JPH07252306A - 低温熱分解性感光性樹脂組成物 - Google Patents
低温熱分解性感光性樹脂組成物Info
- Publication number
- JPH07252306A JPH07252306A JP4751294A JP4751294A JPH07252306A JP H07252306 A JPH07252306 A JP H07252306A JP 4751294 A JP4751294 A JP 4751294A JP 4751294 A JP4751294 A JP 4751294A JP H07252306 A JPH07252306 A JP H07252306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- methacrylate
- photosensitive resin
- decomposable
- weight
- resin composition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 熱分解性重合体５１〜９５重量部及び重合性
単量体４９〜５重量部の混合物１００重量部から成る低
温熱分解性感光性樹脂組成物。 【効果】 本発明の低温熱分解性感光性樹脂組成物は、
活性エネルギー線の照射により重合・硬化し、かつ硬化
した樹脂が比較的低温の加熱により分解、揮散するもの
であるので、信頼性に優れた透明電極の製造用、金属の
加工用等に有用である。
単量体４９〜５重量部の混合物１００重量部から成る低
温熱分解性感光性樹脂組成物。 【効果】 本発明の低温熱分解性感光性樹脂組成物は、
活性エネルギー線の照射により重合・硬化し、かつ硬化
した樹脂が比較的低温の加熱により分解、揮散するもの
であるので、信頼性に優れた透明電極の製造用、金属の
加工用等に有用である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は活性エネルギー線の照射
により重合・硬化し、かつ硬化した樹脂が比較的低温の
加熱により分解、揮散する低温熱分解性感光性樹脂組成
物に関するものである。
により重合・硬化し、かつ硬化した樹脂が比較的低温の
加熱により分解、揮散する低温熱分解性感光性樹脂組成
物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、感光性樹脂を、基材の一時的な保
護に使用したり、プリント配線板の製造に使用したり、
あるいは透明電極のパターン形成に使用した場合、使用
後不用になった硬化感光性樹脂は、強アルカリ、又は塩
素系の有機溶剤等で剥離する必要があった。しかしなが
ら、強アルカリで硬化した感光性樹脂を剥離する場合
は、剥離工程が必要な上に必要な金属等の部分がアルカ
リで犯されたりする場合があった。一方、塩素系の有機
溶剤等で剥離する場合はオゾン層破壊問題、ＶＯＣ問
題、地下水汚染問題等があり、これらの有機溶剤が使用
できなくなって来ている。
護に使用したり、プリント配線板の製造に使用したり、
あるいは透明電極のパターン形成に使用した場合、使用
後不用になった硬化感光性樹脂は、強アルカリ、又は塩
素系の有機溶剤等で剥離する必要があった。しかしなが
ら、強アルカリで硬化した感光性樹脂を剥離する場合
は、剥離工程が必要な上に必要な金属等の部分がアルカ
リで犯されたりする場合があった。一方、塩素系の有機
溶剤等で剥離する場合はオゾン層破壊問題、ＶＯＣ問
題、地下水汚染問題等があり、これらの有機溶剤が使用
できなくなって来ている。
【０００３】従って、感光性樹脂を適用する対象物品が
加熱してもかまわないものであれば、硬化した感光性樹
脂を高温加熱により燃焼あるいは分解してしまえば、強
アルカリ又は有機溶剤等で硬化した感光性樹脂を剥離又
は溶解しなくても済むことになる。しかし現実には、硬
化した感光性樹脂を燃焼あるいは分解してしまう温度ま
で高温に曝しても良い対象部品はほとんどない。一方、
加熱温度を下げると硬化した感光性樹脂は空気中でも容
易に燃焼・分解しなかったり、あるいは非酸化性雰囲気
下では黒色のカーボンその他の好ましくない物質を残存
させてしまうという問題があった。
加熱してもかまわないものであれば、硬化した感光性樹
脂を高温加熱により燃焼あるいは分解してしまえば、強
アルカリ又は有機溶剤等で硬化した感光性樹脂を剥離又
は溶解しなくても済むことになる。しかし現実には、硬
化した感光性樹脂を燃焼あるいは分解してしまう温度ま
で高温に曝しても良い対象部品はほとんどない。一方、
加熱温度を下げると硬化した感光性樹脂は空気中でも容
易に燃焼・分解しなかったり、あるいは非酸化性雰囲気
下では黒色のカーボンその他の好ましくない物質を残存
させてしまうという問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的とすると
ころは、以上の観点より５００℃以下の比較的低温で完
全に分解、揮散してしまう感光性樹脂を提供することに
ある。
ころは、以上の観点より５００℃以下の比較的低温で完
全に分解、揮散してしまう感光性樹脂を提供することに
ある。
【０００５】
【発明を解決するための手段】本発明者らは、５００℃
以下の比較的低温で完全に分解、揮散してしまう感光性
樹脂について鋭意検討したところ、特定の熱分解性重合
体と特定の重合性単量体を特定範囲に配合することによ
り、上記課題が達成されることを見いだし、本発明を完
成した。
以下の比較的低温で完全に分解、揮散してしまう感光性
樹脂について鋭意検討したところ、特定の熱分解性重合
体と特定の重合性単量体を特定範囲に配合することによ
り、上記課題が達成されることを見いだし、本発明を完
成した。
【０００６】すなわち本発明の要旨とするところは、熱
分解性重合体５１〜９５重量部および重合性単量体４９
〜５重量部の混合物１００重量部から成る低温熱分解性
