JPH07270125A - 板材の板幅・蛇行量検出装置 - Google Patents
板材の板幅・蛇行量検出装置Info
- Publication number
- JPH07270125A JPH07270125A JP5964094A JP5964094A JPH07270125A JP H07270125 A JPH07270125 A JP H07270125A JP 5964094 A JP5964094 A JP 5964094A JP 5964094 A JP5964094 A JP 5964094A JP H07270125 A JPH07270125 A JP H07270125A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- width
- dimensional distance
- dimensional
- plate material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 二次元距離センサによる板材の板幅・蛇行量
検出装置を提供する。 【構成】 板材１の一方の端部１ａ付近に３台の二次元
距離センサ２Ａ，２Ｂ，２Ｃを所定の位置に固定して配
列し、もう一方の端部１ｂ付近に同様に３台の二次元距
離センサ３Ａ，３Ｂ，３Ｃを所定の位置に固定して配列
し、これら両端部の二次元距離センサ２Ａ〜２Ｃ、３Ａ
〜３Ｃで検出した信号を、それぞれ信号処理装置４Ａ，
４Ｂ，４Ｃ、５Ａ，５Ｂ，５Ｃによって処理し、信号選
択装置６，７を介して予め選択された２系統の距離分布
データを板端部位置判定装置８，９に取り込み、さらに
演算処理装置10で演算処理することにより、従来の演算
処理装置の処理能力のままで十分に精度の高い板幅およ
び蛇行量の測定の実現を可能にする。
検出装置を提供する。 【構成】 板材１の一方の端部１ａ付近に３台の二次元
距離センサ２Ａ，２Ｂ，２Ｃを所定の位置に固定して配
列し、もう一方の端部１ｂ付近に同様に３台の二次元距
離センサ３Ａ，３Ｂ，３Ｃを所定の位置に固定して配列
し、これら両端部の二次元距離センサ２Ａ〜２Ｃ、３Ａ
〜３Ｃで検出した信号を、それぞれ信号処理装置４Ａ，
４Ｂ，４Ｃ、５Ａ，５Ｂ，５Ｃによって処理し、信号選
択装置６，７を介して予め選択された２系統の距離分布
データを板端部位置判定装置８，９に取り込み、さらに
演算処理装置10で演算処理することにより、従来の演算
処理装置の処理能力のままで十分に精度の高い板幅およ
び蛇行量の測定の実現を可能にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、二次元距離センサを用
いて走行する板材の板幅・蛇行量検出装置に関する。
いて走行する板材の板幅・蛇行量検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来用いられている二次元距離センサ
は、レーザ光などの投光光源から細長いスリット状でか
つ扇状に拡げて板材などの被測定物の幅方向に照射し、
被測定物からの乱反射光の帯を別の方向から二次元ＣＣ
Ｄ（Charge Coupled Device)カメラで検出し、ｘ方向と
ｙ方向の二次元画像走査を行うことにより、被測定物ま
での距離分布を測定することを可能にしたものである。
は、レーザ光などの投光光源から細長いスリット状でか
つ扇状に拡げて板材などの被測定物の幅方向に照射し、
被測定物からの乱反射光の帯を別の方向から二次元ＣＣ
Ｄ（Charge Coupled Device)カメラで検出し、ｘ方向と
ｙ方向の二次元画像走査を行うことにより、被測定物ま
での距離分布を測定することを可能にしたものである。
【０００３】近年、このような二次元距離センサを利用
して、連続圧延機のスタンド間での板幅および蛇行量を
測定する装置が、たとえば、特開平４− 60405号公報等
に提案されている。ところで、二次元距離センサを用い
て板幅等の測定を行う場合、投光光源のパワーの上限許
容量とか二次元ＣＣＤカメラの視野が有限であるなどの
制約によって測定範囲が制限されるため、二次元距離セ
ンサを板幅方向に移動させる機構を設けるとか、あるい
は複数台の二次元距離センサを板幅方向に固定して配列
し、その測定範囲を拡大する方法が試みられている。
