JPH07260415A - ステージ位置検出用レーザ干渉計におけるビームシールド機構 - Google Patents
ステージ位置検出用レーザ干渉計におけるビームシールド機構Info
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- JPH07260415A JPH07260415A JP6046215A JP4621594A JPH07260415A JP H07260415 A JPH07260415 A JP H07260415A JP 6046215 A JP6046215 A JP 6046215A JP 4621594 A JP4621594 A JP 4621594A JP H07260415 A JPH07260415 A JP H07260415A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 空気の流れによって位置検出精度が低下する
恐れのないステージ位置検出用レーザ干渉計におけるビ
ームシールド機構を提供する。 【構成】 シールド本体１１にはレーザ光Ｓを四方から
取り囲むように上部シール部材１４、下部シール部材１
５、一対の側部シール部材１６が取り付けられている。
また、プレーンミラー１２の表面はミラープロテクト１
３で覆われている。そして、各側部シール部材１６は横
断面が３角形状に形成され、その先端縁がミラープロテ
クト１３に近接するようになっている。さらに、ガイド
レール１９にはカバー部１９ｂが設けられている。
恐れのないステージ位置検出用レーザ干渉計におけるビ
ームシールド機構を提供する。 【構成】 シールド本体１１にはレーザ光Ｓを四方から
取り囲むように上部シール部材１４、下部シール部材１
５、一対の側部シール部材１６が取り付けられている。
また、プレーンミラー１２の表面はミラープロテクト１
３で覆われている。そして、各側部シール部材１６は横
断面が３角形状に形成され、その先端縁がミラープロテ
クト１３に近接するようになっている。さらに、ガイド
レール１９にはカバー部１９ｂが設けられている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ顕微鏡等の精密
検査測定機器においてステージの位置を検出するレーザ
干渉計に用いられ、レーザ光への空気の流れの影響を防
止し得るビームシールド機構に関するものである。
検査測定機器においてステージの位置を検出するレーザ
干渉計に用いられ、レーザ光への空気の流れの影響を防
止し得るビームシールド機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、レーザ顕微鏡等の精密検査測定
機器においては、試料を保持するステージの位置精度は
十分に高いことが要求されるものである。そのため、ス
テージの現在位置を正確に検出する必要があり、例え
ば、ある種のレーザ顕微鏡においては、以下に示すよう
なレーザ干渉計を用いてステージの位置を検出するよう
にしている。
機器においては、試料を保持するステージの位置精度は
十分に高いことが要求されるものである。そのため、ス
テージの現在位置を正確に検出する必要があり、例え
ば、ある種のレーザ顕微鏡においては、以下に示すよう
なレーザ干渉計を用いてステージの位置を検出するよう
にしている。
【０００３】図４はレーザ干渉計１の構成を示す図であ
り、このレーザ干渉計１はステージ２のＸ、Ｙ座標の２
方向におけるそれぞれの位置を検出するものである。レ
ーザヘッド３から出射されたレーザ光Ｓはターニングミ
ラー４で反射し、ビームスプリッタ５で互いに垂直な２
方向に分岐されて、それぞれのレーザ光ＳがＸリードヘ
ッド６ａ、Ｙリードヘッド６ｂに入射する。ついで、Ｘ
リードヘッド６ａ、Ｙリードヘッド６ｂを出射したレー
ザ光Ｓは、それぞれビームシールド７ａ、７ｂにより遮
蔽されて、前記リードヘッド６ａ、６ｂと対向するステ
ージ２の側部に設置されたＸプレーンミラー８ａ、Ｙプ
レーンミラー８ｂにそれぞれ照射され、その反射光が再
度Ｘリードヘッド６ａ、Ｙリードヘッド６ｂに入射す
る。そして、各リードヘッド６ａ、６ｂが干渉状態を測
定することにより、ステージ２のＸ、Ｙ座標それぞれの
位置が検出できるわけである。
り、このレーザ干渉計１はステージ２のＸ、Ｙ座標の２
方向におけるそれぞれの位置を検出するものである。レ
ーザヘッド３から出射されたレーザ光Ｓはターニングミ
ラー４で反射し、ビームスプリッタ５で互いに垂直な２
方向に分岐されて、それぞれのレーザ光ＳがＸリードヘ
ッド６ａ、Ｙリードヘッド６ｂに入射する。ついで、Ｘ