感光性樹脂組成物にある。
分解性重合体５１〜９５重量部および重合性単量体４９
〜５重量部の混合物１００重量部から成る低温熱分解性
感光性樹脂組成物にある。
【０００７】本発明の熱分解性重合体とは、５００℃以
下の加熱により完全に解重合又は分解して揮散してしま
う重合体をいい、例えば下記一般式（１）、（２）、
（３）等で示される単量体のホモポリマー、コポリマー
を挙げることが出来る。
下の加熱により完全に解重合又は分解して揮散してしま
う重合体をいい、例えば下記一般式（１）、（２）、
（３）等で示される単量体のホモポリマー、コポリマー
を挙げることが出来る。
【０００８】
【化１】
【０００９】（式中Ｒ1は水素又はメチル基、Ｒ2は水素
又は置換又は無置換のアルキル基）
又は置換又は無置換のアルキル基）
【００１０】
【化２】
【００１１】（式中Ｒ3は水素又はメチル基、Ｒ4は置換
又は無置換のフェニル基）
又は無置換のフェニル基）
【００１２】
【化３】
【００１３】（式中Ｒ5は置換又は無置換のアルキレン
基）中でも、メチルメタクリレート、エチルメタクリレ
ート、ｎ−プロピルメタクリレート、ｉ−プロピルメタ
クリレート、ｉ−ブチルメタクリレート、ｎ−アミルメ
タクリレート、ｉ−アミルメタクリレート、ネオペンチ
ルメタクリレート、３，３−ジメチルブチルメタクリレ
ート、α−メチルスチレン、ホルムアルデヒドから得ら
れるホモポリマー又はコポリマー、あるいはこれらの単
量体の一種以上を７５重量％以上含有するコポリマー
は、低温での解重合及び分解が容易であり好ましい熱分
解性重合体である。
基）中でも、メチルメタクリレート、エチルメタクリレ
ート、ｎ−プロピルメタクリレート、ｉ−プロピルメタ
クリレート、ｉ−ブチルメタクリレート、ｎ−アミルメ
タクリレート、ｉ−アミルメタクリレート、ネオペンチ
ルメタクリレート、３，３−ジメチルブチルメタクリレ
ート、α−メチルスチレン、ホルムアルデヒドから得ら
れるホモポリマー又はコポリマー、あるいはこれらの単
量体の一種以上を７５重量％以上含有するコポリマー
は、低温での解重合及び分解が容易であり好ましい熱分
解性重合体である。
【００１４】重合性単量体としては、（メタ）アクリレ
ート類のメチルメタクリレート、メチルアクリレート、
エチルメタクリレート、エチルアクリレート、ｉ−ブチ
ルメタクリレート、ｉ−ブチルアクリレート、メトキシ
ペンタエトキシアクリレート等、スチレン類のα−メチ
ルスチレン、スチレン等、Ｎ−アルコキシメチル（メ
タ）アクリルアミド類のＮ−メトキシメチルアクリルア
ミド、Ｎ−メトキシメチルメタクリルアミド、Ｎ−ｎ−
ブトキシアクリルアミド，Ｎ−ｎ−ブトキシメタクリル
アミド、Ｎ−エトキシアクリルアミド、Ｎ−エトキシメ
タクリルアミド等、Ｎ−ビニルピロリドンなどの一官能
性単量体；エチレングリコールジアクリレート、プロピ
レングリコールジメタクリレート、１，６−ヘキサンジ
オールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアク
リレート、グリセリンジメタクリレート、グリセリント
リアクリレート、トリメチロールエタンジアクリレー
ト、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチ
ロールプロパントリス（トリエトキシアクリレート）、
トリメチロールプロパントリス（ペンタエトキシアクリ
レート）、トリメチロールプロパントリス（テトラプロ
ポキシアクリレート）、ペンタエリスリトールテトラア
クリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２，
２−ビス［４−アクリロイルオキシジエトキシフェニ
ル］プロパンなどの多官能性単量体を挙げることができ
る。これらは一種以上を混合して用いることが出来る
が、一官能性単量体を併用する場合は重合性単量体の重
合性基が平均して１．２個以上あることが必要である。
１．２個未満の場合は、本願発明の感光性樹脂組成物を
活性エネルギー線で照射しても、その架橋密度が不十分
であり、十分に硬化しない。特に、活性エネルギー線の
照射部、未照射部を設けて、現像によりパターン形成を
行う場合は、シャープなパターンが得られない。
ート類のメチルメタクリレート、メチルアクリレート、
エチルメタクリレート、エチルアクリレート、ｉ−ブチ
ルメタクリレート、ｉ−ブチルアクリレート、メトキシ
ペンタエトキシアクリレート等、スチレン類のα−メチ
ルスチレン、スチレン等、Ｎ−アルコキシメチル（メ
タ）アクリルアミド類のＮ−メトキシメチルアクリルア
ミド、Ｎ−メトキシメチルメタクリルアミド、Ｎ−ｎ−
ブトキシアクリルアミド，Ｎ−ｎ−ブトキシメタクリル
アミド、Ｎ−エトキシアクリルアミド、Ｎ−エトキシメ
タクリルアミド等、Ｎ−ビニルピロリドンなどの一官能
性単量体；エチレングリコールジアクリレート、プロピ
レングリコールジメタクリレート、１，６−ヘキサンジ
オールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアク
リレート、グリセリンジメタクリレート、グリセリント
リアクリレート、トリメチロールエタンジアクリレー
ト、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチ
ロールプロパントリス（トリエトキシアクリレート）、
トリメチロールプロパントリス（ペンタエトキシアクリ
レート）、トリメチロールプロパントリス（テトラプロ
ポキシアクリレート）、ペンタエリスリトールテトラア
クリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、２，
２−ビス［４−アクリロイルオキシジエトキシフェニ
ル］プロパンなどの多官能性単量体を挙げることができ
る。これらは一種以上を混合して用いることが出来る
