JPH07267613A - 微細複合セラミックス粉末の製造方法、製造装置、該セラミックス粉末及び該セラミックス粉末を電極材料とする固体電解質型燃料電池 - Google Patents

微細複合セラミックス粉末の製造方法、製造装置、該セラミックス粉末及び該セラミックス粉末を電極材料とする固体電解質型燃料電池

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JPH07267613A
JPH07267613A JP6082399A JP8239994A JPH07267613A JP H07267613 A JPH07267613 A JP H07267613A JP 6082399 A JP6082399 A JP 6082399A JP 8239994 A JP8239994 A JP 8239994A JP H07267613 A JPH07267613 A JP H07267613A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 固体電解質型燃料電池の電気特性を向上させ
ることができる電極材料用の微細複合セラミックス粉末
を提供する。 【構成】 La2 3 、MnO2 及びSrCO3 の硝
酸、過酸化水素水の原料溶液I及び8モル%のYSZゾ
ル原料溶液IIを等モル%の割合で混合した原料混合液S
を製造装置1の霧化室2内に入れ、超音波振動子3、3
を用いて、平均粒径10μmの微細なミストMを作成し
た。ガス流入口4からキャリヤ−ガスとして空気を3cm
/s の速度で流入することにより、100 ℃に予熱された
ミストMは霧化室2と連通し、ミストMが移動する順に
加熱ゾ−ン7A(200 ℃)、7B(450℃)、7C(800
℃)、7D(1000℃)が配置されている電気炉6内へ
続く石英管5内部を移動する。加熱ゾ−ン7A及び7B
においてミストMを乾燥させた後に加熱ゾ−ン7C、7
Dにおいて熱分解させたミストMを電気集塵器8により
冷却、捕集し、得られた粉末を1000℃にて4時間仮焼し
た後、軽く解きほぐして砕くことにより空気極材料に適
した微細複合セラミックス粉末を得た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は微細複合セラミックス粉
末の製造方法、製造装置、微細複合セラミックス粉末及
び前記微細複合セラミックス粉末を電極材料としたこと
を特徴とする固体電解質型燃料電池(以下、SOFCと
も記載する)に関する。
【0002】
【従来の技術】微細複合セラミックス粉末では二種類以
上の材料の一次粒子が混合状態にて集まり二次粒子を形
成している。この微細複合セラミックス粉末の従来の製
造方法としては、二種類以上の材料の粗い粉末を粉砕機
を用いてより細かく粉砕し、得られた二種類以上の材料
の粉砕物をボ−ルミルで攪拌混合し、仮焼、粉砕する方
法や二種類以上の材料粉末を溶液化し、その液滴を加熱
炉中に飛散させ、熱分解し、仮焼後粉砕して、微細な二
次粒子とする滴下熱分解法等がある。これらの従来の製
造方法により得られる微細複合セラミックス粉末の中に
はSOFCの電極材料に使用されているものがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来の製造方法
により得られる二次粒子は、材料の粒子である一次粒子
が凝集して形成される塊状物を機械的に粉砕して製造さ
れるため、得られる二次粒子は不定形状であり、球形状
のものが得られ難かった。そして、従来の製造方法によ
り得られるセラミックス粉末をSOFCの電極材料に使
用した場合、その電気的性質が不十分であった。そこで
本発明の課題は複数材料の一次粒子が集合して形成され
る球形状の中実な二次粒子である微細複合セラミックス
粉末、その粉末の製造に適した製造方法、その粉末の製
造方法に適した製造装置及びこの微細複合セラミックス
粉末を電極材料とした固体電解質型燃料電池を提供する
ことにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題解決のために請
求項1に記載の微細複合セラミックス粉末の製造方法
は、二種類以上の材料が混合された溶液をミスト化し、
このミストを前記材料が熱分解する温度よりも低い温度
にて乾燥する第一工程及びこの第一工程に続いて前記材
料を熱分解する第二工程を有することを特徴とする。ま