して、連続圧延機のスタンド間での板幅および蛇行量を
測定する装置が、たとえば、特開平４− 60405号公報等
に提案されている。ところで、二次元距離センサを用い
て板幅等の測定を行う場合、投光光源のパワーの上限許
容量とか二次元ＣＣＤカメラの視野が有限であるなどの
制約によって測定範囲が制限されるため、二次元距離セ
ンサを板幅方向に移動させる機構を設けるとか、あるい
は複数台の二次元距離センサを板幅方向に固定して配列
し、その測定範囲を拡大する方法が試みられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
移動方式の場合は、その機械的な構造が複雑になるた
め、たとえば連続圧延機のスタンド間のような環境が極
端に悪く、かつ、狭い場所に設置することは極めて困難
である。また、板材の板幅変化に合わせて高い頻度で動
作するため、センサの取付け位置がずれて測定精度を損
なうなどの欠点がある。
移動方式の場合は、その機械的な構造が複雑になるた
め、たとえば連続圧延機のスタンド間のような環境が極
端に悪く、かつ、狭い場所に設置することは極めて困難
である。また、板材の板幅変化に合わせて高い頻度で動
作するため、センサの取付け位置がずれて測定精度を損
なうなどの欠点がある。
【０００５】一方、後者の固定方式の場合は、二次元距
離センサをそれぞれ確実に固定することによって、コン
パクトな構造で測定精度の再現性にすぐれた装置を構成
することができる。しかし、板幅・蛇行量の測定範囲を
圧延される板材すべてをカバーしようとすると、多くの
台数を設置する必要があることから、つぎのような問題
が生じる。
離センサをそれぞれ確実に固定することによって、コン
パクトな構造で測定精度の再現性にすぐれた装置を構成
することができる。しかし、板幅・蛇行量の測定範囲を
圧延される板材すべてをカバーしようとすると、多くの
台数を設置する必要があることから、つぎのような問題
が生じる。
【０００６】すなわち、二次元距離センサに用いられる
二次元ＣＣＤカメラは、ｘ方向（高さ方向）とｙ方向
（板幅方向）に約500 点の画素からなっているから、距
離の測定データとして約500 点が得られるのであるが、
それらのデータ処理にかなりの時間を要することにな
る。それゆえ、このような二次元距離センサを板幅方向
に複数台設置した場合は、そのデータ量は二次元距離セ
ンサの台数に比例して多くなって、その演算処理にかな
りの時間を要するから、往々にしてライン速度に追随し
得なくなって、測定精度に悪影響を及ぼすという問題が
ある。
二次元ＣＣＤカメラは、ｘ方向（高さ方向）とｙ方向
（板幅方向）に約500 点の画素からなっているから、距
離の測定データとして約500 点が得られるのであるが、
それらのデータ処理にかなりの時間を要することにな
る。それゆえ、このような二次元距離センサを板幅方向
に複数台設置した場合は、そのデータ量は二次元距離セ
ンサの台数に比例して多くなって、その演算処理にかな
りの時間を要するから、往々にしてライン速度に追随し
得なくなって、測定精度に悪影響を及ぼすという問題が
ある。
【０００７】本発明は、上記のような従来技術、特に固
定方式の有する課題を解決すべくなされたものであっ
て、複数の二次元距離センサを設置する場合であって
も、演算処理装置の処理能力を高める必要がなく、また
その演算処理速度を遅くすることなく、高精度な板幅お
よび蛇行量の測定を可能にした板材の板幅・蛇行量検出
装置を提供することを目的とする。
定方式の有する課題を解決すべくなされたものであっ
て、複数の二次元距離センサを設置する場合であって
も、演算処理装置の処理能力を高める必要がなく、また
その演算処理速度を遅くすることなく、高精度な板幅お
よび蛇行量の測定を可能にした板材の板幅・蛇行量検出
装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、板材の幅方向
にスリット状の投光ビームを照射し、板材表面からの乱
反射光を検出する二次元距離センサを用いて、その検出
された画像信号を二次元的に走査して得られた距離分布
データから板幅および蛇行量を演算する板材の板幅・蛇
行量検出装置において、前記二次元距離センサを測定す
べき板材の最小幅と最大幅に応じて、その両端部付近に
幅方向に複数台配列し、該二次元距離センサからの測定
