JPH0722676A - パルスｙａｇレーザ装置 - Google Patents
パルスｙａｇレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0722676A JPH0722676A JP16581193A JP16581193A JPH0722676A JP H0722676 A JPH0722676 A JP H0722676A JP 16581193 A JP16581193 A JP 16581193A JP 16581193 A JP16581193 A JP 16581193A JP H0722676 A JPH0722676 A JP H0722676A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- laser
- yag laser
- lamp
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B41/00—Circuit arrangements or apparatus for igniting or operating discharge lamps
- H05B41/14—Circuit arrangements
- H05B41/30—Circuit arrangements in which the lamp is fed by pulses, e.g. flash lamp
- H05B41/34—Circuit arrangements in which the lamp is fed by pulses, e.g. flash lamp to provide a sequence of flashes
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】各種加工に利用されるパルスＹＡＧレーザ装置
において、所定のレーザ出力を得ることができるように
出力フィードバック機能を持たせ、最適な加工を連続し
て可能とする。 【構成】レーザ光１１の出力を検出できるモニター回路
１２を設け、このモニター回路１２から出力されるパル
ス電圧信号とコンデンサーの充電電圧を検出するモニタ
ー電圧とを比較し、コンデンサーの充電電圧をレーザ出
力に応じて調節できるようにする。
において、所定のレーザ出力を得ることができるように
出力フィードバック機能を持たせ、最適な加工を連続し
て可能とする。 【構成】レーザ光１１の出力を検出できるモニター回路
１２を設け、このモニター回路１２から出力されるパル
ス電圧信号とコンデンサーの充電電圧を検出するモニタ
ー電圧とを比較し、コンデンサーの充電電圧をレーザ出
力に応じて調節できるようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は産業分野で利用されるフ
ラッシュランプ、アークランプの光によって励起される
パルスＹＡＧレーザ装置に関するものである。
ラッシュランプ、アークランプの光によって励起される
パルスＹＡＧレーザ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、固体ＹＡＧレーザ装置は産業機械
としては半導体分野のトリミング、スクライビングをは
じめとしてマーキング、半田付け、溶接、切断と、その
利用分野が年々拡大している。
としては半導体分野のトリミング、スクライビングをは
じめとしてマーキング、半田付け、溶接、切断と、その
利用分野が年々拡大している。
【０００３】以下に従来のパルスＹＡＧレーザ装置につ
いて説明する。図３は従来から用いられるフラッシュラ
ンプを用いたパルスＹＡＧレーザの共振部構造と電源部
構成を示す図である。図３において、１はコンデンサー
を充電するための定電圧直流電源、２はランプへエネル
ギーを供給するためのコンデンサー、３はランプ発光時
間を制限するスイッチング素子、４は放電用リアクタン
ス、１３はコンデンサー２の充電電圧を検出する充電電
圧検出回路、１４は電源部の制御をつかさどる制御回路
部で、これらで電源部が構成されている。５はスイッチ
ング素子３、放電用リアクタンス４を介してコンデンサ
ー２に接続されたフラッシュランプ、６はレーザ媒質、
７はランプ５の光を効率よくレーザ媒質６に入射させる
ための反射面を表面に有するキャビティ、８は部分透過
鏡、９は全反射鏡で、これらで共振部の光共振器１０が
構成されている。
いて説明する。図３は従来から用いられるフラッシュラ
ンプを用いたパルスＹＡＧレーザの共振部構造と電源部
構成を示す図である。図３において、１はコンデンサー
を充電するための定電圧直流電源、２はランプへエネル
ギーを供給するためのコンデンサー、３はランプ発光時
間を制限するスイッチング素子、４は放電用リアクタン
ス、１３はコンデンサー２の充電電圧を検出する充電電
圧検出回路、１４は電源部の制御をつかさどる制御回路
部で、これらで電源部が構成されている。５はスイッチ
ング素子３、放電用リアクタンス４を介してコンデンサ
ー２に接続されたフラッシュランプ、６はレーザ媒質、
７はランプ５の光を効率よくレーザ媒質６に入射させる
