JPH0722676A - パルスyagレーザ装置 - Google Patents
パルスyagレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0722676A JPH0722676A JP16581193A JP16581193A JPH0722676A JP H0722676 A JPH0722676 A JP H0722676A JP 16581193 A JP16581193 A JP 16581193A JP 16581193 A JP16581193 A JP 16581193A JP H0722676 A JPH0722676 A JP H0722676A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- laser
- yag laser
- lamp
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B41/00—Circuit arrangements or apparatus for igniting or operating discharge lamps
- H05B41/14—Circuit arrangements
- H05B41/30—Circuit arrangements in which the lamp is fed by pulses, e.g. flash lamp
- H05B41/34—Circuit arrangements in which the lamp is fed by pulses, e.g. flash lamp to provide a sequence of flashes
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】各種加工に利用されるパルスYAGレーザ装置
において、所定のレーザ出力を得ることができるように
出力フィードバック機能を持たせ、最適な加工を連続し
て可能とする。 【構成】レーザ光11の出力を検出できるモニター回路
12を設け、このモニター回路12から出力されるパル
ス電圧信号とコンデンサーの充電電圧を検出するモニタ
ー電圧とを比較し、コンデンサーの充電電圧をレーザ出
力に応じて調節できるようにする。
において、所定のレーザ出力を得ることができるように
出力フィードバック機能を持たせ、最適な加工を連続し
て可能とする。 【構成】レーザ光11の出力を検出できるモニター回路
12を設け、このモニター回路12から出力されるパル
ス電圧信号とコンデンサーの充電電圧を検出するモニタ
ー電圧とを比較し、コンデンサーの充電電圧をレーザ出
力に応じて調節できるようにする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は産業分野で利用されるフ
ラッシュランプ、アークランプの光によって励起される
パルスYAGレーザ装置に関するものである。
ラッシュランプ、アークランプの光によって励起される
パルスYAGレーザ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、固体YAGレーザ装置は産業機械
としては半導体分野のトリミング、スクライビングをは
じめとしてマーキング、半田付け、溶接、切断と、その
利用分野が年々拡大している。
としては半導体分野のトリミング、スクライビングをは
じめとしてマーキング、半田付け、溶接、切断と、その
利用分野が年々拡大している。
【0003】以下に従来のパルスYAGレーザ装置につ
いて説明する。図3は従来から用いられるフラッシュラ
ンプを用いたパルスYAGレーザの共振部構造と電源部
構成を示す図である。図3において、1はコンデンサー
を充電するための定電圧直流電源、2はランプへエネル
ギーを供給するためのコンデンサー、3はランプ発光時
間を制限するスイッチング素子、4は放電用リアクタン
ス、13はコンデンサー2の充電電圧を検出する充電電
圧検出回路、14は電源部の制御をつかさどる制御回路
部で、これらで電源部が構成されている。5はスイッチ
ング素子3、放電用リアクタンス4を介してコンデンサ
ー2に接続されたフラッシュランプ、6はレーザ媒質、
7はランプ5の光を効率よくレーザ媒質6に入射させる
ための反射面を表面に有するキャビティ、8は部分透過
鏡、9は全反射鏡で、これらで共振部の光共振器10が
構成されている。
いて説明する。図3は従来から用いられるフラッシュラ
ンプを用いたパルスYAGレーザの共振部構造と電源部
構成を示す図である。図3において、1はコンデンサー
を充電するための定電圧直流電源、2はランプへエネル
ギーを供給するためのコンデンサー、3はランプ発光時
間を制限するスイッチング素子、4は放電用リアクタン
ス、13はコンデンサー2の充電電圧を検出する充電電
圧検出回路、14は電源部の制御をつかさどる制御回路
部で、これらで電源部が構成されている。5はスイッチ
ング素子3、放電用リアクタンス4を介してコンデンサ
ー2に接続されたフラッシュランプ、6はレーザ媒質、
7はランプ5の光を効率よくレーザ媒質6に入射させる
ための反射面を表面に有するキャビティ、8は部分透過
鏡、9は全反射鏡で、これらで共振部の光共振器10が
構成されている。
【0004】このように構成されたパルスYAGレーザ