た請求項2に記載の微細複合セラミックス粉末の製造装
置は二種類以上の材料が混合された溶液をミスト化する
手段及びこのミストを移動させる手段及び前記ミストの
移動通路を有し、前記移動通路の長手方向に複数個の熱
発生手段が配置されていることを特徴とする。そして請
求項3に記載の微細複合セラミックス粉末は請求項1に
記載の製造方法により製造される微細複合セラミックス
粉末であって、二種類以上の材料から生じた二種類以上
の一次粒子と、これらの二種類以上の一次粒子が略均一
に分散した状態で集合して生成された中実で球形の二次
粒子とを有することを特徴とする。また請求項4に記載
の固体電解質型燃料電池は、請求項3に記載の微細複合
セラミックス粉末を電極材料としたことを特徴とする。
【0005】前記材料が混合された溶液は任意の材料を
任意の溶媒に溶かして得られる溶液又はゾル又は溶液及
びゾルの混合溶液を意味し、例えばSOFCの空気極に
使用する粉末の材料としては、La、Sr、Mnのイオ
ンを含む水溶液及びYSZ(イットリアを用いて安定化
した酸化ジルコニウム)又はPSZ(部分安定化酸化ジ
ルコニウム)が挙げられる。イットリア以外の例えば酸
化カルシウムを用いて安定化した酸化ジルコニウムも使
用できる。又はLa、Mnのイオンを含む水溶液及びY
SZ又はPSZの組み合わせ、又はLa、Coのイオン
を含む水溶液及びYSZ又はPSZの組み合わせが挙げ
られる。そしてSOFCの燃料極に使用する粉末の材料
としては、例えば、上記のYSZ又はPSZとNiの塩
の組み合わせ又はYSZ又はPSZとNiの塩及びMg
の塩の組み合わせが挙げられる。これらの材料を溶解
し、溶液またはゾルとするために使用する溶媒は有機又
は無機のアルカリまたは酸の水溶液、水等、材料を溶解
し、溶液またはゾルとすることのできる種々の適切な溶
媒を使用できる。一般にゾルとは液体を分散媒とし固体
を分散粒子とするコロイドのことで、分散粒子が普通の
光学顕微鏡では認めらないが、原子或いは低分子よりは
大きい粒子として分散しているものを言うが、本発明に
おけるゾルはこれに限るものではなく、光学顕微鏡で認
められる粒子を含むもの、あるいは超微粒子を水などの
液体と混合して懸濁したスラリ−であって、容易には沈
殿物を生じないものであっても良く、これらを含めた広
い意味でのゾルとする。またSOFCの電解質に使用す
る粉末の材料としては、例えば、上記のYSZ又はPS
Z及びAl2 3 又はMgOの組み合わせが挙げられ
る。これらの材料は適切な各量を選ぶことができ、任意
の材料を任意の組み合わせで使用することにより種々の
組成の微細複合セラミックス粉末を得ることができる。
【0006】前記熱分解とは酸化等の化学変化及び/又
は非晶質を結晶化することを意味し、結晶化したことは
各材料のX線回折のピ−クが分離せず、一本化すること
により確認することができる。
【0007】前記材料の粒子から生じた一次粒子とは材
料の粒子から酸化等の化学的変化及び/又は、結晶化等
の物理的変化を経て得られた粒子であり、前記二次粒子
はこの一次粒子が集まって形成されている粒子である。
この二次粒子が中実であるとは、二次粒子内部にも一次
粒子が集まって存在している状態を意味する。
【0008】前記電極とは燃料極及び/又は空気極を意
味し、燃料極及び空気極の両極が請求項3に記載の微細
複合セラミックス粉末を電極材料としているSOFC、
燃料極又は空気極の片方のみが請求項3に記載の微細複
合セラミックス粉末を電極材料としているSOFCの両
方の場合を含む。
【0009】
【作用】請求項1に記載の微細複合セラミックス粉末の
製造方法によると、図1に示されるようにミストMは球
形であり、この一個のミストM中に二種類以上の材料の
粒子P1,P2が良好に分散して存在する。ミストMを
乾燥する第一工程により、ミストMの表面から水分又は
揮発成分が蒸発し、二種類以上の材料の粒子は元のミス
トMよりも径の小さい粒子R内に良好に分散し存在する
と考えられる。そして、この第一工程の後に第二工程で
材料を加熱することにより、材料の粒子P1,P2は熱
分解され、粒子Rはさらに径が小さくなり、熱分解した
二種類以上の材料の一次粒子P1及びP2が良好に分散
した球形であり中実の二次粒子TSとなると考えられ
る。
【0010】また請求項2に記載の微細複合セラミック
ス粉末の製造装置によると、二種類以上の材料溶液をミ
スト化する手段により、材料溶液のミストを得て、これ
