JPH0722850Y2 - 荷電粒子源 - Google Patents
荷電粒子源Info
- Publication number
- JPH0722850Y2 JPH0722850Y2 JP1986170923U JP17092386U JPH0722850Y2 JP H0722850 Y2 JPH0722850 Y2 JP H0722850Y2 JP 1986170923 U JP1986170923 U JP 1986170923U JP 17092386 U JP17092386 U JP 17092386U JP H0722850 Y2 JPH0722850 Y2 JP H0722850Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle source
- plasma
- electrode
- flange
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、例えばイオン源または電子ビーム源等のよ
うに、プラズマを生成させてそこからイオンまたは電子
等の荷電粒子を引き出す荷電粒子源に関し、特にそのプ
ラズマ生成用容器と荷電粒子引出し用電極間の電気絶縁
および真空シール手段の改良に関する。
うに、プラズマを生成させてそこからイオンまたは電子
等の荷電粒子を引き出す荷電粒子源に関し、特にそのプ
ラズマ生成用容器と荷電粒子引出し用電極間の電気絶縁
および真空シール手段の改良に関する。
第2図は、従来の荷電粒子源の一例を示す概略断面図で
ある。この荷電粒子源は、いわゆるバケット型と呼ばれ
るものであり、プラズマ生成用の容器であるアークチャ
ンバー4内にガスを導入して、アノード兼用のアークチ
ャンバー4とフィラメント8間でアーク放電を起こさせ
てアークチャンバー4内にプラズマ(図示省略)を生成
させるようにしている。10は、当該プラズマ閉じ込め用
の多極磁場を発生させるための磁石である。
ある。この荷電粒子源は、いわゆるバケット型と呼ばれ
るものであり、プラズマ生成用の容器であるアークチャ
ンバー4内にガスを導入して、アノード兼用のアークチ
ャンバー4とフィラメント8間でアーク放電を起こさせ
てアークチャンバー4内にプラズマ(図示省略)を生成
させるようにしている。10は、当該プラズマ閉じ込め用
の多極磁場を発生させるための磁石である。
アークチャンバー4の開口部には、最プラズマ側に位置
していて正(イオンを引き出す場合)または負(電子を
引き出す場合)の高電位にされる引出し電極(または一
般的にプラズマ電極と呼ばれることもある。以下同じ)
18を含む引出し電極系が設けられており、それによって
電界の作用で荷電粒子22としてイオンまたは電子を引き
出すようにしている。尚、引出し電極系を構成するもの
として、引出し電極18の荷電粒子22引出し側には、フラ
ンジ20以外の部分で支持されて他の電極、例えば負の電
位にされる抑制電極や接地電位にされる接地電極等が適
宜設けられるが、第1図および第2図ではいずれもその
図示を省略している。
していて正(イオンを引き出す場合)または負(電子を
引き出す場合)の高電位にされる引出し電極(または一
般的にプラズマ電極と呼ばれることもある。以下同じ)
18を含む引出し電極系が設けられており、それによって
電界の作用で荷電粒子22としてイオンまたは電子を引き
出すようにしている。尚、引出し電極系を構成するもの
として、引出し電極18の荷電粒子22引出し側には、フラ
ンジ20以外の部分で支持されて他の電極、例えば負の電
位にされる抑制電極や接地電位にされる接地電極等が適
宜設けられるが、第1図および第2図ではいずれもその
図示を省略している。
上記アークチャンバー4と引出し電極18間には、より具
体的にはそれらのフランジ6、20間には、引出し電極18
とアークチャンバー4内に発生させたプラズマとの間に
適当な(例えば数V〜数十V程度の)電位差を持たせる
必要から、電気絶縁用に例えばセラミック製の絶縁スペ
ーサ12が挟まれている。
体的にはそれらのフランジ6、20間には、引出し電極18
とアークチャンバー4内に発生させたプラズマとの間に
適当な(例えば数V〜数十V程度の)電位差を持たせる
必要から、電気絶縁用に例えばセラミック製の絶縁スペ
ーサ12が挟まれている。
