JPH07281006A - Method and equipment for coating lens - Google Patents

Method and equipment for coating lens

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JPH07281006A
JPH07281006A JP6308011A JP30801194A JPH07281006A JP H07281006 A JPH07281006 A JP H07281006A JP 6308011 A JP6308011 A JP 6308011A JP 30801194 A JP30801194 A JP 30801194A JP H07281006 A JPH07281006 A JP H07281006A
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lens
coating
coated
lenses
gate
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Application number
JP6308011A
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Japanese (ja)
Inventor
Siegfried Dr Beiswenger
バイスヴェンガー ジークフリート
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Leybold AG
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Publication date
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    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/14—Protective coatings, e.g. hard coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
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    • G—PHYSICS
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    • G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements

Abstract

PURPOSE: To provide a method for coating lens which can make cyclic operations possible and can be integrated with a complicated manufacturing process, having a pre-processing process a post-processing process and by which lenses to be coated can be supplied to the succeeding manufacturing method or just-in-time manufacturing process. CONSTITUTION: In an in-line method and device for coating a optical lens S, especially composed of a plastic with a transparent protective layer P and a single or multiple transparent optical layers (O), at least two vacuum processes are provided. In the first process, a prescribed number of lenses is simultaneously coated with transparent protective layers P, having thicknesses of 0.5-10μm by using the PCVD method in a coating zone. A partial number of new lenses is continuously supplied to the coating zone in the first process and the partial number of lenses is taken out after coating. In the second process, the partial number of taken out of lenses is coated with a single or multiple transparent reflections, reducing the optical layers O having a thickness thinner than that of the protective layer P.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、殊にプラスチックから
なる光学レンズを、透明な保護層および透明な光学的単
一層または多重層で、少なくとも２工程で真空中でコー
ティングする方法に関する。The present invention relates to a method for coating optical lenses, in particular plastics, with a transparent protective layer and a transparent optical monolayer or multiple layers in a vacuum in at least two steps.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ドイツ国特許出願公開第４１２８５４７
号明細書により、ＳｉＯ2からなる保護層および次の交
互に高屈折率および低屈折率の保護材料からなる光学層
を、バッチ式に、つまり順次に、唯１つの真空室中で基
板上に設けることは公知である。この場合、保護層は比
較的厚く、基体を機械的および化学的影響に対して保護
すべきである。無機物質からなる基体に比して軟かいプ
ラスチックからなる基体においては、保護層は、局所的
力の作用下にプラスチック基体中への光学層の“押込
み”を阻止するという付加的課題を有し、これはめがね
のレンズの場合には極めて重要な性質である。それとい
うのもめがねレンズは頻繁な浄化工程によりとくに強い
負荷を受けるからである。公知の方法においては、保護
層は、アルゴンの供給されるプラズマ源を同時に作動さ
せて、ＳｉＯ2の電子線蒸発によって設けられる。光学
層の製造も、電子線蒸発器を用いて行なわれ、その際真
空室には付加的に酸素および／または窒素のような反応
性ガスを供給することができる。2. Description of the Related Art German Patent Application Publication No. 4128547
According to the specification, a protective layer of SiO 2 and then an optical layer of alternating high- and low-refractive-index protective materials are applied batchwise, ie sequentially, on a substrate in only one vacuum chamber. Providing is known. In this case, the protective layer should be relatively thick and protect the substrate against mechanical and chemical influences. In substrates made of softer plastics than in substrates made of inorganic substances, the protective layer has the additional problem of preventing the "pushing" of the optical layer into the plastic substrate under the action of local forces. , This is a very important property in the case of eyeglass lenses. This is because spectacle lenses are subject to a particularly heavy load due to frequent purification processes. In the known method, the protective layer is provided by electron beam evaporation of SiO 2 by simultaneously operating a plasma source supplied with argon. The production of the optical layer is also carried out by means of an electron beam evaporator, whereby the vacuum chamber can additionally be supplied with reactive gases such as oxygen and / or nitrogen.

【０００３】しかし、公知装置および該装置中で実施さ
れる方法は、連続的または半連続的に実施される製造方
法には統合できない、それというのも常に比較的大量
の、最終的にコーティングされた基体が同時に完成され
るからである。この場合、全基体は同時に球欠形の基体
ホルダにより保持され、該ホルダは個々の基体上だけで
なく、すべての基体の全体上での均一な層分布の必要性
のため、電子線蒸発器ならびにプラズマ源から、かなり
の距離を有していなければならない。前接および後接さ
れた製造プロセスと一致して１個または２個の基板を解
放するサイクル的運転には、公知方法も装置も適当でな
い。However, the known devices and the processes carried out in them cannot be integrated into manufacturing processes which are carried out continuously or semicontinuously, since there is always a relatively large amount of the final coating. This is because the two substrates are completed at the same time. In this case, the whole substrate is simultaneously held by the spherically shaped substrate holder, which holder is required not only on the individual substrates but also on the whole of all the substrates, because of the need for a uniform layer distribution. Also, it must have a considerable distance from the plasma source. Neither known methods nor devices are suitable for the cyclical operation of releasing one or two substrates in line with the pre- and post-joined manufacturing processes.

【０００４】ドイツ国特許出願公開第２９００７２４号
明細書により、基体（その性質および／または形状寸法
について何も述べられていない）に交互にゴム重量体か
らなる層および金属を設ける方法は公知である。差当り
光学レンズにおいて、殊に金属層が相応する厚さを有す
るときには金属コーティング膜が析出する。層厚比につ
いては何も述べられておらず、個々のコーティングステ
ーションにおけるコーティング速度についても何も述べ
られていない。基体を装置から取出す前に数回循環させ
ることによって厚い層を形成することも自明である。従
って、ゴム重合体からなる層および金属からなる層が交
互に基体上に生じるが、該基体は明白にレンズ、殊にめ
がねレンズではない。From DE-A 29 0072 24 A1 a method is known in which a substrate (nothing mentioned about its nature and / or geometry) is provided with alternating layers of rubber weights and metal. . In optical lenses per difference, a metal coating film is deposited, especially when the metal layer has a corresponding thickness. No mention is made of layer thickness ratios and no mention of coating speeds at individual coating stations. It is also obvious to form a thick layer by cycling the substrate several times before removing it from the device. Thus, layers of rubber polymer and layers of metal are alternately produced on the substrate, which is clearly not a lens, especially a spectacle lens.

【０００５】ドイツ国特許出願公開第３６２３９７０号
明細書により、二次元の基体ホルダを直立位置でローラ
系により、両面コーティングも行なうことのできるコー
ティング装置を通過させることは公知である。光学レン
ズは述べられておらず、上記明細書は層厚比に関する記
載も、場合により、著しく相互に異なる層厚を有する層
を順次に同じ連続運転で設けることが重要である場合
に、異なる運搬速度またはサイクル周期に関する記載も
有しない。It is known from DE-A 36 23 970 to pass a two-dimensional substrate holder in an upright position by means of a roller system through a coating device which is also capable of double-sided coating. No optical lenses are mentioned, the above description also mentions layer thickness ratios, and in some cases different transports when it is important to provide layers with significantly different layer thicknesses sequentially in the same continuous operation. There is no mention of speed or cycle period.

【０００６】ドイツ国特許出願公開第４２０３６３１号
明細書は、既にあらかじめホイル上に存在しているかま
たは前室の形式で処理ステーションの前方でホイル上に
設けられる酸化物層を処理するための方法および装置を
開示する。これは２以上の連続する層の製造に関するも
のでもなく、たんに層の後処理、たとえば層を透明にす
ることに関する。それにより、層厚分配制御の問題は提
示されない。DE-A-4203 631 discloses a method for treating an oxide layer which is already pre-existing on a foil or which is provided in the form of a prechamber in front of a treatment station on a foil. A device is disclosed. This does not relate to the production of two or more successive layers, but merely to the aftertreatment of the layers, for example to make them transparent. Thereby, the problem of layer thickness distribution control is not presented.