リードヘッド６ａ、Ｙリードヘッド６ｂを出射したレー
ザ光Ｓは、それぞれビームシールド７ａ、７ｂにより遮
蔽されて、前記リードヘッド６ａ、６ｂと対向するステ
ージ２の側部に設置されたＸプレーンミラー８ａ、Ｙプ
レーンミラー８ｂにそれぞれ照射され、その反射光が再
度Ｘリードヘッド６ａ、Ｙリードヘッド６ｂに入射す
る。そして、各リードヘッド６ａ、６ｂが干渉状態を測
定することにより、ステージ２のＸ、Ｙ座標それぞれの
位置が検出できるわけである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図５は、前
記レーザ干渉計１におけるいずれか一方側のビームシー
ルド７ａ（７ｂ）とプレーンミラー８ａ（８ｂ）を示す
図である。この図に示すように、プレーンミラー８ａ
（８ｂ）に入射するレーザ光Ｓの周囲はビームシールド
７ａ（７ｂ）によりその大部分が覆われているが、プレ
ーンミラー８ａ（８ｂ）の近傍ではビームシールド７ａ
（７ｂ）のフレーム９とプレーンミラー８ａ（８ｂ）と
の間に間隙がある。したがって、この間隙に空気Ａが流
れたときのゆらぎがレーザ光Ｓに影響を及ぼすことによ
りレーザ干渉計１の位置検出精度が低下してしまうとい
う問題があった。
記レーザ干渉計１におけるいずれか一方側のビームシー
ルド７ａ（７ｂ）とプレーンミラー８ａ（８ｂ）を示す
図である。この図に示すように、プレーンミラー８ａ
（８ｂ）に入射するレーザ光Ｓの周囲はビームシールド
７ａ（７ｂ）によりその大部分が覆われているが、プレ
ーンミラー８ａ（８ｂ）の近傍ではビームシールド７ａ
（７ｂ）のフレーム９とプレーンミラー８ａ（８ｂ）と
の間に間隙がある。したがって、この間隙に空気Ａが流
れたときのゆらぎがレーザ光Ｓに影響を及ぼすことによ
りレーザ干渉計１の位置検出精度が低下してしまうとい
う問題があった。
【０００５】本発明は、前記の課題を解決するためにな
されたものであって、ビームシールドとミラーとの間に
おける空気の流れによって位置検出精度が低下する恐れ
のないステージ位置検出用レーザ干渉計におけるビーム
シールド機構を提供することを目的とする。
されたものであって、ビームシールドとミラーとの間に
おける空気の流れによって位置検出精度が低下する恐れ
のないステージ位置検出用レーザ干渉計におけるビーム
シールド機構を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、請求項１記載のステージ位置検出用レーザ干渉計
におけるビームシールド機構は、レーザ光を内部に通過
させるシールド本体と、該シールド本体の先端面に設け
られ、該先端面とミラーとの間に介在して前記レーザ光
を四方から取り囲む上部シール部材、下部シール部材、
および一対の側部シール部材とから構成されていること
を特徴とするものである。
めに、請求項１記載のステージ位置検出用レーザ干渉計
におけるビームシールド機構は、レーザ光を内部に通過
させるシールド本体と、該シールド本体の先端面に設け
られ、該先端面とミラーとの間に介在して前記レーザ光
を四方から取り囲む上部シール部材、下部シール部材、
および一対の側部シール部材とから構成されていること
を特徴とするものである。
【０００７】また、請求項２記載のステージ位置検出用
レーザ干渉計におけるビームシールド機構は、前記ミラ
ーの表面に、前記レーザ光を通過させる窓部を有するミ
ラー保護部材が装着され、前記一対の側部シール部材の
それぞれは、横断面が３角形状となるように成形され
て、その底面が前記シールド本体の先端面に対して取り
付けられていることを特徴とするものである。
レーザ干渉計におけるビームシールド機構は、前記ミラ
ーの表面に、前記レーザ光を通過させる窓部を有するミ
ラー保護部材が装着され、前記一対の側部シール部材の
それぞれは、横断面が３角形状となるように成形され
て、その底面が前記シールド本体の先端面に対して取り
付けられていることを特徴とするものである。
【０００８】また、請求項３記載のステージ位置検出用
レーザ干渉計におけるビームシールド機構は、前記上部
シール部材の上方に、前記ミラーと前記上部シール部材
の間隙を覆うように水平方向に延在するカバーが設けら
れていることを特徴とするものである。
レーザ干渉計におけるビームシールド機構は、前記上部
シール部材の上方に、前記ミラーと前記上部シール部材
の間隙を覆うように水平方向に延在するカバーが設けら
れていることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】請求項１記載のステージ位置検出用レーザ干渉
計におけるビームシールド機構では、シールド本体とミ
