JPH07282953A - Corona discharging electrode and static electricity eliminating device - Google Patents
Corona discharging electrode and static electricity eliminating deviceInfo
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- JPH07282953A JPH07282953A JP6954794A JP6954794A JPH07282953A JP H07282953 A JPH07282953 A JP H07282953A JP 6954794 A JP6954794 A JP 6954794A JP 6954794 A JP6954794 A JP 6954794A JP H07282953 A JPH07282953 A JP H07282953A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は静電気除去装置等に用い
られるコロナ放電用電極に係り、特に電極表面への付着
物が少なく、また電極からの発塵が少なく長寿命なコロ
ナ放電用電極および静電気除去装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a corona discharge electrode used in a static eliminator or the like, and particularly to a long-life corona discharge electrode which has a small amount of deposits on the electrode surface and little dust from the electrode. The present invention relates to a static eliminator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】超微細に集積化された半導体装置等のパ
ーツフィーダ設備，アッセンブリ・検査設備等は、空気
中の塵埃，微生物量，圧力，温度，湿度，静電気量を一
定の範囲に制御したクリーンルームに配置されている。
特に加工対象品および加工設備の稼動に伴って不可避的
に発生する静電気による製品の表面汚染，静電放電（Ｅ
ＳＤ）による損傷，自動搬送機の誤動作等を防止するた
め、上記クリーンルーム内には、図４に示すような静電
気除去装置１が装備されている。2. Description of the Related Art Parts feeder equipment, assembly and inspection equipment for ultra-fine integrated semiconductor devices have controlled the amount of dust, microorganisms, pressure, temperature, humidity and static electricity in the air within a certain range. It is located in a clean room.
In particular, product surface contamination and electrostatic discharge (E
In order to prevent damage due to SD), malfunction of the automatic carrier, etc., the above-mentioned clean room is equipped with a static eliminator 1 as shown in FIG.
【０００３】この静電気除去装置１は、一般に除電対象
物２にアルミニウムフィルター３を介して対向するよう
に設けられ、装置本体４に正極および負極となる少なく
とも一対のコロナ放電用電極５ａ，５ｂを突設して形成
される。また放電効果を高めるために、各電極５ａ，５
ｂ先端部は針状に尖鋭化させている。そして、コロナ放
電用電極５ａ，５ｂ間に２〜８ＫＶ程度の高電圧を印加
することよってコロナ放電が生じ、空気をイオン化せし
め、イオン化空気をアルミニウムフィルター３によって
除電対象物２方向に誘導し、除電対象物２の帯電部を上
記イオン化空気によって電気的に中和し除電するもので
ある。This static eliminator 1 is generally provided so as to face an object 2 to be neutralized with an aluminum filter 3 in between, and at least a pair of corona discharge electrodes 5a and 5b serving as a positive electrode and a negative electrode are projected from a main body 4 of the device. Is formed and formed. Further, in order to enhance the discharge effect, each electrode 5a, 5
The tip of b is sharpened like a needle. Then, a corona discharge is generated by applying a high voltage of about 2 to 8 KV between the corona discharge electrodes 5a and 5b, and the air is ionized, and the ionized air is guided by the aluminum filter 3 in the direction of the charge removal target 2 to remove the charge. The charged portion of the object 2 is electrically neutralized by the ionized air to eliminate the charge.
【０００４】上記のような静電気除去装置のコロナ放電
用電極を構成する材料としては、耐熱性，機械的強度の
観点から従来、チタン，ステンレス鋼，タングステンな
どの金属材が採用されていた。From the viewpoint of heat resistance and mechanical strength, conventionally, a metal material such as titanium, stainless steel, or tungsten has been adopted as a material for forming the corona discharge electrode of the above static eliminator.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記チタ
ン，ステンレス鋼およびタングステン製のコロナ放電用
電極を使用した静電気除去装置においては、コロナ放電
を起こすために印加する高電圧によって、電極表面に放
電生成物が付着し放電効率が低下し易い欠点がある。ま
たこの放電生成物の付着により異常放電が起こり易くな
り、電極の腐食が急速に進行して電極が短寿命になると
いう問題があった。However, in the static eliminator using the above-mentioned electrodes for corona discharge made of titanium, stainless steel and tungsten, a discharge product is generated on the electrode surface due to the high voltage applied to cause corona discharge. However, there is a drawback in that the discharge efficiency is likely to decrease due to the adherence of. Further, there is a problem that abnormal discharge is apt to occur due to the adhesion of the discharge products, the corrosion of the electrodes rapidly progresses, and the life of the electrodes becomes short.
【０００６】一方、半導体製造装置などの超微細化製品
を取り扱うクリーンルームに配備される静電気除去装置
に対しては、稼動中に塵埃などが発生することが極力少
ないことが要求されている。しかしながらチタン，ステ
ンレス鋼，タングステン製のコロナ放電用電極において
は、異常放電による温度上昇で、これらの金属成分が蒸
発しダスト（塵埃）となってクリーンルーム中に浮遊
し、製品に付着して悪影響を及ぼすという問題点があっ
た。[0006] On the other hand, it is required that the static eliminator installed in a clean room for handling ultra-miniaturized products such as semiconductor manufacturing equipment should generate dust and the like as little as possible during operation. However, in the electrodes for corona discharge made of titanium, stainless steel, and tungsten, due to the temperature rise due to abnormal discharge, these metal components evaporate and become dust (dust), which floats in the clean room and adheres to the product, causing adverse effects. There was a problem of exerting it.
【０００７】さらに導電性を有するＳｉＣ焼結体で形成
したＳｉＣ電極や、Ｗ材表面に石英のコーティング層を
形成した石英コートＷ電極も使用されている、しかしな
がら、上記ＳｉＣ製電極は発塵性の点で難点がある一
方、石英コートＷ電極は、イオン発生効率が低く充分な
除電効果を発揮し得ないという問題点があった。Further, a SiC electrode formed of a sintered SiC body having conductivity and a quartz-coated W electrode having a quartz coating layer formed on the surface of the W material are also used. However, the above-mentioned SiC electrode is dust-generating. On the other hand, the quartz-coated W electrode has a problem that the ion generation efficiency is low and a sufficient charge eliminating effect cannot be exhibited.
【０００８】上記のような従来のコロナ放電用電極を静
電気除去装置の正極および負極に使用した場合における
問題点は、正極および負極の双方において発生する問題
であるが、特に正極用のコロナ放電用電極において顕著
となる問題である。したがって、正極の寿命がコロナ放
電用電極全体、ひいては静電気除去装置全体としてのメ
ンテナンス時間を支配することにより、さらに装置全体
の寿命を規定するという問題点があった。A problem in the case where the conventional corona discharge electrode as described above is used for the positive electrode and the negative electrode of the static eliminator is a problem that occurs in both the positive electrode and the negative electrode. This is a serious problem in electrodes. Therefore, there has been a problem that the life of the positive electrode governs the maintenance time of the entire corona discharge electrode, and by extension, the entire static eliminator, thereby further prescribing the life of the entire device.
