JPH0727906A - Beam splitter and optical information recording and reproducing device using the same - Google Patents

Beam splitter and optical information recording and reproducing device using the same

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JPH0727906A
JPH0727906A JP5170175A JP17017593A JPH0727906A JP H0727906 A JPH0727906 A JP H0727906A JP 5170175 A JP5170175 A JP 5170175A JP 17017593 A JP17017593 A JP 17017593A JP H0727906 A JPH0727906 A JP H0727906A
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JP
Japan
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light
beam splitter
transmissive substrate
film
adhesive
Prior art date
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Pending
Application number
JP5170175A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hironobu Kiyomoto
浩伸 清本
Hayami Hosokawa
速美 細川
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Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Publication date
Application filed by Omron Corp, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Corp
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Publication of JPH0727906A publication Critical patent/JPH0727906A/en
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Abstract

PURPOSE:To provide a beam splitter having a reflection characteristic which is not affected by the thickness of an adhesive in a joint part. CONSTITUTION:A first light transmittable substrate 1 and a second light transmittable substrate 2 are stuck to each other with the adhesive 3. A reflection film 4 consisting of multilayered thin film layers is formed on the surface stuck to the first light transmittable substrate 1. Incident light is bent in 90 deg. direction by the reflection film 4. An antireflection film 9 is formed on the surface stuck to the second light transmittable substrate 2 and the reflection effect of the adhesive 3 and the second light transmittable substrate 2 is prohibited by the presence of the antireflection film 9. Consequently, the beam splitter having the characteristic of the reflected film which is not affected by the thickness of the adhesive between the first and second light transmittable substrates 1 and 2 is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光記録媒体に投射された
光ビームの反射光を分光するビームスプリッタ及びこれ
を用いた光学的情報記録再生装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a beam splitter for dispersing reflected light of a light beam projected on an optical recording medium and an optical information recording / reproducing apparatus using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば光磁気ディスクは周知のとおり、
ディスクの記録面に直線偏光の光ビームが入射したと
き、記録面上に記録された磁区の向きにより反射光の偏
光面が回転するという、いわゆるカー回転効果を利用し
て情報を再生するように成されている。この様な光磁気
ディスクに情報を記録・再生するための光学的情報記録
再生装置においては、図示しないがレーザダイオードか
ら出射される出射光ビームが第1のビームスプリッタお
よび対物レンズを介してディスクの記録面に照射され
る。そしてディスクの記録面によって反射された戻りの
反射光ビームは再び対物レンズを介して第1のビームス
プリッタに入射する。第1のビームスプリッタにおいて
は、この戻りの反射光ビームの光路を90度方向に折り
曲げ、第2のビームスプリッタに入射させる。第2のビ
ームスプリッタにおいては、入射する戻りの反射光ビー
ムをS偏光成分およびP偏光成分に分光し、それぞれS
偏光成分およびP偏光成分の光強度を検出するフォトデ
ィテクタの出力に基づいて光磁気ディスクからの再生信
号を得るように成される。
2. Description of the Related Art For example, a magneto-optical disk is well known,
When a linearly polarized light beam is incident on the recording surface of the disc, the polarization plane of the reflected light rotates depending on the direction of the magnetic domain recorded on the recording surface, so that information is reproduced by utilizing the so-called Kerr rotation effect. Is made. In an optical information recording / reproducing apparatus for recording / reproducing information on / from such a magneto-optical disk, an emission light beam emitted from a laser diode (not shown) passes through the first beam splitter and the objective lens of the disk. The recording surface is irradiated. Then, the returning reflected light beam reflected by the recording surface of the disk is incident on the first beam splitter via the objective lens again. In the first beam splitter, the optical path of this returning reflected light beam is bent in the direction of 90 degrees and is made incident on the second beam splitter. In the second beam splitter, the incident returning reflected light beam is split into an S-polarized component and a P-polarized component,
The reproduction signal from the magneto-optical disk is obtained based on the output of the photodetector that detects the light intensities of the polarized component and the P-polarized component.

【0003】この様に前記した光学的情報記録再生装置
においては、第1および第2のビームスプリッタが具備
されており、これらのビームスプリッタによって光ビー
ムを反射または分光させるように成される。
As described above, the above-mentioned optical information recording / reproducing apparatus is provided with the first and second beam splitters, and these beam splitters are configured to reflect or disperse the light beam.