をミストを移動させる手段によりミストの移動通路を移
動させる。この移動通路はその長手方向に複数個の熱発
生手段が配置されているので、ミストの移動通路の入り
口に近い方の熱発生手段の温度を材料が熱分解する温度
よりも低い温度にてミストを乾燥する温度とし、ミスト
の移動通路の入り口から遠い方の他の熱発生手段の温度
を材料が熱分解する温度とすることにより、請求項1に
記載の微細複合セラミックス粉末の製造方法を容易に実
施することができる。
【0011】そして請求項3に記載の微細複合セラミッ
クス粉末によると、請求項1に記載の製造方法により、
従来の不定形な二次粒子とは異なる球形の二次粒子が容
易に得られ、二次粒子が球形であることから、従来の微
細複合セラミックス粉末とは異なる性質を有する微細複
合セラミックス粉末とされる。また請求項4に記載の固
体電解質型燃料電池によると、請求項3に記載の微細複
合セラミックス粉末を電極材料とするので、球形の二次
粒子同志の接触部位は不定形状の微粒子同志の接触部位
よりもより大きいことから、内部抵抗が低減されると考
えられる。また二次粒子は材料溶液から生じた二種類以
上の一次粒子が略均一に分散した状態で集合して生成さ
れた中実の粒子であることからも良好な電気特性が期待
される。
【0012】
【実施例】
実施例1 空気極に使用する微細複合セラミックス粉末の製造。 La2 3 11.72g、MnO2 8.64g及びSrCO3
2.657gの粉末を純水10ミリリットル中に混合
し、さらに濃硝酸100ミリリットルを混合し、さらに
過酸化水素水100ミリリットルを混合し、150℃〜
200℃にて1時間攪拌し、材料溶液Iを得た。材料溶
液IIとしては8モル%のYSZゾル63.4gを使用し
た。上記の材料溶液I及び材料溶液IIを混合し、純水を
加えて、全量を1リットルとし、これを混合攪拌して得
られる材料混合液Sを得た。図2に示される微細複合セ
ラミックス粉末の製造装置1を用いてこの材料混合液S
から後述のように微細複合セラミックス粉末を製造し
た。製造装置1は図2に示されるように、霧化室2、霧
化室2と連通するミストの移動通路である石英管5、こ
の石英管5が一定の長さをもってその内部を通る電気炉
6及び電気炉6から伸長された石英管5に連続される電
気集塵器8を有する。霧化室2の下方には材料溶液をミ
スト化する手段である超音波振動子3,3が設置され、
霧化室2の上部にはガス流入口4が設置され、このガス
流入口4からキャリヤ−ガスを流入することによりミス
トを移動させる手段が実現される。霧化室2及び電気集
塵器8の内部の温度は図示しない温度調節器により調節
可能とされている。電気炉6には石英管5の左右の相対
位置に各一個の電気熱発生装置が設置された加熱ゾ−ン
が四個、石英管5の長さ方向に等間隔に設置されてい
る。石英管5の長さは115cmであり、直径は40mmで
ある。これらの四組の加熱ゾ−ンを霧化室2からのミス
トMが移動する順に加熱ゾ−ン7A,7B,7C,7D
とする。
【0013】材料混合液Sを霧化室2内に入れ、超音波
振動子3,3を作動させて、微細なミストMを作成し
た。このミストMの粒径は1μm〜20μm、平均粒径は
10μmであった。このミストMを霧化室2内において
100℃に予熱した。次に霧化室2の上部のガス流入口
4からキャリヤ−ガスとして空気を3cm/sの速度で流入
することにより、予熱されたミストMは霧化室2と連通
する石英管5内部を移動し、電気炉6内の石英管5へ移
動する。
【0014】電気炉6内の加熱ゾ−ン7A及び加熱ゾ−
ン7Bの熱源の温度を各々200℃及び450℃とする
ことにより最初は穏やかにミストMを加熱し、ミストM
を乾燥させた。そして加熱ゾ−ン7Cの熱源の温度を材
料が熱分解する温度である800℃とし、加熱ゾ−ン7
Dの熱源の温度は1000℃とすることにより、乾燥させた
後にミストMを熱分解させた。加熱ゾ−ン7A,7B,
7C,7Dを順に移動し、乾燥後に熱分解されたミスト
Mは粉末とされ、この粉末はキャリヤ−ガスにより石英
管5内を電気炉6外へさらに移動し、電気集塵器8によ
り冷却され、捕集される。ミストMが霧化室2から石英
管5内を移動し、捕集されるまでに要する時間は約30
秒であった。このように捕集された粉末を1000℃にて4
時間仮焼し、再結晶化した後、軽く解きほぐして砕くこ
とにより本例の空気極に使用する微細複合セラミックス
粉末を得た。
