JPH07270716A - Optical device - Google Patents
Optical deviceInfo
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- JPH07270716A JPH07270716A JP6063506A JP6350694A JPH07270716A JP H07270716 A JPH07270716 A JP H07270716A JP 6063506 A JP6063506 A JP 6063506A JP 6350694 A JP6350694 A JP 6350694A JP H07270716 A JPH07270716 A JP H07270716A
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- optical
- liquid crystal
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は光学装置に関し、特
に、同一光軸上の少なくとも2つの異なる焦点位置にあ
る物体を1つの結像面で同時に観察可能な光学装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical device, and more particularly to an optical device capable of simultaneously observing objects at at least two different focal positions on the same optical axis on a single image plane.
【0002】[0002]
【従来の技術】2ヶ所以上の同一光軸上の異なる焦点位
置にある物体を同時に観察する場合の例として、図4お
よび図5に示すガラス基板を貼り合わせる方法について
説明する。図4において、一方の液晶ガラス基板1上に
は配線パターン3と図5(a)に示すような位置合わせ
マーク5が形成されており、これらの配線パターン3と
位置合わせマーク5上には表面保護膜7が形成されてい
る。他方の液晶ガラス基板2も一方の液晶ガラス基板1
と同様にして、配線パターン4と図5(b)に示す位置
合わせマーク6が形成されており、これらの配線パター
ン4と位置合わせマーク6の上に表面保護膜8が形成さ
れている。2. Description of the Related Art As an example of simultaneously observing two or more objects at different focal positions on the same optical axis, a method of bonding glass substrates shown in FIGS. 4 and 5 will be described. In FIG. 4, the wiring pattern 3 and the alignment mark 5 as shown in FIG. 5A are formed on one of the liquid crystal glass substrates 1, and the wiring pattern 3 and the alignment mark 5 have a surface. The protective film 7 is formed. The other liquid crystal glass substrate 2 is also the one liquid crystal glass substrate 1.
Similarly, the wiring pattern 4 and the alignment mark 6 shown in FIG. 5B are formed, and the surface protective film 8 is formed on the wiring pattern 4 and the alignment mark 6.
【0003】位置合わせマーク5は円形状であり、位置
合わせマーク6はリング状であって、一般的には透明電
極やクロムなどの金属薄膜により配線パターン3,4な
どと同一の工程で作られる。The alignment mark 5 has a circular shape, and the alignment mark 6 has a ring shape. Generally, the alignment mark 5 is made of a transparent electrode or a metal thin film such as chromium in the same process as the wiring patterns 3 and 4. .
【0004】液晶ガラス基板1と2を貼り合わせるに
は、それぞれの配線パターン3と4とが向き合うように
その間隔が0.2mm程度に配置される。液晶表示装置
では、2枚の液晶ガラス基板1,2の位置が規定の位置
より数μmずれても正常に動作しないため、液晶ガラス
基板1,2を微動させながら位置合わせマーク6の中心
に位置合わせマーク5が配置されるように位置合わせす
る必要がある。この時点での位置決めが完了すると、次
に、2枚の液晶ガラス基板1,2を5μm程度に密着さ
せ、再度位置合わせマーク5,6のずれを微調整する。
最後に、2枚の液晶ガラス基板1,2を接着剤9にて接
合し、液晶表示装置用ガラス基板貼り合わせ工程が終了
する。When the liquid crystal glass substrates 1 and 2 are attached to each other, the wiring patterns 3 and 4 are arranged so that their distances are about 0.2 mm so as to face each other. In the liquid crystal display device, even if the positions of the two liquid crystal glass substrates 1 and 2 deviate from the specified position by several μm, the liquid crystal display device does not operate normally. It is necessary to perform alignment so that the alignment mark 5 is arranged. When the positioning at this point is completed, the two liquid crystal glass substrates 1 and 2 are then brought into close contact with each other to about 5 μm, and the misalignment of the alignment marks 5 and 6 is finely adjusted again.
Finally, the two liquid crystal glass substrates 1 and 2 are bonded with the adhesive 9, and the glass substrate bonding step for liquid crystal display device is completed.