【0004】図5はそのビームスプリッタの一例を断面
図によって示したものである。すなわち、ビームスプリ
ッタは、断面正三角形の第1の光透過性基板1と第2の
光透過性基板2とが接着剤3により貼り合わせた構造に
成されている。図6はそのビームスプリッタの貼り合わ
せ面部分を拡大して示したものであり、前記第1の光透
過性基板1の貼り合わせ面には多層薄膜層による反射膜
4が形成されている。この結果、第1の光透過性基板に
入射される入射光5の一部は前記反射膜4によって反射
され、90度折り曲げられて反射光6として出射する。
また入射光5の他の一部は反射膜4を透過し、そのまま
透過光7として出射する。
FIG. 5 is a sectional view showing an example of the beam splitter. That is, the beam splitter has a structure in which the first light-transmissive substrate 1 and the second light-transmissive substrate 2 having an equilateral cross section are bonded by the adhesive 3. FIG. 6 is an enlarged view of a bonding surface portion of the beam splitter, and a reflective film 4 of a multi-layered thin film layer is formed on the bonding surface of the first light transmissive substrate 1. As a result, a part of the incident light 5 incident on the first light transmissive substrate is reflected by the reflective film 4, bent at 90 degrees and emitted as reflected light 6.
The other part of the incident light 5 passes through the reflective film 4 and is emitted as it is as the transmitted light 7.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記したよ
うなビームスプリッタにおいては、第1の光透過性基板
1の貼り合わせ面に形成された多層薄膜層による反射膜
4によって、干渉光としての反射光6が取り出される。
この時、多層薄膜層による干渉光(反射光)6に対し
て、接着剤3と第2の光透過性基板2との間の境界面2
aで発生する反射光8が干渉を起こすことになり、結果
として接着剤3の厚みにより反射光6の特性が変化する
ことになる。
By the way, in the beam splitter as described above, reflection as interference light is caused by the reflection film 4 of the multilayer thin film layer formed on the bonding surface of the first light transmissive substrate 1. The light 6 is extracted.
At this time, with respect to the interference light (reflected light) 6 due to the multilayer thin film layer, the boundary surface 2 between the adhesive 3 and the second light transmissive substrate 2
The reflected light 8 generated by a causes interference, and as a result, the characteristics of the reflected light 6 change depending on the thickness of the adhesive 3.

【0006】ここでビームスプリッタは、その製造工程
上、前記接着剤3の厚みを干渉の効果が一定となる程度
に制御することはきわめて困難である。すなわち反射膜
4を形成するにあたって、多層薄膜層のそれぞれの厚さ
は、現在の生産技術においては、例えばコンピュータへ
パラメータの設定等を行うことにより容易に求めること
が可能となっている。しかしながら第1と第2の光透過
性基板1,2を接着する接着剤3の厚さを、製造工程上
一定の数値に管理することはなかなか困難であり、製造
時のわずかな環境の変化により、大きな度合いでばらつ
きが発生する。
Here, in the beam splitter, it is extremely difficult to control the thickness of the adhesive 3 to such an extent that the effect of interference becomes constant due to the manufacturing process thereof. That is, in forming the reflective film 4, the thickness of each of the multilayer thin film layers can be easily obtained by setting parameters in a computer in the current production technology. However, it is difficult to control the thickness of the adhesive 3 for adhering the first and second light transmissive substrates 1 and 2 to a constant value in the manufacturing process, and due to a slight change in the environment during manufacturing. However, there is a large degree of variation.

【0007】従って結果として、反射膜4を構成する多
層薄膜層による干渉光6と、接着剤3と第2の光透過性
基板2との間の境界面2aで発生する反射光8との干渉
光の強度には、ばらつきを生ずることになる。
Therefore, as a result, the interference light 6 due to the multi-layer thin film layer constituting the reflection film 4 and the reflection light 8 generated at the boundary surface 2a between the adhesive 3 and the second light transmissive substrate 2 interfere with each other. There will be variations in the intensity of light.

【0008】本発明は、以上のような問題点に着目して
成されたものであり、反射光の特性が第1と第2の光透
過性基板の間の接着剤の厚さに依存することのないビー
ムスプリッタを提供することを第1の課題とするもので
あり、また前記したビームスプリッタを光学経路に用い
ることにより、安定な特性を有する光学的情報記録再生
装置を提供することを第2の課題とするものである。
The present invention has been made in view of the above problems, and the characteristics of reflected light depend on the thickness of the adhesive between the first and second light transmissive substrates. It is a first object of the present invention to provide a beam splitter without such a problem, and to provide an optical information recording / reproducing apparatus having stable characteristics by using the beam splitter described above in an optical path. This is the second issue.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前記課題を達成するため
に成された本発明のビームスプリッタは、第1の光透過
性基板と第2の光透過性基板とを接着剤により貼り合わ
せ、第1の光透過性基板の貼り合わせ面に多層薄膜層に
よる反射膜を形成させると共に、第2の光透過性基板の
貼り合わせ面には反射防止膜を形成したことを特徴とす
る。
The beam splitter of the present invention made to achieve the above object comprises a first light transmissive substrate and a second light transmissive substrate bonded together by an adhesive, It is characterized in that a reflection film of a multilayer thin film layer is formed on the bonding surface of the first light transmissive substrate, and an antireflection film is formed on the bonding surface of the second light transmissive substrate.

