JPH0727434A - 極低温冷凍機 - Google Patents
極低温冷凍機Info
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- JPH0727434A JPH0727434A JP6097615A JP9761594A JPH0727434A JP H0727434 A JPH0727434 A JP H0727434A JP 6097615 A JP6097615 A JP 6097615A JP 9761594 A JP9761594 A JP 9761594A JP H0727434 A JPH0727434 A JP H0727434A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】特に４．２Ｋ付近における冷凍能力の向上を図
れる蓄冷式の極低温冷凍機を提供する。 【構成】最終段の蓄冷器流路を構成している通路２３内
の高温側には組成が一般式（Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 Ｎｉ
(y) Ｃｏ(1-y) で表される（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦
y≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類
元素）蓄冷材２４ａが充填されており、低温側には一般
式Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される（た
だし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，
Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓ
ｃから選ばれた希土類元素−）蓄冷材２４ｂが充填され
ている。
れる蓄冷式の極低温冷凍機を提供する。 【構成】最終段の蓄冷器流路を構成している通路２３内
の高温側には組成が一般式（Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 Ｎｉ
(y) Ｃｏ(1-y) で表される（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦
y≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類
元素）蓄冷材２４ａが充填されており、低温側には一般
式Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される（た
だし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，
Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓ
ｃから選ばれた希土類元素−）蓄冷材２４ｂが充填され
ている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、極低温冷凍機に係り、
特に蓄冷式の冷凍機に関する。
特に蓄冷式の冷凍機に関する。
【０００２】
【従来の技術】極低温の冷凍機には種々のタイプがあ
る。これらの中にギフォード・マクマホン冷凍機で代表
される蓄冷式の極低温冷凍機がある。この蓄冷式の極低
温冷凍機は、通常、圧縮されたヘリウムガスを蓄冷器に
通して冷却した後に低温部で膨脹させて寒冷を発生さ
せ、この低温のヘリウムガスを逆の経路で蓄冷器に通
し、蓄冷器内の蓄冷材を冷却した後に回収するサイクル
を採用している。
る。これらの中にギフォード・マクマホン冷凍機で代表
される蓄冷式の極低温冷凍機がある。この蓄冷式の極低
温冷凍機は、通常、圧縮されたヘリウムガスを蓄冷器に
通して冷却した後に低温部で膨脹させて寒冷を発生さ
せ、この低温のヘリウムガスを逆の経路で蓄冷器に通
し、蓄冷器内の蓄冷材を冷却した後に回収するサイクル
を採用している。
【０００３】ところで、このような蓄冷式の極低温冷凍
機では、常温部から低温部にかけて蓄冷器を複数段設け
ているものが多い。そして、最も低温側に位置する蓄冷
器、つまり最終段蓄冷器においては、低温下において比
熱の高い鉛が蓄冷材として用いられている。
機では、常温部から低温部にかけて蓄冷器を複数段設け
ているものが多い。そして、最も低温側に位置する蓄冷
器、つまり最終段蓄冷器においては、低温下において比
熱の高い鉛が蓄冷材として用いられている。
【０００４】しかしながら、上記のように最終段蓄冷器
の蓄冷材として鉛を用いた極低温冷凍機にあっては次の
ような問題があった。すなわち、鉛は低温下において比
熱の高い材料であるが、１５Ｋ以下になると温度の低下
に伴って比熱が急激に低下する。このため、最終段蓄冷
器の蓄冷材として鉛を用いたものでは、熱交換効率の低
下が影響して１０Ｋ以下を実現することが困難であっ
た。
の蓄冷材として鉛を用いた極低温冷凍機にあっては次の
ような問題があった。すなわち、鉛は低温下において比
熱の高い材料であるが、１５Ｋ以下になると温度の低下
に伴って比熱が急激に低下する。このため、最終段蓄冷
器の蓄冷材として鉛を用いたものでは、熱交換効率の低
下が影響して１０Ｋ以下を実現することが困難であっ
た。
【０００５】そこで、このような不具合を解消するため
に、最近では１０Ｋ以下における比熱が鉛より大きいＥ
ｒ3 Ｎｉを最終段蓄冷器の蓄冷材として用いた極低温冷
凍機が出現している。Ｅｒ3 Ｎｉを最終段蓄冷器の蓄冷
材として用いると、到達最低温度を４Ｋレベルまで下げ
ることができ、４．２Ｋ（液体ヘリウム温度）において
０．２Ｗ程度の冷凍能力が得られ、しかも１５Ｋ程度ま
での冷凍能力も鉛を用いたものより高い値が得られる。
に、最近では１０Ｋ以下における比熱が鉛より大きいＥ
ｒ3 Ｎｉを最終段蓄冷器の蓄冷材として用いた極低温冷
凍機が出現している。Ｅｒ3 Ｎｉを最終段蓄冷器の蓄冷
材として用いると、到達最低温度を４Ｋレベルまで下げ
ることができ、４．２Ｋ（液体ヘリウム温度）において
０．２Ｗ程度の冷凍能力が得られ、しかも１５Ｋ程度ま
での冷凍能力も鉛を用いたものより高い値が得られる。
【０００６】しかし、Ｅｒ3 Ｎｉを最終段蓄冷器の蓄冷
材として用いた極低温冷凍機にあっても、１０Ｋ付近以
下においてＥｒ3 Ｎｉの比熱が小さいため、特に４．２
Ｋ付近における冷凍能力がまだ低いという問題があっ
た。
材として用いた極低温冷凍機にあっても、１０Ｋ付近以
下においてＥｒ3 Ｎｉの比熱が小さいため、特に４．２
Ｋ付近における冷凍能力がまだ低いという問題があっ
た。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述の如く、従来の蓄
冷式の極低温冷凍機にあっては、産業上、重要な温度で
ある４．２Ｋ付近において冷凍能力がまだ低いという問
題があった。そこで本発明は、４．２Ｋ付近において冷
凍能力の高い蓄冷式の極低温冷凍機を提供することを目
的としている。
冷式の極低温冷凍機にあっては、産業上、重要な温度で
ある４．２Ｋ付近において冷凍能力がまだ低いという問
題があった。そこで本発明は、４．２Ｋ付近において冷
凍能力の高い蓄冷式の極低温冷凍機を提供することを目
的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る蓄冷式の極低温冷凍機では、最終段に
位置している蓄冷器に、下記の一般式で表される組成の
蓄冷材Ａと、同じく下記の一般式で表される組成の蓄冷
材Ｂとを充填している。
に、本発明に係る蓄冷式の極低温冷凍機では、最終段に
位置している蓄冷器に、下記の一般式で表される組成の
蓄冷材Ａと、同じく下記の一般式で表される組成の蓄冷
材Ｂとを充填している。
【０００９】蓄冷材Ａ (a) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 Ｎｉ(y) Ｃｏ
(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y
≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，
Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元
素）または、(b) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃ
ｕ(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦
y ≦1 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類
元素）または、(c) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2
で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦0.85）または、
(d) 一般式 Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｒｈで表される組成物
（ただし、0 ≦x ≦0.3 ）または、(e) 一般式 Ｅｒ
(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される組成物（た
だし、 0≦ x≦ 1、 0≦ y≦ 1、ＲはＧｄ，Ｔｂ，Ｄ
ｙ，Ｈｏから選ばれた希土類元素） 蓄冷材Ｂ (f) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表
される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、Ｒは
Ｙ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、(g) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 ＡｌＣ(y) で
表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、Ｒ
はＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、(h) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 で表される
組成物（ただし、0.85≦ x≦ 1）または、(i) 一般式
Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x)Ｒｈで表される組成物（ただし、0.3
≦x ≦1）または、(j) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)）
(1-y) Ｒｕ(y) で表される組成物（ただし、0.5 ≦x ≦
1 、0 ≦y ≦0.7 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，
Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれ
た希土類元素）または、(k) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)
Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦x
≦1 、0 ≦y ≦1 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，
Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれ
た希土類元素） なお、上記蓄冷材Ｂを低温側に充填することが好まし
く、さらに蓄冷材Ｂを体積比で１０〜９０％の範囲に充
填することが好ましい。
(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y
≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，
Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元
素）または、(b) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃ
ｕ(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦
y ≦1 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類