ラーとの間に介在する上部シール部材、下部シール部
材、および一対の側部シール部材によりレーザ光が四方
を取り囲まれているため、これらシール部材により周辺
からの空気の流れが遮断され、レーザ光は空気の流れの
影響を受けることがない。
計におけるビームシールド機構では、シールド本体とミ
ラーとの間に介在する上部シール部材、下部シール部
材、および一対の側部シール部材によりレーザ光が四方
を取り囲まれているため、これらシール部材により周辺
からの空気の流れが遮断され、レーザ光は空気の流れの
影響を受けることがない。
【００１０】また、請求項２記載のステージ位置検出用
レーザ干渉計におけるビームシールド機構では、ミラー
保護部材が装着されたことでミラーの表面が確実に保護
されたうえで、各側部シール部材が、横断面３角形状の
部材の底面でシールド本体に取り付けられているため、
先端縁部がミラー保護部材側に対向することになる。し
たがって、ステージの水平移動に伴って側部シール部材
とミラー保護部材が接触する場合でもその接触面積は最
大限小さくなる。
レーザ干渉計におけるビームシールド機構では、ミラー
保護部材が装着されたことでミラーの表面が確実に保護
されたうえで、各側部シール部材が、横断面３角形状の
部材の底面でシールド本体に取り付けられているため、
先端縁部がミラー保護部材側に対向することになる。し
たがって、ステージの水平移動に伴って側部シール部材
とミラー保護部材が接触する場合でもその接触面積は最
大限小さくなる。
【００１１】また、請求項３記載のステージ位置検出用
レーザ干渉計におけるビームシールド機構によれば、上
部シール部材の上方にミラーと上部シール部材の間隙を
覆うようにカバーが設けられているので、このカバーに
より上方からの空気の流れが確実に遮断される。
レーザ干渉計におけるビームシールド機構によれば、上
部シール部材の上方にミラーと上部シール部材の間隙を
覆うようにカバーが設けられているので、このカバーに
より上方からの空気の流れが確実に遮断される。
【００１２】
【実施例】以下、本発明のステージ位置検出用レーザ干
渉計におけるビームシールド機構の一実施例を図１ない
し図３を参照して説明する。本実施例のビームシールド
機構は図４に示したレーザ干渉計１に適用されるもので
あり、図１はそのビームシールド機構１０を示す正面
図、図２は要部を拡大して示す縦断面図、図３は同じく
横断面図である。また、図中符号１１はシールド本体、
１２はプレーンミラー（ミラー）、１３はミラープロテ
クト（ミラー保護部材）、１４は上部シール部材、１５
は下部シール部材、１６は側部シール部材である。
渉計におけるビームシールド機構の一実施例を図１ない
し図３を参照して説明する。本実施例のビームシールド
機構は図４に示したレーザ干渉計１に適用されるもので
あり、図１はそのビームシールド機構１０を示す正面
図、図２は要部を拡大して示す縦断面図、図３は同じく
横断面図である。また、図中符号１１はシールド本体、
１２はプレーンミラー（ミラー）、１３はミラープロテ
クト（ミラー保護部材）、１４は上部シール部材、１５
は下部シール部材、１６は側部シール部材である。
【００１３】図２に示すように、ステージ（図示せず）
の側部にはミラープレート１７が取り付けられ、ミラー
プレート１７には支持部材１８、１８を介してプレーン
ミラー１２が取り付けられている。そして、ミラープロ
テクト１３がプレーンミラー１２の表面を覆うように取
り付けられている。ミラープロテクト１３は、例えば厚
さが１ｍｍ程度の板材で形成された箱体であり、図１に
示すように、前方の板部１３ａにはレーザ光Ｓをプレー
ンミラー１２に透過させるための横長の窓部１３ｂが形
成され、内面側がプレーンミラー１２の表面と接するよ
うに固定されている。また、図２に示すように、ミラー
プロテクト１３の後方は開口し、上板部１３ｃは後方に
延在して、ミラープレート１７の上面に固定されてい
る。また、ミラープロテクト１３の上板部１３ｃにはガ
イドレール１９が固定されており、図１および図２に示
すように、ガイドレール１９にはステージの辺方向に延
びるガイド部１９ａが設けられている。
の側部にはミラープレート１７が取り付けられ、ミラー
プレート１７には支持部材１８、１８を介してプレーン
ミラー１２が取り付けられている。そして、ミラープロ
テクト１３がプレーンミラー１２の表面を覆うように取
り付けられている。ミラープロテクト１３は、例えば厚
さが１ｍｍ程度の板材で形成された箱体であり、図１に
示すように、前方の板部１３ａにはレーザ光Ｓをプレー
ンミラー１２に透過させるための横長の窓部１３ｂが形
成され、内面側がプレーンミラー１２の表面と接するよ