【0010】また本発明の光学的情報記録再生装置は、
光記録媒体に対して光ビームを照射する発光素子と、光
記録媒体からの反射光を反射および透過作用によって分
光させるビームスプリッタと、ビームスプリッタによっ
て分光された光をそれぞれ受光する受光素子とを具備し
たものであって、ビームスプリッタは第1の光透過性基
板と第2の光透過性基板とを接着剤により貼り合わせる
ことにより構成され、且つ第1の光透過性基板の貼り合
わせ面には多層薄膜層による反射膜が形成されると共
に、第2の光透過性基板の貼り合わせ面には反射防止膜
が形成されたことを特徴とする。
The optical information recording / reproducing apparatus of the present invention is
The optical recording medium includes a light emitting element that emits a light beam, a beam splitter that splits reflected light from the optical recording medium by reflection and transmission, and a light receiving element that receives the light split by the beam splitter. The beam splitter is configured by bonding the first light transmissive substrate and the second light transmissive substrate with an adhesive, and the bonding surface of the first light transmissive substrate is A reflective film is formed by a multi-layered thin film layer, and an antireflection film is formed on the bonding surface of the second light transmissive substrate.

【0011】[0011]

【作用】本発明のビームスプリッタにおいては、第1の
光透過性基板と第2の光透過性基板とが接着剤により貼
り合わされ、また第1の光透過性基板の貼り合わせ面に
は多層薄膜層による反射膜が形成され、この反射膜によ
って入射光の一部が90度方向に折り曲げられる。また
第2の光透過性基板の貼り合わせ面には反射防止膜が形
成されており、この反射防止膜の存在により、接着剤と
第2の光透過性基板との間の反射作用が阻止される。
In the beam splitter of the present invention, the first light-transmissive substrate and the second light-transmissive substrate are adhered to each other with an adhesive, and a multi-layer thin film is formed on the adhering surface of the first light-transmissive substrate. A reflective film is formed by the layers, and a part of the incident light is bent in the direction of 90 degrees by the reflective film. Further, an antireflection film is formed on the bonding surface of the second light transmissive substrate, and the presence of this antireflection film prevents the reflection action between the adhesive and the second light transmissive substrate. It

【0012】また本発明の光学的情報記録再生装置にお
いては、発光素子からの光ビームが光記録媒体の情報記
録面に対して照射され、その光記録媒体からの反射光が
ビームスプリッタに入射して反射および透過作用によっ
て2つの経路に分光される。ビームスプリッタによって
分光された光は例えば受光素子によってそれぞれ受光さ
れ、光記録媒体に記録された情報が再生される。光記録
媒体からの反射光を分光する前記ビームスプリッタは第
1の光透過性基板の貼り合わせ面に多層薄膜層による反
射膜が形成され、また第2の光透過性基板の貼り合わせ
面には反射防止膜が形成されており、この反射防止膜の
存在により、接着剤と第2の光透過性基板との間の反射
作用が阻止される。この結果、反射光の特性が第1と第
2の光透過性基板の間の接着剤の厚さに影響されること
のない、安定した光学特性に成される。
Further, in the optical information recording / reproducing apparatus of the present invention, the light beam from the light emitting element is applied to the information recording surface of the optical recording medium, and the reflected light from the optical recording medium is incident on the beam splitter. Are split into two paths by reflection and transmission. The light split by the beam splitter is received by, for example, a light receiving element, and the information recorded on the optical recording medium is reproduced. In the beam splitter for splitting the reflected light from the optical recording medium, a reflective film of a multilayer thin film layer is formed on the bonding surface of the first light transmissive substrate, and on the bonding surface of the second light transmissive substrate. An antireflection film is formed, and the presence of this antireflection film prevents the reflection action between the adhesive and the second light transmissive substrate. As a result, stable optical characteristics can be achieved without the reflected light characteristics being influenced by the thickness of the adhesive between the first and second light transmissive substrates.

【0013】[0013]

【実施例】以下本発明のビームスプリッタ及びこれを用
いた光学的情報記録再生装置の実施例について、図面を
参照して説明する。
Embodiments of the beam splitter of the present invention and an optical information recording / reproducing apparatus using the same will be described below with reference to the drawings.

【0014】まず、図1は本発明のビームスプリッタの
一実施例を断面図によって示したものである。なお図1
において、前記図5および図6に示したものと同一部分
は同一符号で示しており、従ってその詳細な説明は省略
する。本発明のビームスプリッタにおいては、第2の光
透過性基板2の貼り合わせ面に反射防止膜(ARコー
ト)9が形成された点に特徴を有し、多層薄膜層による
反射膜4を形成させた第1の光透過性基板1と、反射防
止膜9を形成した第2の光透過性基板2とが接着剤3に
よって貼り合わされた構成となっている。
First, FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the beam splitter of the present invention. Figure 1
5, the same parts as those shown in FIGS. 5 and 6 are designated by the same reference numerals, and therefore detailed description thereof will be omitted. The beam splitter of the present invention is characterized in that an antireflection film (AR coat) 9 is formed on the bonding surface of the second light transmissive substrate 2, and the reflection film 4 is formed by a multilayer thin film layer. The first light-transmissive substrate 1 and the second light-transmissive substrate 2 having the antireflection film 9 formed thereon are bonded to each other with an adhesive 3.

