JPH07229861A - Radiation analyzer - Google Patents
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- JPH07229861A JPH07229861A JP6041846A JP4184694A JPH07229861A JP H07229861 A JPH07229861 A JP H07229861A JP 6041846 A JP6041846 A JP 6041846A JP 4184694 A JP4184694 A JP 4184694A JP H07229861 A JPH07229861 A JP H07229861A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、放射線のエネルギーに
比例した波高を持つパルスを高い計数率で測定して試料
中の微量成分の高精度な分析を可能にした放射線分析装
置に関する。ここで、放射線分析装置にはＸ線、α線、
β線、γ線等の分析装置があるが、以下では説明の都合
上、Ｘ線分析装置のうちエネルギー分散形の蛍光Ｘ線分
析装置に本発明を適用した場合について説明する。な
お、本発明は上記各種の放射線分析装置に適用可能であ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a radiation analyzer capable of measuring a trace component in a sample with high accuracy by measuring a pulse having a wave height proportional to the energy of radiation at a high count rate. Here, X-rays, α rays,
Although there are analyzers for β-rays, γ-rays, etc., for convenience of description, a case where the present invention is applied to an energy dispersive fluorescent X-ray analyzer among X-ray analyzers will be described below. The present invention can be applied to the various radiation analyzers described above.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図１６は、この種の蛍光Ｘ線分析装置の
従来技術を示すブロック図である。同図において、１０
１は半導体検出器であり、この検出器１０１は、試料か
ら発生する蛍光Ｘ線のエネルギーに比例した波高を持つ
電圧パルスを出力する。このパルスは、積分器からなる
前置増幅器１０２により各一段の高さが蛍光Ｘ線のエネ
ルギーに比例した階段波電圧に変換され、分析装置１１
２に入力される。2. Description of the Related Art FIG. 16 is a block diagram showing a conventional technique of this type of fluorescent X-ray analyzer. In the figure, 10
Reference numeral 1 denotes a semiconductor detector, and this detector 101 outputs a voltage pulse having a wave height proportional to the energy of the fluorescent X-ray generated from the sample. This pulse is converted by a preamplifier 102, which is an integrator, into a staircase voltage whose height of each step is proportional to the energy of the fluorescent X-ray, and the analyzer 11
Entered in 2.
【０００３】前記階段波電圧は、蛍光Ｘ線のエネルギー
に比例した大きさの信号と、これに重畳してくる検出器
１０１の抵抗雑音及び前置増幅器１０２を構成する電界
効果トランジスタによる雑音を含んでいるので、これら
の雑音を除去してエネルギー分解能を高めるために、計
測する信号の周波数帯域を狭く（成形波形のパルス幅を
広く）したエネルギー計測系１０７に入力される。The staircase voltage includes a signal having a magnitude proportional to the energy of fluorescent X-rays, resistance noise of the detector 101 superimposed on the signal, and noise due to the field effect transistor forming the preamplifier 102. Therefore, in order to remove these noises and improve the energy resolution, the energy is input to the energy measuring system 107 in which the frequency band of the signal to be measured is narrowed (the pulse width of the shaped waveform is widened).
【０００４】エネルギー計測系１０７では、大きい時定
数を持った成形回路１０８により、入力された階段波電
圧をそれぞれ波頭から波尾までの長さがｔdのパルスに
変換する。ここで、ｔdはデッドタイムまたはプロセス
タイムと呼ばれている。前記成形回路１０８の出力パル
スの波高が蛍光Ｘ線のエネルギーに相当するため、この
パルスの波高から微量成分の種類を特定することがで
き、また、パルス数から当該微量成分の濃度を測定する
ことができる。なお、エネルギー計測系１０７は、時定
数の大きな成形回路１０８を有することから、スローチ
ャンネルとも呼ばれている。In the energy measuring system 107, the shaping circuit 108 having a large time constant converts the input staircase wave voltage into a pulse having a length from the crest to the wave tail of t d . Here, t d is called dead time or process time. Since the pulse height of the output pulse of the shaping circuit 108 corresponds to the energy of the fluorescent X-ray, the kind of the trace component can be specified from the pulse height of the pulse, and the concentration of the trace component can be measured from the pulse number. You can Since the energy measuring system 107 has the shaping circuit 108 having a large time constant, it is also called a slow channel.
【０００５】一方、試料からの蛍光Ｘ線の生起は無作為
的であるため、単位時間あたりの発生パルス数が多くな
り、平均計数率が１／ｔdに近付くにつれて、エネルギ
ー計測系１０７により成形されるパルス間隔がｔdより
短いものが現われてくる。その結果、前後して発生した
二つのパルス波形が重なってしまい（この現象をパイル
アップと呼ぶ）、エネルギーの計測精度が低下したりパ
ルスを誤って計数してしまう不都合を生じる。そこで、
このパイルアップを除去するために、ｔdを例えば１／
１０以下のパルス幅に成形する機能と、それに基づいて
パルス入力という事象の間隔がｔd以下であるか否かを
弁別する機能すなわち時間弁別機能を備えた系が必要に
なってくる。On the other hand, since the generation of fluorescent X-rays from the sample is random, the number of pulses generated per unit time increases, and as the average count rate approaches 1 / t d , the energy measuring system 107 shapes the pulse. The pulse intervals appearing are shorter than t d . As a result, two pulse waveforms generated before and after overlap (this phenomenon is referred to as pile-up), which causes a problem that energy measurement accuracy is lowered and pulses are erroneously counted. Therefore,
To remove this pileup, let t d be, for example, 1 /
A system having a function of forming a pulse width of 10 or less and a function of discriminating whether or not an interval of events of pulse input is t d or less based on the pulse width, that is, a time discrimination function is required.
【０００６】図１６における１０６はこの機能を果たす
事象認識系であり、前記成形回路１０８に比べて小さい
時定数の成形回路１０３を有することから、ファースト
チャンネルと呼ばれている。事象認識系１０６におい
て、成形回路１０３の出力側には二つのパルス入力つま
り事象の間隔がｔd以下か否かを弁別する時間弁別回路
１０４が設けられ、その出力側にはパイルアップ除去回
路１０５が設けられている。この除去回路１０５は、時
間弁別回路１０４の出力信号に基づき、相前後するパル
スの間隔がｔd以下である場合には、これらのパルスを
取り込まないようにエネルギー計測系１０７内のＡ／Ｄ
変換回路１１０に指示を与えるか、あるいは、成形回路
１０８の出力側のリニアゲート回路１０９を直接制御し
てこれらのパルスがＡ／Ｄ変換回路１１０に入力されな
いようにしている。Reference numeral 106 in FIG. 16 is an event recognition system that fulfills this function, and it is called a first channel because it has a shaping circuit 103 having a smaller time constant than the shaping circuit 108. In the event recognition system 106, a time discrimination circuit 104 for discriminating whether or not two pulse inputs, that is, an event interval is t d or less is provided on the output side of the shaping circuit 103, and the pileup removal circuit 105 is provided on the output side thereof. Is provided. Based on the output signal of the time discriminating circuit 104, the removing circuit 105 prevents the A / D in the energy measuring system 107 from taking in these pulses when the interval between the preceding and following pulses is t d or less.