ための反射面を表面に有するキャビティ、８は部分透過
鏡、９は全反射鏡で、これらで共振部の光共振器１０が
構成されている。
【０００４】このように構成されたパルスＹＡＧレーザ
装置について、以下、その動作を説明する。一定電圧に
充電されたコンデンサー２のエネルギーはスイッチング
素子３により、一定時間だけランプ５に供給される。ラ
ンプ５への入力エネルギーにより、一定時間のランプ発
光はレーザ媒質６に入射し、吸収される。吸収されずに
通過した光は反射面によって反射され、再びレーザ媒質
６に入射する。吸収された光のエネルギーは部分透過鏡
８と全反射鏡９に囲まれてなる光共振器１０によって発
振状態となり、一部がレーザ光１１となり外部に放出さ
れる。
装置について、以下、その動作を説明する。一定電圧に
充電されたコンデンサー２のエネルギーはスイッチング
素子３により、一定時間だけランプ５に供給される。ラ
ンプ５への入力エネルギーにより、一定時間のランプ発
光はレーザ媒質６に入射し、吸収される。吸収されずに
通過した光は反射面によって反射され、再びレーザ媒質
６に入射する。吸収された光のエネルギーは部分透過鏡
８と全反射鏡９に囲まれてなる光共振器１０によって発
振状態となり、一部がレーザ光１１となり外部に放出さ
れる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の構成では、ランプ５へ供給されるエネルギーはコ
ンデンサー２の充電エネルギーであり、ランプの発光エ
ネルギーがレーザ媒質６のロッドに吸収されて、レーザ
光１１に変換されたため、ランプ５の状態により変換効
率に影響され、レーザ出力に差異がでてくる。
従来の構成では、ランプ５へ供給されるエネルギーはコ
ンデンサー２の充電エネルギーであり、ランプの発光エ
ネルギーがレーザ媒質６のロッドに吸収されて、レーザ
光１１に変換されたため、ランプ５の状態により変換効
率に影響され、レーザ出力に差異がでてくる。
【０００６】このような状態ではパルスＹＡＧレーザを
用いたレーザ加工を行う際、ランプの使用時間経過とと
もにレーザのエネルギーが変化してしまい、装置の使用
状態、出力状態を確認して、条件設定を行わなければな
らず、この条件を怠ると、エネルギー過多になったり、
エネルギー不足になったりする問題点を有していた。
用いたレーザ加工を行う際、ランプの使用時間経過とと
もにレーザのエネルギーが変化してしまい、装置の使用
状態、出力状態を確認して、条件設定を行わなければな
らず、この条件を怠ると、エネルギー過多になったり、
エネルギー不足になったりする問題点を有していた。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、パルスＹＡＧレーザを用いて、必要なレーザ出力に
応じたコンデンサー充電電圧の設定を行い、加工時にエ
ネルギー過多になったり、エネルギー不足になったりす
ることなく出力を自動的に調整することができるパルス
ＹＡＧレーザ装置を提供することを目的とする。
で、パルスＹＡＧレーザを用いて、必要なレーザ出力に
応じたコンデンサー充電電圧の設定を行い、加工時にエ
ネルギー過多になったり、エネルギー不足になったりす
ることなく出力を自動的に調整することができるパルス
ＹＡＧレーザ装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のパルスＹＡＧレーザは、共振部、もしくは加
工点のレーザ光出射端部にレーザ出力を検出するモニタ
ー部を設け、レーザ光の強度を検出してアナログ電圧と
して出力し、電源部で、前もって検出しているコンデン
サー充電電圧のモニター電圧と比較し、コンデンサーの
充電電圧を制御するように構成したものである。
に本発明のパルスＹＡＧレーザは、共振部、もしくは加
工点のレーザ光出射端部にレーザ出力を検出するモニタ
ー部を設け、レーザ光の強度を検出してアナログ電圧と
して出力し、電源部で、前もって検出しているコンデン
サー充電電圧のモニター電圧と比較し、コンデンサーの
充電電圧を制御するように構成したものである。
【０００９】
【作用】この構成により、レーザ出力にてコンデンサー
への充電電圧を制御することで、ランプへの供給エネル
ギーをレーザ出力により制御でき、一定のパルスエネル
ギーを用いた加工が可能になる。
への充電電圧を制御することで、ランプへの供給エネル
ギーをレーザ出力により制御でき、一定のパルスエネル
ギーを用いた加工が可能になる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。図１は本発明の一実施例によるパル
スＹＡＧレーザ装置を示す構成図である。図１におい
て、１〜１１および１３は従来のものと同じ機能を有す
る。すなわち、一定電圧に充電されたコンデンサー２の
エネルギーはスイッチング素子３により、一定時間だけ
ランプ５に供給される。ランプ５への入力エネルギーに
より、一定時間のランプ発光はレーザ媒質６に入射す
る。吸収された光のエネルギーは部分透過鏡８と全反射
鏡９に囲まれてなる光共振器１０によって発振状態とな
り、一部がレーザ光１１となり外部に放出される。この
