JPH07248413A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 画素を形成する際、透明基板上の画素と画素
の間に相当する部分に、画素を形成するための着色イン
キに対し２０°以上の後退接触角を有する遮光領域を形
成しておき、画素形成後の基板処理により該遮光領域の
撥水・撥油性が消失することを特徴とするカラーフィル
タの製造方法。 【効果】 本発明によると、カラーフィルタの製造にお
いて、インキ滲みや混色が確実に防止され、かつ十分な
平坦性を持ったカラーフィルタを提供することができ
る。これによって印刷法やインクジェット法を用いて、
非常に高精度なカラーフィルタを得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、主に液晶表示素子用に
用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示素子用カラーフィルタは、透明
基板上に形成された赤、緑、青の三原色の画素を一絵素
とし多数の絵素から構成される。各画素間には通常表示
コントラストを高めるため、およびＴＦＴに光を当てな
いために一定の幅を持つ遮光領域（一般に黒色でブラッ
クマトリクスと称されている）が設けられる。通常はブ
ラックマトリクスおよび画素形成後、該ガラス基板上に
は画素部分の保護および平坦化を目的としてトップコー
ト（表面保護層）が、設けられる。

【０００３】カラーフィルタ製造法には、フォトリソグ
ラフィの手法を用いて形成した可染媒体を染色する方
法、顔料分散感光性組成物を用いる方法、パターニング
した電極を利用する電着法のほか、低コストの製造法と
して印刷法やインクジェット式インキ噴射装置を用いて
着色部分を形成するインクジェット法などがある。

【０００４】従来の製造法の内、印刷法やインクジェッ
ト法は、画素を一色ずつフォトリソグラフィで作成する
染色法および顔料分散法に比べて工程数が少なく低コス
トであるが、その一方で各着色領域の画素のにじみ、混
色などが避けられずカラーフィルタとしての品質は劣っ
たものになってしまうという欠点があった。

【０００５】低コストでなおかつ高品質なカラーフィル
タを得るためには、印刷法やインクジェット法において
何らかの手段でインキの滲みや混色を防ぐことが必須で
ある。特開平4-123005、特開平4-126006、特開平4-1230
07、特開平4-151604、特開平4-195102号公報では、イン
キ反発性の仕切りを用いインキの拡がりを押さえる技術
が開示されている。また、本発明者らは、特願平5-1827
60、特願平5-182761、特願平5-182762、特願平5-182763
号において、これらの技術の改良を提案した。しかしな
がら、該技術では仕切り柵がトップコート剤に対する反
発性を有するため、トップコート塗布で十分な平坦性が
得られないという問題がある。

【０００６】また、フォトリソグラフィで画素を作成す
る場合にはインキ反発性のブラックマトリクスを用いる
ことによりブラックマトリクスの上に段差がない、精度
の良い画素パターンの形成が可能である。特開平5-1730
15、特公平5-69201 号公報ではブラックマトリクスおよ
び／または画素部分の表面を撥水撥油化する技術が開示
されている。しかしながら、該技術では該ブラックマト
リクスおよび／または画素部分がトップコート剤に対す
る反発性を有するため、トップコート塗布で十分な平坦
性が得られないという問題がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の諸欠点に鑑み創案されたもので、その目的とする
ところは、インキ反発性のブラックマトリクスを使用
し、かつ十分な平坦性を持つことを特徴とした、表示品
質が高く、低コストな液晶表示素子用カラーフィルタを
製造する方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
透明基板上の所定位置に、複数色の画素および、該画素
の間隙にブラックマトリクスが形成されたカラーフィル
タの製造方法において、ブラックマトリクスおよび画素
をいずれかの表面が撥水・撥油性を有するように形成し
た後に、該撥水・撥油性をなくす基板処理の工程を含む
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法によって達
成される。

【０００９】本発明の特徴は、透明基板上にブラックマ
トリクスおよび画素をいずれかの表面が撥水・撥油性を
有するように形成した後に、該撥水・撥油性をなくす基
板処理の工程を含むことにある。該基板処理はブラック
マトリクスまたは画素中の撥水・撥油性を有する成分
（以下、インキ反発成分という）を失活させることが目
的である。該インキ反発成分を失活させることにより、
トップコート剤に対する反発性をなくすことができるの
で、トップコートの塗布で十分な平坦性が得られる。し
たがって、カラーフィルタを平坦なものとすることがで
きるため、表示品質の優れたものとなる。また、トップ
コートを塗布しない場合にも、インキ反発成分が失活し
ており、モジュール中で液晶の配向を乱したり絶縁不良
などの悪影響を及ぼすことがないので、信頼性の高いカ
ラーフィルタを得ることができる。

【００１０】該基板処理の方法としては加熱によるも
の、溶剤によってインキ反発成分を溶出させることで、
撥水・撥油性をなくするものなどがあるがこれらに限定
されるものではない。加熱はインキ反発成分の５重量部
が分解する熱分解温度以上で好ましくは１時間以上行な
うことが有効であるがこの方法に限られるものではな
い。溶剤処理では、処理溶剤に対してブラックマトリク
スおよび画素が耐性を持ち、かつインキ反発成分は可溶
である溶剤を用い、該溶剤中にカラーフィルタを浸漬す
る方法が有効であるがこれに限られるものではない。溶
剤としてはエタノール、イソプロパノールが有効である
が、これに限られるものではない。

【００１１】ブラックマトリクスおよび画素を形成する
方法は特に限定されないが、インキ反発性樹脂組成物を
用いて表面が撥水・撥油性を有するブラックマトリクス
を形成し、その撥水・撥油性を利用して該ブラックマト
リクスの間隙に画素を形成することが好ましい。具体的
には、特に印刷法やインクジェット法での画素形成工程
においてインキ滲みや混色を確実に防止するため、ブラ
ックマトリクスの表面が画素形成時に画素を形成するた
めの青色インキに対して２０°以上の後退接触角をもつ
インキ反発性を有することが好ましい。

【００１２】そのようなブラックマトリクスを形成する
には、インキ反発成分を含む黒色樹脂として感光性を
有するものを用い、パターン露光・現像する方法、透
明基板上にインキ反発成分を含む黒色樹脂を塗布した
後、その上に感光性樹脂を積層してパターン露光・現像
し、得られた感光性樹脂のパターンをマスクとして該黒
色樹脂をエッチングしておこなう方法、透明基板上に
黒色樹脂を塗布した後、インキ反発成分を含む感光性樹
脂を積層してパターン露光・現像し、得られた感光性樹
脂のパターンをマスクとして黒色樹脂をエッチングして
おこなう方法などがあるが、これらに限定されない。
、による場合は、ブラックマトリクスは黒色でかつ
インキ反発性を有する１層構造からなり、による場合
は、黒色の層の上にインキ反発性を有する層が積層され
た二層構造となる。

【００１３】着色インキに対し２０°以上の後退接触角
を有するインキ反発性のブラックマトリクスを用いる重
要な効果は、これらのインキ反発成分の撥水・撥油性を
利用して、黒色樹脂を除去した部分以外（仕切り柵）へ
のインキの付着や滲みだしを防止し、印刷時の印刷ブレ
や滲みによる精度の低下を抑制し、また、インクジェッ
ト法でインキを付着させる場合には、他の領域への滲み
だしや隣接する色との混色を防止して、各色部分の独立
性を高度に保持することにある。後退接触角が２０°以
下の場合には該樹脂ブラックマトリクスの上記効果が得
られにくい。インクジェット法においてインキが仕切り
柵に付着すると、非付着部分との間にインキの膜厚ムラ
が生じ、画素部分の色ムラを生じる。

【００１４】インキ反発成分としては、画素を形成する
インキに対する優れた反発性を得るために、極めて低い
表面エネルギーのものが望ましく、そのような低表面エ
ネルギー物質としては、含フッ素化合物、含ケイ素化合
物などが有効であるが、それらに限定されるものではな
い。

【００１５】含フッ素化合物としては、含フッ素基と、
親水基および／または親油基の両方を有するモノマまた
はオリゴマ、フッ素原子を有する高分子化合物などがあ
る。

【００１６】含フッ素基と、親水基および／または親和
基の両方を有するモノマまたはオリゴマとしては、例え
ば一般式（１）〜（６）で表されるものがあるが、特に
これらに限定されるものではない。これらの中では、一
般式（３）および（５）で表されるものが特に好まし
い。