【０００７】基体を均一にパッチ式にコーティングす
る、いわゆるＰＣＶＤ法（Ｐｌａｓｍａ−ｃｈｅｍｉｃ
ａｌ−Ｖａｐｏｕｒ−Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）によって
記載した種類の保護層を製造することも公知である。さ
らに、基体をこのような方法において回転可能なドラム
の外面に配置し、基体をドラムの回転によって１つまた
は幾つかのコーティングゾーンを通過させることも公知
である。この場合でも、全基体を同時に完成する、つま
りサイクル式運転および前接および後接された処理を有
する、十分自動的な製造工程に統合することは不可能で
ある。A so-called PCVD method (Plasma-chemical) for uniformly coating a substrate in a patch system.
It is also known to produce protective layers of the type described by al-Vapour-Deposition). It is also known to arrange the substrate in such a manner on the outer surface of a rotatable drum and to rotate the substrate through one or several coating zones. Even in this case, it is not possible to complete the entire substrate at the same time, i.e. to integrate it into a fully automatic manufacturing process with cyclic operation and pre- and post-treatment.

【０００８】“厚い”保護層製造における問題を明示す
るために、下記の記載を指示する：いわゆる熱的蒸発
（電子線衝撃、アーク、または電流を蒸発ボートに導通
することによるジュール熱による蒸発材料の加熱）の場
合には加熱されない基体上に比較的ルーズな組織の層が
生成する。代表的なのは、層厚の増加と共に常に顕著に
なる“茎状構造（Ｓｔｅｎｇｅｌｓｔｒｕｋｔｕｒ）”
である。この効果には、基体の温度を高めることによっ
て対抗することができるが、これによって多数の基体材
料に対するかかる方法の適用可能性が排除される。さら
に、このような方法においては、コーティング源と基体
との間に上記に既述した大きい距離が必要である。いず
れにせよ、コーティング速度は比較的小さく；材料によ
り０．１〜５ｎｍ／ｓである。In order to demonstrate the problems in the production of "thick" protective layers, the following is indicated: so-called thermal evaporation (evaporation material by Joule heat by passing electron beam bombardment, arc or current through the evaporation boat). Heating) results in the formation of a relatively loose layer of texture on the unheated substrate. A typical example is the "stem-like structure", which is always prominent as the layer thickness increases.
Is. This effect can be counteracted by increasing the temperature of the substrate, which precludes the applicability of such methods to many substrate materials. Moreover, such a method requires the large distances previously described between the coating source and the substrate. In any case, the coating rate is relatively low; 0.1-5 nm / s depending on the material.

【０００９】従って、プラスチックレンズのコーティン
グ、殊にプラスチックからなるめがねレンズのコーテン
グのために、湿式化学的方法で研摩ずみのレンズ表面に
硬質塗料を塗布するいわゆる塗装法が開発された。次い
で、この硬質塗料の乾燥および硬化した後、透明な反射
減少性単一層または多重層を真空中で設けることができ
る。かかる方法も、サイクル式に運転する製造方法に統
合することはできない。さらに、湿式化学的塗装技術
は、殊に塗料は加工直前にはじめて準備しなければなら
ないので、比較的費用がかかる。Therefore, for the coating of plastic lenses, in particular for the coating of spectacle lenses made of plastic, a so-called coating method has been developed in which a hard coating is applied to the polished lens surface by a wet chemical method. After drying and curing of the hard coating, a clear reflection-reducing monolayer or multilayers can then be applied in vacuum. Such a method cannot be integrated into a manufacturing method that operates in a cyclic manner. Furthermore, the wet chemical coating technique is relatively expensive, especially since the coating must only be prepared shortly before processing.

【００１０】基体の湿式化学的前塗装は実際に、“イオ
ン支援蒸発（ｉｏｎｅｎｕｎｔｅｒｓｔｕｅｔｚｔｅｓ
Ｖｅｒｄａｍｐｆｅｎ）”とも呼ばれる既に挙げたド
イツ国特許出願公開第４１２８５４７号明細書による方
法においては不要になるが、この方法も、既に述べたよ
うに、連続的または半連続的ないしはサイクル式製造方
法に統合することはできない。Wet chemical pre-coating of substrates is actually referred to as "ion assisted evaporation".
The method according to German patent application DE 41 28 547 A1, also referred to as “Verdampfen)”, is no longer necessary, but this method is also integrated into a continuous or semi-continuous or cyclic manufacturing method, as already mentioned. You cannot do it.

【００１１】ＰＣＶＤ法においては、層は陰板スパッタ
の場合または蒸発の場合のように固体コーティング材料
から形成されないで、気相から析出される。プラズマに
より、相応するガスが“活性化”される。次いで、基体
表面に化学反応が進行し、層が形成する。プラズマ発生
のための電力需要は、同じ析出速度において、スパッタ
または蒸発の場合に必要な電力の約１０％である。ＰＣ
ＶＤにより形成される誘電体層は、通常比較可能な蒸着
層またはスパッタ蒸着層よりも弾性かつち密である。本
発明は、かかるＰＣＶＤ法から出発する。In the PCVD method, the layer is deposited from the gas phase rather than being formed from a solid coating material as in the case of slab sputtering or evaporation. The plasma "activates" the corresponding gas. Then, a chemical reaction proceeds on the surface of the substrate to form a layer. The power demand for plasma generation is about 10% of the power required for sputter or evaporation at the same deposition rate. PC
Dielectric layers formed by VD are usually more elastic and dense than comparable or sputter deposited layers. The present invention starts from such a PCVD method.

【００１２】ＰＣＶＤ法においては、層形成物質として
ガス状ないしは易蒸発性液体が使用される。たとえば石
英類似層は、出発物質ＴＭＤＳまたはＨＭＤＳＯから、
または一方でシランおよび他方で酸素または笑気からな
る混合物から析出させることができ、その際しばしばか
なりの水素含分が層の強い架橋を惹起する。この場合、
低圧プラズマ励起は、直流電極によるかまたは交流によ
り誘導的に（特定の周波数の供給されるコイル）または
マイクロ波エネルギーを供給することによって行なわれ
る。これにより、極めて簡単に組立てられ、たとえば１
０~3〜１０ｍバールの間の大きい圧力範囲内で非常に確
実に働く装置が得られる。In the PCVD method, a gaseous or easily vaporizable liquid is used as a layer forming substance. For example, a quartz-like layer can be made from the starting material TMDS or HMDSO,
Alternatively, it can be deposited from a mixture of silane on the one hand and oxygen or laughing on the other hand, a considerable hydrogen content often causing strong crosslinking of the layers. in this case,
The low-pressure plasma excitation is carried out by direct current electrodes or by alternating current inductively (coil supplied at a specific frequency) or by supplying microwave energy. This makes it very easy to assemble, eg 1
A device is obtained which works very reliably in the large pressure range between 0 and 3 and 10 mbar.

【００１３】ＰＣＶＤ法により少数の球欠状基体のコー
ティングないし唯１つの基体のコーティングまで、いわ
ゆる冷光線ミラーの製造のために既にドイツ国特許第４
００８４０５号により公知であるが、この場合でも複雑
な製造方法に統合する目的でかかる装置をサイクル式に
運転する手段は記載されていない。For the production of so-called cold-light mirrors, from the coating of a small number of spherical substrates to the coating of only one substrate by means of the PCVD method, the German patent no.
It is known from the publication No. 008405, but even in this case no means is described for operating such a device in a cyclical manner for the purpose of integrating it into a complicated manufacturing process.

【００１４】[0014]

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の基礎
になっている課題は、サイクル式に運転できかつ前処理
工程および後処理工程を有する複雑な製造法に統合する
ことができる、冒頭に記載した部類の方法を記載するこ
とである。これにより殊に、後接された製造法ないしは
製造工程のジャスト・イン・タイムな供給の可能性が得
られる。SUMMARY OF THE INVENTION The problem underlying the invention is therefore the beginning, which can be integrated into a complex manufacturing process which can be operated cyclically and which has pretreatment and posttreatment steps. It is to describe the methods of the described categories. This gives in particular the possibility of a just-in-time supply of the post-manufacturing process or process.