が、一官能性単量体を併用する場合は重合性単量体の重
合性基が平均して１．２個以上あることが必要である。
１．２個未満の場合は、本願発明の感光性樹脂組成物を
活性エネルギー線で照射しても、その架橋密度が不十分
であり、十分に硬化しない。特に、活性エネルギー線の
照射部、未照射部を設けて、現像によりパターン形成を
行う場合は、シャープなパターンが得られない。
【００１５】低温熱分解性を考慮すると、これらの重合
性単量体のなかでは、メチルメタクリレート、エチルメ
タクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、ｉ−プロ
ピルメタクリレート、ｉ−ブチルメタクリレート、ｎ−
アミルメタクリレート、ｉ−アミルメタクリレート、ネ
オペンチルメタクリレート、３，３−ジメチルブチルメ
タクリレート、α−メチルスチレン、及びホルムアルデ
ヒド又はエチレンオキサイド変性された例えばメトキシ
ヘキサエトキシアクリレート、エトキシテトラエトキシ
メタクリレート、トリメチロールプロパントリス（ジエ
トキシアクリレート）、ヘキサエチレングリコールジア
クリレート、テトラエチレングリコールジアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリス（ペンタエトキシア
クリレート）などがより好ましい。
性単量体のなかでは、メチルメタクリレート、エチルメ
タクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、ｉ−プロ
ピルメタクリレート、ｉ−ブチルメタクリレート、ｎ−
アミルメタクリレート、ｉ−アミルメタクリレート、ネ
オペンチルメタクリレート、３，３−ジメチルブチルメ
タクリレート、α−メチルスチレン、及びホルムアルデ
ヒド又はエチレンオキサイド変性された例えばメトキシ
ヘキサエトキシアクリレート、エトキシテトラエトキシ
メタクリレート、トリメチロールプロパントリス（ジエ
トキシアクリレート）、ヘキサエチレングリコールジア
クリレート、テトラエチレングリコールジアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリス（ペンタエトキシア
クリレート）などがより好ましい。
【００１６】本発明に用いる熱分解性重合体と重合性単
量体との割合は、これらの混合物１００重量部に対して
熱分解性重合体５１〜９５重量部、重合性単量体４９〜
５重量部である。熱分解性重合体が５１重量部未満、即
ち重合性単量体が４９重量部を越える場合は、感光性樹
脂組成物の硬化物を５００℃以下で完全に分解、揮散さ
せることが困難である。逆に熱分解性重合体が９５重量
部を越える場合、即ち重合性単量体が５重量部未満の場
合は活性エネルギー線による硬化が不十分になる。
量体との割合は、これらの混合物１００重量部に対して
熱分解性重合体５１〜９５重量部、重合性単量体４９〜
５重量部である。熱分解性重合体が５１重量部未満、即
ち重合性単量体が４９重量部を越える場合は、感光性樹
脂組成物の硬化物を５００℃以下で完全に分解、揮散さ
せることが困難である。逆に熱分解性重合体が９５重量
部を越える場合、即ち重合性単量体が５重量部未満の場
合は活性エネルギー線による硬化が不十分になる。
【００１７】本願発明の熱分解性重合体及び重合性単量
体からなる感光性樹脂組成物は、活性エネルギー線で硬
化することが出来る。活性エネルギー線として電子線を
使用した場合は光重合開始剤は特に併用しなくてもよい
が、紫外線、可視光線等を使用した場合は光重合開始剤
・増感剤が必要であり、例えばベンゾインエチルエーテ
ル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾフェノ
ン、ミヒラーズケトン、２−エチルアントラキノン、ベ
ンジルジメチルケタール、４−ジメチルアミノ安息香酸
メチル、２，２−ジエトキシアセトフェノン、チオキサ
ントン、２−イソプロピルチオキサントン、ベンジル，
１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ダロキ
ュア１１１６（メルク社），ダロキュア１１７３（メル
ク社）、イルガキュア９０７（チバガイギー社）、２、
４、６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィン
オキシド，サンドレイ１０００（サンドズ社）、トリエ
タノールアミン等の一種以上を用いることが出来る。使
用量は、上記混合物１００重量部に対して０．０１〜１
０重量部、好ましくは０．１〜８重量部である。光重合
開始剤・増感剤が０．０１重量部未満の場合は紫外線に
よる硬化性が不良となり、一方１０重量部を越える場合
は感光性樹脂が強く着色したり、加熱後残留物が残るよ
うになったり、感光性樹脂から光重合開始剤・増感剤が
ブリードアウトしてきたりする。
体からなる感光性樹脂組成物は、活性エネルギー線で硬
化することが出来る。活性エネルギー線として電子線を
使用した場合は光重合開始剤は特に併用しなくてもよい
が、紫外線、可視光線等を使用した場合は光重合開始剤
・増感剤が必要であり、例えばベンゾインエチルエーテ
ル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾフェノ
ン、ミヒラーズケトン、２−エチルアントラキノン、ベ
ンジルジメチルケタール、４−ジメチルアミノ安息香酸
メチル、２，２−ジエトキシアセトフェノン、チオキサ
ントン、２−イソプロピルチオキサントン、ベンジル，
１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ダロキ
ュア１１１６（メルク社），ダロキュア１１７３（メル
ク社）、イルガキュア９０７（チバガイギー社）、２、
４、６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィン
