JPH0725620A - 二酸化ルテニウム微粉末の製造方法 - Google Patents
二酸化ルテニウム微粉末の製造方法Info
- Publication number
- JPH0725620A JPH0725620A JP19187693A JP19187693A JPH0725620A JP H0725620 A JPH0725620 A JP H0725620A JP 19187693 A JP19187693 A JP 19187693A JP 19187693 A JP19187693 A JP 19187693A JP H0725620 A JPH0725620 A JP H0725620A
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- JP
- Japan
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- fine powder
- ruthenium dioxide
- dioxide fine
- production
- acid
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 凝集が弱く分散性に優れ、厚膜抵抗体用とし
て優れた二酸化ルテニウム微粉末の製造方法を提供す
る。 【構成】 95重量部以下のルテニウム酸鉛微粉末とB
2 O3 換算で5重量部以上の酸化硼素または硼酸とを混
合し、該混合物を700℃以上の温度で溶融したのち、
該溶融物を純水または酸に溶解して得た沈殿を濾過、洗
浄、乾燥する点に特徴がある。
て優れた二酸化ルテニウム微粉末の製造方法を提供す
る。 【構成】 95重量部以下のルテニウム酸鉛微粉末とB
2 O3 換算で5重量部以上の酸化硼素または硼酸とを混
合し、該混合物を700℃以上の温度で溶融したのち、
該溶融物を純水または酸に溶解して得た沈殿を濾過、洗
浄、乾燥する点に特徴がある。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、厚膜抵抗体の導電物と
して有用である二酸化ルテニウム微粉末の製造方法に関
するものである。
して有用である二酸化ルテニウム微粉末の製造方法に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】空気中等酸化雰囲気で焼成される厚膜抵
抗体用の抵抗ペーストには、導電物として二酸化ルテニ
ウム微粉末やルテニウム酸鉛微粉末が用いられている。
一般に、二酸化ルテニウムは低抵抗値から高抵抗値まで
広い範囲の導電物として用いられ、ルテニウム酸鉛は高
抵抗値用の導電物として用いられている。ところで、二
酸化ルテニウムを得る従来方法としては、塩化ルテニウ
ムをアルカリで中和して得た沈殿を熱処理する方法や、
金属ルテニウムをアルカリ溶解または溶融してできるル
テニウム酸アルカリ塩の水溶液に有機物または酸を加え
て得た沈殿を熱処理する方法がある。
抗体用の抵抗ペーストには、導電物として二酸化ルテニ
ウム微粉末やルテニウム酸鉛微粉末が用いられている。
一般に、二酸化ルテニウムは低抵抗値から高抵抗値まで
広い範囲の導電物として用いられ、ルテニウム酸鉛は高
抵抗値用の導電物として用いられている。ところで、二
酸化ルテニウムを得る従来方法としては、塩化ルテニウ
ムをアルカリで中和して得た沈殿を熱処理する方法や、
金属ルテニウムをアルカリ溶解または溶融してできるル
テニウム酸アルカリ塩の水溶液に有機物または酸を加え
て得た沈殿を熱処理する方法がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記方法で
は、湿式で微粒子の沈殿を形成し、しかもその後熱処理
をするため粒子同士の凝集が強く、ペースト中に均一に
分散させることが困難であるとともに、結果として厚膜
抵抗体の特性の向上には限界があるという問題点があ
る。本発明の目的は、凝集が弱く分散性に優れ、かつ厚
膜抵抗体用として優れた特性を持つ二酸化ルテニウム微
粉末の製造方法の提供にある。
は、湿式で微粒子の沈殿を形成し、しかもその後熱処理
をするため粒子同士の凝集が強く、ペースト中に均一に
分散させることが困難であるとともに、結果として厚膜
抵抗体の特性の向上には限界があるという問題点があ
る。本発明の目的は、凝集が弱く分散性に優れ、かつ厚
膜抵抗体用として優れた特性を持つ二酸化ルテニウム微
粉末の製造方法の提供にある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記問題点を
