって、対物レンズに直接
入射するリング状照明光束７の一部分が遮光部５ａ，５
ｂによって遮光されるので、観察者が感じる眩しさを低
減することができる。又、図の上下に設けられている遮
光部１１ａ，１１ｂは、均一な暗視野照明効果を得るた
めに、リング状照明光束７の光量分布のバランスを維持
するためのものである。
細に説明する。図３は、本発明による顕微鏡の落射暗視
野照明装置に設けられる遮光部を示している。この遮光
部５ａ，５ｂは図２に示したＡの位置に備えられてお
り、又、図３に示した矢印の方向６はレボルバの回転に
伴って対物レンズが移動する方向である。レボルバの回
転に伴う対物レンズの移動によって、対物レンズに直接
入射するリング状照明光束７の一部分が遮光部５ａ，５
ｂによって遮光されるので、観察者が感じる眩しさを低
減することができる。又、図の上下に設けられている遮
光部１１ａ，１１ｂは、均一な暗視野照明効果を得るた
めに、リング状照明光束７の光量分布のバランスを維持
するためのものである。
【０００９】本発明の装置における遮光部５ａ，５ｂ，
１１ａ，１１ｂ夫々の形状や大きさは、要求される眩し
さの低減の程度によって任意に決定されるものである。
本実施例では、図３に示したように、リング状照明光束
７の外径の大きさをＤ、遮光部５ａ，５ｂのリング状照
明光束７の外周に沿う幅をｄ1 、遮光部１１ａ，１１ｂ
のリング状照明光束７の外周に沿う幅をｄ2 とすると、
以下の条件式を満足するように構成されている。 ０．１＜ｄ1 ／Ｄ＜０．４ ・・・・（１） ０．３＜ｄ2 ／ｄ1 ＜１ ・・・・（２） 上記条件式（１）は、眩しさの低減効果を得るための条
件を示しており、ｄ1／Ｄの値が、この式の取り得る値
の範囲の下限を下回ると効果そのものが薄れてしまい、
一方、その上限を越えると十分な効果は得られるもの
の、リング状照明光束７のかなりの部分が遮断されるこ
とになり、照明光量が不足してしまって好ましくない。
又、上記条件式（２）は、リング状照明光束７の光量バ
ランスを維持するための条件を示しており、ｄ2 ／ｄ1
の値がこの式の取り得る値の範囲の下限を下回ると上記
光量のバランスを維持できなくなる。尚、遮光部５ａ，
５ｂ，１１ａ，１１ｂは、常にｄ1 ＞ｄ2 となるように
構成されているため、ｄ2 ／ｄ1 の値は１を越えること
はない。
１１ａ，１１ｂ夫々の形状や大きさは、要求される眩し
さの低減の程度によって任意に決定されるものである。
本実施例では、図３に示したように、リング状照明光束
７の外径の大きさをＤ、遮光部５ａ，５ｂのリング状照
明光束７の外周に沿う幅をｄ1 、遮光部１１ａ，１１ｂ
のリング状照明光束７の外周に沿う幅をｄ2 とすると、
以下の条件式を満足するように構成されている。 ０．１＜ｄ1 ／Ｄ＜０．４ ・・・・（１） ０．３＜ｄ2 ／ｄ1 ＜１ ・・・・（２） 上記条件式（１）は、眩しさの低減効果を得るための条
件を示しており、ｄ1／Ｄの値が、この式の取り得る値
の範囲の下限を下回ると効果そのものが薄れてしまい、
一方、その上限を越えると十分な効果は得られるもの
の、リング状照明光束７のかなりの部分が遮断されるこ
とになり、照明光量が不足してしまって好ましくない。
又、上記条件式（２）は、リング状照明光束７の光量バ
ランスを維持するための条件を示しており、ｄ2 ／ｄ1
の値がこの式の取り得る値の範囲の下限を下回ると上記
光量のバランスを維持できなくなる。尚、遮光部５ａ，
５ｂ，１１ａ，１１ｂは、常にｄ1 ＞ｄ2 となるように
構成されているため、ｄ2 ／ｄ1 の値は１を越えること
はない。
【００１０】本実施例では、遮光部５ａ，５ｂ，１１
ａ，１１ｂは、ｄ1 ／Ｄ＝０．２１，ｄ2 ／ｄ1 ＝０．
６となるように構成されているため、最も眩しさの強い
１０倍の対物レンズにおける眩しさの低減の程度は約１
／５となる。更に、遮光部５ａ，５ｂを図２のＡの位置
に備えているため、眩しさの低減の効果はレボルバの回
転時に限られず、明視野照明と暗視野照明との切換え時
にも得られる。即ち、明視野照明と暗視野照明との切換
えを鏡筒部で行うような場合にも、図２のＡに相当する
位置に遮光部５ａ，５ｂを設ければ、上記と同様な効果
を得ることができる。
ａ，１１ｂは、ｄ1 ／Ｄ＝０．２１，ｄ2 ／ｄ1 ＝０．
６となるように構成されているため、最も眩しさの強い
１０倍の対物レンズにおける眩しさの低減の程度は約１
／５となる。更に、遮光部５ａ，５ｂを図２のＡの位置
に備えているため、眩しさの低減の効果はレボルバの回
転時に限られず、明視野照明と暗視野照明との切換え時
にも得られる。即ち、明視野照明と暗視野照明との切換
えを鏡筒部で行うような場合にも、図２のＡに相当する
位置に遮光部５ａ，５ｂを設ければ、上記と同様な効果
を得ることができる。
【００１１】更に、以上説明したことからも明らかなよ
うに、以下に示す構成も本発明の特徴である。 （１）リング状照明光束によって落射暗視野照明を行う
顕微鏡において、二つ以上の遮光部５ａ，５ｂを設け上
記リング状照明光束７の二箇所以上の部分を遮光し得る
ようにしたことを特徴とする顕微鏡の落射暗視野照明方
法。 （２）遮光部５ａ，５ｂによって遮光されるリング状照