オキシド，サンドレイ１０００（サンドズ社）、トリエ
タノールアミン等の一種以上を用いることが出来る。使
用量は、上記混合物１００重量部に対して０．０１〜１
０重量部、好ましくは０．１〜８重量部である。光重合
開始剤・増感剤が０．０１重量部未満の場合は紫外線に
よる硬化性が不良となり、一方１０重量部を越える場合
は感光性樹脂が強く着色したり、加熱後残留物が残るよ
うになったり、感光性樹脂から光重合開始剤・増感剤が
ブリードアウトしてきたりする。
【００１８】本願感光性樹脂には更に必要に応じて、染
料、安定剤などを少量加えることが出来る。
料、安定剤などを少量加えることが出来る。
【００１９】染料としては、ロイコクリスタルバイオレ
ット、マラカイトグリーン、ダイヤモンドグリーン、ビ
クトリアピュアブルーなどが挙げられる。安定剤として
はハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテ
ル、ｔ−ブチルカテコール、２，６ージーｔーブチルー
ｐ−クレゾール等が挙げられる。
ット、マラカイトグリーン、ダイヤモンドグリーン、ビ
クトリアピュアブルーなどが挙げられる。安定剤として
はハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテ
ル、ｔ−ブチルカテコール、２，６ージーｔーブチルー
ｐ−クレゾール等が挙げられる。
【００２０】また、本願発明の感光性樹脂は、沸点の余
り高くない溶剤、例えばアセトン、メチルエチルケト
ン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ジクロロメ
タン、クロロホルム、メチルアルコール、エチルアルコ
ール、イソプロピルアルコール、メトキシプロパノール
等の一種以上に溶解、混合することにより、溶液状とし
て使用することが出来、その溶液を公知の方法で基材上
に塗布、乾燥して感光性樹脂層を形成して使用する。特
に、本願低温熱分解性感光性樹脂組成物は、熱分解性重
合体を５１重量部以上含有しており、室温での粘土が結
構高く、２枚のフィルムに挟まれた感光性樹脂、いわゆ
るドライフィルムレジストとして使用するには最も適し
た感光性樹脂である。
り高くない溶剤、例えばアセトン、メチルエチルケト
ン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ジクロロメ
タン、クロロホルム、メチルアルコール、エチルアルコ
ール、イソプロピルアルコール、メトキシプロパノール
等の一種以上に溶解、混合することにより、溶液状とし
て使用することが出来、その溶液を公知の方法で基材上
に塗布、乾燥して感光性樹脂層を形成して使用する。特
に、本願低温熱分解性感光性樹脂組成物は、熱分解性重
合体を５１重量部以上含有しており、室温での粘土が結
構高く、２枚のフィルムに挟まれた感光性樹脂、いわゆ
るドライフィルムレジストとして使用するには最も適し
た感光性樹脂である。
【００２１】使用するフィルムに関しては特に限定され
ないが、フィルムの強度、価格、作業性の点からは、一
般に支持フィルムとしてポリエステル、保護フィルムと
してポリエチレンが用いられている。ドライフィルムレ
ジストを基材にラミネートする方法としては、当該分野
で公知の方法を用いることが出来、例えば、常圧熱ロー
ル圧着法、真空熱ロール圧着法、真空熱プレス圧着法な
どがある。
ないが、フィルムの強度、価格、作業性の点からは、一
般に支持フィルムとしてポリエステル、保護フィルムと
してポリエチレンが用いられている。ドライフィルムレ
ジストを基材にラミネートする方法としては、当該分野
で公知の方法を用いることが出来、例えば、常圧熱ロー
ル圧着法、真空熱ロール圧着法、真空熱プレス圧着法な
どがある。
【００２２】本願発明の低温熱分解性感光性樹脂組成物
の特徴は、感光性であって活性エネルギー線によって硬
化することが出来、種々のパターン形成が容易に出来る
とともに、硬化した感光性樹脂は加熱により容易に熱分
解して完全に揮散することにある。特に本願発明は、５
００℃以下の温度で、酸化性ガス、非酸化性ガス雰囲気
中にかかわらず容易に分解、揮散することに特徴があ
る。酸化性ガスとしては空気等、非酸化性ガスとしては
窒素、アルゴン、ヘリウム等がある。
の特徴は、感光性であって活性エネルギー線によって硬
化することが出来、種々のパターン形成が容易に出来る
とともに、硬化した感光性樹脂は加熱により容易に熱分
解して完全に揮散することにある。特に本願発明は、５
００℃以下の温度で、酸化性ガス、非酸化性ガス雰囲気
中にかかわらず容易に分解、揮散することに特徴があ
る。酸化性ガスとしては空気等、非酸化性ガスとしては
窒素、アルゴン、ヘリウム等がある。
【００２３】以上述べてきた本発明の低温熱分解性感光
性樹脂組成物は、次のような用途に使用できる。
性樹脂組成物は、次のような用途に使用できる。
【００２４】例えば、透明電極はガラス基板に透明性の
高い導電性金属酸化物として、ＩＴＯ（Ｉｎ０3ーＳｎ
Ｏ2）やＳｎＯ2の薄膜を形成した電極である。ＳｎＯ2
はＩＴＯに比べ、安価で、電気的安定性を有し、信頼性
が高いとされているが、エッチングがＺｎ粉末−塩酸法
による為、パターンの微細化、量産化が困難であり、一
般的には殆どＩＴＯが使用されている。
高い導電性金属酸化物として、ＩＴＯ（Ｉｎ０3ーＳｎ
Ｏ2）やＳｎＯ2の薄膜を形成した電極である。ＳｎＯ2
はＩＴＯに比べ、安価で、電気的安定性を有し、信頼性
が高いとされているが、エッチングがＺｎ粉末−塩酸法
による為、パターンの微細化、量産化が困難であり、一
般的には殆どＩＴＯが使用されている。
【００２５】信頼性の観点からＳｎＯ2が使用されてい
る場合は、まずＳｎＯ2となる前駆体を何らかの方法で
ガラス板上にパターン形成した後、５００℃以下の温度