【0005】ところで、図4に示した位置合わせマーク
5,6は液晶ガラス基板1,2を嵌め合わせるとき、上
方から見るとそれぞれの焦点位置が異なる。このような
焦点の異なる2ヶ所の位置決めマークを観察する方法と
して、たとえば最も簡単な方法として焦点深度の大き
な光学装置を用い、2つの位置合わせマーク5,6とも
に焦点深度範囲内で観察する方法や、別の方法として、
液晶ガラス基板1,2に対して垂直方向に上下動する
機構を光学装置に追加したり、光学装置自体に焦点位置
を変えさせる機能を持たせる方法や、ワークの表面と
裏面にそれぞれ存在する位置合わせマークを観察する方
法として、位置合わせマークを観察する手段を2つ備え
た方法を利用する方法などが考えられている。When the liquid crystal glass substrates 1 and 2 are fitted together, the alignment marks 5 and 6 shown in FIG. 4 have different focal positions when viewed from above. As a method of observing such two positioning marks having different focal points, for example, the simplest method is to use an optical device having a large depth of focus and observe both alignment marks 5 and 6 within the depth of focus range. , Alternatively,
A method of adding a mechanism that moves up and down in the vertical direction to the liquid crystal glass substrates 1 and 2 to the optical device, or providing the optical device with a function of changing the focus position, and a position existing on the front surface and the back surface of the work respectively. As a method of observing the alignment mark, a method of using a method provided with two means for observing the alignment mark is considered.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】図4に示すような位置
合わせを行なう場合、焦点位置の異なる2つの位置合わ
せマーク5,6を同時に観察する必要がある。上で述べ
たの方法は、焦点深度が大きい光学装置では開口率が
小さいために、高い倍率や高い分解能を得ることが難し
く、さらに焦点深度内とはいえ多少焦点のずれた像を観
察しなくてはならないことから精度の高い観察を望めな
い。の方法では、まず同軸上にある2つの位置合わせ
マーク5,6を同時に観察することが不可能であり、ま
た焦点位置を切換えるごとに切換時間を要し、焦点位置
切換時に光軸がずれる可能性があるため、正確さを保証
するのが困難である。の方法は、2つの位置決めマー
ク5,6をそれぞれ観察することは可能であるが、その
ため2つの光学系と観察装置が必要であり、またそれぞ
れの観察像からそれぞれの相対的な位置関係に結びつけ
るのは困難であるという欠点があった。When performing the alignment as shown in FIG. 4, it is necessary to simultaneously observe the two alignment marks 5 and 6 having different focal positions. In the method described above, it is difficult to obtain high magnification and high resolution in an optical device with a large depth of focus because the aperture ratio is small, and it is possible to observe images that are slightly out of focus even within the depth of focus. It is not possible to expect high-precision observation because it cannot be observed. In the above method, it is impossible to observe the two coaxial alignment marks 5 and 6 at the same time, and it takes a switching time each time the focus position is switched, and the optical axis can be displaced when the focus position is switched. Therefore, it is difficult to guarantee accuracy. Although it is possible to observe the two positioning marks 5 and 6 respectively, the method of (2) requires two optical systems and an observing device, and connects each observed image to each relative positional relationship. It had the drawback of being difficult.
【0007】それゆえに、この発明の主たる目的は、比
較的簡単な構成で、同一光軸上の異なる焦点位置にある
物体を1つの結像面で同時に観察可能な光学装置を提供
することである。Therefore, a main object of the present invention is to provide an optical device having a relatively simple structure and capable of simultaneously observing objects at different focal positions on the same optical axis on one image plane. .
【0008】この発明の他の目的は、比較的簡単な構成
で少なくとも2枚の液晶基板の異なる焦点位置にある位
置合わせマークを1つの結像面で観察して少なくとも2
枚の液晶基板のずれを少なくして積層するための光学装
置を提供することである。Another object of the present invention is to observe at least two alignment marks at different focal positions of at least two liquid crystal substrates on one image plane with a relatively simple structure.