An instruction is given to the conversion circuit 110, or the linear gate circuit 109 on the output side of the shaping circuit 108 is directly controlled so that these pulses are not input to the A / D conversion circuit 110.
【０００７】なお、時間弁別回路１０４からはベースラ
イン補償信号ＢＬＲが成形回路１０８に入力されてい
る。この補償信号は、成形回路１０８の出力パルスにア
ンダーシュートが生じた場合に、次のパルスが電圧のベ
ースラインよりも低いレベルから立ち上がることにより
パルスの波高が実際とは異なる値になってしまうため、
これを防ぐように、所定の時間間隔以内に次のパルスが
入力された際にベースラインを補正するために送られる
タイミング信号である。A baseline compensation signal BLR is input from the time discrimination circuit 104 to the shaping circuit 108. When the output pulse of the shaping circuit 108 undershoots, this compensation signal causes the pulse height of the next pulse to rise from a level lower than the baseline of the voltage, resulting in a pulse height different from the actual value. ,
To prevent this, it is a timing signal sent to correct the baseline when the next pulse is input within a predetermined time interval.
【０００８】ところで、試料の組成原子の濃度を測定す
る場合のように、蛍光Ｘ線のエネルギーをスペクトル測
定する場合においては、測定の目的に応じ、ある特定の
スペクトルのピークだけが関心の対象になる場合があ
る。また、バックグラウンドの多い測定対象について
は、必ずしもデータ全体を取り込む必要がない場合もあ
る。ここで、図１７は石油の組成原子を蛍光Ｘ線分析し
た場合のスペクトルを示している。この測定では硫黄の
濃度を測定するために硫黄成分Ｓ−Ｋαのピークと、こ
のピークが試料中の炭素及び水素の組成比により影響さ
れるので、これを補正するためにチタン成分Ｔｉ−Ｋα
のピークが必要であり、他のアルゴン成分Ａｒ−Ｋα、
鉄成分Ｆｅ−Ｋα等は不要である。When measuring the energy of fluorescent X-rays, such as when measuring the concentration of constituent atoms of a sample, only the peak of a specific spectrum is of interest depending on the purpose of the measurement. May be. In addition, it may not always be necessary to capture the entire data for a measurement target with a lot of background. Here, FIG. 17 shows a spectrum in the case where the constituent atoms of petroleum are subjected to fluorescent X-ray analysis. In this measurement, the peak of the sulfur component S-Kα for measuring the concentration of sulfur, and this peak is influenced by the composition ratio of carbon and hydrogen in the sample.
Of the other argon component Ar-Kα,
The iron component Fe-Kα or the like is unnecessary.
【０００９】このような場合、従来では各成分に応じた
数のシングルチャンネルアナライザ（図示せず）を設
け、このアナライザによりＡ／Ｄ変換器１１０を動作さ
せて必要な成分のデータのみをＡ／Ｄ変換する方法が採
られている。また、図１６に示すように、Ａ／Ｄ変換器
１１０の出力側にディジタルゲート１１１を設け、これ
を開閉して必要な成分のデータのみをメモリ１１２に格
納する方法もある。しかるに、これらの何れの方法で
も、時定数が大きい成形回路１０８を介してせっかく測
定したデータの多くを捨てていることになり、結果的に
不要なデータの処理に多くの時間を要することによって
必要なデータの測定が十分には行えないことになる。In such a case, conventionally, the number of single channel analyzers (not shown) corresponding to each component is provided, and the A / D converter 110 is operated by this analyzer to obtain only the data of the necessary component A / D. The method of D conversion is adopted. Further, as shown in FIG. 16, there is also a method in which a digital gate 111 is provided on the output side of the A / D converter 110 and the digital gate 111 is opened / closed to store only the data of a necessary component in the memory 112. However, in any of these methods, much of the data measured by the shaping circuit 108 having a large time constant is discarded, and as a result, it takes a lot of time to process unnecessary data. Therefore, it will not be possible to sufficiently measure various data.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来で
は、エネルギー分解能を高めようとするとエネルギー計
測系における成形回路の時定数が長くなり、デッドタイ
ムｔdを長くしなければならない。その反面、デッドタ
イムｔdが長いとパイルアップする確率が高くなり、高
い計数率を得ることができない。また、パイルアップ除
去により結果的に捨てられるデータや、不要な成分のデ
ータについてもすべてエネルギー計測系による成形処理
を行うことになるため、処理時間の無駄があり、これが
真に必要なデータの計数率低下を招いている。本発明は
上記問題点を解決するためになされたもので、その目的
とするところは、エネルギー分解能の向上と計数率の向
上という相反する課題の双方を同時に満足できるように
した放射線分析装置を提供することにある。As described above, conventionally, when the energy resolution is increased, the time constant of the shaping circuit in the energy measuring system becomes long, and the dead time t d must be made long. On the other hand, if the dead time t d is long, the probability of pile-up increases, and a high count rate cannot be obtained. In addition, since the energy measurement system also performs molding processing for all data that is discarded as a result of pile-up removal and data for unnecessary components, processing time is wasted, and this is the number of data that is truly necessary. This has led to a decline in the rate. The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a radiation analyzer capable of simultaneously satisfying both contradictory problems of improving energy resolution and improving counting rate. To do.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段及び作用】図１は第１及び
第２の発明の構成を示すブロック図である。図におい
て、１０は事象認識系であり、時定数の小さな成形回路
１１と、パイルアップ除去のためにパルス相互の時間間
隔を弁別するための時間弁別回路１２と、成形回路１１
の出力パルスの波高からエネルギーを大まかに弁別する
エネルギー弁別回路１３と、これらの弁別回路１２，１
３の制御及び後述するスイッチング手段３０、ベースラ
イン補正信号ＢＬＲの制御を行う制御回路１４とを備え
ている。また、２０はエネルギー計測系であり、時定数
の大きな成形回路２１と、Ａ／Ｄ変換回路２２とから構
成されている。FIG. 1 is a block diagram showing the constitution of the first and second inventions. In the figure, 10 is an event recognition system, and a shaping circuit 11 having a small time constant, a time discrimination circuit 12 for discriminating the time intervals between pulses for pile-up removal, and a shaping circuit 11
Discriminating circuit 13 for roughly discriminating energy from the wave height of the output pulse of
3 and the switching means 30 described later, and the control circuit 14 for controlling the baseline correction signal BLR. Reference numeral 20 denotes an energy measuring system, which includes a shaping circuit 21 having a large time constant and an A / D conversion circuit 22.