うに固定されている。また、図２に示すように、ミラー
プロテクト１３の後方は開口し、上板部１３ｃは後方に
延在して、ミラープレート１７の上面に固定されてい
る。また、ミラープロテクト１３の上板部１３ｃにはガ
イドレール１９が固定されており、図１および図２に示
すように、ガイドレール１９にはステージの辺方向に延
びるガイド部１９ａが設けられている。
【００１４】一方、図２に示すように、リードヘッド
（図示せず）とプレーンミラー１２との間には、レーザ
光Ｓを遮蔽するためのシールド本体１１が設置されてい
る。シールド本体１１は、レーザ光Ｓを取り囲むじゃば
ら状のシールド筒２０と、図１に示すように、レーザ光
Ｓを透過させる円形の窓部２１ａが形成されたフレーム
２１と、フレーム２１を固定するための取付部２２とか
ら構成されており、図２に示すように、取付部２２の下
方にはプレーンミラー１２側に突出するガイドローラ２
３が設けられている。そして、このガイドローラ２３は
前記ガイドレール１９のガイド部１９ａと係合するよう
になっており、これによりシールド本体１１に対してプ
レーンミラー１２が図１における矢印Ｂ、Ｂの方向に移
動するようになっている。
（図示せず）とプレーンミラー１２との間には、レーザ
光Ｓを遮蔽するためのシールド本体１１が設置されてい
る。シールド本体１１は、レーザ光Ｓを取り囲むじゃば
ら状のシールド筒２０と、図１に示すように、レーザ光
Ｓを透過させる円形の窓部２１ａが形成されたフレーム
２１と、フレーム２１を固定するための取付部２２とか
ら構成されており、図２に示すように、取付部２２の下
方にはプレーンミラー１２側に突出するガイドローラ２
３が設けられている。そして、このガイドローラ２３は
前記ガイドレール１９のガイド部１９ａと係合するよう
になっており、これによりシールド本体１１に対してプ
レーンミラー１２が図１における矢印Ｂ、Ｂの方向に移
動するようになっている。
【００１５】シールド本体１１のフレーム２１における
窓部２１ａの上方および下方には、ブロック状の上部シ
ール部材１４、下部シール部材１５がそれぞれ設置され
ている。そして、図２に示すように、これらシール部材
１４、１５のプレーンミラー１２に対向する面はミラー
プロテクト１３との間に若干の間隙を有している。ま
た、図１に示すように、上部シール部材１４の下部、お
よび下部シール部材１５の上部の前記窓部２１ａを挟む
両側方にはそれぞれ切欠部１４ａ、１４ａ、１５ａ、１
５ａが形成されており、これら切欠部１４ａ、１４ａ、
１５ａ、１５ａに嵌合するように一対の側部シール部材
１６、１６がフレーム２１に固定されている。図３に示
すように、この側部シール部材１６の各々はクロロプレ
ンゴムを材料として横断面が２等辺３角形状に成形され
たものであり、底面がフレーム２１に対して取り付けら
れて、上部、下部シール部材１４、１５の先端に比べて
その先端縁がミラープロテクト１３の表面に近接した状
態となっている。したがって、シールド本体１１とプレ
ーンミラー１２との間のレーザ光Ｓはこれら上部、下
部、側部シール部材１４、１５、１６により四方を取り
囲まれるようになっている。
窓部２１ａの上方および下方には、ブロック状の上部シ
ール部材１４、下部シール部材１５がそれぞれ設置され
ている。そして、図２に示すように、これらシール部材
１４、１５のプレーンミラー１２に対向する面はミラー
プロテクト１３との間に若干の間隙を有している。ま
た、図１に示すように、上部シール部材１４の下部、お
よび下部シール部材１５の上部の前記窓部２１ａを挟む
両側方にはそれぞれ切欠部１４ａ、１４ａ、１５ａ、１
５ａが形成されており、これら切欠部１４ａ、１４ａ、
１５ａ、１５ａに嵌合するように一対の側部シール部材
１６、１６がフレーム２１に固定されている。図３に示
すように、この側部シール部材１６の各々はクロロプレ
ンゴムを材料として横断面が２等辺３角形状に成形され
たものであり、底面がフレーム２１に対して取り付けら
れて、上部、下部シール部材１４、１５の先端に比べて
その先端縁がミラープロテクト１３の表面に近接した状
態となっている。したがって、シールド本体１１とプレ
ーンミラー１２との間のレーザ光Ｓはこれら上部、下
部、側部シール部材１４、１５、１６により四方を取り
囲まれるようになっている。
【００１６】また、図２に示すように、前記ガイドレー
ル１９の先端はミラープロテクト１３の前面より前方に
突出したカバー部１９ｂ（カバー）となっている。そし
て、このカバー部１９ｂは上部シール部材１４の上方に
位置し、上部シール部材１４とミラープロテクト１３の
間隙を上方から覆うようになっている。
ル１９の先端はミラープロテクト１３の前面より前方に