際、ランプ５へ供給されるエネルギーはコンデンサー２
の充電電圧により決まり、一定の変換効率にて、ランプ
５のエネルギーがレーザ光１１のエネルギーに変換され
る。しかしランプ５の使用時間、もしくは光共振器１０
を構成する構成物の状態により変換効率が変わり、所定
のレーザ光がえられないことがある。
しながら説明する。図１は本発明の一実施例によるパル
スＹＡＧレーザ装置を示す構成図である。図１におい
て、１〜１１および１３は従来のものと同じ機能を有す
る。すなわち、一定電圧に充電されたコンデンサー２の
エネルギーはスイッチング素子３により、一定時間だけ
ランプ５に供給される。ランプ５への入力エネルギーに
より、一定時間のランプ発光はレーザ媒質６に入射す
る。吸収された光のエネルギーは部分透過鏡８と全反射
鏡９に囲まれてなる光共振器１０によって発振状態とな
り、一部がレーザ光１１となり外部に放出される。この
際、ランプ５へ供給されるエネルギーはコンデンサー２
の充電電圧により決まり、一定の変換効率にて、ランプ
５のエネルギーがレーザ光１１のエネルギーに変換され
る。しかしランプ５の使用時間、もしくは光共振器１０
を構成する構成物の状態により変換効率が変わり、所定
のレーザ光がえられないことがある。
【００１１】本実施例では、図１に示すように、全反射
鏡９の背後、もしくは部分透過鏡８を透過した側のレー
ザ光１１の一部をモニター回路１２で検出している。こ
のモニター回路１２はレーザ光などの光信号を電圧変換
できるピンフォトセンサーなどのセンサーにて構成され
るとともに、センサーから出力されるパルス電圧信号を
増幅してピーク値をホールドするように、内部に電圧ホ
ールド回路を有している。この出力電圧をあらかじめ基
準のレーザ出力と対応させておき、増幅されたパルス電
圧信号と、充電電圧検出回路１３により検出されたコン
デンサー２の充電電圧とを制御回路１４で比較し、レー
ザ光の出力が低ければ、レーザ光出力を所定値にするた
めに、制御信号を定電圧直流電源１にフィードバック
し、対応したコンデンサー２の充電電圧が得られるよう
にする。
鏡９の背後、もしくは部分透過鏡８を透過した側のレー
ザ光１１の一部をモニター回路１２で検出している。こ
のモニター回路１２はレーザ光などの光信号を電圧変換
できるピンフォトセンサーなどのセンサーにて構成され
るとともに、センサーから出力されるパルス電圧信号を
増幅してピーク値をホールドするように、内部に電圧ホ
ールド回路を有している。この出力電圧をあらかじめ基
準のレーザ出力と対応させておき、増幅されたパルス電
圧信号と、充電電圧検出回路１３により検出されたコン
デンサー２の充電電圧とを制御回路１４で比較し、レー
ザ光の出力が低ければ、レーザ光出力を所定値にするた
めに、制御信号を定電圧直流電源１にフィードバック
し、対応したコンデンサー２の充電電圧が得られるよう
にする。
【００１２】コンデンサー２の充電電圧調節には従来か
ら使用さているサイリスターなどによる位相制御にて行
うことができる。このように充電電圧を調節することに
よりレーザ光の調節が可能となる。このモニター回路１
２は部分透過鏡８から透過したレーザ光を検出する際は
レーザ光の減衰機構を用いてモニターリングする。
ら使用さているサイリスターなどによる位相制御にて行
うことができる。このように充電電圧を調節することに
よりレーザ光の調節が可能となる。このモニター回路１
２は部分透過鏡８から透過したレーザ光を検出する際は
レーザ光の減衰機構を用いてモニターリングする。
【００１３】図２は本発明の他の実施例によるパルスＹ
ＡＧレーザ装置を示す構成図である。図２において、部
分透過鏡８を通して放出されたレーザ光１１は加工用光
学系１５から光ファイバー１６を介して加工出射端ユニ
ット１７に導かれ、加工対象物１８に照射される。ここ
では、モニター回路１２は加工出射端ユニット１７にお
けるレーザ光１１を検出する。
ＡＧレーザ装置を示す構成図である。図２において、部
分透過鏡８を通して放出されたレーザ光１１は加工用光
学系１５から光ファイバー１６を介して加工出射端ユニ
ット１７に導かれ、加工対象物１８に照射される。ここ
では、モニター回路１２は加工出射端ユニット１７にお
けるレーザ光１１を検出する。
【００１４】一般に、レーザ光はいくつかの光学系を通
して、加工点に導かれるため、いくらかの減衰がある。
このため加工点のレーザ光を検出すると実加工に必要な
レーザ光の強度が検出できる。さらに光学系に何らかの
トラブルがあり、出力が低下している際にも加工点の実
レーザ光を検出していれば、ある程度の対応がとれる。
このため、図２に示すように、レーザ光の出射端にモニ
ター回路１２が設けられている。
して、加工点に導かれるため、いくらかの減衰がある。
このため加工点のレーザ光を検出すると実加工に必要な
レーザ光の強度が検出できる。さらに光学系に何らかの
トラブルがあり、出力が低下している際にも加工点の実
レーザ光を検出していれば、ある程度の対応がとれる。
このため、図２に示すように、レーザ光の出射端にモニ
ター回路１２が設けられている。
【００１５】このように、加工に必要なレーザ出力を加