【００１５】[0015]

【課題を解決するための手段】設定された課題の解決は
冒頭に記載した方法において本発明により、 ａ） 第１工程のコーティングゾーンに通過法により連
続的に新しいレンズの部分量を供給し、コーティング後
該部分量を取出し、 ｂ） 第２工程において第１工程から取出した部分量を
別の通過法により透明で反射減少性の光学的単一層また
は多重層を設け、 ｃ） 双方の工程における運搬速度ないしはサイクル周
期を、単位時間あたり平均して各工程により等量のコー
ティングされたレンズが製造されるように調節すること
によって行なわれる。According to the invention in the method described at the outset, the solution of the set object is achieved by: a) supplying a partial amount of new lens continuously to the coating zone of the first step by the passing method, After coating, the partial amount is taken out, b) the partial amount taken out from the first step in the second step is provided with a transparent and reflection-reducing optical single layer or multiple layers by another passage method, and c) in both steps. This is done by adjusting the transport rate or cycle period so that each step produces an equal amount of coated lens on average per unit time.

【００１６】本発明方法を用いると、レンズに非常に厚
く、掻傷がつかずかつ化学的抵抗性を有しならびに無色
透明な保護層を設け、ならびに次に反射減少性の単一層
または多重層を等しいサイクルの連続で製造することが
可能となり、従って相応する数のレンズないし単一レン
ズのコーティングがジャスト・イン・タイムで可能とな
る。Using the method according to the invention, the lens is provided with a very thick, scratch-free and chemically resistant protective layer which is colorless and transparent, and then a reflection-reducing monolayer or multilayer. Can be manufactured with equal cycles in succession, so that a corresponding number of lenses or a single lens can be coated in just-in-time.

【００１７】ＰＣＶＤコーティング技術に関して“ジャ
スト・イン・タイム”装置原理の組合せは、レンズを工
業的にコーティングすると同時に層品質および機能性を
高める場合の経済性を改善するためのポテンシャルを生
じる。The combination of "just-in-time" device principles with respect to PCVD coating technology creates the potential for improving the economics of coating lenses industrially while at the same time increasing layer quality and functionality.

【００１８】この場合、本方法の適用は、プラスチック
からなるレンズにおいてとくに有利に可能であるが、決
してこれに制限されないで、無機材料からなる透明なレ
ンズにおいても適用可能である。それというのもレンズ
の比較的僅かな熱負荷に基づき、層品質に対する異なる
熱膨脹係数の影響が減少するからである。この場合、プ
ラスチックとしては次のものが挙げられる： ＣＲ３９＝ジアリルジエチレングリコールカーボネート ＰＭＭＡ＝ポリメチルメタクリレート ＰＳ ＝ポリスチロール ＰＣ ＝ポリカーボネート しかし、本発明方法はこれらの材料の使用に制限されて
いない。たとえば、ＣＲ３９は１．５の屈折率を有す
る；しかしそうしているうちに、屈折率が１．６以上で
あるプラスチックが開発された。光学レンズ、殊に所定
のデイオプトリー数を有するめがねレンズは、屈折率が
高ければ高いほどますます軽くすることができる。In this case, the application of the method is particularly advantageous in the case of lenses made of plastic, but is by no means limited to this, but also in transparent lenses made of inorganic materials. This is because the influence of different coefficients of thermal expansion on the layer quality is reduced due to the relatively low heat load of the lens. In this case, the plastics include: CR39 = diallyldiethylene glycol carbonate PMMA = polymethylmethacrylate PS = polystyrene PC = polycarbonate However, the process according to the invention is not restricted to the use of these materials. For example, CR39 has an index of refraction of 1.5; however, in the meanwhile plastics with an index of refraction of 1.6 and above were developed. Optical lenses, especially spectacle lenses with a certain number of diopters, can be made lighter with higher refractive index.

【００１９】第２工程に対してはＰＣＶＤ法以外の方
法、たとえば熱による蒸発、陰極スパッタおよび／また
はたとえばドイツ国特許出願公開第４１２８５４７号に
よるイオン支援蒸発コーティングも挙げられる。しか
し、非常に僅小な層厚を有する単一層または多重層が形
成される第２工程もＰＣＶＤ法に従って実施することが
とくに有利であり、この場合熱による蒸発におけるよう
な蒸発制御の必要性が存在しないので、とくに小さい室
体積を維持することができる。このような層系は、たと
えば交互に高屈折性層材料および低屈折性層材料からな
る。For the second step, methods other than the PCVD method may also be mentioned, for example thermal evaporation, cathodic sputtering and / or ion-assisted evaporation coating according to DE-A-4128547, for example. However, it is particularly advantageous if the second step, in which a single layer or multiple layers with a very small layer thickness is formed, is also carried out according to the PCVD method, in which case the need for evaporation control as in thermal evaporation is required. Since it does not exist, a particularly small chamber volume can be maintained. Such a layer system consists for example of alternating high and low refractive index layer materials.

【００２０】本発明の要旨は、極めて異なる厚さの層を
設ける工程を、コーティングされたレンズのたとえば個
々にまたは一対でのサイクル式供給が可能となり、これ
により方法全体の生産性が損なわれることもないように
互いに同調させることである。部分的にコーティングさ
れたレンズの中間貯蔵を行なうことはもはや必要でな
い。かかる中間貯蔵の場合、レンズの側からの不可避な
水蒸気の吸収がとくに不利な影響を有する。The subject matter of the invention is that the step of applying layers of very different thickness allows the cyclic feeding of coated lenses, for example individually or in pairs, which impairs the productivity of the overall process. It is to synchronize with each other so that there is no such thing. It is no longer necessary to perform intermediate storage of partially coated lenses. In the case of such intermediate storage, the inevitable absorption of water vapor from the side of the lens has a particularly adverse effect.

【００２１】本発明による方法は、第１工程からのレン
ズを大気に触れることなく第２工程に供給することが可
能である。The method according to the invention makes it possible to feed the lens from the first step to the second step without exposure to the atmosphere.

【００２２】本発明方法によれば、たとえば３０〜６０
秒の間のサイクル時間で、コーティングゾーンのそれぞ
れにおいて完全な多層系をレンズに設けることができ
る。According to the method of the present invention, for example, 30 to 60
With a cycle time between seconds, the lens can be provided with a complete multilayer system in each of the coating zones.

【００２３】多くの、殊にプラスチックからなるレン
ズ、殊にプラスチックからなるめがねレンズにおいて
は、レンズの両面コーティングが重要である。両面コー
ティングは同時にまたは順次に行なうことができる。In many lenses, especially those made of plastic, in particular spectacle lenses made of plastic, a double-sided coating of the lens is important. Double-sided coating can be done simultaneously or sequentially.

【００２４】第１の場合には、とくに有利に、搬入ゲー
トと搬出ゲートの間で動く基体ホルダにより保持された
レンズを、差当り片面コーティングし、片面コーティン
グしたレンズを１８０°回転し、再び搬入ゲートへの方
向に返送し、基体ホルダに引渡し、回転した状態で第２
の面をコーティングし、その後レンズを搬出ゲートを通
って搬出するよう実施する。In the first case, it is particularly advantageous for the lens held by the substrate holder, which is moved between the loading gate and the loading gate, to be coated on one side with a difference and the one-side coated lens to be rotated 180 ° and then to be loaded again. Return it to the gate, hand it over to the substrate holder, and rotate it to the second position.
The surface is coated, and then the lens is carried out through the carry-out gate.

【００２５】第２の場合には、相応する穿孔を備えてい
る基体ホルダを、レンズの運搬路の両側に配置された励
起源と結合して使用する。In the second case, a substrate holder with corresponding perforations is used in combination with an excitation source arranged on each side of the lens transport path.