【0015】この様に第2の光透過性基板2の貼り合わ
せ面に反射防止膜9を形成させたことにより、接着剤3
と反射防止膜9および反射防止膜9と第2の光透過性基
板2との境界面で発生する反射光の発生を極端に少なく
させることが可能となり、従って反射光の特性が第1と
第2の光透過性基板1,2の間の接着剤3の厚さに影響
されることのない、安定した光学的な反射特性に成され
る。
By thus forming the antireflection film 9 on the bonding surface of the second light transmissive substrate 2, the adhesive 3
It is possible to extremely reduce the generation of the reflected light generated at the antireflection film 9 and the boundary surface between the antireflection film 9 and the second light transmissive substrate 2, and therefore the characteristics of the reflected light are the first and the second. Stable optical reflection characteristics are obtained without being affected by the thickness of the adhesive 3 between the two light transmissive substrates 1 and 2.

【0016】この場合、第2の光透過性基板2の貼り合
わせ面に施される反射防止膜9は、接着剤3の屈折率を
Np、第2の光透過性基板2の屈折率をNsとしたとき、
両者の差であるNs−Npの値が大である程、反射防止膜
9による効果が増大される。一般に第2の光透過性基板
2の屈折率Nsが1.6より大であり、またNs−Npの
値が0.1よりも大であるような組み合わせが考えられ
る。
In this case, the antireflection film 9 provided on the bonding surface of the second light transmissive substrate 2 has a refractive index Np of the adhesive 3 and a refractive index Ns of the second light transmissive substrate 2. And when
The larger the value of Ns-Np, which is the difference between the two, the greater the effect of the antireflection film 9. Generally, a combination in which the refractive index Ns of the second light transmissive substrate 2 is larger than 1.6 and the value of Ns-Np is larger than 0.1 can be considered.

【0017】この反射防止膜9は例えば2層以上の薄膜
層を堆積させたものにより構成させることができる。例
えば第1の光透過性基板1の貼り合わせ面に形成される
多層薄膜層による反射膜4は10層以上から成り、また
第2の光透過性基板2の貼り合わせ面に形成される反射
防止膜9は5層以下から構成される。
The antireflection film 9 can be composed of, for example, two or more thin film layers deposited. For example, the reflective film 4 formed of a multilayer thin film layer formed on the bonding surface of the first light transmissive substrate 1 is composed of 10 layers or more, and the antireflection film formed on the bonding surface of the second light transmissive substrate 2 is formed. The membrane 9 is composed of 5 layers or less.

【0018】また接着剤として紫外線硬化樹脂を用い、
第1と第2の光透過性基板1,2にそれぞれ材料名SF
−11を用いた場合、接着剤の屈折率Npは1.5以下
であり、また光透過性基板の屈折率Nsは1.76以下
となる。この様な組み合わせの場合、反射防止膜9とし
て、酸化アルミニウム(Al2O3 )を用いると、その
屈折率は1.67以下であり、酸化アルミニウムによる
単層による反射防止膜が実現できる。
An ultraviolet curable resin is used as an adhesive,
The material name SF is applied to the first and second light transmissive substrates 1 and 2, respectively.
When -11 is used, the refractive index Np of the adhesive is 1.5 or less, and the refractive index Ns of the light transmissive substrate is 1.76 or less. In the case of such a combination, when aluminum oxide (Al2O3) is used as the antireflection film 9, the refractive index thereof is 1.67 or less, and a single-layer antireflection film of aluminum oxide can be realized.

【0019】図2はP偏光成分の反射率が15%以下の
ビームスプリッタの入射角特性を示したものである。す
なわち図2において横軸は中心入射角を中央にして、そ
の入射角の増減量を±で示したものであり、縦軸はその
入射角におけるP偏光成分の反射率を示したものであ
る。この図2におけるAは、接着剤3と反射防止膜9お
よび反射防止膜9と第2の光透過性基板2との境界面で
発生する反射を考慮した特性であり、また図2における
Bは、接着剤3と反射防止膜9および反射防止膜9と第
2の光透過性基板2との境界面で発生する反射を考慮し
ない場合の特性である。
FIG. 2 shows the incident angle characteristic of the beam splitter having a reflectance of the P-polarized component of 15% or less. That is, in FIG. 2, the horizontal axis represents the central incident angle as the center, and the amount of increase or decrease of the incident angle is represented by ±, and the vertical axis represents the reflectance of the P-polarized component at the incident angle. A in FIG. 2 is a characteristic in consideration of reflection occurring at the boundary surface between the adhesive 3, the antireflection film 9 and the antireflection film 9 and the second light transmissive substrate 2, and B in FIG. The characteristics are obtained when the reflection occurring at the interface between the adhesive 3 and the antireflection film 9 and between the antireflection film 9 and the second light transmissive substrate 2 is not considered.