【００１２】更に、３０はスイッチング手段であり、こ
のスイッチング手段３０は、前置増幅器１０２からの階
段波電圧を検出器１０１の出力パルスの大きさに比例し
た波高を持つパルスに変換し、これらのパルスのうちパ
イルアップしたものや測定対象以外のエネルギーを持つ
ものを制御回路１４からの制御信号によるスイッチング
動作により除去し、残りのパルスにつき波形成形等を行
って出力するものである。そして、このスイッチング手
段３０の出力信号がエネルギー計測系２０の成形回路２
１に入力される。なお、４１はＡ／Ｄ変換回路２２の出
力データが格納されるメモリである。Further, 30 is a switching means, and this switching means 30 converts the staircase wave voltage from the preamplifier 102 into a pulse having a wave height proportional to the magnitude of the output pulse of the detector 101. Among the pulses, the piled-up pulses and those having energy other than the measurement target are removed by the switching operation by the control signal from the control circuit 14, and the remaining pulses are subjected to waveform shaping or the like and output. The output signal of the switching means 30 is the shaping circuit 2 of the energy measuring system 20.
Input to 1. Reference numeral 41 is a memory in which the output data of the A / D conversion circuit 22 is stored.
【００１３】上記構成において、時間弁別回路１２は図
１６における時間弁別回路１０４と同様の機能を持ち、
前後して入力された二つのパルスの時間間隔を測定して
パイルアップ発生時にパルスを除去するべく、制御回路
１４を介してスイッチング手段３０に制御信号を送出す
る。一方、エネルギー弁別回路１３は、例えば複数のシ
ングルチャンネルアナライザやフラッシュＡ／Ｄ変換回
路等の高速のＡ／Ｄ変換回路により入力パルスの波高を
弁別することにより、スペクトルのある領域を選択して
目的とするエネルギーのパルスのみを通過させるよう
に、制御回路１４を介してスイッチング手段３０に制御
信号を送出する。つまり、エネルギー弁別回路１３は、
入力パルスのエネルギーに対し上下限を設定してこれを
可変とすることにより所望のエネルギー領域を設定し、
制御回路１４及びスイッチング手段３０を介してエネル
ギー計測系２０に取り込むパルスを弁別するように作用
する。In the above structure, the time discrimination circuit 12 has the same function as the time discrimination circuit 104 in FIG.
A control signal is sent to the switching means 30 via the control circuit 14 in order to measure the time interval between two pulses input before and after and to remove the pulse when a pileup occurs. On the other hand, the energy discriminating circuit 13 discriminates the wave height of the input pulse by a high-speed A / D conversion circuit such as a plurality of single-channel analyzers or flash A / D conversion circuits to select a certain region of the spectrum for the purpose. A control signal is sent to the switching means 30 via the control circuit 14 so that only the pulse of the energy to be passed. That is, the energy discrimination circuit 13
Set the desired energy range by setting the upper and lower limits for the energy of the input pulse and making this variable,
The control circuit 14 and the switching means 30 act to discriminate the pulse to be taken into the energy measuring system 20.
【００１４】スイッチング手段３０では、前置増幅器１
０２の出力に基づき振幅にエネルギー情報を持たせたパ
ルスを作り出し、時間弁別回路１２またはエネルギー弁
別回路１３により必要と判断された信号のみを通過させ
てエネルギー計測系２０の成形回路２１に入力する。In the switching means 30, the preamplifier 1
Based on the output of 02, a pulse whose energy information is given to the amplitude is produced, and only the signal judged to be necessary by the time discrimination circuit 12 or the energy discrimination circuit 13 is passed through and input to the shaping circuit 21 of the energy measurement system 20.
【００１５】なお、図１の構成において、エネルギー弁
別回路１３によるエネルギー弁別結果を用いてスイッチ
ング手段３０を制御する構成が第１の発明に相当し、時
間弁別回路１２による時間弁別結果を用いてスイッチン
グ手段３０を制御する構成が第２の発明に相当する。In the configuration of FIG. 1, the configuration in which the switching means 30 is controlled by using the energy discrimination result by the energy discrimination circuit 13 corresponds to the first invention, and switching is performed by using the time discrimination result by the time discrimination circuit 12. The configuration for controlling the means 30 corresponds to the second invention.
【００１６】図２は、各部の信号波形を示すものであ
る。試料からの放射線（蛍光Ｘ線）が検出されるたびに
検出器１０１から図示するようなパルスが出力されると
すると、エネルギー計測系２０の成形回路２１では、各
パルスすなわち一つの事象についてそれぞれデッドタイ
ムｔd分の処理時間が必要である。図示するように、平
均計数率が１／ｔd以上になると一つの事象を処理して
いる間に次の事象が発生するために、処理時間がすべて
重なってしまう。そこで、本発明ではデッドタイムｔd
の経過以前に発生したパルスを時間弁別回路１２により
検出し、制御回路１４を介してスイッチング手段３０に
よりこのパルスを除去することによってパイルアップを
防止している。FIG. 2 shows the signal waveform of each part. If a pulse as shown in the figure is output from the detector 101 each time radiation (fluorescent X-ray) from the sample is detected, the shaping circuit 21 of the energy measuring system 20 deadens each pulse, that is, one event. A processing time of time t d is required. As shown in the figure, when the average count rate becomes 1 / t d or more, the next event occurs while one event is being processed, so that the processing times all overlap. Therefore, in the present invention, the dead time t d
The time discriminating circuit 12 detects a pulse generated before the passage of time, and the switching means 30 through the control circuit 14 removes this pulse to prevent pile-up.
【００１７】前置増幅器１０２の出力信号がスイッチン
グ手段３０に入力され、微分等の処理が行われてその結
果のパルスが図示するようであるとすると、これらのパ
ルスのうち「＊」を付したパルスがパイルアップの原因
となるパルスである。本発明では、スイッチング手段３
０によってこれらのパルスが除去され、残りのパルスに
ついて波形成形等が行われる結果、成形回路２１の入力
パルスは図のようになる。つまり、スイッチング手段３
０における処理パルスのうち「＊」を付したパルスが前
置増幅器１０２の出力に始めから存在しなかったのと同
じ状態となる。エネルギー計測系２０において、成形回
路２１への入力パルスは大きな時定数で成形されてＡ／
Ｄ変換される。なお、成形回路２１では、従来と同様に
ベースライン補正信号ＢＬＲによりパルスのベースライ
ン補正が行われる。If the output signal of the preamplifier 102 is input to the switching means 30 and the processing such as differentiation is performed and the resulting pulse is as shown in the figure, "*" is added to these pulses. The pulse is the pulse that causes pile-up. In the present invention, the switching means 3
These pulses are removed by 0, and waveform shaping or the like is performed on the remaining pulses. As a result, the input pulse of the shaping circuit 21 becomes as shown in the figure. That is, the switching means 3
Of the processing pulses at 0, the pulse marked with "*" is in the same state as it was not originally present at the output of the preamplifier 102. In the energy measuring system 20, the input pulse to the shaping circuit 21 is shaped with a large time constant and is A /
D converted. In addition, in the shaping circuit 21, the baseline correction of the pulse is performed by the baseline correction signal BLR as in the conventional case.