【００１７】

【化１】 フッ素原子を有する高分子化合物は、ブラックマトリク
ス（ブラックマトリクスが２層の場合、上層のインキ反
発成分を含有する層をさす）中に溶解してまたは分子オ
ーダーで混合して使用すること、あるいはブラックマト
リクス中に微粒子として分散して使用することのいずれ
も可能である。ブラックマトリクス中に溶解してまたは
分子オーダーで混合して使用するものとしては例えばポ
リフッ化ビニリデン、フルオロオレフィンビニルエーテ
ル系共重合体、３フッ化エチレン−フッ化ビニリデン共
重合体等があり、微粒子として分散して使用するものと
してはポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロエチ
レンプロピレン樹脂、パーフルオロアルコキシ樹脂等が
挙げられるが、特にこれらに限定されるものではない。

【００１８】含ケイ素組成物としては、一般式（７）で
表される繰り返し単位をもつポリオルガノシルセスキオ
キサンを主成分とするシリコーン微粒子をブラックマト
リクス中に分散して用いることが有効である。

【００１９】

【化２】 これらの含フッ素化合物、含ケイ素化合物は、単独また
は二種以上併用して用いることができる。また、その他
のインキ反発成分と併用してもよい。

【００２０】ブラックマトリクスを形成する樹脂として
は前述のように感光性樹脂を用いる場合、または非感光
性樹脂を用いる場合が考えられるが、いずれの場合も耐
熱性、耐薬品性に優れたものが望ましい。

【００２１】耐熱性・耐薬品性に優れた樹脂としては、
高度に架橋した樹脂、例えば、熱硬化性アクリル樹脂、
メラミン樹脂、エポキシ樹脂、アルキド樹脂、不飽和ポ
リエステル樹脂等、あるいは梯子状構造を持つもの、例
えばポリイミド樹脂などが挙げられるが、これらに限定
されるものではない。

【００２２】熱硬化性アクリル樹脂としては、アクリル
酸、メタクリル酸またはこれらのエステル化物に、スチ
レン、ビニルトルエン、酢酸ビニル、アクリロニトリル
などを共重合したもの、すなわち一般にアクリル樹脂と
呼ばれるものに、硬化剤としてイソシアネート化合物、
メラミン樹脂、エポキシ樹脂を用いるもの、または上記
のアクリル樹脂にＮ−メチロールアクリルアミド、アル
コキシ−Ｎ−メチロールアクリルアミド等のような官能
性モノマを共重合したものなどが挙げられる。

【００２３】メラミン樹脂としては、アミノ基（−ＮＨ
₂ ）の水素が１〜６個メチロール化されたメラミンや、
その数量体からなる水溶性メラミン樹脂、例えば住友化
学（株）“スミテックスレジン”、あるいはメチロール
基をＣ１〜Ｃ４の脂肪族アルコールでエステル化したメ
ラミンや、その数量体からなる油溶性メラミン樹脂、例
えば大日本インキ化学工業（株）“スーパーベッカミ
ン”、あるいはポリエステル樹脂、アクリル樹脂をメラ
ミン樹脂で架橋したものなどが挙げられる。

【００２４】エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ
とエピクロロヒドリンの反応で得られるオリゴマまたは
ポリマであるビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、例えば
三井石油化学（株）“エポミック”Ｒ１４０、あるい
は、ノボラック樹脂とエピクロロヒドリンの反応で得ら
れるノボラック型エポキシ樹脂、例えばダウケミカル日
本（株）“ＤＥＮ”４３１、あるいはテトラブロモビス
フェノールＡまたは臭素化フェノールノボラックとエピ
クロロヒドリンの反応で得られるオリゴマまたはポリマ
である臭素化エポキシ樹脂、例えば日本化薬（株）“Ｂ
ＲＥＮ”、あるいはカルボン酸とエピクロロヒドリンの
グリシジルアミン型エポキシ樹脂、例えば三井石油化学
（株）“エポミック”Ｒ５０８、あるいはアミン類およ
び／またはアミノフェノール類とエピクロロヒドリンの
グリシジルアミン型エポキシ樹脂、例えば住友化学
（株）“ＳＵＭＩ−ＥＰＯＸＹ”ＥＬＭ−１２０等、あ
るいは２重結合を持つ脂環式化合物を過酸で酸化して得
られる脂環族エポキシ樹脂、例えばＣＩＢＡ社の“Ａｒ
ａｌｄｉｔｅ”ＣＹ１７９等が挙げられる。

【００２５】アルキド樹脂としては、脂肪酸と多塩基
酸、多価アルコールからなる脂肪酸変性アルキド樹脂、
あるいは脂肪酸を含まないオイルフリーアルキド樹脂が
あり、不飽和脂肪酸のラジカル開始剤により架橋するも
の、あるいはポリイソシアナート、またはメラミンによ
る架橋によって硬化するものなどが挙げられる。

【００２６】不飽和ポリエステル樹脂としては、無水マ
レイン酸等の不飽和２塩基酸またはその誘導体と多価ア
ルコールからなるポリエステルを液状ビニルモノマに溶
解したもの、あるいはエポキシ樹脂にアクリル酸やメタ
クリル酸などの不飽和１塩基酸を付加した化合物を液状
ビニルモノマーに溶解したもの（ビニルエステル樹脂）
などが挙げられる。

【００２７】ポリイミド樹脂としては、テトラカルボン
酸２無水物とジアミンの重縮合で得られる重縮合型ポリ
イミド、例えば東レ（株）“セミコファイン”、または
マレイミドやビスマレイミドの付加重合で得られるも
の、例えばＴｅｃｈｎｏｃｈｅｍｉｅ社“Ｃｏｍｐｉｍ
ｉｄ”７５１などが挙げられる。

【００２８】感光性樹脂で耐熱性・耐薬品性に優れた樹
脂としては、光架橋性アクリル樹脂、感光性ポリイミ
ド、ナフトキノンジアジドを感光基として含むノボラッ
ク樹脂などが挙げられるがこれらに限定されるものでは
ない。

【００２９】光架橋性アクリル樹脂としては、アクリル
樹脂に多官能アクリレートやモノマやオリゴマ、および
光開始剤を添加した光硬化型アクリル樹脂が挙げられ
る。

【００３０】感光性ポリイミドのうち、光硬化性ポリイ
ミドとしては、テトラカルボン酸とジアミンを組み合わ
せて双極性非プロトン性溶剤中で一般的に製造されるポ
リイミド前駆体のワニスにメタクリル基などの感光基を
有しているアミノ化合物を混合したもの（例えば特公昭
５９−５２８２２号公報）、光により２量化または重合
可能な基をエステル結合で導入したもの（例えば米国特
許−３９５７５１２号明細書）、Ｎ−メチロールアクリ
ドアミド化合物をポリイミド前駆体のワニスに混合した
もの（例えば高分子学会予稿集ｐ８０７、１９９０
年）、あるいはアクリルモノマーをポリイミド前駆体の
ワニスに混合したもの（例えば特開平２−５０１６１号
公報）などが挙げられる。

【００３１】感光性ポリイミドのうち、光可溶性ポリイ
ミドとしては、ポリアミド酸に光分解性の感光基をエス
テル結合で導入したもの（例えば特開平１−６１７４７
号公報）、ポリアミド酸にナフトキノンジアジド化合物
を添加したもの（例えば高分子学会予稿集４０巻３号８
２１（１９９１））などが挙げられる。

【００３２】ナフトキノンジアジド誘導体を感光基とし
て含有するノボラック樹脂としては、例えばポリヒドロ
キシベンゾフェノンとｏ−ナフトキノンジアジドスルホ
ン酸のエステルをクレゾールノボラック樹脂に混合した
もの、あるいはフェノールノボラック樹脂のナフトキノ
ン−１，２−ジアジド−５−スルホン酸エステルなどが
挙げられる。

【００３３】ブラックマトリクスに含まれる着色成分と
しては、高い遮光性が得られることが望ましく、また現
像あるいはエッチングによる黒色樹脂層のパターニング
性を損なわないために粒径が１μｍ以下の微粒子である
ことが望ましく、より好ましくは０．１μｍ以下のもの
が望ましい。遮光性の高い微粒子としては例えばカーボ
ンブラック、顔料、染料、およびＴｉ、Ｃｒ、Ｎｉなど
の金属酸化物の微粒子などが挙げられるが、これらに限
定されるものではない。