また、アークチャンバー4内を真空にするため、フラン
ジ6と絶縁スペーサ12間、および絶縁スペーサ12とフラ
ンジ20間は、Oリング14、16によってそれぞれ真空シー
ルされている。
ジ6と絶縁スペーサ12間、および絶縁スペーサ12とフラ
ンジ20間は、Oリング14、16によってそれぞれ真空シー
ルされている。
上記のような荷電粒子源においては、アークチャンバー
4と引出し電極18間の電気絶縁および真空シール用に絶
縁スペーサ12および二つのOリング14、16を用いている
ため、その部分の構造が複雑であり分解、組立等の作業
が容易でないという問題がある。
4と引出し電極18間の電気絶縁および真空シール用に絶
縁スペーサ12および二つのOリング14、16を用いている
ため、その部分の構造が複雑であり分解、組立等の作業
が容易でないという問題がある。
また、絶縁スペーサ12としては通常、アウトガスを少な
くするという観点からセラミックが使用されているが、
セラミックは高価であり、しかも損傷され易いためその
取扱いに大きな注意を要するという問題もある。
くするという観点からセラミックが使用されているが、
セラミックは高価であり、しかも損傷され易いためその
取扱いに大きな注意を要するという問題もある。
そこでこの考案は、上記のような点を改善した荷電粒子
源を提供することを目的とする。
源を提供することを目的とする。
この考案に荷電粒子源は、プラズマ生成用容器のフラン
ジ部と荷電粒子引出し用電極の内の最プラズマ側の電極
のフランジ部の相対向する面の少なくとも一方に環状の
溝を設け、その溝に環状をしていて絶縁材料から成る断
面角形のシール用パッキンを嵌めてそれを両フランジ部
間に、両フランジ部同士間に隙間が存在するように挟
み、このシール用パッキンによって両フランジ間を電気
絶縁および真空シールしていることを特徴とする。
ジ部と荷電粒子引出し用電極の内の最プラズマ側の電極
のフランジ部の相対向する面の少なくとも一方に環状の
溝を設け、その溝に環状をしていて絶縁材料から成る断
面角形のシール用パッキンを嵌めてそれを両フランジ部
間に、両フランジ部同士間に隙間が存在するように挟
み、このシール用パッキンによって両フランジ間を電気
絶縁および真空シールしていることを特徴とする。
上記断面角形のシール用パッキンによれば、プラズマ生
成用容器のフランジ部と荷電粒子引出し用電極の内の最
プラズマ側電極のフランジ部との間の電気絶縁および真
空シールの両方が行われる。従ってその部分の構造が簡
素化される。
成用容器のフランジ部と荷電粒子引出し用電極の内の最
プラズマ側電極のフランジ部との間の電気絶縁および真
空シールの両方が行われる。従ってその部分の構造が簡
素化される。
第1図は、この考案の一実施例に係る荷電粒子源を示す
概略断面図である。第2図と同一または対応する部分に
は同一符号を付し、以下においては従来例との相違点を
主に説明する。
概略断面図である。第2図と同一または対応する部分に
は同一符号を付し、以下においては従来例との相違点を
主に説明する。
この実施例においては、アークチャンバー4のフランジ
6と引出し電極18のフランジ20間に、断面角形のシール
用パッキンとして絶縁材料から成る角リング24を挟み、
それによってフランジ6と20間に電気絶縁および真空シ
ールの両方を行わせている。より具体的には、両フラン
ジ6、20の相対向する面に環状の溝26、28をそれぞれ設
け、その溝に角リング24を嵌めてそれを両フランジ6、
20間に、両フランジ6、20同士間に隙間が存在するよう
に挟んでいる。
6と引出し電極18のフランジ20間に、断面角形のシール
用パッキンとして絶縁材料から成る角リング24を挟み、
それによってフランジ6と20間に電気絶縁および真空シ
ールの両方を行わせている。より具体的には、両フラン
ジ6、20の相対向する面に環状の溝26、28をそれぞれ設
け、その溝に角リング24を嵌めてそれを両フランジ6、
20間に、両フランジ6、20同士間に隙間が存在するよう
に挟んでいる。
角リング24としては、それからのアウトガスを少なくす
る観点から、例えばバイトン製、あるいはテフロンコー
ティングしたバイトン製等のものを用いるのが好まし
い。
る観点から、例えばバイトン製、あるいはテフロンコー
ティングしたバイトン製等のものを用いるのが好まし
い。