で焼成することによって製造されている。通常このパタ
ーン形成はスクリーン印刷法によるため、パターンの微
細化には困難があった。しかし、ここで本発明の低温熱
分解性感光性樹脂組成物を用いると、微細なパターン形
成が可能である上に、必要なパターンの逆パターンをガ
ラス板上に形成させ、その硬化した感光性樹脂の凹部
に、焼成によりＳｎＯ2となる前駆体を埋め込み、ある
いは堆積させ、焼成すると、前駆体はＳｎＯ2になると
ともに硬化した感光性樹脂は分解、揮散してしまい、Ｓ
ｎＯ2がパターン形成された透明電極を容易に得ること
が出来る。
る場合は、まずＳｎＯ2となる前駆体を何らかの方法で
ガラス板上にパターン形成した後、５００℃以下の温度
で焼成することによって製造されている。通常このパタ
ーン形成はスクリーン印刷法によるため、パターンの微
細化には困難があった。しかし、ここで本発明の低温熱
分解性感光性樹脂組成物を用いると、微細なパターン形
成が可能である上に、必要なパターンの逆パターンをガ
ラス板上に形成させ、その硬化した感光性樹脂の凹部
に、焼成によりＳｎＯ2となる前駆体を埋め込み、ある
いは堆積させ、焼成すると、前駆体はＳｎＯ2になると
ともに硬化した感光性樹脂は分解、揮散してしまい、Ｓ
ｎＯ2がパターン形成された透明電極を容易に得ること
が出来る。
【００２６】本発明の低温熱分解性感光性樹脂組成物
を、金属をエッチングにより加工するためのレジスト膜
として用いた場合は、エッチング後加熱処理することに
より、硬化した感光性樹脂を完全に分解、揮散させ、除
去してしまうことができる。一方、本発明の感光性樹脂
組成物を金属のエレクトロフォーミング用のレジスト膜
として用いた場合も、メッキ後加熱処理することによ
り、感光性樹脂組成物の硬化物を完全に分解させ、除去
してしまうことができる。
を、金属をエッチングにより加工するためのレジスト膜
として用いた場合は、エッチング後加熱処理することに
より、硬化した感光性樹脂を完全に分解、揮散させ、除
去してしまうことができる。一方、本発明の感光性樹脂
組成物を金属のエレクトロフォーミング用のレジスト膜
として用いた場合も、メッキ後加熱処理することによ
り、感光性樹脂組成物の硬化物を完全に分解させ、除去
してしまうことができる。
【００２７】これらの用途以外にも、プリント配線板の
製造に使用したり、窯業関係そのたの用途にも使用する
ことが可能である。
製造に使用したり、窯業関係そのたの用途にも使用する
ことが可能である。
【００２８】
【実施例】以下、具体例を示し、本発明の効果を明らか
にするが、これに限定されるものではない。
にするが、これに限定されるものではない。
【００２９】（実施例１）メチルメタクリレート／メチ
ルアクリレート／メタクリル酸（＝６０／２０／２０重
量部）からなる分子量約９万の重合体７０重量部、ポリ
エチレングリコールジメタクリレート（ＥＯ＝４、新中
村化学社製 ４Ｇ）３０重量部、ベンジルジメチルケタ
ール５重量部、モノメチルエーテルハイドロキノン０．
０２重量部、染料のビクトリアピュアブルー０．０２重
量部、メチルエチルケトン３０重量部及びイソプロピル
アルコール１２０重量部から成る組成物を混合、攪拌
し、膜厚２０μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）フィルム上に、乾燥後の膜厚が３８μｍに成るよう
にアプリケーターで成膜した。乾燥は室内で約１０分風
乾させた後、乾燥機内で６０℃、３０分乾燥した。乾燥
後、感光性樹脂層上に膜厚２８μｍのポリエチレン（Ｐ
Ｅ）フィルムをラミネートしてドライフィルムレジスト
（ＤＦＲ）を得た。
ルアクリレート／メタクリル酸（＝６０／２０／２０重
量部）からなる分子量約９万の重合体７０重量部、ポリ
エチレングリコールジメタクリレート（ＥＯ＝４、新中
村化学社製 ４Ｇ）３０重量部、ベンジルジメチルケタ
ール５重量部、モノメチルエーテルハイドロキノン０．
０２重量部、染料のビクトリアピュアブルー０．０２重
量部、メチルエチルケトン３０重量部及びイソプロピル
アルコール１２０重量部から成る組成物を混合、攪拌
し、膜厚２０μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）フィルム上に、乾燥後の膜厚が３８μｍに成るよう
にアプリケーターで成膜した。乾燥は室内で約１０分風
乾させた後、乾燥機内で６０℃、３０分乾燥した。乾燥
後、感光性樹脂層上に膜厚２８μｍのポリエチレン（Ｐ
Ｅ）フィルムをラミネートしてドライフィルムレジスト
（ＤＦＲ）を得た。
【００３０】２ｍｍ厚のガラス板上へのラミネートは、
得られたＤＦＲのＰＥフィルムを剥して、常圧ラミネー
ターを用いて１２０℃、３．５ｋｇ／ｃｍ2の条件で行
った。
得られたＤＦＲのＰＥフィルムを剥して、常圧ラミネー
ターを用いて１２０℃、３．５ｋｇ／ｃｍ2の条件で行
った。
【００３１】ラミネート後、ＰＥＴフィルムを剥し、１
％Ｎａ2ＣＯ3水溶液を用いて感光性樹脂層の３０℃での
溶解性を測定したところ、２８秒で感光性樹脂層がガラ
ス面から無くなってしまったのでこの時間を最少現像時
間とした。
％Ｎａ2ＣＯ3水溶液を用いて感光性樹脂層の３０℃での
溶解性を測定したところ、２８秒で感光性樹脂層がガラ
ス面から無くなってしまったのでこの時間を最少現像時
間とした。
【００３２】ＤＦＲの感度は、ＤＦＲをラミネートした
ガラス板上のＰＥＴフィルム面にダイヤロンステップタ
ブレット（三菱レイヨン社製）を載せ、露光時間を変え
て紫外線照射を行い求めた。感度を求めるときの現像時
間は最少現像時間の２倍で行った。
ガラス板上のＰＥＴフィルム面にダイヤロンステップタ
ブレット（三菱レイヨン社製）を載せ、露光時間を変え
て紫外線照射を行い求めた。感度を求めるときの現像時
間は最少現像時間の２倍で行った。
【００３３】次にＤＦＲをラミネートしたガラス板上の
