JPH0729031B2 - 中空糸型限外▲ろ▼過膜モジュ−ル - Google Patents
中空糸型限外▲ろ▼過膜モジュ−ルInfo
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- JPH0729031B2 JPH0729031B2 JP62129240A JP12924087A JPH0729031B2 JP H0729031 B2 JPH0729031 B2 JP H0729031B2 JP 62129240 A JP62129240 A JP 62129240A JP 12924087 A JP12924087 A JP 12924087A JP H0729031 B2 JPH0729031 B2 JP H0729031B2
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
- B01D63/02—Hollow fibre modules
- B01D63/024—Hollow fibre modules with a single potted end
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、電子工業等で使用されている超純水のユース
ポイントフィルターとして使われる中空糸型限外過膜
モジュールに関するものである。
ポイントフィルターとして使われる中空糸型限外過膜
モジュールに関するものである。
（従来技術） 今日超LSIは256Kビットが主流であるが、すでに1Mビッ
トが出荷されはじめている。これらの超LSI製造工程で
は、超純水を用いて、超LSIの半製品を洗浄するため、
超純水の水質と製品の歩留りに密接な関係があり、その
ため、最近、超純水の水質が飛躍的に向上してきた。
トが出荷されはじめている。これらの超LSI製造工程で
は、超純水を用いて、超LSIの半製品を洗浄するため、
超純水の水質と製品の歩留りに密接な関係があり、その
ため、最近、超純水の水質が飛躍的に向上してきた。
最近の超純水製造装置の一例を第１図に示す。
原水は凝集過器２により濁質分の大半を除去した後、
逆浸透膜３で濁質分、溶解有機物（TOC）、溶解無機
物、イオン物質の大半を除去する。さらに、イオン交換
器４で残ったイオン物質を除去した後、紫外線殺菌灯５
で生存している細菌を殺菌し、高性能イオン交換器６に
より、イオン物質を完全に除去し、限外過膜７で上流
からの菌の死骸や微粒子を除去する。限外過膜を通っ
た水は、使用される他はもう一度紫外線殺菌灯５へ循環
して、汚れの蓄積を防ぐ方策がとられている。
逆浸透膜３で濁質分、溶解有機物（TOC）、溶解無機
物、イオン物質の大半を除去する。さらに、イオン交換
器４で残ったイオン物質を除去した後、紫外線殺菌灯５
で生存している細菌を殺菌し、高性能イオン交換器６に
より、イオン物質を完全に除去し、限外過膜７で上流
からの菌の死骸や微粒子を除去する。限外過膜を通っ
た水は、使用される他はもう一度紫外線殺菌灯５へ循環
して、汚れの蓄積を防ぐ方策がとられている。
この超純水の水質は温度20〜30℃、比抵抗18MΩ・cm以
上、TOC 50ppb以下、生菌数0.1個/ml以下、粒径0.1μ
ｍ以上の微粒子50個/ml以下程度である。
上、TOC 50ppb以下、生菌数0.1個/ml以下、粒径0.1μ
ｍ以上の微粒子50個/ml以下程度である。
ところが最近、LSIが1Mビット、4Mビットと進むにつれ
て、超純水の要求はさらに厳しくなってきた。公式の基
準はまだできていないが、たとえば比抵抗18MΩ・cm以
上、TOC 10ppb以下、生菌数0.001個/ml以下、粒径0.05
μｍ以上の微粒子50個/ml以下である。
て、超純水の要求はさらに厳しくなってきた。公式の基
準はまだできていないが、たとえば比抵抗18MΩ・cm以
上、TOC 10ppb以下、生菌数0.001個/ml以下、粒径0.05
μｍ以上の微粒子50個/ml以下である。
（発明が解決しようとする問題点） このような超純水をつくる場合に、いくつかの問題があ
る。第１図において、限外過膜モジュール７から出た
水は、ループ配管となってLSI製造現場内を循環する
が、この配管は非常に長くなり、かついくつものユース
ポイントがある。そのため、限外過膜を出た水は純度
が高くても、配管からの汚染及びユースポイントからの
逆汚染によりしだいに純度が下がる。このうち汚染の大
きいものは微粒子と生細菌である。
る。第１図において、限外過膜モジュール７から出た
水は、ループ配管となってLSI製造現場内を循環する
が、この配管は非常に長くなり、かついくつものユース
ポイントがある。そのため、限外過膜を出た水は純度
が高くても、配管からの汚染及びユースポイントからの
逆汚染によりしだいに純度が下がる。このうち汚染の大
きいものは微粒子と生細菌である。
このように大きなセントラル型の超純水装置では生細菌
に汚染されたことがわかってもなかなか全システムを殺
菌することが困難である。それは、超純水の供給のスト
ップが許されないこと、及び長い配管系内には何か所も
のデッドエンドがあり、殺菌剤が十分に入り込まないた
めである。また、長い配管系では微粒子の汚染も多い。
に汚染されたことがわかってもなかなか全システムを殺
菌することが困難である。それは、超純水の供給のスト