【0015】上記の微細複合セラミックス粉末の微構造
を走査型電子顕微鏡(以下SEMと記載する)及びエネ
ルギ−分散型X線分析装置(以下EDXと記載する)を
用いて観察した。図3は仮焼前の粉末のSEM写真、図
4は仮焼後の粉末のSEM写真(倍率1万倍)、図5は
仮焼後の粉末のSEM写真(倍率6万倍)である。図3
ないし図5に示されるように、50nm〜200nmの直径
を有する一次粒子が集って形成された直径0.1μm〜
数μm、平均粒子径約0.5μm〜0.8μmの二次粒
子が得られた。これらの一次粒子はEDXの結果から
(La0.8 Sr0.2 0.9 MnO3 及びYSZであり、
これらの一次粒子は微粒子内に均一に高分散して、中実
な二次粒子を形成していることがわかった。またレ−ザ
−回折散乱による方法で、仮焼後の粉末の二次粒子の直
径及び個数を測定した。その結果を図6に示す。図6
中、棒グラフは一定の平均の直径を有する粒子の個数の
%を示し、線グラフは二次粒子の累計個数の%を示して
いる。左側の縦軸は粒子の累計個数の%を示し、左側の
縦軸は粒子の個数の%を示し、横軸は粒子の直径(数値
単位μm)を示している。図6に示されるように粒径は
正規分布を示し、かつ非常に狭い範囲に分布している。
例えば平均粒子径0.5μmの場合90%粒子径は1.
15μmであった。
【0016】実施例2 燃料極に使用する微細複合セラミックス粉末の製造。 Ni(CH3 COO)2 ・4H2 O 49.74g及び
Mg(CH3 COO)2 ・4H2 O 10.72gを純
水1リットルに溶解し、原料溶液Iを作成した。原料溶
液IIとしては8モル%のYSZゾル37.75gを使用
した。これらの原料溶液I及び原料溶液IIを混合し、純
水を加えて、全量を1リットルとし、これを混合攪拌し
て得られる原料混合液Sを図1に示される製造装置1の
霧化室2内に入れ、以後は実施例1と同様にミストMを
作成し、このミストMを最初は穏やかに加熱することに
より乾燥させた後にミストMを急速に熱分解温度とする
ことにより、ミストMを熱分解させた。そして実施例1
と同様に電気集塵器8により冷却、捕集された粉末を仮
焼、解砕し、本例の燃料極に使用する微細複合セラミッ
クス粉末を得た。本実施例により得られた微細複合セラ
ミックス粉末を実施例1と同様にSEM及びEDXによ
り調べた。その結果、実施例1で得られた微細複合セラ
ミックス粉末と同様に50nm〜200nmの直径を有する
(Ni,Mg)O及びYSZの二種類の一次粒子が集っ
て形成された直径0.1μm〜数μm、平均粒子径約
0.5μm〜0.8μmの中実な二次粒子が得られた。
これらの二種類の一次粒子は二次粒子内に均一に高分散
して、中実な二次粒子を形成していることがわかった。
また実施例1と同様にレ−ザ−回折散乱による方法で、
仮焼後の粉末の粒子の直径及び個数を測定したところ、
実施例1と同様に平均粒子径約0.5μm〜0.8μm
の微粒子が得られ、粒度も非常に狭い範囲に分布してい
た。
【0017】実施例3 実施例1及び実施例2にて得られた微細複合セラミック
ス粉末を用いて、以下の様に固体電解質型燃料電池用の
電極を作成した。実施例2で得られた微細複合セラミッ
クス粉末2gにバインダ−としてポリエチレングリコ−
ル0.6g及び分散剤としてエタノ−ル6gを添加し、
アルミナ自動乳鉢で約15分間混合し、エタノ−ルを蒸
発させた後、8モル%YSZペレット(直径13mm、厚さ
1mm)上にスクリ−ン(#(メッシュ)200 )印刷し、こ
れを1400℃、2時間の条件で焼き付けた。この場合の燃
料極肉厚は15μmであった。次に実施例1で得られた微
細複合セラミックス粉末2gにバインダ−としてポリエ
チレングリコ−ル0.6g及び分散剤としてエタノ−ル6g
を添加し、アルミナ自動乳鉢で約15分間混合し、エタノ
−ルを蒸発させた後、YSZペレットの裏面にスクリ−
ン(#(メッシュ)200 )印刷し、これを1200℃、4時
間の条件で焼き付け、空気極とした。最後に参照極を10
00℃、2時間の条件で焼き付け、本例の性能評価セルを
得た。焼き付けの際の昇温条件は全て200 ℃/hとし
た。
【0018】比較例1 実施例1と同じ原料溶液I及び原料溶液IIを同様に混合
し、純水で1リットルとし、混合攪拌して得られる原料
混合液Sを図1に示される製造装置1を使用し、加熱ゾ
−ン7Aの温度を700 ℃及び7Bの温度を800 ℃、加熱
