JPH07235655A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- JPH07235655A JPH07235655A JP6318726A JP31872694A JPH07235655A JP H07235655 A JPH07235655 A JP H07235655A JP 6318726 A JP6318726 A JP 6318726A JP 31872694 A JP31872694 A JP 31872694A JP H07235655 A JPH07235655 A JP H07235655A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/148—Charge coupled imagers
- H01L27/14806—Structural or functional details thereof
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】色フィルタ板に起因するモアレを低減できる固
体撮像装置を提供すること。 【構成】半導体基板に形成され、光電変換して得られた
信号電荷を蓄積する複数の受光蓄積部と、受光蓄積部に
蓄積された信号電荷を読み出す信号電荷読み出し部と、
読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直ＣＣＤ
レジスタ部と、垂直ＣＣＤレジスタ部の信号電荷読み出
し端に接続し、垂直ＣＣＤレジスタ部から読み出された
信号電荷を水平方向に転送する水平レジスタ部と、色フ
ィルタ５G、５R 、５B を列方向に規則的に配列してな
る行色フィルタを、隣接する行色フィルタの各色フィル
タが列方向に１．５画素ずれるべく、行方向に複数個配
列してなる色フィルタ板とを備えている。
体撮像装置を提供すること。 【構成】半導体基板に形成され、光電変換して得られた
信号電荷を蓄積する複数の受光蓄積部と、受光蓄積部に
蓄積された信号電荷を読み出す信号電荷読み出し部と、
読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直ＣＣＤ
レジスタ部と、垂直ＣＣＤレジスタ部の信号電荷読み出
し端に接続し、垂直ＣＣＤレジスタ部から読み出された
信号電荷を水平方向に転送する水平レジスタ部と、色フ
ィルタ５G、５R 、５B を列方向に規則的に配列してな
る行色フィルタを、隣接する行色フィルタの各色フィル
タが列方向に１．５画素ずれるべく、行方向に複数個配
列してなる色フィルタ板とを備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置に係り、
特に単板式のカラー固体撮像装置に関する。
特に単板式のカラー固体撮像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、電荷結合素子の発達によって、テ
レビジョンカメラやスチルカメラなどの撮像機器の小型
化、軽量化が進んでいる。この種の電荷結合素子を利用
した固体撮像装置は、入力光を光電変換して得られた信
号電荷を蓄積するフォトダイオード・アレイと、このフ
ォトダイオード・アレイの信号電荷を転送する垂直ＣＣ
Ｄレジスタ部および水平ＣＣＤレジスタ部とにより構成
されている。
レビジョンカメラやスチルカメラなどの撮像機器の小型
化、軽量化が進んでいる。この種の電荷結合素子を利用
した固体撮像装置は、入力光を光電変換して得られた信
号電荷を蓄積するフォトダイオード・アレイと、このフ
ォトダイオード・アレイの信号電荷を転送する垂直ＣＣ
Ｄレジスタ部および水平ＣＣＤレジスタ部とにより構成
されている。
【０００３】図２１は従来の固体撮像装置の構成を示す
模式図であり、図２２は図２１の固体撮像装置の画素部
の矢視Ｘ−Ｘ´断面図である。図２１において、６１は
光電変換して得られた信号電荷を蓄積する受光蓄積部を
示しており、この信号電荷は信号電荷転送部６２からな
る垂直ＣＣＤレジスタ部５０によって垂直方向に転送さ
れ、更に、水平ＣＣＤレジスタ５１によって水平方向に
転送された後、信号電荷検出部５２に導入される。
模式図であり、図２２は図２１の固体撮像装置の画素部
の矢視Ｘ−Ｘ´断面図である。図２１において、６１は
光電変換して得られた信号電荷を蓄積する受光蓄積部を
示しており、この信号電荷は信号電荷転送部６２からな
る垂直ＣＣＤレジスタ部５０によって垂直方向に転送さ
れ、更に、水平ＣＣＤレジスタ５１によって水平方向に
転送された後、信号電荷検出部５２に導入される。
【０００４】図２２において、６０は半導体基板を示し
ており、この半導体基板６０の表面には、受光蓄積部６
１であるｎ型不純物層６１と、信号電荷転送部６２であ
るｎ型不純物層６２と、素子分離層であるｐ型不純物層
６３とが形成されている。
ており、この半導体基板６０の表面には、受光蓄積部６
１であるｎ型不純物層６１と、信号電荷転送部６２であ
るｎ型不純物層６２と、素子分離層であるｐ型不純物層
６３とが形成されている。
【０００５】半導体基板６０の上方には、信号電荷読み
出し電極６４と、信号電荷転送電極６５と、遮光層６７
とが設けられており、これらは絶縁層６６によって互い
に分離されている。そして、絶縁層６６の上方には色フ
ィルタ板６８、マイクロレンズ６９が設けられている。
出し電極６４と、信号電荷転送電極６５と、遮光層６７
とが設けられており、これらは絶縁層６６によって互い
に分離されている。そして、絶縁層６６の上方には色フ
ィルタ板６８、マイクロレンズ６９が設けられている。
【０００６】図２３は、従来の他の固体撮像装置の画素
部を示す断面図である。これは積層型の固体撮像装置を
示しており、図中、７０は半導体基板であり、この半導
体基板７０の表面には、信号電荷蓄積部である低濃度の
ｎ型不純物層７１と、信号電荷転送部である低濃度のｎ
型不純物層７２と、素子分離層である高濃度のｐ型不純
物層７３とが形成されている。
部を示す断面図である。これは積層型の固体撮像装置を
示しており、図中、７０は半導体基板であり、この半導
体基板７０の表面には、信号電荷蓄積部である低濃度の
ｎ型不純物層７１と、信号電荷転送部である低濃度のｎ
型不純物層７２と、素子分離層である高濃度のｐ型不純
物層７３とが形成されている。
【０００７】半導体基板７０の上方には、信号電荷読み
出し電極７４と、信号電荷転送電極７５と、引き出し電
極７７とが設けられており、これらは絶縁層７６1 によ
って互いに分離されている。
出し電極７４と、信号電荷転送電極７５と、引き出し電
極７７とが設けられており、これらは絶縁層７６1 によ
って互いに分離されている。
【０００８】引き出し電極７７上には、絶縁層７６2 を
介して、画素電極７８と、水素化アモルファスシリコン
などの光導電体材料からなる光電変換膜７９と、この光
電変換膜７９に電圧を印加するための透明電極８０（例
えばＩＴＯ電極）と、遮光層８１と、色フィルタ８２
と、マイクロレンズ８３とが順次設けられている。
介して、画素電極７８と、水素化アモルファスシリコン
などの光導電体材料からなる光電変換膜７９と、この光
電変換膜７９に電圧を印加するための透明電極８０（例
えばＩＴＯ電極）と、遮光層８１と、色フィルタ８２
と、マイクロレンズ８３とが順次設けられている。
【０００９】図２４は、上記従来の固体撮像装置に用い
られている色フィルタ板の平面図である。この色フィル
タ板は３種類の色フィルタからなり、１列目には緑色フ
ィルタ５５G 、２列目には赤色フィルタ５５R 、３列目
には青色フィルタ５５B が並んでいる。すなわち、同じ
列には同じ色の色フィルタが配置されている。
られている色フィルタ板の平面図である。この色フィル
タ板は３種類の色フィルタからなり、１列目には緑色フ
ィルタ５５G 、２列目には赤色フィルタ５５R 、３列目
には青色フィルタ５５B が並んでいる。すなわち、同じ
列には同じ色の色フィルタが配置されている。
【００１０】このような従来の単板式のカラー固体撮像
装置にあっては、以下のような問題があった。すなわ
ち、各色信号（Ｒ信号、Ｇ信号、Ｂ信号）に対し感度無
効領域が生じ、その結果、入射光学像に対して空間サン
プリング点が減少し、モアレが目立つという問題があっ
た。
装置にあっては、以下のような問題があった。すなわ
ち、各色信号（Ｒ信号、Ｇ信号、Ｂ信号）に対し感度無
効領域が生じ、その結果、入射光学像に対して空間サン
プリング点が減少し、モアレが目立つという問題があっ
た。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述の如く、従来の単
板式カラー固体撮像装置には、色フィルタ板に起因する
モアレの問題があった。本発明は、上記事情を考慮して
なされたもので、その目的とするところは、色フィルタ
板に起因するモアレを低減できる固体撮像装置を提供す
ることにある。
板式カラー固体撮像装置には、色フィルタ板に起因する
モアレの問題があった。本発明は、上記事情を考慮して
なされたもので、その目的とするところは、色フィルタ
板に起因するモアレを低減できる固体撮像装置を提供す
ることにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る固体撮像装置（請求項１）は、半導
体基板に形成され、入力光を光電変換して得られた信号
電荷を蓄積する複数の受光蓄積部と、前記受光蓄積部に
隣接し、蓄積された信号電荷を読み出す信号電荷読出し
部と、前記読み出された信号電荷を垂直方向に転送する
垂直ＣＣＤレジスタ部と、前記垂直ＣＣＤレジスタ部の
信号電荷読み出し端に接続し、前記垂直ＣＣＤレジスタ
部から読み出された信号電荷を水平方向に転送する水平
レジスタ部と、前記受光蓄積部上に設けられ、複数色の
色フィルタを列方向に規則的に配列してなる行色フィル
タを、隣接する行色フィルタの各色フィルタが列方向に
１．５画素ずれるべく、行方向に複数個配列してなる色
フィルタ板とを備えたことを特徴とする。