突出したカバー部１９ｂ（カバー）となっている。そし
て、このカバー部１９ｂは上部シール部材１４の上方に
位置し、上部シール部材１４とミラープロテクト１３の
間隙を上方から覆うようになっている。
【００１７】前記構成のビームシールド機構１０を備え
たレーザ干渉計１では、レーザ光Ｓを上部シール部材１
４、下部シール部材１５、一対の側部シール部材１６、
１６で四方から取り囲むようにしたことにより、シール
ド本体１１とプレーンミラー１２の間隙における様々な
方向からの空気の流れＡを遮断することができるので、
空気の流れＡの影響がレーザ光Ｓに及ぶことがないた
め、精度を低下させることなくステージの位置を検出す
ることができる。
たレーザ干渉計１では、レーザ光Ｓを上部シール部材１
４、下部シール部材１５、一対の側部シール部材１６、
１６で四方から取り囲むようにしたことにより、シール
ド本体１１とプレーンミラー１２の間隙における様々な
方向からの空気の流れＡを遮断することができるので、
空気の流れＡの影響がレーザ光Ｓに及ぶことがないた
め、精度を低下させることなくステージの位置を検出す
ることができる。
【００１８】また、プレーンミラー１２の表面がミラー
プロテクト１３により覆われているので、プレーンミラ
ー１２の表面のごく近傍での空気の流れＡが遮断される
とともに、一対の側部シール部材１６、１６がプレーン
ミラー１２に対して十分に近接して取り付けられていて
も、側部シール部材１６がプレーンミラー１２の表面に
直接接触することを防止することができる。
プロテクト１３により覆われているので、プレーンミラ
ー１２の表面のごく近傍での空気の流れＡが遮断される
とともに、一対の側部シール部材１６、１６がプレーン
ミラー１２に対して十分に近接して取り付けられていて
も、側部シール部材１６がプレーンミラー１２の表面に
直接接触することを防止することができる。
【００１９】そして、一対の側部シール部材１６、１６
として横断面が２等辺３角形の形状のものを採用し、そ
の先端縁をミラープロテクト１３に十分に近接させるよ
うにしたため、側方からの空気の流れＡを確実に遮断で
きるとともに、ステージが水平移動する際に、万一、側
部シール部材１６がミラープロテクト１３に接触するよ
うなことがあったとしても、接触面積が最大限小さいた
め、先端縁がわずかに弾性変形することで、ステージの
円滑な移動を妨げたり、塵埃や傷が大量に発生したりす
る恐れをなくすことができる。
として横断面が２等辺３角形の形状のものを採用し、そ
の先端縁をミラープロテクト１３に十分に近接させるよ
うにしたため、側方からの空気の流れＡを確実に遮断で
きるとともに、ステージが水平移動する際に、万一、側
部シール部材１６がミラープロテクト１３に接触するよ
うなことがあったとしても、接触面積が最大限小さいた
め、先端縁がわずかに弾性変形することで、ステージの
円滑な移動を妨げたり、塵埃や傷が大量に発生したりす
る恐れをなくすことができる。
【００２０】また、上部、下部シール部材１４、１５に
関しては、前記のようなミラープロテクト１３との接触
があるとステージの水平移動に対する抵抗が大きくなる
ため、それは好ましくないことである。したがって、上
部、下部シール部材１４、１５とミラープロテクト１３
との間には若干の間隙が存在するが、その間隙がガイド
レール１９のカバー部１９ｂで上方から覆われているた
め、上方からの空気の流れＡを確実に遮断することがで
きる。例えば、このレーザ干渉計１を用いたレーザ顕微
鏡等の精密機器をダウンフロー式クリーンルーム内で使
用する場合等は、クリーンルーム内に上方から下方に向
かう空気の流れが定常的に存在するため、前記のような
カバー部１９ｂを設けることは非常に有効となる。
関しては、前記のようなミラープロテクト１３との接触
があるとステージの水平移動に対する抵抗が大きくなる
ため、それは好ましくないことである。したがって、上
部、下部シール部材１４、１５とミラープロテクト１３
との間には若干の間隙が存在するが、その間隙がガイド
レール１９のカバー部１９ｂで上方から覆われているた
め、上方からの空気の流れＡを確実に遮断することがで
きる。例えば、このレーザ干渉計１を用いたレーザ顕微
鏡等の精密機器をダウンフロー式クリーンルーム内で使
用する場合等は、クリーンルーム内に上方から下方に向
かう空気の流れが定常的に存在するため、前記のような
カバー部１９ｂを設けることは非常に有効となる。
【００２１】なお、本実施例においては、一対の側部シ
ール部材１６、１６がミラープロテクト１３と接触しな
いようにしたが、一対の側部シール部材１６、１６がわ