ゾ−ン7Cの温度を900 ℃及び7Dの温度を1000℃とし
た以外は実施例1と同条件でミスト化した原料混合液S
を熱分解し、微細複合セラミックス粉末を得た。この比
較例1の粉末を実施例1と同様にSEM及びEDXによ
り調べた。図7は仮焼前の粉末のSEM写真、図8は仮
焼後の粉末のSEM写真(倍率1万倍)である。図7及
び図8に示されるように、二次粒子の径が実施例1で得
られた粒子よりも大きい粒子が多数存在し、粒度も広い
範囲に分布していた。図8においてこれらの大きい二次
粒子が砕かれた状態及びEDXの結果から示されるよう
にこれらの大きい二次粒子は中空であった。この理由は
図9に示されるように、ミストMを急激な温度勾配で加
熱したことにより、ミストMの表面のみならず、ミスト
Mの内部からも水分の蒸発が生じるため、ミストMの内
部に存在した材料の粒子P1,P2がミストMの表面部
分に集まり、固相の殻Kが生じるために中空の二次粒子
KSが形成すると考えられる。
【0019】比較例2 実施例1及び2と各々同じ原料溶液I及び原料溶液IIを
各々実施例1及び2と同条件にて混合攪拌して得られる
原料混合液を750 ℃に保った石英管中に約2ミリリット
ル/分の速度でて滴下熱分解し、得られた各粉末を粗く
粉砕した後に実施例1及び2と同条件にて各々仮焼し、
粉砕してセラミックス粉末を得た。図10はこのセラミ
ックス粉末のSEM写真(倍率1万倍)である。図10
に示されるように、比較例2の粉末は実施例1の粉末
(図3ないし図5参照)とは大きく構成が異なり、粒子
形が球形ではなく、不定形であった。また実施例1と同
様にレ−ザ−回折散乱による方法で、仮焼後の粉末の粒
子の直径及び個数を測定したところ、図11に示される
ように実施例1の粉末よりも粒度はより大きく、かつ広
い範囲に分布していた。この比較例2のセラミックス粉
末を用いて実施例3と同様に比較例の性能評価セルを作
成し、以下の試験例に使用した。
【0020】試験例 本例の性能評価セル及び比較例2の性能評価セルの電気
性能を比較するため以下の試験を行った。まず電流遮断
法により、両者の電流密度200mA/cm2 における空気極及
び燃料極の抵抗分極を測定した。電解質の抵抗分極を別
に測定し、空気極及び燃料極の各々の抵抗分極から電解
質の抵抗分極の1/2を差し引くことにより、電解質の
抵抗分極を除いた空気極及び燃料極の各々の電圧損失を
得た。このようにして得られた空気極の電圧損失の結果
を図12に、燃料極の電圧損失の結果を図13に示す。
図12及び図13中、縦軸は電圧損失(数値単位mV)
を示し、棒グラフAは比較例のセルについての結果であ
り、棒グラフBは本例のセルについての結果である。ま
た棒グラフA、B中、白抜きの部分は抵抗分極の値を示
し、斜線部分は活性化分極の値を示している。図12及
び図13に示されるように本発明の微細複合セラミック
ス粉末の製造方法により得られる電極の電圧損失は滴下
熱分解法で得られるものに対し、減少し、特に図12に
示されるように空気極の電圧損失の抵抗分極は大幅に減
少した。
【0021】次に両セルについてガルバノスタットを用
いて定電流を取り出した際の電圧を測定することによ
り、電流密度と出力密度との関係を調べた。この結果を
図14に示す。図14中、縦軸は出力密度(数値単位 W
/cm 2 )を示し、横軸は電流密度(数値単位 mA/cm2
を示す。またグラフIは本例のセルについての、グラフ
IIは比較例のセルについての結果を各々示している。図
14に示されるように滴下熱分解法で得られる比較例の
電極では、セル(電解質8 モル% YSZ 1mmt )の出力
密度は電流密度500 mA/cm 2 で、0.24 W/cm 2 となり、
それ以後はほぼ一定になる傾向にあるのに対し、本発明
の微細複合セラミックス粉末の製造方法により得られる
本例の電極を用いた場合の出力密度は電流密度500 mA/c
m 2 で、0.3 W/cm2 を越え、さらに増加する傾向にあっ
た。
【0022】以上の試験例に示されるように実施例1及
び実施例2の微細複合セラミックス粉末を電極材料とし
たSOFCの電極はその内部抵抗が減少し、電気特性を
向上させることができた。又、本例の微細複合セラミッ
クス粉末は個々の二次粒子内で各材料原子の一次粒子が
略均一に高分散しているのでSOFCを高温で長時間運
転した場合に生ずる各原子の微粒子間の焼結による性能
劣化を抑制することが可能である。