It is an object of the present invention to provide an optical device for stacking liquid crystal substrates with a small displacement.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
同一光軸上の少なくとも2つの異なる焦点位置にある物
体を1つの結像面で同時に観察可能な光学装置であっ
て、光軸上に設けられる対物レンズと、対物レンズを通
過した少なくとも2つの焦点位置にある物体からの像の
光路を分岐するための第1のハーフミラーと、第1のハ
ーフミラーによって分岐された一方の光路に挿入され、
異なる焦点位置を同じ焦点位置となるように変化させる
ための補正レンズと、補正レンズの光路と第1のハーフ
ミラーによって分岐された他方の光路とを合成する第2
のハーフミラーと、第2のハーフミラーを通過して結像
した像を観察する観察手段とを備えて構成される。The invention according to claim 1 is
An optical device capable of simultaneously observing objects at at least two different focal positions on the same optical axis on one imaging plane, and an objective lens provided on the optical axis and at least two focal points passing through the objective lens. A first half mirror for splitting the optical path of an image from an object at a position, and one optical path split by the first half mirror,
A second lens for combining a correction lens for changing different focal positions to the same focal position, and an optical path of the correction lens and the other optical path branched by the first half mirror
The half mirror and the observation means for observing the image formed by passing through the second half mirror.
【0010】請求項2に係る発明は、それぞれに位置合
わせマークが設けられた少なくとも2枚の液晶基板を積
層するときに、それぞれの異なる焦点位置にある位置合
わせマークを1つの結像面で同時に観察可能な光学装置
であって、少なくとも2枚の液晶基板の上側の液晶基板
を保持するための保持手段と、下側の液晶基板が載置さ
れるテーブルと、位置合わせマークを撮像するための撮
像手段と、撮像手段と位置合わせマークとの間に設けら
れる光学系と、撮像手段の撮像出力に応じて、少なくと
も2枚の液晶基板に設けられている位置合わせマークの
ずれを判別する画像処理手段と、画像処理手段によって
判別されたずれがなくなるようにテーブルを水平方向ま
たは回転方向に移動させるための駆動手段を備え、光学
系は撮像手段の光軸上に設けられる対物レンズと、対物
レンズを通過した少なくとも2つの焦点位置にある位置
合わせマークからの像の光路を分岐するための第1のハ
ーフミラーと、第1のハーフミラーによって分岐された
一方の光路に挿入され、異なる焦点位置を同じ焦点位置
となるように変化させるための補正レンズと、補正レン
ズの光路と第1のハーフミラーによって分岐された他方
の光路とを合成して、少なくとも2つの位置合わせマー
クの画像を撮像手段に与える。According to a second aspect of the present invention, when at least two liquid crystal substrates each provided with a positioning mark are stacked, the positioning marks at different focal positions are simultaneously formed on one image plane. An observable optical device for holding an upper liquid crystal substrate of at least two liquid crystal substrates, a table on which the lower liquid crystal substrate is mounted, and an image of an alignment mark. Image processing for discriminating the deviation of the alignment marks provided on at least two liquid crystal substrates according to the imaging output of the imaging means, the optical system provided between the imaging means and the alignment mark, and the imaging output of the imaging means. Means and a drive means for moving the table in the horizontal direction or in the rotation direction so that the deviation determined by the image processing means is eliminated, and the optical system is the light of the imaging means. An objective lens provided above, a first half mirror for branching an optical path of an image from an alignment mark at at least two focal positions that has passed through the objective lens, and one of the first half mirrors Of the correction lens for changing different focal positions to the same focal position and the optical path of the correction lens and the other optical path branched by the first half mirror to combine at least 2 An image of one alignment mark is given to the imaging means.
【0011】請求項3に係る発明では、請求項1または
2の一方の光路に挿入されるスリットを含む。The invention according to claim 3 includes a slit to be inserted into one of the optical paths according to claim 1 or 2.
【0012】請求項4に係る発明では、請求項1または
2の対物レンズと第1のハーフミラーとの間の光路に挿
入される結像レンズを含む。The invention according to claim 4 includes an imaging lens inserted in the optical path between the objective lens according to claim 1 or 2 and the first half mirror.