【０００９】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであり、電極表面への付着物が少なく、また電
極からの発塵が少なく、耐食性および寿命特性に優れた
コロナ放電用電極および静電気除去装置を提供すること
を目的とする。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and there are few deposits on the electrode surface, little dust is generated from the electrode, and a corona discharge electrode excellent in corrosion resistance and life characteristics, and An object is to provide an electrostatic eliminator.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記目的を
達成するために、材料組成および構造を種々変えて多種
類のコロナ放電用電極を調製し、その材料組成や構造
が、電極の耐食性，発塵性，放電安定性，寿命に及ぼす
影響を比較研究した。その結果、ある種の貴金属合金ま
たは高融点金属合金で電極を構成したり、電極基材表面
に耐熱耐食材料により被覆層を形成したときに、上記各
要求特性を満足するコロナ放電用電極さらに優れた静電
気除去装置が初めて得られるという知見を得た。本発明
は上記知見に基づいて完成されたものである。In order to achieve the above object, the inventors prepared various kinds of corona discharge electrodes by changing the material composition and the structure, and the material composition and the structure are different from those of the electrode. A comparative study was conducted on the effects on corrosion resistance, dust generation, discharge stability and life. As a result, when an electrode is composed of a certain kind of noble metal alloy or refractory metal alloy, or when a coating layer is formed on the surface of the electrode base material with a heat-resistant and corrosion-resistant material, a corona discharge electrode that satisfies the above-mentioned required characteristics is more excellent. We have obtained the knowledge that a static eliminator can be obtained for the first time. The present invention has been completed based on the above findings.
【００１１】すなわち本発明に係るコロナ放電用電極
は、白金（Ｐｔ）基合金，金（Ａｕ）基合金，タングス
テン（Ｗ），モリブデン（Ｍｏ），金属炭化物，金属硅
化物，金属窒化物および金属硼化物の少なくとも１種と
貴金属とから成る複合材料，チタン（Ｔｉ）基合金，タ
ングステン（Ｗ）基合金，およびニッケル−クロム（Ｎ
ｉ−Ｃｒ）系耐熱耐食合金の少なくとも１種から成るこ
とを特徴とする。That is, the electrode for corona discharge according to the present invention includes a platinum (Pt) -based alloy, a gold (Au) -based alloy, tungsten (W), molybdenum (Mo), a metal carbide, a metal silicide, a metal nitride and a metal. Composite material comprising at least one boride and a noble metal, titanium (Ti) -based alloy, tungsten (W) -based alloy, and nickel-chromium (N
i-Cr) -based heat-resistant and corrosion-resistant alloy.
【００１２】また他の態様のコロナ放電用電極は、導電
性を有する芯材表面に耐熱耐食材料から成る被覆層を一
体に形成したことを特徴とする。ここで、芯材は、白
金，金，チタン，白金基白金，金基合金，タングステ
ン，モリブデン，金属炭化物，金属硅化物，金属窒化物
および金属硼化物の少なくとも１種と貴金属とから成る
複合材料，チタン基合金，タングステン基合金，および
ニッケル−クロム系耐熱耐食合金の少なくとも１種で構
成するとよい。また、被覆材としての耐熱耐食材料は、
ステンレス鋼あるいはニッケル−クロム系耐熱耐食材料
で構成するとよい。さらに、芯材表面に金より成る中間
層を形成し、この金より成る中間層を介して耐熱耐食材
料からなる被覆層を一体に形成するとよい。Another aspect of the corona discharge electrode is characterized in that a coating layer made of a heat-resistant and corrosion-resistant material is integrally formed on the surface of a conductive core material. Here, the core material is a composite material composed of at least one of platinum, gold, titanium, platinum-based platinum, gold-based alloy, tungsten, molybdenum, metal carbide, metal silicide, metal nitride and metal boride, and a noble metal. , Titanium-based alloy, tungsten-based alloy, and nickel-chromium heat and corrosion resistant alloy. In addition, the heat and corrosion resistant material as the covering material,
It is preferable to use stainless steel or a nickel-chromium heat and corrosion resistant material. Further, an intermediate layer made of gold may be formed on the surface of the core material, and a coating layer made of a heat-resistant and corrosion-resistant material may be integrally formed through the intermediate layer made of gold.
【００１３】以下に、本発明の構成材料に関して説明す
る。The constituent materials of the present invention will be described below.
【００１４】まず、白金基合金としては白金−金（Ｐｔ
−Ａｕ）系合金，白金−ロジウム（Ｐｔ−Ｒｈ）系合金
などの合金を用いることが可能である。First, as a platinum-based alloy, platinum-gold (Pt
It is possible to use alloys such as -Au) -based alloys and platinum-rhodium (Pt-Rh) -based alloys.
【００１５】Ｐｔ−Ａｕ系合金は、大気中などの酸化性
雰囲気で酸化物を形成しない。このため、特に正極側で
の摩耗および電極そのものの汚染が少ない。このＰｔ−
Ａｕ系合金は全率固溶体を形成するため任意の組成を選
択することか可能であるが、Ｐｔに比較しＡｕの融点が
低いために、Ａｕの比率をＰｔに比し少なくすることに
より、合金の融点が比較的に高くなり、合金の摩耗およ
び変形も減少する。The Pt-Au alloy does not form an oxide in an oxidizing atmosphere such as the air. Therefore, wear on the positive electrode side and contamination of the electrode itself are small. This Pt-
Since an Au-based alloy forms a solid solution at all rates, it is possible to select any composition. However, since the melting point of Au is lower than that of Pt, it is possible to reduce the ratio of Au to less than Pt. Has a relatively high melting point and reduces wear and deformation of the alloy.
【００１６】Ｐｔがあまり多いと、Ｐｔは負極側で使用
した場合に還元されて脆くなり、摩耗し易くなる。この
ため、正極および負極のいずれに使用した場合において
も良好な特性を示すＰｔ−Ａｕ系合金の好ましいＡｕ含
有量は、１〜１５重量％の範囲である。When the amount of Pt is too much, Pt is reduced when used on the negative electrode side to become brittle and easily worn. Therefore, the preferable Au content of the Pt-Au alloy showing good characteristics when used as both the positive electrode and the negative electrode is in the range of 1 to 15% by weight.
【００１７】また、Ｐｔ−Ｒｈ系合金は、その組成比率
に関係なく耐酸化性に優れている。特に正極側での摩耗
および電極そのものの汚染が少ない。なお、Ｐｔは負極
側で使用した場合に還元されて脆くなり、摩耗し易くな
る。このＰｔの還元による欠点を防止するために、負極
側で合金電極を使用する場合においてはＲｈと共に合金
化させることが好ましい。この場合、Ｒｈがあまり少な
いとＰｔの還元による欠点を防止する効果が少なく、逆
のＲｈ含有量があまり多いと合金の硬度が高くなり脆く
なるため、電極先端部の欠けや脱落などの問題が発生す
ると共に、機械加工性の低下を引き起こす。このためＰ
ｔ−Ｒｈ系合金の好ましいＲｈ含有量は５〜２０重量％
の範囲である。Further, the Pt-Rh type alloy is excellent in oxidation resistance regardless of its composition ratio. In particular, there is little wear on the positive electrode side and contamination of the electrode itself. When Pt is used on the negative electrode side, it is reduced and becomes brittle, and is easily worn. In order to prevent this drawback due to the reduction of Pt, when an alloy electrode is used on the negative electrode side, it is preferable to alloy with Rh. In this case, if the amount of Rh is too small, the effect of preventing the defects due to the reduction of Pt is small, and if the amount of Rh is too large, the hardness of the alloy becomes high and the alloy becomes brittle. When it occurs, it causes deterioration of machinability. Therefore, P
The preferable Rh content of the t-Rh alloy is 5 to 20% by weight.