めに、本発明に係る固体撮像装置（請求項１）は、半導
体基板に形成され、入力光を光電変換して得られた信号
電荷を蓄積する複数の受光蓄積部と、前記受光蓄積部に
隣接し、蓄積された信号電荷を読み出す信号電荷読出し
部と、前記読み出された信号電荷を垂直方向に転送する
垂直ＣＣＤレジスタ部と、前記垂直ＣＣＤレジスタ部の
信号電荷読み出し端に接続し、前記垂直ＣＣＤレジスタ
部から読み出された信号電荷を水平方向に転送する水平
レジスタ部と、前記受光蓄積部上に設けられ、複数色の
色フィルタを列方向に規則的に配列してなる行色フィル
タを、隣接する行色フィルタの各色フィルタが列方向に
１．５画素ずれるべく、行方向に複数個配列してなる色
フィルタ板とを備えたことを特徴とする。
【００１３】また、本発明に係る他の固体撮像装置（請
求項２）は、半導体基板に形成され、入力光を光電変換
して得られた信号電荷を蓄積する複数の信号電荷蓄積部
と、前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷を読み出
す信号電荷読出し部と、前記読み出された信号電荷を垂
直方向に転送する垂直ＣＣＤレジスタ部と、前記垂直Ｃ
ＣＤレジスタ部の信号電荷読出し端に接続し、前記垂直
ＣＣＤレジスタ部から読み出された信号電荷を水平方向
に転送する水平レジスタ部と、前記信号電荷蓄積部上に
設けられ、複数色の色フィルタを列方向に規則的に配列
してなる行色フィルタを、隣接する行色フィルタの各色
フィルタが列方向に１．５画素ずれるべく、行方向に複
数個配列してなる色フィルタ板とを備えており、前記偶
数行の行色フィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄積され
た信号電荷の読出し方向と、前記奇数行の行色フィルタ
下の前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷の読出し
方向とが互いに反対方向であることを特徴とする。
求項２）は、半導体基板に形成され、入力光を光電変換
して得られた信号電荷を蓄積する複数の信号電荷蓄積部
と、前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷を読み出
す信号電荷読出し部と、前記読み出された信号電荷を垂
直方向に転送する垂直ＣＣＤレジスタ部と、前記垂直Ｃ
ＣＤレジスタ部の信号電荷読出し端に接続し、前記垂直
ＣＣＤレジスタ部から読み出された信号電荷を水平方向
に転送する水平レジスタ部と、前記信号電荷蓄積部上に
設けられ、複数色の色フィルタを列方向に規則的に配列
してなる行色フィルタを、隣接する行色フィルタの各色
フィルタが列方向に１．５画素ずれるべく、行方向に複
数個配列してなる色フィルタ板とを備えており、前記偶
数行の行色フィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄積され
た信号電荷の読出し方向と、前記奇数行の行色フィルタ
下の前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷の読出し
方向とが互いに反対方向であることを特徴とする。
【００１４】また、本発明に係る他の固体撮像装置（請
求項３）は、上記発明（請求項２）前記色フィルタ板と
前記信号電荷蓄積部との間において、前記信号電荷蓄積
部上には、前記信号電荷蓄積部に電気的に接続された画
素電極と、この画素電極上で前記入力光を光電変換する
光電変換膜が設けられていることを特徴とする。
求項３）は、上記発明（請求項２）前記色フィルタ板と
前記信号電荷蓄積部との間において、前記信号電荷蓄積
部上には、前記信号電荷蓄積部に電気的に接続された画
素電極と、この画素電極上で前記入力光を光電変換する
光電変換膜が設けられていることを特徴とする。
【００１５】また、本発明に係る他の固体撮像装置（請
求項４）は、半導体基板に形成され、入力光を光電変換
して得られた信号電荷を蓄積する複数の信号電荷蓄積部
と、前記半導体基板の上方に設けられ、前記信号電荷蓄
積部に電気的に接続された画素電極と、前記画素電極上
に設けられた光電変換膜と、前記光導電膜上に設けられ
た透明電極と、前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電
荷を読み出す信号電荷読み出し部と、前記読み出された
信号電荷を垂直方向に転送する垂直ＣＣＤレジスタ部
と、前記垂直ＣＣＤレジスタ部の信号電荷読み出し端に
接続し、前記垂直ＣＣＤレジスタ部から読み出された信
号電荷を水平方向に転送する水平レジスタ部と、前記透
明電極上に設けられ、複数色の色フィルタを列方向に規
則的に配列してなる行色フィルタを、隣接する行色フィ
ルタの各色フィルタが列方向に１．５画素ずれるべく、
行方向に複数個配列してなる色フィルタ板と備えたこと
を特徴とする。
求項４）は、半導体基板に形成され、入力光を光電変換
して得られた信号電荷を蓄積する複数の信号電荷蓄積部
と、前記半導体基板の上方に設けられ、前記信号電荷蓄
積部に電気的に接続された画素電極と、前記画素電極上
に設けられた光電変換膜と、前記光導電膜上に設けられ
た透明電極と、前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電
荷を読み出す信号電荷読み出し部と、前記読み出された
信号電荷を垂直方向に転送する垂直ＣＣＤレジスタ部
と、前記垂直ＣＣＤレジスタ部の信号電荷読み出し端に
接続し、前記垂直ＣＣＤレジスタ部から読み出された信
号電荷を水平方向に転送する水平レジスタ部と、前記透
明電極上に設けられ、複数色の色フィルタを列方向に規
則的に配列してなる行色フィルタを、隣接する行色フィ
ルタの各色フィルタが列方向に１．５画素ずれるべく、
行方向に複数個配列してなる色フィルタ板と備えたこと
を特徴とする。
【００１６】また、本発明に係る他の固体撮像装置（請
求項５）は、上記発明（請求項４）において、前記色フ
ィルタ板が３色の色フィルタからなり、偶数行の前記行
色フィルタ下の信号電荷蓄積部と前記偶数行の色フィル
タの隣りの奇数行の前記行色フィルタ下の信号電荷蓄積
部とからなり、計三つの信号電荷蓄積部からなる三角形
状の画素に、互いに異なる三つの色信号を転送する３本
の転送路が設けられていることを特徴とする。
求項５）は、上記発明（請求項４）において、前記色フ
ィルタ板が３色の色フィルタからなり、偶数行の前記行
色フィルタ下の信号電荷蓄積部と前記偶数行の色フィル
タの隣りの奇数行の前記行色フィルタ下の信号電荷蓄積
部とからなり、計三つの信号電荷蓄積部からなる三角形
状の画素に、互いに異なる三つの色信号を転送する３本
の転送路が設けられていることを特徴とする。
【００１７】また、本発明に係る他の固体撮像装置（請
求項６）は、半導体基板に形成され、入力光を光電変換
して得られた信号電荷を蓄積する複数の信号電荷蓄積部
と、前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷を読み出
す信号電荷読出し部と、前記読み出された信号電荷を垂
直方向に転送する垂直ＣＣＤレジスタ部と、前記垂直Ｃ
ＣＤレジスタ部の信号電荷読出し端に接続し、前記垂直
ＣＣＤレジスタ部から読み出された信号電荷を水平方向
に転送する水平レジスタ部と、前記信号電荷蓄積部上に
設けられ、複数色の色フィルタを列方向に規則的に配列
してなる行色フィルタを、隣接する行色フィルタの各色
フィルタが列方向に１．５画素ずれるべく、行方向に複
数個配列してなる色フィルタ板とを備えており、前記偶
数行の行色フィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄積され
た信号電荷の読出し方向と、前記奇数行の行色フィルタ
下の前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷の読出し
方向とが互いに反対方向であり、かつ読み出された前記
信号電荷を前記水平レジスタ部に転送する転送路が直線
状に形成されていることを特徴とする。
求項６）は、半導体基板に形成され、入力光を光電変換
して得られた信号電荷を蓄積する複数の信号電荷蓄積部
と、前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷を読み出
す信号電荷読出し部と、前記読み出された信号電荷を垂
直方向に転送する垂直ＣＣＤレジスタ部と、前記垂直Ｃ
ＣＤレジスタ部の信号電荷読出し端に接続し、前記垂直
ＣＣＤレジスタ部から読み出された信号電荷を水平方向
に転送する水平レジスタ部と、前記信号電荷蓄積部上に
設けられ、複数色の色フィルタを列方向に規則的に配列
してなる行色フィルタを、隣接する行色フィルタの各色
フィルタが列方向に１．５画素ずれるべく、行方向に複
数個配列してなる色フィルタ板とを備えており、前記偶
数行の行色フィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄積され
た信号電荷の読出し方向と、前記奇数行の行色フィルタ
下の前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷の読出し
方向とが互いに反対方向であり、かつ読み出された前記
信号電荷を前記水平レジスタ部に転送する転送路が直線
状に形成されていることを特徴とする。
【００１８】また、本発明に係る他の固体撮像装置（請
求項７）は、上記発明（請求項１〜請求項６）におい
て、前記水平ＣＣＤ部が、前記偶数行の行色フィルタ下
の前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷を水平方向
に転送する第１の水平ＣＣＤ部と、前記奇数行の行色フ
ィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷を
水平方向に転送する第２の水平ＣＣＤ部とからなること
を特徴とする。
求項７）は、上記発明（請求項１〜請求項６）におい
て、前記水平ＣＣＤ部が、前記偶数行の行色フィルタ下