【００３４】ブラックマトリクスの厚さは通常０．０５
〜３０μｍであることが好ましく、塗布性、パターン解
像度、光学濃度（ＯＤ値）などから最適値を決めること
ができる。ＯＤ値は０．５〜４の範囲で可能であるが、
本発明の目的から２．０以上が好ましい 本発明のカラーフィルタは、例えば、次の様にして作製
できる。まず、研磨・洗浄されたガラス基板の上に必要
に応じて接着剤層となる透明薄膜を形成したのち、ディ
ップ法、ローラ等のコータ類、ホエラー、スピナーなど
の回転塗布装置を用い、インキ反発性黒色感光性樹脂層
を構成する組成物溶液を塗布・乾燥および必要に応じて
キュアして黒色感光性樹脂層を形成する。次に写真化学
的手法、いわゆるフォトリソグラフィの方法により、ケ
ミカル灯、高圧水銀ランプ、水銀キセノンランプ、メタ
ルハライドランブなどのランプを用いて、所定のパター
ンのマスクを介して露光し、現像することで、非硬化部
の黒色感光性樹脂層を除去して、インキ反発性ブラック
マトリクスは形成される。黒色樹脂層の除去された部分
のサイズの相互の比率と形状は、露光に用いるマスクの
調整によって自由に変更することが可能である。

【００３５】インキ反発性ブラックマトリクスを形成す
るには、あるいは次のような手段をとることもできる。
まず、研磨・洗浄されたガラス基板の上に必要に応じて
接着剤層となる透明薄膜を形成したのち、ディップ法、
ローラ等のコータ類、ホエラー、スピナーなどの回転塗
布装置を用い、インキ反発性黒色樹脂層を構成する組成
物溶液を塗布・乾燥および必要に応じてキュアしてイン
キ反発性黒色樹脂層を形成する。さらにその上に、ディ
ップ法、ローラ等のコータ類、ホエラー、スピナーなど
の回転塗布装置を用い、感光性樹脂層を構成する組成物
溶液を塗布・乾燥する。次に写真化学的手法、いわゆる
フォトリソグラフィの方法により、ケミカル灯、高圧水
銀ランプ、水銀キセノンランプ、メタルハライドランブ
などのランプを用いて、所定のパターンのマスクを介し
て露光を行う。その後、感光性樹脂層の現像液で現像す
ることで、感光性樹脂層を所定のパターンに除去する。
インキ反発性黒色樹脂として感光性樹脂現像液に溶解す
るものを選んだ場合、感光性樹脂の現像と同時にインキ
反発性黒色樹脂層にエッチングを施すことができ、所定
のパターンにインキ反発性黒色樹脂を除去することがで
きる。インキ反発性黒色樹脂が感光性樹脂の現像液に溶
解しない場合は、得られた感光性樹脂層のパターンをマ
スクとしてインキ反発性黒色樹脂が溶解するエッチング
液を用いてエッチングし、その後、感光性樹脂層を剥離
することにより所定の形状にインキ反発性黒色樹脂層の
除去されたパターン、すなわちインキ反発性を有するブ
ラックマトリクスを得ることができる。

【００３６】インキ反発性ブラックマトリクスを形成す
るには、あるいは次のような手段をとることもできる。
まず、研磨・洗浄されたガラス基板の上に必要に応じて
接着剤層となる透明薄膜を形成したのち、ディップ法、
ローラ等のコータ類、ホエラー、スピナーなどの回転塗
布装置を用い、黒色樹脂層を構成する組成物溶液を塗布
・乾燥および必要に応じてキュアして黒色樹脂層を形成
する。さらにその上に、ディップ法、ローラ等のコータ
類、ホエラー、スピナーなどの回転塗布装置を用い、イ
ンキ反発成分を含有する感光性樹脂層を構成する組成物
溶液を塗布・乾燥する。次に写真化学的手法、いわゆる
フォトリソグラフィの方法により、ケミカル灯、高圧水
銀ランプ、水銀キセノンランプ、メタルハライドランブ
などのランプを用いて、所定のパターンのマスクを介し
て露光を行う。その後、感光性樹脂層の現像液で現像す
ることで、感光性樹脂層を所定のパターンに除去する。
黒色樹脂層として感光性樹脂現像液に溶解するものを選
んだ場合、感光性樹脂の現像と同時に黒色樹脂層にエッ
チングを施すことができ、所定のパターンに黒色樹脂を
除去することができる。黒色樹脂が感光性樹脂の現像液
に溶解しない場合は、得られた感光性樹脂層のパターン
をマスクとして黒色樹脂が溶解するエッチング液を用い
てエッチングし、インキ反発性を有するブラックマトリ
クスを得ることができる。

【００３７】本発明は、主に液晶表示素子のためのカラ
ーフィルタの提供を目的にしている。カラーフィルタの
各画素のサイズは１００μｍ前後であり、各画素間に設
けられる遮光用ブラックマトリクスの線幅は２０μｍ前
後である。これらの画素は、線状に配置されたいわゆる
ストライブタイプであったり、ブラックマトリクスに周
りを囲まれた着色部が格子状に配置される場合もある。
これらのインキ反発性ブラックマトリクスで細分された
部位に、印刷法、インクジェット法、フォトリソグラフ
ィー法などで着色インキ等の着色剤あるいはその部位を
染色するための染色成分を供給して赤、緑、青の三原色
に着色し、画素を形成する。インキ反発性ブラックマト
リクスの表面の撥水・撥油性をなくす基板処理を加熱あ
るいは洗浄などによって行なった後、必要に応じてトッ
プコート剤塗布、熱硬化を行ないカラーフィルタ提供の
目的を達成するものである。

【００３８】印刷法によって着色する場合は、水なし平
版を用いた平型オフセット印刷などが印刷精度の上で好
ましいが、勿論この方法に限定されるものではない。そ
れらの印刷法により、インキ反発性ブラックマトリクス
で仕切られた基板露出部を赤、緑、青の三原色のインキ
で着色する。

【００３９】インクジェット法によって着色する場合
は、着色成分とバインダー樹脂を含む着色インキを用い
ることができる。着色成分としては、耐熱性、耐光性な
どに優れた顔料および染料を用いることが好ましい。バ
インダー樹脂としては、透明で、耐熱性に優れた樹脂が
好ましく、例えばメラミン樹脂や、アクリル系樹脂など
が挙げられるが、これらに限定されるものではない。こ
れらの成分を含むインキを、インクジェット装置を用い
て噴射し、インキ反発性ブラックマトリクスで仕切られ
た基板露出部を直接に着色する。

【００４０】インクジェット装置を用いて染料を含むイ
ンキを噴射し、該基板露出部分を染色しようとする場合
には、必要に応じて予め黒色樹脂層の下に可染性媒体を
塗布しておく。可染性媒体としては、用いる染料との親
和性の良好な材料を選択することが好ましい。酸性染料
を用いる場合は、例えば、既知の天然高分子材料である
コラーゲン、カゼイン、ゼラチンのほか、アミノ基や４
級アンモニウム塩を導入したアクリル系ポリマー、ポリ
ビニルアルコールなどの合成高分子材料が適用される。
用いる染料としては酸性染料に限定されるものではな
く、塩基性染料、直接染料、油溶性染料および反応性染
料などを用いることができる。その場合可染性媒体とし
ては、用いる染料が染着可能な基をもつものを選択する
ことが好ましい。これら可染性媒体上にインキ反発性の
ブラックマトリクスパターンを上記の方法で作成する。
その後インクジェット法によって染料成分を含むインキ
を、インキ反発性ブラックマトリクスで仕切られた可染
性媒体露出部に噴射することによって可染性媒体層を
赤、緑、青の三原色に染色する。

【００４１】フォトリソグラフィー法によって着色する
場合は、感光性のカラーペーストを用いて、所定のパタ
ーンを形成する方法、非感光性のカラーペーストを塗布
した上にフォトレジストを塗布し、エッチングにより画
素を形成する方法があるが、これらの方法に限定される
ものではない。それらの方法によりインキ反発性ブラッ
クマトリクスで仕切られた基板露出部を赤、緑、青の三
原色に着色する。

【００４２】ブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性
をなくす基板処理を加熱によって行う場合は、着色部の
硬化あるいは定着を行った後、これらの着色基板をイン
キ反発成分の分解、失活温度以上に加熱する。該基板処
理を洗浄によって行う場合は、着色部の硬化あるいは定
着を行った後、これらの着色基板を黒色樹脂および着色
部分は耐性をもち、インキ反発成分が可溶である溶剤に
浸漬洗浄後、乾燥する。

【００４３】なお、本発明の透明基板としては、特に限
定されることなく、例えば、ガラス、プラスチックフィ
ルムまたはシートなどが好ましく用いられる。

【００４４】透明基板上に必要に応じて形成される透明
薄膜は、黒色樹脂層および画素と透明基板の接着性を向
上するための接着剤層となるものであり、例えば、（Ｎ
−トリメトキシシリルプロピル）ポリエチレンイミンな
どのアミノアルキルアルコキシシラン誘導体を用いるこ
とができるが、これらに限定されるものではない。