【００１８】図３は、エネルギー弁別回路１３の機能に
より、スイッチング手段３０における処理パルスのうち
の一部を有効とする場合の各部の波形図である。スイッ
チング手段３０における処理パルスが図示するようであ
るとし、「＊」を付したパルスの保持するエネルギーに
着目してこれらのパルスの測定が不要な場合、エネルギ
ー弁別回路１３により制御回路１４及びスイッチング手
段３０を介しこれらのパルスを除去し、残りのパルスに
つき波形成形等を行えば、成形回路２１の入力パルスは
図示するようになる。すなわち、時間弁別の場合と同様
に、「＊」を付したパルスが前置増幅器１０２の出力に
始めから存在しなかったのと同じ状態となる。FIG. 3 is a waveform diagram of each part when some of the processing pulses in the switching means 30 are made effective by the function of the energy discriminating circuit 13. Assuming that the processing pulses in the switching means 30 are as shown in the figure, and when it is not necessary to measure these pulses by paying attention to the energy held by the pulses marked with "*", the energy discriminating circuit 13 causes the control circuit 14 and the switching means. If these pulses are removed via 30 and the remaining pulses are subjected to waveform shaping or the like, the input pulse of the shaping circuit 21 becomes as shown in the figure. That is, as in the case of the time discrimination, the pulse marked with “*” is in the same state as when it was not originally present in the output of the preamplifier 102.
【００１９】このようにして、パイルアップの除去と、
目的とするエネルギーを保持したパルスのみの取り込み
に際し、本発明ではエネルギー計測系２０の前段で不要
なパルスを除去するので、エネルギー計測系２０が大き
な時定数により無駄な波形成形を行うことがなくなり、
真に必要なパルスのみを高い計数率で測定することがで
きる。In this way, pile-up removal and
In the present invention, unnecessary pulses are removed in the preceding stage of the energy measuring system 20 when only the pulse that holds the target energy is taken in, so that the energy measuring system 20 does not perform unnecessary waveform shaping due to a large time constant.
Only truly needed pulses can be measured at high count rates.
【００２０】[0020]
【実施例】以下、図に沿って本発明の実施例を説明す
る。図４は本発明を石油中の硫黄成分の蛍光Ｘ線分析に
適用した場合のシステム構成図であり、１は試料（石
油）、２はＸ線管、３は二次ターゲット、１０１は前述
の検出器、４は本発明の主要部からなるリニアアンプ
（前置増幅器１０２を含む）、５は信号処理回路、６は
信号処理回路５の出力信号を硫黄成分の濃度に変換する
濃度変換器である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 4 is a system configuration diagram when the present invention is applied to fluorescent X-ray analysis of sulfur components in petroleum. 1 is a sample (petroleum), 2 is an X-ray tube, 3 is a secondary target, 101 is the above-mentioned A detector, 4 is a linear amplifier (including the preamplifier 102) that is a main part of the present invention, 5 is a signal processing circuit, and 6 is a concentration converter that converts the output signal of the signal processing circuit 5 into the concentration of the sulfur component. is there.
【００２１】Ｘ線管２としては銅ターゲットを用い、ま
た、二次ターゲット３にはチタンを用いることにより、
Ｔｉ−Ｋαによる単色光で試料１を励起するものとす
る。これにより、試料中の硫黄成分が励起されてＳ−Ｋ
αによる蛍光Ｘ線が発生し、この蛍光Ｘ線を検出器１０
１により検出してそのエネルギーに応じた波高の電圧パ
ルスを出力する。リニアアンプ４では前置増幅を行った
後、時間弁別機能及びエネルギー弁別機能により所定の
入力パルスのみを選択的に波形成形して出力し、信号処
理回路５は入力データのＡ／Ｄ変換、記憶等を行った
後、濃度変換器６により試料中の硫黄濃度に変換する。By using a copper target as the X-ray tube 2 and titanium as the secondary target 3,
It is assumed that the sample 1 is excited by monochromatic light of Ti-Kα. As a result, the sulfur component in the sample is excited and SK
Fluorescent X-rays are generated by α, and the fluorescent X-rays are detected by the detector 10
1 and outputs a voltage pulse having a wave height corresponding to the energy. After performing preamplification in the linear amplifier 4, only the predetermined input pulse is selectively shaped by the time discrimination function and the energy discrimination function and output, and the signal processing circuit 5 performs A / D conversion and storage of the input data. After performing the above, the concentration converter 6 converts the sulfur concentration in the sample.
【００２２】図５のイは前置増幅器の出力信号であり、
階段波電圧の各一段の高さが検出した蛍光Ｘ線のエネル
ギーに比例し、また、一定時間内の信号の数が蛍光Ｘ線
の強度すなわち組成原子の濃度に比例している。従来の
リニアアンプでは、入力した信号のすべてをエネルギー
計測系でそのまま波形成形するので、図５のロに示すよ
うな出力波形となる。すなわち、信号ｙ，ｚはそれぞれ
直前の信号ｙ´，ｚ´と重なり合ってパイルアップを生
じるため、パイルアップ除去処理を行うと個々の信号
ｙ，ｚ及びｙ´，ｚ´が保持しているエネルギー情報が
不明になってしまう。従って、組成原子を正確に検出で
きず、ひいては組成原子の濃度を正確に測定することが
できない。FIG. 5A shows the output signal of the preamplifier,
The height of each step of the staircase voltage is proportional to the energy of the detected fluorescent X-rays, and the number of signals within a certain time is proportional to the intensity of the fluorescent X-rays, that is, the concentration of the constituent atoms. In the conventional linear amplifier, since all the input signals are shaped as they are in the energy measuring system, the output waveform is as shown in FIG. That is, since the signals y and z overlap with the immediately preceding signals y ′ and z ′, respectively, to cause pile-up, when the pile-up removal processing is performed, the energy held by each signal y and z and y ′ and z ′ is held. The information becomes unknown. Therefore, the constituent atoms cannot be accurately detected, and thus the concentration of the constituent atoms cannot be accurately measured.