Is the range.
【００１８】次に、金基合金としては金−ニッケル（Ａ
ｕ−Ｎｉ）系合金，金−銅（Ａｕ−Ｃｕ）系合金，金−
銀（Ａｕ−Ａｇ）系合金などの合金を用いることが可能
である。Next, as a gold-based alloy, gold-nickel (A
u-Ni) alloy, gold-copper (Au-Cu) alloy, gold-
An alloy such as a silver (Au-Ag) alloy can be used.
【００１９】これは、Ａｕ単独では軟らかく機械的強度
が低いために、電極先端部の形状が変化し易く、放電電
流が低下してしまう。このＡｕの機械的強度を向上さ
せ、変形を防止するために、Ｎｉ，Ｃｕ，Ａｇの少なく
とも１種の元素を含有させることが好ましい。この場
合、これらＮｉ，Ｃｕ，Ａｇの少なくとも１種の元素
は、あまりその量が少ないと合金の機械的強度が低く変
形し易くなり、逆にその量があまり多いと耐酸化性が低
下するため、好ましい含有量はＮｉ，Ｃｕ，Ａｇの合計
量で５〜１５重量％の範囲である。This is because Au alone is soft and has low mechanical strength, so that the shape of the electrode tip portion is likely to change and the discharge current is reduced. In order to improve the mechanical strength of Au and prevent deformation, it is preferable to contain at least one element of Ni, Cu, and Ag. In this case, if the amount of at least one of Ni, Cu and Ag is too small, the mechanical strength of the alloy will be low and the alloy will be easily deformed. On the contrary, if the amount is too large, the oxidation resistance will be reduced. The preferable content is in the range of 5 to 15% by weight as the total amount of Ni, Cu and Ag.
【００２０】次に、タングステン（Ｗ），モリブデン
（Ｍｏ），金属炭化物，金属硅化物，金属窒化物および
金属硼化物の少なくとも１種と貴金属とから成る複合材
料は、Ｗ，Ｍｏ，金属炭化物，金属硅化物，金属窒化物
および金属硼化物が有する高温高強度特性と貴金属が有
する高導電性および耐酸化性とが相乗的に発揮されるた
め、優れた特性を有する電極材料となる。ここで、あま
り貴金属の含有量が過少であると耐酸化性および導電性
が低下し、逆にその量が過多であると機械的強度が低下
するため、好ましい貴金属の含有量は５〜４５容量％の
範囲である。Next, a composite material composed of at least one of tungsten (W), molybdenum (Mo), metal carbide, metal silicide, metal nitride and metal boride and a noble metal is W, Mo, metal carbide, Since the high temperature and high strength characteristics of the metal silicide, the metal nitride and the metal boride and the high conductivity and the oxidation resistance of the noble metal are synergistically exhibited, the electrode material has excellent characteristics. Here, if the content of the noble metal is too small, the oxidation resistance and conductivity decrease, and conversely, if the content is too large, the mechanical strength decreases, so the preferable content of the noble metal is 5 to 45 volumes. % Range.
【００２１】ここで、上記貴金属としてはＡｕ，白金族
元素などが使用可能である。また、複合材料の具体例と
しては、貴金属としてのＡｕあるいはＰｔとＷ，Ｍｏ，
炭化タングステン（ＷＣ），炭化モリブデン（Ｍｏ
2 Ｃ），炭化ジルコニウム（ＺｒＣ），炭化タンタル
（ＴａＣ），炭化クロム（Ｃｒ3 Ｃ2 ），炭化ニオブ
（ＮｂＣ），窒化チタン（ＴｉＮ），窒化ジルコニウム
（ＺｒＮ），硼化チタン（ＴｉＢ），硼化ジルコニウム
（ＺｒＢ），硼化ハフニウム（ＨｆＢ2 ），硅化タンタ
ル（ＴａＳｉ2 ），硅化タングステン（ＷＳｉ2 ）など
の材料との複合材料が考えられる。例えば、Ｗ−Ａｕ，
Ｗ−Ｐｔ，Ｍｏ−Ａｇ，Ｍｏ−Ｐｔ，ＷＣ−Ａｕ，ＷＣ
−Ｐｔ，Ｍｏ2 Ｃ−Ａｕ，Ｍｏ2 Ｃ−Ｐｔなどの複合材
料として使用される。Here, Au, a platinum group element, or the like can be used as the noble metal. Further, as a specific example of the composite material, Au or Pt as a noble metal and W, Mo,
Tungsten Carbide (WC), Molybdenum Carbide (Mo
2 C), zirconium carbide (ZrC), tantalum carbide (TaC), chromium carbide (Cr 3 C 2 ), niobium carbide (NbC), titanium nitride (TiN), zirconium nitride (ZrN), titanium boride (TiB), zirconium boride (ZrB), boride hafnium (HfB 2), silicide tantalum (TaSi 2), the composite is considered of a tungsten silicide (WSi 2) material such as. For example, W-Au,
W-Pt, Mo-Ag, Mo-Pt, WC-Au, WC
-Pt, Mo 2 C-Au, is used as a composite material such as Mo 2 C-Pt.
【００２２】上記複合材料の形態としては、Ｗ，Ｍｏ，
金属炭化物，金属硅化物，金属窒化物および金属硼化物
の少なくとも１種と貴金属とから成る複合材料であれば
何ら限定されるものではないが、例えば、Ｗ，Ｍｏ，金
属炭化物，金属硅化物，金属窒化物および金属硼化物の
少なくとも１種から成る基地中に貴金属を分散したも
の、より具体的にはＷ，Ｍｏ，金属炭化物，金属硅化
物，金属窒化物および金属硼化物の少なくとも１種から
成る多孔質体に貴金属を含浸したものが採用可能であ
る。The form of the composite material is W, Mo,
The composite material is not particularly limited as long as it is a composite material containing at least one kind of metal carbide, metal silicide, metal nitride and metal boride and a noble metal, and examples thereof include W, Mo, metal carbide, metal silicide, A noble metal dispersed in a matrix comprising at least one of a metal nitride and a metal boride, more specifically, from at least one of W, Mo, a metal carbide, a metal silicide, a metal nitride and a metal boride. A porous body impregnated with a noble metal can be used.
【００２３】次に、チタン基合金としては、良導電体で
あり耐熱耐食性に優れたものであれば何ら限定されるも
のではないが、例えば、チタン−アルミニウム−バナジ
ウム（Ｔｉ−Ａｌ−Ｖ）合金、より具体的にはＴｉ−１
〜５重量％Ａｌ−１〜８重量％Ｖ合金等が採用可能であ
る。The titanium-based alloy is not particularly limited as long as it is a good conductor and has excellent heat and corrosion resistance. For example, a titanium-aluminum-vanadium (Ti-Al-V) alloy is used. , More specifically Ti-1
~ 5 wt% Al-1 to 8 wt% V alloy or the like can be adopted.