【００２６】この場合、プラズマ用の励起エネルギーを
真空中に配置された少なくとも１つの長方形の電極によ
りプラズマに結合し、その際電極の主要面および長軸は
レンズの少なくとも１つ運搬路に対して平行に延びるの
がとくに有利である。In this case, the excitation energy for the plasma is coupled to the plasma by means of at least one rectangular electrode arranged in a vacuum, the major surface of the electrode and the major axis being directed to at least one conveying path of the lens. It is particularly advantageous to run parallel.

【００２７】長方形の電極とは、丸くされたかどを有す
る縦長の電極ならびに非プレーナ表面、たとえば構造化
表面を有するかかる電極を表わし、この場合構造化はリ
ブのような突出部または突入部によって達成することが
できる。Rectangular electrodes refer to elongated electrodes with rounded corners as well as such electrodes with non-planar surfaces, eg structured surfaces, the structuring being achieved by rib-like protrusions or ridges. can do.

【００２８】ＰＣＶＤ被覆法の効率は、とくに有利に、
プラズマを電極の大きさに幾何学的に類似の閉じた、短
辺と長辺とを有する磁気トンネルによって、電極のレン
ズに面した両に集中することによって高めることができ
る。The efficiency of the PCVD coating method is particularly advantageous.
The plasma can be enhanced by concentrating on both sides of the electrode facing the lens by means of a closed, short-side and long-side magnetic tunnel that is geometrically similar to the size of the electrode.

【００２９】こうして、電極はマグネトロンカソードの
作用を有するが、ＰＣＶＤ法においてスパッタ可能のタ
ーゲットを使用することもない。むしろ、有利に材料交
換および／または方法のパラメータによって、電極材料
がＰＣＶＤ法自体の間スパッタしないように配慮され
る。Thus, the electrode acts as a magnetron cathode, but does not use a sputterable target in the PCVD method. Rather, the material exchange and / or process parameters are advantageously taken into account so that the electrode material does not sputter during the PCVD process itself.

【００３０】本発明はまた、真空室、搬入ゲート、搬出
ゲートおよび両方ゲートを互いに結合する運搬装置を、
レンズ用の少なくとも１つの運搬路ならびに励起エネル
ギーをプラズマに搬入するための、真空室内に配置され
た少なくとも１つの電極と共に有する、第１工程を実施
するための装置に関する。The invention also provides a vacuum chamber, a loading gate, a loading gate and a transport device for coupling both gates together.
An apparatus for carrying out the first step having at least one transport path for a lens and at least one electrode arranged in a vacuum chamber for introducing excitation energy into a plasma.

【００３１】同じ課題を解決するために、少なくとも１
つの電極は、少なくともレンズの運搬路にわたって延
び、幾つかの運搬路が存在する場合にはレンズの全運搬
路にわたって延びるような長さを有する。To solve the same problem, at least one
The one electrode has a length such that it extends at least over the carriage of the lens and, if there are several carriages, over the whole carriage of the lens.

【００３２】運搬路は必ずしも直線に延びる必要はな
い；第１および第２工程のＰＣＶＤ法には、回転する基
体ホルダを有し、レンズが少なくとも１つのゲートによ
り連続的または半連続的に供給され、再び取出されるい
わゆるメリーゴーランド式装置を使用することもでき
る。しかし、少なくとも１つの運搬路を直線にし、電極
を長方形に構成し、その長軸をレンズの少なくとも１つ
の運搬路に対して平行にするのがとくに有利である。The transport path does not necessarily have to extend in a straight line; the first and second step PCVD processes have a rotating substrate holder and the lens is fed continuously or semi-continuously by at least one gate. It is also possible to use a so-called merry-go-round device which is taken out again. However, it is particularly advantageous if at least one of the transport paths is straight and the electrodes are of rectangular design, the major axis of which is parallel to the at least one transport path of the lens.

【００３３】表現“通過法”により、ゲートからゲート
へのレンズの連続的運搬方法、ならびにレンズがゲート
からゲートへステップ・パイ・ステップに移動しかつそ
の運搬路に通りすがりに保持される半連続的運搬方法を
表わす。ステップ・パイ・ステップの運搬運動は、ゲー
ト弁の開閉によってゲート駆動装置がレンズのとぎれと
ぎれの運搬をもたらすことによって明らかにすることが
できる。By the expression "passage method", the method of continuous transport of the lens from gate to gate, as well as the semi-continuous way in which the lens moves from gate to gate in step pie steps and is held in hand in its transport path. Indicates the transportation method. The step-pie-step carrying movement can be manifested by opening and closing the gate valve and causing the gate drive to carry the lens intermittently.

【００３４】本発明方法および本発明装置の他の有利な
構成は、他の請求項から明らかである。Further advantageous configurations of the method according to the invention and the device according to the invention are apparent from the further claims.

【００３５】[0035]

【実施例】目的物ならびに本発明方法を実施するための
装置の２実施例を、下記に図１〜図５につき詳述する。EXAMPLES Two examples of the object and an apparatus for carrying out the method according to the invention are described in detail below with reference to FIGS.

【００３６】図１においてＳは、屈折率ｎ＝１．５を有
するＣＲ３９からなるめがねレンズによって表わされる
レンズを示す。等しいかまたはより高い屈折率を有する
他の透明な材料は一般的な説明において述べられてい
る。このレンズに、第１工程において、屈折率ｎ＝１．
５を有する、Ｓ個からなる厚さ３μｍの保護層Ｐが設け
られた。保護層Ｐの屈折率は、レンズＳの屈折率にでき
るだけ十分に近づけるべきである。ｎ＝１．５以上の屈
折率を有する基体材料を使用する場合には、保護層Ｐを
式ＳｉＯｘＮｙを有する層材料から構成するのが推奨さ
れる。屈折率の適合のためにはｘおよびｙの値を変える
ことができる。この場合、ｘおよびｙの値はゼロであっ
てもよい。屈折率を値ｎ＝１．７に接近させる場合に
は、有利には式Ｓｉ3Ｎ4を有する窒化ケイ素を製造す
る。この場合、光学的層系は、高屈折率（Ｈ）および低
屈折率（Ｌ）が交番する４つの単一層からなる。高屈折
率の層にはたとえば２．２を越える値まで屈折率を有す
るＴｉＯ2またはＴａ2Ｏ5を使用することができ、低屈
折層にはＳｉＯ2を使用することができる。この場合、
光学系Ｏの個々の層の層厚は、使用される測定光の１／
４波長の範囲内にある。従って、光学層Ｏ内の個々の層
厚の和は保護層Ｐの厚さよりも明らかに小さい。In FIG. 1, S denotes a lens represented by an eyeglass lens made of CR39 having a refractive index n = 1.5. Other transparent materials with equal or higher refractive index are mentioned in the general description. This lens has a refractive index n = 1.
A protective layer P having a thickness of 3 and a thickness of 3 μm was provided. The refractive index of the protective layer P should be as close as possible to the refractive index of the lens S. When using a substrate material having a refractive index of n = 1.5 or higher, it is recommended that the protective layer P be composed of a layer material having the formula SiOxNy. The values of x and y can be varied for index matching. In this case, the values of x and y may be zero. If the index of refraction approaches the value n = 1.7, silicon nitride having the formula Si 3 N 4 is preferably produced. In this case, the optical layer system consists of four single layers of alternating high and low refractive index (H). TiO 2 or Ta 2 O 5 having a refractive index up to a value exceeding 2.2 can be used for the high refractive index layer, and SiO 2 can be used for the low refractive index layer. in this case,
The layer thickness of the individual layers of the optical system O is 1 / of the measuring light used.
It is within the range of four wavelengths. Therefore, the sum of the individual layer thicknesses in the optical layer O is clearly smaller than the thickness of the protective layer P.