【００２３】そこで、本実施例では、時間弁別機能によ
り、信号ｙ´の直後に入力された信号ｙをエネルギー計
測系の入力側で除去して前置増幅器の出力信号にもとも
と信号ｙが存在していなかったように処理することによ
り、少なくとも信号ｙ´を有効とする。加えて、エネル
ギー弁別機能により、例えばエネルギー（波高）の大き
な信号ｚ´をエネルギー計測系の入力側で除去して前置
増幅器の出力信号にもともと信号ｚ´が存在していなか
ったように処理する。この結果、リニアアンプ４の出力
波形は図５のハのようになる。これにより、リニアアン
プ４への入力信号の利用率が高くなり、その結果、高い
計数率で測定を行うことができる。Therefore, in this embodiment, by the time discrimination function, the signal y input immediately after the signal y'is removed at the input side of the energy measuring system so that the signal y originally exists in the output signal of the preamplifier. By processing as if it did not exist, at least the signal y'is made valid. In addition, the energy discriminating function removes, for example, the signal z ′ having a large energy (wave height) at the input side of the energy measuring system and processes it so that the signal z ′ originally does not exist in the output signal of the preamplifier. . As a result, the output waveform of the linear amplifier 4 becomes as shown in FIG. As a result, the utilization rate of the input signal to the linear amplifier 4 is increased, and as a result, the measurement can be performed at a high counting rate.
【００２４】図６は本発明の第１実施例であり、図１と
同一の構成要素には同一番号を付してある。この実施例
では、スイッチング手段３０Ａが、前置増幅器１０２の
出力信号が入力されるサンプラ３１と、その出力側のア
ナログディレイライン３２と、制御回路１４からの制御
信号により開閉制御されるスイッチ３３と、その出力側
の成形回路３４とから構成されており、成形回路３４の
出力がエネルギー計測系２０の成形回路２１に入力され
ている。なお、時間弁別回路１２は単安定マルチバイブ
レータとアンドゲートを備え、エネルギー弁別回路１３
は入力パルスの波高を弁別するためにフラッシュＡ／Ｄ
変換回路を備えている。また、エネルギー計測系２０の
成形回路２１は微分回路、積分回路等を備えたガウシア
ンフィルタから構成されている。FIG. 6 shows the first embodiment of the present invention, and the same components as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. In this embodiment, the switching means 30A includes a sampler 31 to which the output signal of the preamplifier 102 is input, an analog delay line 32 on the output side, and a switch 33 which is controlled to open and close by a control signal from the control circuit 14. , And the shaping circuit 34 on the output side thereof, and the output of the shaping circuit 34 is input to the shaping circuit 21 of the energy measuring system 20. The time discrimination circuit 12 includes a monostable multivibrator and an AND gate, and the energy discrimination circuit 13
Is a flash A / D to distinguish the pulse height of the input pulse
It has a conversion circuit. The shaping circuit 21 of the energy measuring system 20 is composed of a Gaussian filter provided with a differentiating circuit, an integrating circuit and the like.
【００２５】ここで、サンプラ３１の構成としては、図
７（ａ）のようにＣ，Ｒからなる微分回路を用いたもの
が最も簡単であり、入力パルスの立ち上りからデッドタ
イムｔdだけ経過すると、分解能にもよるが波高値が１
／１０２４または１／２０４８４に減衰する指数減衰波
形の出力パルスを得ることができる。この出力パルスを
時定数の長い微分波形に戻すには、成形回路３４として
図７（ｂ）に示すような構成のポール・ゼロ・キャンセ
ラー回路を用いれば良い。Here, the sampler 31 is the simplest in structure using a differentiating circuit composed of C and R as shown in FIG. 7A, and when the dead time t d elapses from the rise of the input pulse. , Depending on the resolution, the peak value is 1
It is possible to obtain an output pulse having an exponential decay waveform that decays to / 1024 or 1/20484. In order to return this output pulse to a differential waveform with a long time constant, a pole-zero canceller circuit having the configuration shown in FIG. 7B may be used as the shaping circuit 34.
【００２６】微分時定数は短いことが好ましいが、余り
短いと検出器１０１におけるデータ取得時間の揺らぎの
影響が出てきてパルスの波高によるエネルギー情報が正
確に保持されなくなる。この影響を防止する方法として
周知の直列スイッチの方法がある。図８（ａ）は直列ス
イッチの構成を、また（ｂ）は動作波形を示しており、
図６のスイッチング手段３０Ａを図８（ａ）の直列スイ
ッチに置き換え、入力信号が検出されたらスイッチＳを
短時間オフし、入力の積分波形が十分に立ち上がった時
点でスイッチＳをオンすることにより、出力信号波形は
立上りが早くしかも揺らぎのない波形となる。It is preferable that the differential time constant is short, but if it is too short, fluctuations in the data acquisition time in the detector 101 will occur and the energy information due to the pulse height will not be held accurately. As a method of preventing this influence, there is a well-known series switch method. FIG. 8A shows the configuration of the series switch, and FIG. 8B shows the operation waveform.
By replacing the switching means 30A of FIG. 6 with the series switch of FIG. 8A, turning off the switch S for a short time when an input signal is detected, and turning on the switch S when the integrated waveform of the input rises sufficiently. The output signal waveform has a fast rise and no fluctuation.
【００２７】図９は、この実施例における各部の波形を
示している。同図の前置増幅器の出力ａにおいて、信号
α，β，γが順次発生するものとする。まず、信号αは
エネルギー弁別回路１３におけるエネルギー弁別の結
果、有効である（測定範囲内である）と判別される信号
であるとする。この信号αはサンプラ３１を経てアナロ
グディレイライン３２により若干遅延され、オフ状態の
スイッチ３３を介して成形回路３４により大きな時定数
の微分波形に成形され、エネルギー計測系２０の成形回
路２１に入力される。この成形回路２１では、前記成形
回路３４と同一の時定数により波形成形が行われ、その
出力信号が図示されていないＡ／Ｄ変換回路に送られて
メモリに記憶される。FIG. 9 shows the waveform of each part in this embodiment. It is assumed that the signals α, β and γ are sequentially generated at the output a of the preamplifier in FIG. First, it is assumed that the signal α is a signal that is determined to be valid (within the measurement range) as a result of the energy discrimination in the energy discrimination circuit 13. This signal α is slightly delayed by the analog delay line 32 via the sampler 31, is shaped into a differential waveform with a large time constant by the shaping circuit 34 via the switch 33 in the off state, and is input to the shaping circuit 21 of the energy measuring system 20. It In the shaping circuit 21, waveform shaping is performed with the same time constant as that of the shaping circuit 34, and the output signal is sent to an A / D conversion circuit (not shown) and stored in the memory.
【００２８】なお、スイッチ３３がオンからオフになる
タイミングは、信号αが入力されてからアナログディレ
イライン３２による遅延時間を経過した時点であり、ま
た、スイッチ３３がオフからオンになるタイミングは、
スイッチ３３がオフになってから成形回路２１による成
形時間を経過した時点である。The timing when the switch 33 is turned on is the timing when the delay time by the analog delay line 32 has elapsed after the signal α was input, and the timing when the switch 33 is turned on is
This is the time when the molding time by the molding circuit 21 has elapsed since the switch 33 was turned off.