ップが許されないこと、及び長い配管系内には何か所も
のデッドエンドがあり、殺菌剤が十分に入り込まないた
めである。また、長い配管系では微粒子の汚染も多い。
このような問題があるため、最近いくつかのユースポイ
ントフィルターが出ている。それは第２図に示したよう
に、使用する直前に小さなフィルター８を入れることに
より、超純水ラインからの微粒子及び生細菌を除去する
目的のためである。このフィルターには限外過膜型と
精密過膜型があるが、除去すべき微粒子が0.05μｍサ
イズにも小さくなると限外過膜しか対応できない。
ントフィルターが出ている。それは第２図に示したよう
に、使用する直前に小さなフィルター８を入れることに
より、超純水ラインからの微粒子及び生細菌を除去する
目的のためである。このフィルターには限外過膜型と
精密過膜型があるが、除去すべき微粒子が0.05μｍサ
イズにも小さくなると限外過膜しか対応できない。
このユースポイントフィルター８の条件としてユースポ
イントであるので水を使ったり止めたりすることが多い
ので、使い始めの段階から高い純度の水が要求されるこ
とである。
イントであるので水を使ったり止めたりすることが多い
ので、使い始めの段階から高い純度の水が要求されるこ
とである。
即ち、原水復帰が速いことが強く要求される。とこをが
現在のユースポイントフィルターはこの条件を具備して
いない。
現在のユースポイントフィルターはこの条件を具備して
いない。
限外過膜のユースポイントフィルターが少ないことに
加え、フィルター内の構造が悪く、水が滞留してしまう
ため、原水復帰が遅い。
加え、フィルター内の構造が悪く、水が滞留してしまう
ため、原水復帰が遅い。
そこで本発明者らは鋭意検討した結果、本発明を完成さ
せた。
せた。
（問題点を解決するための手段） 即ち本発明は、「ハウジングの横に原水入口を、ハウジ
ングの上に透過水出口を備え、かつ原水の滞留部を接着
剤で充填することにより原水の滞留を少くした中空糸型
限外過膜モジュール。」である。
ングの上に透過水出口を備え、かつ原水の滞留部を接着
剤で充填することにより原水の滞留を少くした中空糸型
限外過膜モジュール。」である。
以下、この発明を第３図によって説明する。
第３図において、11は原水入口ノズル、12は透過水ノズ
ル、13は円筒状ケース、14はキャップ、15はエア抜きの
プラグ、16は中空糸保護のための円筒状のネット、17は
中空糸、18は原水の滞留部をなくすための充填接着剤、
19は中空糸の片側を封止した接着剤、20は中空糸どうし
の間及びケースとの間を接着した接着剤、21はケース13
とキャップ14との間をシールするためのＯリングであ
る。
ル、13は円筒状ケース、14はキャップ、15はエア抜きの
プラグ、16は中空糸保護のための円筒状のネット、17は
中空糸、18は原水の滞留部をなくすための充填接着剤、
19は中空糸の片側を封止した接着剤、20は中空糸どうし
の間及びケースとの間を接着した接着剤、21はケース13
とキャップ14との間をシールするためのＯリングであ
る。
本発明によれば、原水は第３図の矢印で示した方向から
入り、ケースの中では周囲のすきまを流れながら中空糸
の外側から内側へ入っていく。中空糸の外表面と内表面
の圧力差により水は中空糸の壁を透過し、１本ずつの中
空糸の内部に入り、上方に流れて透過水ノズル12から出
る。このように流れる時に、18の部分が接着剤で埋めて
ないと、水の流れのない場所での滞留となるが、本発明
はこのような滞留部は一切なく、入口から入った水は滞
留がほとんどなく、出口へ出ることになる。
入り、ケースの中では周囲のすきまを流れながら中空糸
の外側から内側へ入っていく。中空糸の外表面と内表面
の圧力差により水は中空糸の壁を透過し、１本ずつの中
空糸の内部に入り、上方に流れて透過水ノズル12から出
る。このように流れる時に、18の部分が接着剤で埋めて
ないと、水の流れのない場所での滞留となるが、本発明
はこのような滞留部は一切なく、入口から入った水は滞
留がほとんどなく、出口へ出ることになる。
（発明の効果） 本発明になる超純水ユースポイントフィルター用の中空
糸型限外過膜モジュールは、モジュール内の液滞留部
が接着剤で埋められているため、取水停止時モジュール
内にたまる純度低下した水の量が少なく、取水開始時の
原水復帰、即ち比抵抗やTOCが正常に戻るのが早い。
糸型限外過膜モジュールは、モジュール内の液滞留部
が接着剤で埋められているため、取水停止時モジュール
内にたまる純度低下した水の量が少なく、取水開始時の
原水復帰、即ち比抵抗やTOCが正常に戻るのが早い。
（実 施 例） 次に実施例によってこの発明をさらに具体的に説明す
る。
る。
実施例１ 第３図において、ポリエーテルスルホン製、分画分子量
５万、内径400μｍ、外径600μｍ、本数6000本、有効長
22cmの中空糸を用いて限外過膜モジュールを作成し
た。なお、中空糸は、外圧で測定した透水速度が８／
分・m2・気圧であった。
５万、内径400μｍ、外径600μｍ、本数6000本、有効長
22cmの中空糸を用いて限外過膜モジュールを作成し
た。なお、中空糸は、外圧で測定した透水速度が８／
分・m2・気圧であった。
このモジュールを比抵抗18MΩ・cm、TOC50ppbの超純水
ラインにつなぎ、これに25℃で500/hの超純水を通水
した。そして、モジュールの透過側から出てくる水の比