装置について、以下、その動作を説明する。一定電圧に
充電されたコンデンサー2のエネルギーはスイッチング
素子3により、一定時間だけランプ5に供給される。ラ
ンプ5への入力エネルギーにより、一定時間のランプ発
光はレーザ媒質6に入射し、吸収される。吸収されずに
通過した光は反射面によって反射され、再びレーザ媒質
6に入射する。吸収された光のエネルギーは部分透過鏡
8と全反射鏡9に囲まれてなる光共振器10によって発
振状態となり、一部がレーザ光11となり外部に放出さ
れる。
装置について、以下、その動作を説明する。一定電圧に
充電されたコンデンサー2のエネルギーはスイッチング
素子3により、一定時間だけランプ5に供給される。ラ
ンプ5への入力エネルギーにより、一定時間のランプ発
光はレーザ媒質6に入射し、吸収される。吸収されずに
通過した光は反射面によって反射され、再びレーザ媒質
6に入射する。吸収された光のエネルギーは部分透過鏡
8と全反射鏡9に囲まれてなる光共振器10によって発
振状態となり、一部がレーザ光11となり外部に放出さ
れる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の構成では、ランプ5へ供給されるエネルギーはコ
ンデンサー2の充電エネルギーであり、ランプの発光エ
ネルギーがレーザ媒質6のロッドに吸収されて、レーザ
光11に変換されたため、ランプ5の状態により変換効
率に影響され、レーザ出力に差異がでてくる。
従来の構成では、ランプ5へ供給されるエネルギーはコ
ンデンサー2の充電エネルギーであり、ランプの発光エ
ネルギーがレーザ媒質6のロッドに吸収されて、レーザ
光11に変換されたため、ランプ5の状態により変換効
率に影響され、レーザ出力に差異がでてくる。
【0006】このような状態ではパルスYAGレーザを
用いたレーザ加工を行う際、ランプの使用時間経過とと
もにレーザのエネルギーが変化してしまい、装置の使用
状態、出力状態を確認して、条件設定を行わなければな
らず、この条件を怠ると、エネルギー過多になったり、
エネルギー不足になったりする問題点を有していた。
用いたレーザ加工を行う際、ランプの使用時間経過とと
もにレーザのエネルギーが変化してしまい、装置の使用
状態、出力状態を確認して、条件設定を行わなければな
らず、この条件を怠ると、エネルギー過多になったり、
エネルギー不足になったりする問題点を有していた。
【0007】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、パルスYAGレーザを用いて、必要なレーザ出力に
応じたコンデンサー充電電圧の設定を行い、加工時にエ
ネルギー過多になったり、エネルギー不足になったりす
ることなく出力を自動的に調整することができるパルス
YAGレーザ装置を提供することを目的とする。
で、パルスYAGレーザを用いて、必要なレーザ出力に
応じたコンデンサー充電電圧の設定を行い、加工時にエ
ネルギー過多になったり、エネルギー不足になったりす
ることなく出力を自動的に調整することができるパルス
YAGレーザ装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のパルスYAGレーザは、共振部、もしくは加
工点のレーザ光出射端部にレーザ出力を検出するモニタ
ー部を設け、レーザ光の強度を検出してアナログ電圧と
して出力し、電源部で、前もって検出しているコンデン
サー充電電圧のモニター電圧と比較し、コンデンサーの
充電電圧を制御するように構成したものである。
に本発明のパルスYAGレーザは、共振部、もしくは加
工点のレーザ光出射端部にレーザ出力を検出するモニタ
ー部を設け、レーザ光の強度を検出してアナログ電圧と
して出力し、電源部で、前もって検出しているコンデン
サー充電電圧のモニター電圧と比較し、コンデンサーの
充電電圧を制御するように構成したものである。
【0009】
【作用】この構成により、レーザ出力にてコンデンサー
への充電電圧を制御することで、ランプへの供給エネル
ギーをレーザ出力により制御でき、一定のパルスエネル
ギーを用いた加工が可能になる。
への充電電圧を制御することで、ランプへの供給エネル
ギーをレーザ出力により制御でき、一定のパルスエネル
ギーを用いた加工が可能になる。
【0010】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。図1は本発明の一実施例によるパル
スYAGレーザ装置を示す構成図である。図1におい
て、1〜11および13は従来のものと同じ機能を有す
る。すなわち、一定電圧に充電されたコンデンサー2の
エネルギーはスイッチング素子3により、一定時間だけ
ランプ5に供給される。ランプ5への入力エネルギーに
より、一定時間のランプ発光はレーザ媒質6に入射す
る。吸収された光のエネルギーは部分透過鏡8と全反射
鏡9に囲まれてなる光共振器10によって発振状態とな
り、一部がレーザ光11となり外部に放出される。この
際、ランプ5へ供給されるエネルギーはコンデンサー2
の充電電圧により決まり、一定の変換効率にて、ランプ
5のエネルギーがレーザ光11のエネルギーに変換され
る。しかしランプ5の使用時間、もしくは光共振器10
を構成する構成物の状態により変換効率が変わり、所定
のレーザ光がえられないことがある。
しながら説明する。図1は本発明の一実施例によるパル