元素）または、(c) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2
で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦0.85）または、
(d) 一般式 Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｒｈで表される組成物
（ただし、0 ≦x ≦0.3 ）または、(e) 一般式 Ｅｒ
(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される組成物（た
だし、 0≦ x≦ 1、 0≦ y≦ 1、ＲはＧｄ，Ｔｂ，Ｄ
ｙ，Ｈｏから選ばれた希土類元素） 蓄冷材Ｂ (f) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表
される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、Ｒは
Ｙ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、(g) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 ＡｌＣ(y) で
表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、Ｒ
はＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、(h) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 で表される
組成物（ただし、0.85≦ x≦ 1）または、(i) 一般式
Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x)Ｒｈで表される組成物（ただし、0.3
≦x ≦1）または、(j) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)）
(1-y) Ｒｕ(y) で表される組成物（ただし、0.5 ≦x ≦
1 、0 ≦y ≦0.7 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，
Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれ
た希土類元素）または、(k) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)
Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦x
≦1 、0 ≦y ≦1 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，
Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれ
た希土類元素） なお、上記蓄冷材Ｂを低温側に充填することが好まし
く、さらに蓄冷材Ｂを体積比で１０〜９０％の範囲に充
填することが好ましい。
【００１０】また、蓄冷材に添加すべき希土類元素の中
からＬａ，Ｃｅ，Ｐｍを意識的に除いた。ＬａおよびＣ
ｅは活性のために容易に酸化され、工業上の利用可能性
がないことが判明したからである。また、Ｐｍは自然界
で安定に存在し得ないので、供給することができないか
らである。
からＬａ，Ｃｅ，Ｐｍを意識的に除いた。ＬａおよびＣ
ｅは活性のために容易に酸化され、工業上の利用可能性
がないことが判明したからである。また、Ｐｍは自然界
で安定に存在し得ないので、供給することができないか
らである。
【００１１】蓄冷材ＡおよびＢは適当なサイズのペレッ
トに形成されている。最終段蓄冷室内に仕切り部材を設
けて、これにより蓄冷材ＡおよびＢのペレットを互いに
分離した場合には、蓄冷材ＡおよびＢのペレットが蓄冷
室内で互いに混じり合わないので、それぞれが比熱ピー
クを示す温度域に応じた適材適所の配置となり、この結
果、冷凍機の冷凍効率が飛躍的に向上する。
トに形成されている。最終段蓄冷室内に仕切り部材を設
けて、これにより蓄冷材ＡおよびＢのペレットを互いに
分離した場合には、蓄冷材ＡおよびＢのペレットが蓄冷
室内で互いに混じり合わないので、それぞれが比熱ピー
クを示す温度域に応じた適材適所の配置となり、この結
果、冷凍機の冷凍効率が飛躍的に向上する。
【００１２】また、蓄冷材Ａ，Ｂのいずれの組成におい
ても、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｚ
ｒ，Ｙ，Ｉｎ，Ｇａ，Ａｌなどの元素を添加してもよ
い。これらの添加により、Ａ群，Ｂ群で示される蓄冷材
の磁気転移点を微妙に変化させ、比熱のピーク位置を微
調整したり、蓄冷材の熱伝導特性を向上させることがで
きる。たとえば、低温側蓄冷材Ｂ群に属するＥｒＮｉに
おいては、ＣｕやＹを添加することで磁気転移点を低下
させることができる。
ても、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｚ
ｒ，Ｙ，Ｉｎ，Ｇａ，Ａｌなどの元素を添加してもよ
い。これらの添加により、Ａ群，Ｂ群で示される蓄冷材
の磁気転移点を微妙に変化させ、比熱のピーク位置を微
調整したり、蓄冷材の熱伝導特性を向上させることがで
きる。たとえば、低温側蓄冷材Ｂ群に属するＥｒＮｉに
おいては、ＣｕやＹを添加することで磁気転移点を低下
させることができる。
【００１３】
【作用】上記蓄冷材Ａは、一般式中の x,y のいずれか
一方または両方が選択されることにより、１０Ｋより高
温の領域においてＥｒ3 Ｎｉよりも高いか、あるいは等
しい比熱を示す。また、上記蓄冷材Ｂは、一般式中の
x,y のいずれか一方または両方が選択されることによ
り、１０Ｋ以下の温度領域においてＥｒ3 Ｎｉよりも高
い比熱を示す。したがって、蓄冷材Ｂを低温側に充填し
ておくことによって、４．２Ｋ付近での冷凍能力を大幅
に向上させることが可能となる。
一方または両方が選択されることにより、１０Ｋより高
温の領域においてＥｒ3 Ｎｉよりも高いか、あるいは等
しい比熱を示す。また、上記蓄冷材Ｂは、一般式中の
x,y のいずれか一方または両方が選択されることによ
り、１０Ｋ以下の温度領域においてＥｒ3 Ｎｉよりも高
い比熱を示す。したがって、蓄冷材Ｂを低温側に充填し
ておくことによって、４．２Ｋ付近での冷凍能力を大幅
に向上させることが可能となる。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照しながら実施例を説明す
る。図１には本発明の一実施例に係る蓄冷式の極低温冷
凍機、ここにはギフォード・マクマホン形の冷凍機が示
されている。
る。図１には本発明の一実施例に係る蓄冷式の極低温冷
凍機、ここにはギフォード・マクマホン形の冷凍機が示
されている。
【００１５】この冷凍機は、大きく別けて、コ−ルドヘ
ッド１と、冷媒ガス導排出系２とで構成されている。コ
−ルドヘッド１は、閉じられたシリンダ１１と、このシ
リンダ１１内に往復動自在に収容されたピストン、すな
わち断熱材で形成されたディスプレ−サ１２と、このデ
ィスプレ−サ１２に対して往復動に必要な動力を与える
モ−タ１３とで構成されている。
ッド１と、冷媒ガス導排出系２とで構成されている。コ
−ルドヘッド１は、閉じられたシリンダ１１と、このシ
リンダ１１内に往復動自在に収容されたピストン、すな
わち断熱材で形成されたディスプレ−サ１２と、このデ
ィスプレ−サ１２に対して往復動に必要な動力を与える
モ−タ１３とで構成されている。
【００１６】シリンダ１１は、大径の第１シリンダ１４
と、この第１シリンダ１４に同軸的に接続された小径の
第２シリンダ１５とで構成されている。第１シリンダ１
４および第２シリンダ１５は、通常、薄いステンレス鋼
板等で形成されている。そして、第１シリンダ１４と第
２シリンダ１５との境界壁部分で第１段冷却ステ−ジ１
６を構成し、また第２シリンダ１５の先端壁部分で第１
段冷却ステ−ジ１６より低温の第２段冷却ステ−ジ１７
を構成している。
と、この第１シリンダ１４に同軸的に接続された小径の
第２シリンダ１５とで構成されている。第１シリンダ１
４および第２シリンダ１５は、通常、薄いステンレス鋼
板等で形成されている。そして、第１シリンダ１４と第
２シリンダ１５との境界壁部分で第１段冷却ステ−ジ１
６を構成し、また第２シリンダ１５の先端壁部分で第１
段冷却ステ−ジ１６より低温の第２段冷却ステ−ジ１７
を構成している。
【００１７】ディスプレ−サ１２は、第１シリンダ１４
内を往復動する第１ディスプレ−サ１８と、第２シリン
ダ１５内を往復動する第２ディスプレ−サ１９とで構成
されている。第１ディスプレ−サ１８と第２ディスプレ
−サ１９とは、連結機構２０によって軸方向に連結され
ている。
内を往復動する第１ディスプレ−サ１８と、第２シリン
ダ１５内を往復動する第２ディスプレ−サ１９とで構成
されている。第１ディスプレ−サ１８と第２ディスプレ
−サ１９とは、連結機構２０によって軸方向に連結され
ている。
【００１８】第１ディスプレ−サ１８の内部には、蓄冷
器を構成するための流体通路２１が軸方向に形成されて
おり、この流体通路２１には銅メッシュあるいは銅粒子
等で形成された蓄冷材２２が収容されている。なお、こ
の第１ディスプレーサ１８の内部に収容される蓄冷材２
２としては、銅以外にも、鉛あるいは銅と鉛のハイブリ
ッドタイプを適用することができ、ハイブリッドの場合
には鉛を40% 〜80% の割合で用いることが望ましい。
器を構成するための流体通路２１が軸方向に形成されて
おり、この流体通路２１には銅メッシュあるいは銅粒子
等で形成された蓄冷材２２が収容されている。なお、こ
の第１ディスプレーサ１８の内部に収容される蓄冷材２
２としては、銅以外にも、鉛あるいは銅と鉛のハイブリ
ッドタイプを適用することができ、ハイブリッドの場合
には鉛を40% 〜80% の割合で用いることが望ましい。
【００１９】第２ディスプレ−サ１９の内部には最終段
蓄冷器を構成するための流体通路２３が軸方向に形成さ
れており、この流体通路２３には複数の球状あるいは塊
状に分割された蓄冷材２４が収容されている。
蓄冷器を構成するための流体通路２３が軸方向に形成さ
れており、この流体通路２３には複数の球状あるいは塊
状に分割された蓄冷材２４が収容されている。
【００２０】蓄冷材２４は、図２にも示すように、第１
段冷却ステージ１６側、つまり高温側に充填された蓄冷
材２４ａと、第２段冷却ステージ１７側、つまり低温側
に充填された蓄冷材２４ｂとで構成されている。
段冷却ステージ１６側、つまり高温側に充填された蓄冷
材２４ａと、第２段冷却ステージ１７側、つまり低温側
に充填された蓄冷材２４ｂとで構成されている。
【００２１】蓄冷材２４ａとしては、下記(a),(b),(c)
,(d),(e)のいずれかの一般式で表される組成のものが
用いられている。 (a) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 Ｎｉ(y) Ｃｏ
(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y
≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，
Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元
素）または、(b) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃ
ｕ(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦
y ≦1 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類
元素）または、(c) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2
で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦0.85）または、
(d) 一般式 Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｒｈで表される組成物
（ただし、0 ≦x ≦0.3 ）または、(e) 一般式 Ｅｒ
(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される組成物（た
だし、 0≦ x≦ 1、 0≦ y≦ 1、ＲはＧｄ，Ｔｂ，Ｄ
ｙ，Ｈｏから選ばれた希土類元素） また、蓄冷材２４ｂとしては、下記(f),(g),(h),(i),