【0013】[0013]
【作用】請求項1の発明に係る光学装置は、対物レンズ
を通過した少なくとも2つの焦点位置にある物体からの
像の光路を第1のハーフミラーによって分岐し、分岐さ
れた一方の光路に挿入されている補正レンズによって、
異なる焦点位置を同じ焦点位置となるように変化させ、
補正レンズを通過した像と第1のハーフミラーによって
分岐された他方の光路からの像を第2のハーフミラーで
合成し、結像した像を観察手段によって観察する。In the optical device according to the first aspect of the present invention, the optical path of the image from the object at the at least two focal positions that has passed through the objective lens is branched by the first half mirror and is inserted into one of the branched optical paths. Depending on the correction lens used,
Change different focus positions to the same focus position,
The image passing through the correction lens and the image from the other optical path branched by the first half mirror are combined by the second half mirror, and the formed image is observed by the observation means.
【0014】請求項2の発明に係る光学装置は、テーブ
ル上に載置されている下側の液晶基板と保持手段によっ
て保持されている上側の液晶基板のそれぞれの異なる焦
点位置にある位置合わせマークを、請求項1と同様の光
学系を介して撮像し、その撮像出力に応じてそれぞれの
位置合わせマークのずれを判別し、そのずれがなくなる
ようにテーブルを水平方向に移動させる。According to another aspect of the optical device of the present invention, the alignment marks at different focal positions of the lower liquid crystal substrate placed on the table and the upper liquid crystal substrate held by the holding means are provided. Is imaged through the same optical system as in claim 1, the deviation of each alignment mark is determined according to the imaging output, and the table is moved in the horizontal direction so as to eliminate the deviation.
【0015】[0015]
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示すブロック図
である。図1において、この発明に係る光学装置は、2
枚の液晶ガラス基板のずれがなくなるように積層するた
めの装置であって、XYθテーブル11と光学部12,
13とCCDカメラ14,15と画像処理部16とモニ
タ17と制御部18と駆動部19と保持機構20とを含
む。XYθテーブル11には積層されるべき2枚の液晶
ガラス基板のうちの下側の液晶ガラス基板が載置され、
その液晶ガラス基板の水平方向、すなわちX方向,Y方
向に移動可能であるとともに、角度θだけ回転可能にさ
れている。保持機構20はXYθテーブル11の近傍に
設けられ、積層されるべき2枚の液晶ガラス基板の内の
上側の液晶ガラス基板を保持し、かつ上下方向に移動可
能になっている。CCDカメラ14,15と光学部1
2,13はXYθテーブル11の上方に設けられ、CC
Dカメラ14,15はそれぞれ光学部12,13を介し
てXYθテーブル11上に載置されている下側の液晶ガ
ラス基板と保持機構20によって保持されている上側の
液晶ガラス基板上の2ヶ所の位置合わせマークを撮像す
る。CCDカメラ14,15の撮像出力は画像処理部1
6に与えられて画像処理される。すなわち、画像処理部
16は画像出力に応じて元の画像を復元し、その中から
登録された形状を認識し、その位置ずれを算出すると、
位置のずれ量を制御部18に知らせる。形状の認識方法
としては、たとえば画像をその輝度において2値化を行
ない、登録された形状と一致する像を認識する方法があ
る。さらに、画像処理部16はCCDカメラ14,15
からの画像出力を監視用としてモニタ17に与える。1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the optical device according to the present invention is
A device for stacking liquid crystal glass substrates so as to eliminate misalignment, which includes an XYθ table 11, an optical unit 12,
13, a CCD camera 14, 15, an image processing unit 16, a monitor 17, a control unit 18, a drive unit 19, and a holding mechanism 20. The lower liquid crystal glass substrate of the two liquid crystal glass substrates to be stacked is placed on the XYθ table 11.
The liquid crystal glass substrate can be moved in the horizontal direction, that is, in the X and Y directions, and can be rotated by an angle θ. The holding mechanism 20 is provided in the vicinity of the XYθ table 11, holds the upper liquid crystal glass substrate of the two liquid crystal glass substrates to be stacked, and is vertically movable. CCD cameras 14 and 15 and optical unit 1
2, 13 are provided above the XYθ table 11, and CC
The D cameras 14 and 15 are provided at two locations on the lower liquid crystal glass substrate placed on the XYθ table 11 and the upper liquid crystal glass substrate held by the holding mechanism 20 via the optical units 12 and 13, respectively. The alignment mark is imaged. The image output of the CCD cameras 14 and 15 is the image processing unit 1.