抵抗及びTOCをスタートより測定し、比抵抗が17.9MΩ・
cmをこえた時間及びTOCが60ppb以下になる時間を測定し
た。実験の結果を表１に示す。
ラインにつなぎ、これに25℃で500/hの超純水を通水
した。そして、モジュールの透過側から出てくる水の比
抵抗及びTOCをスタートより測定し、比抵抗が17.9MΩ・
cmをこえた時間及びTOCが60ppb以下になる時間を測定し
た。実験の結果を表１に示す。
比較例１ 比較のため第３図における18の接着を行なわないモジュ
ールを作成し、実施例１と同様の実験を行なった。結果
を表１に示す。
ールを作成し、実施例１と同様の実験を行なった。結果
を表１に示す。
以上のように、比較例１に比べ実施例１は、使用可能に
なるまでの時間が半分〜1/3であることがわかる。
なるまでの時間が半分〜1/3であることがわかる。
第１図は最近の超純水製造装置の一例、第２図は第１図
においてユースポイントフィルター８を追加した一例、
第３図は本発明になる中空糸型限外過膜モジュールの
一例を示す。 １……原水槽、２……凝集過器、３……逆浸透膜、４
……イオン交換器、５……紫外線殺菌灯、６……高性能
イオン交換器、７……限外過膜、８……ユースポイン
トフィルター、11……原水入口ノズル、12……透過水ノ
ズル、13……円筒状ケース、14……キャップ、15……エ
ア抜きプラグ、16……円筒状ネット、17……中空糸、1
8,19,20……接着剤、21……Ｏリング
においてユースポイントフィルター８を追加した一例、
第３図は本発明になる中空糸型限外過膜モジュールの
一例を示す。 １……原水槽、２……凝集過器、３……逆浸透膜、４
……イオン交換器、５……紫外線殺菌灯、６……高性能
イオン交換器、７……限外過膜、８……ユースポイン
トフィルター、11……原水入口ノズル、12……透過水ノ
ズル、13……円筒状ケース、14……キャップ、15……エ
ア抜きプラグ、16……円筒状ネット、17……中空糸、1
8,19,20……接着剤、21……Ｏリング
Claims (1)
- 【請求項１】ハウジングの横に原水入口を、ハウジング
の上に透過水出口を備え、かつ原水の滞留部を接着剤で
充填することにより原水の滞留を少くした中空糸型限外
過膜モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62129240A JPH0729031B2 (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 中空糸型限外▲ろ▼過膜モジュ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62129240A JPH0729031B2 (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 中空糸型限外▲ろ▼過膜モジュ−ル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63294907A JPS63294907A (ja) | 1988-12-01 |
| JPH0729031B2 true JPH0729031B2 (ja) | 1995-04-05 |
Family
ID=15004656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62129240A Expired - Fee Related JPH0729031B2 (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 中空糸型限外▲ろ▼過膜モジュ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729031B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07256061A (ja) * | 1994-03-25 | 1995-10-09 | Nissho Corp | 液体処理器 |
| US5762789A (en) * | 1996-06-28 | 1998-06-09 | Millipore Corporation | Disposable membrane module with low-dead volume |
| DE19701994A1 (de) * | 1997-01-22 | 1998-07-23 | Mann & Hummel Filter | Filter |
| JP6304259B2 (ja) * | 2013-10-04 | 2018-04-04 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置 |
-
1987
- 1987-05-26 JP JP62129240A patent/JPH0729031B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63294907A (ja) | 1988-12-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
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