信号を指令に応じてそれぞれ２系統のみ切換選択する測
定信号選択装置と、該測定信号選択装置で選択された距
離分布データから板端部を判定する板端部位置判定装置
と、距離分布データを用いて板材の板幅および蛇行量を
演算する演算処理装置とからなることを特徴とする板材
の板幅・蛇行量検出装置である。
にスリット状の投光ビームを照射し、板材表面からの乱
反射光を検出する二次元距離センサを用いて、その検出
された画像信号を二次元的に走査して得られた距離分布
データから板幅および蛇行量を演算する板材の板幅・蛇
行量検出装置において、前記二次元距離センサを測定す
べき板材の最小幅と最大幅に応じて、その両端部付近に
幅方向に複数台配列し、該二次元距離センサからの測定
信号を指令に応じてそれぞれ２系統のみ切換選択する測
定信号選択装置と、該測定信号選択装置で選択された距
離分布データから板端部を判定する板端部位置判定装置
と、距離分布データを用いて板材の板幅および蛇行量を
演算する演算処理装置とからなることを特徴とする板材
の板幅・蛇行量検出装置である。
【０００９】
【作 用】本発明によれば、測定すべき板材の両端部に
複数台の二次元距離センサを配列して測定する固定方式
を用いても、少なくとも片側２系統の測定データのみを
演算処理するようにしたので、板材のパスライン変動に
関係なく、かつ従来の演算処理装置の処理能力のままで
十分に精度の高い板幅および蛇行量の測定を実現するこ
とができる。
複数台の二次元距離センサを配列して測定する固定方式
を用いても、少なくとも片側２系統の測定データのみを
演算処理するようにしたので、板材のパスライン変動に
関係なく、かつ従来の演算処理装置の処理能力のままで
十分に精度の高い板幅および蛇行量の測定を実現するこ
とができる。
【００１０】
【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
して、詳しく説明する。図１は、本発明の板幅・蛇行量
測定装置の実施例の構成を示す概念図である。図に示す
ように、被測定物である板幅Ｗとされる板材１の一方の
端部１ａ付近には、３台の投光光源と二次元ＣＣＤカメ
ラを内蔵した二次元距離センサ２Ａ，２Ｂ，２Ｃが、ラ
イン中心CLからそれぞれＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 の距離に固定
して配列され、また板材１のもう一方の端部１ｂ付近に
は、同様に３台の二次元距離センサ３Ａ，３Ｂ，３Ｃが
ライン中心CLからそれぞれＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 の距離に固
定して配列される。
して、詳しく説明する。図１は、本発明の板幅・蛇行量
測定装置の実施例の構成を示す概念図である。図に示す
ように、被測定物である板幅Ｗとされる板材１の一方の
端部１ａ付近には、３台の投光光源と二次元ＣＣＤカメ
ラを内蔵した二次元距離センサ２Ａ，２Ｂ，２Ｃが、ラ
イン中心CLからそれぞれＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 の距離に固定
して配列され、また板材１のもう一方の端部１ｂ付近に
は、同様に３台の二次元距離センサ３Ａ，３Ｂ，３Ｃが
ライン中心CLからそれぞれＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 の距離に固
定して配列される。
【００１１】各二次元距離センサ２Ａ〜２Ｃ，３Ａ〜３
Ｃの投光光源からは細長いスリット状でかつ扇状に拡大
された投光ビームLBが板材１に対して照射される。この
投光ビームLBは板材１の面レベルにおいて板幅方向に幅
ｂに拡大される。この幅ｂの大きさは、予想される蛇行
量の測定範囲の少なくとも２倍になるように調整され
る。
Ｃの投光光源からは細長いスリット状でかつ扇状に拡大
された投光ビームLBが板材１に対して照射される。この
投光ビームLBは板材１の面レベルにおいて板幅方向に幅
ｂに拡大される。この幅ｂの大きさは、予想される蛇行
量の測定範囲の少なくとも２倍になるように調整され
る。
【００１２】また、ライン中心CLに対してもっとも内側
に配置される二次元距離センサ２Ａ，３Ａのライン中心
CLからの距離Ｌ1 の値は、測定される板材１の最小幅に
対して、その板幅および蛇行量が測定し得るような位置