【００２４】次に、タングステン基合金としては、比較
的良導電体であり耐熱耐食性に優れたものであれば何ら
限定されるものではないが、例えば、レニウム−タング
ステン（Ｒｅ−Ｗ）合金、より具体的には１〜５０重量
％Ｒｅ−Ｗ合金、さらには１〜３０重量％Ｒｅ−ｗ合金
等が採用可能である。Next, the tungsten-based alloy is not particularly limited as long as it is a relatively good conductor and excellent in heat and corrosion resistance. For example, a rhenium-tungsten (Re-W) alloy is more preferable. Specifically, a 1 to 50 wt% Re-W alloy, and further a 1 to 30 wt% Re-w alloy can be adopted.
【００２５】次に、ニッケル−クロム系耐熱耐食合金と
しては、良導電体であり耐熱耐食性に優れたものであれ
ば何ら限定されるものではないが、例えば、インコネル
Ｘ−７５０合金，インコネルＸ−７１８合金，インコネ
ルＸ−６２５合金などの公知のニッケル−クロム系耐熱
耐食合金が採用可能である。より具体的組成の一例を示
すならば、インコネルＸ−７５０合金としてはＮｉ−１
５重量％Ｃｒ−７重量％Ｆｅ−２．５重量％Ｔｉ−０．
７５重量％Ａｌ−０．９９重量％Ｎｂ−０．７重量％Ｍ
ｎ−０．３重量％Ｓｉ−０．０２重量％Ｃなどであり、
インコネルＸ−７１８合金としてはＦｅ−５２．５〜５
３．２重量％Ｎｉ−１８．７〜１９重量％Ｃｒ−５．２
重量％（Ｎｂ＋Ｔａ）−３重量％Ｍｏ−０．８〜１．９
重量％Ｔｉ−０．０４〜０．０５重量％Ｃ−０．１５〜
０．２重量％Ｓｉ−０．１〜０．２重量％Ｍｎなどであ
り、インコネルＸ−６２５合金としてはＮｉ（＋Ｃｏ）
−２１．５重量％Ｃｒ−３．５重量％Ｆｅ−８．５重量
％Ｍｏ−３．５重量％（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．０３重量％
Ｃ−０．２重量％Ｍｎ−０．３重量％Ｓｉなどがある。Next, the nickel-chromium heat and corrosion resistant alloy is not particularly limited as long as it is a good conductor and has excellent heat and corrosion resistance. For example, Inconel X-750 alloy, Inconel X- Known nickel-chromium heat resistant and corrosion resistant alloys such as 718 alloy and Inconel X-625 alloy can be adopted. If one example of a more specific composition is shown, Ni-1 is used as the Inconel X-750 alloy.
5 wt% Cr-7 wt% Fe-2.5 wt% Ti-0.
75 wt% Al-0.99 wt% Nb-0.7 wt% M
n-0.3 wt% Si-0.02 wt% C, etc.,
Fe-52.5 to 5 as Inconel X-718 alloy
3.2 wt% Ni-18.7 to 19 wt% Cr-5.2
% By weight (Nb + Ta) -3% by weight Mo-0.8 to 1.9
Wt% Ti-0.04 to 0.05 wt% C-0.15
0.2 wt% Si-0.1 to 0.2 wt% Mn, etc., and Ni (+ Co) as the Inconel X-625 alloy.
-21.5 wt% Cr-3.5 wt% Fe-8.5 wt% Mo-3.5 wt% (Nb + Ta) -0.03 wt%
C-0.2 wt% Mn-0.3 wt% Si and the like.
【００２６】上記各種材料は、単体での使用に限らず、
各種材料を複合化した材料の使用も可能である。The above-mentioned various materials are not limited to being used alone,
It is also possible to use a composite material of various materials.
【００２７】なお、上記合金材料で形成したコロナ放電
用電極の先端部は放電効率を高めるために、通常、テー
パ状に尖鋭化した形状に成形される。そして電極先端部
が消耗した場合には、先端を再度テーパ状に加工するこ
とによって、放電効率を維持することができ、簡単な保
守加工により電極を繰り返して再使用することが可能で
あり、非常に経済的である。The tip of the corona discharge electrode formed of the above alloy material is usually formed in a tapered shape in order to improve discharge efficiency. When the tip of the electrode is consumed, the tip can be re-tapered to maintain the discharge efficiency, and the electrode can be reused repeatedly by simple maintenance work. It is economical.
【００２８】また本発明に係るコロナ放電用電極の他の
態様として、前記各種合金材に加えて、白金（Ｐｔ），
金（Ａｕ），チタン（Ｔｉ）等の高導電性を有する金属
材を芯材とし、その芯材表面に、ステンレス鋼，Ｎｉ基
合金，Ｎｉ−Ｃｒ系耐熱耐食合金の少なくとも１種から
成る被覆層を一体に形成してコロナ放電用電極を構成す
ることもできる。As another aspect of the corona discharge electrode according to the present invention, platinum (Pt),
A metal material having high conductivity such as gold (Au) or titanium (Ti) is used as a core material, and the surface of the core material is coated with at least one of stainless steel, a Ni-based alloy, and a Ni-Cr heat and corrosion resistant alloy. The corona discharge electrode may be formed by integrally forming the layers.
【００２９】ステンレス鋼，Ｎｉ基合金，Ｎｉ−Ｃｒ系
耐熱耐食合金の少なくとも１種から成る被覆層は、上記
芯材に対して高い密着性を有し、その剥離による発塵が
効果的に防止できる上に、それらの優れた耐食性を電極
に付与することができる。さらに、これらの被覆層は比
較的高い機械的強度を有しており、コロナ放電用電極の
放電部に芯材としてＰｔ，Ａｕ，Ｔｉなどの純金属ある
いは低合金を使用した場合においても、芯材の機械的強
度の低さを補いコロナ放電用電極として充分な機械的強
度を付与することができる。したがって、放電部におい
ては高導電性，耐酸化性，耐摩耗性および耐汚染性に優
れたＰｔ，Ａｕ，Ｔｉなどを使用することが可能とな
る。さらに、Ｐｔ，Ａｕ，Ｔｉ、さらにはそれらの合金
などは高価であるが、芯材、すなわち放電部のみをこれ
らの材料により構成し、他の部分を耐食性が良好であ
り、比較的安価な材料を使用することが可能となるた
め、コロナ放電用電極として優れた特性を有し、かつ安
価な材料を採用することが可能となる。被覆層を形成す
る材料としては、耐食性が高いものであれば何らその種
類は問わない。上記被覆層の厚さは５〜１００μｍ程度
に設定される。The coating layer made of at least one of stainless steel, Ni-based alloy, and Ni-Cr heat-resistant and corrosion-resistant alloy has high adhesion to the core material and effectively prevents dust generation due to peeling. In addition, it is possible to impart their excellent corrosion resistance to the electrode. Further, these coating layers have a relatively high mechanical strength, and even when a pure metal such as Pt, Au, Ti or a low alloy is used as the core material in the discharge part of the corona discharge electrode, It is possible to compensate for the low mechanical strength of the material and to impart sufficient mechanical strength as an electrode for corona discharge. Therefore, it is possible to use Pt, Au, Ti, etc., which have high conductivity, oxidation resistance, wear resistance and stain resistance, in the discharge part. Furthermore, although Pt, Au, Ti, and alloys thereof are expensive, only the core material, that is, the discharge portion, is made of these materials, and the other portions have good corrosion resistance, and are relatively inexpensive materials. Therefore, it is possible to use an inexpensive material having excellent characteristics as an electrode for corona discharge. The material for forming the coating layer may be of any type as long as it has high corrosion resistance. The thickness of the coating layer is set to about 5 to 100 μm.