【００３７】図２は長く延びた真空室１を示し、該真空
室は側壁２および３に１つ宛の搬入ゲート４および搬出
ゲート５を有する。双方のゲートは公知構造のものであ
り、それぞれ２つのゲート弁を有し、該弁の間にはレン
ズ用の機械的引渡し装置が存在する。そのために、これ
らゲートの詳細を示すことは必要でない。真空を形成す
るための吸込み管ならびに必要な反応ガス用のガス供給
管も同様に示されていない。FIG. 2 shows an elongate vacuum chamber 1, which has on each of the side walls 2 and 3 an input gate 4 and an output gate 5. Both gates are of known construction and each has two gate valves between which there is a mechanical delivery device for the lens. Therefore, it is not necessary to show details of these gates. Neither the suction pipe for forming the vacuum, nor the gas supply pipe for the required reaction gas is shown.

【００３８】ゲートの間にはエンドレスのコンベヤベル
トからなる運搬装置６が存在し、該運搬装置上にレンズ
Ｓは搬入ゲート４から乗せられる。運搬装置６の端部に
おいて、レンズＳは再び搬出ゲート５により引取られ
る。Between the gates, there is a carrying device 6 consisting of an endless conveyor belt, on which the lens S is placed from the loading gate 4. At the end of the carrier device 6, the lens S is again picked up by the carry-out gate 5.

【００３９】運搬装置６の上方には長方形の電極７が存
在し、該電極は絶縁構造８により真空室１の蓋に懸吊さ
れている。電極７はプラズマの励起エネルギーを導入す
るために使用され、かつ長方形の形を有し、その長軸は
レンズＳの運搬路（矢印９）に対して平行に延びる。電
極７は、スパッタ不能の非磁化材料からなるケーシング
からなり、レンズから離反する側に磁石系１０（断面図
で示されている）を備えている。この磁石系は電極のレ
ンズに面した側に磁気トンネル１０ａ（点線の磁場線で
示唆されている）を形成する。磁石系１０ならびに磁気
トンネル１０ａは電極７の全周に延びており、従ってそ
れ自体空間的に閉じられている。紙面に対して直角に延
びる電極の長方形の形のため、磁気トンネル１０ａも長
方形の経過を有し、２つの短辺および２つの長辺を有す
る。図２は、双方の短辺を通る断面図を示す。双方の長
辺は、レンズの運搬方向に対して平行に延びる（矢印
９）。 図２による真空室１内で、差当りレンズＳの片
面コーティングのみが行なわれる。両面コーティングの
実施は、図３につき詳述する。差当り、レンズＳは運搬
路１１の左端に、図２の上左方に示されているような状
態で乗せられる。電極７の走入範囲内には、同時に多数
のレンズＳが存在し、該レンズは運搬路１１上で片面、
つまりその上面がコーティングされる。運搬路１１から
出た後、レンズは運搬装置６から取去られ、鎖線の運搬
路１３に沿って運搬装置６の始端に返送されるが、その
際転回装置１４（象徴的に示されている）により１８０
°転回され、その後再び運搬装置６の始端部に、しかも
図２の上右方に示されている位置で乗せられる。乗るの
は、第１の運搬路１１に対して平行に延びる第２の運搬
路１２の始端部で行なわれるので、運搬装置６上にはレ
ンズＳの２つの平行な列が存在する。第２の運搬路１２
の端部で、レンズは図示されてない方法で搬出ゲート５
により引取られて、搬出される。双方の運搬路１１およ
び１２はコーティング速度が極めて重要であるので、磁
石系１０ないしは磁気トンネル１０ａの双方の長辺の下
方に存在する。Above the carrier device 6 is a rectangular electrode 7, which is suspended by an insulating structure 8 on the lid of the vacuum chamber 1. The electrode 7 is used for introducing the excitation energy of the plasma and has a rectangular shape, the major axis of which extends parallel to the transport path of the lens S (arrow 9). The electrode 7 is composed of a casing made of non-magnetizable material that cannot be sputtered, and has a magnet system 10 (shown in cross section) on the side away from the lens. This magnet system forms a magnetic tunnel 10a (indicated by the dotted magnetic field lines) on the side of the electrode facing the lens. The magnet system 10 as well as the magnetic tunnel 10a extend around the entire circumference of the electrode 7 and are therefore spatially closed. Due to the rectangular shape of the electrodes extending at right angles to the plane of the paper, the magnetic tunnel 10a also has a rectangular profile and has two short sides and two long sides. FIG. 2 shows a sectional view through both short sides. Both long sides extend parallel to the carrying direction of the lens (arrow 9). In the vacuum chamber 1 according to FIG. 2, only one surface of the lens S is coated per difference. The double-sided coating implementation is detailed in FIG. On the other hand, the lens S is mounted on the left end of the transport path 11 in a state as shown in the upper left of FIG. A large number of lenses S are present at the same time within the run-in range of the electrode 7, and the lenses S are on one side on the transport path 11,
That is, its upper surface is coated. After exiting the carrier 11, the lens is removed from the carrier 6 and returned along the chained carrier 13 to the beginning of the carrier 6, with the tumbling device 14 (shown symbolically). ) By 180
It is turned around and then placed again on the starting end of the carrier device 6 and in the position shown in the upper right of FIG. There is two parallel rows of lenses S on the carrier 6, since the riding is done at the beginning of a second carrier 12 which extends parallel to the first carrier 11. Second transportation path 12
At the end of the lens the exit gate 5 in a manner not shown
It is picked up by and carried out. Both transport paths 11 and 12 are below the long sides of both the magnet system 10 and the magnetic tunnel 10a, since the coating speed is very important.

【００４０】さらに図２から明らかなように、搬出ゲー
ト５から搬出されたレンズは外側の運搬路１５でもう１
つの真空室１６に運搬され、該真空室の双方の端面壁１
７および１８は同様に１つ宛搬入ゲート１９および搬送
ゲート２０を備えている。真空室１６も、双方のゲート
を互いに結合する運搬装置２１を有する。しかしこの場
合、この運搬装置２１は個々のパレット２２からなり、
該パレットは真中にそれぞれ切欠孔２２ａを有し、その
縁上にレンズＳの縁が乗っている。この場合、運搬装置
２１の上方および下方には２つの電極２３および２４が
存在し、該電極は同様にここに詳細に図示されてない磁
石系を有することができる。この構成によって、切欠孔
２２ａと関連して、レンズの両面コーティングが可能と
なる。パレット２２は搬入ゲート１９を通って搬入さ
れ、搬出ゲート２０を通って再び搬出され、別の外側運
搬路２５の方向で、ここに示されていない後加工ステー
ションに供給される。図２から、真空室１にはそのつど
個々のレンズが供給されかつ真空室１６は運搬路２５に
よりそのつど個々のレンズを後加工に提供することが明
らかである。従って、いわゆる“部分量”はこの場合に
は１である。図２からは同様に、真空室１と１６との間
にサイクル同調が存在する、つまり個々の真空室は互い
に“ジャスト・イン・タイム”に供給されることが明ら
かである。Further, as is apparent from FIG. 2, the lens carried out from the carry-out gate 5 has another lens in the outer carrying path 15.
One vacuum chamber 16 is carried to both end walls 1 of the vacuum chamber.
Similarly, 7 and 18 are provided with one input gate 19 and one transfer gate 20. The vacuum chamber 16 also has a carrier 21 which connects both gates to each other. However, in this case, the carrying device 21 consists of individual pallets 22,
The pallets each have a notch hole 22a in the center, and the edge of the lens S is placed on the edge thereof. In this case, there are two electrodes 23 and 24 above and below the carrier 21, which may likewise have a magnet system not shown here in detail. This configuration allows for double-sided coating of the lens in association with the cutout 22a. The pallets 22 are loaded through the loading gate 19 and unloaded through the loading gate 20 and in the direction of another outer transport path 25 to a post-processing station not shown here. It is clear from FIG. 2 that the vacuum chamber 1 is in each case supplied with individual lenses and the vacuum chamber 16 by the conveying path 25 in each case provides individual lenses for subsequent processing. Therefore, the so-called "partial quantity" is 1 in this case. It is also clear from FIG. 2 that there is a cycle synchronization between the vacuum chambers 1 and 16, that is to say that the individual vacuum chambers are supplied "just in time" with each other.