の前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷を水平方向
に転送する第１の水平ＣＣＤ部と、前記奇数行の行色フ
ィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷を
水平方向に転送する第２の水平ＣＣＤ部とからなること
を特徴とする。
【００１９】また、本発明に係る他の固体撮像装置（請
求項８）は、上記発明（請求項１〜請求項６）におい
て、前記水平ＣＣＤ部が、前記色フィルタの色数と同数
の水平ＣＣＤ部からなり、各水平ＣＣＤ部がそれぞれ異
なる色の色フィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄積され
た信号電荷を水平方向に転送することを特徴とする。
求項８）は、上記発明（請求項１〜請求項６）におい
て、前記水平ＣＣＤ部が、前記色フィルタの色数と同数
の水平ＣＣＤ部からなり、各水平ＣＣＤ部がそれぞれ異
なる色の色フィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄積され
た信号電荷を水平方向に転送することを特徴とする。
【００２０】
【作用】本発明によれば、隣接する行色フィルタの各色
フィルタが列方向に１．５画素ずれているため、隣接す
る行色フィルタ間の位相が１８０度ずれる。このため、
隣接する行色フィルタ間でモアレが相殺され、色フィル
タ板に起因するモアレが低減される。
フィルタが列方向に１．５画素ずれているため、隣接す
る行色フィルタ間の位相が１８０度ずれる。このため、
隣接する行色フィルタ間でモアレが相殺され、色フィル
タ板に起因するモアレが低減される。
【００２１】
【実施例】以下、図面を参照しながら実施例を説明す
る。 （第１の実施例）図１は本発明の第１の実施例に係わる
インターライン転送型の固体撮像装置の構成を示す模式
図であり、図２は図１の固体撮像装置の画素部の構成を
示す平面図である。
る。 （第１の実施例）図１は本発明の第１の実施例に係わる
インターライン転送型の固体撮像装置の構成を示す模式
図であり、図２は図１の固体撮像装置の画素部の構成を
示す平面図である。
【００２２】図１に示すように、この固体撮像装置は、
大きく分けて、マトリクス状に配列され、入力光を光電
変換して得られた信号電荷を蓄積する受光蓄積部１１
と、この受光蓄積部１１に隣接し、信号電荷を垂直方向
に転送する信号電荷転送部（信号電荷転送路）１３から
なる垂直ＣＣＤレジスタ部１と、この垂直ＣＣＤレジス
タ部１の読出し端に接続し、この読出し端に相当する数
だけ分割され、信号電荷を水平方向に転送する水平ＣＣ
Ｄレジスタ部２と、この水平ＣＣＤレジスタ部２の読出
し端に接続し、信号電荷を検出する信号電荷検出部３
と、受光蓄積部１１上に設置された色フィルタ（図示せ
ず）とからなる。なお、図中、４は信号電荷の読み出し
方向を示している。
大きく分けて、マトリクス状に配列され、入力光を光電
変換して得られた信号電荷を蓄積する受光蓄積部１１
と、この受光蓄積部１１に隣接し、信号電荷を垂直方向
に転送する信号電荷転送部（信号電荷転送路）１３から
なる垂直ＣＣＤレジスタ部１と、この垂直ＣＣＤレジス
タ部１の読出し端に接続し、この読出し端に相当する数
だけ分割され、信号電荷を水平方向に転送する水平ＣＣ
Ｄレジスタ部２と、この水平ＣＣＤレジスタ部２の読出
し端に接続し、信号電荷を検出する信号電荷検出部３
と、受光蓄積部１１上に設置された色フィルタ（図示せ
ず）とからなる。なお、図中、４は信号電荷の読み出し
方向を示している。
【００２３】また、図２に示すように、受光蓄積部１１
と信号電荷転送部１３との間には、信号電荷読出し部１
２が設けられ、また、各受光蓄積部１１は素子分離層１
４によって分離されている。
と信号電荷転送部１３との間には、信号電荷読出し部１
２が設けられ、また、各受光蓄積部１１は素子分離層１
４によって分離されている。
【００２４】図３は、本実施例の固体撮像装置に用いら
れている色フィルタ板の平面図である。この色フィルタ
板は３種類のＧ（緑）色フィルタ５G 、Ｒ（赤）色フィ
ルタ５R 、Ｂ（青）色フィルタ５B からなり、その下に
は従来通りに受光蓄積部が位置している。
れている色フィルタ板の平面図である。この色フィルタ
板は３種類のＧ（緑）色フィルタ５G 、Ｒ（赤）色フィ
ルタ５R 、Ｂ（青）色フィルタ５B からなり、その下に
は従来通りに受光蓄積部が位置している。
【００２５】本実施例の色フィルタ板の特徴は、Ｇ色フ
ィルタ５G 、Ｒ色フィルタ５R 、Ｂ色フィルタ５B を列
方向に規則的に配列してなる行色フィルタを、隣接する
行色フィルタの各色フィルタが列方向に１．５画素ずれ
るべく、行方向に複数個配列されていることにある。換
言すれば、各色の色フィルタが偶数行と奇数行とで１．
５画素ずれていることにある。
ィルタ５G 、Ｒ色フィルタ５R 、Ｂ色フィルタ５B を列
方向に規則的に配列してなる行色フィルタを、隣接する
行色フィルタの各色フィルタが列方向に１．５画素ずれ
るべく、行方向に複数個配列されていることにある。換
言すれば、各色の色フィルタが偶数行と奇数行とで１．
５画素ずれていることにある。
【００２６】このように同色の色フィルタが偶数行と奇
数行とで１．５画素ずれている色フィルタ板を用いれ
ば、偶数行と奇数行とで位相が１８０度ずれる。したが
って、隣接する行色フィルタ間でモアレが相殺され、色
フィルタ間に起因するモアレが減少する。
数行とで１．５画素ずれている色フィルタ板を用いれ
ば、偶数行と奇数行とで位相が１８０度ずれる。したが
って、隣接する行色フィルタ間でモアレが相殺され、色
フィルタ間に起因するモアレが減少する。
【００２７】さらに、従来は同一の列で偶数行とそれに
接続する奇数色では同一のいろフィルタであるのに対
し、本発明では１．５画素ずれることによりＲ・Ｇ・Ｂ
色信号と輝度信号とが２倍の画素数となるため、水平解
像度が高くなる。 （第２の実施例）次に本発明の第２の実施例に係わる固
体撮像装置について説明する。本実施例の固体撮像装置
は、先の実施例のそれを改善したものである。
接続する奇数色では同一のいろフィルタであるのに対
し、本発明では１．５画素ずれることによりＲ・Ｇ・Ｂ
色信号と輝度信号とが２倍の画素数となるため、水平解
像度が高くなる。 （第２の実施例）次に本発明の第２の実施例に係わる固
体撮像装置について説明する。本実施例の固体撮像装置
は、先の実施例のそれを改善したものである。
【００２８】すなわち、第１の実施例の固体撮像装置で
は、偶数行の受光蓄積部１１と奇数行の受光蓄積部１１
とが同じ信号電荷転送部１３を共有しているため、図２
に示すように、信号電荷転送部１３は大きく曲がって形
成されてしまう。このため、信号電荷転送部１３が一部
で狭くなるので、転送効率が悪くなったり、飽和信号量
が少なくなったりする。
は、偶数行の受光蓄積部１１と奇数行の受光蓄積部１１
とが同じ信号電荷転送部１３を共有しているため、図２
に示すように、信号電荷転送部１３は大きく曲がって形
成されてしまう。このため、信号電荷転送部１３が一部
で狭くなるので、転送効率が悪くなったり、飽和信号量
が少なくなったりする。
【００２９】図４はこのような問題を考慮した固体撮像
装置の構成を示す模式図であり、図５は図４の固体撮像
装置の画素部の構成を示す平面図である。なお、図１、
図２の固体撮像装置と対応する部分には図１、図２と同
一符号を付してあり、詳細な説明は省略する。また、図
４、図５以外の以下の他の図においても、対応する部分
には前出した図と同一符号（添字が異なるものを含む）
を付し、詳細な説明は省略する。
装置の構成を示す模式図であり、図５は図４の固体撮像
装置の画素部の構成を示す平面図である。なお、図１、
図２の固体撮像装置と対応する部分には図１、図２と同
一符号を付してあり、詳細な説明は省略する。また、図
４、図５以外の以下の他の図においても、対応する部分
には前出した図と同一符号（添字が異なるものを含む）
を付し、詳細な説明は省略する。
【００３０】本実施例の固体撮像装置が先の実施例のそ
れと異なる点は、偶数行の受光蓄積部１１ａの信号電荷
転送部１３ａと、奇数行の受光蓄積部１１ｂの信号電荷
転送部１３ｂとが別個になっていることにある。
れと異なる点は、偶数行の受光蓄積部１１ａの信号電荷
転送部１３ａと、奇数行の受光蓄積部１１ｂの信号電荷
転送部１３ｂとが別個になっていることにある。
【００３１】このように信号電荷転送部を偶数行用の信
号電荷転送部１３ａと奇数行用の信号電荷転送部１３ｂ
とに分ければ、図５に示すように、信号電荷転送部１３
ａ，１３ｂの曲りかたが緩やかになる。このため、信号
電荷転送部１３ａ，１３ｂが一部で極端に狭くなること
はないので、先の実施例の場合のような転送効率が悪く
なるという問題は生じない。 （第３の実施例）次に本発明の第３の実施例に係わる固
体撮像装置について説明する。本実施例の固体撮像装置
は、第２の実施例のそれを改善したものである。
号電荷転送部１３ａと奇数行用の信号電荷転送部１３ｂ
とに分ければ、図５に示すように、信号電荷転送部１３
ａ，１３ｂの曲りかたが緩やかになる。このため、信号
電荷転送部１３ａ，１３ｂが一部で極端に狭くなること
はないので、先の実施例の場合のような転送効率が悪く
なるという問題は生じない。 （第３の実施例）次に本発明の第３の実施例に係わる固
体撮像装置について説明する。本実施例の固体撮像装置
は、第２の実施例のそれを改善したものである。
【００３２】すなわち、第２の実施例の固体撮像装置で
は、転送効率を改善することはできたが、１画素に２本
の信号電荷転送部が設けられ、これにより、１本の信号
電荷転送部の幅が狭くなるので、飽和信号量は改善され
ない。
は、転送効率を改善することはできたが、１画素に２本
の信号電荷転送部が設けられ、これにより、１本の信号
電荷転送部の幅が狭くなるので、飽和信号量は改善され
ない。
【００３３】さらに、読出し端の数が２倍になり、水平
レジスタ部の列数も２倍になってしまうため、水平方向