【００３０】さらに上記芯材表面に中間層としての金め
っき層を形成し、この金から成る中間層を介して被覆層
を芯材表面に一体に形成することにより、被覆層の芯材
に対する密着度をさらに高めることができ、被覆層の剥
離による発塵をより効果的に防止できる。特にインコネ
ル材料に対する金の密着強度は、従来材であるＷ材料に
対する密着強度と比較して高いため、被覆層を芯材に対
してより強固に接合でき、剥離をより効果的に防止する
ことができる。さらに中間層（金めっき層）により芯材
の耐食性がさらに改善され、腐食による電極の損傷をよ
り効果的に防止できる。上記金から成る中間層は、例え
ば電解めっき法等を使用して０．２〜２μｍ程度の厚さ
に形成される。Further, a gold plating layer as an intermediate layer is formed on the surface of the core material, and the coating layer is integrally formed on the surface of the core material through the intermediate layer made of gold, whereby the coating layer adheres to the core material. The degree can be further increased, and dust generation due to peeling of the coating layer can be prevented more effectively. In particular, the adhesion strength of gold to the Inconel material is higher than that of the conventional W material, so that the coating layer can be more firmly bonded to the core material, and peeling can be prevented more effectively. it can. Furthermore, the corrosion resistance of the core material is further improved by the intermediate layer (gold plating layer), and the damage of the electrodes due to corrosion can be prevented more effectively. The intermediate layer made of gold is formed to a thickness of about 0.2 to 2 μm by using, for example, an electrolytic plating method.
【００３１】上記各種材料から構成されるコロナ放電用
電極は、例えば下記のような製造方法により製造され
る。The corona discharge electrode composed of the above-mentioned various materials is manufactured by the following manufacturing method, for example.
【００３２】まず上記各種金属材のみから成るコロナ放
電用電極の場合は、金属材に伸線加工を施し所定の線径
の線材とし、得られた線材を所定寸法に切断し、さらに
先端部を針状にテーパ加工することにより製造される。First, in the case of the corona discharge electrode composed of only the above-mentioned various metal materials, the metal material is subjected to wire drawing to obtain a wire material having a predetermined wire diameter, the obtained wire material is cut into a predetermined dimension, and the tip portion is further cut. It is manufactured by tapering into a needle shape.
【００３３】また、Ｗ，Ｍｏ，金属炭化物，金属硅化
物，金属窒化物および金属硼化物の少なくとも１種と貴
金属とから成る複合材料から成るコロナ放電用電極の場
合は、その複合材料の形態としては、Ｗ，Ｍｏ，金属炭
化物，金属硅化物，金属窒化物および金属硼化物の少な
くとも１種と貴金属とから成る複合材料となっていれ
ば、その製造方法は何ら限定されるものではないが、例
えば、Ｗ，Ｍｏ，金属炭化物，金属硅化物，金属窒化物
および金属硼化物の少なくとも１種から成る基地中に貴
金属を分散した複合材、より具体的にはＷ，Ｍｏ，金属
炭化物，金属硅化物，金属窒化物および金属硼化物の少
なくとも１種から成る材料粉末を成形，焼結してそれら
の材料から成る多孔質体で形成した線材を製造し、その
多孔質体から成る線材に貴金属を含浸させ、得られた複
合材料よりなる線材を所定寸法に切断し、さらに先端部
を針状にテーパ加工することにより製造される。In the case of a corona discharge electrode made of a composite material containing at least one of W, Mo, metal carbides, metal silicides, metal nitrides and metal borides and a noble metal, the form of the composite material is Is not limited as long as it is a composite material composed of at least one of W, Mo, metal carbide, metal silicide, metal nitride and metal boride and a noble metal, For example, a composite material in which a noble metal is dispersed in a matrix composed of at least one of W, Mo, a metal carbide, a metal silicide, a metal nitride and a metal boride, and more specifically, W, Mo, a metal carbide, a metal silicide. Of a material, a metal nitride and a metal boride are molded and sintered to produce a wire made of a porous body made of these materials, and the wire made of the porous body is manufactured. Precious metal is impregnated, a wire made of a composite material obtained was cut into a predetermined size, is prepared by further tapered tip portion to the needle.
【００３４】また各種材料で形成した芯材と被覆層とか
ら成る２層構造のコロナ放電用電極は、芯材と被覆層を
構成する材料とを、クラッド法，溶接法，かしめ法等に
よって一体に接合して形成される。すなわちクラッド法
は、芯材となる材料上に、必要に応じて電気めっき等の
めっき法により所定厚さの金めっき層を形成し、さらに
スリーブ状の被覆材を被着して圧着し、その後圧着体を
伸線加工を施して所定外径まで縮径し、得られた２層構
造の伸線を所定長さに切断し、最終的に切断片の先端部
を針状にテーパ加工してピン状のコロナ放電用電極を製
造する方法である。In the corona discharge electrode having a two-layer structure composed of a core material and a coating layer made of various materials, the core material and the material constituting the coating layer are integrated by a clad method, a welding method, a caulking method or the like. It is formed by joining to. That is, the clad method is to form a gold-plated layer of a predetermined thickness on the material to be the core material by a plating method such as electroplating, if necessary, and further apply a sleeve-like coating material and press-bond it. The crimped body is subjected to wire drawing to reduce its diameter to a predetermined outer diameter, the obtained wire having a two-layer structure is cut into a predetermined length, and finally the tip of the cut piece is tapered into a needle shape. This is a method for producing a pin-shaped corona discharge electrode.
【００３５】また溶接法は、必要に応じ金めっき層を形
成した線状の芯材にスリーブ状の被覆材を被着し、抵抗
溶接法により、両部材を一体に接合して電極を形成する
方法である。さらにかしめ法は、必要に応じて金めっき
層を形成した線状の芯材にスリーブ状のステンレス鋼を
被着し、外側から転打または押圧して両材料を一体に接
合して電極を形成する方法である。In the welding method, a sleeve-shaped coating material is applied to a linear core material on which a gold plating layer is formed if necessary, and both members are integrally joined by resistance welding to form an electrode. Is the way. In addition, the caulking method is to form an electrode by applying sleeve-like stainless steel to a linear core material with a gold-plated layer formed if necessary and rolling or pressing from the outside to integrally join both materials. Is the way to do it.