【００４１】双方の真空室１および１６は空間的に互い
に分離されている必要はないことは明らかである。むし
ろ搬出ゲート５と搬入ゲート１９を直接互いに結合する
かまたは唯１つの共通なゲートに代えることが可能であ
る。さらに、結合ゲートの代りに逆止め装置を備えてい
ない圧力段区間を設け、この中で中間吸込み装置によっ
て、真空室１と１６の間にいわゆる“横混交（Ｑｕｅｒ
ｋｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎ）”が起きないように配慮
することも可能である。Obviously, both vacuum chambers 1 and 16 need not be spatially separated from each other. Rather, the exit gate 5 and the entrance gate 19 can be directly connected to each other or replaced by only one common gate. Furthermore, instead of the coupling gate, a pressure stage section without a check device is provided, in which a so-called "transverse mixing" is provided between the vacuum chambers 1 and 16 by means of an intermediate suction device.
It is also possible to take care so that "contamation)" does not occur.

【００４２】同時に個々のコーティング法にさらされる
コーティング面の数割合に関して、次の考慮が生じる：
これに対し決定的なのは、真空室１６内のコーティング
面の数およびコーティング時間である。図１による４層
の光学的層系での完全なコーティングは３０秒かかるも
のと思われる。この時間内に、両面コーティングされた
レンズＳが提供される。従って、真空室１も同様に全３
０秒で両面コーティングされたレンズを提供しなければ
ならない。真空室１中で形成されるはるかに大きい層厚
のためコーティング工程はここでは約６００秒、従って
１０分かかるので、真空室１内で両面コーティングの際
には２０個のレンズが、電極７によって規定されるコー
ティングゾーン内に存在する。しかし、図２および図３
による方法においてはそのつどレンズの上方に向いた面
だけがコーティングされるにすぎないので、コーティン
グゾーンは合計４０個のレンズを収容しなければなら
ず、これは図３によればレンズ２０個宛の２つの平行な
列で行なわれる。図３には、この構成からの断片のみが
示されている。The following considerations arise with regard to the percentage of coated surfaces that are simultaneously exposed to the individual coating methods:
Decisive to this is the number of coating surfaces in the vacuum chamber 16 and the coating time. A complete coating with a four-layer optical layer system according to FIG. 1 seems to take 30 seconds. Within this time, the double-sided coated lens S is provided. Therefore, the vacuum chamber 1 also has a total of 3
It must provide a double coated lens in 0 seconds. Due to the much larger layer thickness formed in the vacuum chamber 1, the coating process here takes about 600 seconds, and thus 10 minutes, so that in the double-sided coating in the vacuum chamber 1 20 lenses are produced by the electrodes 7. It exists within the defined coating zone. However, FIG. 2 and FIG.
Since in the method according to claim 1, only the upward-facing surface of the lens is coated in each case, the coating zone must accommodate a total of 40 lenses, which according to FIG. Is done in two parallel rows of. Only fragments from this configuration are shown in FIG.

【００４３】図４は、上部に類似であるが、２つの互い
に平行平面に整列された、図２における電極７と一致す
る長方形の電極７および７ａを備えている真空室１を示
す。FIG. 4 shows a vacuum chamber 1 similar to the upper part, but with rectangular electrodes 7 and 7a aligned in two mutually parallel planes, corresponding to the electrode 7 in FIG.

【００４４】搬入ゲート４を搬出ゲート５と結合する運
搬装置２６は、この場合並列するパレット２７を有し、
該パレットはそれぞれ相並んで存在する切欠孔２７ａを
備えているので、同時的両面コーティングが可能であ
る。これにより、同様に２つの平行な運搬路２８および
２９が生じる。また、搬入ゲート４は同時に２個のレン
ズを供給し、搬出ゲート５は同時に両面コーティングさ
れたレンズを搬出する。従って、この場合部分量は２で
ある。こうして、レンズの返送および転回は不要であ
る。この場合でも、真空室１には、第２の真空室１６が
後接されており、該真空室１６は１つの例外を有して図
２によるものと一致する：相並んで配置された２つの切
欠孔２７ａを有するパレット２７は、真空室１６に対し
ても使用されるので、１作業サイクルにつき運搬路２５
により２個の両面コーティングされたレンズＳが供給さ
れる。従って、真空室１および１６内のコーティング時
間の比が等しい場合、真空室１内で同時に４０個のレン
ズを両面コーティングしなければならない。これは２列
に行なわれるので、各レンズ列はコーティングゾーン内
では同様に２０個のレンズからなる。しかし、全装置の
供給度は、図４による例の場合には２倍になっている。The carrying device 26 connecting the loading gate 4 with the loading gate 5 has in this case pallets 27 juxtaposed,
Since the pallets are provided with the notch holes 27a which are present side by side, simultaneous double-sided coating is possible. This likewise results in two parallel transport paths 28 and 29. Further, the carry-in gate 4 simultaneously supplies two lenses, and the carry-out gate 5 simultaneously carries out the lenses coated on both sides. Therefore, the partial quantity is 2 in this case. Thus, there is no need to return and roll the lens. In this case as well, the vacuum chamber 1 is followed by a second vacuum chamber 16, which with one exception corresponds to that according to FIG. 2: 2 arranged side by side. Since the pallet 27 having the two cutout holes 27a is also used for the vacuum chamber 16, the pallet 27 is used for the transport path 25 per one working cycle.
Thereby supplies two double-sided coated lenses S. Therefore, if the coating time ratios in the vacuum chambers 1 and 16 are equal, then 40 lenses must be simultaneously double-sided coated in the vacuum chamber 1. Since this is done in two rows, each lens row likewise consists of 20 lenses in the coating zone. However, the supply of all devices is doubled in the case of the example according to FIG.

【００４５】図４による真空室１６内ではそのつど個々
のレンズＳだけが、図２と関連して既に説明したよう
に、両面コーティングされる考慮から出発すれば、真空
室１内で同時に両面コーティングにさらされるレンズの
数は２０個に減少することができる。ここでも真空室１
６内でのコーティング時間がサイクルの連続を定めるの
で、真空室１内の電極７および７ａの長さ、それと共に
コーティングゾーンは約半分の長さに短縮することがで
き、運搬装置２６の運搬速度も半分に減少することがで
きるので、コーティングゾーン内でのレンズの滞留時間
は再び一致する。この場合作業サイクルあたり搬出ゲー
ト５の出口にそのつど２個のレンズが提供されるので、
最後に記載した場合には、たんにこれらのレンズを個々
に真空室１６中へ搬入することが必要であり、これによ
りそのつど第２のレンズに対したんに３０秒の短かい遅
延が生じるだけである。In the vacuum chamber 16 according to FIG. 4, only the individual lenses S in each case are coated on both sides simultaneously in the vacuum chamber 1, starting from the consideration that they are double-sided as already explained in connection with FIG. The number of exposed lenses can be reduced to 20. Here again vacuum chamber 1
Since the coating time in 6 defines the continuity of the cycle, the length of the electrodes 7 and 7a in the vacuum chamber 1 and thus the coating zone can be shortened to about half the length, Can also be reduced in half, so that the dwell times of the lenses in the coating zone are matched again. In this case, since two lenses are provided at the exit of the carry-out gate 5 per work cycle,
In the last-mentioned case, it is only necessary to carry these lenses individually into the vacuum chamber 16, which in each case causes only a short delay of 30 seconds for the second lens. Is.

【００４６】いずれにせよ、個々の真空室１および１６
内の方法は極めて種々に制御ないしは調節できるので、
層系に広いパレットをサイクル的にないしは“ジャスト
・イン・タイム”に提供することができる。In any case, the individual vacuum chambers 1 and 16
Since the method inside can be controlled or adjusted in a great variety of ways,
It is possible to provide a wide pallet to the layer system cyclically or "just in time".

