JPH10339377A - Gate valve - Google Patents
Gate valveInfo
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- JPH10339377A JPH10339377A JP16520797A JP16520797A JPH10339377A JP H10339377 A JPH10339377 A JP H10339377A JP 16520797 A JP16520797 A JP 16520797A JP 16520797 A JP16520797 A JP 16520797A JP H10339377 A JPH10339377 A JP H10339377A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ゲートバルブに関
し、特に、半導体の製造などに用いる真空処理装置の真
空チャンバに取り付けて真空と大気を分離するゲートバ
ルブに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gate valve, and more particularly to a gate valve which is attached to a vacuum chamber of a vacuum processing apparatus used for manufacturing semiconductors and separates a vacuum from an atmosphere.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のゲートバルブとして、例えば特開
平5−272662号公報には、図4及び図5に示すよ
うな構成されている。図4(A)は閉状態の側断面図、
図4(B)は開状態の側断面図を示しており、図5は正
面図を示している。2. Description of the Related Art As a conventional gate valve, for example, Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 5-272662 has a structure as shown in FIGS. FIG. 4A is a side sectional view in a closed state,
FIG. 4B shows a side sectional view in an open state, and FIG. 5 shows a front view.
【0003】図4及び図5を参照して、製品(ウェハ)
を通過させるための開口17を有するチャンバー(フラ
ンジ)16の内壁が弁座となり、開口17の側方に位置
する弁体18が弁棒19の閉動作により開口17上に移
動し、Oリング20の介在により開口17を気密に閉塞
するゲートバルブであって、弁棒19は、先端を開口1
7に向けてフランジ16と平行に配置されて、該閉動作
が開口17に近づく軸方向移動であり、該先端に、弁棒
19と移動を共にする弁体支持部材21が結合されてい
る。Referring to FIG. 4 and FIG. 5, a product (wafer)
The inner wall of a chamber (flange) 16 having an opening 17 through which the valve 17 passes serves as a valve seat, and a valve element 18 located on the side of the opening 17 is moved over the opening 17 by the closing operation of the valve rod 19, and the O-ring 20 is moved. A gate valve that hermetically closes the opening 17 with the interposition of the
7, the closing operation is an axial movement approaching the opening 17, and a valve body supporting member 21 that moves together with the valve rod 19 is connected to the tip.
【0004】弁体18は、リンク機構22を介し弁体支
持部材21に支持されて弁体支持部材21とフランジ1
6との間に間隙を設けて設置されている。The valve body 18 is supported by a valve body support member 21 via a link mechanism 22 so that the valve body
6 and a gap is provided.
【0005】リンク機構22は、一端が弁体支持部材2
1に軸支され他端が弁棒19の閉動作方向の側に変位し
て弁体18に軸支されてフランジ16の面に垂直で弁棒
19の作動方向に平行な平面上を揺動する。The link mechanism 22 has one end of the valve body support member 2.
1 and the other end is displaced toward the closing operation direction of the valve rod 19 and is pivotally supported by the valve element 18 to swing on a plane perpendicular to the surface of the flange 16 and parallel to the operating direction of the valve rod 19. I do.
【0006】互いに平行で且つ長さの等しい2個のリン
ク22aが対をなして、弁体18のフランジ16と対向
して開口17を閉塞する主面をフランジ16と保ちなが
ら、弁体18が拘束されない際に弁体18が弁棒19の
閉動作方向と反対方向に押された際に弁体18を弁体支
持部材21から次第に隔離させるものであり、弁棒19
の閉作動により、該弁体主面が開口17の正面に達した
弁体18に対し、弁棒19の閉作動方向の移動を停止さ
せるストッパ23が配置されている。The two links 22a, which are parallel to each other and have the same length, form a pair, and the main body for closing the opening 17 opposite to the flange 16 of the valve body 18 is maintained as the flange 16 while the valve body 18 is held. When the valve body 18 is pushed in the direction opposite to the closing operation direction of the valve stem 19 when not restrained, the valve body 18 is gradually separated from the valve body support member 21.