を選択する必要があり、一方、ライン中心CLに対しても
っとも外側に配置される二次元距離センサ２Ｃ，３Ｃの
距離Ｌ3 の値は、測定される板材１の最大値に対応して
同様に決定する必要がある。
に配置される二次元距離センサ２Ａ，３Ａのライン中心
CLからの距離Ｌ1 の値は、測定される板材１の最小幅に
対して、その板幅および蛇行量が測定し得るような位置
を選択する必要があり、一方、ライン中心CLに対しても
っとも外側に配置される二次元距離センサ２Ｃ，３Ｃの
距離Ｌ3 の値は、測定される板材１の最大値に対応して
同様に決定する必要がある。
【００１３】これら両端部の二次元距離センサ２Ａ〜２
Ｃ、３Ａ〜３Ｃで検出された信号は、それぞれ信号処理
装置４Ａ，４Ｂ，４Ｃおよび５Ａ，５Ｂ，５Ｃによって
処理され、測定信号選択装置６，７を介して板端部位置
判定装置８，９に取り込まれ、さらに演算処理装置10に
入力されて板幅・蛇行量が演算処理される。また、11は
上位計算機で、演算処理装置10で演算処理された板幅お
よび蛇行量の測定信号を入力するとともに、測定に使用
する両端部それぞれ２系統の二次元距離センサを選択し
て、測定信号選択装置６，７のスイッチング回路を切り
換える機能を有している。
Ｃ、３Ａ〜３Ｃで検出された信号は、それぞれ信号処理
装置４Ａ，４Ｂ，４Ｃおよび５Ａ，５Ｂ，５Ｃによって
処理され、測定信号選択装置６，７を介して板端部位置
判定装置８，９に取り込まれ、さらに演算処理装置10に
入力されて板幅・蛇行量が演算処理される。また、11は
上位計算機で、演算処理装置10で演算処理された板幅お
よび蛇行量の測定信号を入力するとともに、測定に使用
する両端部それぞれ２系統の二次元距離センサを選択し
て、測定信号選択装置６，７のスイッチング回路を切り
換える機能を有している。
【００１４】つぎに、本発明の板幅・蛇行量検出装置の
動作について説明する。まず、上位計算機11にはライン
に搬送される板材１の板幅命令値に関する情報が入力さ
れているから、その情報に基づいて当該板材１の板幅を
予測し、その板幅予測値ＷS を満足する測定範囲を有す
る２系統の二次元距離センサを選択し、予め、測定信号
選択装置６，７のスイッチング回路を切り換えておく。
動作について説明する。まず、上位計算機11にはライン
に搬送される板材１の板幅命令値に関する情報が入力さ
れているから、その情報に基づいて当該板材１の板幅を
予測し、その板幅予測値ＷS を満足する測定範囲を有す
る２系統の二次元距離センサを選択し、予め、測定信号
選択装置６，７のスイッチング回路を切り換えておく。
【００１５】なお、上位計算機11で選択される２系統の
二次元距離センサの選択基準は表１のごとくである。
二次元距離センサの選択基準は表１のごとくである。
【００１６】
【表１】
【００１７】つぎに、板材１が二次元距離センサ２Ａ〜
２Ｃ，３Ａ〜３Ｃの視野を通過すると、投光ビームLBが
照射され、その乱反射光が二次元ＣＣＤカメラで受光さ
れる。このときの二次元ＣＣＤカメラの画像は、二次元
距離センサ２Ａ〜２Ｃの場合は図２(a) に示すようなス
リット状の光の帯12として、また二次元距離センサ３Ａ
〜３Ｃの場合は図２(b) に示す光の帯13として得られ
る。
２Ｃ，３Ａ〜３Ｃの視野を通過すると、投光ビームLBが
照射され、その乱反射光が二次元ＣＣＤカメラで受光さ
れる。このときの二次元ＣＣＤカメラの画像は、二次元
距離センサ２Ａ〜２Ｃの場合は図２(a) に示すようなス
リット状の光の帯12として、また二次元距離センサ３Ａ
〜３Ｃの場合は図２(b) に示す光の帯13として得られ
る。
【００１８】そこで、信号処理装置４Ａ〜４Ｃ、５Ａ〜
５Ｃにおいて、それらの画像はｘ方向（高さ方向）とｙ
方向（板幅方向）の二次元的な処理がなされる。すなわ
ち、まず、ｘ方向の走査によって光の帯のビット位置と
対応して板材１までの距離が測定され、ついで、ｙ方向
に走査することによって板幅方向の距離分布が求められ
る。
５Ｃにおいて、それらの画像はｘ方向（高さ方向）とｙ
方向（板幅方向）の二次元的な処理がなされる。すなわ
ち、まず、ｘ方向の走査によって光の帯のビット位置と
対応して板材１までの距離が測定され、ついで、ｙ方向
に走査することによって板幅方向の距離分布が求められ
る。
【００１９】両端部の距離分布データのうち、予め上位