6, and image processing is performed. That is, when the image processing unit 16 restores the original image according to the image output, recognizes the registered shape from the original image, and calculates the positional deviation,
The control unit 18 is notified of the amount of positional deviation. As a shape recognition method, for example, there is a method in which an image is binarized in its luminance and an image matching a registered shape is recognized. Further, the image processing unit 16 includes CCD cameras 14 and 15
The image output from is supplied to the monitor 17 for monitoring.
【0016】制御部18は画像処理部16に処理開始信
号を送ったり、ずれ量情報を受取り、ずれ量情報から実
際に移動すべきXYθテーブル11の移動量を算出し、
駆動部19に移動指令を与える。駆動部19はその移動
指令に応じてXYθテーブル11を水平方向に移動させ
る。The control unit 18 sends a processing start signal to the image processing unit 16, receives shift amount information, and calculates the shift amount of the XYθ table 11 to be actually moved from the shift amount information,
A movement command is given to the drive unit 19. The drive unit 19 moves the XYθ table 11 in the horizontal direction according to the movement command.
【0017】図2はこの発明の一実施例の動作を説明す
るためのフローチャートである。次に、図2を参照しな
がら図1に示した光学装置の動作について説明する。ま
ず、XYθテーブル11上に積層すべき下側の液晶ガラ
ス基板を載置し、上側の液晶ガラス基板を保持機構20
によって保持させる。これらの液晶ガラス基板には、そ
れぞれの2ヶ所に前述の図5に示したような位置合わせ
マークが形成されている。これらの位置合わせマークは
光学部12,13を介してCCDカメラ14,15で撮
像される。画像処理部16はその撮像出力により形状を
認識し、位置ずれ量を算出する。制御部18は画像処理
部16から位置ずれ情報が与えられると、位置ずれが生
じているか否かを判別し、位置ずれがあれば、その位置
ずれをなくすように、駆動部19に指令信号を与え、X
Yθテーブル11を移動させる。ずれがなくなると、保
持機構20で保持されている上側の液晶ガラス基板を降
下させ、XYθテーブル11上の液晶ガラス基板と密着
させる。FIG. 2 is a flow chart for explaining the operation of the embodiment of the present invention. Next, the operation of the optical device shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG. First, the lower liquid crystal glass substrate to be stacked is placed on the XYθ table 11, and the upper liquid crystal glass substrate is held by the holding mechanism 20.
To hold. On these liquid crystal glass substrates, the alignment marks as shown in FIG. 5 are formed at two places respectively. These alignment marks are imaged by the CCD cameras 14 and 15 via the optical units 12 and 13. The image processing unit 16 recognizes the shape from the imaged output and calculates the amount of positional deviation. When the positional deviation information is given from the image processing section 16, the control section 18 determines whether or not the positional deviation occurs, and if there is the positional deviation, sends a command signal to the driving section 19 so as to eliminate the positional deviation. Give X
The Yθ table 11 is moved. When the displacement is eliminated, the upper liquid crystal glass substrate held by the holding mechanism 20 is lowered and brought into close contact with the liquid crystal glass substrate on the XYθ table 11.
【0018】図3は図1に示した光学部の具体的な構成
を示す図である。図3において、光学部12は、光路を
ABの2つに分け、2つの異なる焦点面121,122
の像を結像面131に結ぶように構成されている。すな
わち、焦点面121に置かれた物体の像は対物レンズ1
23,結像レンズ124,ハーフミラー125,全反射
ミラー126を経由し、ハーフミラー130で他方の経
路を通った像を合成されて結像面131に結像するよう
に、対物レンズ123と結像レンズ124とハーフミラ
ー125と全反射ミラー126とハーフミラー130と
が配置されて光路Aが形成される。FIG. 3 is a diagram showing a specific structure of the optical section shown in FIG. In FIG. 3, the optical unit 12 divides the optical path into two, AB, and two different focal planes 121 and 122.
Is formed so as to form an image on the image plane 131. That is, the image of the object placed on the focal plane 121 is the objective lens 1
23, the image forming lens 124, the half mirror 125, and the total reflection mirror 126, and is connected to the objective lens 123 so that the images passing through the other path by the half mirror 130 are combined to form an image on the image forming surface 131. The image lens 124, the half mirror 125, the total reflection mirror 126, and the half mirror 130 are arranged to form the optical path A.