の読み出し周波数が高くなり、クロックパルスの波形位
相が劣化してしまう。この結果、画素の偶数列と奇数列
との間で出力信号に差が生じ、フリッカが発生する。
レジスタ部の列数も２倍になってしまうため、水平方向
の読み出し周波数が高くなり、クロックパルスの波形位
相が劣化してしまう。この結果、画素の偶数列と奇数列
との間で出力信号に差が生じ、フリッカが発生する。
【００３４】図６は、このような問題を考慮した本発明
の第３の実施例に係わる固体撮像装置の構成を示す模式
図であり、図７は図６の固体撮像装置の画素部の構成を
示す平面図であり、図８（ａ），図８（ｂ）はそれぞれ
図７の固体撮像装置の矢視Ｘ−Ｘ´、矢視Ｙ−Ｙ´の断
面図である。
の第３の実施例に係わる固体撮像装置の構成を示す模式
図であり、図７は図６の固体撮像装置の画素部の構成を
示す平面図であり、図８（ａ），図８（ｂ）はそれぞれ
図７の固体撮像装置の矢視Ｘ−Ｘ´、矢視Ｙ−Ｙ´の断
面図である。
【００３５】図８において、１０は半導体基板を示して
おり、この半導体基板１０の表面には、受光蓄積部であ
るｎ型不純物層１１と、信号電荷転送部であるｎ型不純
物層１３と、素子分離層であるｐ型不純物層１４とが形
成されている。
おり、この半導体基板１０の表面には、受光蓄積部であ
るｎ型不純物層１１と、信号電荷転送部であるｎ型不純
物層１３と、素子分離層であるｐ型不純物層１４とが形
成されている。
【００３６】半導体基板１０の上方には、信号電荷読み
出し電極１５と、信号電荷転送電極１６と、遮光層１８
とが設けられており、これらは絶縁層１７によって互い
に分離され、そして、絶縁層１７の上方には色フィルタ
板１９、マイクロレンズ２０が設けられている。
出し電極１５と、信号電荷転送電極１６と、遮光層１８
とが設けられており、これらは絶縁層１７によって互い
に分離され、そして、絶縁層１７の上方には色フィルタ
板１９、マイクロレンズ２０が設けられている。
【００３７】本実施例の固体撮像装置の特徴は、図７に
示すように、偶数行の信号電荷読出し部１２ａと、この
信号電荷読出し部１２ａと同色信号を有する信号電荷読
出し部１２ｂとを信号電荷転送部１３に対して対岸に配
置することにより、偶数行の信号読み出し方向４ａと奇
数行の信号読み出し方向４ｂとを逆方向にしたことにあ
る。
示すように、偶数行の信号電荷読出し部１２ａと、この
信号電荷読出し部１２ａと同色信号を有する信号電荷読
出し部１２ｂとを信号電荷転送部１３に対して対岸に配
置することにより、偶数行の信号読み出し方向４ａと奇
数行の信号読み出し方向４ｂとを逆方向にしたことにあ
る。
【００３８】これにより、偶数列と奇数列とで画素が
１．５画素分ずれていても、偶数列と奇数列との同色の
信号電荷を同じ信号電荷転送部で読み出すことができ
る。しかも、第１、第２の実施例と同様に、信号電荷転
送部１３が一部で狭くなることはないので、飽和電流の
減少は起こらない。
１．５画素分ずれていても、偶数列と奇数列との同色の
信号電荷を同じ信号電荷転送部で読み出すことができ
る。しかも、第１、第２の実施例と同様に、信号電荷転
送部１３が一部で狭くなることはないので、飽和電流の
減少は起こらない。
【００３９】さらに、信号電荷転送部１３は略直線状に
形成できるので、転送効率の低下を効果的に防止でき
る。さらにまた、第２の実施例とは異なり、水平レジス
タ部の列数を増やす必要がないので、フリッカの増加を
抑制できる。 （第４の実施例）図９は本発明の第４の実施例に係わる
固体撮像装置の画素部の平面である。また、図２５は図
９の固体撮像装置のＸ−Ｘ´断面図である。本実施例は
第１の実施例の変形例に相当し、本発明を積層型の固体
撮像装置に適用した例である。
形成できるので、転送効率の低下を効果的に防止でき
る。さらにまた、第２の実施例とは異なり、水平レジス
タ部の列数を増やす必要がないので、フリッカの増加を
抑制できる。 （第４の実施例）図９は本発明の第４の実施例に係わる
固体撮像装置の画素部の平面である。また、図２５は図
９の固体撮像装置のＸ−Ｘ´断面図である。本実施例は
第１の実施例の変形例に相当し、本発明を積層型の固体
撮像装置に適用した例である。
【００４０】図中、３０は半導体基板を示しており、こ
の半導体基板３０の表面には、信号電荷蓄積部であるｎ
型不純物層３１と、信号電荷転送部であるｎ型不純物層
３３と、素子分離層であるｐ型不純物層３４とが形成さ
れている。
の半導体基板３０の表面には、信号電荷蓄積部であるｎ
型不純物層３１と、信号電荷転送部であるｎ型不純物層
３３と、素子分離層であるｐ型不純物層３４とが形成さ
れている。
【００４１】半導体基板３０の上方には、信号電荷読み
出し電極３５と、信号電荷転送電極３６と、引き出し電
極３８と設けられており、これらは絶縁層３７によって
互いに分離されている。
出し電極３５と、信号電荷転送電極３６と、引き出し電
極３８と設けられており、これらは絶縁層３７によって
互いに分離されている。
【００４２】絶縁層３７上には、画素電極３９と、水素
化アモルファスシリコンなどの光導電体材料からなる光
電変換膜４０と、この光電変換膜４０に電圧を印加する
ための透明電極４１（例えばＩＴＯ電極）と、遮光層４
２と、Ｒ色フィルタ、Ｇ色フィルタおよびＢ色フィルタ
からなる色フィルタ板４３と、マイクロレンズ４４とが
順次設けられている。 （第５の実施例）図１０は本発明の第５の実施例に係わ
るインターライン型の固体撮像装置の構成を示す模式図
であり、図１１は図１０の固体撮像装置の画素部の構成
を示す平面図である。
化アモルファスシリコンなどの光導電体材料からなる光
電変換膜４０と、この光電変換膜４０に電圧を印加する
ための透明電極４１（例えばＩＴＯ電極）と、遮光層４
２と、Ｒ色フィルタ、Ｇ色フィルタおよびＢ色フィルタ
からなる色フィルタ板４３と、マイクロレンズ４４とが
順次設けられている。 （第５の実施例）図１０は本発明の第５の実施例に係わ
るインターライン型の固体撮像装置の構成を示す模式図
であり、図１１は図１０の固体撮像装置の画素部の構成
を示す平面図である。
【００４３】本実施例は第２の実施例の変形例に相当
し、本発明を積層型の固体撮像装置に適用した例であ
る。すなわち、積層型の固体撮像装置において、信号電
荷転送部（信号電荷転送路）を偶数行用の信号電荷転送
部３３ａと奇数行用の信号電荷転送部３３ｂとに分け、
三つの信号電荷蓄積部からなる三角形状の画素に三つの
信号電荷転送部（３本の信号電荷転送路）を設けた例で
ある。
し、本発明を積層型の固体撮像装置に適用した例であ
る。すなわち、積層型の固体撮像装置において、信号電
荷転送部（信号電荷転送路）を偶数行用の信号電荷転送
部３３ａと奇数行用の信号電荷転送部３３ｂとに分け、
三つの信号電荷蓄積部からなる三角形状の画素に三つの
信号電荷転送部（３本の信号電荷転送路）を設けた例で
ある。
【００４４】図１０に示すように、この固体撮像装置
は、大きく分けて、マトリクス状に配列され、光を色分
離する色フィルタ５R1，５G1，５B1，５R2，５G2，
５B2，５R3，５G3，５B3，…（＝５）と、これら色フィ
ルタ５により分離され、光電変換された信号電荷を蓄積
する信号電荷蓄積部（不図示）と、この信号電荷蓄積部
に隣接し、信号電荷を垂直方向に転送する信号電荷転送
部３３ａ，３３ｂからなる垂直ＣＣＤレジスタ部１と、
この垂直ＣＣＤレジスタ部１の読出し端に接続し、信号
電荷を水平方向に転送する水平ＣＣＤレジスタ部２と、
この水平ＣＣＤレジスタ部２の読出し端に接続し、信号
電荷を検出する信号電荷検出部３とからなる。
は、大きく分けて、マトリクス状に配列され、光を色分
離する色フィルタ５R1，５G1，５B1，５R2，５G2，
５B2，５R3，５G3，５B3，…（＝５）と、これら色フィ
ルタ５により分離され、光電変換された信号電荷を蓄積
する信号電荷蓄積部（不図示）と、この信号電荷蓄積部
に隣接し、信号電荷を垂直方向に転送する信号電荷転送
部３３ａ，３３ｂからなる垂直ＣＣＤレジスタ部１と、
この垂直ＣＣＤレジスタ部１の読出し端に接続し、信号
電荷を水平方向に転送する水平ＣＣＤレジスタ部２と、
この水平ＣＣＤレジスタ部２の読出し端に接続し、信号
電荷を検出する信号電荷検出部３とからなる。
【００４５】水平ＣＣＤレジスタ部２は、色フィルタ５
R1，５R2，…用の水平ＣＣＤレジスタ２R と、色フィル
タ５G1，５G2，…用の水平ＣＣＤレジスタ２G と、色フ
ィルタ５B1，B2，…用の水平ＣＣＤレジスタ２B とから
構成されている。
R1，５R2，…用の水平ＣＣＤレジスタ２R と、色フィル
タ５G1，５G2，…用の水平ＣＣＤレジスタ２G と、色フ
ィルタ５B1，B2，…用の水平ＣＣＤレジスタ２B とから
構成されている。
【００４６】また、図１１には、入力光を光電変換膜
（不図示）により光電変換して得られた信号電荷を蓄積
するダイオードからなる信号電荷蓄積部３１と、この信
号電荷蓄積部３１に蓄積された信号電荷を読み出し、信
号電荷読出し電極３５からなる信号電荷読出し部３２
と、この信号電荷読出し部３２から読み出された信号電
荷を水平ＣＣＤレジスタ部に転送し、信号電荷転送電極
３６からなる信号電荷転送部３３ａ，３３ｂと、引出し
電極（不図示）を介して信号電荷蓄積部３１のダイオー
ドに接続された画素電極３９と、各信号電荷蓄積部３１
を互いに分離する素子分離層３４とが示されている。な
お、図中、３４は信号電荷の読出し方向を示している。
（不図示）により光電変換して得られた信号電荷を蓄積
するダイオードからなる信号電荷蓄積部３１と、この信
号電荷蓄積部３１に蓄積された信号電荷を読み出し、信
号電荷読出し電極３５からなる信号電荷読出し部３２
と、この信号電荷読出し部３２から読み出された信号電
荷を水平ＣＣＤレジスタ部に転送し、信号電荷転送電極
３６からなる信号電荷転送部３３ａ，３３ｂと、引出し
電極（不図示）を介して信号電荷蓄積部３１のダイオー
ドに接続された画素電極３９と、各信号電荷蓄積部３１
を互いに分離する素子分離層３４とが示されている。な
お、図中、３４は信号電荷の読出し方向を示している。