計算機11で選択された２系統の信号処理装置からの距離
分布データのみが、それぞれの板端部位置判定装置８，
９に入力される。そして、板端部位置判定装置８，９に
おいて、距離データはライン中心CLから離れる方向すな
わち板幅方向に走査されて、距離測定値が大きく変化し
た変曲点が二次元ＣＣＤカメラのビット番号（または測
定範囲内から測定範囲外へ変化した位置）によって検出
され、その位置が板材１の端部位置であるとの判定がな
される。これによって、板材１のパスラインが変動して
もその補正を外部から加える必要がない。
計算機11で選択された２系統の信号処理装置からの距離
分布データのみが、それぞれの板端部位置判定装置８，
９に入力される。そして、板端部位置判定装置８，９に
おいて、距離データはライン中心CLから離れる方向すな
わち板幅方向に走査されて、距離測定値が大きく変化し
た変曲点が二次元ＣＣＤカメラのビット番号（または測
定範囲内から測定範囲外へ変化した位置）によって検出
され、その位置が板材１の端部位置であるとの判定がな
される。これによって、板材１のパスラインが変動して
もその補正を外部から加える必要がない。
【００２０】演算処理装置10において、板端部位置判定
装置８，９の双方からの信号が演算処理されることによ
り、板材１の板幅および蛇行量が求められ、上位計算機
11に出力される。なお、上記した板幅予測値ＷS が適当
でないため、あるいは選択した２系統の二次元距離セン
サが適当でないために、板材１の端部を検出できない場
合は、上位計算機11が板端部位置判定装置８，９からの
出力信号によって判断して、再度正しい２系統の選択信
号を測定信号選択装置６，７に出力するようにする。
装置８，９の双方からの信号が演算処理されることによ
り、板材１の板幅および蛇行量が求められ、上位計算機
11に出力される。なお、上記した板幅予測値ＷS が適当
でないため、あるいは選択した２系統の二次元距離セン
サが適当でないために、板材１の端部を検出できない場
合は、上位計算機11が板端部位置判定装置８，９からの
出力信号によって判断して、再度正しい２系統の選択信
号を測定信号選択装置６，７に出力するようにする。
【００２１】このようにして、測定される板材１の板幅
予測値ＷS に対応して、予め測定に使用する二次元距離
センサをそれぞれの端部ごとに２台ずつ選択するように
したので、演算処理装置10における演算に要する時間
は、設置された二次元距離センサの台数に制約されるこ
となく、常に同じ周期で板幅および蛇行量を測定するこ
とができる。
予測値ＷS に対応して、予め測定に使用する二次元距離
センサをそれぞれの端部ごとに２台ずつ選択するように
したので、演算処理装置10における演算に要する時間
は、設置された二次元距離センサの台数に制約されるこ
となく、常に同じ周期で板幅および蛇行量を測定するこ
とができる。
【００２２】なお、上記実施例では、各端部ごとに３台
の二次元距離センサを設置するとして説明したが、本発
明はこれに限るものではなく、たとえば片側４台ずつ設
置するようにしてもよい。この場合の２系統の二次元距
離センサの選択基準は、表２を適用するとよい。
の二次元距離センサを設置するとして説明したが、本発
明はこれに限るものではなく、たとえば片側４台ずつ設
置するようにしてもよい。この場合の２系統の二次元距
離センサの選択基準は、表２を適用するとよい。
【００２３】
【表２】
【００２４】また、板材１の蛇行量の測定範囲が、スリ
ット状投光ビームの幅ｂに比較して十分に小さいとき
は、板端部位置判定装置８，９が読み込むべき二次元距
離センサの選択は、片側についていずれか１台、両側で
計２台を用いて測定しても、精度を損なう恐れはない。
ット状投光ビームの幅ｂに比較して十分に小さいとき
は、板端部位置判定装置８，９が読み込むべき二次元距
離センサの選択は、片側についていずれか１台、両側で
計２台を用いて測定しても、精度を損なう恐れはない。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
測定すべき板材の両端部に複数台の二次元距離センサを
配列して測定する固定方式を用いても、少なくとも片側
２系統の測定データのみを演算処理するようにしたの
で、従来の演算処理装置の処理能力のままで十分に精度
の高い板幅および蛇行量の測定を実施することができ