【0019】一方、焦点面122に置かれた物体の像
は、対物レンズ123,結像レンズ124を経由し、ハ
ーフミラー125で分岐されて光路Bに入り、全反射ミ
ラー127,補正レンズ128,スリットとしてのシャ
ッタ129を介してハーフミラー130で光路Aからの
像と合成されて結像面131に結像される。このとき、
光路Aと共通の対物レンズ123と結像レンズ124と
を経由した光が正しく結像面131に結像すべく、補正
レンズ128の屈折率と挿入位置が決められている。On the other hand, the image of the object placed on the focal plane 122 passes through the objective lens 123 and the imaging lens 124, is branched by the half mirror 125 and enters the optical path B, and the total reflection mirror 127, the correction lens 128, The image from the optical path A is combined by the half mirror 130 via the shutter 129 as a slit, and the image is formed on the image forming surface 131. At this time,
The refractive index and the insertion position of the correction lens 128 are determined so that light that has passed through the objective lens 123 and the imaging lens 124, which are common to the optical path A, can be correctly formed on the imaging surface 131.
【0020】なお、光路Aにはその途中にレンズなどの
光学素子は挿入されていないが、必要に応じて挿入して
もよい。また、照明系について特に図3には示していな
いが、対物レンズ123と結像レンズ124との間にハ
ーフミラーなどを設け、ハーフミラーを経由して同軸落
射照明を行なうようにしてもよい。また、結像面131
には、図1に示したCCDカメラ14が配置され、テレ
ビモニタ17によって像が撮像される。なお、図示して
いないが、補正レンズ128には、光軸に対して垂直方
向に微調整機構が設けられていて、焦点面122の物体
の移動に対して補正レンズ128を微動させ、調整する
ことが可能になっている。シャッタ129は、液晶表示
装置用ガラス基板貼り合わせなどにおいて、貼り合わせ
終了後再度像を観察する必要があるときに、シャッタ1
29を閉じることによって、不要な像が合成されること
がないようにするために設けられている。Although an optical element such as a lens is not inserted in the optical path A midway, it may be inserted if necessary. Although the illumination system is not particularly shown in FIG. 3, a half mirror or the like may be provided between the objective lens 123 and the imaging lens 124 to perform coaxial epi-illumination via the half mirror. Also, the image plane 131
1, the CCD camera 14 shown in FIG. 1 is arranged, and an image is taken by the television monitor 17. Although not shown, the correction lens 128 is provided with a fine adjustment mechanism in a direction perpendicular to the optical axis, and the correction lens 128 is finely moved and adjusted with respect to the movement of the object on the focal plane 122. Is possible. The shutter 129 is used when the glass substrate for a liquid crystal display is bonded and the image needs to be observed again after the bonding is completed.
It is provided to prevent unnecessary images from being combined by closing 29.
【0021】上述のごとく構成された光学部12におい
て、光路Aによる光学系は焦点面121に置かれた物体
の像を結像面131に結像させると、焦点面122に置
かれた物体の像は焦点深度範囲内にないため結像面13
1では像を結ばない。同様にして、光路Bによる光学系
では、焦点面122に置かれた物体の像を結像面131
に結像させるが、焦点面121に置かれた物体の像は焦
点深度範囲内にないため結像面131では像を結ばな
い。このように、ハーフミラー130で合成された2つ
の光路を経由したそれぞれの像はそれぞれの焦点位置が
異なるため、2つの像が干渉し合わずに結像面131に
構成される。In the optical unit 12 constructed as described above, when the optical system based on the optical path A forms an image of the object placed on the focal plane 121 on the image forming plane 131, the optical system of the object placed on the focal plane 122 is detected. Since the image is not within the depth of focus range, the image plane 13
1 does not form an image. Similarly, in the optical system based on the optical path B, the image of the object placed on the focal plane 122 is converted into the image plane 131.
However, since the image of the object placed on the focal plane 121 is not within the depth of focus range, no image is formed on the image plane 131. In this way, since the respective images that have been combined by the half mirror 130 and have passed through the two optical paths have different focal positions, the two images are formed on the image plane 131 without interfering with each other.