【００４７】このように構成された固体撮像装置におけ
るフィールド蓄積方法（例えば、偶数フィールドの読み
出しの際、偶数行と隣接する奇数行の信号を加算して読
み出す）による読出し方法は以下の通りである。
るフィールド蓄積方法（例えば、偶数フィールドの読み
出しの際、偶数行と隣接する奇数行の信号を加算して読
み出す）による読出し方法は以下の通りである。
【００４８】まず、奇数フィールドの信号電荷が読み出
され、この場合、１行目および２行目の信号電荷（１行
目の信号電荷＋２行目の信号電荷）、３行目および４行
目の信号電荷（３行目の信号電荷＋４行目の信号電
荷）、…が読み出される。
され、この場合、１行目および２行目の信号電荷（１行
目の信号電荷＋２行目の信号電荷）、３行目および４行
目の信号電荷（３行目の信号電荷＋４行目の信号電
荷）、…が読み出される。
【００４９】そして、１行目および２行目の信号電荷に
関しては、色フィルタ５R1下の信号電荷蓄積部と色フィ
ルタ５G1下の信号電荷蓄積部と色フィルタ５B2下の信号
電荷蓄積部とからなる画素、色フィルタ５B1下の信号電
荷蓄積部と色フィルタ５R2下の信号電荷蓄積部と色フィ
ルタ５G2下の信号電荷蓄積部とからなる画素、…の各画
素において信号電荷がサンプリングされる。同様に、３
行目および４行目の信号電荷等に関しても、三つの色フ
ィルタ下の三つの信号電荷蓄積部からなる各画素におい
て信号電荷がサンプリングされる。
関しては、色フィルタ５R1下の信号電荷蓄積部と色フィ
ルタ５G1下の信号電荷蓄積部と色フィルタ５B2下の信号
電荷蓄積部とからなる画素、色フィルタ５B1下の信号電
荷蓄積部と色フィルタ５R2下の信号電荷蓄積部と色フィ
ルタ５G2下の信号電荷蓄積部とからなる画素、…の各画
素において信号電荷がサンプリングされる。同様に、３
行目および４行目の信号電荷等に関しても、三つの色フ
ィルタ下の三つの信号電荷蓄積部からなる各画素におい
て信号電荷がサンプリングされる。
【００５０】次に偶数フィールドの信号電荷が読み出さ
れ、この場合、２行目および３行目の信号電荷（２行目
の信号電荷＋３行目の信号電荷）、４行目および５行目
の信号電荷（４行目の信号電荷＋５行目の信号電荷）、
…が読み出される。
れ、この場合、２行目および３行目の信号電荷（２行目
の信号電荷＋３行目の信号電荷）、４行目および５行目
の信号電荷（４行目の信号電荷＋５行目の信号電荷）、
…が読み出される。
【００５１】そして、２行目および３行目の信号電荷に
関しては、色フィルタ５B2下の信号電荷蓄積部と色フィ
ルタ５R3下の信号電荷蓄積部と色フィルタ５G3下の信号
電荷蓄積部とからなる画素、色フィルタ５R2下の信号電
荷蓄積部と色フィルタ５B3下の信号電荷蓄積部と色フィ
ルタ５G2下の信号電荷蓄積部とからなる画素、…の各画
素において信号電荷がサンプリングされる。同様に、４
行目および５行目の信号電荷に関しても、三つの色フィ
ルタ下の三つの信号電荷蓄積部からなる各画素において
信号電荷がサンプリングされる。
関しては、色フィルタ５B2下の信号電荷蓄積部と色フィ
ルタ５R3下の信号電荷蓄積部と色フィルタ５G3下の信号
電荷蓄積部とからなる画素、色フィルタ５R2下の信号電
荷蓄積部と色フィルタ５B3下の信号電荷蓄積部と色フィ
ルタ５G2下の信号電荷蓄積部とからなる画素、…の各画
素において信号電荷がサンプリングされる。同様に、４
行目および５行目の信号電荷に関しても、三つの色フィ
ルタ下の三つの信号電荷蓄積部からなる各画素において
信号電荷がサンプリングされる。
【００５２】本実施例では、１画素に対して３本の信号
電荷転送路（信号電荷転送部３３ａ，３３ｂ）が設けら
れているので、信号電荷をフィールド蓄積方法により読
み出しても、フレーム蓄積方法の場合と同程度の高垂直
解像度が得られる。また、本実施例でも１．５画素ずれ
た色フィルタを用いているので、他の実施例と同様に従
来よりも高い水平解像度が得られる。また、同色の色フ
ィルタ５が偶数行と奇数行で１．５画素ずれているの
で、偶数行と奇数行とで位相が１８０度ずれることにな
り、これにより、多くの場合、モアレは偶数行と奇数行
との間で相殺されるので、モアレは大幅に減少する。
電荷転送路（信号電荷転送部３３ａ，３３ｂ）が設けら
れているので、信号電荷をフィールド蓄積方法により読
み出しても、フレーム蓄積方法の場合と同程度の高垂直
解像度が得られる。また、本実施例でも１．５画素ずれ
た色フィルタを用いているので、他の実施例と同様に従
来よりも高い水平解像度が得られる。また、同色の色フ
ィルタ５が偶数行と奇数行で１．５画素ずれているの
で、偶数行と奇数行とで位相が１８０度ずれることにな
り、これにより、多くの場合、モアレは偶数行と奇数行
との間で相殺されるので、モアレは大幅に減少する。
【００５３】さらに、本実施例によれば、例えば、１行
目の信号電荷＋２行目の信号電荷を読み出す際に、端子
電圧Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３をハイレベル、端子電圧Ｖ４をロ
ーレベルとすれば、二つ信号電荷読出し電極３５および
一つの信号電荷転送電極３６の計三つの電極に電荷を蓄
積できるので、飽和信号量を増大することが可能とな
る。 （第６の実施例）図１２は本発明の第６の実施例に係わ
る固体撮像装置の画素部の平面、図１３（ａ）、図１３
（ｂ）は、それぞれ、図１２の固体撮像装置の矢視Ｘ−
Ｘ´、矢視Ｙ−Ｙ´の断面図である。なお、装置全体の
構成を示す模式図は図６と同じである。
目の信号電荷＋２行目の信号電荷を読み出す際に、端子
電圧Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３をハイレベル、端子電圧Ｖ４をロ
ーレベルとすれば、二つ信号電荷読出し電極３５および
一つの信号電荷転送電極３６の計三つの電極に電荷を蓄
積できるので、飽和信号量を増大することが可能とな
る。 （第６の実施例）図１２は本発明の第６の実施例に係わ
る固体撮像装置の画素部の平面、図１３（ａ）、図１３
（ｂ）は、それぞれ、図１２の固体撮像装置の矢視Ｘ−
Ｘ´、矢視Ｙ−Ｙ´の断面図である。なお、装置全体の
構成を示す模式図は図６と同じである。
【００５４】本実施例は第３の実施例の変型例に相当
し、本発明を積層型の固体撮像装置に適用した例であ
る。すなわち、積層型の固体撮像装置において、図１２
に示すように、偶数行の信号読み出し方向４ａと奇数行
の信号読み出し方向４ｂとを逆方向にしたことにある。
し、本発明を積層型の固体撮像装置に適用した例であ
る。すなわち、積層型の固体撮像装置において、図１２
に示すように、偶数行の信号読み出し方向４ａと奇数行
の信号読み出し方向４ｂとを逆方向にしたことにある。
【００５５】図１３において、３０は半導体基板を示し
ており、この半導体基板３０の表面には、信号電荷蓄積
部であるｎ型不純物層３１と、信号電荷転送部であるｎ
型不純物層３３と、素子分離層であるｐ型不純物層３４
とが形成されている。
ており、この半導体基板３０の表面には、信号電荷蓄積
部であるｎ型不純物層３１と、信号電荷転送部であるｎ
型不純物層３３と、素子分離層であるｐ型不純物層３４
とが形成されている。
【００５６】半導体基板３０の上方には、信号電荷読み
出し電極３５と、信号電荷転送電極３６と、引き出し電
極３８と設けられており、これらは絶縁層３７によって
互いに分離されている。
出し電極３５と、信号電荷転送電極３６と、引き出し電
極３８と設けられており、これらは絶縁層３７によって
互いに分離されている。
【００５７】絶縁層３７上には、画素電極３９と、水素
化アモルファスシリコンなどの光導電体材料からなる光
電変換膜４０と、この光電変換膜４０に電圧を印加する
ための透明電極４１（例えばＩＴＯ電極）と、遮光層４
２と、Ｒ色フィルタ、Ｇ色フィルタおよびＢ色フィルタ
からなる色フィルタ板４３と、マイクロレンズ４４とが
順次設けられている。
化アモルファスシリコンなどの光導電体材料からなる光
電変換膜４０と、この光電変換膜４０に電圧を印加する
ための透明電極４１（例えばＩＴＯ電極）と、遮光層４
２と、Ｒ色フィルタ、Ｇ色フィルタおよびＢ色フィルタ
からなる色フィルタ板４３と、マイクロレンズ４４とが
順次設けられている。
【００５８】このように構成された固体撮像装置でも、
第３の実施例のそれと同様な効果が得られるのは勿論の
こと、さらに、本実施例の場合、信号電荷転送部３３を
完全な直線状に形成できるため、第３の実施例よりも信
号飽和量および転送効率を向上できる。 （第７の実施例）図１４は、本発明の第７の実施例に係
わる固体撮像装置の構成を示す模式図である。
第３の実施例のそれと同様な効果が得られるのは勿論の
こと、さらに、本実施例の場合、信号電荷転送部３３を
完全な直線状に形成できるため、第３の実施例よりも信
号飽和量および転送効率を向上できる。 （第７の実施例）図１４は、本発明の第７の実施例に係
わる固体撮像装置の構成を示す模式図である。
【００５９】本実施例の固体撮像装置の特徴は、Ｒ色信
号、Ｇ色信号、Ｂ色信号の各色信号に各々水平レジスタ
部を設けたことにある。すなわち、Ｒ色信号は水平レジ
スタ部２1 に転送され、信号電荷検出部３1 によって読
み出され、Ｇ色信号は水平レジスタ部２2 に転送され、
信号電荷検出部３2 によって読み出され、そして、Ｂ色
信号は水平レジスタ部２3 に転送され、信号電荷検出部
３3 によって読み出される構成になっている。
号、Ｇ色信号、Ｂ色信号の各色信号に各々水平レジスタ
部を設けたことにある。すなわち、Ｒ色信号は水平レジ
スタ部２1 に転送され、信号電荷検出部３1 によって読
み出され、Ｇ色信号は水平レジスタ部２2 に転送され、
信号電荷検出部３2 によって読み出され、そして、Ｂ色
信号は水平レジスタ部２3 に転送され、信号電荷検出部
３3 によって読み出される構成になっている。
【００６０】このように構成された固体撮像装置によれ
ば、各色信号を分離するための色分離回路が不要なり、
且つ色分離を確実に行なえるようになる。なお、画素構