ずかにミラープロテクト１３に接触するようにしてもよ
い。この場合でも、プレーンミラー１２表面には接触さ
せないようにする。また、各シール部材１４、１５、１
６やミラープロテクト１３の材料、形状については適宜
設定することが可能である。
ール部材１６、１６がミラープロテクト１３と接触しな
いようにしたが、一対の側部シール部材１６、１６がわ
ずかにミラープロテクト１３に接触するようにしてもよ
い。この場合でも、プレーンミラー１２表面には接触さ
せないようにする。また、各シール部材１４、１５、１
６やミラープロテクト１３の材料、形状については適宜
設定することが可能である。
【００２２】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、請求項１
記載のステージ位置検出用レーザ干渉計におけるビーム
シールド機構においては、シールド本体とミラーとの間
に上部シール部材、下部シール部材、および一対の側部
シール部材を設け、レーザ光を四方から取り囲むように
したことで、これらシール部材により周辺からの空気の
流れを遮断することができ、空気の流れの影響がレーザ
光に及ぶことがないため、このビームシールド機構を備
えたレーザ干渉計によれば、精度を低下させることなく
ステージの位置を検出することができる。
記載のステージ位置検出用レーザ干渉計におけるビーム
シールド機構においては、シールド本体とミラーとの間
に上部シール部材、下部シール部材、および一対の側部
シール部材を設け、レーザ光を四方から取り囲むように
したことで、これらシール部材により周辺からの空気の
流れを遮断することができ、空気の流れの影響がレーザ
光に及ぶことがないため、このビームシールド機構を備
えたレーザ干渉計によれば、精度を低下させることなく
ステージの位置を検出することができる。
【００２３】また、請求項２記載のステージ位置検出用
レーザ干渉計におけるビームシールド機構によれば、ミ
ラーの表面にミラー保護部材が装着されているため、ミ
ラー表面ごく近傍の空気の流れが遮断されることに加え
て、シール部材がミラーと直接接触することを防止する
ことができる。また、各側部シール部材は、その先端縁
がミラー保護部材側に対向するようになっており、側部
シール部材とミラー保護部材が接触するような場合でも
その接触面積は最大限小さいため、ステージの円滑な移
動を妨げたり、塵埃や傷が大量に発生したりする恐れを
なくすことができる。
レーザ干渉計におけるビームシールド機構によれば、ミ
ラーの表面にミラー保護部材が装着されているため、ミ
ラー表面ごく近傍の空気の流れが遮断されることに加え
て、シール部材がミラーと直接接触することを防止する
ことができる。また、各側部シール部材は、その先端縁
がミラー保護部材側に対向するようになっており、側部
シール部材とミラー保護部材が接触するような場合でも
その接触面積は最大限小さいため、ステージの円滑な移
動を妨げたり、塵埃や傷が大量に発生したりする恐れを
なくすことができる。
【００２４】また、請求項３記載のステージ位置検出用
レーザ干渉計におけるビームシールド機構によれば、上
部シール部材の上方にミラーと上部シール部材の間隙を
覆うようにカバーが設けられているので、このカバーに
より上方からの空気の流れをより確実に遮断して、レー
ザ干渉計の位置検出精度の低下を確実に防止することが
できる。
レーザ干渉計におけるビームシールド機構によれば、上
部シール部材の上方にミラーと上部シール部材の間隙を
覆うようにカバーが設けられているので、このカバーに
より上方からの空気の流れをより確実に遮断して、レー
ザ干渉計の位置検出精度の低下を確実に防止することが
できる。
【図１】本発明の一実施例であるレーザ干渉計における
ビームシールド機構を示す正面図である。
ビームシールド機構を示す正面図である。
【図２】同ビームシールド機構の要部を拡大視した縦断
面図である。
面図である。
【図３】同横断面図である。
【図４】レーザ干渉計の構成を示す図である。
【図５】従来のレーザ干渉計における要部を拡大視した
縦断面図である。
縦断面図である。
１ レーザ干渉計（ステージ位置検出用レーザ干渉計） １０ ビームシールド機構 １１ シールド本体 １２ プレーンミラー（ミラー） １３ ミラープロテクト（ミラー保護部材） １３ｂ 窓部 １４ 上部シール部材 １５ 下部シール部材 １６ 側部シール部材 １９ｂ カバー部（カバー） Ｓ レーザ光
Claims (3)
- 【請求項１】 水平方向に移動するステージの側部に取
り付けられたミラーに対してレーザ光を照射するととも
にその反射光を受光することによりステージの位置を検
出するレーザ干渉計に適用され、前記レーザ光を周囲か