【0022】[0022]
【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれ
ば、1つの結像面上で2ヶ所以上の焦点位置の像を結像
することが可能となり、倍率や分解能の点で不利な開口
率の小さな光学系を用いなくても、2ヶ所以上の焦点位
置の像を観察することが可能となり、焦点位置を目的の
位置に随時合わせる必要もなく、2つの結像面上の像を
比較するのではなく1つの結像面上の像で比較すること
が可能となり、液晶表示装置用ガラス基板の貼り合わせ
など焦点位置の異なる2つの位置合わせマークの観察を
同時に容易に行なうことができる。As described above, according to the first aspect of the present invention, it becomes possible to form images at two or more focal positions on one image forming surface, which is disadvantageous in terms of magnification and resolution. It is possible to observe images at two or more focal positions without using an optical system with a small aperture ratio. It becomes possible to compare images on one image forming surface instead of comparing them, and it is possible to easily observe simultaneously two alignment marks having different focus positions such as bonding of glass substrates for liquid crystal display devices. it can.
【0023】請求項2に係る発明は、テーブル上の液晶
基板と保持機構によって保持されている液晶基板のそれ
ぞれに設けられている異なる焦点位置の位置合わせマー
クを、請求項1の光学系を介して撮像し、その撮像出力
に応じて位置合わせマークのずれを判別し、ずれがなく
なるようにテーブルを水平方向に移動させ、上側の液晶
基板を密着させることができる。According to a second aspect of the present invention, the alignment marks having different focus positions are provided on the liquid crystal substrate on the table and the liquid crystal substrate held by the holding mechanism, respectively, via the optical system of the first aspect. It is possible to pick up an image, determine the deviation of the alignment mark according to the imaging output, move the table in the horizontal direction so as to eliminate the deviation, and bring the upper liquid crystal substrate into close contact.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】この発明の一実施例のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention.
【図2】この発明の一実施例の動作を説明するためのフ
ローチャートである。FIG. 2 is a flow chart for explaining the operation of the embodiment of the present invention.
【図3】図1に示した光学部の一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of an optical section shown in FIG.
【図4】従来の液晶表示装置用ガラス基板の貼り合わせ
を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining pasting of a conventional glass substrate for a liquid crystal display device.
【図5】位置合わせマークの一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of an alignment mark.
11 XYθテーブル 12,13 光学部 14,15 CDDカメラ 16 画像処理部 17 モニタ 18 制御部 19 駆動部 20 保持機構 121,122 焦点面 123 対物レンズ 124 結像レンズ 125,130 ハーフミラー 126,127 全反射ミラー 128 補正レンズ 129 シャッタ 131 結像面 11 XYθ table 12, 13 Optical unit 14, 15 CDD camera 16 Image processing unit 17 Monitor 18 Control unit 19 Driving unit 20 Holding mechanism 121, 122 Focal plane 123 Objective lens 124 Imaging lens 125, 130 Half mirror 126, 127 Total reflection Mirror 128 Correction lens 129 Shutter 131 Image plane
Claims (4)
点位置にある物体を1つの結像面で同時に観察可能な光
学装置であって、 前記光軸上に設けられる対物レンズ、 前記対物レンズを通過した前記少なくとも2つの焦点位
置にある物体からの像の光路を分岐するための第1のハ
ーフミラー、 前記第1のハーフミラーによって分岐された一方の光路
に挿入され、前記異なる焦点位置を同じ焦点位置となる
ように変化させるための補正レンズ、 前記補正レンズの光路と前記第1のハーフミラーによっ
て分岐された他方の光路とを合成する第2のハーフミラ
ー、および前記第2のハーフミラーを通過して結像した
像を観察するための観察手段を備えた、光学装置。1. An optical device capable of simultaneously observing objects at at least two different focal positions on the same optical axis on one imaging plane, the objective lens being provided on the optical axis, A first half mirror for branching an optical path of an image from an object at the at least two focus positions that has passed through, inserted into one optical path branched by the first half mirror, and having the same different focus positions; A correction lens for changing the focus position, a second half mirror for combining the optical path of the correction lens and the other optical path branched by the first half mirror, and the second half mirror An optical device comprising an observation means for observing an image formed by passing therethrough.