【００３６】なお上記クラッド法，溶接法およびかしめ
法によって製造した２層構造の伸線の層間における密着
度、さらには金めっき層の密着度を高めるために、得ら
れた伸線を温度３００〜６００℃で１〜２時間熱処理す
るとよい。In order to improve the adhesion between the layers of the two-layer wire drawn by the clad method, the welding method and the crimping method, and further the adhesion of the gold plating layer, the wire drawn is heated at a temperature of 300 to 300 ° C. It is advisable to perform heat treatment at 600 ° C. for 1 to 2 hours.
【００３７】そして、本発明においては、静電気除去装
置に使用される正極および負極として上記コロナ放電用
電極を少なくとも一対配置することにより、優れた特性
を有する静電気除去装置を得ることが可能となる。In the present invention, by disposing at least one pair of the above corona discharge electrodes as the positive electrode and the negative electrode used in the static eliminator, it is possible to obtain the static eliminator having excellent characteristics.
【００３８】本発明のコロナ放電用電極は、上記静電気
除去装置の正極および負極のいずれに使用した場合にお
いても優れた特性を得ることができるが、特に本発明の
コロナ放電用電極を正極に用いることにより、従来のコ
ロナ放電用電極を使用した静電気除去装置に比較し優れ
た特性を得ることができる。The corona discharge electrode of the present invention can obtain excellent characteristics when it is used as either the positive electrode or the negative electrode of the above static eliminator, but in particular, the corona discharge electrode of the present invention is used as the positive electrode. As a result, superior characteristics can be obtained as compared with the conventional static eliminator using the corona discharge electrode.
【００３９】すなわち、従来のコロナ放電用電極におい
ては、負極に比較し正極の特性の低下が著しく、この正
極の寿命がコロナ放電用電極、ひいては静電気除去装置
として必要なメンテナンスの時間を支配していた。この
ため、本発明のコロナ放電用電極を、少なくとも静電気
除去装置の正極に配置することにより優れた特性を得る
ことができるのである。ここで、正極および負極の双方
に本発明にコロナ放電用電極を用いることにより、さら
に優れた特性を得ることができることは容易に理解でき
る。That is, in the conventional corona discharge electrode, the deterioration of the characteristics of the positive electrode is remarkable as compared with the negative electrode, and the life of this positive electrode governs the maintenance time required for the corona discharge electrode and by extension, the static eliminator. It was Therefore, excellent characteristics can be obtained by disposing the corona discharge electrode of the present invention at least on the positive electrode of the static eliminator. Here, it can be easily understood that even more excellent characteristics can be obtained by using the corona discharge electrode in the present invention for both the positive electrode and the negative electrode.
【００４０】[0040]
【作用】上記構成に係るコロナ放電用電極によれば、化
学的安定性に優れ、かつ放電生成物が付着しにくい耐熱
耐食金属材料で形成されているため、コロナ放電を起こ
すための過酷な使用条件下においても優れた耐食性を示
すとともに長期に亘って安定した放電特性を得ることが
できる。また耐食性が優れ異常放電が少ないため、発塵
のおそれが少なく、製品を汚染することが少ない長寿命
のコロナ放電用電極が得られる。According to the corona discharge electrode having the above structure, the corona discharge electrode is made of a heat-resistant and corrosion-resistant metal material which is excellent in chemical stability and in which discharge products do not easily adhere, so that it can be used severely for corona discharge. Excellent corrosion resistance is exhibited even under the conditions, and stable discharge characteristics can be obtained for a long period of time. In addition, since the corrosion resistance is excellent and the abnormal discharge is small, there is little fear of dust generation, and a long-life corona discharge electrode with less contamination of the product can be obtained.
【００４１】また上記耐熱金属材料に金めっき層やステ
ンレス鋼から成る被覆層を一体に形成したコロナ放電用
電極によれば、電極の耐食性をさらに改善でき、より長
寿命で発塵の少ない電極が得られる。Further, according to the corona discharge electrode in which a gold plating layer or a coating layer made of stainless steel is integrally formed on the above-mentioned heat-resistant metal material, the corrosion resistance of the electrode can be further improved, and an electrode having a longer life and less dust can be obtained. can get.
【００４２】本発明のコロナ放電用電極を用いた静電気
除去装置の正極および負極のコロナ放電電極の形状とし
ては、いずれにもピン状のコロナ放電電極を用いても良
いが、一方を板状などの異なる形状のコロナ放電電極と
し、本発明とは異なる材料を使用しても良い。さらに、
電源に関しても、直流，交流いずれの使用も可能であ
り、使用条件に応じて適宜選択することができる。The shape of the positive and negative corona discharge electrodes of the static eliminator using the corona discharge electrode of the present invention may be pin-shaped corona discharge electrodes, but one of them may be plate-shaped. The corona discharge electrodes having different shapes may be used, and materials different from those of the present invention may be used. further,
As for the power source, either direct current or alternating current can be used and can be appropriately selected according to the operating conditions.
【００４３】[0043]
【実施例】次に本発明の実施例について添付図面を参照
してより具体的に説明する。Embodiments of the present invention will now be described more specifically with reference to the accompanying drawings.
【００４４】実施例１〜３４ 表１に示すような各種耐熱耐食金属素材（基材）に加熱
伸線加工を施して直径１．５mmの線材とし、得られた線
材を長さ１５mmで切断した後に、各切断片の先端部をテ
ーパ加工して図１に示すようなピン状の実施例１〜３４
に係るコロナ放電用電極Ｅ１〜Ｅ３４を多数製造した。Examples 1 to 34 Various heat-resistant and corrosion-resistant metal materials (base materials) as shown in Table 1 were heated and drawn to obtain wire rods having a diameter of 1.5 mm, and the obtained wire rods were cut to a length of 15 mm. Later, the tip of each cut piece is tapered to form pin-shaped embodiments 1 to 34 as shown in FIG.
A large number of corona discharge electrodes E1 to E34 according to the present invention were manufactured.
【００４５】実施例３５〜７４ 表２に示すような各種耐熱耐食金属素材から成る芯材に
ＳＵＳ３０４から成るスリーブ状ステンレス鋼管を被着
し、前記クラッド法，溶接法またはかしめ法によって上
記芯材とステンレス鋼管とを一体に接合することによ
り、外径１．５mmの各種複合線材を調製した。なお実施
例６３〜６６における耐熱耐食金属素材（芯材）として
は、Ｎｉ−１５Ｃｒ−７Ｆｅ−２．５Ｔｉ−０．７５Ａ
ｌ−０．９０Ｎｂ−０．７０Ｍｎ−０．３０Ｓｉ−０．
０２Ｃなる組成を有するインコネルＸ−７５０相当材を
使用した。また実施例６７〜７０における耐熱耐食金属
素材（芯材）としては、Ｆｅ−５３．２Ｎｉ−１８．７
Ｃｒ−５．２Ｎｂ−３．０Ｍｏ−０．５５Ａｌ−１．０
Ｔｉ−０．０５Ｃ−０．１５Ｓｉ−０．１Ｍｎなる組成
を有するインコネル７１８相当材を使用した。さらに実
施例７１〜７４における金属素材（芯材）としては、Ｎ
ｉ−２１．５Ｃｒ−３．５Ｆｅ−８．５Ｍｏ−３．５Ｎ
ｂ−０．０３Ｃ−０．２Ｍｎ−０．３Ｓｉなる組成を有
するインコネル６２５相当材を使用した。次に各複合線
材を１５mm長に切断し、その切断片の一端をテーパ加工
することにより、図２および図３に示すような実施例３
５〜７４に係るコロナ放電用電極Ｅ３５〜Ｅ７４をそれ
ぞれ調製した。 Examples 35 to 74 A sleeve-shaped stainless steel pipe made of SUS304 is adhered to a core material made of various heat-resistant and corrosion-resistant metal materials as shown in Table 2, and the core material is formed by the clad method, the welding method or the caulking method. Various composite wire rods having an outer diameter of 1.5 mm were prepared by integrally joining with a stainless steel pipe. The heat and corrosion resistant metal material (core material) in Examples 63 to 66 was Ni-15Cr-7Fe-2.5Ti-0.75A.
l-0.90Nb-0.70Mn-0.30Si-0.