【００４５】トップコートは、画素部分の保護および平
坦化を目的として設けられる。トップコート剤は、溶剤
で粘度、固形分を調整された、シリカ系コーティング
剤、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン、ポリイ
ミド系などの耐熱性・耐薬品性に優れた透明な熱硬化性
樹脂が好ましく用いられるが、これらに限定されるもの
ではない。塗布は通常カラーフィルタ付きの全面基板に
スピンコートされるが、この方法に限られるものではな
い。

【００４６】

【実施例】以下に本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。

【００４７】実施例１ （Ｎ−トリメトキシシルプロピル）ポリエチレンイミン
（ＰＳ０７６、チッソ（株）製）のエタノール０．２重
量％溶液をプライマ液として準備した。これを洗浄・乾
燥したガラス基板上にスピナーで回転数１５００ｒｐ
ｍ、１０秒で塗布した後、１５０℃で１０分の条件で乾
燥して接着層を設けた。次いで、その上に以下の組成を
有する光硬化型黒色感光性樹脂液をスピナーで回転数５
００ｒｐｍ、２秒、次いで１０００ｒｐｍ、１０秒で塗
布した後、８０℃で１５分間プリベークを行った。

【００４８】 ［黒色感光性樹脂液組成］ スチレン／メチルメタクリレート／メタクリル酸（３：３：４（共重合比） ）からなる３元アクリル共重合体にグリシジルメタクリレートを付加させたポ リマ ８．３５重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート ３．００重量部 エポキシアクリレート ２．００重量部 “イルガキュア”３６９（チバガイギ社製） ０．５９重量部 “イルガキュア”９０７（チバガイギ社製） ０．５９重量部 トリチオホスフィト ０．３９重量部 カーボンブラックＭＡ１００（三菱化成（株）製） ４．０３重量部 フッ素系界面活性剤“ＥＦＴＯＰ”ＥＦ−１２３Ａ−１ （（株）トーケムプロダクツ製） ０．７０重量部 フッ素系界面活性剤“ＭＥＧＡＦＡＣ”Ｆ−１７９ （大日本インキ化学工業（株）製） ３．５０重量部 ２−ブトキシエタノール ７６．８５重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
２１０ｍＪ／ｃｍ² 露光した後２−アミノエタノール
０．１２５％水溶液で現像し、未露光部の黒色感光性樹
脂層を除去した。続いて１５０℃、３０分の熱処理を行
い、厚さ１．５μｍの層とした。以上の操作により、ガ
ラス基板上にインキ反発性の仕切り壁の機能を有する黒
色樹脂ブラックマトリクスが形成された。

【００４９】赤、緑、青、各色のインキを下記の要領で
調合した。まず、赤色顔料としてＰＲ１７７を５重量
部、界面活性剤“ニューコール”７１０Ｆ（日本乳化剤
（株）製）５重量部、水７９重量部にガラスビーズを加
え、ホモジナイザーを用いて１０時間撹拌し、顔料分散
液を作製した。上記分散液８９重量部にメラミン樹脂
（住友化学（株）製“スミテックレジン”Ｍ−３）１０
重量部、硬化剤（住友化学（株）製“スミテックスアク
セレレーター”ＡＣＸ）１重量部を混合しカラーフィル
ター作製用赤インキを得た。緑インキ（顔料としてＰＧ
３６を使用）および、青インキ（顔料としてＰＢ１５を
使用）も同様の方法で調整した。

【００５０】上記インキ反発性ブラックマトリクスに対
する後退接触角は水に対して１００．０°、上記赤イン
キ、緑インキ、青インキに対してそれぞれ５０．０°、
５０．０°、２０．０°であった。

【００５１】上記組成からなるインキを黒色樹脂層の除
去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分にイ
ンクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それぞ
れの色に着色した。

【００５２】これらのインキで着色後、１５０℃で２０
分間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させ
た。

【００５３】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。黒色樹脂ブラックマトリクスのイン
キ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は
見られなかった。

【００５４】基板を２８０℃で１時間の加熱処理を行
い、ブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくし
た後、トップコートとしてポリイミド樹脂（“セミコフ
ァイン”ｓｐ９００、東レ）のＮメチルピロリドン３０
ｗｔ％溶液をスピンナーで塗布した。塗布後１００℃で
１０分乾燥した後、２８０℃で１時間加熱しイミド化反
応を完了した。トップコートは平坦に塗布できた。

【００５５】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で０．２μｍであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦
３であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【００５６】比較例１ （Ｎ−トリメトキシシルプロピル）ポリエチレンイミン
（ＰＳ０７６、チッソ（株）製）のエタノール０．２重
量％溶液をプライマ液として準備する。これを洗浄・乾
燥したガラス基板上にスピナーで回転数１５００ｒｐ
ｍ、１０秒で塗布した後、１５０℃で１０分の条件で乾
燥して接着層を設けた。次いで、その上に実施例１記載
の組成を有する光硬化型黒色感光性樹脂液をスピナーで
回転数５００ｒｐｍ、２秒、次いで１０００ｒｐｍ、１
０秒で塗布した後、８０℃で、１５分間プリベークを行
った。

【００５７】次に実施例１と同様の手順で露光、現像、
１５０℃３０分の熱処理を行い、厚さ１．５μｍの黒色
樹脂プラックマトリクスを得た。

【００５８】上記組成からなるインキを、黒色樹脂層の
除去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分に
インクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それ
ぞれの色に着色した。

【００５９】これらのインキで着色後、１５０℃で２０
分間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させ
た。

【００６０】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。黒色樹脂ブラックマトリクスのイン
キ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は
見られなかった。

【００６１】基板上にトップコートとしてポリイミド樹
脂（“セミコファイン”ｓｐ９００、東レ）のＮメチル
ピロリドン３０ｗｔ％溶液をスピンナーで塗布した。塗
布後１００℃で１０分乾燥した後、２８０℃で１時間加
熱しイミド化反応を完了した。トップコートは黒色樹脂
ブラックマトリクス部分と画素部分で０．５μｍの段差
が発生した。

【００６２】実施例２ 実施例１において、ガラス基板上にあらかじめ次の組成
よりなる水溶性感光材料をスピナーで塗布し、乾燥した
後２１０ｍＪ／ｃｍ² 全面露光で架橋させて厚さ１０μ
ｍの可染性媒体層を形成しておいた。

【００６３】 可染性媒体層の組成 低分子量ゼラチン（平均分子量２０，０００） １５重量部 重クロム酸アンモニウム ２重量部 水 ８５重量部 その後実施例１と同様の手順で黒色感光性樹脂塗布、乾
燥、露光、現像、熱処理を行い、インキ反発性黒色樹脂
ブラックマトリクスを形成した。

【００６４】仕切り壁に囲まれた可染性媒体層に、次の
組成の酸性染料を含むインキ（酸性染料は、日本化薬の
レッド１４Ｐ、グリーン１Ｐ、ブルー５Ｐを使用）をイ
ンクジェット装置で噴射して赤、青、緑に染色した。

【００６５】 インキ組成 酸性染料 ３重量部 酢酸 １０重量部 水 ８７重量部 上記黒色樹脂ブラックマトリクスに対する後退接触角は
水に対して１００．０°、上記赤インキ、緑インキ、青
インキに対してそれぞれ５６．０°、５８．０°、３
０．０°であった。

【００６６】黒色樹脂ブラックマトリクスによるインキ
の反発は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は見
られなかった。

【００６７】基板を２８０℃で１時間の加熱処理を行
い、ブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくし
た後、トップコートとしてポリイミド樹脂（“セミコフ
ァイン”ｓｐ９００、東レ）のＮメチルピロリドン３０
ｗｔ％溶液をスピンナーで塗布した。塗布後１００℃で
１０分乾燥した後、２８０℃で１時間加熱しイミド化反
応を完了した。トップコートは平坦に塗布できた。

【００６８】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で０．２μｍであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦
３であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【００６９】実施例３ 軟化点１４５℃のシクロペンタジエン系樹脂（日石化学
（株）製“日石ネオレジン”５４０）５０重量部とアル
キッド樹脂５重量部、石油系溶剤（日本石油（株）製５
号ソルベント）４５重量部を、窒素気流下に混合、加熱
昇温して２００℃で１時間加熱撹拌してワニスＡを得
た。このワニスＡ８０重量部とフタロシアニンブルー２
０重量部を３本ロールで混練して青インキを得た。緑イ
ンキの場合はフタロシアニングリーン、赤インキの場合
はブリリアントカーミン６Ｂを使用して調整した。