(j),(k) のいずれかの一般式で表される組成のものが用
いられている。
,(d),(e)のいずれかの一般式で表される組成のものが
用いられている。 (a) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 Ｎｉ(y) Ｃｏ
(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y
≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，
Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元
素）または、(b) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃ
ｕ(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦
y ≦1 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類
元素）または、(c) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2
で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦0.85）または、
(d) 一般式 Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｒｈで表される組成物
（ただし、0 ≦x ≦0.3 ）または、(e) 一般式 Ｅｒ
(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される組成物（た
だし、 0≦ x≦ 1、 0≦ y≦ 1、ＲはＧｄ，Ｔｂ，Ｄ
ｙ，Ｈｏから選ばれた希土類元素） また、蓄冷材２４ｂとしては、下記(f),(g),(h),(i),
(j),(k) のいずれかの一般式で表される組成のものが用
いられている。
【００２２】(f) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃ
ｏ(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦
y≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類
元素）または、(g) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 Ａ
ｌＣ(y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦
y≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類
元素）または、(h) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2
で表される組成物（ただし、0.85≦ x≦ 1）または、
(i) 一般式 Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x)Ｒｈで表される組成物
（ただし、0.3 ≦x ≦1）または、(j) 一般式 （Ｅｒ
(x) Ｒ(1-x)）(1-y) Ｒｕ(y) で表される組成物（ただ
し、0.5 ≦x ≦1 、0 ≦y ≦0.7 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎ
ｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙ
ｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）または、(k) 一般式
Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y) で表される組成
物（ただし、0 ≦x ≦1 、0 ≦y ≦1 、ＲはＹ，Ｐｒ，
Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙ
ｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素） 具体的には、この例の場合、高温側の蓄冷材２４ａとし
てＥｒ3 Ｃｏが用いられており、また低温側の蓄冷材２
４ｂとしてＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 が用いられている。そ
して、これら蓄冷材２４ａと蓄冷材２４ｂとは、セパレ
ータ２８によって混合しないように分離されている。な
お、この例では蓄冷材２４ａの体積と蓄冷材２４ｂの体
積との和に対して蓄冷材２４ｂの体積が約３０％になる
関係に充填されている。
ｏ(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦
y≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類
元素）または、(g) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 Ａ
ｌＣ(y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦
y≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類
元素）または、(h) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2
で表される組成物（ただし、0.85≦ x≦ 1）または、
(i) 一般式 Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x)Ｒｈで表される組成物
（ただし、0.3 ≦x ≦1）または、(j) 一般式 （Ｅｒ
(x) Ｒ(1-x)）(1-y) Ｒｕ(y) で表される組成物（ただ
し、0.5 ≦x ≦1 、0 ≦y ≦0.7 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎ
ｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙ
ｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）または、(k) 一般式
Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y) で表される組成
物（ただし、0 ≦x ≦1 、0 ≦y ≦1 、ＲはＹ，Ｐｒ，
Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙ
ｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素） 具体的には、この例の場合、高温側の蓄冷材２４ａとし
てＥｒ3 Ｃｏが用いられており、また低温側の蓄冷材２
４ｂとしてＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 が用いられている。そ
して、これら蓄冷材２４ａと蓄冷材２４ｂとは、セパレ
ータ２８によって混合しないように分離されている。な
お、この例では蓄冷材２４ａの体積と蓄冷材２４ｂの体
積との和に対して蓄冷材２４ｂの体積が約３０％になる
関係に充填されている。
【００２３】第１ディスプレ−サ１８の外周面と第１シ
リンダ１４の内周面との間および第２ディスプレ−サ１
９の外周面と第２シリンダ１５の内周面との間には、そ
れぞれシ−ル装置２５、２６が装着されている。
リンダ１４の内周面との間および第２ディスプレ−サ１
９の外周面と第２シリンダ１５の内周面との間には、そ
れぞれシ−ル装置２５、２６が装着されている。
【００２４】第１ディスプレ−サ１８の図中上端は、連
結ロッド３１、スコッチヨ−クあるいはクランク軸３２
を介してモ−タ１３の回転軸に連結されている。したが
って、モ−タ１３が回転すると、この回転に同期してデ
ィスプレ−サ１２が図中実線矢印３３で示す方向に往復
動する。
結ロッド３１、スコッチヨ−クあるいはクランク軸３２
を介してモ−タ１３の回転軸に連結されている。したが
って、モ−タ１３が回転すると、この回転に同期してデ
ィスプレ−サ１２が図中実線矢印３３で示す方向に往復
動する。
【００２５】第１シリンダ１４の側壁上部には冷媒ガス
の導入口３４と排出口３５とが設けてあり、これら導入
口３４と排出口３５とは冷媒ガス導排出系２に接続され
ている。
の導入口３４と排出口３５とが設けてあり、これら導入
口３４と排出口３５とは冷媒ガス導排出系２に接続され
ている。
【００２６】冷媒ガス導排出系２は、シリンダ１１を経
由するヘリウムガス循環系を構成するもので、排出口３
５を低圧弁３６、圧縮機３７、高圧弁３８を介して導入
口３４に接続したものとなっている。すなわち、この冷
媒ガス導排出系２は、低圧（約５atm ）のヘリウムガス
を圧縮機３７で高圧（約18atm ）に圧縮してシリンダ１
１内に送り込むものである。そして、低圧弁３６、高圧
弁３８はディスプレ−サ１２の往復動との関連において
後述する関係に開閉制御される。
由するヘリウムガス循環系を構成するもので、排出口３
５を低圧弁３６、圧縮機３７、高圧弁３８を介して導入
口３４に接続したものとなっている。すなわち、この冷
媒ガス導排出系２は、低圧（約５atm ）のヘリウムガス
を圧縮機３７で高圧（約18atm ）に圧縮してシリンダ１
１内に送り込むものである。そして、低圧弁３６、高圧
弁３８はディスプレ−サ１２の往復動との関連において
後述する関係に開閉制御される。
【００２７】次に、上記のように構成された冷凍機の動
作を説明する。この冷凍機において、寒冷を発生する部
分、つまり冷却面に供される部分は第１段冷却ステ−ジ
１６と第２段冷却ステ−ジ１７とである。
作を説明する。この冷凍機において、寒冷を発生する部
分、つまり冷却面に供される部分は第１段冷却ステ−ジ
１６と第２段冷却ステ−ジ１７とである。
【００２８】モ−タ１３が回転を開始すると、ディスプ
レ−サ１２が下死点と上死点との間を往復動する。ディ
スプレ−サ１２が下死点にあるとき、高圧弁３８が開い
て高圧ヘリウムガスがコ−ルドヘッド１内に流入する。
次に、ディスプレ−サ１２が上死点へと移動する。前述
の如く、第１ディスプレ−サ１８の外周面と第１シリン
ダ１４の内周面との間および第２ディスプレ−サ１９の
外周面と第２シリンダ１５の内周面との間にはそれぞれ
シ−ル装置２５、２６が装着されている。このため、デ
ィスプレ−サ１２が上死点へと向かうと、高圧ヘリウム
ガスは第１ディスプレ−サ１８に形成された流体通路２
１および第２ディスプレ−サ１９に形成された流体通路
２３を通って、第１ディスプレ−サ１８と第２ディスプ
レ−サ１９との間に形成された１段膨張室３９および第
２ディスプレ−サ１９と第２シリンダ１５の先端壁との
間に形成された２段膨張室４０へと流れる。この流れに
伴って、高圧ヘリウムガスは蓄冷材２２、２４によって
冷却され、結局、１段膨張室３９に流れ込んだ高圧ヘリ
ウムガスは３０Ｋレベルに、また２段膨張室４０に流れ
込んだ高圧ヘリウムガスは４Ｋレベルに冷却される。
レ−サ１２が下死点と上死点との間を往復動する。ディ
スプレ−サ１２が下死点にあるとき、高圧弁３８が開い
て高圧ヘリウムガスがコ−ルドヘッド１内に流入する。
次に、ディスプレ−サ１２が上死点へと移動する。前述
の如く、第１ディスプレ−サ１８の外周面と第１シリン
ダ１４の内周面との間および第２ディスプレ−サ１９の
外周面と第２シリンダ１５の内周面との間にはそれぞれ
シ−ル装置２５、２６が装着されている。このため、デ
ィスプレ−サ１２が上死点へと向かうと、高圧ヘリウム
ガスは第１ディスプレ−サ１８に形成された流体通路２
１および第２ディスプレ−サ１９に形成された流体通路
２３を通って、第１ディスプレ−サ１８と第２ディスプ
レ−サ１９との間に形成された１段膨張室３９および第
２ディスプレ−サ１９と第２シリンダ１５の先端壁との
間に形成された２段膨張室４０へと流れる。この流れに
伴って、高圧ヘリウムガスは蓄冷材２２、２４によって
冷却され、結局、１段膨張室３９に流れ込んだ高圧ヘリ
ウムガスは３０Ｋレベルに、また２段膨張室４０に流れ
込んだ高圧ヘリウムガスは４Ｋレベルに冷却される。
【００２９】ここで、高圧弁３８が閉じ、低圧弁３６が
開く。このように低圧弁３６が開くと、１段膨張室３９
内および２段膨張室４０内の高圧ヘリウムガスが膨張し
て寒冷を発生し、第１段冷却ステ−ジ１６および第２段