ちなみに、角リング24に代わりにOリングを用いようと
しても、Oリングは角リング24に比べて締付け時の変形
(ひしゃげ)が大きいため、フランジ6と20の締め具合
によっては両フランジ6、20間が電気的に接触する可能
性が非常に高く、絶縁体としての役割をも付加した状態
で用いることは容易ではない。これに対して角リング24
の場合は、それ用のフランジ6、20に設ける溝26、28の
寸法を適当に設定することによって、締付け時の変形
(ひしゃげ)を容易に小さくできるので、両フランジ
6、20間の接触は容易に避けることができる。尚、角リ
ング24収納用の溝26、28は、両フランジ6、20に設ける
のが好ましいがいずれか一方でも良い。
しても、Oリングは角リング24に比べて締付け時の変形
(ひしゃげ)が大きいため、フランジ6と20の締め具合
によっては両フランジ6、20間が電気的に接触する可能
性が非常に高く、絶縁体としての役割をも付加した状態
で用いることは容易ではない。これに対して角リング24
の場合は、それ用のフランジ6、20に設ける溝26、28の
寸法を適当に設定することによって、締付け時の変形
(ひしゃげ)を容易に小さくできるので、両フランジ
6、20間の接触は容易に避けることができる。尚、角リ
ング24収納用の溝26、28は、両フランジ6、20に設ける
のが好ましいがいずれか一方でも良い。
上記構造によれば、従来のように絶縁スペーサ12および
二つのOリング14、16を用いる場合に比べて、アークチ
ャンバー4と引出し電極18間の電気絶縁および真空シー
ル部分の構造が極めて簡素化される。その結果、その部
分の、ひいては荷電粒子源の分解、組立等の作業も非常
に容易となる。
二つのOリング14、16を用いる場合に比べて、アークチ
ャンバー4と引出し電極18間の電気絶縁および真空シー
ル部分の構造が極めて簡素化される。その結果、その部
分の、ひいては荷電粒子源の分解、組立等の作業も非常
に容易となる。
更に、従来では絶縁スペーサ12にセラミックが用いられ
て高価かつ取扱いに注意を要していたのに対して、上記
構造ではそのような絶縁スペーサ12等が不要になって角
リング24のみで済むため、その部分の価格も非常に安く
なり、また取扱いも極めて容易になる。
て高価かつ取扱いに注意を要していたのに対して、上記
構造ではそのような絶縁スペーサ12等が不要になって角
リング24のみで済むため、その部分の価格も非常に安く
なり、また取扱いも極めて容易になる。
尚、以上ではいわゆるバケット型の荷電粒子源を例に説
明したけれども、この考案はそれ以外のタイプ、例えば
熱陰極とマグネトロン放電を組み合わせたいわゆるカウ
フマン型や、マイクロ波による冷陰極放電を用いたいわ
ゆるECR型等の荷電粒子源にも適用することができる。
明したけれども、この考案はそれ以外のタイプ、例えば
熱陰極とマグネトロン放電を組み合わせたいわゆるカウ
フマン型や、マイクロ波による冷陰極放電を用いたいわ
ゆるECR型等の荷電粒子源にも適用することができる。
以上のようにこの考案によれば、断面角形のシール用パ
ッキンによって、プラズマ生成用容器にフランジ部と最
プラズマ側電極にフランジ部との間の電気絶縁および真
空シールの両方が行われるので、従来のように絶縁スペ
ーサとOリングとを組み合わせて用いる場合に比べて、
プラズマ生成用容器と最プラズマ側電極との間の電気絶
縁および真空シール部分の構造が極めて簡素化される。
その結果、その部分の、ひいては荷電粒子源の分解、組
立等の作業も非常に容易になる。
ッキンによって、プラズマ生成用容器にフランジ部と最
プラズマ側電極にフランジ部との間の電気絶縁および真
空シールの両方が行われるので、従来のように絶縁スペ
ーサとOリングとを組み合わせて用いる場合に比べて、
プラズマ生成用容器と最プラズマ側電極との間の電気絶
縁および真空シール部分の構造が極めて簡素化される。
その結果、その部分の、ひいては荷電粒子源の分解、組
立等の作業も非常に容易になる。
しかも、高価かつ取扱いに注意を要するセラミック製の
絶縁スペーサが不要になるので、上記電気絶縁および真
空シール部分の価格も非常に安くなり、また取扱いも極
めて容易になる。
絶縁スペーサが不要になるので、上記電気絶縁および真
空シール部分の価格も非常に安くなり、また取扱いも極
めて容易になる。
また、断面角形のシール用パッキンは、Oリングに比べ