A stopper 23 for stopping the movement of the valve rod 19 in the closing operation direction with respect to the valve element 18 whose main surface reaches the front of the opening 17 by the closing operation of the valve element 18 is disposed.
【0007】なお、図4において、24aはシリンダ2
4の作動範囲を規定するためのマグネットセンサーであ
り、24bは作動速度を調整するためのスピードコント
ローラである。In FIG. 4, reference numeral 24a denotes a cylinder 2
Reference numeral 4 denotes a magnet sensor for defining the operation range, and reference numeral 24b denotes a speed controller for adjusting the operation speed.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のゲート
バルブは、閉作動方向の移動をストッパ23によって停
止させ、弁棒19がさらに移動することによって、弁体
18をフランジ16に押しつけ、チャンバの開口17を
気密に閉塞していた。In the above-described conventional gate valve, the movement in the closing operation direction is stopped by the stopper 23, and the valve rod 19 is further moved, so that the valve body 18 is pressed against the flange 16 and the chamber is closed. The opening 17 was airtightly closed.
【0009】しかしながら、上記従来のゲートバルブに
おいては、互いに金属よりなる弁体18とストッパ23
はすべりが生じるため、ゴミが発生する。そして、この
ゴミが、半導体ウェハーに付着し、製品不良となる、と
いう問題点を有している。However, in the above-mentioned conventional gate valve, the valve body 18 and the stopper 23 made of metal are mutually formed.
Because of the slip, dust is generated. Then, there is a problem that the dust adheres to the semiconductor wafer, resulting in a defective product.
【0010】このように、従来のゲートバルブにおいて
は、真空チャンバ内に、ストッパを設けているため、ゴ
ミが発生し、半導体ウェハーに付着し、製品不良とな
り、歩留りの向上を阻止する要因ともなっていた。As described above, in the conventional gate valve, since the stopper is provided in the vacuum chamber, dust is generated, adheres to the semiconductor wafer, and the product becomes defective, which is a factor for preventing an improvement in yield. Was.
【0011】したがって、本発明は、上記問題点に鑑み
てなされたものであって、その目的は、上記従来技術の
ストッパの代わりとなる機構を、真空チャンバの外部に
設け、真空チャンバ内での金属同志の衝突を無くすこと
により、半導体ウェハーの製品不良を無くし、歩留り、
生産性の向上を達成するゲートバルブを提供することに
ある。Accordingly, the present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a mechanism in place of the above-mentioned conventional stopper outside the vacuum chamber and to provide a mechanism inside the vacuum chamber. By eliminating collisions between metals, product defects of semiconductor wafers are eliminated, yield
An object of the present invention is to provide a gate valve that achieves an improvement in productivity.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のゲートバルブは、真空外に設けられた第1
のシリンダと、前記第1のシリンダのシャフトに取り付
けられたベースと、前記ベースに取り付けられた第2の
シリンダと、前記第2のシリンダのシャフトに取り付け
られる第1の真空シャフトと、前記ベースに取り付けら
れる第2の真空シャフトと、前記第1の真空シャフトを
大気と隔離するための第1のベローズと、前記第2の真
空シャフトを大気と隔離するための第2のベローズと、
前記第2の真空シャフトに取り付けられる弁体支持部材
と、前記弁体支持部材に回転自在に取り付けられる第1
のリンク部材と、前記弁体支持部材に回転自在に取り付
けられ前記第1リンク部材と同じ長さを有する第2のリ
ンク部材と、前記第1のリンク部材と前記第2のリンク
部材とが平行になり、また結合部が自由に回転できるよ
うに取り付けられる弁体と、前記第1のリンク部材と前
記第2のリンク部材の、前記弁体支持部材との結合部か
ら等距離に自由に回転できるように取り付けられ、かつ
前記第1のシャフトに結合される動作部材と、を有する
ことを特徴とする。In order to achieve the above object, a gate valve according to the present invention comprises a first valve provided outside a vacuum.
A cylinder, a base attached to a shaft of the first cylinder, a second cylinder attached to the base, a first vacuum shaft attached to a shaft of the second cylinder, A second vacuum shaft to be mounted, a first bellows for isolating the first vacuum shaft from the atmosphere, a second bellows for isolating the second vacuum shaft from the atmosphere,
A valve body support member attached to the second vacuum shaft, and a first member rotatably attached to the valve body support member.