ＰＥＴフィルム面に、１ｃｍ角の正方形が露光可能なフ
ォトマスクをかぶせ、ダイヤロンステップタブレット１
３段露光で露光し、現像、洗浄、乾燥して１ｃｍ角の感
光性樹脂組成物の硬化パターンをガラス板上に形成し
た。これを５００℃のオーブンにいれ、空気雰囲気中２
０分加熱したところ、感光性樹脂組成物の硬化物は完全
に揮散して無くなってしまっていた。
ＰＥＴフィルム面に、１ｃｍ角の正方形が露光可能なフ
ォトマスクをかぶせ、ダイヤロンステップタブレット１
３段露光で露光し、現像、洗浄、乾燥して１ｃｍ角の感
光性樹脂組成物の硬化パターンをガラス板上に形成し
た。これを５００℃のオーブンにいれ、空気雰囲気中２
０分加熱したところ、感光性樹脂組成物の硬化物は完全
に揮散して無くなってしまっていた。
【００３４】空気雰囲気中、４５０℃で２０分加熱した
場合は、茶褐色状のものがガラス板上に残った。
場合は、茶褐色状のものがガラス板上に残った。
【００３５】次に、感光性樹脂組成物の硬化物の熱分析
を、空気及び窒素気流中（昇温速度１０℃／ｍｉｎ）で
行ったところ、５００℃での残存率はほぼ０であった
が、４５０℃では空気及び窒素中とも約４％であった。
を、空気及び窒素気流中（昇温速度１０℃／ｍｉｎ）で
行ったところ、５００℃での残存率はほぼ０であった
が、４５０℃では空気及び窒素中とも約４％であった。
【００３６】（実施例２）分子量約５万のメチルメタク
リレートホモポリマー７０重量部、ポリエチレングリコ
ールジメタクリレート（ＥＯ＝９、新中村化学社製 ９
Ｇ）３０重量部、イルガキュア１８４（チバガイギー
社）５重量部、モノメチルエーテルハイドロキノン０．
０２重量部、染料のビクトリアピュアブルー０．０２重
量部及びメチルエチルケトン２００重量部から成る組成
物を混合、攪拌し、膜厚２０μｍのＰＥＴフィルム上
に、乾燥後の膜厚が３８μｍに成るようにアプリケータ
ーで成膜した。乾燥は室内で約１０分風乾させた後、乾
燥機内で６０℃、３０分乾燥した。
リレートホモポリマー７０重量部、ポリエチレングリコ
ールジメタクリレート（ＥＯ＝９、新中村化学社製 ９
Ｇ）３０重量部、イルガキュア１８４（チバガイギー
社）５重量部、モノメチルエーテルハイドロキノン０．
０２重量部、染料のビクトリアピュアブルー０．０２重
量部及びメチルエチルケトン２００重量部から成る組成
物を混合、攪拌し、膜厚２０μｍのＰＥＴフィルム上
に、乾燥後の膜厚が３８μｍに成るようにアプリケータ
ーで成膜した。乾燥は室内で約１０分風乾させた後、乾
燥機内で６０℃、３０分乾燥した。
【００３７】乾燥後、感光性樹脂層上に膜厚２８μｍの
ＰＥフィルムをラミネートしてドライフィルムレジスト
（ＤＦＲ）を得た。
ＰＥフィルムをラミネートしてドライフィルムレジスト
（ＤＦＲ）を得た。
【００３８】２ｍｍ厚のガラス板上へのラミネートは、
得られたＤＦＲのＰＥフィルムを剥して常圧ラミネータ
ーを用いて１２０℃、３．５ｋｇ／ｃｍ2の条件で行っ
た。ラミネート後、ＰＥＴフィルムを剥し、メチルエチ
ルケトンを用いて感光性樹脂層の２５℃での溶解性を測
定したところ、４７秒で感光性樹脂層がガラス面から無
くなってしまったのでこの時間を最少現像時間とした。
得られたＤＦＲのＰＥフィルムを剥して常圧ラミネータ
ーを用いて１２０℃、３．５ｋｇ／ｃｍ2の条件で行っ
た。ラミネート後、ＰＥＴフィルムを剥し、メチルエチ
ルケトンを用いて感光性樹脂層の２５℃での溶解性を測
定したところ、４７秒で感光性樹脂層がガラス面から無
くなってしまったのでこの時間を最少現像時間とした。
【００３９】ＤＦＲの感度は、ＤＦＲをラミネートした
ガラス板上のＰＥＴフィルム面にダイヤロンステップタ
ブレット（三菱レイヨン社製）を載せ、露光時間を変え
て紫外線照射を行い求めた。感度を求めるときの現像時
間は最少現像時間の２倍で行った。
ガラス板上のＰＥＴフィルム面にダイヤロンステップタ
ブレット（三菱レイヨン社製）を載せ、露光時間を変え
て紫外線照射を行い求めた。感度を求めるときの現像時
間は最少現像時間の２倍で行った。
【００４０】次に、ＤＦＲをラミネートしたガラス板上
のＰＥＴフィルム面に１ｃｍ角の正方形が露光可能なフ
ォトマスクをかぶせ、ダイヤロンステップタブレット１
３段露光で露光し、現像、洗浄、乾燥して１ｃｍ角の感
光性樹脂組成物硬化パターンをガラス板上に形成した。
これを４５０℃のオーブンにいれ、空気雰囲気中１０分
加熱したところ、感光性樹脂組成物硬化物は完全に揮散
して無くなってしまっていた。
のＰＥＴフィルム面に１ｃｍ角の正方形が露光可能なフ
ォトマスクをかぶせ、ダイヤロンステップタブレット１
３段露光で露光し、現像、洗浄、乾燥して１ｃｍ角の感
光性樹脂組成物硬化パターンをガラス板上に形成した。
これを４５０℃のオーブンにいれ、空気雰囲気中１０分
加熱したところ、感光性樹脂組成物硬化物は完全に揮散
して無くなってしまっていた。
【００４１】次に、感光性樹脂組成物の硬化物の熱分析
を、空気及び窒素気流中（昇温速度１０℃／ｍｉｎ）で
行ったところ、４５０℃での残存率はほぼ０であった。
を、空気及び窒素気流中（昇温速度１０℃／ｍｉｎ）で
行ったところ、４５０℃での残存率はほぼ０であった。
【００４２】（実施例３）メチルメタクリレート／メチ
ルアクリレート／メタクリル酸（＝６０／２０／２０重
量部）からなる分子量約９万の重合体７０重量部、トリ
メチロールプロパントリアクリレート３０重量部、ベン
ジルジメチルケタール５重量部、モノメチルエーテルハ
イドロキノン０．０２重量部、染料のビクトリアピュア
ブルー０．０２重量部、メチルエチルケトン３０重量部
及びイソプロピルアルコール１２０重量部から成る組成
物を実施例１と同様にしてＤＦＲの形とし、ガラス板に
ラミネートした。
ルアクリレート／メタクリル酸（＝６０／２０／２０重
量部）からなる分子量約９万の重合体７０重量部、トリ
メチロールプロパントリアクリレート３０重量部、ベン