明光束７の遮光部には、照明光束の光軸を対称の中心と
して１８０°対称な方向に位置する二つの部分を含むよ
うにしたことを特徴とする上記（１）に記載の顕微鏡の
落射暗視野照明方法。 （３）上記１８０°対称な方向に位置する二つの遮光部
は、レボルバの回転に伴い照明光束下を移動する対物レ
ンズの軌跡にほぼ沿うように位置していることを特徴と
する上記（２）に記載の顕微鏡の落射暗視野照明方法。 （４）リング状照明光束７の外径の大きさをＤ、遮光部
５ａ，５ｂのリング状照明光束７の外周に沿う幅をｄ1
としたとき、以下の条件式を満足するようにしたことを
特徴とする請求項３に記載の顕微鏡の落射暗視野照明装
置及び上記（３）に記載の落射暗視野照明方法。 ０．１＜ｄ1 ／Ｄ＜０．４
うに、以下に示す構成も本発明の特徴である。 （１）リング状照明光束によって落射暗視野照明を行う
顕微鏡において、二つ以上の遮光部５ａ，５ｂを設け上
記リング状照明光束７の二箇所以上の部分を遮光し得る
ようにしたことを特徴とする顕微鏡の落射暗視野照明方
法。 （２）遮光部５ａ，５ｂによって遮光されるリング状照
明光束７の遮光部には、照明光束の光軸を対称の中心と
して１８０°対称な方向に位置する二つの部分を含むよ
うにしたことを特徴とする上記（１）に記載の顕微鏡の
落射暗視野照明方法。 （３）上記１８０°対称な方向に位置する二つの遮光部
は、レボルバの回転に伴い照明光束下を移動する対物レ
ンズの軌跡にほぼ沿うように位置していることを特徴と
する上記（２）に記載の顕微鏡の落射暗視野照明方法。 （４）リング状照明光束７の外径の大きさをＤ、遮光部
５ａ，５ｂのリング状照明光束７の外周に沿う幅をｄ1
としたとき、以下の条件式を満足するようにしたことを
特徴とする請求項３に記載の顕微鏡の落射暗視野照明装
置及び上記（３）に記載の落射暗視野照明方法。 ０．１＜ｄ1 ／Ｄ＜０．４
【００１２】（５）上記移動する対物レンズの軌跡と略
垂直な方向に更に遮光部１１ａ，１１ｂを二箇所設けた
ことを特徴とする請求項３に記載の落射暗視野照明装置
及び上記（３）に記載の落射暗視野照明方法。 （６）遮光部５ａ，５ｂのリング状照明光束７の外周に
沿う幅をｄ1 、遮光部１１ａ，１１ｂのリング状照明光
束７の外周に沿う幅をｄ2 としたとき、以下の条件式を
満足するようにしたことを特徴とする上記（５）に記載
の落射暗視野照明装置及び落射暗視野照明方法。 ０．３＜ｄ2 ／ｄ1 ＜１ （７）上記遮光部５ａ，５ｂ，１１ａ，１１ｂを照明光
束の折り返し位置の直前の位置，照明光束の折り返し位
置の直後の位置又は対物レンズ近傍の位置のうち少なく
とも一箇所に設けたことを特徴とする請求項１乃至３又
は上記（１）乃至（６）に記載の顕微鏡の落射暗視野照
明装置及び落射暗視野照明方法。 （８）上記二つ以上の遮光部のうち一つの遮光部を、照
明光束の折り返し位置の直前の位置，照明光束の折り返
し位置の直後の位置又は対物レンズ近傍の位置の少なく
とも一箇所に設け、前記二つ以上の遮光部のうち他の一
つの遮光部を、照明光束の折り返し位置の直前の位置，
照明光束の折り返し位置の直後の位置又は対物レンズ近
傍の位置の少なくとも一箇所に設けたことを特徴とする
請求項１乃至３又は上記（１）乃至（６）に記載の顕微
鏡の落射暗視野照明装置及び落射暗視野視野照明方法。
垂直な方向に更に遮光部１１ａ，１１ｂを二箇所設けた
ことを特徴とする請求項３に記載の落射暗視野照明装置
及び上記（３）に記載の落射暗視野照明方法。 （６）遮光部５ａ，５ｂのリング状照明光束７の外周に
沿う幅をｄ1 、遮光部１１ａ，１１ｂのリング状照明光
束７の外周に沿う幅をｄ2 としたとき、以下の条件式を
満足するようにしたことを特徴とする上記（５）に記載
の落射暗視野照明装置及び落射暗視野照明方法。 ０．３＜ｄ2 ／ｄ1 ＜１ （７）上記遮光部５ａ，５ｂ，１１ａ，１１ｂを照明光
束の折り返し位置の直前の位置，照明光束の折り返し位
置の直後の位置又は対物レンズ近傍の位置のうち少なく
とも一箇所に設けたことを特徴とする請求項１乃至３又
は上記（１）乃至（６）に記載の顕微鏡の落射暗視野照
明装置及び落射暗視野照明方法。 （８）上記二つ以上の遮光部のうち一つの遮光部を、照
明光束の折り返し位置の直前の位置，照明光束の折り返
し位置の直後の位置又は対物レンズ近傍の位置の少なく
とも一箇所に設け、前記二つ以上の遮光部のうち他の一
つの遮光部を、照明光束の折り返し位置の直前の位置，
照明光束の折り返し位置の直後の位置又は対物レンズ近
傍の位置の少なくとも一箇所に設けたことを特徴とする
請求項１乃至３又は上記（１）乃至（６）に記載の顕微
鏡の落射暗視野照明装置及び落射暗視野視野照明方法。
【００１３】
【発明の効果】上述のように、本発明の顕微鏡の落射暗
視野照明装置は、暗視野観察時の対物レンズの交換を行
うためのレボルバ回転に伴って起きる視野内が眩しくな
る不快な現象を抑制できるという利点を有する。
視野照明装置は、暗視野観察時の対物レンズの交換を行
うためのレボルバ回転に伴って起きる視野内が眩しくな
る不快な現象を抑制できるという利点を有する。
【図１】本発明の原理構成図である。