And a second link member rotatably attached to the valve body support member and having the same length as the first link member, and the first link member and the second link member are parallel to each other. And a valve body that is attached so that the coupling portion can freely rotate, and freely rotates at an equal distance from the coupling portion between the first link member and the second link member with the valve body support member. Operating member attached to the first shaft so as to be capable of being connected to the first shaft.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について以下
に説明する。本発明のゲートバルブは、その好ましい実
施の形態において、図1及び図2を参照して、物品を通
過させる開口(13)を有するチャンバー(16)が弁
座となり、該開口の側方に位置する弁体(11)をシャ
フトの閉動作により該開口上に移動し、Oリング(1
4)の介在により該開口を気密に閉塞するゲートバルブ
であって、真空外に設けられた第1のシリンダ(1)
と、第1のシリンダのシャフトに取り付けられたベース
(2)と、ベース(2)に取り付けられた第2のシリン
ダ(3)と、第2のシリンダのシャフトに接続する第1
の真空シャフト(4)と、ベースに取り付けられた第2
の真空シャフト(5)と、第2の真空シャフトに取り付
けられる弁体支持部材(8)と、を少なくとも含み、弁
体(11)は、互いに長さの等しい平行なリンク部材
(9、10)からなる平行リンク機構を介して、弁体支
持部材(8)に対して軸支されるとともに、平行リンク
部材(9、10)において弁体支持部材(8)との結合
部から等距離に第1の真空シャフト(4)に接続した動
作支持部材(12)に軸支される。Embodiments of the present invention will be described below. In a preferred embodiment of the gate valve of the present invention, referring to FIGS. 1 and 2, a chamber (16) having an opening (13) through which an article passes is a valve seat, and is located at a side of the opening. The opening of the valve element (11) is moved over the opening by the closing operation of the shaft, and the
4) A gate valve which hermetically closes the opening by the interposition of a first cylinder (1) provided outside vacuum.
A base (2) attached to the shaft of the first cylinder, a second cylinder (3) attached to the base (2), and a first cylinder connected to the shaft of the second cylinder.
Vacuum shaft (4) and the second attached to the base
And at least a valve body support member (8) attached to the second vacuum shaft, wherein the valve body (11) has parallel link members (9, 10) having the same length. The shaft is supported by the valve body support member (8) via a parallel link mechanism consisting of: and the parallel link members (9, 10) are equidistant from the joint with the valve body support member (8). It is supported by a motion support member (12) connected to one vacuum shaft (4).
【0014】第1のシリンダ(1)の閉動作終了時、ベ
ースに取り付けられている第2の真空シャフト(5)の
位置及び弁体支持部材(8)の位置が固定され、第2の
シリンダ(3)が縮動作し、第1の真空シャフト(4)
を動作させ、これにより第1の真空シャフト(4)に接
続されている動作支持部材(12)を動作させることに
より、平行リンク部材(9、10)が弁体支持部材
(8)に軸支されている部分を中心(支点)として回転
し、弁体(11)を動作支持部材(8)と平行を保った
まま、動作支持部材の動作方向と直角方向に移動させ、
弁体(11)はOリング(14)を介してチャンバの内
壁に押圧され、開口(14)を気密に閉塞する。When the closing operation of the first cylinder (1) is completed, the position of the second vacuum shaft (5) attached to the base and the position of the valve body support member (8) are fixed, and the second cylinder is closed. (3) is contracted, and the first vacuum shaft (4)
By operating the operation support member (12) connected to the first vacuum shaft (4), the parallel link members (9, 10) are pivotally supported on the valve body support member (8). The valve body (11) is moved in the direction perpendicular to the operation direction of the operation support member while the valve body (11) is kept parallel to the operation support member (8),
The valve body (11) is pressed against the inner wall of the chamber via the O-ring (14), and hermetically closes the opening (14).