る。また、これによって、測定精度向上に要する設備投
資を抑制できるという効果もある。
測定すべき板材の両端部に複数台の二次元距離センサを
配列して測定する固定方式を用いても、少なくとも片側
２系統の測定データのみを演算処理するようにしたの
で、従来の演算処理装置の処理能力のままで十分に精度
の高い板幅および蛇行量の測定を実施することができ
る。また、これによって、測定精度向上に要する設備投
資を抑制できるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の構成を示す概要図である。
【図２】(a) ，(b) は本発明に用いられる二次元距離セ
ンサの画像の模式図である。
ンサの画像の模式図である。
１ 板材 ２Ａ，２Ｂ，２Ｃ 二次元距離センサ ３Ａ，３Ｂ，３Ｃ 二次元距離センサ ４Ａ，４Ｂ，４Ｃ 信号処理装置 ５Ａ，５Ｂ，５Ｃ 信号処理装置 ６，７ 測定信号選択装置 ８，９ 板端部位置判定装置 10 演算処理装置 11 上位計算機 12, 13 光の帯
Claims (1)
- 【請求項１】 板材の幅方向にスリット状の投光ビー
ムを照射し、板材表面からの乱反射光を検出する二次元
距離センサを用いて、その検出された画像信号を二次元
的に走査して得られた距離分布データから板幅および蛇
行量を演算する板材の板幅・蛇行量検出装置において、
前記二次元距離センサを測定すべき板材の最小幅と最大
幅に応じて、その両端部付近に幅方向に複数台配列し、
該二次元距離センサからの測定信号を指令に応じてそれ
ぞれ２系統のみ切換選択する測定信号選択装置と、該測
定信号選択装置で選択された距離分布データから板端部
を判定する板端部位置判定装置と、距離分布データを用
いて板材の板幅および蛇行量を演算する演算処理装置と
からなることを特徴とする板材の板幅・蛇行量検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5964094A JPH07270125A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 板材の板幅・蛇行量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5964094A JPH07270125A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 板材の板幅・蛇行量検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270125A true JPH07270125A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=13119029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5964094A Pending JPH07270125A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 板材の板幅・蛇行量検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07270125A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000074247A (ko) * | 1999-05-19 | 2000-12-15 | 이구택 | 씨씨디 카메라의 기울임을 이용한 피측정체의 폭 측정방법 |
| WO2013011586A1 (ja) * | 2011-07-21 | 2013-01-24 | 株式会社ニレコ | 帯状体の端部位置検出装置及び帯状体の端部位置検出方法 |
| EP3795984A4 (en) * | 2018-05-14 | 2021-07-07 | Yoshino Gypsum Co., Ltd. | INSPECTION DEVICE, DEVICE FOR MANUFACTURING PLATE-SHAPED OBJECT, INSPECTION METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING PLATE-SHAPED OBJECT |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP5964094A patent/JPH07270125A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000074247A (ko) * | 1999-05-19 | 2000-12-15 | 이구택 | 씨씨디 카메라의 기울임을 이용한 피측정체의 폭 측정방법 |