ジルジメチルケタール５重量部、モノメチルエーテルハ
イドロキノン０．０２重量部、染料のビクトリアピュア
ブルー０．０２重量部、メチルエチルケトン３０重量部
及びイソプロピルアルコール１２０重量部から成る組成
物を実施例１と同様にしてＤＦＲの形とし、ガラス板に
ラミネートした。
【００４３】次いで、実施例１と同様にして、最少現像
時間、感度を求め、ガラス板上に形成させた感光性樹脂
組成物硬化物パターンを５００℃のオーブンに入れ、空
気雰囲気中６０分加熱したところ、感光性樹脂組成物硬
化物は完全に揮散して無くなってしまっていたが、２０
分加熱の時点では、手で容易に取れるものの、黒色のカ
ーボン上の物が少しガラス板上に残っていた。
時間、感度を求め、ガラス板上に形成させた感光性樹脂
組成物硬化物パターンを５００℃のオーブンに入れ、空
気雰囲気中６０分加熱したところ、感光性樹脂組成物硬
化物は完全に揮散して無くなってしまっていたが、２０
分加熱の時点では、手で容易に取れるものの、黒色のカ
ーボン上の物が少しガラス板上に残っていた。
【００４４】（比較例１及び２）表１示す組成物を実施
例１と同様にして実験を行ったところ、比較例１の組成
物は紫外線照射による硬化が不十分であり、十分に硬化
した硬化膜は得られなかった。また、比較例２の組成物
の硬化膜は空気雰囲気中、５００℃で６０分加熱しても
黒色のカーボン状の物がガラス板上に残った。
例１と同様にして実験を行ったところ、比較例１の組成
物は紫外線照射による硬化が不十分であり、十分に硬化
した硬化膜は得られなかった。また、比較例２の組成物
の硬化膜は空気雰囲気中、５００℃で６０分加熱しても
黒色のカーボン状の物がガラス板上に残った。
【００４５】
【表１】
【００４６】（比較例３及び４）表２に示す組成物を実
施例２と同様にしてガラス板上に１ｃｍ角の感光性樹脂
組成物硬化パターンを形成させた。これらを空気雰囲気
中、５００℃、２０分の加熱を行ったところ、比較例３
及び４の組成物の硬化膜とも黄茶色状の物がガラス板状
に残った。
施例２と同様にしてガラス板上に１ｃｍ角の感光性樹脂
組成物硬化パターンを形成させた。これらを空気雰囲気
中、５００℃、２０分の加熱を行ったところ、比較例３
及び４の組成物の硬化膜とも黄茶色状の物がガラス板状
に残った。
【００４７】
【表２】
【００４８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の低温熱分
解性感光性樹脂組成物は、活性エネルギー線の照射によ
り重合・硬化し、かつ硬化した樹脂が比較的低温の加熱
により分解、揮散するものであるので、信頼性に優れた
透明電極の製造用、金属の加工用等に有用である。
解性感光性樹脂組成物は、活性エネルギー線の照射によ
り重合・硬化し、かつ硬化した樹脂が比較的低温の加熱
により分解、揮散するものであるので、信頼性に優れた
透明電極の製造用、金属の加工用等に有用である。
Claims (5)
- 【請求項１】 熱分解性重合体５１〜９５重量部及び重
合性単量体４９〜５重量部の混合物１００重量部から成
る低温熱分解性感光性樹脂組成物。 - 【請求項２】 請求項１において、重合性単量体が少な
くとも１種以上の単量体から成り、かつ一種以上の単量
体の重合性基が平均して１．２個以上であることを特徴
とする低温熱分解性感光性樹脂組成物。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、重合性単量体
がメチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−
プロピルメタクリレート、ｉ−プロピルメタクリレー
ト、ｉ−ブチルメタクリレート、ｎ−アミルメタクリレ
ート、ｉ−アミルメタクリレート、ネオペンチルメタク
リレート、 ３，３−ジメチルブチルメタクリレート、
α−メチルスチレン、及びホルムアルデヒド又はエチレ
ンオキサイド変性された一官能性単量体又は多官能性単
量体の一種以上から選ばれたことを特徴とする低温熱分
解性感光性樹脂組成物。 - 【請求項４】 請求項１において、熱分解性重合体がメ
チルメタクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロ
ピルメタクリレート、ｉ−プロピルメタクリレート、ｉ
−ブチルメタクリレート、ｎ−アミルメタクリレート、
ｉ−アミルメタクリレート、ネオペンチルメタクリレー
ト、 ３，３−ジメチルブチルメタクリレート、α−メ
チルスチレン、ホルムアルデヒドの一種以上を７５重量
％以上含有することを特徴とする低温熱分解性感光性樹
脂組成物。 - 【請求項５】 請求項１において、熱分解性重合体がメ
チルメタクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロ
ピルメタクリレート、ｉ−プロピルメタクリレート、ｉ
−ブチルメタクリレート、ｎ−アミルメタクリレート、
ｉ−アミルメタクリレート、ネオペンチルメタクリレー
ト、 ３，３−ジメチルブチルメタクリレート、α−メ
チルスチレン、ホルムアルデヒドから得られるホモポリ
マー又はコポリマーであることを特徴とする低温熱分解
性感光性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4751294A JPH07252306A (ja) | 1994-03-17 | 1994-03-17 | 低温熱分解性感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4751294A JPH07252306A (ja) | 1994-03-17 | 1994-03-17 | 低温熱分解性感光性樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07252306A true JPH07252306A (ja) | 1995-10-03 |