【００７０】実施例１において作成した、黒色樹脂ブラ
ックマトリクスに対する後退接触角は水に対して１０
０．０°、上記赤インキ、緑インキ、青インキに対して
それぞれ４８．０°、４８．０°、２０．０°であっ
た。

【００７１】実施例１記載の、黒色樹脂ブラックマトリ
クス付きガラス基板の、黒色樹脂除去部分のうち、赤、
緑、青、各色に対応する画素部分を、上記インキと「東
レ水なし平版」を用いた平版オフセット印刷を用いてそ
れぞれの色に順に印刷して着色した。インキは水なし印
刷性が良好であり、ブラックマトリクスが十分な反発性
を示し、滲み、はみ出し、各色の混合は見られなかっ
た。

【００７２】基板を２８０℃で１時間の加熱処理を行
い、ブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくし
た後、トップコートとしてポリイミド樹脂（“セミコフ
ァイン”ｓｐ９００、東レ）のＮメチルピロリドン３０
ｗｔ％溶液をスピンナーで塗布した。塗布後１００℃で
１０分間乾燥した後、２８０℃で１時間加熱しイミド化
反応を完了した。トップコートは平坦に塗布できた。

【００７３】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で０．２μｍであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦
３であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【００７４】実施例４ 洗浄・乾燥したガラス基板上に以下の組成を有する光硬
化型黒色感光性樹脂液をスピナーで回転数５００ｒｐ
ｍ、１０秒、次いで、３０００ｒｐｍ、３０秒で塗布し
た後、８０℃で３０分間プリベークを行った。

【００７５】 ［黒色感光性樹脂液組成］ 光硬化型ポリイミド“フォトニース”ＵＲ−３１００（東レ（株）製） １０重量部 ポリフッ化ビニリデン ５重量部 カーボンブラックＭＡ１００（三菱化成（株）製） ５重量部 Ｎ−メチルピロリド ８０重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
２００ｍＪ／ｃｍ² 露光した後、“フォトニース”現像
液ＤＶ−６０５（東レ（株）製）を用いて２３℃で現像
した。

【００７６】現像後、イソプロパノールでリンスをおこ
なった。続いて１５０℃で３０分の熱処理をおこなっ
た。以上の操作により、ガラス基板上にインキ反発性黒
色樹脂ブラックマトリクスが形成された。

【００７７】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して７０．０°、実
施例１記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそ
れぞれ２５．０°、２２．０°、２０．０°であった。

【００７８】実施例１記載のインキを、黒色樹脂層の除
去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分にイ
ンクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それぞ
れの色に着色した。インキはインクジェットに適してお
り、良好な噴射ができた。黒色樹脂ブラックマトリクス
のインキ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色の
混合は見られなかった。

【００７９】これらのインキで着色後、１５０℃で２０
分間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させ
た。続いて窒素雰囲気中１５０℃から３００℃に３〜５
℃／ｍｉｎで昇温し、３００℃で３０分の加熱処理（ブ
ラックマトリクスの表面の撥水・撥油をなくす基板処
理）を兼ねたポリイミドキュアを行い、厚さ１．５μｍ
の層とした。

【００８０】トップコートとしてポリイミド樹脂（“セ
ミコファイン”ｓｐ９００、東レ）のＮメチルピロリド
ン３０ｗｔ％溶液をスピンナーで塗布した。塗布後１０
０℃で１０分間乾燥した後、２８０℃で１時間加熱しイ
ミド化反応を完了した。トップコートは平坦に塗布でき
た。

【００８１】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で０．２μｍであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果、色差にしてΔＥ≦３
であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【００８２】実施例５ （Ｎ−トリメトキシシルプロピル）ポリエチレンイミン
（ＰＳ０７６、チッソ（株）製）のエタノール０．２重
量％溶液をプライマ液として準備した。これを洗浄・乾
燥したガラス基板上にスピナーで回転数１５００ｒｐ
ｍ、１０秒で塗布した後、１５０℃で１０分の条件で乾
燥して接触層を設けた。次いで、その上に以下の組成を
有する光硬化型黒色感光性樹脂液をスピナーで回転数５
００ｒｐｍ、２秒、次いで１０００ｒｐｍ、１０秒で塗
布した後、８０℃で１５分間プリベークを行った。

【００８３】 ［黒色感光性樹脂液組成］ スチレン／メチルメタクリレート／メタクリル酸（３：３：４（共重合比） ）からなる３元アクリル共重合体にグリシジルメタクリレートを付加させたポ リマ ８．３５重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート ３．００重量部 エポキシアクリレート ２．００重量部 “イルガキュア”３６９（チバガイギ社製） ０．５９重量部 “イルガキュア”９０７（チバガイギ社製） ０．５９重量部 トリチオホスフィト ０．３９重量部 カーボンブラックＭＡ１００（三菱化成（株）製） ４．０３重量部 ４フッ化エチレン微粒子“ルブロン”ＬＤ−１００ （ダイキン工業（株）製） １．４０重量部 ２−ブトキシエタノール ７９．６５重量部 次に所定のパターヘンマスクを真空密着し、ケミカル灯
で２１０ｍＪ／ｃｍ²露光した後２−アミノエタノール
０．１２５％水溶液で現像し、未露光部の黒色感光性樹
脂層を除去した。続いて１５０℃、３０分の熱処理を行
い、厚さ１．５μｍの層とした。以上の操作により、ガ
ラス基板上にインキ反発性黒色樹脂ブラックマトリクス
が形成された。

【００８４】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して７５．０°、実
施例１記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそ
れぞれ４６．０°、４８．０°、２０．０°であった。

【００８５】実施例１記載のインキを、黒色樹脂層の除
去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分にイ
ンクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それぞ
れの色に着色した。

【００８６】これらのインキで着色後、１５０℃で２０
分間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させ
た。

【００８７】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。黒色樹脂ブラックマトリクスのイン
キ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は
見られなかった。

【００８８】基板を２８０℃で１時間の加熱処理を行
い、ブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくし
た後、トップコートとしてアクリル系トップコート剤を
スピンナーで塗布した。塗布後９０℃で１０分乾燥した
後、２００℃で６０分加熱、硬化した。トップコートは
平坦に塗布できた。

【００８９】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で０．２μｍであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦
３であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【００９０】実施例６ 洗浄・乾燥したガラス基板上に以下の組成を有する黒色
樹脂液をスピナーで回転数５００ｒｐｍ、２秒、次いで
１０００ｒｐｍ、１０秒で塗布した。１５０℃で、３０
分加熱乾燥を行った後、下記の組成の感光性樹脂液をス
ピンナーで１０００ｒｐｍ、１０秒で塗布し、８０℃で
１０分加熱乾燥した。

【００９１】 ［黒色樹脂液組成］ ポリイミド“セミコファイン”ｓｐ７１０（東レ（株）製） ３０重量部 カーボンブラックＭＡ１００（三菱化成（株）製） １５重量部 Ｎ−メチルピロリドン ４０重量部 ［感光性樹脂液組成］ ポジ型フォトレジスト(Shipley "Micropsit"RC100 30CP) １００重量部 溶剤 (Shipley Thinner C) ４５重量部 シリコーン微粒子“トスパール”（東芝シリコーン（株）製） ５重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
１分間露光した後、Ｓｈｉｐｅｙ“Ｍｉｃｒｏｐｓｉ
ｔ”Ｄｅｖｅｒｏｐｅｒ／水＝１／５の現像液にて現像
した。このとき、現像液によって感光性樹脂層の現像と
同時に黒色樹脂層もエッチングされ、ガラス基板上にイ
ンキ反発性黒色樹脂ブラックマトリクスが形成された。

【００９２】上記手順で作製した黒色ブラックマトリク
スに対する後退接触角は水に対して７０．０°、実施例
１記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそれぞ
れ２５．０°、２２．０°、２０．０°であった。

【００９３】実施例１記載のインキを、黒色樹脂層の除
去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分にイ
ンクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それぞ
れの色に着色した後、１５０℃で２０分間加熱すること
により着色部のインキを熱硬化させた。続いてを行いブ
ラックマトリクスを硬化すると同時にブラックマトリク
スの表面の撥水・撥油性をなくす３００℃で３０分の熱
処理を行った。

【００９４】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。ブラックマトリクスのインキ反発性
は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は見られな
かった。

【００９５】トップコートとしてポリイミド樹脂（“セ
ミコファイン”ｓｐ９００、東レ）のＮメチルピロリド
ン３０ｗｔ％溶液をスピンナーで塗布した。塗布後１０
０℃で１０分乾燥した後、２８０℃で１時間加熱しイミ
ド化反応を完了した。トップコートは平坦に塗布でき
た。