解決するために種々の検討を行った結果、本発明に至っ
た。すなわち、上記課題を解決する本発明の方法は、9
5重量部以下のルテニウム酸鉛微粉末とB2 O3 換算で
5重量部以上の酸化硼素または硼酸とを混合し、該混合
物を700℃以上の温度で溶融したのち、該溶融物を純
水または酸に溶解して得た沈殿を濾過、洗浄、乾燥する
ことを特徴とする二酸化ルテニウム微粉末の製造方法で
ある。
解決するために種々の検討を行った結果、本発明に至っ
た。すなわち、上記課題を解決する本発明の方法は、9
5重量部以下のルテニウム酸鉛微粉末とB2 O3 換算で
5重量部以上の酸化硼素または硼酸とを混合し、該混合
物を700℃以上の温度で溶融したのち、該溶融物を純
水または酸に溶解して得た沈殿を濾過、洗浄、乾燥する
ことを特徴とする二酸化ルテニウム微粉末の製造方法で
ある。
【0005】
【作用】本発明者は種々の検討を行った結果、ルテニウ
ム酸鉛を酸化硼素共存下で加熱すると、ルテニウム酸鉛
は二酸化ルテニウムと酸化鉛に分解し、硼酸鉛ガラス中
に二酸化ルテニウムが分散した状態となることを見出
し、本発明に至った。ルテニウム酸鉛と混合する酸化硼
素または硼酸の割合をB2 O3 換算で5重量部以上とし
たのは、5重量部未満ではルテニウム酸鉛の分解が不十
分であり、ルテニウム酸鉛が残存するので良くないから
である。また、溶融温度を700℃以上としたのは、溶
融温度が700℃未満では、ルテニウム酸鉛の分解が不
十分であり、ルテニウム酸鉛が残存するので良くないか
らである。該溶融物は硼酸鉛ガラス中に二酸化ルテニウ
ムが分散した状態となっているものであり、純水望まし
くは酢酸水溶液等の弱酸で硼酸鉛ガラスを溶解すれば濾
過等により容易に二酸化ルテニウムを回収することがで
きる。その後、純水で洗浄、乾燥することにより凝集の
弱い分散性に優れた二酸化ルテニウム微粉末が得られ
る。
ム酸鉛を酸化硼素共存下で加熱すると、ルテニウム酸鉛
は二酸化ルテニウムと酸化鉛に分解し、硼酸鉛ガラス中
に二酸化ルテニウムが分散した状態となることを見出
し、本発明に至った。ルテニウム酸鉛と混合する酸化硼
素または硼酸の割合をB2 O3 換算で5重量部以上とし
たのは、5重量部未満ではルテニウム酸鉛の分解が不十
分であり、ルテニウム酸鉛が残存するので良くないから
である。また、溶融温度を700℃以上としたのは、溶
融温度が700℃未満では、ルテニウム酸鉛の分解が不
十分であり、ルテニウム酸鉛が残存するので良くないか
らである。該溶融物は硼酸鉛ガラス中に二酸化ルテニウ
ムが分散した状態となっているものであり、純水望まし
くは酢酸水溶液等の弱酸で硼酸鉛ガラスを溶解すれば濾
過等により容易に二酸化ルテニウムを回収することがで
きる。その後、純水で洗浄、乾燥することにより凝集の
弱い分散性に優れた二酸化ルテニウム微粉末が得られ
る。
【0006】
(実施例1)ルテニウム酸鉛粉末27gと酸化硼素粉末
10gとをめのう製のらいかい機で30分間混合した
後、該混合物をアルミナるつぼに入れて800℃の温度
で1時間溶融した。次に、該溶融物を取り出し、酢酸の
10%水溶液500ccに溶解した後、濾過、洗浄し、
110℃で一晩乾燥して9.5gの二酸化ルテニウム微
粉末が得られた。この微粉末を透過型電子顕微鏡で観察
したところいずれも500〜1000Åの粒径であっ
た。この二酸化ルテニウム微粉末15重量部とPbO−
SiO2 −B2 O3 −Al2 O3 系ガラス55重量部と
樹脂分エチルセルロースと溶剤ターピネオールよりなる
ビヒクル30重量部とを混合してペーストを作成し、該
ペーストを印刷し、ピーク850℃×9分、トータル3
0分のベルト炉で焼成して作成した長さ1mm、幅1m
m、厚さ8μmの厚膜抵抗体の電気的性能を測定した。
結果は、抵抗値が890kΩ/□、抵抗値の変動率が
3.7%、ノイズが−6dBであった。
10gとをめのう製のらいかい機で30分間混合した
後、該混合物をアルミナるつぼに入れて800℃の温度
で1時間溶融した。次に、該溶融物を取り出し、酢酸の
10%水溶液500ccに溶解した後、濾過、洗浄し、
110℃で一晩乾燥して9.5gの二酸化ルテニウム微
粉末が得られた。この微粉末を透過型電子顕微鏡で観察
したところいずれも500〜1000Åの粒径であっ
た。この二酸化ルテニウム微粉末15重量部とPbO−
SiO2 −B2 O3 −Al2 O3 系ガラス55重量部と
樹脂分エチルセルロースと溶剤ターピネオールよりなる
ビヒクル30重量部とを混合してペーストを作成し、該