【0023】さらに燃料電池の電解質として、一般には
YSZが使用されており、強度不足のため、大型化の阻
害要因となっているが、本発明方法により、YSZと A
l2O3 、MgO 、SiC と等の複合材を製造すると、高強度
の電解質材料を得ることができる。
【0024】
【発明の効果】請求項1に記載の微細複合セラミックス
粉末の製造方法によると、ミストが球形状であり、この
ミストを乾燥後、熱分解することにより、球形状の二次
粒子を有する微細複合セラミックス粉末を容易に製造す
ることができる。請求項2に記載の微細複合セラミック
ス粉末の製造装置によると、請求項1に記載の微細複合
セラミックス粉末の製造方法を容易に実施できる。請求
項3に記載の微細複合セラミックス粉末によると、従来
の製造方法によっては得られ難かった球形状の二次粒子
が得られる。従って、触媒、燃料電池電極等の新しい材
料が提供される。請求項3に記載の固体電解質型燃料電
池によると、従来の固体電解質型燃料電池よりも電気特
性を向上させることができるので、高い発電効率を有す
る将来の新しい電池である燃料電池の実用化に大きく貢
献する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の微細複合セラミックス粉末の製造過程
の説明図である。
【図2】実施例1における微細複合セラミックス粉末の
製造装置の説明図である。
【図3】実施例1の微細複合セラミックス粉末の電子顕
微鏡写真である。
【図4】である。実施例1の微細複合セラミックス粉末
の電子顕微鏡写真である。
【図5】実施例1の微細複合セラミックス粉末の電子顕
微鏡写真である。
【図6】実施例1の微細複合セラミックス粉末の粒度分
布図である。
【図7】比較例1の微細複合セラミックス粉末の電子顕
微鏡写真である。
【図8】比較例1の微細複合セラミックス粉末の電子顕
微鏡写真である。
【図9】比較例1の微細複合セラミックス粉末の製造過
程の説明図である。
【図10】比較例2の微細複合セラミックス粉末の電子
顕微鏡写真である。
【図11】比較例2の微細複合セラミックス粉末の粒度
分布図である。
【図12】実施例3と比較例のセルの空気極における電
圧損失比較図である。
【図13】実施例3と比較例のセルの燃料極における電
圧損失比較図である。
【図14】実施例3と比較例のセルの電流密度と出力密
度の関係図である。
【符号の説明】
1 製造装置 2 霧化室 3 超音波振動子 4 ガス流入口 5 石英管 6 電気炉 7A,7B,7C,7D 加熱ゾ−ン 8 電気集塵器 M ミスト S 原料混合液 P1 材料の粒子 P2 材料の粒子 TS 中実の二次粒子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C04B 35/626 35/495 H01M 4/48 4/86 T

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 二種類以上の材料が混合された溶液をミ
    スト化し、このミストを前記材料が熱分解する温度より
    も低い温度にて乾燥する第一工程及びこの第一工程に続
    いて前記材料を熱分解する第二工程を有することを特徴
    とする微細複合セラミックス粉末の製造方法。
  2. 【請求項2】 二種類以上の材料が混合された溶液をミ
    スト化する手段及びこのミストを移動させる手段及び前
    記ミストの移動通路を有し、前記移動通路の長手方向に
    複数個の熱発生手段が配置されていることを特徴とする
    微細複合セラミックス粉末の製造装置。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の製造方法により製造さ
    れる微細複合セラミックス粉末であって、二種類以上の
    材料から生じた二種類以上の一次粒子と、これらの二種
    類以上の一次粒子が略均一に分散した状態で集合して生
    成された中実で球形の二次粒子とを有することを特徴と
    する微細複合セラミックス粉末。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載の微細複合セラミックス
    粉末を電極材料としたことを特徴とする固体電解質型燃
    料電池。
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