【００９６】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で０．２μｍであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦
３であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【００９７】実施例７ （Ｎ−トリメトキシシルプロピル）ポリエチレンイミン
（ＰＳ０７６、チッソ（株）製）のエタノール０．２重
量％溶液をプライマ液として準備した。これを洗浄・乾
燥したガラス基板上にスピナーで回転数１５００ｒｐ
ｍ、１０秒で塗布した後、１５０℃で１０分の条件で乾
燥して接着層を設けた。次いで、以下の組成の光溶解型
黒色感光性樹脂液を塗布し、６０℃熱風中で乾燥し、厚
さ２μｍの感光性樹脂層を設けた。

【００９８】 ［黒色感光性樹脂液組成］ エステル化度４５％のフェノールノボラック樹脂（住友ベークライト製“ス ミレジン”ＰＲ５０２３５）のナフトキノン１，２−ジアジド５−スルホン酸エ ステル）分子量約１３００） １０．０重量部 カーボンブラックＭＡ１００（三菱化成（株）製） ３．５重量部 フッ素系界面活性剤“ＥＦＴＯＰ”ＥＦ−１２３Ａ−１ （（株）トーケムプロダクツ製） ０．７重量部 フッ素系界面活性剤“ＭＥＧＡＦＡＣ”Ｆ−１７９ （大日本インキ化学工業（株）製） ３．５重量部 １，４−ジオキサン ８２．３重量部 次に所定のパタータンマスクを真空密着し、ケミカル灯
で２１０ｍＪ／ｃｍ²露光した後ＮａＯＨ２ｗｔ％水溶
液で現像し、露光部の黒色感光性樹脂層を除去した。続
いて１５０℃、３０分の熱処理をおこなった。以上の操
作によりガラス基板上にインキ反発製黒色樹脂ブラック
マトリクスが形成された。

【００９９】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して１００．０°、
実施例１記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対して
それぞれ５０．０°、５０．０°、２０．０°であっ
た。

【０１００】実施例１と同一組成からなるインキを、黒
色樹脂層の除去された部分の赤、緑、青の画素を形成す
べき部分にインクジェット式インキ噴射装置を用いて噴
射し、それぞれの色に着色した。

【０１０１】これらのインキ着色後、１５０℃で２０分
間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させた。

【０１０２】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。黒色樹脂ブラックマトリクスのイン
キ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は
見られなかった。

【０１０３】基板をエタノール洗浄、乾燥してブラック
マトリクスの表面の撥水・撥油性をなくした後、トップ
コートとしてポリイミド樹脂（“セミコファイン”ｓｐ
９００、東レ）のＮメチルピロリドン３０ｗｔ％溶液を
スピンナーで塗布した。塗布後１００℃で１０分乾燥し
た後、２８０℃で１時間加熱しイミド化反応を完了し
た。トップコートは平坦に塗布できた。

【０１０４】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で０．２μｍであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦
３であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【０１０５】実施例８ 洗浄・乾燥したガラス基板上に以下の組成を有する光溶
解型黒色感光性樹脂液をスピナーで回転数５００ｒｐ
ｍ、１０秒、次いで３０００ｒｐｍ、３０秒で塗布した
後、８０℃で、３０分間プリベークを行った。

【０１０６】 ［黒色感光性樹脂液組成］ 光溶解型ポリイミド １０重量部

【化３】 ポリフッ化ビニリデン ５重量部 カーボンブラックＭＡ１００（三菱化成（株）製） ５重量部 Ｎ−メチルピロリドン ８０重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
２００ｍＪ／ｃｍ²露光した後、ＮａＯＨ２ｗｔ％水溶
液で現像し、露光部の黒色感光性樹脂層を除去した。続
いて１５０℃、３０分の熱処理をおこなった。以上の操
作により、ガラス基板上にインキ反発性黒色樹脂ブラッ
クマトリクスが形成された。

【０１０７】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して７０．０°、実
施例１記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそ
れぞれ２５．０°、２２．０°、２０．０°であった。

【０１０８】実施例１と同一組成からなるインキを、黒
色樹脂層の除去された部分の赤、緑、青の画素を形成す
べき部分にインクジェット式インキ噴射装置を用いて噴
射し、それぞれの色に着色した。インキはインクジェッ
トに適しており、良好な噴射ができた。黒色樹脂ブラッ
クマトリクスのインキ反発性は良好であり、滲み、はみ
出し、各色の混合は見られなかった。

【０１０９】これらのインキ着色後、１５０℃で２０分
間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させた。
続いて窒素雰囲気中１５０℃から３００℃に３〜５℃／
ｍｉｎで昇温し、３００℃で３０分の加熱処理（ブラッ
クマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくす基板処理）
を兼ねたポリイミドキュアを行い、ブラックマトリクス
を厚さ１．５μｍの層とした。

【０１１０】トップコートとしてシリカ系コーティング
剤のプロピレングリコールモノメチルエーテル２０ｗｔ
％溶液をスピンナーで塗布した。塗布後１００℃で１０
分乾燥した後、３００℃て１時間加熱し硬化させた。ト
ップコートは平坦に塗布できた。

【０１１１】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で０．２μｍであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦
３であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【０１１２】実施例９ （Ｎ−トリメトキシシルプロピル）ポリエチレンインン
（ＰＳ０７６、チッソ（株）製）のエタノール０．２重
量％溶液をプライマ液として準備した。これを洗浄・乾
燥したガラス基板上にスピナーで回転数１５００ｒｐ
ｍ、１０秒で塗布した後、１５０℃で１０分の条件で乾
燥して接着層を設けた。次いで、以下の組成の光溶解型
黒色感光性樹脂液を塗布し、６０℃熱風中で乾燥し、厚
さ２μｍの感光性樹脂層を設けた。

【０１１３】 ［黒色感光性樹脂液組成］ エステル化度４５％のフェノールノボラック樹脂（住友ベークライト製“ス ミレジン”ＰＲ５０２３５）のナフトキノン１，２−ジアジド５−スルホン酸エ ステル）分子量約１３００） １０．０重量部 カーボンブラックＭＡ１００（三菱化成（株）製） ３．５重量部 ４フッ化エチレン微粒子“ルブロン”ＬＤ−１００ （ダイキン工業（株）製） １．４重量部 １，４−ジオキサン ８５．１重量部 次に所定のパタータンマスクを真空密着し、ケミカル灯
で２１０ｍＪ／ｃｍ²露光した後ＮａＯＨ２ｗｔ％水溶
液で現像し、露光部の黒色感光性樹脂層を除去した。続
いて１５０℃、３０分の熱処理をおこなった。以上の操
作により、ガラス基板上にインキ反発製黒色樹脂ブラッ
クマトリクスが形成された。

【０１１４】上記手順で作製した黒色ブラックマトリク
スに対する後退接触角は水に対して７５．０°、実施例
３記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそれぞ
れ４６．０°、４８．０°、２０．０°であった。

【０１１５】上記組成を有する黒色樹脂ブラックマトリ
クス付きガラス基板の、黒色樹脂除去部分のうち、赤、
緑、青、各色に対応する画素部分を、実施例３記載のイ
ンキと「東レ水なし平版」を用いた平版平型オフセット
印刷を用いてそれぞれの色に順に印刷して着色した。イ
ンキは水なし印刷性が良好であり、ブラックマトリクが
十分な反発性を示し、滲み、はみ出し、各色の混合は見
られなかった。

【０１１６】基板を３００℃で１時間の加熱処理を行
い、ブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくし
た後、トップコートとしてアクリル系トップコート剤を
スピンナーで塗布した。塗布後９０℃で１０分乾燥した
後、２００℃で６０分加熱、硬化した。トップコートは
平坦に塗布できた。

【０１１７】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で０．２μｍであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦
３であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【０１１８】実施例１０ 洗浄・乾燥したガラス基板上に以下の組成を有する光溶
解型黒色感光性樹脂液をスピナーで回転数５００ｒｐ
ｍ、１０秒、次いで３０００ｒｐｍ、３０秒で塗布した
後、８０℃で３０分間プリベークを行った。

【０１１９】 ［黒色感光性樹脂液組成］ 光溶解型ポリイミド（実施例８記載） １０重量部 シリコーン微粒子“トスパール”（東芝シリコーン（株）製） ５重量部 カーボンブラックＭＡ１００（三菱化成（株）製） ５重量部 Ｎ−メチルピロリドン ８０重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
２００ｍＪ／ｃｍ² 露光した後、ＮａＯＨ２ｗｔ％水溶
液で現像し、露光部の黒色感光性樹脂層を除去した。続
いて１５０℃、３０分の熱処理をおこなった。以上の操
作により、ガラス基板上にインキ反発性黒色樹脂ブラッ
クマトリクスが形成された。