【0015】[0015]
【実施例】上記した実施の形態についてさらに詳細に説
明すべく、本発明の実施例について図面を参照して以下
に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In order to explain the above-mentioned embodiment in more detail, an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0016】図1及び図2は、本発明の一実施例の側断
面図と正面図を示したものであり、ゲートバルブの閉状
態を示す図である。図3は、本発明の一実施例のゲート
バルブの開状態の側断面図である。FIGS. 1 and 2 are a side sectional view and a front view of an embodiment of the present invention, showing a closed state of a gate valve. FIG. 3 is a side sectional view showing an open state of the gate valve according to one embodiment of the present invention.
【0017】図1及び図2を参照すると、本発明の一実
施例は、(a)真空外に設けられた第1のシリンダ1
と、(b)第1のシリンダ1のシャフトに取り付けられ
たベース2と、(c)ベース2に取り付けられた第2の
シリンダ3と、(d)第2のシリンダ3のシャフトに取
り付けられる第1の真空シャフト4と、(e)ベース2
に取り付けられる第2の真空シャフト5と、(f)第1
の真空シャフト4を大気と隔離するための第1のベロー
ズ6と、(g)第2の真空シャフト5を大気と隔離する
ための第2のベローズ7と、(h)第2の真空シャフト
5に取り付けられる弁体支持部材8と、(i)弁体支持
部材8に回転自在に取り付けられる第1のリンク部材9
と、(j)弁体支持部材8に回転自在に取り付けられ、
第1のリンク部材9と同じ長さを有する第2のリンク部
材10と、(k)第1のリンク部材9と第2のリンク部
材10が平行になり、また結合部が回転自在に取り付け
られる弁体11と、(l)第1のリンク部材9と第2の
リンク部材10の弁体支持部材8の結合部から等距離
に、自由に回転できるように取り付けられ、かつ、第1
の真空シャフト4に結合される動作部材12と、を備え
て構成されている。Referring to FIG. 1 and FIG. 2, one embodiment of the present invention comprises: (a) a first cylinder 1 provided outside a vacuum;
(B) a base 2 attached to the shaft of the first cylinder 1, (c) a second cylinder 3 attached to the base 2, and (d) a second cylinder attached to the shaft of the second cylinder 3. 1 vacuum shaft 4 and (e) base 2
A second vacuum shaft 5 attached to the
A first bellows 6 for isolating the vacuum shaft 4 from the atmosphere, (g) a second bellows 7 for isolating the second vacuum shaft 5 from the atmosphere, and (h) a second vacuum shaft 5 And (i) a first link member 9 rotatably attached to the valve support member 8.
(J) rotatably attached to the valve body support member 8,
The second link member 10 having the same length as the first link member 9 and (k) the first link member 9 and the second link member 10 are parallel to each other, and the connecting portion is rotatably mounted. The valve body 11 and (1) the first link member 9 and the second link member 10 are attached so as to be freely rotatable at the same distance from the joint of the valve body support member 8 and the first link member 9.
And an operating member 12 coupled to the vacuum shaft 4.
【0018】図1乃至図3を参照して、本発明の一実施
例の動作について以下に説明する。第1のシリンダ1
が、閉動作(伸動作)を開始し、第2のシリンダ3を固
定しているベース2を持ち上げ、第2のシリンダ3のシ
ャフトに取り付けられている第1の真空シャフト4と、
ベース2に取り付けられている第2の真空シャフト5
と、を持ち上げることにより、第1のリンク部材9と第
2のリンク部材10とによって保持されている弁体11
を、開口13の側方正面にまで、移動させる。The operation of one embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. First cylinder 1
Starts a closing operation (extending operation), raises a base 2 fixing the second cylinder 3, and a first vacuum shaft 4 attached to a shaft of the second cylinder 3,
Second vacuum shaft 5 attached to base 2
, The valve body 11 held by the first link member 9 and the second link member 10
Is moved to the front side of the opening 13.
【0019】第1のシリンダ1は、弁体11が、開口1
3の側方正面の位置に移動すると、動作を停止する。The first cylinder 1 has a valve body 11 having an opening 1
When it moves to the position on the side front of No. 3, the operation stops.