ペーストを印刷し、ピーク850℃×9分、トータル3
0分のベルト炉で焼成して作成した長さ1mm、幅1m
m、厚さ8μmの厚膜抵抗体の電気的性能を測定した。
結果は、抵抗値が890kΩ/□、抵抗値の変動率が
3.7%、ノイズが−6dBであった。
【0007】(実施例2)ルテニウム酸鉛と酸化硼素と
の混合割合および溶融条件を変えて実施例1と同様にし
て粉末を作成した。その結果を表1に示した。
の混合割合および溶融条件を変えて実施例1と同様にし
て粉末を作成した。その結果を表1に示した。
【0008】(比較例)ルテニウム酸鉛と酸化硼素との
混合割合および溶融条件を変えて実施例1と同様にして
粉末を作成した。その結果を表1に合わせて示した。
混合割合および溶融条件を変えて実施例1と同様にして
粉末を作成した。その結果を表1に合わせて示した。
【0009】
【表1】
【0010】
【発明の効果】本発明の方法によれば、厚膜抵抗ペース
トの材料として好ましい凝集の弱い分散性に優れた二酸
化ルテニウム微粉末を得ることができる。
トの材料として好ましい凝集の弱い分散性に優れた二酸
化ルテニウム微粉末を得ることができる。
Claims (1)
- 【請求項1】 95重量部以下のルテニウム酸鉛微粉末
とB2 O3 換算で5重量部以上の酸化硼素または硼酸と
を混合し、該混合物を700℃以上の温度で溶融したの
ち、該溶融物を純水または酸に溶解して得た沈殿を濾
過、洗浄、乾燥することを特徴とする二酸化ルテニウム
微粉末の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19187693A JPH0725620A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 二酸化ルテニウム微粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19187693A JPH0725620A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 二酸化ルテニウム微粉末の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0725620A true JPH0725620A (ja) | 1995-01-27 |
Family
ID=16281950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19187693A Pending JPH0725620A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 二酸化ルテニウム微粉末の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0725620A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013053030A (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-21 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 板状酸化ルテニウム粉末とその製造方法、それを用いた厚膜抵抗組成物 |
WO2013168339A1 (ja) | 2012-05-10 | 2013-11-14 | 株式会社大真空 | 圧電デバイス |
-
1993
- 1993-07-07 JP JP19187693A patent/JPH0725620A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013053030A (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-21 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 板状酸化ルテニウム粉末とその製造方法、それを用いた厚膜抵抗組成物 |
WO2013168339A1 (ja) | 2012-05-10 | 2013-11-14 | 株式会社大真空 | 圧電デバイス |
US9893711B2 (en) | 2012-05-10 | 2018-02-13 | Daishinku Corporation | Piezoelectric device |
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