【０１２０】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して７０．０°、実
施例１記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそ
れぞれ２５．０°、２２．０°、２０．０°であった。

【０１２１】実施例１と同一組成からなるインキを、黒
色樹脂層の除去された部分の赤、緑、青の画素を形成す
べき部分にインクジェット式インキ噴射装置を用いて噴
射し、それぞれの色に着色した。

【０１２２】これらのインキで着色後、１５０℃で２０
分間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させ
た。続いて窒素雰囲気中１５０℃から３００℃に３〜５
℃／ｍｉｎで昇温し、３００℃で３０分の熱処理を行っ
てブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくし、
ブラックマトリクスを厚さ１．５μｍの層とした。

【０１２３】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。黒色樹脂ブラックマトリクスのイン
キ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は
見られなかった。

【０１２４】トップコートとしてアクリル系トップコー
ト剤をスピンナーで塗布した。塗布後９０℃で１０分乾
燥した後、２００℃で６０分加熱、硬化した。トップコ
ートは平坦に塗布できた。

【０１２５】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚は最大で０．２μｍであった。各画素の色ム
ラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦３
であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【０１２６】実施例１１ 洗浄・乾燥したガラス基板上に、以下の組成を有するイ
ンキ反発性黒色樹脂液をスピナーで回転数５００ｒｐ
ｍ、２秒、次いで１０００ｒｐｍで１０秒で塗布し、８
０℃で１５分間加熱した。

【０１２７】 ［インキ反発性黒色樹脂液組成］ エポキシ樹脂（三井石油化学（株）“エポミック”Ｒ３０１）３０重量部 カーボンブラックＭＡ１００（三菱化成（株）製） ２０重量部 フッ素系界面活性剤“ＥＦＴＯＰ”ＥＦ−１２３Ａ−１ （（株）トーケムプロダクツ製） ３重量部 フッ素系界面活性剤“ＭＥＧＡＦＡＣ”Ｆ−１７９ （大日本インキ化学工業（株）製） １００重量部 次にその上に以下の組成を有する感光性樹脂液をスピナ
ーをスピナーで１０００ｒｐｍで１０秒塗布し、８０℃
で、３０分間加熱乾燥した。

【０１２８】 ［感光性樹脂溶液組成］ ポジ型フォトレジスト(Shipley "Micropsit"RC100 30CP) １００重量部 溶剤 (Shipley Thinner C) ４３重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
１分間露光した後、Ｓｈｉｐｅｙ“Ｍｉｃｒｏｐｓｉ
ｔ”Ｄｅｖｅｒｏｐｅｒ／水＝１／５の現像液にて現像
をおこない感光性樹脂層のパターンを得た。次に、感光
性樹脂層除去部分のインキ反発性黒色樹脂層をトルエン
でエッチングし、所定のパターンにインキ反発性黒色樹
脂を除去した。感光性樹脂層を５％水酸化ナトリウム水
溶液で除去した後、１５０℃で２０分加熱硬化してガラ
ス基板上にインキ反発性黒色樹脂ブラックマトリクスを
得た。

【０１２９】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して１００．０°、
実施例１記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対して
それぞれ５０．０°、５０．０°、２０．０°であっ
た。

【０１３０】実施例１と同一組成からなるインキを、黒
色樹脂層の除去された部分の赤、緑、青の画素を形成す
べき部分にインクジェット式インキ噴射装置を用いて噴
射し、それぞれの色に着色した。

【０１３１】これらのインキで着色後、１５０℃で２０
分間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させ
た。

【０１３２】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。インキ反発性樹脂ブラックマトリク
スのインキ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色
の混合は見られなかった。

【０１３３】基板をイソプロパノール洗浄、乾燥してブ
ラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくした後、
トップコートとしてポリイミド樹脂（“セミコファイ
ン”ｓｐ９００、東レ）のＮメチルピロリドン３０ｗｔ
％溶液をスピンナーで塗布した。塗布後１００℃で１０
分乾燥した後、２８０℃で１時間加熱処理しイミド化反
応を完了した。トップコートは平坦に塗布できた。

【０１３４】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で０．２μｍであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦
３であり、高品質のカラーフィルタ得た。

【０１３５】実施例１２ 洗浄・乾燥したガラス基板上に以下の組成を有する黒色
樹脂液をスピナ−で回転数500rpm、 2秒、次いで1000rp
m 、10秒で塗布した。150 ℃で、30分加熱乾燥を行った
後、下記の組成の感光性樹脂液をスピンナーで1000rpm
、10秒で塗布し、80℃で10分加熱乾燥した。

【０１３６】 ［黒色樹脂液組成］ ポリイミド“セミコファイン”sp710(東レ（株）製） 30 重量部 カ−ボンブラックＭＡ１００（三菱化成（株）製） 15 重量部 Ｎ−メチルピロリドン 40 重量部 ［感光性樹脂液組成］ ポジ型フォトレジスト（東京応化 6030） 52.1 重量部 溶剤 （Shipley Thinner C ） 41.0 重量部 フッ素系界面活性剤“ＥＦＴＯＰ” EF-123A-1 （（株）ト−ケムプロダクツ製） 0.4 重量部 フッ素系界面活性剤“ＭＥＧＡＦＡＣ” F-179 （大日本インキ化学工業（株）製） 6.5 重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
１分間露光した後、Shipley "Microposit" Deveroper／
水＝１／６の現像液にて現像した。このとき、現像液に
よって感光性樹脂層の現像と同時に黒色樹脂層もエッチ
ングされ、ガラス基板上にインキ反発性黒色樹脂ブラッ
クマトリクスが形成された。

【０１３７】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して70.0°、実施例
１記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそれぞ
れ25.0°、22.0°、20.0°であった。

【０１３８】実施例１記載のインキを、黒色樹脂層の除
去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分にイ
ンクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それぞ
れの色に着色した後、150 ℃で20分間加熱することによ
り着色部のインキを熱硬化させた。続いて300 ℃で30分
の熱処理を行いブラックマトリクスを硬化すると同時に
基板処理を行い、ブラックマトリクス表面の撥水・撥油
性をなくした。

【０１３９】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。ブラックマトリクスのインキ反発性
は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は見られな
かった。

【０１４０】トップコートとしてポリイミド樹脂（“セ
ミコファイン”ｓｐ９００、東レ）のＮメチルピロリド
ン３０ｗｔ％溶液をスピンナーで塗布した。塗布後１０
０℃で１０分乾燥した後、２８０℃で１時間加熱しイミ
ド化反応を完了した。トップコートは平坦に塗布でき
た。

【０１４１】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で 0.2μm であった。各画素の色ム
ラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦３
であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【０１４２】実施例１３ 洗浄・乾燥したガラス基板上に以下の組成を有する黒色
樹脂液をスピナ−で回転数500rpm、 2秒、次いで1000rp
m 、10秒で塗布した。150 ℃で、30分加熱乾燥を行った
後、下記の組成の感光性樹脂液をスピンナーで1000rpm
、10秒で塗布し、80℃で10分加熱乾燥した。

【０１４３】 ［黒色樹脂液組成］ ポリイミド“セミコファイン”sp710(東レ（株）製） 30 重量部 カ−ボンブラックＭＡ１００（三菱化成（株）製） 15 重量部 Ｎ−メチルピロリドン 40 重量部 ［感光性樹脂液組成］ ポジ型フォトレジスト（Shipley "Microposit" RC100 30CP） 70 重量部 溶剤 （Shipley Thinner C ） 30 重量部 フッ素系界面活性剤“ＥＦＴＯＰ” EF-123A-1 （（株）トーケムプロダクツ製） 0.70 重量部 フッ素系界面活性剤“ＭＥＧＡＦＡＣ” F-179 （大日本インキ化学工業（株）製） 3.50 重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
１分間露光した後、Shipley "Microposit" Deveroper／
水＝１／６の現像液にて現像した。このとき、現像液に
よって感光性樹脂層の現像と同時に黒色樹脂層もエッチ
ングされ、ガラス基板上にインキ反発性黒色樹脂ブラッ
クマトリクスが形成された。

【０１４４】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して70.0°、実施例
１記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそれぞ
れ25.0°、22.0°、20.0°であった。

【０１４５】実施例１記載のインキを、黒色樹脂層の除
去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分にイ
ンクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それぞ
れの色に着色した後、150 ℃で20分間加熱することによ
り着色部のインキを熱硬化させた。