【0020】第1のシリンダ1の動作が停止すること
で、ベース2に取り付けられている第2の真空シャフト
5の位置が固定され、弁体支持部材8の位置も固定され
る。When the operation of the first cylinder 1 stops, the position of the second vacuum shaft 5 attached to the base 2 is fixed, and the position of the valve body support member 8 is also fixed.
【0021】第2のシリンダ3は、第1のシリンダ1の
動作が停止すると、動作を開始するように設定されてい
る。The second cylinder 3 is set to start operating when the operation of the first cylinder 1 stops.
【0022】第1のシリンダ1の動作終了後、第2のシ
リンダ3は縮動作し、第2のシリンダ3のシャフトに接
続されている第1の真空シャフト4を動作させ、第1の
真空シャフト4に接続されている動作支持部材12を動
作させる。すなわち、動作支持部材12は第2のシリン
ダ3に連動して、図の上方に移動する。After the operation of the first cylinder 1 is completed, the second cylinder 3 is contracted to operate the first vacuum shaft 4 connected to the shaft of the second cylinder 3, and the first vacuum shaft The operation support member 12 connected to the operation member 4 is operated. That is, the operation support member 12 moves upward in the figure in conjunction with the second cylinder 3.
【0023】動作支持部材12が動作することにより、
動作支持部材12に回転できるように接続されている第
1のリンク部材9と第2のリンク部材10は、弁体支持
部材8に回転できるように接続されている部分を中心と
して、回転運動する。When the operation support member 12 operates,
The first link member 9 and the second link member 10 rotatably connected to the operation support member 12 rotate around a portion rotatably connected to the valve body support member 8. .
【0024】これにより、第1のリンク部材9と第2の
リンク部材10に接続されている弁体11を動作支持部
材12と平行を保ったまま、動作支持部材12の動作方
向と直角方向に、すなわち、チャンバ15内壁側に移動
させる。Thus, while keeping the valve body 11 connected to the first link member 9 and the second link member 10 parallel to the operation support member 12, the valve body 11 is perpendicular to the operation direction of the operation support member 12. That is, it is moved to the inner wall side of the chamber 15.
【0025】弁体11は、Oリング14を介してチャン
バ15の内壁に押しつけられ、開口13を気密に閉塞す
る。The valve body 11 is pressed against the inner wall of the chamber 15 via the O-ring 14 and closes the opening 13 in an airtight manner.
【0026】なお、第1のシリンダ1に取り付けられて
いる、1aと1b、第2のシリンダ3に取り付けられて
いる3aと3bは、シリンダの作動範囲を規定するため
のマグネットセンサであり、第1のシリンダ1に取り付
けられている1cと1d、第2のシリンダ3に取り付け
られている3cと3dは、移動速度を調節するためのス
ピードコントローラである。The reference numerals 1a and 1b attached to the first cylinder 1 and the reference numerals 3a and 3b attached to the second cylinder 3 are magnet sensors for defining the operating range of the cylinder. 1c and 1d attached to one cylinder 1 and 3c and 3d attached to the second cylinder 3 are speed controllers for adjusting the moving speed.
【0027】[0027]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
2つのシリンダを用いることで、真空チャンバ内にスト
ッパを設置することなく、チャンバ開口を気密に閉塞す
ることができる。すなわち、本発明によれば、真空チャ
ンバ内での金属同志の衝突箇所をなくし、これによって
生じる金属粉の発生を無くすことができ、半導体ウェハ
ーの製品不良を無くすことができ、歩留り、生産性を向
上することができるという効果を奏する。As described above, according to the present invention,
By using two cylinders, the chamber opening can be hermetically closed without installing a stopper in the vacuum chamber. That is, according to the present invention, it is possible to eliminate metal collision points in a vacuum chamber, thereby eliminating the generation of metal powder, thereby eliminating defective products of semiconductor wafers, and improving yield and productivity. The effect that it can improve is produced.
【図1】本発明の実施の形態の閉状態を示す正面図であ
る。FIG. 1 is a front view showing a closed state according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の実施の形態の閉状態を示す正面図であ
る。FIG. 2 is a front view showing a closed state according to the embodiment of the present invention.