【００２９】前置増幅器の出力ａのうち信号βは、エネ
ルギー計測系２０において信号αを処理した後に、時間
弁別回路１２による時間弁別機能で次の入力を処理可能
な期間に発生した信号であるが、エネルギー弁別回路１
３によるエネルギー弁別機能により、測定対象とは異な
るエネルギー情報を持つため除去するべきであると判断
された信号とする。この場合には、エネルギー弁別回路
１３の弁別結果により信号βが不要なものであることが
判っているので、スイッチ３３をオフすることなくオン
状態のまま維持し、アナログディレイライン３２の出力
側を接地する。従って、信号βは前置増幅器の出力ａか
ら除去され、エネルギー計測系２０には入力されない。The signal β of the output a of the preamplifier is a signal generated during the period when the next input can be processed by the time discrimination function of the time discrimination circuit 12 after processing the signal α in the energy measuring system 20. But the energy discrimination circuit 1
The signal is determined to be removed because the energy discriminating function of 3 has energy information different from that of the measurement target. In this case, since it is known from the discrimination result of the energy discrimination circuit 13 that the signal β is unnecessary, the switch 33 is maintained in the ON state without being turned off, and the output side of the analog delay line 32 is maintained. Ground. Therefore, the signal β is removed from the output a of the preamplifier and is not input to the energy measuring system 20.
【００３０】前置増幅器の出力ａのうち信号γは、エネ
ルギー弁別機能により有効、すなわち測定対象のエネル
ギー情報を持つ信号であると判別された信号であるが、
直前の信号βとの間の時間間隔が短いため、仮りに信号
βを上述の如く除去しなかった場合には、パイルアップ
により信号βと共に測定できなかった筈の信号である。
この実施例では、エネルギー弁別機能により信号βを除
去しているので、図９に示すように、信号γについては
除去されることなくエネルギー計測系２０に入力されて
いる。The signal γ of the output a of the preamplifier is a signal which is determined by the energy discriminating function to be effective, that is, a signal having the energy information of the measurement object.
Since the time interval between the signal β immediately before and the signal β immediately before is short, if the signal β is not removed as described above, the signal cannot be measured together with the signal β due to pile-up.
In this embodiment, since the signal β is removed by the energy discriminating function, the signal γ is not removed but is input to the energy measuring system 20 as shown in FIG.
【００３１】ここで、本実施例における時間弁別機能に
ついて補足する。検出器１０１に対し図１０（ａ）に示
すような信号が入力された場合、従来技術では同図
（ｂ）の「○」を付した信号は測定可能であるが、
「×」を付した信号はパイルアップにより測定すること
ができない。一方、この実施例では、時間弁別機能によ
り先行するタイミングで入力された信号については測定
可能になるので、同図（ｃ）に示すように従来より多く
の信号を測定可能となり、計数率を上げることができ
る。Here, the time discrimination function in this embodiment will be supplemented. When a signal as shown in FIG. 10A is input to the detector 101, the signal marked with a circle in FIG.
Signals marked with "x" cannot be measured by pile-up. On the other hand, in this embodiment, since the signal inputted at the preceding timing can be measured by the time discrimination function, more signals can be measured than the conventional one as shown in FIG. 7C, and the counting rate is increased. be able to.
【００３２】この点を更に詳述すると、エネルギー計測
系２０における成形回路のデッドタイムを図１１（ａ）
に示すごとくｔdとする。なお、ここでは便宜上、成形
波形を三角波により示してあるが、ガウス波形等の場合
にも同様に適用することができる。この成形波形の波頭
からピークまでの時間をｔr、ピークから波尾までの時
間をｔf、連続して入力される二つの信号の時間間隔を
ｔi、前記サンプラ３１のサンプリング時間を図１１
（ｂ）に示すようにｔsとすると、従来技術では、 ｔf＜ｔiの場合には、二つの信号の双方が計測可 ｔr＜ｔi＜ｔfの場合には、先に入力された信号のみ計
測可 ｔi＜ｔrの場合には、二つの信号の双方が計測不可 となる。To explain this point in more detail, the dead time of the forming circuit in the energy measuring system 20 is shown in FIG.
Let t d as shown in. Note that, here, for convenience, the shaped waveform is shown by a triangular wave, but the same can be applied to the case of a Gaussian waveform or the like. The time from the wave front to the peak of this shaped waveform is t r , the time from the peak to the wave tail is t f , the time interval between two continuously input signals is t i , and the sampling time of the sampler 31 is shown in FIG.
Assuming that t s is as shown in (b), in the prior art, when t f <t i , both of the two signals can be measured, and when t r <t i <t f , it is input first. When only the obtained signal can be measured t i <t r , both of the two signals cannot be measured.
【００３３】しかるに、本実施例では、 ｔf＜ｔiの場合には、二つの信号の双方が計測可 ｔs＜ｔi＜ｔfの場合には、先に入力された信号のみ計
測可 ｔi＜ｔsの場合にのみ、二つの信号の双方が計測不可 となる。However, in the present embodiment, when t f <t i , both of the two signals can be measured, and when t s <t i <t f , only the previously input signal can be measured. only in the case of a t i <t s, both of the two signals becomes the measurement are not allowed.
【００３４】図１２は、この実施例において時間弁別機
能及びエネルギー弁別機能の双方を働かせた場合のスペ
クトルを示している。この実施例では、石油中の硫黄成
分の濃度を測定の目的としているので、スペクトル中で
必要なデータはＳ−Ｋαのピークと、このピークを試料
中の炭素と水素との組成比に応じて補正するのに必要な
Ｔｉ−Ｋαのピークである。従って、図１７に示したＡ
ｒ−Ｋαや、Ｔｉ−Ｋβ，Ｆｅ−Ｋα，Ｃｕ−Ｋα，Ｃ
ｕ−Ｋβは不要なデータであり、エネルギー弁別機能に
より除去することが必要になる。FIG. 12 shows a spectrum when both the time discrimination function and the energy discrimination function are activated in this embodiment. Since the purpose of this example is to measure the concentration of the sulfur component in petroleum, the data required in the spectrum is the peak of S-Kα, and this peak depends on the composition ratio of carbon and hydrogen in the sample. This is the peak of Ti-Kα necessary for correction. Therefore, A shown in FIG.
r-Kα, Ti-Kβ, Fe-Kα, Cu-Kα, C
u-Kβ is unnecessary data and needs to be removed by the energy discrimination function.
【００３５】ところで、性能評価の指標として重要なも
のに検出限界（ＬＤＬ）があるが、これは目的成分のス
ペクトルのバックグラウンドの統計変動の３倍（３σ）
を目的成分の濃度に換算した値により表現している。従
来技術として示した図１７において、Ｓ−ＫαのＬＤＬ
は１５．６〔ｐｐｍ〕であったが、本実施例においてエ
ネルギー弁別機能のみを活かして他の条件を従来技術と
同様にして測定すると、図１２のスペクトルが得られ
た。図１７及び図１２においてすべてのスペクトルの占
める面積（基線と波形により囲まれた部分の面積）は等
しいと考えられるので、本実施例により不要なエネルギ
ーのＸ線をエネルギー計測系２０にて処理しないことに
より、目的成分のピークは大きくなっている。By the way, the detection limit (LDL) is an important index for performance evaluation, which is three times (3σ) the statistical fluctuation of the background of the spectrum of the target component.