Inconel X-750 equivalent material having a composition of 02C was used. Further, as the heat and corrosion resistant metal material (core material) in Examples 67 to 70, Fe-53.2Ni-18.7 was used.
Cr-5.2Nb-3.0Mo-0.55Al-1.0
Inconel 718 equivalent material having a composition of Ti-0.05C-0.15Si-0.1Mn was used. Further, as the metal material (core material) in Examples 71 to 74, N
i-21.5Cr-3.5Fe-8.5Mo-3.5N
A material equivalent to Inconel 625 having a composition of b-0.03C-0.2Mn-0.3Si was used. Next, each composite wire rod was cut into a length of 15 mm, and one end of the cut piece was tapered to obtain Example 3 as shown in FIGS. 2 and 3.
Corona discharge electrodes E35 to E74 according to Nos. 5 to 74 were prepared, respectively.
【００４６】なお上記電極Ｅ３５〜Ｅ７４のうち、実施
例３７，４１，４５，４９，５３，５７，６１，６５，
６９，７３に係る電極Ｅ３７，Ｅ４１，Ｅ４５，Ｅ４
９，Ｅ５３，Ｅ５７，Ｅ６１，Ｅ６５，Ｅ６９，Ｅ７３
については、図３に示すように耐熱耐食金属素材から成
る芯材６ｂ表面に厚さ０．５μｍの金めっき層７を中間
層として形成しており、この金めっき層７を介して、ス
テンレス鋼から成る厚さ４０μｍの被覆層８ｂを芯材６
ｂ表面に一体に形成した３層構造を有する。Among the above electrodes E35 to E74, Examples 37, 41, 45, 49, 53, 57, 61, 65,
Electrodes E37, E41, E45, E4 relating to 69, 73
9, E53, E57, E61, E65, E69, E73
3, a gold-plated layer 7 having a thickness of 0.5 μm is formed as an intermediate layer on the surface of the core material 6b made of a heat-resistant and corrosion-resistant metal material as shown in FIG. A coating layer 8b having a thickness of 40 μm
b has a three-layer structure integrally formed on the surface.
【００４７】一方、図２に示すコロナ放電用電極Ｅ３
５，…Ｅ７４は、芯材６ａ表面にステンレス鋼から成る
厚さ４０μｍの被覆層８ａを一体に形成した２層構造を
有する。On the other hand, the corona discharge electrode E3 shown in FIG.
5, ... E74 have a two-layer structure in which a coating layer 8a made of stainless steel and having a thickness of 40 μm is integrally formed on the surface of the core material 6a.
【００４８】比較例１〜３ 耐熱耐食金属素材として、それぞれＳＵＳ３０４（比較
例１），Ｗ（比較例２），Ｔｉ（比較例３）を使用した
以外は実施例１と同様に加熱伸線加工を施し、得られた
線材を切断し、その先端をテーパ加工して実施例１と同
一寸法を有する比較例１〜３に係るコロナ放電用電極を
それぞれ調製した。 Comparative Examples 1 to 3 In the same manner as in Example 1 except that SUS304 (Comparative Example 1), W (Comparative Example 2), and Ti (Comparative Example 3) were used as the heat-resistant and corrosion-resistant metal materials, respectively. The obtained wire rod was cut, and the tip thereof was tapered to prepare the corona discharge electrodes according to Comparative Examples 1 to 3 having the same dimensions as those of Example 1.
【００４９】こうして得られた実施例１〜７４および比
較例１〜３に係る各コロナ放電用電極の寿命特性，発塵
性等を評価するために、製造した各電極を静電気除去装
置の正極（＋）放電側および負極（−）放電側の電極と
して組み込み、下記の条件で強制試験を行なった。この
強制試験において、正極および負極の各々の電極の特性
を評価するために、一方の電極の強制試験の場合には他
方の電極は板状の電極として試験時における特性変化が
生じないようにした。すなわち上記静電気除去装置を温
度０℃の大気中に配置し、両電極間に７ＫＶの高電圧を
印加し、電極間を流れるコロナ電流が１５μＡから５μ
Ａにまで低下するまでの静電気除去装置の延運転時間を
測定した。測定結果を下記表１および表２に示す。In order to evaluate the life characteristics, dust generation, etc. of the corona discharge electrodes according to Examples 1 to 74 and Comparative Examples 1 to 3 thus obtained, each manufactured electrode was used as a positive electrode ( It was incorporated as an electrode on the +) discharge side and an electrode on the negative electrode (−) discharge side, and a forced test was conducted under the following conditions. In this forced test, in order to evaluate the characteristics of each of the positive electrode and the negative electrode, in the case of the forced test of one electrode, the other electrode was a plate-shaped electrode so that the characteristic change during the test did not occur. . That is, the static eliminator was placed in the atmosphere at a temperature of 0 ° C., a high voltage of 7 KV was applied between both electrodes, and the corona current flowing between the electrodes was 15 μA to 5 μA.
The total operation time of the static eliminator until the static electricity was reduced to A was measured. The measurement results are shown in Tables 1 and 2 below.
【００５０】[0050]
【表１】 [Table 1]
【００５１】[0051]
【表２】 [Table 2]
【００５２】表１および表２に示す結果から明らかなよ
うに、実施例１〜７４に係るコロナ放電用電極は、従来
の電極である比較例１〜３と比較して同等以上の寿命特
性を発揮することが判明した。特に芯材としてＰｔ，Ａ
ｕ，Ａｕ−Ｐｔ合金，Ｐｔ−Ｒｈ合金を使用し、その芯
材表面にステンレス鋼から成る被覆層を一体に形成した
実施例３５〜５０に係る電極においては、従来のタング
ステン製電極（比較例２）と比較して３〜２５倍と極め
て長い寿命を有し、また従来のチタン製電極（比較例
３）と比較して３〜７．３倍と寿命が大幅に改善される
ことが判明した。As is clear from the results shown in Tables 1 and 2, the corona discharge electrodes according to Examples 1 to 74 have equivalent or longer life characteristics as compared with the conventional electrodes of Comparative Examples 1 to 3. It turned out to work. Especially as core material, Pt, A
In the electrodes according to Examples 35 to 50 in which a coating layer made of stainless steel was integrally formed on the surface of the core material using u, Au-Pt alloy, Pt-Rh alloy, the conventional tungsten electrode (comparative example) was used. It was found that it has an extremely long life, which is 3 to 25 times longer than that of 2), and is significantly improved to 3 to 7.3 times that of the conventional titanium electrode (Comparative Example 3). did.