【0020】接着剤3と反射防止膜9および反射防止膜
9と第2の光透過性基板2との境界面で発生する反射を
考慮すれば、入射角の大きい範囲(反射膜9への入射角
が増加する方向、すなわち図2中横軸の+方向)で反射
率の影響がより大きく出ていることが分かる。これは少
なくとも中心入射角よりも大きい入射角となる範囲にお
いて、反射が十分小さくなる特性を有する反射膜9を施
せば、広い入射角範囲において安定した特性が得られる
ことを意味する。
Considering the reflection generated at the boundary surface between the adhesive 3, the antireflection film 9 and the antireflection film 9 and the second light transmissive substrate 2, the range of the incident angle is large (incident on the reflection film 9). It can be seen that the influence of the reflectance is greater in the direction in which the angle increases, that is, in the + direction of the horizontal axis in FIG. This means that stable characteristics can be obtained in a wide incident angle range by providing the reflective film 9 having a characteristic that the reflection is sufficiently small in the range where the incident angle is larger than the central incident angle.

【0021】前記図2においては、P偏光成分の反射率
が15%以下のビームスプリッタの特性例を示したが、
他の場合においても同様の作用が得られる。また反射膜
は入射光の偏光方向により反射率または透過率が異なる
偏向ビームスプリッタ、例えばP偏光成分の反射率が1
0%乃至0%であり、S偏光成分の反射率が90%乃至
100%の特性を有する一般的な偏光ビームスプリッタ
や、偏光に関係なく反射光と透過光の比率が略1:1に
分光するハーフプリズムについても同様の作用を有す
る。
In FIG. 2, the characteristic example of the beam splitter having a reflectance of the P-polarized component of 15% or less is shown.
Similar effects can be obtained in other cases. Further, the reflection film is a polarizing beam splitter whose reflectance or transmittance differs depending on the polarization direction of incident light, for example, the reflectance of the P-polarized component is 1
It is 0% to 0%, and a general polarization beam splitter having a characteristic that the reflectance of the S-polarized component is 90% to 100%, and the ratio of reflected light to transmitted light is approximately 1: 1 regardless of polarization. The half prism having the same function has the same effect.

【0022】図3は前記したビームスプリッタを用いた
本発明の光学的情報記録再生装置の第1の実施例を示し
たものである。図3において、10はクランパ11によ
って保持されスピンドルモータ12によって回転駆動さ
れる光記録媒体としての光磁気ディスクであり、このデ
ィスク10の情報記録面には、バイアスマグネットコイ
ル13が近接配置され、このコイル13にドライブ電流
を供給するバイアスマグネットドライバ14、このドラ
イバ14に制御信号を与えるEFMエンコーダ等が具備
されている。
FIG. 3 shows a first embodiment of the optical information recording / reproducing apparatus of the present invention using the above-mentioned beam splitter. In FIG. 3, reference numeral 10 denotes a magneto-optical disk as an optical recording medium which is held by a clamper 11 and rotationally driven by a spindle motor 12, and a bias magnet coil 13 is arranged in proximity to the information recording surface of the disk 10. A bias magnet driver 14 that supplies a drive current to the coil 13 and an EFM encoder that supplies a control signal to the driver 14 are provided.

【0023】そして発光素子としてのレーザダイオード
16から出射される出射光ビームはコリメータレンズ1
7によって平行光に変換される。このコリメータレンズ
17によって平行光に変換されたビーム光は、グレーテ
ィング18を介して第1のビームスプリッタ19に入射
される。この第1の偏光ビームスプリッタ19は、入射
するレーザダイオード16からの出射光ビームを透過さ
せる特性を有しており、その透過光は対物レンズ20に
よって集光され、前記光磁気ディスク10の情報記録面
に投射される。そして前記光磁気ディスク10によって
反射された戻りの反射光ビームは再び対物レンズ20に
よって平行光に戻され、前記第1のビームスプリッタ1
9に入射される。
The emitted light beam emitted from the laser diode 16 as the light emitting element is collimator lens 1
It is converted into parallel light by 7. The beam light converted into parallel light by the collimator lens 17 is incident on the first beam splitter 19 via the grating 18. The first polarization beam splitter 19 has a characteristic of transmitting an incident light beam emitted from the laser diode 16, and the transmitted light is condensed by the objective lens 20 to record information on the magneto-optical disk 10. Is projected on the surface. The returning reflected light beam reflected by the magneto-optical disk 10 is returned to parallel light by the objective lens 20 again, and the first beam splitter 1
It is incident on 9.

【0024】第1のビームスプリッタ19においては、
反射膜による反射作用により、ディスク10からの反射
光ビームが90度方向に折り曲げられる。そして前記第
1のビームスプリッタ18の反射膜により90度方向に
折り曲げられた反射光ビームはグレーティング21、集
光レンズ22、23を介して第2のビームスプリッタ2
4に入射する。この第2のビームスプリッタ24はディ
スク10からの反射光ビームをP偏光成分と、S偏光成
分に分離し、例えばP偏光成分はこの偏光ビームスプリ
ッタ24において90度方向に反射され受光素子として
の第1のフォトディテクタ16に入射される。またS偏
光成分は第2のビームスプリッタ24を通過し、第2の
フォトディテクタ26に入射される。
In the first beam splitter 19,
Due to the reflection effect of the reflection film, the reflected light beam from the disk 10 is bent in the direction of 90 degrees. The reflected light beam bent in the 90 ° direction by the reflection film of the first beam splitter 18 is passed through the grating 21 and the condenser lenses 22 and 23 to the second beam splitter 2
It is incident on 4. The second beam splitter 24 splits the reflected light beam from the disk 10 into a P-polarized component and an S-polarized component. For example, the P-polarized component is reflected by the polarizing beam splitter 24 in the direction of 90 degrees and serves as a light receiving element. It is incident on the first photo detector 16. The S-polarized component passes through the second beam splitter 24 and is incident on the second photo detector 26.