【図3】本発明の開状態を示す側面断面図である。FIG. 3 is a side sectional view showing an open state of the present invention.
【図4】従来のゲートバルブの閉状態の側面断面図と正
面図である。FIG. 4 is a side sectional view and a front view of a conventional gate valve in a closed state.
【図5】開状態の側面断面図である。FIG. 5 is a side sectional view in an open state.
1 第1のシリンダ 2 ベース 3 第2のシリンダ 4 第1の真空シャフト 5 第2の真空シャフト 6 第1のベローズ 7 第2のベローズ 8 弁体支持部材 9 第1のリンク部材 10 第2のリンク部材 11 弁体 12 動作支持部材 13 開口 14 Oリング 15 チャンバ 1a、1b、2a、2b マグネットセンサ 1c、1d、2c、2d スピードコントローラ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st cylinder 2 Base 3 2nd cylinder 4 1st vacuum shaft 5 2nd vacuum shaft 6 1st bellows 7 2nd bellows 8 Valve support member 9 1st link member 10 2nd link Member 11 Valve element 12 Operation support member 13 Opening 14 O-ring 15 Chamber 1a, 1b, 2a, 2b Magnet sensor 1c, 1d, 2c, 2d Speed controller
Claims (3)
が弁座となり、該開口の側方に位置する弁体をシャフト
の閉動作により該開口上に移動し、Oリングの介在によ
り該開口を気密に閉塞するゲートバルブであって、 真空外に設けられた第1のシリンダと、 前記第1のシリンダのシャフトに取り付けられたベース
と、 前記ベースに取り付けられた第2のシリンダと、 前記第2のシリンダのシャフトに接続する第1の真空シ
ャフトと前記ベースに取り付けられた第2の真空シャフ
トと、 前記第2の真空シャフトに取り付けられる弁体支持部材
と、 を少なくとも含み、 前記弁体は、互いに長さの等しい平行なリンク部材から
なる平行リンク機構を介して、前記弁体支持部材に対し
て軸支されるとともに、前記平行リンク部材において前
記弁体支持部材の結合部から等距離に前記第1の真空シ
ャフトに接続した動作支持部材に軸支される、ことを特
徴とするゲートバルブ。A chamber having an opening through which an article passes serves as a valve seat, and a valve element located on the side of the opening is moved over the opening by a closing operation of a shaft, and the opening is airtightly closed by an O-ring. A first cylinder provided outside of a vacuum, a base attached to a shaft of the first cylinder, a second cylinder attached to the base, and a second cylinder attached to the base. A first vacuum shaft connected to a shaft of a cylinder, a second vacuum shaft attached to the base, and a valve body support member attached to the second vacuum shaft. Via a parallel link mechanism composed of parallel link members having the same length, the shaft is supported on the valve body support member, and the valve is connected to the parallel link member. A gate valve, wherein the gate valve is supported by an operation support member connected to the first vacuum shaft at an equal distance from a joint portion of the body support member.
ベースに取り付けられている前記第2の真空シャフトの
位置及び前記弁体支持部材の位置が固定され、 前記第2のシリンダが縮動作し、前記第1の真空シャフ
トを動作させ、これにより前記第1の真空シャフトに接
続されている前記動作支持部材を動作させることによ
り、前記平行リンク部材が前記弁体支持部材に軸支され
ている部分を中心として回転し、前記弁体を前記動作支
持部材と平行を保ったまま、前記動作支持部材の動作方
向と直角方向に移動させ、前記弁体は前記Oリングを介
して前記チャンバの内壁に押圧され、前記開口を気密に
閉塞する、ことを特徴とする請求項1記載のゲートバル
ブ。2. When the closing operation of the first cylinder is completed, the position of the second vacuum shaft attached to the base and the position of the valve body support member are fixed, and the second cylinder is contracted. Operating, operating the first vacuum shaft, thereby operating the operation support member connected to the first vacuum shaft, whereby the parallel link member is axially supported by the valve body support member. The valve body is moved in a direction perpendicular to the operation direction of the operation support member while keeping the valve body parallel to the operation support member, and the valve body is moved through the O-ring into the chamber. The gate valve according to claim 1, wherein the gate valve is pressed against an inner wall of the gate valve to hermetically close the opening.