冷却ステ−ジ１７において吸熱が行われる。そして、デ
ィスプレ−サ１２が再び下死点へ移動すると、これに伴
って１段膨張室３９内および２段膨張室４０内のヘリウ
ムガスが排除される。膨張したヘリウムガスは流体通路
２１、２３内を通る間に蓄冷材２２、２４を冷却し、常
温となって排出される。以下、上述したサイクルが繰返
されて冷凍運転が行なわれる。
開く。このように低圧弁３６が開くと、１段膨張室３９
内および２段膨張室４０内の高圧ヘリウムガスが膨張し
て寒冷を発生し、第１段冷却ステ−ジ１６および第２段
冷却ステ−ジ１７において吸熱が行われる。そして、デ
ィスプレ−サ１２が再び下死点へ移動すると、これに伴
って１段膨張室３９内および２段膨張室４０内のヘリウ
ムガスが排除される。膨張したヘリウムガスは流体通路
２１、２３内を通る間に蓄冷材２２、２４を冷却し、常
温となって排出される。以下、上述したサイクルが繰返
されて冷凍運転が行なわれる。
【００３０】上述の如く、この実施例では第２ディスプ
レ−サ１９の流体通路２３、つまり最終段蓄冷器内の高
温側に組成がＥｒ3 Ｃｏからなる蓄冷材２４ａを充填
し、低温側に組成がＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 からなる蓄冷
材２４ｂを充填している。
レ−サ１９の流体通路２３、つまり最終段蓄冷器内の高
温側に組成がＥｒ3 Ｃｏからなる蓄冷材２４ａを充填
し、低温側に組成がＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 からなる蓄冷
材２４ｂを充填している。
【００３１】Ｅｒ3 Ｃｏは、図３に示すように、１２Ｋ
付近の比熱がＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2や従来から知られて
いるＥｒ3 Ｎｉのそれよりはるかに大きい。一方、Ｅｒ
Ｎｉ0.8 Ｃｏ0.2 は、同図に示すように、７Ｋ以下にお
いてＥｒ3 ＣｏやＥｒ3 Ｎｉより比熱がはるかに大き
い。流体通路２３には温度勾配がつくので、実施例のよ
うに、Ｅｒ3 Ｃｏからなる蓄冷材２４ａを高温側に、Ｅ
ｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 からなる蓄冷材２４ｂを低温側に充
填しておくと、各蓄冷材の比熱特性を最も有効に活用で
き、４．２Ｋ付近での冷凍効率を向上させることができ
る。
付近の比熱がＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2や従来から知られて
いるＥｒ3 Ｎｉのそれよりはるかに大きい。一方、Ｅｒ
Ｎｉ0.8 Ｃｏ0.2 は、同図に示すように、７Ｋ以下にお
いてＥｒ3 ＣｏやＥｒ3 Ｎｉより比熱がはるかに大き
い。流体通路２３には温度勾配がつくので、実施例のよ
うに、Ｅｒ3 Ｃｏからなる蓄冷材２４ａを高温側に、Ｅ
ｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 からなる蓄冷材２４ｂを低温側に充
填しておくと、各蓄冷材の比熱特性を最も有効に活用で
き、４．２Ｋ付近での冷凍効率を向上させることができ
る。
【００３２】図４には高温側に充填するのに適した各種
蓄冷材、一例としてＥｒ0.2 Ｄｙ0.8 Ｎｉ2 、Ｅｒ0.7
Ｈｏ0.3 Ｎｉの比熱特性が示されており、図５には低温
側に充填するのに適した各種蓄冷材、一例としてＥｒ
0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉ、ＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 、Ｅｒ3 Ａｌ
Ｃの比熱特性が示されている。これらの図には、参考と
してＥｒ3 Ｎｉの比熱特性が破線で示されている。
蓄冷材、一例としてＥｒ0.2 Ｄｙ0.8 Ｎｉ2 、Ｅｒ0.7
Ｈｏ0.3 Ｎｉの比熱特性が示されており、図５には低温
側に充填するのに適した各種蓄冷材、一例としてＥｒ
0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉ、ＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 、Ｅｒ3 Ａｌ
Ｃの比熱特性が示されている。これらの図には、参考と
してＥｒ3 Ｎｉの比熱特性が破線で示されている。
【００３３】同様に、図６には高温側の蓄冷材として充
填するのに適したＥｒＣｕの比熱特性および低温側の蓄
冷材として充填するのに適したＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 の
比熱特性とが一緒に示されている。
填するのに適したＥｒＣｕの比熱特性および低温側の蓄
冷材として充填するのに適したＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 の
比熱特性とが一緒に示されている。
【００３４】また、図７には組成がＥｒ(x) Ｄｙ(1-x)
Ｎｉ2 、すなわち蓄冷材Ａとして一般式(c) で、蓄冷材
Ｂとして一般式(h) で表される蓄冷材の xを種々変えた
組成での比熱特性が示されている。
Ｎｉ2 、すなわち蓄冷材Ａとして一般式(c) で、蓄冷材
Ｂとして一般式(h) で表される蓄冷材の xを種々変えた
組成での比熱特性が示されている。
【００３５】この特性から判るように、組成がＥｒ(x)
Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 である蓄冷材では、高温側に充填する
ときにはx を0.85より小さくすればよく、低温側に充填
するときには xを0.85以上にすればよい。このように、
x を調整することによって高温側にも低温側にも有利な
条件で充填できる。
Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 である蓄冷材では、高温側に充填する
ときにはx を0.85より小さくすればよく、低温側に充填
するときには xを0.85以上にすればよい。このように、
x を調整することによって高温側にも低温側にも有利な
条件で充填できる。
【００３６】図８には組成がＥｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｒｈ、
すなわち蓄冷材Ａとして一般式(d)で、蓄冷材Ｂとして
一般式(i) で表される蓄冷材の xを種々変えた組成での
比熱特性が示されている。この特性から判るように、組
成がＥｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｒｈである蓄冷材では、高温側
に充填するときにはx を0.3 より小さくすればよく、低
温側に充填するときには xを0.3 以上にすればよい。こ
のように、x を調整することによって高温側にも低温側
にも有利な条件で充填できる。
すなわち蓄冷材Ａとして一般式(d)で、蓄冷材Ｂとして
一般式(i) で表される蓄冷材の xを種々変えた組成での
比熱特性が示されている。この特性から判るように、組
成がＥｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｒｈである蓄冷材では、高温側
に充填するときにはx を0.3 より小さくすればよく、低
温側に充填するときには xを0.3 以上にすればよい。こ
のように、x を調整することによって高温側にも低温側
にも有利な条件で充填できる。
【００３７】さらに、蓄冷材ＡおよびＢの組み合わせに
ついて考察する。たとえば、蓄冷材Ａとして一般式(e)
のＥｒ(x) Ｒ(1-X) Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y)で表される組成
物を用い、蓄冷材Ｂとして一般式(f) のＥｒ(x) Ｒ
(1-X) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される組成物を用いる場
合を想定する。y を1 とすると、両者共に、Ｅｒ(x) Ｒ
(1-X) Ｎｉになるが、前者と後者は必ずしも一致すると
は限らない。すなわち、ＲにＧｄを選び、かつ xを0.9
とすると、Ｅｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉの組成物となる。この
Ｅｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉを高温側蓄冷材に用いる場合は、
低温側蓄冷材としてＥｒＮｉを組み合わせることができ
る。一方、Ｅｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉを低温側蓄冷材として
用いる場合は、高温側蓄冷材としてＥｒ3 Ｃｏを用いる
ことができる。
ついて考察する。たとえば、蓄冷材Ａとして一般式(e)
のＥｒ(x) Ｒ(1-X) Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y)で表される組成
物を用い、蓄冷材Ｂとして一般式(f) のＥｒ(x) Ｒ
(1-X) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される組成物を用いる場
合を想定する。y を1 とすると、両者共に、Ｅｒ(x) Ｒ
(1-X) Ｎｉになるが、前者と後者は必ずしも一致すると
は限らない。すなわち、ＲにＧｄを選び、かつ xを0.9
とすると、Ｅｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉの組成物となる。この
Ｅｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉを高温側蓄冷材に用いる場合は、
低温側蓄冷材としてＥｒＮｉを組み合わせることができ
る。一方、Ｅｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉを低温側蓄冷材として
用いる場合は、高温側蓄冷材としてＥｒ3 Ｃｏを用いる
ことができる。
【００３８】図９を参照しながらさらに説明する。Ｅｒ
Ｎｉを低温側蓄冷材とする場合は、Ｅｒ0.95Ｇｄ0.05Ｎ
ｉ、Ｅｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉ、Ｅｒ0.85Ｇｄ0.15Ｎｉ、Ｅ
ｒ0.75Ｇｄ0.25Ｎｉを高温側蓄冷材に用いることができ
る。Ｅｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉを低温側蓄冷材とする場合
は、Ｅｒ0.85Gd 0.15Ｎｉ、Ｅｒ0.75Ｇｄ0.25Ｎｉを高温
側蓄冷材に用いることができる。Ｅｒ0.85Ｇｄ0.15Ｎｉ
を低温側蓄冷材とする場合は、Ｅｒ0.75Ｇｄ0.25Ｎｉを
高温側蓄冷材に用いることができる。
Ｎｉを低温側蓄冷材とする場合は、Ｅｒ0.95Ｇｄ0.05Ｎ
ｉ、Ｅｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉ、Ｅｒ0.85Ｇｄ0.15Ｎｉ、Ｅ
ｒ0.75Ｇｄ0.25Ｎｉを高温側蓄冷材に用いることができ
る。Ｅｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉを低温側蓄冷材とする場合
は、Ｅｒ0.85Gd 0.15Ｎｉ、Ｅｒ0.75Ｇｄ0.25Ｎｉを高温
側蓄冷材に用いることができる。Ｅｒ0.85Ｇｄ0.15Ｎｉ
を低温側蓄冷材とする場合は、Ｅｒ0.75Ｇｄ0.25Ｎｉを
高温側蓄冷材に用いることができる。
【００３９】このように、一般式Ｅｒ(x) Ｒ(1-X) Ｎｉ
(y) Ｃｕ(1-y) で表される組成物は、x,y の値およびＲ
を適宜調整することで、高温側にも低温側にも有利な条
件で充填できる。
(y) Ｃｕ(1-y) で表される組成物は、x,y の値およびＲ
を適宜調整することで、高温側にも低温側にも有利な条
件で充填できる。
【００４０】図１０には組成が一般式（Ｅｒ(x) Ｒ
(1-x)）(1-y) Ｒｕ(y) で表される蓄冷材（ただし、Ｒ
はＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）におい
て、x=1 に設定し、かつ yを0.3〜0.4 に変化させたと
きの比熱特性が示されている。この特性から判るよう
に、yを0.3 〜0.4 に変化させた条件では、４Ｋ以下の
温度領域において大きな比熱特性を示す。したがって、
低温側に充填するのに適した蓄冷材であるといえる。
(1-x)）(1-y) Ｒｕ(y) で表される蓄冷材（ただし、Ｒ
はＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）におい