【０１４６】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。ブラックマトリクスのインキ反発性
は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は見られな
かった。

【０１４７】基板をエタノール洗浄、乾燥してブラック
マトリクスの表面の撥水・撥油性をなくした後、トップ
コートとしてポリイミド樹脂（“セミコファイン”ｓｐ
９００、東レ）のＮメチルピロリドン３０ｗｔ％溶液を
スピンナーで塗布した。塗布後１００℃で１０分乾燥し
た後、２８０℃で１時間加熱しイミド化反応を完了し
た。トップコートは平坦に塗布できた。

【０１４８】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で 0.2μm であった。各画素の色ム
ラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦３
であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【０１４９】実施例１４ 画素部分を着色するワニスとしてアクリル樹脂前駆体溶
液 10.0重量部、ブリリアントカーミン６Ｂ 0.5重量
部、溶剤 7.0重量部を混練して赤ワニスを得た。緑ワニ
スの場合はフタロシアニングリーン、青ワニスの場合は
フタロシアニンブルーを使用して調製した。

【０１５０】実施例１において作製した、黒色樹脂ブラ
ックマトリクスに対する後退接触角は水に対して 100.0
°、上記赤、緑、青の各ワニスに対してそれぞれ34.0
°、32.0°、20.0°であった。

【０１５１】実施例１記載の、黒色樹脂ブラックマトリ
クス付きガラス基板に、上記ワニスの第１色目をスピン
ナーで塗布し、80℃で10分間プリベーク処理をした後、
下記の組成の感光性樹脂液をスピンナーで1000rpm 、10
秒で塗布し、80℃で10分加熱乾燥した。

【０１５２】 ［感光性樹脂液組成］ ポジ型フォトレジスト（Shipley "Microposit" RC100 30CP） 70 重量部 溶剤 （Shipley Thinner C ） 30 重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
１分間露光した後、Shipley "Microposit" Deveroper／
水＝１／６の現像液にて現像した。このとき、現像液に
よって感光性樹脂層の現像と同時に下層もエッチングに
よってパターンニングし、第１色目に対応する画素部分
を着色した。その層を 150℃で30分間ポストベーク処理
をした。同様にして第２色目、第３色目を形成した。黒
色樹脂ブラックマトリクスのワニス反発性は良好であ
り、ブラックマトリクスの上に段差がない、精度の良い
画素パターンが形成できた。

【０１５３】基板を２８０℃で１時間の加熱処理を行
い、ブラックマトリクス表面の撥水・撥油性をなくした
後、トップコートとしてポリイミド樹脂（セミコファイ
ンｓｐ９００、東レ）のＮメチルピロリドン３０ｗｔ％
溶液をスピンナーで塗布した。塗布後１００℃で１０分
乾燥した後、２８０℃で１時間加熱しイミド化反応を完
了した。トップコートは平坦に塗布できた。

【０１５４】画素間の段差をを触針式膜厚計で測定した
ところ、膜厚差は最大で 0.2μm であった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔＥ≦
３であり、高品質のカラーフィルターを得た。

【０１５５】

【発明の効果】本発明によると、カラーフィルタの製造
において、インキ滲みや混色が確実に防止され、かつ十
分な平坦性を持ったカラーフィルタを提供することがで
きる。これによって印刷法やインクジェット法を用い
て、非常に高精度なカラーフィルタを得ることができ
る。

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明基板上の所定位置に、複数色の画素
   および、該画素の間隙にブラックマトリクスが形成され
   たカラーフィルタの製造方法において、ブラックマトリ
   クスおよび画素をいずれかの表面が撥水・撥油性を有す
   るように形成した後に、該撥水・撥油性をなくす基板処
   理の工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造
   方法。
2. 【請求項２】 インキ反発性樹脂組成物を用いて表面が
   撥水・撥油性を有するブラックマトリクスを形成した後
   に、着色インキを用いて画素を形成することを特徴とす
   る請求項１記載のカラーフィルタの製造方法。
3. 【請求項３】 該ブラックマトリクスの表面が画素形成
   時に画素を形成するための着色インキに対し２０°以上
   の後退接触角をもつインキ反発性を有することを特徴と
   する請求項２記載のカラーフィルタの製造方法。
4. 【請求項４】 該基板処理が加熱処理であることを特徴
   とする請求項１記載のカラーフィルタの製造方法。
5. 【請求項５】 該基板処理が溶剤による処理であること
   を特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの製造方
   法。
6. 【請求項６】 該基板処理に用いられる溶剤が、撥水・
   撥油性を有する成分を溶解するものであることを特徴と
   する請求項５記載のカラーフィルタの製造方法。
7. 【請求項７】 該基板処理に用いられる溶剤が、エタノ
   ールであることを特徴とする請求項６記載のカラーフィ
   ルタの製造方法。
8. 【請求項８】 該基板処理に用いられる溶剤が、イソプ
   ロパノールであることを特徴とする請求項６記載のカラ
   ーフィルタの製造方法。
9. 【請求項９】 該ブラックマトリクスを構成するインキ
   反発性樹脂組成物が、含フッ素化合物および／または含
   ケイ素化合物を含有することを特徴とする請求項２記載
   のカラーフィルタの製造方法。
10. 【請求項１０】 含フッ素化合物が、含フッ素基と、親
    水基および／または親油基を有するモノマまたはオリゴ
    マであることを特徴とする請求項９記載のカラーフィル
    タの製造方法。
11. 【請求項１１】 含フッ素基と、親水基および／または
    親油基を有するモノマまたはオリゴマが、 一般式Rf-X-Rf'、または 一般式(Rf-X-R)-Y-(R'-X'-Rf') で表わされる化合物であることを特徴とする請求項１０
    記載のカラーフィルタの製造方法。（ここでRfおよびR
    f' はフルオロアルキル基、R およびR'はアルキレン基
    を表し、RfとRf' また、R とR'は同一でも異なっていて
    も良い。また、X,X'およびY は、-COO-,-OCOO-,-CONR"
    -,-OCONR"-,-SO2NR"-,-CONH-,SO2-,-SO2O-,-O-,-NR"-,-
    S-,-CO-,-OSO2O-,-OPO(OH)O- のうちいずれかを表し、
    X,X'およびY は同一でも異なっていても良い。R"はアル
    キル基または水素を表す。）
12. 【請求項１２】 含フッ素化合物がフッ素原子を有する
    高分子化合物であることを特徴とする請求項９記載のカ
    ラーフィルタの製造方法。
13. 【請求項１３】 フッ素原子を有する高分子化合物が、
    ブラックマトリクス中に溶解状態または分子オーダーで
    の混合状態で含有されていることを特徴とする請求項１
    ２記載のカラーフィルタの製造方法。
14. 【請求項１４】 フッ素原子を有する高分子化合物が、
    ブラックマトリクス中に微粒子状の分散状態で含有され
    ていることを特徴とする請求項１１記載のカラーフィル
    タの製造方法。
15. 【請求項１５】 含ケイ素組成物が、シリコーン微粒子
    であることを特徴とする請求項９記載のカラーフィルタ
    の製造方法。
16. 【請求項１６】 シリコーン微粒子がブラックマトリク
    ス中に分散状態で含有されていることを特徴とする請求
    項１５記載のカラーフィルタの製造方法。
17. 【請求項１７】 ブラックマトリクスがアクリル酸、メ
    タクリル酸またはこれらのエステル化物の重合体を含有
    することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの
    製造方法。
18. 【請求項１８】 ブラックマトリクスが、ポリイミド樹
    脂を含有することを特徴とする請求項１記載のカラーフ
    ィルタの製造方法。
19. 【請求項１９】 ブラックマトリクスが、メラミン樹脂
    を含有することを特徴とする請求項１記載のカラーフィ
    ルタの製造方法。
20. 【請求項２０】 インキ反発性樹脂組成物が、ナフトキ
    ノンジアジド基を有する樹脂を含有することを特徴とす
    る請求項２記載のカラーフィルタの製造方法。
21. 【請求項２１】 着色インキを用いて着色する方法が、
    インクジェット式インキ噴射装置を用いた方法であるこ
    とを特徴とする請求項２記載のカラーフィルタの製造方
    法。
22. 【請求項２２】 着色インキを用いて着色する方法が、
    フォトリソグラフィー法であることを特徴とする請求項
    ２記載のカラーフィルタの製造方法。
23. 【請求項２３】 着色インキを用いて着色する方法が、
    印刷法であることを特徴とする請求項２記載のカラーフ
    ィルタの製造方法。
24. 【請求項２４】 請求項１〜２３のいずれかに記載の液
    晶表示用カラーフィルタの製造方法。