スYAGレーザ装置を示す構成図である。図1におい
て、1〜11および13は従来のものと同じ機能を有す
る。すなわち、一定電圧に充電されたコンデンサー2の
エネルギーはスイッチング素子3により、一定時間だけ
ランプ5に供給される。ランプ5への入力エネルギーに
より、一定時間のランプ発光はレーザ媒質6に入射す
る。吸収された光のエネルギーは部分透過鏡8と全反射
鏡9に囲まれてなる光共振器10によって発振状態とな
り、一部がレーザ光11となり外部に放出される。この
際、ランプ5へ供給されるエネルギーはコンデンサー2
の充電電圧により決まり、一定の変換効率にて、ランプ
5のエネルギーがレーザ光11のエネルギーに変換され
る。しかしランプ5の使用時間、もしくは光共振器10
を構成する構成物の状態により変換効率が変わり、所定
のレーザ光がえられないことがある。
【0011】本実施例では、図1に示すように、全反射
鏡9の背後、もしくは部分透過鏡8を透過した側のレー
ザ光11の一部をモニター回路12で検出している。こ
のモニター回路12はレーザ光などの光信号を電圧変換
できるピンフォトセンサーなどのセンサーにて構成され
るとともに、センサーから出力されるパルス電圧信号を
増幅してピーク値をホールドするように、内部に電圧ホ
ールド回路を有している。この出力電圧をあらかじめ基
準のレーザ出力と対応させておき、増幅されたパルス電
圧信号と、充電電圧検出回路13により検出されたコン
デンサー2の充電電圧とを制御回路14で比較し、レー
ザ光の出力が低ければ、レーザ光出力を所定値にするた
めに、制御信号を定電圧直流電源1にフィードバック
し、対応したコンデンサー2の充電電圧が得られるよう
にする。
鏡9の背後、もしくは部分透過鏡8を透過した側のレー
ザ光11の一部をモニター回路12で検出している。こ
のモニター回路12はレーザ光などの光信号を電圧変換
できるピンフォトセンサーなどのセンサーにて構成され
るとともに、センサーから出力されるパルス電圧信号を
増幅してピーク値をホールドするように、内部に電圧ホ
ールド回路を有している。この出力電圧をあらかじめ基
準のレーザ出力と対応させておき、増幅されたパルス電
圧信号と、充電電圧検出回路13により検出されたコン
デンサー2の充電電圧とを制御回路14で比較し、レー
ザ光の出力が低ければ、レーザ光出力を所定値にするた
めに、制御信号を定電圧直流電源1にフィードバック
し、対応したコンデンサー2の充電電圧が得られるよう
にする。
【0012】コンデンサー2の充電電圧調節には従来か
ら使用さているサイリスターなどによる位相制御にて行
うことができる。このように充電電圧を調節することに
よりレーザ光の調節が可能となる。このモニター回路1
2は部分透過鏡8から透過したレーザ光を検出する際は
レーザ光の減衰機構を用いてモニターリングする。
ら使用さているサイリスターなどによる位相制御にて行
うことができる。このように充電電圧を調節することに
よりレーザ光の調節が可能となる。このモニター回路1
2は部分透過鏡8から透過したレーザ光を検出する際は
レーザ光の減衰機構を用いてモニターリングする。
【0013】図2は本発明の他の実施例によるパルスY
AGレーザ装置を示す構成図である。図2において、部
分透過鏡8を通して放出されたレーザ光11は加工用光
学系15から光ファイバー16を介して加工出射端ユニ
ット17に導かれ、加工対象物18に照射される。ここ
では、モニター回路12は加工出射端ユニット17にお
けるレーザ光11を検出する。
AGレーザ装置を示す構成図である。図2において、部
分透過鏡8を通して放出されたレーザ光11は加工用光
学系15から光ファイバー16を介して加工出射端ユニ
ット17に導かれ、加工対象物18に照射される。ここ
では、モニター回路12は加工出射端ユニット17にお
けるレーザ光11を検出する。
【0014】一般に、レーザ光はいくつかの光学系を通
して、加工点に導かれるため、いくらかの減衰がある。
このため加工点のレーザ光を検出すると実加工に必要な
レーザ光の強度が検出できる。さらに光学系に何らかの
トラブルがあり、出力が低下している際にも加工点の実
レーザ光を検出していれば、ある程度の対応がとれる。
このため、図2に示すように、レーザ光の出射端にモニ
ター回路12が設けられている。
して、加工点に導かれるため、いくらかの減衰がある。
このため加工点のレーザ光を検出すると実加工に必要な
レーザ光の強度が検出できる。さらに光学系に何らかの
トラブルがあり、出力が低下している際にも加工点の実
レーザ光を検出していれば、ある程度の対応がとれる。
このため、図2に示すように、レーザ光の出射端にモニ
ター回路12が設けられている。
【0015】このように、加工に必要なレーザ出力を加
工出射端でモニタリングし、電圧換算した値とコンデン
サー充電電圧をモニターしている値とを比較し、コンデ
ンサー充電電圧を変化させることにより、レーザ光の強
度を調節することができる。
工出射端でモニタリングし、電圧換算した値とコンデン
サー充電電圧をモニターしている値とを比較し、コンデ
ンサー充電電圧を変化させることにより、レーザ光の強
度を調節することができる。
【0016】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、レーザ光