て、x=1 に設定し、かつ yを0.3〜0.4 に変化させたと
きの比熱特性が示されている。この特性から判るよう
に、yを0.3 〜0.4 に変化させた条件では、４Ｋ以下の
温度領域において大きな比熱特性を示す。したがって、
低温側に充填するのに適した蓄冷材であるといえる。
【００４１】図１１に示すように、高温側に充填するの
に適した、一般式Ｅｒ3 Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される
組成物について、y を0.01,0.15,0.2,0.3,0.5,1 と種々
変えた場合は、比熱のピーク値が温度１３Ｋから６Ｋま
で遷移する。このシリーズの組成物ではＣｏ量が減り、
Ｎｉ量が増えるほど比熱値のピーク（磁気転移点：一般
に磁気相転移においては、その比熱値に大きなピーク値
が得られるために、比熱値のピークと磁気転移点とはほ
ぼ一致している）が低温側に移行することが判明した。
なお、図にはＰｂの比熱特性線を比較例として併記して
ある。
に適した、一般式Ｅｒ3 Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される
組成物について、y を0.01,0.15,0.2,0.3,0.5,1 と種々
変えた場合は、比熱のピーク値が温度１３Ｋから６Ｋま
で遷移する。このシリーズの組成物ではＣｏ量が減り、
Ｎｉ量が増えるほど比熱値のピーク（磁気転移点：一般
に磁気相転移においては、その比熱値に大きなピーク値
が得られるために、比熱値のピークと磁気転移点とはほ
ぼ一致している）が低温側に移行することが判明した。
なお、図にはＰｂの比熱特性線を比較例として併記して
ある。
【００４２】また、図９に示した、高温側に充填するの
に適した、一般式Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｎｉで表される組
成物について、x を0.75,0.85,0.9,0.95,1と種々変えた
場合は、比熱値のピーク値が温度３７Ｋから１０Ｋまで
遷移する。このシリーズの組成物では、Ｇｄが減り、Ｅ
ｒが増えるほど比熱のピークは低温側に移行することが
判明した。
に適した、一般式Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｎｉで表される組
成物について、x を0.75,0.85,0.9,0.95,1と種々変えた
場合は、比熱値のピーク値が温度３７Ｋから１０Ｋまで
遷移する。このシリーズの組成物では、Ｇｄが減り、Ｅ
ｒが増えるほど比熱のピークは低温側に移行することが
判明した。
【００４３】図１２に示すように、ＥｒＮｉ0.6 Ｃｕ
0.4 は比熱値のピークが温度６Ｋにあり、ＨｏＮｉ0.5
Ｃｕ0.5 は比熱値のピークが温度１１Ｋにあるため、一
般式Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y) の組成物は、
x,y の値およびＲを適宜調整することで、高温側にも低
温側にも有利な条件で充填できる。
0.4 は比熱値のピークが温度６Ｋにあり、ＨｏＮｉ0.5
Ｃｕ0.5 は比熱値のピークが温度１１Ｋにあるため、一
般式Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y) の組成物は、
x,y の値およびＲを適宜調整することで、高温側にも低
温側にも有利な条件で充填できる。
【００４４】図１３に示すように、一般式ＥｒＮｉ(y)
Ｃｏ(1-y) で表される組成物について、y を0.7,0.8,0.
9,1 と種々変えた場合は、比熱値のピークが温度１１Ｋ
から６〜７Ｋまで遷移する。このシリーズの組成物で
は、Ｎｉ量が減り、Ｃｏ量が増えるほど比熱値のピーク
は低温側に移行することが判明した。
Ｃｏ(1-y) で表される組成物について、y を0.7,0.8,0.
9,1 と種々変えた場合は、比熱値のピークが温度１１Ｋ
から６〜７Ｋまで遷移する。このシリーズの組成物で
は、Ｎｉ量が減り、Ｃｏ量が増えるほど比熱値のピーク
は低温側に移行することが判明した。
【００４５】図１４に示すように、低温側に充填するの
に適した、一般式Ｅｒ3 ＡｌＣ(y)で表される組成物に
ついて、y を0.5,0.75,1と種々変えた場合、比熱値のピ
ークが温度６Ｋから３Ｋまで遷移する。このシリーズの
組成物では、炭素量が増えるほど比熱値のピークが低温
側に移行することが判明した。
に適した、一般式Ｅｒ3 ＡｌＣ(y)で表される組成物に
ついて、y を0.5,0.75,1と種々変えた場合、比熱値のピ
ークが温度６Ｋから３Ｋまで遷移する。このシリーズの
組成物では、炭素量が増えるほど比熱値のピークが低温
側に移行することが判明した。
【００４６】図１５には、ＥｒＮｉ、Ｅｒ0.95Ｇｄ0.05
Ｎｉ、Ｅｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉ、Ｅｒ3 Ｃｏの比熱特性が
示されている。図から明らかなように、一般式Ｅｒ(x)
Ｇｄ(1-x) Ｎｉで表される組成物は、最終段蓄冷室の高
温側および低温側のいずれにも用いることができる。す
なわち、高温側蓄冷材２４ａにＥｒ3 Ｃｏを用いる場合
は、Ｅｒ0.95Ｇｄ0.05ＮｉまたはＥｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉ
を低温側蓄冷材２４ｂに用いることができる。また、低
温側蓄冷材２４ｂにＥｒＮｉを用いる場合は、Ｅｒ0.95
Ｇｄ0.05ＮｉまたはＥｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉを高温側蓄冷
材２４ａに用いることができる。
Ｎｉ、Ｅｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉ、Ｅｒ3 Ｃｏの比熱特性が
示されている。図から明らかなように、一般式Ｅｒ(x)
Ｇｄ(1-x) Ｎｉで表される組成物は、最終段蓄冷室の高
温側および低温側のいずれにも用いることができる。す
なわち、高温側蓄冷材２４ａにＥｒ3 Ｃｏを用いる場合
は、Ｅｒ0.95Ｇｄ0.05ＮｉまたはＥｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉ
を低温側蓄冷材２４ｂに用いることができる。また、低
温側蓄冷材２４ｂにＥｒＮｉを用いる場合は、Ｅｒ0.95
Ｇｄ0.05ＮｉまたはＥｒ0.9 Ｇｄ0.1 Ｎｉを高温側蓄冷
材２４ａに用いることができる。
【００４７】図４乃至図１５に示されている材料を組成
によって分類すると、蓄冷材２４ａとしては、(a) 一般
式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表さ
れる組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、Ｒは
Ｙ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、(b) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y)
で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦y ≦1 、
ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，
Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、(c) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 で表される
組成物（ただし、0 ≦ x≦0.85）または、(d) 一般式
Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｒｈで表される組成物（ただし、0
≦x ≦0.3 ）または、(e) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎ
ｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される組成物（ただし、 0≦ x≦
1、 0≦ y≦ 1、ＲはＧｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏから選ば
れた希土類元素）が適していることが判った。
によって分類すると、蓄冷材２４ａとしては、(a) 一般
式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表さ
れる組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、Ｒは
Ｙ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、(b) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y)
で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦y ≦1 、
ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，
Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、(c) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 で表される
組成物（ただし、0 ≦ x≦0.85）または、(d) 一般式
Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｒｈで表される組成物（ただし、0
≦x ≦0.3 ）または、(e) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎ
ｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される組成物（ただし、 0≦ x≦
1、 0≦ y≦ 1、ＲはＧｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏから選ば
れた希土類元素）が適していることが判った。
【００４８】また、蓄冷材２４ｂとしては、(f) 一般式
Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される組成
物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，
Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙ
ｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）または、(g) 一般式
（Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 ＡｌＣ(y) で表される組成物
（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎ
ｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙ
ｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）または、(h) 一般式
Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 で表される組成物（ただ
し、0.85≦ x≦ 1）または、(i) 一般式 Ｅｒ(x) Ｇｄ
(1-x)Ｒｈで表される組成物（ただし、0.3 ≦x ≦1）ま
たは、(j) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)）(1-y) Ｒｕ(y)
で表される組成物（ただし、0.5 ≦x ≦1 、0 ≦y ≦
0.7 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，
Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元
素）または、(k) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)Ｎｉ(y) Ｃ
ｕ(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦x ≦1 、0 ≦
y ≦1 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類