造は上述した第１〜第６の実施例のいずれを採用しても
良い。 （第８の実施例）図１５は、本発明の第８の実施例に係
わる固体撮像装置の要部構成を示す模式図である。
ば、各色信号を分離するための色分離回路が不要なり、
且つ色分離を確実に行なえるようになる。なお、画素構
造は上述した第１〜第６の実施例のいずれを採用しても
良い。 （第８の実施例）図１５は、本発明の第８の実施例に係
わる固体撮像装置の要部構成を示す模式図である。
【００６１】本実施例の固体撮像装置は、第５の実施例
の固体撮像装置を改良したものである。すなわち、本実
施例の固体撮像装置は、信号電荷を二つの水平ＣＣＤレ
ジスタ部２ａ，２ｂによって転送できるようにした例で
ある。
の固体撮像装置を改良したものである。すなわち、本実
施例の固体撮像装置は、信号電荷を二つの水平ＣＣＤレ
ジスタ部２ａ，２ｂによって転送できるようにした例で
ある。
【００６２】水平ＣＣＤレジスタ部２ａは、Ｒ色信号用
の水平ＣＣＤレジスタ２Raと、Ｇ色信号用の水平ＣＣＤ
レジスタ２Gaと、Ｂ色信号用の水平ＣＣＤレジスタ２Ba
とから構成されてる。同様に、水平ＣＣＤレジスタ部２
ｂは、Ｒ色信号用の水平ＣＣＤレジスタ２Rbと、Ｇ色信
号用の水平ＣＣＤレジスタ２Gbと、Ｂ色信号用の水平Ｃ
ＣＤレジスタ２Bbとから構成されてる。
の水平ＣＣＤレジスタ２Raと、Ｇ色信号用の水平ＣＣＤ
レジスタ２Gaと、Ｂ色信号用の水平ＣＣＤレジスタ２Ba
とから構成されてる。同様に、水平ＣＣＤレジスタ部２
ｂは、Ｒ色信号用の水平ＣＣＤレジスタ２Rbと、Ｇ色信
号用の水平ＣＣＤレジスタ２Gbと、Ｂ色信号用の水平Ｃ
ＣＤレジスタ２Bbとから構成されてる。
【００６３】偶数行のＲ色信号、Ｇ色信号およびＢ色信
号は水平ＣＣＤレジスタ部２ａにより信号電荷検出部３
ａに転送される。一方、奇数行のＲ色信号、Ｇ色信号お
よびＢ色信号は水平ＣＣＤレジスタ部２ｂにより信号電
荷検出部３ｂに転送される。
号は水平ＣＣＤレジスタ部２ａにより信号電荷検出部３
ａに転送される。一方、奇数行のＲ色信号、Ｇ色信号お
よびＢ色信号は水平ＣＣＤレジスタ部２ｂにより信号電
荷検出部３ｂに転送される。
【００６４】本実施例によれば、偶数行の色信号と奇数
行の色信号とそれぞれが別の水平ＣＣＤレジスタ部によ
って転送されるので、水平ＣＣＤレジスタ部が一つの場
合に比べて、水平駆動周波数を低くできる。 （第９の実施例）図１６は、本発明の第９の実施例に係
わる固体撮像装置の要部構成を示す模式図である。
行の色信号とそれぞれが別の水平ＣＣＤレジスタ部によ
って転送されるので、水平ＣＣＤレジスタ部が一つの場
合に比べて、水平駆動周波数を低くできる。 （第９の実施例）図１６は、本発明の第９の実施例に係
わる固体撮像装置の要部構成を示す模式図である。
【００６５】本実施例の固体撮像装置が第８の実施例と
異なる点は、信号電荷を三つの水平ＣＣＤレジスタ部２
R ，２G ，２B によって転送することにある。偶数行お
よび奇数行のＲ色信号は水平ＣＣＤレジスタ部２R によ
って信号電荷検出部３R に転送され、偶数行および奇数
行のＧ色信号は水平ＣＣＤレジスタ部２G によって信号
電荷検出部３G に転送され、そして、偶数行および奇数
行のＢ色信号は水平ＣＣＤレジスタ部２B によって信号
電荷検出部３B に転送される。
異なる点は、信号電荷を三つの水平ＣＣＤレジスタ部２
R ，２G ，２B によって転送することにある。偶数行お
よび奇数行のＲ色信号は水平ＣＣＤレジスタ部２R によ
って信号電荷検出部３R に転送され、偶数行および奇数
行のＧ色信号は水平ＣＣＤレジスタ部２G によって信号
電荷検出部３G に転送され、そして、偶数行および奇数
行のＢ色信号は水平ＣＣＤレジスタ部２B によって信号
電荷検出部３B に転送される。
【００６６】本実施例によれば、三つの水平ＣＣＤレジ
スタ部２R ，２G ，２B によって信号電荷を転送するの
で、より水平駆動周波数を低くできる。さらに、本実施
例によれば、Ｒ色信号、Ｇ色信号、Ｂ色信号が、それぞ
れ、水平ＣＣＤレジスタ部２R 、水平ＣＣＤレジスタ部
２G 、水平ＣＣＤレジスタ部２B に転送されるので、信
号電荷を三つの色に分離するための特別の色分離回路が
不要になる。
スタ部２R ，２G ，２B によって信号電荷を転送するの
で、より水平駆動周波数を低くできる。さらに、本実施
例によれば、Ｒ色信号、Ｇ色信号、Ｂ色信号が、それぞ
れ、水平ＣＣＤレジスタ部２R 、水平ＣＣＤレジスタ部
２G 、水平ＣＣＤレジスタ部２B に転送されるので、信
号電荷を三つの色に分離するための特別の色分離回路が
不要になる。
【００６７】なお、上記実施例では、水平ＣＣＤレジス
タ部の数が二つおよび三つの場合について説明したが、
四つ以上でも良い。また、各水平ＣＣＤレジスタ部に転
送される色信号の組み合わせは上述したものに限定され
ない。 （第１０の実施例）図１７は本発明の第１０の実施例に
係わるインターライン転送型の固体撮像装置の構成を示
す模式図であり、図１８は図１７の固体撮像装置の画素
部の構成を示す平面図である。
タ部の数が二つおよび三つの場合について説明したが、
四つ以上でも良い。また、各水平ＣＣＤレジスタ部に転
送される色信号の組み合わせは上述したものに限定され
ない。 （第１０の実施例）図１７は本発明の第１０の実施例に
係わるインターライン転送型の固体撮像装置の構成を示
す模式図であり、図１８は図１７の固体撮像装置の画素
部の構成を示す平面図である。
【００６８】本実施例の固体撮像装置が、第５の実施例
のそれと異なる主として点は、各２ｉ−１行目（ｉは自
然数）と２ｉ行目との間において、２ｉ−１行目の信号
電荷蓄積蓄積部３１ｂの信号電荷と、この信号電荷蓄積
部３１ｂの信号電荷に対して０．５画素ずれた２ｉ行目
の信号電荷蓄積蓄積部３１ａの信号電荷とが同じ信号電
荷転送部３３により転送されることにある。
のそれと異なる主として点は、各２ｉ−１行目（ｉは自
然数）と２ｉ行目との間において、２ｉ−１行目の信号
電荷蓄積蓄積部３１ｂの信号電荷と、この信号電荷蓄積
部３１ｂの信号電荷に対して０．５画素ずれた２ｉ行目
の信号電荷蓄積蓄積部３１ａの信号電荷とが同じ信号電
荷転送部３３により転送されることにある。
【００６９】このように信号電荷を同じ信号電荷転送部
３３により転送できるようにするために、本実施例で
は、偶数行の信号電荷の読み出し方向４ａと奇数行の信
号電荷の読み出し方向４ｂとが逆方向になっている。こ
れにより、信号電荷転送部（信号電荷転送路）３３の形
状が直線状になり、画素を微細化しても十分な飽和信号
量を得ることができるようになる。
３３により転送できるようにするために、本実施例で
は、偶数行の信号電荷の読み出し方向４ａと奇数行の信
号電荷の読み出し方向４ｂとが逆方向になっている。こ
れにより、信号電荷転送部（信号電荷転送路）３３の形
状が直線状になり、画素を微細化しても十分な飽和信号
量を得ることができるようになる。
【００７０】さらに、水平ＣＣＤレジスタ部２は、Ｒ色
信号およびＢ色信号を転送するＲ・Ｂ水平ＣＣＤレジス
タ２RBと、Ｇ色信号およびＲ色信号を転送するＧ・Ｒ水
平ＣＣＤレジスタ２GRと、Ｇ色信号およびＢ色信号を転
送するＧ・Ｂ水平ＣＣＤレジスタ２GBとから構成されて
いる。
信号およびＢ色信号を転送するＲ・Ｂ水平ＣＣＤレジス
タ２RBと、Ｇ色信号およびＲ色信号を転送するＧ・Ｒ水
平ＣＣＤレジスタ２GRと、Ｇ色信号およびＢ色信号を転
送するＧ・Ｂ水平ＣＣＤレジスタ２GBとから構成されて
いる。
【００７１】このように構成された固体撮像装置におけ
るフレーム蓄積方法（例えば、偶数フィールドを読み出
す際に、偶数行のみを読み出す）による読出し方法は以
下の通りである。
るフレーム蓄積方法（例えば、偶数フィールドを読み出
す際に、偶数行のみを読み出す）による読出し方法は以
下の通りである。
【００７２】まず、奇数フィールドにおいては、１行
目、３行目、…（奇数行目）の蓄積電荷（Ｒ色信号、Ｇ
色信号、Ｂ色信号）が読み出される。次に偶数フィール
ドにおいては、２行目、４行目、…（偶数行目）の蓄積
電荷（Ｒ色信号、Ｇ色信号、Ｂ色信号）が読み出され
る。
目、３行目、…（奇数行目）の蓄積電荷（Ｒ色信号、Ｇ
色信号、Ｂ色信号）が読み出される。次に偶数フィール
ドにおいては、２行目、４行目、…（偶数行目）の蓄積
電荷（Ｒ色信号、Ｇ色信号、Ｂ色信号）が読み出され
る。
【００７３】このようにして全ての画素の蓄積電荷が読
み出される。したがって、高い垂直解像度が得られる。
また、本実施例でも１．５画素ずれた色フィルタを用い
ているので、水平解像度は、他の実施例と同様に従来よ
りも高くなる。
み出される。したがって、高い垂直解像度が得られる。
また、本実施例でも１．５画素ずれた色フィルタを用い
ているので、水平解像度は、他の実施例と同様に従来よ
りも高くなる。
【００７４】さらに、本実施例によれば、上述したよう
に、信号電荷転送部（信号電荷転送路）３３の形状が直
線状であるので、画素を微細化しても十分な飽和信号量
が得られるようになる。
に、信号電荷転送部（信号電荷転送路）３３の形状が直
線状であるので、画素を微細化しても十分な飽和信号量
が得られるようになる。
【００７５】なお、本実施例では一つの水平ＣＣＤレジ
スタ部を用いたが、その代わりに、上述したような複数
の水平ＣＣＤレジスタ部を用いても良い。 （第１１の実施例）図１９は本発明の第１１の実施例に
係わるインターライン転送型の固体撮像装置の構成を示
す模式図であり、図２０は図１９の固体撮像装置の画素
部の構成を示す平面図である。
スタ部を用いたが、その代わりに、上述したような複数
の水平ＣＣＤレジスタ部を用いても良い。 （第１１の実施例）図１９は本発明の第１１の実施例に
係わるインターライン転送型の固体撮像装置の構成を示
す模式図であり、図２０は図１９の固体撮像装置の画素
部の構成を示す平面図である。
【００７６】本実施例の特徴は、１行３画素に二つの信
号電荷転送部３３（２本の信号電荷転送路）を設け、１
列２画素に３本の信号電荷転送電極３６1 ，３６2 ，３