【0025】そして前記第1のフォトディテクタ25お
よび第2のフォトディテクタ26によって得られるそれ
ぞれの出力信号は差動増幅器(図示せず)によりそれら
の差成分が抽出される。これによりディスク10の記録
面上での反射によって発生する光ビームの偏光面の回転
が検出され、結果として光磁気ディスクにおける記録情
報が再生される。
The difference components of the respective output signals obtained by the first photodetector 25 and the second photodetector 26 are extracted by a differential amplifier (not shown). As a result, the rotation of the plane of polarization of the light beam caused by the reflection on the recording surface of the disk 10 is detected, and as a result, the recorded information on the magneto-optical disk is reproduced.

【0026】以上の構成における第1および第2のビー
ムスプリッタ19,24はそれぞれ前記図1に示すよう
に第1の光透過性基板1の貼り合わせ面に多層薄膜層に
よる反射膜4が形成され、第2の光透過性基板2の貼り
合わせ面に反射防止膜9が形成されており、従って接着
剤3と反射防止膜9および反射防止膜9と第2の光透過
性基板2との境界面で発生する反射を効果的に阻止す
る。
In the first and second beam splitters 19 and 24 having the above-described structure, as shown in FIG. 1, the reflection film 4 formed of a multilayer thin film layer is formed on the bonding surface of the first light transmissive substrate 1. , The antireflection film 9 is formed on the bonding surface of the second light transmissive substrate 2, and thus the boundary between the adhesive 3 and the antireflection film 9 and the antireflection film 9 and the second light transmissive substrate 2 is formed. Effectively blocks reflections that occur on surfaces.

【0027】この結果、反射光の特性が第1と第2の光
透過性基板の間の接着剤の厚さに影響されることのな
い、安定した光学特性に成され、光記録媒体からの再生
出力特性にばらつきのない復調信号を得ることが可能と
なる。
As a result, the characteristics of the reflected light are not affected by the thickness of the adhesive between the first and second light-transmissive substrates, and stable optical characteristics are obtained. It is possible to obtain a demodulated signal without variations in reproduction output characteristics.

【0028】図4は前記したビームスプリッタを用いた
本発明の光学的情報記録再生装置の第2の実施例を示し
たものである。この図4において、前記図3と同一符号
部分はそれぞれ同一または相当部分を示しており、従っ
てその詳細な説明は省略する。この図4に示す実施例お
いては、第1および第2のビームスプリッタ19,24
がそれぞれ収束または発散光路上に配置されている。第
1および第2のビームスプリッタ19,24は入射角に
相当の範囲を持たせることが可能なため、この図4に示
すようにビームスプリッタ19,24を収束または発散
光路上に配置させることで大幅な部品点数の削減および
光ヘッドユニットの小型軽量化が実現できる。
FIG. 4 shows a second embodiment of the optical information recording / reproducing apparatus of the present invention using the above-mentioned beam splitter. In FIG. 4, the same reference numerals as in FIG. 3 indicate the same or corresponding portions, and therefore detailed description thereof will be omitted. In the embodiment shown in FIG. 4, the first and second beam splitters 19 and 24 are provided.
Are arranged on the converging or diverging optical paths, respectively. Since the first and second beam splitters 19 and 24 can have a considerable range of incident angles, by arranging the beam splitters 19 and 24 on a converging or diverging optical path as shown in FIG. It is possible to significantly reduce the number of parts and reduce the size and weight of the optical head unit.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
ビームスプリッタによれば、第1の光透過性基板と第2
の光透過性基板とが接着剤により貼り合わされ、また第
1の光透過性基板の貼り合わせ面には多層薄膜層による
反射膜が形成され、この反射膜によって入射光の一部が
90度方向に折り曲げられる。また第2の光透過性基板
の貼り合わせ面には反射防止膜が形成されており、この
反射防止膜の存在により、接着剤と第2の光透過性基板
との間の反射作用が阻止される。この結果、反射光の特
性が第1と第2の光透過性基板の間の接着剤の厚さに依
存することのないビームスプリッタを提供することが可
能となる。
As is apparent from the above description, according to the beam splitter of the present invention, the first light transmissive substrate and the second light transmissive substrate are used.
The light-transmissive substrate is adhered to the first light-transmissive substrate by a bonding agent, and a reflective film formed of a multi-layer thin film layer is formed on the bonding surface of the first light-transmissive substrate. Can be folded into Further, an antireflection film is formed on the bonding surface of the second light transmissive substrate, and the presence of this antireflection film prevents the reflection action between the adhesive and the second light transmissive substrate. It As a result, it is possible to provide a beam splitter in which the characteristics of reflected light do not depend on the thickness of the adhesive between the first and second light transmissive substrates.