【００４７】しかし、図４および図５につき記載したレ
ンズを１対づつコーティングするのは、殊にめがねレン
ズのコーティングに適当である。それというのも、めが
ねレンズはたいてい一対で注文されるからである。この
場合、真空室１６内で同時に４個のコーティング面がコ
ーティングされ、双方の工程のコーティング時間の比に
基づき、この場合には第１の真空室１内で同時に８０個
のコーティング面、つまり同時的両面コーティングの場
合にはそれぞれ２個のコーティング面を有する４０個の
レンズがコーティング方法にさらされていなければなら
ない。これは、双方の運搬路２８および２９上にそれぞ
れ２０個のレンズを直列に配置することによって達成さ
れる。However, the pairwise coating of the lenses described with reference to FIGS. 4 and 5 is particularly suitable for coating spectacle lenses. That's because most eyeglass lenses are ordered in pairs. In this case, four coating surfaces are coated in the vacuum chamber 16 at the same time, and in this case, in the first vacuum chamber 1, 80 coating surfaces, that is, at the same time, are coated based on the coating time ratio of both processes. In the case of selective double-sided coating, 40 lenses, each having 2 coated surfaces, must be exposed to the coating method. This is accomplished by placing 20 lenses each in series on both haulways 28 and 29.

【００４８】図２および図４における通し電極の代り
に、そのつど同じ長さのコーティングゾーンの共同作用
を形成する、個々の電極の直列配置を設けることもでき
る。この場合、個々の電極を別個に制御することによっ
て層成長の最適化を実施することが可能である。Instead of the through electrodes in FIGS. 2 and 4, it is also possible to provide a series arrangement of the individual electrodes, each forming a synergistic action of coating zones of the same length. In this case, it is possible to carry out an optimization of the layer growth by controlling the individual electrodes separately.

【００４９】さらに、第２の真空室１６内での方法を、
第２の真空室内の電極をパルス駆動で動作することによ
り時間的に延長することも可能である。これにより、第
１の真空室内のコーティングゾーンの長さを相応に短か
くすることができるが、運搬速度は比例して減少する。
いずれにせよ、第２の真空室内でのコーティング時間は
第１の真空室内の方法パラメーターにより決定される。Further, the method in the second vacuum chamber 16 is
It is also possible to extend the time by operating the electrodes in the second vacuum chamber by pulse driving. This allows the length of the coating zone in the first vacuum chamber to be correspondingly short, but the transport speed is proportionally reduced.
In any case, the coating time in the second vacuum chamber is determined by the process parameters in the first vacuum chamber.

【００５０】さらに、第１の真空室の始端部または前接
された列の真空室内に、たとえばレンズ材料と保護層の
間の付着を改善するための付着媒介層の析出を含め、プ
ラズマ処理による表面変更の目的のために、レンズ表面
の付加的処理方法を設けることも可能である。Further, by plasma treatment, including the deposition of an adhesion-mediating layer, for example to improve the adhesion between the lens material and the protective layer, at the beginning of the first vacuum chamber or in the vacuum chamber of the front row. It is also possible to provide additional treatment methods for the lens surface for the purpose of surface modification.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】最終状態でのレンズないしはめがねレンズの部
分的断面図、FIG. 1 is a partial sectional view of a lens or spectacle lens in a final state,

【図２】第１工程における数個のレンズの片面コーティ
ングのためおよび第２工程の間個々のレンズの両面コー
ティングのための装置の垂直断面図。FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of an apparatus for single-sided coating of several lenses in a first step and double-sided coating of individual lenses during a second step.

【図３】第１工程の間数個のレンズを有する、図２によ
る装置のベルト状運搬装置を、２軌条の運搬路をとくに
強調して示す断面図、FIG. 3 is a cross-sectional view of a belt-like carrier of the device according to FIG. 2 with several lenses during the first step, with particular emphasis on the two-rail carrier path,

【図４】図２と類似であるが、第１工程におけるレンズ
の同時的両面コーティングのためおよび第２工程におけ
る２個のレンズの両面コーティングのための切欠孔を備
えるレンズの運搬装置を有する装置の垂直断面図、FIG. 4 is a device similar to FIG. 2, but with a conveying device for the lenses with notched holes for simultaneous double-sided coating of the lenses in the first step and for double-sided coating of the two lenses in the second step; Vertical cross section of

【図５】２つの平行な運搬路を有する図４による運搬装
置の平面図。5 shows a plan view of the carrier device according to FIG. 4 with two parallel carrier paths.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１，１６ 真空室 ２，３，１７，１８ 端面壁 ４，１９ 搬入ゲート ５，２０ 搬出ゲート ６，２１，２６ 運搬装置 ７，２３，２４ 電極 ８ 絶縁構造 ９ 矢印 １０ 磁石系 １０ａ 磁気トンネル １１，１２，１３，１５ 運搬路 １４ 回転装置 ２２，２７ パレット ２２ａ，２７ａ 切欠孔 ２５，２８，２９ 運搬路 Ｓ レンズ Ｐ 保護層 1,16 Vacuum chamber 2,3,17,18 End wall 4,19 Carry-in gate 5,20 Carry-out gate 6,21,26 Carrying device 7,23,24 Electrode 8 Insulation structure 9 Arrow 10 Magnet system 10a Magnetic tunnel 11, 12, 13, 15 Transport path 14 Rotating device 22,27 Pallet 22a, 27a Notch hole 25, 28, 29 Transport path S Lens P Protective layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｃ 16/54 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location C23C 16/54