| WO2013011586A1 (ja) * | 2011-07-21 | 2013-01-24 | 株式会社ニレコ | 帯状体の端部位置検出装置及び帯状体の端部位置検出方法 |
| JPWO2013011586A1 (ja) * | 2011-07-21 | 2015-02-23 | 株式会社ニレコ | 帯状体の端部位置検出装置及び帯状体の端部位置検出方法 |
| EP3795984A4 (en) * | 2018-05-14 | 2021-07-07 | Yoshino Gypsum Co., Ltd. | INSPECTION DEVICE, DEVICE FOR MANUFACTURING PLATE-SHAPED OBJECT, INSPECTION METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING PLATE-SHAPED OBJECT |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4559603A (en) | Apparatus for inspecting a circuit pattern drawn on a photomask used in manufacturing large scale integrated circuits | |
| US6011255A (en) | Laser scanning method and system | |
| KR20080091283A (ko) | 표면의 병진이동을 측정하기 위한 방법 및 측정 장치 | |
| KR100288330B1 (ko) | 밴드형상영역의중심을서치하는방법 | |
| JPH07270125A (ja) | 板材の板幅・蛇行量検出装置 | |
| JP4594833B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH06167327A (ja) | キャンバ測定方法 | |
| JP2861800B2 (ja) | 形状測定装置 | |
| JP2000146857A (ja) | パターン欠陥検査方法及びその装置 | |
| JPH0399207A (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JP2705458B2 (ja) | 実装基板外観検査装置 | |
| JPH07190735A (ja) | 光学式測定装置およびその測定方法 | |
| JP2001012920A (ja) | 形状検出装置 | |
| JP3552381B2 (ja) | 画像測定機 | |
| EP1031057B1 (en) | Laser scanning method and system | |
| JPH07270129A (ja) | 板材の板幅・蛇行量検出装置 | |
| JP3444575B2 (ja) | 距離計 | |
| JPH05135157A (ja) | 実装基板外観検査装置 | |
| JP2004309295A (ja) | バンプ高さ測定方法及び測定装置 | |
| JPH0399209A (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JP2003090801A (ja) | 検査対象パターンの端部検出方法、装置、及び、検査方法、装置 | |
| JPH05303628A (ja) | 実装基板外観検査装置 | |
| JPH05164526A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH06120118A (ja) | レンズ収差測定方法およびそれを用いた露光装置 | |
| JPS6117904A (ja) | パタ−ン検出装置 |