Is expressed by the value converted into the concentration of the target component. In FIG. 17 shown as the prior art, the LDL of S-Kα
Was 15.6 [ppm], but when the other conditions were measured in the same manner as in the prior art by utilizing only the energy discriminating function in this example, the spectrum of FIG. 12 was obtained. In FIGS. 17 and 12, the areas occupied by all spectra (areas of the portion surrounded by the base line and the waveform) are considered to be equal, and therefore the X-rays of unnecessary energy are not processed by the energy measuring system 20 according to the present embodiment. As a result, the peak of the target component is large.
【００３６】ちなみに、ここでのエネルギー弁別機能の
設定は、 ０〜 １９９０〔ｅＶ〕…………無効（測定しない） ２０００〜 ２６００〔ｅＶ〕…………有効 ２６１０〜 ３９９０〔ｅＶ〕…………無効 ４０００〜 ５３００〔ｅＶ〕…………有効 ５３１０〜１０２３０〔ｅＶ〕…………無効 とした。図１２によれば、Ｓ−ＫαのＬＤＬは１０．３
〔ｐｐｍ〕に改善されている。また、エネルギー弁別機
能及び時間弁別機能の双方を活かした場合、図１３に示
すようなスペクトルが得られた。この場合には更にカウ
ント数が増加し、ＬＤＬは８．５〔ｐｐｍ〕に改善され
た。By the way, the setting of the energy discrimination function here is 0 to 1990 [eV] ............ invalid (not measured) 2000 to 2600 [eV] ...... effective 2610 to 3990 [eV] ...... … Invalid 4000 to 5300 [eV] ………… Valid 5310 to 10230 [eV] ………… Invalid. According to FIG. 12, the LDL of S-Kα is 10.3.
It has been improved to [ppm]. When both the energy discriminating function and the time discriminating function were utilized, a spectrum as shown in FIG. 13 was obtained. In this case, the count number was further increased, and the LDL was improved to 8.5 [ppm].
【００３７】次いで、図１４は本発明の第２実施例を示
している。この実施例では、スイッチング手段３０Ｂが
アナログディレイライン３２と、スイッチ３５と、その
出力側のコンデンサＣ1と、ゲイン１のバッファアンプ
３６と、その出力側のコンデンサＣ2と、スイッチ３７
とにより構成されており、スイッチ３５，３７は制御回
路１４からの制御信号により開閉制御されるようになっ
ている。Next, FIG. 14 shows a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the switching means 30B has an analog delay line 32, a switch 35, an output side capacitor C 1 , a gain 1 buffer amplifier 36, an output side capacitor C 2 and a switch 37.
The switches 35 and 37 are controlled to be opened and closed by a control signal from the control circuit 14.
【００３８】図１５は前置増幅器の出力と成形回路２１
の入力及びスイッチ３５，３７のオン、オフのタイミン
グを示す図である。スイッチ３５，３７は何れも通常時
はオン状態にあり、事象認識系１０において入力信号を
時間弁別またはエネルギー弁別した結果、有効なもので
ある（除去する対象ではない）と判断すると、制御回路
１４からの制御信号によりスイッチ３５をオフし、これ
を一定時間経過後にオンすると同時にスイッチ３７をオ
フし、その後、一定時間経過してからこのスイッチ３７
をオンする。FIG. 15 shows the output of the preamplifier and the shaping circuit 21.
FIG. 4 is a diagram showing the input of and the on / off timing of switches 35 and 37. Both the switches 35 and 37 are normally in the ON state, and when the event recognition system 10 determines that the input signal is valid (not a target to be removed) as a result of time discrimination or energy discrimination, the control circuit 14 The control signal from turns off the switch 35, turns it on after a lapse of a fixed time, and simultaneously turns off the switch 37.
Turn on.
【００３９】これにより、成形回路２１には、スイッチ
３５がオン、スイッチ３７がオフである期間のコンデン
サＣ1の電圧にほぼ等しい電圧（前置増幅器出力のステ
ップ電圧）が入力されることになる。なお、時間弁別機
能またはエネルギー弁別機能により成形回路２１に入力
する必要がない信号については、スイッチ３７をオンに
したままとすることにより、ステップ電圧が成形回路２
１に入力されなくなる。成形回路２１への入力パルス
は、その波高にエネルギー情報を保持しているから、前
記同様にこれらのパルスを波形成形して測定することに
より、必要な組成成分のパルスのみを計数することがで
き、硫黄成分等の濃度を高い計数率で測定することが可
能になる。As a result, a voltage (step voltage of the preamplifier output) that is substantially equal to the voltage of the capacitor C 1 during the period when the switch 35 is on and the switch 37 is off is input to the shaping circuit 21. . For signals that do not need to be input to the shaping circuit 21 due to the time discriminating function or the energy discriminating function, the step voltage can be changed by keeping the switch 37 on.
No more input to 1. Since the input pulse to the shaping circuit 21 holds the energy information in its wave height, it is possible to count only the pulses of the necessary composition components by performing waveform shaping and measuring these pulses in the same manner as described above. It is possible to measure the concentration of sulfur components and the like at a high count rate.
【００４０】上記各実施例におけるスイッチング手段３
０の構成はあくまで例示的なものであり、前置増幅器の
出力信号をエネルギー情報を保持した個々のパルスに変
換し、事象認識系の時間弁別機能またはエネルギー弁別
機能により選択されたパルスのみをエネルギー計測系に
入力させるものであれば、どのような構成であっても良
い。Switching means 3 in each of the above embodiments
The configuration of 0 is merely an example, and the output signal of the preamplifier is converted into individual pulses holding energy information, and only the pulse selected by the time discrimination function or the energy discrimination function of the event recognition system is energized. Any configuration may be used as long as it can be input to the measurement system.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上述べたように第１の発明は、事象認
識系のエネルギー弁別結果に基づいてスイッチング手段
を制御することにより、測定の目的に照らして不要なパ
ルスをエネルギー計測系に入力させないようにし、ま
た、第２の発明は、事象認識系における時間弁別結果に
基づいてスイッチング手段を制御することにより、パイ
ルアップの原因となる不要なパルスをエネルギー計測系
に入力させないようにしたものである。As described above, according to the first aspect of the present invention, by controlling the switching means based on the energy discrimination result of the event recognition system, unnecessary pulses are not input to the energy measurement system in view of the purpose of measurement. The second aspect of the present invention prevents the unnecessary pulse that causes pile-up from being input to the energy measuring system by controlling the switching means based on the time discrimination result in the event recognition system. is there.