元素）が適していることが判った。
Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表される組成
物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，
Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙ
ｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）または、(g) 一般式
（Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 ＡｌＣ(y) で表される組成物
（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎ
ｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙ
ｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）または、(h) 一般式
Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 で表される組成物（ただ
し、0.85≦ x≦ 1）または、(i) 一般式 Ｅｒ(x) Ｇｄ
(1-x)Ｒｈで表される組成物（ただし、0.3 ≦x ≦1）ま
たは、(j) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)）(1-y) Ｒｕ(y)
で表される組成物（ただし、0.5 ≦x ≦1 、0 ≦y ≦
0.7 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，
Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元
素）または、(k) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)Ｎｉ(y) Ｃ
ｕ(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦x ≦1 、0 ≦
y ≦1 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類
元素）が適していることが判った。
【００４９】なお、蓄冷材２４ａ，２４ｂのいずれの組
成においても、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｒｕ，
Ｒｈ，Ｚｒ，Ｙ，Ｉｎ，Ｇａ，Ａｌなどの元素を添加し
てもよい。これらの添加により、蓄冷材の磁気転移点を
微妙に変化させ、比熱のピーク位置を微調整したり、蓄
冷材の熱伝導特性を向上させることができる。たとえ
ば、低温側蓄冷材に属するＥｒＮｉにおいては、Ｃｕや
Ｙを添加することで磁気転移点を低下させることができ
る。
成においても、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｒｕ，
Ｒｈ，Ｚｒ，Ｙ，Ｉｎ，Ｇａ，Ａｌなどの元素を添加し
てもよい。これらの添加により、蓄冷材の磁気転移点を
微妙に変化させ、比熱のピーク位置を微調整したり、蓄
冷材の熱伝導特性を向上させることができる。たとえ
ば、低温側蓄冷材に属するＥｒＮｉにおいては、Ｃｕや
Ｙを添加することで磁気転移点を低下させることができ
る。
【００５０】図１６には高温側の蓄冷材２４ａとしてＥ
ｒ3 Ｃｏを充填し、低温側の蓄冷材２４ｂとしてＥｒ
0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉを充填し、蓄冷材全体に対するＥｒ
0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉ蓄冷材の体積比率（ε）と蓄冷効率
（η）との関係を求めた計算結果が示されている。計算
で使用した蓄冷器の高温端温度は３２Ｋ、低温端温度は
４Ｋである。
ｒ3 Ｃｏを充填し、低温側の蓄冷材２４ｂとしてＥｒ
0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉを充填し、蓄冷材全体に対するＥｒ
0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉ蓄冷材の体積比率（ε）と蓄冷効率
（η）との関係を求めた計算結果が示されている。計算
で使用した蓄冷器の高温端温度は３２Ｋ、低温端温度は
４Ｋである。
【００５１】この図から、Ｅｒ0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉ蓄冷材
の比率が１０〜９０％の範囲では、Ｅｒ3 Ｃｏ蓄冷材の
みの場合（ε＝０％）より高い蓄冷効率が得られること
が判る。これは１０Ｋ以下ではＥｒ0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉの
比熱がＥｒ3 Ｃｏのそれより大きいことによる（図３お
よび図５参照）。
の比率が１０〜９０％の範囲では、Ｅｒ3 Ｃｏ蓄冷材の
みの場合（ε＝０％）より高い蓄冷効率が得られること
が判る。これは１０Ｋ以下ではＥｒ0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉの
比熱がＥｒ3 Ｃｏのそれより大きいことによる（図３お
よび図５参照）。
【００５２】図１７には高温側の蓄冷材２４ａとしてＥ
ｒ0.7 Ｈｏ0.3 Ｎｉを充填し、低温側の蓄冷材２４ｂと
してＥｒ3 ＡｌＣを充填し、蓄冷材全体に対するＥｒ3
ＡｌＣ蓄冷材の体積比率（ε）と蓄冷効率（η）との関
係を求めた計算結果が示されている。この場合も計算で
使用した蓄冷器の高温端温度は３２Ｋ、低温端温度は４
Ｋである。
ｒ0.7 Ｈｏ0.3 Ｎｉを充填し、低温側の蓄冷材２４ｂと
してＥｒ3 ＡｌＣを充填し、蓄冷材全体に対するＥｒ3
ＡｌＣ蓄冷材の体積比率（ε）と蓄冷効率（η）との関
係を求めた計算結果が示されている。この場合も計算で
使用した蓄冷器の高温端温度は３２Ｋ、低温端温度は４
Ｋである。
【００５３】この図から、Ｅｒ3 ＡｌＣ蓄冷材の比率が
１０〜９０％の範囲では、Ｅｒ0.7Ｈｏ0.3 Ｎｉ蓄冷材
のみの場合（ε＝０％）より高い蓄冷効率が得られるこ
とが判る。これは、５Ｋ以下の領域においてではＥｒ3
ＡｌＣの比熱がＥｒ0.7 Ｈｏ0.3 Ｎｉのそれより大きい
ことによる（図４および図５参照）。
１０〜９０％の範囲では、Ｅｒ0.7Ｈｏ0.3 Ｎｉ蓄冷材
のみの場合（ε＝０％）より高い蓄冷効率が得られるこ
とが判る。これは、５Ｋ以下の領域においてではＥｒ3
ＡｌＣの比熱がＥｒ0.7 Ｈｏ0.3 Ｎｉのそれより大きい
ことによる（図４および図５参照）。
【００５４】図１８には最終段蓄冷器内に各種の蓄冷材
を充填し、第１段冷却ステージ１６の温度をパラメータ
にして第２段冷却ステージ１７の温度を4.2 Ｋに保持で
きる冷凍能力との関係が示されている。
を充填し、第１段冷却ステージ１６の温度をパラメータ
にして第２段冷却ステージ１７の温度を4.2 Ｋに保持で
きる冷凍能力との関係が示されている。
【００５５】図中、〇印は高温側の蓄冷材２４ａとして
Ｅｒ3 Ｃｏを充填し、低温側の蓄冷材２４ｂとしてＥｒ
Ｎｉ0.8 Ｃｏ0.2 を体積比で５０％充填したときのデー
タを示し、□印は高温側の蓄冷材２４ａとしてＥｒ3 Ｃ
ｏを充填し、低温側の蓄冷材２４ｂとしてＥｒＮｉ2 を
体積比で５０％充填したときのデータを示し、×印は高
温側および低温側にそれぞれＥｒ3 Ｎｉを充填したとき
のデータを示している。
Ｅｒ3 Ｃｏを充填し、低温側の蓄冷材２４ｂとしてＥｒ
Ｎｉ0.8 Ｃｏ0.2 を体積比で５０％充填したときのデー
タを示し、□印は高温側の蓄冷材２４ａとしてＥｒ3 Ｃ
ｏを充填し、低温側の蓄冷材２４ｂとしてＥｒＮｉ2 を
体積比で５０％充填したときのデータを示し、×印は高
温側および低温側にそれぞれＥｒ3 Ｎｉを充填したとき
のデータを示している。
【００５６】この図から判るように、〇印および□印で
示す蓄冷材構成では、×で示す従来構成に比べてはるか
に高い冷凍能力が得られる。図１９にはモータ１３の回
転数（ディスプレーサ１９の往復動数）と、第２段冷却
ステージ１７の温度を4.2 Ｋに保持できる冷凍能力との
関係が示されている。
示す蓄冷材構成では、×で示す従来構成に比べてはるか
に高い冷凍能力が得られる。図１９にはモータ１３の回
転数（ディスプレーサ１９の往復動数）と、第２段冷却
ステージ１７の温度を4.2 Ｋに保持できる冷凍能力との
関係が示されている。
【００５７】図中、黒〇印は高温側の蓄冷材２４ａとし
てＥｒ0.7 Ｈｏ0.3 Ｎｉを充填し、低温側の蓄冷材２４
ｂとしてＥｒ0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉを体積比で５０％充填し
たときのデータを示し、黒◇印は高温側の蓄冷材２４ａ
としてＥｒ3 Ｃｏを充填し、低温側の蓄冷材２４ｂとし
てＥｒ0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉを体積比で５０％充填したとき
のデータを示し、白抜□印は高温側および低温側にそれ
ぞれＥｒ3 Ｎｉを充填したときのデータを示し、二重□
印は高温側にＥｒ0.75Ｇｄ0.25Ｎｉを充填し、低温側に
Ｅｒ0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉを充填し、中間部にＥｒ3 Ｃｏを
充填したときのデータを示し、白〇印は高温側にＥｒ3
Ｃｏを充填し、低温側にＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 を充填
し、中間部にＥｒ0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉを充填したときのデ
ータを示し、△印は高温側の蓄冷材２４ａとしてＥｒ3
Ｃｏを充填し、低温側の蓄冷材２４ｂとしてＥｒ0.9 Ｙ
ｂ0.1 Ｎｉを充填したときのデータを示し、◇印は高温
側の蓄冷材２４ａとしてＥｒ3 Ｎｉを充填し、低温側の
蓄冷材２４ｂとしてＥｒ0.9Ｙｂ0.1 Ｎｉを充填したと
きのデータを示している。
てＥｒ0.7 Ｈｏ0.3 Ｎｉを充填し、低温側の蓄冷材２４
ｂとしてＥｒ0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉを体積比で５０％充填し
たときのデータを示し、黒◇印は高温側の蓄冷材２４ａ
としてＥｒ3 Ｃｏを充填し、低温側の蓄冷材２４ｂとし
てＥｒ0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉを体積比で５０％充填したとき
のデータを示し、白抜□印は高温側および低温側にそれ
ぞれＥｒ3 Ｎｉを充填したときのデータを示し、二重□
印は高温側にＥｒ0.75Ｇｄ0.25Ｎｉを充填し、低温側に
Ｅｒ0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉを充填し、中間部にＥｒ3 Ｃｏを
充填したときのデータを示し、白〇印は高温側にＥｒ3
Ｃｏを充填し、低温側にＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 を充填
し、中間部にＥｒ0.9 Ｙｂ0.1 Ｎｉを充填したときのデ
ータを示し、△印は高温側の蓄冷材２４ａとしてＥｒ3
Ｃｏを充填し、低温側の蓄冷材２４ｂとしてＥｒ0.9 Ｙ
ｂ0.1 Ｎｉを充填したときのデータを示し、◇印は高温
側の蓄冷材２４ａとしてＥｒ3 Ｎｉを充填し、低温側の
蓄冷材２４ｂとしてＥｒ0.9Ｙｂ0.1 Ｎｉを充填したと
きのデータを示している。
【００５８】この図から判るように、黒〇印，黒◇印，
二重□印，白〇印，△印，◇印は、白抜□印で示す従来
構成に比べてはるかに高い冷凍能力が得られる。なお、
本発明は上述した実施例に限定されるものではない。す
なわち、上述した実施例の説明では最終段の蓄冷器内を
高温側と低温側とに分けて説明しているが、最終段の蓄
冷器内を高温端から低温端までの複数（４以上）に区分
し、各区分に図７および図８に示すように、各区分の温
度に適した比熱特性を示す組成の蓄冷材を充填するよう
にしてもよい。
二重□印，白〇印，△印，◇印は、白抜□印で示す従来
構成に比べてはるかに高い冷凍能力が得られる。なお、
本発明は上述した実施例に限定されるものではない。す
なわち、上述した実施例の説明では最終段の蓄冷器内を
高温側と低温側とに分けて説明しているが、最終段の蓄
冷器内を高温端から低温端までの複数（４以上）に区分