た少なくとも2枚の液晶基板を積層するときに、それぞ
れの異なる焦点位置にある位置合わせマークを1つの結
像面で同時に観察可能な光学装置であって、 前記少なくとも2枚の液晶基板の上側の液晶基板を保持
するための保持手段、 前記少なくとも2枚の液晶基板の下側の液晶基板が載置
されるテーブル、 前記位置合わせマークを撮像するための撮像手段、 前記撮像手段と前記位置合わせマークとの間に設けられ
る光学系、 前記撮像手段の撮像出力に応じて、前記少なくとも2枚
の液晶基板に設けられている位置合わせマークのずれを
判別する画像処理手段、および前記画像処理手段によっ
て判別されたずれがなくなるように前記テーブルを水平
方向または回転方向に移動させるための駆動手段を備
え、 前記光学系は、 前記撮像手段の光軸上に設けられる対物レンズと、 前記対物レンズを通過した前記少なくとも2つの焦点位
置にある位置合わせマークからの像の光路を分岐するた
めの第1のハーフミラーと、 前記第1のハーフミラーによって分岐された一方の光路
に挿入され、前記異なる焦点位置を同じ焦点位置となる
ように変化させるための補正レンズと、 前記補正レンズの光路と前記第1のハーフミラーによっ
て分岐された他方の光路とを合成して、前記少なくとも
2つの位置合わせマークの像を前記撮像手段に与える第
2のハーフミラーとを含む、光学装置。2. An optical device capable of simultaneously observing alignment marks at different focal positions on one image plane when at least two liquid crystal substrates each having alignment marks are stacked. And holding means for holding the upper liquid crystal substrate of the at least two liquid crystal substrates, a table on which the lower liquid crystal substrates of the at least two liquid crystal substrates are placed, and an image of the alignment mark. Image pickup means for controlling the optical axis, an optical system provided between the image pickup means and the alignment mark, and a deviation of the alignment marks provided on the at least two liquid crystal substrates according to the image pickup output of the image pickup means. The image processing means for determining, and the table is moved in the horizontal direction or the rotating direction so as to eliminate the deviation determined by the image processing means. The optical system branches the optical path of the image from the objective lens provided on the optical axis of the image pickup means and the alignment marks at the at least two focal positions passing through the objective lens. A first half mirror, a correction lens that is inserted into one of the optical paths branched by the first half mirror, and that changes the different focus positions to the same focus position; An optical device comprising: a second half mirror that combines the optical path and the other optical path branched by the first half mirror to give an image of the at least two alignment marks to the imaging means.
含む、請求項1または2の光学装置。3. The optical device according to claim 1, further comprising a slit inserted in the one optical path.
ーとの間の光路に挿入される結像レンズを含む、請求項
1または2の光学装置。4. The optical device according to claim 1, further comprising an imaging lens inserted in an optical path between the objective lens and the first half mirror.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6063506A JPH07270716A (en) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | Optical device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6063506A JPH07270716A (en) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | Optical device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07270716A true JPH07270716A (en) | 1995-10-20 |
Family
ID=13231190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6063506A Withdrawn JPH07270716A (en) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | Optical device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07270716A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008068536A (en) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Seiko Epson Corp | Alignment mask for liquid ejection head unit, alignment device for liquid ejection head unit, and the alignment method of liquid discharge head unit |
JP2008068515A (en) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Seiko Epson Corp | Alignment jig for liquid jet head, alignment apparatus for liquid jet head and method for attaching alignment jig for liquid jet head |
JP2008306040A (en) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Shinkawa Ltd | Imaging device for bonding apparatus and imaging method |
JP2008306039A (en) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Shinkawa Ltd | Imaging device for bonding apparatus and imaging method |
JP2010125369A (en) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Konica Minolta Holdings Inc | Drawing apparatus and method of installing head in head unit in drawing apparatus |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP6063506A patent/JPH07270716A/en not_active Withdrawn
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JP2008068515A (en) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Seiko Epson Corp | Alignment jig for liquid jet head, alignment apparatus for liquid jet head and method for attaching alignment jig for liquid jet head |
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