と、 前記ベースに取り付けられた第2のシリンダと、 前記第2のシリンダのシャフトに取り付けられる第1の
真空シャフトと、 前記ベースに取り付けられる第2の真空シャフトと、 前記第1の真空シャフトを大気と隔離するための第1の
ベローズと、 前記第2の真空シャフトを大気と隔離するための第2の
ベローズと、 前記第2の真空シャフトに取り付けられる弁体支持部材
と、 前記弁体支持部材に回転自在に取り付けられる第1のリ
ンク部材と、 前記弁体支持部材に回転自在に取り付けられ前記第1リ
ンク部材と同じ長さを有する第2のリンク部材と、 前記第1のリンク部材と前記第2のリンク部材とが平行
になり、また結合部が自由に回転できるように取り付け
られる弁体と、 前記第1のリンク部材と前記第2のリンク部材の、前記
弁体支持部材との結合部から等距離に自由に回転できる
ように取り付けられ、かつ前記第1のシャフトに結合さ
れる動作部材と、 を有することを特徴とするゲートバルブ。A first cylinder provided outside the vacuum; a base attached to a shaft of the first cylinder; a second cylinder attached to the base; and a shaft of the second cylinder. A first vacuum shaft attached to the base, a second vacuum shaft attached to the base, a first bellows for isolating the first vacuum shaft from the atmosphere, and an atmosphere attached to the second vacuum shaft. A second bellows for isolation, a valve body support member mounted on the second vacuum shaft, a first link member rotatably mounted on the valve body support member, and a rotation on the valve body support member A second link member freely attached and having the same length as the first link member; the first link member and the second link member being parallel to each other; A valve body attached so that the joint portion can freely rotate; and a valve body attached so that the first link member and the second link member can freely rotate at an equal distance from a joint portion between the valve body support member and the first link member. And an operating member coupled to the first shaft.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16520797A JPH10339377A (en) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | Gate valve |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16520797A JPH10339377A (en) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | Gate valve |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2839025B1 JP2839025B1 (en) | 1998-12-16 |
JPH10339377A true JPH10339377A (en) | 1998-12-22 |
Family
ID=15807885
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16520797A Granted JPH10339377A (en) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | Gate valve |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10339377A (en) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11315939A (en) * | 1998-05-08 | 1999-11-16 | Ckd Corp | Gate type vacuum cutoff valve |
JP2000257751A (en) * | 1999-03-10 | 2000-09-19 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | Vacuum gate valve |
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WO2015034132A1 (en) * | 2013-09-04 | 2015-03-12 | 삼미기계주식회사 | Gateway valve |
CN104576283A (en) * | 2013-10-22 | 2015-04-29 | 东京毅力科创株式会社 | Gate valve apparatus and plasma processing apparatus |
KR20160104840A (en) * | 2015-02-26 | 2016-09-06 | 주식회사 비츠로머티리얼 | low noise vacuum gate valve |
KR20220146103A (en) * | 2021-04-23 | 2022-11-01 | 주식회사 에스엔씨솔루션 | Borad alignment system |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3810604B2 (en) * | 1999-12-21 | 2006-08-16 | Smc株式会社 | Gate valve |
-
1997
- 1997-06-06 JP JP16520797A patent/JPH10339377A/en active Granted
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CN104576283A (en) * | 2013-10-22 | 2015-04-29 | 东京毅力科创株式会社 | Gate valve apparatus and plasma processing apparatus |
TWI642868B (en) * | 2013-10-22 | 2018-12-01 | 東京威力科創股份有限公司 | Gate valve device and plasma processing device |
KR20160104840A (en) * | 2015-02-26 | 2016-09-06 | 주식회사 비츠로머티리얼 | low noise vacuum gate valve |
KR20220146103A (en) * | 2021-04-23 | 2022-11-01 | 주식회사 에스엔씨솔루션 | Borad alignment system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2839025B1 (en) | 1998-12-16 |
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