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 殊にプラスチックからなる光学レンズ
（Ｓ）を、透明な保護層（Ｐ）および透明な光学的単一
層または多重層で、少なくとも２工程で真空中でコーテ
ィングし、その際第１工程で同時に所定量のレンズに、
コーティングゾーンにおいてＰＣＶＤ法により、少なく
とも主としてケイ素の酸素化合物および／または窒素化
合物からなり、０．５〜１０μｍの厚さおよびレンズ材
料の屈折率にできるだけ十分に近接している屈折率を有
する透明な保護層（Ｐ）を設け、第２工程で保護層
（Ｐ）よりも小さい厚さを有する光学層（Ｏ）を形成す
る方法において、 ａ） 第１工程のコーティングゾーンに、通過法により
連続的に新しいレンズの部分量を供給し、コーティング
後部分量を取り出し、 ｂ） 第２工程において、第１工程から取出された部分
量をもう１つの通過法によって透明、反射減少性光学的
単一層および多重層（Ｏ）を設け、 ｃ） 双方の工程におけるレンズ（Ｓ）の運搬速度ない
しはサイクル周期を、単位時間あたり平均して各工程に
より等量のコーティングされたレンズが製造されるよう
に調節することを特徴とするレンズをコーティングする
方法。1. An optical lens (S), in particular made of plastic, is coated with a transparent protective layer (P) and a transparent optical monolayer or multilayers in a vacuum in at least two steps, the first step being the first step. At the same time in the process, a predetermined amount of lenses,
Transparent protection by PCVD method in the coating zone, consisting essentially of oxygen and / or nitrogen compounds of silicon, having a thickness of 0.5-10 μm and a refractive index which is as close as possible to the refractive index of the lens material. In the method of providing the layer (P) and forming the optical layer (O) having a thickness smaller than that of the protective layer (P) in the second step, a) continuously in the coating zone of the first step by a passage method. Supplying a new lens aliquot and removing the coated aliquot, b) In a second step, the aliquot taken from the first step is passed through another pass-through method to obtain a transparent, reflection-reducing optical monolayer and By providing a multi-layer (O), c) The transportation speed or cycle period of the lens (S) in both steps is averaged per unit time, and Method of coating a lens, characterized in that the amount of the coated lens is adjusted as manufactured. 【請求項２】 同時に第１工程にさらされるレンズ
（Ｓ）のコーティング面の数は、少なくとも大体におい
て第１工程におけるコーティング時間と第２工程におけ
るコーティング時間との商に第２工程においてコーティ
ングされるコーティング面の数を乗じたものに相当する
ことを特徴とする請求項１記載の方法。2. The number of coating surfaces of the lens (S) which are exposed to the first step at the same time is at least approximately the quotient of the coating time in the first step and the coating time in the second step. A method according to claim 1, characterized in that it corresponds to a product of the number of coated surfaces. 【請求項３】 第１工程から取出され、第２工程に供給
される部分量がレンズ１〜２であることを特徴とする請
求項１記載の方法。3. The method according to claim 1, wherein the partial quantity taken out from the first step and supplied to the second step is lenses 1-2. 【請求項４】 第１工程において、搬入ゲート（４）と
搬出ゲート（５）との間で移動する運搬装置（６）によ
って保持されるレンズ（Ｓ）を差当り片面コーティング
し、片面コーティングされたレンズを１８０°転回し、
再び搬入ゲート（４）への方向に返送し、運搬装置
（６）に引渡し、転回した状態で第２面をコーティング
し、その後レンズ（Ｓ）を搬出ゲート（５）から搬出す
ることを特徴とする請求項１記載の方法。4. In the first step, the lens (S) held by the carrying device (6) moving between the carry-in gate (4) and the carry-out gate (5) is coated on one side and the other is coated on one side. Turn the lens 180 degrees,
It is characterized in that it is returned to the carrying-in gate (4) again, delivered to the carrying device (6), the second surface is coated in a rolled state, and then the lens (S) is carried out from the carrying-out gate (5). The method of claim 1, wherein 【請求項５】 レンズ（Ｓ）を片面コーティングする
間、運搬装置（６）によって第１運搬路（１１）で案内
し、その後転回したレンズ（Ｓ）を同じ運搬装置（６）
により、第１運搬路（１）に対して平行な第２運搬路
（１２）で移動させることを特徴とする請求項４記載の
方法。5. The lens (S) is guided on the first conveying path (11) by the conveying device (6) during the one-side coating, and then the rolled lens (S) is transferred to the same conveying device (6).
5. The method according to claim 4, characterized in that it is moved in a second conveying path (12) parallel to the first conveying path (1). 【請求項６】 レンズ（Ｓ）の両面を同時にコーティン
グすることを特徴とする請求項１記載の方法。6. A method according to claim 1, characterized in that both sides of the lens (S) are coated simultaneously. 【請求項７】 レンズ（Ｓ）を互いに平行な幾つかの運
搬路（１１，１２）で案内することを特徴とする請求項
６記載の方法。7. Method according to claim 6, characterized in that the lens (S) is guided by several transport paths (11, 12) parallel to one another. 【請求項８】 プラズマの励起エネルギーを、真空内に
配置された少なくとも１つの電極（７，７ａ）によりプ
ラズマに結合し、その際レンズ（Ｓ）を、電極（７，７
ａ）の主要面および長軸に対して平行に延びる少なくと
も１つの運搬路（１１，１２）で案内することを特徴と
する請求項１記載の方法。8. The excitation energy of the plasma is coupled to the plasma by at least one electrode (7, 7a) arranged in a vacuum, the lens (S) being connected to the electrode (7, 7a).
2. Method according to claim 1, characterized in that it is guided by at least one conveying path (11, 12) extending parallel to the major plane of a) and the longitudinal axis. 【請求項９】 プラズマを、電極（７，７ａ）の周囲に
幾何学的に類似の、短辺および長辺を有する閉じた磁気
トンネル（１０ａ）によって、電極（７，７ａ）のレン
ズ（Ｓ）に面した辺に集束することを特徴とする請求項
８記載の方法。9. The lens (S) of the electrode (7, 7a) is provided by means of a closed magnetic tunnel (10a) of plasma, which has geometrically similar short and long sides around the electrode (7, 7a). 9.) A method according to claim 8, characterized in that the focusing is on the side facing (1). 【請求項１０】 双方の平行な運搬路（１１，１２）を
磁気トンネルの長辺に所属させることを特徴とする請求
項９記載の方法。10. Method according to claim 9, characterized in that both parallel conveying paths (11, 12) belong to the long sides of the magnetic tunnel. 【請求項１１】 レンズ（Ｓ）をコーティングの間、コ
ーティング面の中心に対して直立する軸を中心に回転さ
せることを特徴とする請求項１記載の方法。11. The method according to claim 1, characterized in that the lens (S) is rotated during coating about an axis which is upright with respect to the center of the coating surface. 【請求項１２】 第２工程において最大２個のコーティ
ング面を同時にコーティングすることを特徴とする請求
項１記載の方法。12. The method according to claim 1, wherein a maximum of two coating surfaces are coated simultaneously in the second step. 【請求項１３】 第１工程の真空コーティング装置およ
び第２工程の真空コーティング装置を直列に配置し、同
じサイクルで運転することを特徴とする請求項１から１
２までのいずれか１項記載の方法。13. The vacuum coating device of the first step and the vacuum coating device of the second step are arranged in series and are operated in the same cycle.
The method according to any one of 2 to 2. 【請求項１４】 真空室（１）、搬入ゲート（４）、運
出ゲート（５）および双方のゲートを互いに結合する、
レンズ（Ｓ）の少なくとも１つの運搬路（１１，１２）
を有し、ならびに真空室（１）内に配置された、プラズ
マに励起エネルギーを導入するための電極（７，７ａ）
を有する請求項１記載の方法を実施する装置において、
少なくとも１つの電極（７，７ａ）が少なくとも、レン
ズ（Ｓ）の少なくとも１つの運搬路（１１，１２）にわ
たって延びていることを特徴とするレンズをコーティン
グする装置。14. A vacuum chamber (1), a carry-in gate (4), a carry-out gate (5) and both gates are connected together.
At least one transport path (11, 12) for the lens (S)
(7, 7a) for introducing excitation energy to the plasma, which has a
An apparatus for carrying out the method of claim 1 comprising:
Device for coating a lens, characterized in that at least one electrode (7, 7a) extends at least over at least one transport path (11, 12) of the lens (S). 【請求項１５】 少なくとも１つの運搬路（１１，１
２）が直線に延び、かつ電極（７，７ａ）は長方形に構
成されていて、その長軸が少なくとも１つの運搬路（１
１，１２）に対して平行に延びることを特徴とする請求
項１４記載の装置。15. At least one haulway (11, 1)
2) extends in a straight line and the electrodes (7, 7a) are of rectangular design, the major axis of which is at least one transport channel (1).
Device according to claim 14, characterized in that it extends parallel to the (1, 12). 【請求項１６】 電極（７，７ａ）がスパッタできない
非磁性体からなり、レンズ（Ｓ）から離反する側に磁石
系（１０）を備え、該磁石系により電極（７，７ａ）の
レンズ（Ｓ）に面した側に、２つの短辺および２つの長
辺を有し、それ自体閉じた回転する磁気トンネル（１０
ａ）が形成されかつ２つの運搬路（１１，１２）が存在
する場合双方の運搬路（１１，１２）は磁気トンネルの
長辺に所属されていることを特徴とする請求項１４記載
の装置。16. The electrode (7, 7a) is made of a non-magnetic material that cannot be sputtered, and a magnet system (10) is provided on the side away from the lens (S), and the lens () of the electrode (7, 7a) is provided by the magnet system. The side facing S) has two short sides and two long sides, and is a closed rotating magnetic tunnel (10
15. Device according to claim 14, characterized in that, when a) is formed and there are two transport paths (11, 12), both transport paths (11, 12) belong to the long side of the magnetic tunnel. . 【請求項１７】 運搬装置（６）に、レンズ（Ｓ）を第
１運搬路（１１）の末端部から取出し、転倒状態にして
第２運搬路の始端部に供給することを特徴とする請求項
１５記載の装置。17. The carrying device (6) is characterized in that the lens (S) is taken out from the end portion of the first carrying path (11) and is turned over to be supplied to the starting end part of the second carrying path. Item 15. The apparatus according to Item 15.
JP6308011A 1993-12-13 1994-12-12 Method and equipment for coating lens Pending JPH07281006A (en)

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DE4342463A DE4342463C2 (en) 1993-12-13 1993-12-13 Method and device for coating optical lenses with protective layers and with optical layers in a vacuum
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DE4342463A1 (en) 1995-06-14
FR2713668A1 (en) 1995-06-16
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