Family
ID=12777170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4751294A Pending JPH07252306A (ja) | 1994-03-17 | 1994-03-17 | 低温熱分解性感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07252306A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9273179B2 (en) | 2013-01-09 | 2016-03-01 | Ricoh Company, Ltd. | Decomposable polymer |
| WO2021039139A1 (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-04 | Ｅｎｅｏｓ株式会社 | 架橋型メタクリレート樹脂粒子および造孔剤 |
-
1994
- 1994-03-17 JP JP4751294A patent/JPH07252306A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9273179B2 (en) | 2013-01-09 | 2016-03-01 | Ricoh Company, Ltd. | Decomposable polymer |
| WO2021039139A1 (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-04 | Ｅｎｅｏｓ株式会社 | 架橋型メタクリレート樹脂粒子および造孔剤 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI495694B (zh) | 適用於滾筒印刷法之有機絕緣膜形成用墨水組成物 | |
| NL1020488C2 (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een plasmabeeldschermpaneel. | |
| JPH03210703A (ja) | 水性現像可能な感光性銅導電体組成物 | |
| JPS63229451A (ja) | 高められた可撓性を有する感光性記録材料 | |
| JP3205635B2 (ja) | 感光性エレメント | |
| WO2003073168A1 (fr) | Composition de resine photosensible, procede de formation, avec cette composition, d'elements photosensibles ou de structures de reserve, et procede de production de cartes de circuits imprimes | |
| JPH0614185B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた積層体 | |
| JP5531380B2 (ja) | 印刷用インキ及び該インキを用いた塗膜の製造方法 | |
| CN1742235A (zh) | 厚膜膏料层的粘合剂扩散转印图案 | |
| WO2006100825A1 (ja) | ブラックマトリックス形成用光硬化性樹脂組成物、これを用いた感光性フィルム、ブラックマトリックスの形成方法、ブラックマトリックス及びそのブラックマトリックスを有するプラズマディスプレイパネル | |
| JPH07252306A (ja) | 低温熱分解性感光性樹脂組成物 | |
| WO2016152852A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、サンドブラスト用マスク材、及び被処理体の表面加工方法 | |
| EP0017336B1 (en) | Photopolymerisable elements, and relief printing plates made therefrom | |
| JPH11339574A (ja) | Ｉｔｏ膜の形成方法 | |
| JP4760087B2 (ja) | セラミックス基板の製造方法 | |
| JP2007171311A (ja) | レジスト材料、エッチングパターンの形成方法及び導電性パターンの形成方法 | |
| JP2649621B2 (ja) | 裏止め材用紫外線硬化型樹脂組成物及びシャドウマスクの製造方法 | |
| WO2014119562A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、サンドブラスト用マスク材、及び被処理体の表面加工方法 | |
| TWI707202B (zh) | 感光性樹脂組成物、感光性元件、抗蝕劑圖案的形成方法及觸控面板的製造方法 | |
| CN112987496A (zh) | 感光性树脂组合物、使用了感光性树脂组合物的转印薄膜 | |
| JP2003197031A (ja) | 脂肪族ポリエステルを用いた導電ペースト、電極の形成方法及び電極 | |
| JP2015001591A (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、サンドブラスト用マスク材、及び被処理体の表面加工方法 | |
| TWI809736B (zh) | 光敏性疊層物、光敏性疊層物製備方法以及電路板製備方法 | |
| JP4000839B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| US5217847A (en) | Liquid solder mask composition |