【００５３】さらに、従来の電極においても負極放電側
に比較して正極放電側の特性低下が大きいため、正極放
電側に本発明のコロナ放電用電極を用いるとともに、負
極放電側は従来のコロナ放電用電極を使用した場合にお
いても、装置全体としては従来と比較して優れた特性を
有する静電気除去装置を得ることができた。Further, even in the case of the conventional electrode, the characteristic deterioration on the positive electrode discharge side is larger than that on the negative electrode discharge side. Therefore, the electrode for corona discharge of the present invention is used on the positive electrode discharge side, and the negative electrode discharge side is formed on the conventional corona discharge side. Even when the electrodes for use were used, a static eliminator having excellent characteristics as a whole as compared with the conventional one could be obtained.
【００５４】[0054]
【発明の効果】以上説明の通り本発明に係るコロナ放電
用電極によれば、化学的安定性に優れ、かつ放電生成物
が付着しにくい耐熱金属材料で形成されているため、コ
ロナ放電を起こすための過酷な使用条件下においても優
れた耐食性を示すとともに長期に亘って安定した放電特
性を得ることができる。また耐食性が優れ異常放電が少
ないため、発塵のおそれが少なく、製品を汚染すること
が少ない長寿命のコロナ放電用電極および静電気除去装
置が得られる。As described above, according to the corona discharge electrode of the present invention, since it is made of a heat-resistant metal material which is excellent in chemical stability and discharge products hardly adhere to it, corona discharge is caused. Therefore, it is possible to obtain excellent corrosion resistance even under severe use conditions and to obtain stable discharge characteristics for a long period of time. Further, since the corrosion resistance is excellent and the abnormal discharge is small, the possibility of dust generation is small, and the long-life corona discharge electrode and static electricity removing device which hardly pollute the product can be obtained.
【００５５】また上記耐熱金属材料に金めっき層や被覆
層を一体に形成したコロナ放電用電極によれば、電極の
耐食性をさらに改善でき、より長寿命で発塵の少ない電
極および静電気除去装置が得られる。Further, according to the corona discharge electrode in which the above-mentioned heat-resistant metal material is integrally formed with the gold plating layer or the coating layer, the corrosion resistance of the electrode can be further improved, and the electrode and the static eliminator having a longer life and less dust can be provided. can get.
【図１】本発明に係るコロナ放電用電極の一実施例を示
す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a corona discharge electrode according to the present invention.
【図２】本発明に係るコロナ放電用電極の他の実施例を
示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing another embodiment of the corona discharge electrode according to the present invention.
【図３】本発明に係るコロナ放電用電極のその他の実施
例を示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing another embodiment of the corona discharge electrode according to the present invention.
【図４】静電気除去装置の構成を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a static eliminator.
１ 静電気除去装置 ２ 除電対象物 ３ アルミニウムフィルター ４ 装置本体 ５ａ，５ｂ コロナ放電用電極 ６ａ，６ｂ 芯材 ７ 金めっき層（中間層） ８ａ，８ｂ 被覆層 Ｅ１〜Ｅ７４ コロナ放電用電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Static eliminator 2 Object for static elimination 3 Aluminum filter 4 Main body 5a, 5b Corona discharge electrodes 6a, 6b Core material 7 Gold plating layer (intermediate layer) 8a, 8b Coating layer E1 to E74 Corona discharge electrodes
Claims (8)
モリブデン，金属炭化物，金属硅化物，金属窒化物およ
び金属硼化物の少なくとも１種と貴金属とから成る複合
材料，チタン基合金，タングステン基合金，およびニッ
ケル−クロム系耐熱耐食合金の少なくとも１種から成る
ことを特徴とするコロナ放電用電極。1. A platinum-based alloy, a gold-based alloy, tungsten,
Consist of at least one of molybdenum, metal carbide, metal silicide, metal nitride and metal boride and a noble metal composite material, titanium base alloy, tungsten base alloy, and nickel-chromium heat and corrosion resistant alloy An electrode for corona discharge, which is characterized in that
金，金−ニッケル系合金，金−銅系合金，金−銀系合
金，タングステンおよび／または炭化タングステンに金
を含浸した複合材料，チタン−アルミニウム−バナジウ
ム系合金，インコネルＸ−７５０合金，インコネル７１
８合金，インコネル６２５合金の少なくとも１種から成
ることを特徴とするコロナ放電用電極。2. A platinum-gold alloy, a platinum-rhodium alloy, a gold-nickel alloy, a gold-copper alloy, a gold-silver alloy, a composite material of tungsten and / or tungsten carbide impregnated with gold, and titanium. -Aluminum-Vanadium alloy, Inconel X-750 alloy, Inconel 71
An electrode for corona discharge comprising at least one of 8 alloy and Inconel 625 alloy.
から成る被覆層を一体に形成したことを特徴とするコロ
ナ放電用電極。3. An electrode for corona discharge, characterized in that a coating layer made of a heat resistant and corrosion resistant material is integrally formed on the surface of a conductive core material.
金，金基合金，タングステン，モリブデン，金属炭化
物，金属硅化物，金属窒化物および金属硼化物の少なく
とも１種と貴金属とから成る複合材料，チタン基合金，
タングステン基合金，およびニッケル−クロム系耐熱耐
食合金の少なくとも１種から成ることを特徴とする請求
項３記載のコロナ放電用電極。4. The core material comprises at least one of platinum, gold, titanium, platinum-based platinum, gold-based alloy, tungsten, molybdenum, metal carbide, metal suicide, metal nitride and metal boride, and a noble metal. Composite material, titanium base alloy,
The electrode for corona discharge according to claim 3, which is composed of at least one of a tungsten-based alloy and a nickel-chromium heat-resistant and corrosion-resistant alloy.
ニッケル−クロム系耐熱耐食材料であることを特徴とす
る請求項３記載のコロナ放電用電極。5. The corona discharge electrode according to claim 3, wherein the heat and corrosion resistant material is stainless steel or a nickel-chromium heat resistant and corrosion resistant material.
この金より成る中間層を介して耐熱耐食材料からなる被
覆層を一体に形成したことを特徴とする請求項３記載の
コロナ放電用電極。6. An intermediate layer made of gold is formed on the surface of the core material,
The corona discharge electrode according to claim 3, wherein a coating layer made of a heat-resistant and corrosion-resistant material is integrally formed through the intermediate layer made of gold.
電用電極を正極および負極として少なくとも一対配置し
てなることを特徴とする静電気除去装置。7. A static electricity eliminator comprising at least a pair of the corona discharge electrodes according to claim 1 as a positive electrode and a negative electrode.
電用電極を正極に配置してなることを特徴とする請求項
７記載の静電気除去装置。8. The static electricity eliminator according to claim 7, wherein the corona discharge electrode according to any one of claims 1 to 6 is arranged on a positive electrode.
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