【0030】また本発明の光学的情報記録再生装置によ
れば、発光素子からの光ビームが光記録媒体の情報記録
面に対して照射され、その光記録媒体からの反射光がビ
ームスプリッタに入射して反射および透過作用によって
2つの経路に分光される。ビームスプリッタによって分
光された光は例えば受光素子によってそれぞれ受光さ
れ、光記録媒体に記録された情報が再生される。そして
光記録媒体からの反射光を分光する前記ビームスプリッ
タは第1の光透過性基板の貼り合わせ面に多層薄膜層に
よる反射膜が形成され、また第2の光透過性基板の貼り
合わせ面には反射防止膜が形成されており、この反射防
止膜の存在により、接着剤と第2の光透過性基板との間
の反射作用が阻止される。この結果、反射光の特性が第
1と第2の光透過性基板の間の接着剤の厚さに影響され
ることのない、安定した光学特性に成される。従って光
記録媒体からの再生出力特性にばらつきのない復調信号
を得ることが可能となる。
According to the optical information recording / reproducing apparatus of the present invention, the light beam from the light emitting element is applied to the information recording surface of the optical recording medium, and the reflected light from the optical recording medium is incident on the beam splitter. It is then split into two paths by reflection and transmission. The light split by the beam splitter is received by, for example, a light receiving element, and the information recorded on the optical recording medium is reproduced. In the beam splitter that separates the reflected light from the optical recording medium, a reflective film of a multi-layer thin film layer is formed on the bonding surface of the first light transmissive substrate, and on the bonding surface of the second light transmissive substrate. Has an antireflection film formed thereon, and the presence of this antireflection film prevents the reflection action between the adhesive and the second light transmissive substrate. As a result, stable optical characteristics can be achieved without the reflected light characteristics being influenced by the thickness of the adhesive between the first and second light transmissive substrates. Therefore, it is possible to obtain a demodulated signal without variations in reproduction output characteristics from the optical recording medium.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のビームスプリッタの実施例を示した構
成図
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a beam splitter of the present invention.

【図2】図1に示すビームスプリッタの入射角対反射率
特性を示した特性図
FIG. 2 is a characteristic diagram showing an incident angle vs. reflectance characteristic of the beam splitter shown in FIG.

【図3】本発明のビームスプリッタを用いた光学的情報
記録再生装置の第1の実施例を示した構成図
FIG. 3 is a configuration diagram showing a first embodiment of an optical information recording / reproducing apparatus using a beam splitter of the present invention.

【図4】本発明のビームスプリッタを用いた光学的情報
記録再生装置の第2の実施例を示した構成図
FIG. 4 is a configuration diagram showing a second embodiment of the optical information recording / reproducing apparatus using the beam splitter of the present invention.

【図5】従来のビームスプリッタの一例を示した断面図FIG. 5 is a sectional view showing an example of a conventional beam splitter.

【図6】図5に示す従来のビームスプリッタの接合部分
を拡大して示した断面図
FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing a joint portion of the conventional beam splitter shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 第1の光透過性基板 2 第2の光透過性基板 3 接着剤 4 反射膜 5 入射光 6 反射光 7 透過光 8 反射光 9 反射防止膜 10 ディスク(光記録媒体) 11 クランパ 12 スピンドルモータ 13 バイアスマグネットコイル 14 バイアスマグネットドライバ 15 EFMエンコーダ 16 レーザダイオード(発光素子) 17 コリメータレンズ 19 第1のビームスプリッタ 20 対物レンズ 22 集光レンズ 23 集光レンズ 24 第2のビームスプリッタ 25 第1のフォトディテクタ(受光素子) 26 第2のフォトディテクタ(受光素子) 1 First Light-Transmissive Substrate 2 Second Light-Transmissive Substrate 3 Adhesive 4 Reflective Film 5 Incident Light 6 Reflected Light 7 Transmitted Light 8 Reflected Light 9 Antireflection Film 10 Disk (Optical Recording Medium) 11 Clamper 12 Spindle Motor 13 Bias Magnet Coil 14 Bias Magnet Driver 15 EFM Encoder 16 Laser Diode (Light Emitting Element) 17 Collimator Lens 19 First Beam Splitter 20 Objective Lens 22 Condensing Lens 23 Condensing Lens 24 Second Beam Splitter 25 First Photo Detector ( Light receiving element) 26 Second photo detector (light receiving element)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G11B 11/10 551 E 8935−5D ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI technical display location G11B 11/10 551 E 8935-5D