し、各区分に図７および図８に示すように、各区分の温
度に適した比熱特性を示す組成の蓄冷材を充填するよう
にしてもよい。
【００５９】また、実施例では全体として２段構成の冷
凍機を構成しているが、たとえば高温、中温、低温から
なる３段あるいはそれ以上の段数構成を採用してもよ
い。また、上述した実施例は本発明をギフォード・マク
マホン形冷凍機に適用した例であるが、スターリング冷
凍機、改良形ソルベーサイクルＧＭ冷凍機、ビルミヤ冷
凍機あるいはパルスチューブ冷凍機等の蓄冷式の極低温
冷凍機全般に適用できる。また、蓄冷材の形状も球状、
粒状、メッシュ状等の各種形状を選択できることは勿論
である。
凍機を構成しているが、たとえば高温、中温、低温から
なる３段あるいはそれ以上の段数構成を採用してもよ
い。また、上述した実施例は本発明をギフォード・マク
マホン形冷凍機に適用した例であるが、スターリング冷
凍機、改良形ソルベーサイクルＧＭ冷凍機、ビルミヤ冷
凍機あるいはパルスチューブ冷凍機等の蓄冷式の極低温
冷凍機全般に適用できる。また、蓄冷材の形状も球状、
粒状、メッシュ状等の各種形状を選択できることは勿論
である。
【００６０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、特
に産業上有用な４．２Ｋ付近での冷凍能力を向上させる
ことができる。
に産業上有用な４．２Ｋ付近での冷凍能力を向上させる
ことができる。
【図１】本発明の一実施例に係る極低温冷凍機の概略構
成図
成図
【図２】同冷凍機の最終段蓄冷器の構成を説明するため
の断面図
の断面図
【図３】ＥｒＮｉ0.8 Ｃｏ0.2 蓄冷材，Ｅｒ3 Ｃｏ蓄冷
材、Ｅｒ3 Ｎｉ蓄冷材の比熱特性を示す図
材、Ｅｒ3 Ｎｉ蓄冷材の比熱特性を示す図
【図４】最終段蓄冷器の高温側に充填するのに適した各
種蓄冷材の比熱特性を示す図
種蓄冷材の比熱特性を示す図
【図５】最終段蓄冷器の低温側に充填するのに適した各
種蓄冷材の比熱特性を示す図
種蓄冷材の比熱特性を示す図
【図６】最終段蓄冷器の低温側に充填するのに適した各
種蓄冷材の比熱特性を示す図
種蓄冷材の比熱特性を示す図
【図７】組成が一般式Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 で表さ
れる蓄冷材の xを種々変えた組成での比熱特性を示す図
れる蓄冷材の xを種々変えた組成での比熱特性を示す図
【図８】組成が一般式Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｒｈで表され
る蓄冷材の xを種々変えた組成での比熱特性を示す図
る蓄冷材の xを種々変えた組成での比熱特性を示す図
【図９】組成が一般式Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｎｉで表され
る蓄冷材のx を種々変えた組成での比熱特性を示す図
る蓄冷材のx を種々変えた組成での比熱特性を示す図
【図１０】組成が一般式（Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)）(1-y) Ｒ
ｕ(y) で表される蓄冷材（ただし、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎ
ｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙ
ｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）において、x=1 に設
定し、かつ yを0.3 〜0.4 に変化させたときの比熱特性
を示す図
ｕ(y) で表される蓄冷材（ただし、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎ
ｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙ
ｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）において、x=1 に設
定し、かつ yを0.3 〜0.4 に変化させたときの比熱特性
を示す図
【図１１】組成が一般式（Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 Ｎｉ
(y) Ｃｏ(1-y) で表されるで蓄冷材（ただし、ＲはＹ，
Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔ
ｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）において、x=
1 に設定し、かつ yを0 〜1に変化させたときの比熱特
性を示す図
(y) Ｃｏ(1-y) で表されるで蓄冷材（ただし、ＲはＹ，
Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔ
ｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）において、x=
1 に設定し、かつ yを0 〜1に変化させたときの比熱特
性を示す図
【図１２】組成が一般式Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)Ｎｉ(y) Ｃｕ
(1-y) で表される蓄冷材（ただし、0 ≦x ≦1 、0 ≦y
≦1 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，
Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元
素）において、x=1 ，y=0 に設定したときの比熱特性
と、x =0，y=0.5 ，Ｒ＝Ｈｏに設定したときの比熱特性
とを示す図
(1-y) で表される蓄冷材（ただし、0 ≦x ≦1 、0 ≦y
≦1 、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，
Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元
素）において、x=1 ，y=0 に設定したときの比熱特性
と、x =0，y=0.5 ，Ｒ＝Ｈｏに設定したときの比熱特性
とを示す図
【図１３】組成が一般式Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ
(1-y) で表される蓄冷材（ただし、 0≦ x≦ 1、 0≦ y
≦ 1、ＲはＧｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏから選ばれた希土類
元素）においてx=1 ，y=0.7 〜1 に設定したときの比熱
特性を示す図
(1-y) で表される蓄冷材（ただし、 0≦ x≦ 1、 0≦ y
≦ 1、ＲはＧｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏから選ばれた希土類
元素）においてx=1 ，y=0.7 〜1 に設定したときの比熱
特性を示す図
【図１４】組成が一般式（Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 ＡｌＣ
(y) で表される蓄冷材（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦
1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄ
ｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）
においてx=1 ，y=0.5 〜1に設定したときの比熱特性を
示す図
(y) で表される蓄冷材（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦
1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄ
ｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）
においてx=1 ，y=0.5 〜1に設定したときの比熱特性を
示す図
【図１５】ＥｒＮｉ、Ｅｒ0.95Ｇｄ0.05Ｎｉ、Ｅｒ0.9
Ｇｄ0.1 Ｎｉ、Ｅｒ3 Ｃｏの比熱特性を示す図
Ｇｄ0.1 Ｎｉ、Ｅｒ3 Ｃｏの比熱特性を示す図
【図１６】最終段蓄冷器の低温側に充填された蓄冷材の
体積比と蓄冷効率との関係の一例を示す図
体積比と蓄冷効率との関係の一例を示す図
【図１７】最終段蓄冷器の低温側に充填された蓄冷材の
体積比と蓄冷効率との関係の別の例を示す図
体積比と蓄冷効率との関係の別の例を示す図
【図１８】最終段蓄冷器に充填された蓄冷材の種類と冷
凍能力との関係を示す図
凍能力との関係を示す図
【図１９】最終段蓄冷器に充填された蓄冷材の種類と冷
凍能力との関係を示す図
凍能力との関係を示す図
１…コールドヘッド、 ２…冷媒ガス導
排出系、１１…シリンダ、 １２…
ディスプレーサ、１３…モータ、
１６…第１段冷却ステージ、１７…第２段冷却ステー
ジ、 １８…第１ディスプレーサ、１９…第２
ディスプレーサ、 ２２，２４…蓄冷材、２
１，２３…蓄冷器を構成するための流体通路、２４ａ…
高温側の蓄冷材、２４ｂ…低温側の蓄冷材、２８…セパ
レータ。
排出系、１１…シリンダ、 １２…
ディスプレーサ、１３…モータ、
１６…第１段冷却ステージ、１７…第２段冷却ステー
ジ、 １８…第１ディスプレーサ、１９…第２
ディスプレーサ、 ２２，２４…蓄冷材、２
１，２３…蓄冷器を構成するための流体通路、２４ａ…
高温側の蓄冷材、２４ｂ…低温側の蓄冷材、２８…セパ
レータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東海 陽一 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株 式会社東芝研究開発センター内
Claims (5)
- 【請求項１】圧縮されたヘリウムガスを蓄冷器に通して
冷却した後に低温部で膨脹させて寒冷を発生させる極低
温冷凍機において、前記蓄冷器に、下記の一般式で表さ
れる組成の蓄冷材Ａと、同じく下記の一般式で表される
組成の蓄冷材Ｂとが充填されていることを特徴とする極
低温冷凍機。 蓄冷材Ａ (a) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 Ｎｉ(y) Ｃｏ
(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y
≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，
Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元
素）または、 (b) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y) で表
される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦y ≦1 、Ｒは
Ｙ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、 (c) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 で表される組成
物（ただし、0 ≦ x≦0.85）または、 (d) 一般式 Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｒｈで表される組成物
（ただし、0 ≦x ≦0.3 ）または、 (e) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表
される組成物（ただし、 0≦ x≦ 1、 0≦ y≦ 1、Ｒは
Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏから選ばれた希土類元素） 蓄冷材Ｂ (f) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表
される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、Ｒは
Ｙ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、 (g) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 ＡｌＣ(y) で表さ
れる組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、Ｒは