【図２】本発明による顕微鏡の落射暗視野照明装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図３】本発明による実施例の構成図である。
【図４】従来の落射暗視野照明装置の対物レンズの原理
構成図である。
構成図である。
【図５】従来の顕微鏡の対物レンズ交換時における対物
レンズ及びリング状照明光束の状態を示した図である。
レンズ及びリング状照明光束の状態を示した図である。
１ 標本面 ２，７ リング状照明光束 ３ 対物レンズ ４ 対物レンズ鏡筒 ５ａ，５ｂ，１１ａ，１１ｂ 遮光部 ６ 対物レンズの移動方向 ８ 光軸 ９ リング状ミラー １０ 光学部材
Claims (3)
- 【請求項１】 リング状照明光束によって落射暗視野照
明を行う顕微鏡において、二つ以上の遮光部を設け、前
記リング状照明光束のうち二箇所以上の部分を遮光し得
るようにしたことを特徴とする顕微鏡の落射暗視野照明
装置。 - 【請求項２】 前記二つ以上の遮光部は、照明光束の光
軸を対称の中心として１８０°対称な方向に位置する二
つの遮光部を含むことを特徴とする請求項１に記載の顕
微鏡の落射暗視野照明装置。 - 【請求項３】 前記１８０°対称な方向に位置する二つ
の遮光部は、レボルバの回転に伴い照明光束下を移動す
る対物レンズの軌跡にほぼ沿うように位置していること
を特徴とする請求項２に記載の顕微鏡の落射暗視野照明
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9217594A JPH07294822A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 顕微鏡の落射暗視野照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9217594A JPH07294822A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 顕微鏡の落射暗視野照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07294822A true JPH07294822A (ja) | 1995-11-10 |
Family
ID=14047106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9217594A Withdrawn JPH07294822A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 顕微鏡の落射暗視野照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07294822A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102011055426A1 (de) * | 2011-11-16 | 2013-05-16 | Sensovation Ag | Mikroskopieverfahren zur Erkennung biologischer Zielobjekte |
| CN107250872A (zh) * | 2014-10-14 | 2017-10-13 | 毫微光电子影像股份有限公司 | 使用明场暗场物镜的独特的倾斜照明技术及与其相关的成像方法 |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP9217594A patent/JPH07294822A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102011055426A1 (de) * | 2011-11-16 | 2013-05-16 | Sensovation Ag | Mikroskopieverfahren zur Erkennung biologischer Zielobjekte |
| US8879792B2 (en) | 2011-11-16 | 2014-11-04 | Sensovation Ag | Microscopy method for identifying biological target objects |
| CN107250872A (zh) * | 2014-10-14 | 2017-10-13 | 毫微光电子影像股份有限公司 | 使用明场暗场物镜的独特的倾斜照明技术及与其相关的成像方法 |
| US11846765B2 (en) | 2014-10-14 | 2023-12-19 | Nanotronics Imaging, Inc. | Unique oblique lighting technique using a brightfield darkfield objective and imaging method relating thereto |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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