て締付け時の変形(ひしゃげ)を容易に小さくすること
ができるので、それを用いることによってフランジ部間
の接触を容易に避けることができる。その結果、当該シ
ール用パッキンの締付け等の作業が容易になると共に、
両フランジ部間の電気絶縁の信頼性も高くなる。
て締付け時の変形(ひしゃげ)を容易に小さくすること
ができるので、それを用いることによってフランジ部間
の接触を容易に避けることができる。その結果、当該シ
ール用パッキンの締付け等の作業が容易になると共に、
両フランジ部間の電気絶縁の信頼性も高くなる。
第1図は、この考案の一実施例に係る荷電粒子源を示す
概略断面図である。第2図は、従来の荷電粒子源の一例
を示す概略断面図である。 4……アークチャンバー、6,20……フランジ、18……引
出し電極、22……荷電粒子、24……角リング。
概略断面図である。第2図は、従来の荷電粒子源の一例
を示す概略断面図である。 4……アークチャンバー、6,20……フランジ、18……引
出し電極、22……荷電粒子、24……角リング。
Claims (1)
- 【請求項1】プラズマ生成用の容器とその中のプラズマ
から荷電粒子を引き出すための1枚以上の電極を有する
荷電粒子源において、前記容器のフランジ部と前記電極
の内の最プラズマ側の電極のフランジ部の相対向する面
の少なくとも一方に環状の溝を設け、その溝に環状をし
ていて絶縁材料から成る断面角形のシール用パッキンを
嵌めてそれを両フランジ部間に、両フランジ部同士間に
隙間が存在するように挟み、このシール用パッキンによ
って両フランジ部間を電気絶縁および真空シールしてい
ることを特徴とする荷電粒子源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986170923U JPH0722850Y2 (ja) | 1986-11-06 | 1986-11-06 | 荷電粒子源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986170923U JPH0722850Y2 (ja) | 1986-11-06 | 1986-11-06 | 荷電粒子源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6375937U JPS6375937U (ja) | 1988-05-20 |
JPH0722850Y2 true JPH0722850Y2 (ja) | 1995-05-24 |
Family
ID=31106084
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986170923U Expired - Lifetime JPH0722850Y2 (ja) | 1986-11-06 | 1986-11-06 | 荷電粒子源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0722850Y2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60843B2 (ja) * | 1979-04-05 | 1985-01-10 | ワイケイケイ株式会社 | ベルベツト式フアスナ−用テ−プ |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60843U (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-07 | 株式会社東芝 | イオン源 |
-
1986
- 1986-11-06 JP JP1986170923U patent/JPH0722850Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60843B2 (ja) * | 1979-04-05 | 1985-01-10 | ワイケイケイ株式会社 | ベルベツト式フアスナ−用テ−プ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6375937U (ja) | 1988-05-20 |
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