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1の光透過性基板と第2の光透過性基
板とを接着剤により貼り合わせ、前記第1の光透過性基
板の貼り合わせ面に多層薄膜層による反射膜を形成させ
たビームスプリッタであって、 前記第2の光透過性基板の貼り合わせ面には反射防止膜
を形成したことを特徴とするビームスプリッタ。
1. A first light-transmissive substrate and a second light-transmissive substrate are bonded to each other with an adhesive, and a reflective film of a multilayer thin film layer is formed on a bonding surface of the first light-transmissive substrate. A beam splitter, wherein an antireflection film is formed on a bonding surface of the second light transmissive substrate.
【請求項2】 前記第1の光透過性基板の貼り合わせ面
に形成される多層薄膜層による反射膜は10層以上から
成り、また前記第2の光透過性基板の貼り合わせ面に形
成される反射防止膜は5層以下から成ることを特徴とす
る請求項1に記載のビームスプリッタ。
2. A reflective film formed of a multilayer thin film layer formed on the bonding surface of the first light transmissive substrate is composed of 10 layers or more, and is formed on the bonding surface of the second light transmissive substrate. The beam splitter according to claim 1, wherein the antireflection film is composed of 5 layers or less.
【請求項3】 前記第2の光透過性基板の屈折率と前記
接着剤の屈折率との差は、0.1よりも大きいことを特
徴とする請求項1乃至2に記載のビームスプリッタ。
3. The beam splitter according to claim 1, wherein the difference between the refractive index of the second light transmissive substrate and the refractive index of the adhesive is greater than 0.1.
【請求項4】 前記第2の光透過性基板の屈折率が1.
6よりも大きいことを特徴とする請求項1乃至3に記載
のビームスプリッタ。
4. The refractive index of the second light transmissive substrate is 1.
The beam splitter according to claim 1, wherein the beam splitter is larger than 6.
【請求項5】 前記反射防止膜はアルミニュームの酸化
物を主成分とする誘電体膜の1層のみで形成されたこと
を特徴とする請求項1乃至4に記載のビームスプリッ
タ。
5. The beam splitter according to claim 1, wherein the antireflection film is formed by only one layer of a dielectric film containing aluminum oxide as a main component.
【請求項6】 前記反射防止膜は少なくとも中心入射角
よりも大きな入射角において反射を防止する特性を有し
ていることを特徴とする請求項1乃至5に記載のビーム
スプリッタ。
6. The beam splitter according to claim 1, wherein the antireflection film has a property of preventing reflection at an incident angle larger than at least a central incident angle.
【請求項7】 前記反射膜は入射光の偏光方向により反
射率または透過率が異なることを特徴とする請求項1乃
至6に記載のビームスプリッタ。
7. The beam splitter according to claim 1, wherein the reflection film has different reflectance or transmittance depending on a polarization direction of incident light.
【請求項8】 前記反射膜はS偏光成分の反射率が90
%以上であり、P偏光成分の反射率が10%以下である
ことを特徴とする請求項1乃至7に記載のビームスプリ
ッタ。
8. The reflective film has an S-polarized component reflectance of 90.
% Or more, and the reflectance of the P-polarized component is 10% or less, The beam splitter according to claim 1.
【請求項9】 前記反射膜は入射光に対する反射率およ
び透過率が略均等に成されたことを特徴とする請求項1
乃至6に記載のビームスプリッタ。
9. The reflection film is formed so that the reflectance and the transmittance with respect to incident light are substantially equal to each other.
7. The beam splitter according to any one of 6 to 6.
【請求項10】 光記録媒体に対して光ビームを照射す
る発光素子と、前記光記録媒体からの反射光を反射およ
び透過作用によって分光させるビームスプリッタと、前
記ビームスプリッタによって分光された光をそれぞれ受
光する受光素子とを具備したものであって、 前記ビームスプリッタは第1の光透過性基板と第2の光
透過性基板とを接着剤により貼り合わせることにより構
成され、且つ前記第1の光透過性基板の貼り合わせ面に
は多層薄膜層による反射膜が形成されると共に、前記第
2の光透過性基板の貼り合わせ面には反射防止膜が形成
されたことを特徴とする光学的情報記録再生装置。
10. A light emitting element for irradiating a light beam to an optical recording medium, a beam splitter for splitting reflected light from the optical recording medium by reflection and transmission effects, and light split by the beam splitter. A light-receiving element for receiving light, wherein the beam splitter is configured by bonding a first light-transmissive substrate and a second light-transmissive substrate with an adhesive, and Optical information, characterized in that a reflective film of a multi-layered thin film layer is formed on the bonding surface of the transparent substrate, and an antireflection film is formed on the bonding surface of the second light transmissive substrate. Recording / playback device.
【請求項11】 前記ビームスプリッタは発散または収
束光路中に配置されていることを特徴とする請求項10
に記載の光学的情報記録再生装置。
11. The beam splitter is arranged in a diverging or converging optical path.
The optical information recording / reproducing apparatus described in 1.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010243641A (en) * 2009-04-02 2010-10-28 Fujifilm Corp Cemented optical element and cementing method
JP2011060422A (en) * 2004-06-03 2011-03-24 Panasonic Corp Optical head for optical recording and reproducing device
JP2011107285A (en) * 2009-11-13 2011-06-02 Fujifilm Corp Light quantity splitting prism and imaging apparatus

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