ら遮蔽するためのビームシールド機構であって、 レーザ光を内部に通過させるシールド本体と、 該シールド本体の先端面に設けられ、該先端面と前記ミ
ラーとの間に介在して前記レーザ光を四方から取り囲む
上部シール部材、下部シール部材、および一対の側部シ
ール部材とから構成されていることを特徴とするステー
ジ位置検出用レーザ干渉計におけるビームシールド機
構。 - 【請求項２】 請求項１に記載のステージ位置検出用レ
ーザ干渉計におけるビームシールド機構において、 前記ミラーの表面に、前記レーザ光を通過させる窓部を
有するミラー保護部材が装着され、 前記一対の側部シール部材のそれぞれは、横断面が３角
形状となるように成形され、その底面が前記シールド本
体の先端面に対して取り付けられていることを特徴とす
るステージ位置検出用レーザ干渉計におけるビームシー
ルド機構。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載のステージ位置
検出用レーザ干渉計におけるビームシールド機構におい
て、 前記上部シール部材の上方に、前記ミラーと前記上部シ
ール部材の間隙を覆うように水平方向に延在するカバー
が設けられていることを特徴とするステージ位置検出用
レーザ干渉計におけるビームシールド機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6046215A JPH07260415A (ja) | 1994-03-16 | 1994-03-16 | ステージ位置検出用レーザ干渉計におけるビームシールド機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6046215A JPH07260415A (ja) | 1994-03-16 | 1994-03-16 | ステージ位置検出用レーザ干渉計におけるビームシールド機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07260415A true JPH07260415A (ja) | 1995-10-13 |
Family
ID=12740887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6046215A Withdrawn JPH07260415A (ja) | 1994-03-16 | 1994-03-16 | ステージ位置検出用レーザ干渉計におけるビームシールド機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07260415A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1014199A3 (en) * | 1998-12-24 | 2004-10-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage control apparatus and exposure apparatus |
| JP2012181036A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置および塗布方法 |
| CN109732197A (zh) * | 2019-01-30 | 2019-05-10 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种保护镜装置 |
-
1994
- 1994-03-16 JP JP6046215A patent/JPH07260415A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1014199A3 (en) * | 1998-12-24 | 2004-10-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage control apparatus and exposure apparatus |
| JP2012181036A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置および塗布方法 |
| CN109732197A (zh) * | 2019-01-30 | 2019-05-10 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种保护镜装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010605 |