の一部を光受光センサーで受け、増幅されたパルス電圧
信号をモニター信号としてホールドし、前記ホールド電
圧とコンデンサーの充電電圧を検出しているモニター電
圧を比較し、所定のレーザ出力が得られるようにコンデ
ンサー充電電圧を調整することにより、加工に必要なレ
ーザ光を自動的に調節でき、良質のパルスYAGレーザ
を得ることができる。
の一部を光受光センサーで受け、増幅されたパルス電圧
信号をモニター信号としてホールドし、前記ホールド電
圧とコンデンサーの充電電圧を検出しているモニター電
圧を比較し、所定のレーザ出力が得られるようにコンデ
ンサー充電電圧を調整することにより、加工に必要なレ
ーザ光を自動的に調節でき、良質のパルスYAGレーザ
を得ることができる。
【図1】本発明の一実施例のパルスYAGレーザ装置の
構成図
構成図
【図2】本発明の他の実施例のパルスYAGレーザ装置
の構成図
の構成図
【図3】従来例のパルスYAGレーザ装置の構成図
1 定電圧直流電源 2 コンデンサー 3 スイッチング素子 4 放電用リアクタンス 5 ランプ 6 レーザ媒質 7 キャビティ 8 部分透過鏡 9 全反射鏡 10 光共振器 11 レーザ光 12 モニター回路 13 充電電圧検出回路 14 制御回路 15 加工用光学系 16 光ファイバー 17 加工出射端ユニット 18 加工対象物
Claims (3)
- 【請求項1】 一定電圧に充電されたコンデンサーのエ
ネルギーが一定時間だけランプに供給され、一定時間の
ランプ発光がレーザ媒質に入射されてレーザ光を放出す
るパルスYAGレーザ装置において、レーザ光の一部を
光受光センサーで受け、増幅されたパルス電圧信号をモ
ニター信号としてホールドするモニター回路と、前記ホ
ールド電圧と前記コンデンサーの充電電圧を検出してい
るモニター電圧を比較し、所定のコンデンサー充電電圧
になるように前記充電電圧を調整する制御回路とを備え
たパルスYAGレーザ装置。 - 【請求項2】 モニター回路は、レーザ光放出のための
全反射鏡の背後または部分透過鏡の外側に設けられてい
る請求項1記載のパルスYAGレーザ装置。 - 【請求項3】 モニター回路は、加工点のレーザ光出射
端部に設けられている請求項1記載のパルスYAGレー
ザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16581193A JPH0722676A (ja) | 1993-07-06 | 1993-07-06 | パルスyagレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16581193A JPH0722676A (ja) | 1993-07-06 | 1993-07-06 | パルスyagレーザ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0722676A true JPH0722676A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=15819450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16581193A Pending JPH0722676A (ja) | 1993-07-06 | 1993-07-06 | パルスyagレーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0722676A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005209965A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Miyachi Technos Corp | 高調波パルスレーザ装置及び高調波パルスレーザ発生方法 |
JP2015032766A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | キヤノン株式会社 | 被検体情報取得装置、レーザー装置および医療装置 |
-
1993
- 1993-07-06 JP JP16581193A patent/JPH0722676A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005209965A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Miyachi Technos Corp | 高調波パルスレーザ装置及び高調波パルスレーザ発生方法 |
JP2015032766A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | キヤノン株式会社 | 被検体情報取得装置、レーザー装置および医療装置 |
US9819138B2 (en) | 2013-08-06 | 2017-11-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Object information acquiring apparatus, laser apparatus, and medical apparatus |
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