【００４２】このため、結果的に不要になるパルスはエ
ネルギー計測系に入力される前に除去されることにな
り、従来のように不要なパルスについて波形成形等の処
理を行うことによる時間の無駄がなくなり、その処理時
間中に入力された目的とするパルスを遺漏なく測定する
ことができる。従って、エネルギー計測系におけるデッ
ドタイムを長くしてエネルギー分解能を向上させる要求
と、計数率の向上という要求の双方を満足させ、高い計
数率により高精度の測定が可能な放射線分析装置を実現
することができる。For this reason, the pulse that becomes unnecessary as a result is removed before being input to the energy measurement system, and time is wasted by performing processing such as waveform shaping on the unnecessary pulse as in the conventional case. The target pulse input during the processing time can be measured without omission. Therefore, it is possible to realize a radiation analyzer capable of performing highly accurate measurement with a high counting rate by satisfying both the requirement of increasing the dead time in the energy measuring system to improve the energy resolution and the requirement of improving the counting rate. You can
【図１】第１及び第２の発明の構成を示すブロック図で
ある。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of first and second inventions.
【図２】図１の動作を示す波形図である。FIG. 2 is a waveform diagram showing the operation of FIG.
【図３】図１の動作を示す波形図である。FIG. 3 is a waveform diagram showing the operation of FIG.
【図４】本発明の実施例が適用されるシステム全体の構
成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of an entire system to which an embodiment of the present invention is applied.
【図５】本発明の動作を示す波形図である。FIG. 5 is a waveform chart showing the operation of the present invention.
【図６】第１及び第２の発明の第１実施例を示すブロッ
ク図である。FIG. 6 is a block diagram showing a first embodiment of the first and second inventions.
【図７】図６の実施例の主要部を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a main part of the embodiment of FIG.
【図８】図６の実施例の主要部を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a main part of the embodiment of FIG.
【図９】図６の実施例の動作を示す波形図である。9 is a waveform chart showing the operation of the embodiment of FIG.
【図１０】図６の実施例の時間弁別機能を説明する図で
ある。10 is a diagram illustrating a time discrimination function of the embodiment of FIG.
【図１１】図６の実施例の成形波形の説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram of a molding waveform of the embodiment of FIG.
【図１２】図６の実施例による測定結果を示すスペクト
ルである。FIG. 12 is a spectrum showing a measurement result according to the example of FIG.
【図１３】図６の実施例による測定結果を示すスペクト
ルである。FIG. 13 is a spectrum showing a measurement result according to the example of FIG.
【図１４】第１及び第２の発明の第２実施例を示すブロ
ック図である。FIG. 14 is a block diagram showing a second embodiment of the first and second inventions.
【図１５】図１４の実施例の動作を示す波形図である。15 is a waveform chart showing the operation of the embodiment of FIG.
【図１６】従来の技術を示すブロック図である。FIG. 16 is a block diagram showing a conventional technique.
【図１７】図１６の動作を示す波形図である。FIG. 17 is a waveform diagram showing the operation of FIG.
１ 試料 ２ Ｘ線管 ３ 二次ターゲット ４ リニアアンプ ５ 信号処理回路 ６ 濃度変換器 １０ 事象認識系 １１，２１，３４ 成形回路 １２ 時間弁別回路 １３ エネルギー弁別回路 １４ 制御回路 ２０ エネルギー計測系 ２２ Ａ／Ｄ変換回路 ３０，３０Ａ，３０Ｂ スイッチング手段 ３１ サンプラ ３２ アナログディレイライン ３３，３５，３７ スイッチ ３６ バッファ ４１ メモリ 1 sample 2 X-ray tube 3 secondary target 4 linear amplifier 5 signal processing circuit 6 concentration converter 10 event recognition system 11, 21, 34 molding circuit 12 time discrimination circuit 13 energy discrimination circuit 14 control circuit 20 energy measurement system 22 A / D conversion circuit 30, 30A, 30B switching means 31 sampler 32 analog delay line 33, 35, 37 switch 36 buffer 41 memory
フロントページの続き (72)発明者 伏見 和郎 東京都小平市仲町32−２ (72)発明者 桑田 正彦 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子エンジニアリング株式会社内Front page continuation (72) Inventor Kazuro Fushimi 32-2 Nakamachi, Kodaira-shi, Tokyo (72) Masahiko Kuwata 3-1-2 Musashino, Akishima-shi, Tokyo Inside Nippon Denshi Engineering Co., Ltd.
Claims (3)
り計測するエネルギー計測系と、 前記パルス相互の時間を弁別して不要なパルスを除去す
るべくエネルギー計測系に作用する事象認識系と、 を備えた放射線分析装置において、 事象認識系は、前記パルスに基づいてエネルギーを弁別
する手段を備え、 エネルギー計測系の入力側には、事象認識系におけるエ
ネルギーの弁別結果に基づいて不要なパルスをエネルギ
ー計測系に入力させないように動作するスイッチング手
段を設けたことを特徴とする放射線分析装置。1. A radiation system comprising: an energy measurement system that measures the energy of radiation by the pulse height of the pulse; and an event recognition system that acts on the energy measurement system to discriminate the time between the pulses and remove unnecessary pulses. In the analyzer, the event recognition system includes means for discriminating energy based on the pulse, and an unnecessary pulse is input to the energy measurement system on the input side of the energy measurement system based on the energy discrimination result in the event recognition system. A radiation analysis apparatus comprising switching means that operates so as not to input the radiation.
別する手段は、パルスのエネルギーに対して上下限の設
定が可変である請求項１記載の放射線分析装置。2. The radiation analyzer according to claim 1, wherein the means for discriminating the energy provided in the event recognition system has variable upper and lower limits for the pulse energy.
り計測するエネルギー計測系と、 前記パルス相互の時間を弁別して不要なパルスを除去す
るべくエネルギー計測系に作用する事象認識系と、 を備えた放射線分析装置において、 エネルギー計測系の入力側には、事象認識系における時
間弁別結果に基づいて不要なパルスをエネルギー計測系
に入力させないように動作するスイッチング手段を設け
たことを特徴とする放射線分析装置。3. A radiation system comprising: an energy measurement system for measuring the energy of the radiation by the pulse height of the pulse; and an event recognition system acting on the energy measurement system to discriminate the time between the pulses and remove unnecessary pulses. In the analyzer, the input side of the energy measuring system is provided with a switching unit that operates so as not to input an unnecessary pulse into the energy measuring system based on the result of time discrimination in the event recognition system. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6041846A JPH07229861A (en) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | Radiation analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6041846A JPH07229861A (en) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | Radiation analyzer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07229861A true JPH07229861A (en) | 1995-08-29 |
Family
ID=12619625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6041846A Pending JPH07229861A (en) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | Radiation analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07229861A (en) |
Cited By (4)
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