６3を設けたことにより、異なる色信号とこれらに対応
した三つの信号蓄積部からなる三角形状の画素に対し、
１本の信号伝送路を配置したことにある。このように信
号電荷転送部（信号電荷転送路）の個数を減らし、信号
電荷転送電極の個数を増やすことにより、飽和信号量が
増加し、画素電極の配線抵抗が低減する。したがって、
画素の微細化が容易になる。水平ＣＣＤレジスタ部２は
複数の水平レジスタ２RGB により構成されている。
号電荷転送部３３（２本の信号電荷転送路）を設け、１
列２画素に３本の信号電荷転送電極３６1 ，３６2 ，３
６3を設けたことにより、異なる色信号とこれらに対応
した三つの信号蓄積部からなる三角形状の画素に対し、
１本の信号伝送路を配置したことにある。このように信
号電荷転送部（信号電荷転送路）の個数を減らし、信号
電荷転送電極の個数を増やすことにより、飽和信号量が
増加し、画素電極の配線抵抗が低減する。したがって、
画素の微細化が容易になる。水平ＣＣＤレジスタ部２は
複数の水平レジスタ２RGB により構成されている。
【００７７】次にこのように構成された固体撮像装置に
おけるフレーム蓄積方法による読出し方法は以下の通り
である。一般に、フレーム蓄積方法では、奇数フィール
ドと偶数フィールドの二つのフィールドに別けて信号電
荷を転送するが、本実施例では三つのフィールドに別け
て転送する。
おけるフレーム蓄積方法による読出し方法は以下の通り
である。一般に、フレーム蓄積方法では、奇数フィール
ドと偶数フィールドの二つのフィールドに別けて信号電
荷を転送するが、本実施例では三つのフィールドに別け
て転送する。
【００７８】まず、第１フィールドにおいては、１行
目、３行目、…（奇数行目）のＲ色信号およびＢ色信号
が読み出され、水平ＣＣＤレジスタ部２に転送される。
次いで第２にフィールドにおいては、１行目および２行
目、３行目および４行目、…のＧ色信号が読み出され、
水平ＣＣＤレジスタ部２に転送される。最後に、２行
目、４行目、…（偶数行目）のＢ色信号およびＲ色信号
が読み出される。このようなフィールド蓄積方法でも、
全ての画素の蓄積電荷が読み出されるので、高い垂直解
像度が得られる。
目、３行目、…（奇数行目）のＲ色信号およびＢ色信号
が読み出され、水平ＣＣＤレジスタ部２に転送される。
次いで第２にフィールドにおいては、１行目および２行
目、３行目および４行目、…のＧ色信号が読み出され、
水平ＣＣＤレジスタ部２に転送される。最後に、２行
目、４行目、…（偶数行目）のＢ色信号およびＲ色信号
が読み出される。このようなフィールド蓄積方法でも、
全ての画素の蓄積電荷が読み出されるので、高い垂直解
像度が得られる。
【００７９】なお、本実施例では、各行に三つの信号電
荷転送電極が存在するが、各行に一つまたは二つの信号
電荷転送電極が存在するようにしても良い。また、本実
施例では、３相駆動、３電極３６1 ，３６2 ，３６3 の
場合について説明したが、一つの電極を２層構造の電極
として、３相駆動、６電極としても良い。
荷転送電極が存在するが、各行に一つまたは二つの信号
電荷転送電極が存在するようにしても良い。また、本実
施例では、３相駆動、３電極３６1 ，３６2 ，３６3 の
場合について説明したが、一つの電極を２層構造の電極
として、３相駆動、６電極としても良い。
【００８０】さらに、本実施例では、一つの水平ＣＣＤ
レジスタ部を用いたが、その代わりに、上述したような
複数の水平ＣＣＤレジスタ部を用いても良い。なお、本
発明は上述した実施例に限定されるものではない。例え
ば、上記実施例では、Ｒ色フィルタ、Ｇ色フィルタ、Ｂ
色フィルタの三つの色フィルタを用いたが、色フィルタ
の色数、色種はこれに限らない。その他、本発明の要旨
を逸脱しない範囲で、種々変形して実施できる。
レジスタ部を用いたが、その代わりに、上述したような
複数の水平ＣＣＤレジスタ部を用いても良い。なお、本
発明は上述した実施例に限定されるものではない。例え
ば、上記実施例では、Ｒ色フィルタ、Ｇ色フィルタ、Ｂ
色フィルタの三つの色フィルタを用いたが、色フィルタ
の色数、色種はこれに限らない。その他、本発明の要旨
を逸脱しない範囲で、種々変形して実施できる。
【００８１】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、隣
接する行色フィルタの各色フィルタが列方向に１．５画
素ずれているため、隣接する行色フィルタ間でモアレが
相殺され、色フィルタ板に起因するモアレを低減できる
ようになる。
接する行色フィルタの各色フィルタが列方向に１．５画
素ずれているため、隣接する行色フィルタ間でモアレが
相殺され、色フィルタ板に起因するモアレを低減できる
ようになる。
【図１】本発明の第１の実施例に係わる固体撮像装置の
構成を示す模式図
構成を示す模式図
【図２】図１の固体撮像装置の画素部の構成を示す平面
図
図
【図３】図１の固体撮像装置の色フィルタの平面図
【図４】本発明の第２の実施例に係わる固体撮像装置の
構成を示す模式図
構成を示す模式図
【図５】図４の固体撮像装置の画素部の構成を示す平面
図
図
【図６】本発明の第３の実施例に係わる固体撮像装置の
構成を示す模式図
構成を示す模式図
【図７】図６の固体撮像装置の画素部の構成を示す平面
図
図
【図８】図７の固体撮像装置の断面図
【図９】本発明の第４の実施例に係わる固体撮像装置の
画素部の平面図
画素部の平面図
【図１０】本発明の第５の実施例に係わる固体撮像装置
の構成を示す模式図
の構成を示す模式図
【図１１】図１０の固体撮像装置の画素部の構成を示す
平面図
平面図
【図１２】第６の実施例に係わる固体撮像装置の画素部
の平面図
の平面図
【図１３】図１２の固体撮像装置の断面図
【図１４】本発明の第７の実施例に係わる固体撮像装置
の構成を示す模式図
の構成を示す模式図
【図１５】本発明の第８の実施例に係わる固体撮像装置
の要部構成を示す模式図
の要部構成を示す模式図
【図１６】本発明の第９の実施例に係わる固体撮像装置
の要部構成を示す模式図
の要部構成を示す模式図
【図１７】本発明の第１０の実施例に係わる固体撮像装
置の構成を示す模式図
置の構成を示す模式図
【図１８】図１７の固体撮像装置の画素部の構成を示す
平面図
平面図
【図１９】本発明の第１１の実施例に係わる固体撮像装
置の構成を示す模式図
置の構成を示す模式図
【図２０】図１９の固体撮像装置の画素部の構成を示す
平面図
平面図
【図２１】従来の固体撮像装置の平面図
【図２２】図２１の固体撮像装置の画素部の断面図
【図２３】従来の他の固体撮像装置の画素部の断面図
【図２４】従来の固体撮像装置の色フィルタの平面図
【図２５】図９の固体撮像装置のＸ−Ｘ´断面図
１…垂直ＣＣＤレジスタ部 ２０…マイク
ロレンズ ２…水平ＣＣＤレジスタ部 ３１…信号電
荷蓄積部 ３…信号電荷検出部 ３２…信号電
荷読み出し部 ４…信号電荷読み出し方向 ３３…信号電
荷転送部 ５G 、５R 、５B …色フィルタ ３４…素子分
離層 １０…半導体基板 ３５…信号
電荷読み出し電極 １１…受光蓄積部 ３６…信号
電荷転送電極 １２…信号電荷読み出し部 ３７…絶縁
層 １３…信号電荷転送部 ３８…引き
出し電極 １４…素子分離層 ３９…画素
電極 １５…信号電荷読み出し電極 ４０…光電
変換膜 １６…信号電荷転送電極 ４１…透明
電極 １７…絶縁層 ４２…遮光
層 １８…遮光層 ４３…色フ
ィルタ板 １９…色フィルタ板 ４４…マイ
クロレンズ
ロレンズ ２…水平ＣＣＤレジスタ部 ３１…信号電
荷蓄積部 ３…信号電荷検出部 ３２…信号電
荷読み出し部 ４…信号電荷読み出し方向 ３３…信号電
荷転送部 ５G 、５R 、５B …色フィルタ ３４…素子分
離層 １０…半導体基板 ３５…信号
電荷読み出し電極 １１…受光蓄積部 ３６…信号
電荷転送電極 １２…信号電荷読み出し部 ３７…絶縁
層 １３…信号電荷転送部 ３８…引き
出し電極 １４…素子分離層 ３９…画素
電極 １５…信号電荷読み出し電極 ４０…光電
変換膜 １６…信号電荷転送電極 ４１…透明
電極 １７…絶縁層 ４２…遮光
層 １８…遮光層 ４３…色フ
ィルタ板 １９…色フィルタ板 ４４…マイ
クロレンズ
Claims (8)
- 【請求項１】半導体基板に形成され、入力光を光電変換
して得られた信号電荷を蓄積する複数の受光蓄積部と、 前記受光蓄積部に隣接し、蓄積された信号電荷を読み出
す信号電荷読出し部と、 前記読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直Ｃ
ＣＤレジスタ部と、 前記垂直ＣＣＤレジスタ部の信号電荷読み出し端に接続
し、前記垂直ＣＣＤレジスタ部から読み出された信号電
荷を水平方向に転送する水平レジスタ部と、 前記受光蓄積部上に設けられ、複数色の色フィルタを列
方向に規則的に配列してなる行色フィルタを、隣接する
行色フィルタの各色フィルタが列方向に１．５画素ずれ
るべく、行方向に複数個配列してなる色フィルタ板とを
具備してなることを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項２】半導体基板に形成され、入力光を光電変換
して得られた信号電荷を蓄積する複数の信号電荷蓄積部
と、 前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷を読み出す信
号電荷読出し部と、 前記読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直Ｃ
ＣＤレジスタ部と、 前記垂直ＣＣＤレジスタ部の信号電荷読出し端に接続
し、前記垂直ＣＣＤレジスタ部から読み出された信号電
荷を水平方向に転送する水平レジスタ部と、 前記信号電荷蓄積部上に設けられ、複数色の色フィルタ
を列方向に規則的に配列してなる行色フィルタを、隣接
する行色フィルタの各色フィルタが列方向に１．５画素
ずれるべく、行方向に複数個配列してなる色フィルタ板
とを具備してなり、 前記偶数行の行色フィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄
積された信号電荷の読出し方向と、前記奇数行の行色フ
ィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷の
読出し方向とが互いに反対方向であることを特徴とする
固体撮像装置。 - 【請求項３】前記色フィルタ板と前記信号電荷蓄積部と
の間において、前記信号電荷蓄積部上には、前記信号電
荷蓄積部に電気的に接続された画素電極と、この画素電
極上で前記入力光を光電変換する光電変換膜が設けられ
ていることを特徴とする請求項２に記載の固体撮像装置 - 【請求項４】半導体基板に形成され、入力光を光電変換
して得られた信号電荷を蓄積する複数の信号電荷蓄積部
と、 前記半導体基板の上部に設けられ、前記信号電荷蓄積部
に電気的に接続された画素電極と、 前記画素電極上に設けられた光電変換膜と、 前記光導電膜上に設けられた透明電極と、 前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷を読み出す信
号電荷読み出し部と、 前記読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直Ｃ
ＣＤレジスタ部と、 前記垂直ＣＣＤレジスタ部の信号電荷読み出し端に接続
し、前記垂直ＣＣＤレジスタ部から読み出された信号電
荷を水平方向に転送する水平レジスタ部と、 前記透明電極上に設けられ、複数色の色フィルタを列方
向に規則的に配列してなる行色フィルタを、隣接する行
色フィルタの各色フィルタが列方向に１．５画素ずれる
べく、行方向に複数個配列してなる色フィルタ板とを具
備してなることを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項５】前記色フィルタ板は３色の色フィルタから
なり、 偶数行の前記行色フィルタ下の信号電荷蓄積部と前記偶
数行の色フィルタの隣りの奇数行の前記行色フィルタ下
の信号電荷蓄積部とからなり、計三つの信号電荷蓄積部
からなる三角形状の画素には、互いに異なる三つの色信
号を転送する３本の転送路が設けられていることを特徴
とする特許請求の範囲第４項に記載の固体撮像装置。 - 【請求項６】半導体基板に形成され、入力光を光電変換
して得られた信号電荷を蓄積する複数の信号電荷蓄積部
と、 前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷を読み出す信
号電荷読出し部と、 前記読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直Ｃ
ＣＤレジスタ部と、 前記垂直ＣＣＤレジスタ部の信号電荷読出し端に接続
し、前記垂直ＣＣＤレジスタ部から読み出された信号電
荷を水平方向に転送する水平レジスタ部と、 前記信号電荷蓄積部上に設けられ、複数色の色フィルタ
を列方向に規則的に配列してなる行色フィルタを、隣接
する行色フィルタの各色フィルタが列方向に１．５画素
ずれるべく、行方向に複数個配列してなる色フィルタ板
とを具備してなり、 前記偶数行の行色フィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄
積された信号電荷の読出し方向と、前記奇数行の行色フ
ィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷の
読出し方向とが互いに反対方向であり、かつ読み出され
た前記信号電荷を前記水平レジスタ部に転送する転送路
が直線状に形成されていることを特徴とする固体撮像装
置。 - 【請求項７】前記水平ＣＣＤ部は、前記偶数行の行色フ
ィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷を
水平方向に転送する第１の水平ＣＣＤ部と、前記奇数行
の行色フィルタ下の前記信号電荷蓄積部に蓄積された信
号電荷を水平方向に転送する第２の水平ＣＣＤ部とから
なることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに
記載の固体撮像装置。 - 【請求項８】前記水平ＣＣＤ部は、前記色フィルタの色
数と同数の水平ＣＣＤ部からなり、各水平ＣＣＤ部は、
それぞれ、異なる色の色フィルタ下の前記信号電荷蓄積
部に蓄積された信号電荷を水平方向に転送することを特
徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載の固体撮
像装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6318726A JPH07235655A (ja) | 1993-12-28 | 1994-12-21 | 固体撮像装置 |
| KR1019940037891A KR950021708A (ko) | 1993-12-28 | 1994-12-28 | 고체촬상장치 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35418393 | 1993-12-28 | ||
| JP5-354183 | 1993-12-28 | ||
| JP6318726A JPH07235655A (ja) | 1993-12-28 | 1994-12-21 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07235655A true JPH07235655A (ja) | 1995-09-05 |
Family
ID=26569483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6318726A Pending JPH07235655A (ja) | 1993-12-28 | 1994-12-21 | 固体撮像装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07235655A (ja) |
| KR (1) | KR950021708A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7719584B2 (en) | 2006-03-31 | 2010-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Image sensor |
| US7728891B2 (en) | 2006-03-31 | 2010-06-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Image sensor |
| US7851789B2 (en) | 2007-12-07 | 2010-12-14 | Cheil Industries Inc. | Photosensitive resin composition for pad protective layer, and method for making image sensor using the same |
| US8158036B2 (en) | 2007-11-30 | 2012-04-17 | Cheil Industries Inc. | Photosensitive resin composition for color filter and color filter using same |
| US8263675B2 (en) | 2007-09-04 | 2012-09-11 | Cheil Industries Inc. | Photosensitive resin composition for color filter and color filter made using the same |
| US8487030B2 (en) | 2009-07-09 | 2013-07-16 | Cheil Industries Inc. | Organic-inorganic hybrid composition and image sensor |
| US8502334B2 (en) | 2009-04-09 | 2013-08-06 | Cheil Industries Inc. | Image sensor and method for manufacturing the same |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4777496B2 (ja) * | 2000-02-10 | 2011-09-21 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子 |
-
1994
- 1994-12-21 JP JP6318726A patent/JPH07235655A/ja active Pending
- 1994-12-28 KR KR1019940037891A patent/KR950021708A/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7719584B2 (en) | 2006-03-31 | 2010-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Image sensor |
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| US8502334B2 (en) | 2009-04-09 | 2013-08-06 | Cheil Industries Inc. | Image sensor and method for manufacturing the same |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR950021708A (ko) | 1995-07-26 |
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