Ｙ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、 (h) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 で表される組成
物（ただし、0.85≦ x≦ 1）または、 (i) 一般式 Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x)Ｒｈで表される組成物
（ただし、0.3 ≦x ≦1）または、 (j) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)）(1-y) Ｒｕ(y) で表
される組成物（ただし、0.5 ≦x ≦1 、0 ≦y ≦0.7 、
ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，
Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、 (k) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y) で表
される組成物（ただし、0 ≦x ≦1 、0 ≦y ≦1 、Ｒは
Ｙ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素） - 【請求項２】前記蓄冷材Ａが高温側に、前記蓄冷材Ｂが
低温側に充填されていることを特徴とする請求項１に記
載の極低温冷凍機。 - 【請求項３】前記蓄冷材Ｂは、前記蓄冷器内に体積比で
１０〜９０％の範囲充填されていることを特徴とする請
求項１に記載の極低温冷凍機。 - 【請求項４】前記蓄冷器は、前段冷却ステージに設けら
れた第１蓄冷器と、後段冷却ステージに設けられた第２
蓄冷器とから構成され、前記蓄冷材Ａおよび蓄冷材Ｂと
を第２蓄冷器に充填するとともに、前記第１蓄冷器には
銅あるいは鉛の少なくともどちらか一方を含む蓄冷材を
充填してなることを特徴とする請求項１に記載の極低温
冷凍機。 - 【請求項５】圧縮されたヘリウムガスを前段冷却ステー
ジの第１蓄冷器から後段冷却ステージの第２蓄冷器に通
して冷却した後に膨脹させて寒冷を発生させる極低温冷
凍機において、前記第１蓄冷器に充填された第１の蓄冷
材と、前記第２蓄冷器に充填された複数の第２の蓄冷材
と、この複数の第２の蓄冷材同士が前記第２蓄冷器内で
混合しないように仕切る仕切り部材とを備え、前記第２
の蓄冷材は下記の一般式(a) 乃至(i) で表される少なく
とも一つの式の中から選ばれた異なる複数の組成物から
それぞれ構成されており、前記第２蓄冷器の高温側には
前記複数の組成物のうち他の組成物よりも高温側に磁気
転移点を有するものを充填し、前記第２蓄冷器の低温側
には前記複数の組成物のうち他の組成物よりも低温側に
磁気転移点を有するものを充填したことを特徴とする極
低温冷凍機。 (a) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 Ｎｉ(y) Ｃｏ
(1-y) で表される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y
≦ 1、ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，
Ｄｙ，Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元
素）または、 (b) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｕ(1-y) で表
される組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦y ≦1 、Ｒは
Ｙ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、 (c) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 で表される組成
物（ただし、0 ≦ x≦0.85）または、 (d) 一般式 Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x) Ｒｈで表される組成物
（ただし、0 ≦x ≦0.3 ）または、 (e) 一般式 Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) Ｎｉ(y) Ｃｏ(1-y) で表
される組成物（ただし、 0≦ x≦ 1、 0≦ y≦ 1、Ｒは
Ｙ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、 (f) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x) ）3 ＡｌＣ(y) で表さ
れる組成物（ただし、0 ≦ x≦ 1、0 ≦ y≦ 1、Ｒは
Ｙ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）また
は、 (g) 一般式 Ｅｒ(x) Ｄｙ(1-x) Ｎｉ2 で表される組成
物（ただし、0.85≦ x≦ 1）または、 (h) 一般式 Ｅｒ(x) Ｇｄ(1-x)Ｒｈで表される組成物
（ただし、0.3 ≦x ≦1）または、 (i) 一般式 （Ｅｒ(x) Ｒ(1-x)）(1-y) Ｒｕ(y) で表
される組成物（ただし、0.5 ≦x ≦1 、0 ≦y ≦0.7 、
ＲはＹ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，
Ｈｏ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｓｃから選ばれた希土類元素）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09761594A JP3417654B2 (ja) | 1993-05-11 | 1994-05-11 | 極低温冷凍機 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5-109420 | 1993-05-11 | ||
| JP10942093 | 1993-05-11 | ||
| JP09761594A JP3417654B2 (ja) | 1993-05-11 | 1994-05-11 | 極低温冷凍機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727434A true JPH0727434A (ja) | 1995-01-27 |
| JP3417654B2 JP3417654B2 (ja) | 2003-06-16 |
Family
ID=26438781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09761594A Expired - Fee Related JP3417654B2 (ja) | 1993-05-11 | 1994-05-11 | 極低温冷凍機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3417654B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6400359B1 (en) | 1998-08-27 | 2002-06-04 | Pentel Kabushiki Kaisha | Apparatus for detecting an approaching conductor, or an approach point of a conductor and an electrostatic capacity type touch panel apparatus |
| JP2012077966A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 蓄冷器式冷凍機 |
| WO2018199278A1 (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-01 | 株式会社三徳 | ＨｏＣｕ系蓄冷材並びにこれを備えた蓄冷器及び冷凍機 |
| JP2018173268A (ja) * | 2012-10-09 | 2018-11-08 | 株式会社東芝 | コールドヘッドの製造方法 |
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|---|---|---|---|---|
| JP5805421B2 (ja) * | 2011-04-04 | 2015-11-04 | 住友重機械工業株式会社 | 蓄冷器式冷凍機及び仕切り部材 |
-
1994
- 1994-05-11 JP JP09761594A patent/JP3417654B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6400359B1 (en) | 1998-08-27 | 2002-06-04 | Pentel Kabushiki Kaisha | Apparatus for detecting an approaching conductor, or an approach point of a conductor and an electrostatic capacity type touch panel apparatus |
| JP2012077966A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 蓄冷器式冷凍機 |
| JP2018173268A (ja) * | 2012-10-09 | 2018-11-08 | 株式会社東芝 | コールドヘッドの製造方法 |
| US10513646B2 (en) | 2012-10-09 | 2019-12-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Rare earth regenerator material particle, rare earth regenerator material particle group, and cold head, superconducting magnet, examination apparatus, and cryopump using the same |
| US11015101B2 (en) | 2012-10-09 | 2021-05-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Rare earth regenerator material particle, rare earth regenerator material particle group, and cold head, superconducting magnet, examination apparatus, and cryopump using the same |
| US11692117B2 (en) | 2012-10-09 | 2023-07-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Rare earth regenerator material particle, rare earth regenerator material particle group, and cold head, superconducting magnet, examination apparatus, and cryopump using the same |
| WO2018199278A1 (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-01 | 株式会社三徳 | ＨｏＣｕ系蓄冷材並びにこれを備えた蓄冷器及び冷凍機 |
| JP6495546B1 (ja) * | 2017-04-28 | 2019-04-03 | 株式会社三徳 | ＨｏＣｕ系蓄冷材並びにこれを備えた蓄冷器及び冷凍機 |
| US11370949B2 (en) | 2017-04-28 | 2022-06-28 | Santoku Corporation | HoCu-based cold-storage material, and cold-storage device and refrigerating machine each equipped therewith |
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