工出射端でモニタリングし、電圧換算した値とコンデン
サー充電電圧をモニターしている値とを比較し、コンデ
ンサー充電電圧を変化させることにより、レーザ光の強
度を調節することができる。
工出射端でモニタリングし、電圧換算した値とコンデン
サー充電電圧をモニターしている値とを比較し、コンデ
ンサー充電電圧を変化させることにより、レーザ光の強
度を調節することができる。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、レーザ光
の一部を光受光センサーで受け、増幅されたパルス電圧
信号をモニター信号としてホールドし、前記ホールド電
圧とコンデンサーの充電電圧を検出しているモニター電
圧を比較し、所定のレーザ出力が得られるようにコンデ
ンサー充電電圧を調整することにより、加工に必要なレ
ーザ光を自動的に調節でき、良質のパルスＹＡＧレーザ
を得ることができる。
の一部を光受光センサーで受け、増幅されたパルス電圧
信号をモニター信号としてホールドし、前記ホールド電
圧とコンデンサーの充電電圧を検出しているモニター電
圧を比較し、所定のレーザ出力が得られるようにコンデ
ンサー充電電圧を調整することにより、加工に必要なレ
ーザ光を自動的に調節でき、良質のパルスＹＡＧレーザ
を得ることができる。
【図１】本発明の一実施例のパルスＹＡＧレーザ装置の
構成図
構成図
【図２】本発明の他の実施例のパルスＹＡＧレーザ装置
の構成図
の構成図
【図３】従来例のパルスＹＡＧレーザ装置の構成図
１ 定電圧直流電源 ２ コンデンサー ３ スイッチング素子 ４ 放電用リアクタンス ５ ランプ ６ レーザ媒質 ７ キャビティ ８ 部分透過鏡 ９ 全反射鏡 １０ 光共振器 １１ レーザ光 １２ モニター回路 １３ 充電電圧検出回路 １４ 制御回路 １５ 加工用光学系 １６ 光ファイバー １７ 加工出射端ユニット １８ 加工対象物
Claims (3)
- 【請求項１】 一定電圧に充電されたコンデンサーのエ
ネルギーが一定時間だけランプに供給され、一定時間の
ランプ発光がレーザ媒質に入射されてレーザ光を放出す
るパルスＹＡＧレーザ装置において、レーザ光の一部を
光受光センサーで受け、増幅されたパルス電圧信号をモ
ニター信号としてホールドするモニター回路と、前記ホ
ールド電圧と前記コンデンサーの充電電圧を検出してい
るモニター電圧を比較し、所定のコンデンサー充電電圧
になるように前記充電電圧を調整する制御回路とを備え
たパルスＹＡＧレーザ装置。 - 【請求項２】 モニター回路は、レーザ光放出のための
全反射鏡の背後または部分透過鏡の外側に設けられてい
る請求項１記載のパルスＹＡＧレーザ装置。 - 【請求項３】 モニター回路は、加工点のレーザ光出射
端部に設けられている請求項１記載のパルスＹＡＧレー
ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16581193A JPH0722676A (ja) | 1993-07-06 | 1993-07-06 | パルスｙａｇレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16581193A JPH0722676A (ja) | 1993-07-06 | 1993-07-06 | パルスｙａｇレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0722676A true JPH0722676A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=15819450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16581193A Pending JPH0722676A (ja) | 1993-07-06 | 1993-07-06 | パルスｙａｇレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722676A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005209965A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Miyachi Technos Corp | 高調波パルスレーザ装置及び高調波パルスレーザ発生方法 |
| JP2015032766A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | キヤノン株式会社 | 被検体情報取得装置、レーザー装置および医療装置 |
-
1993
- 1993-07-06 JP JP16581193A patent/JPH0722676A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005209965A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Miyachi Technos Corp | 高調波パルスレーザ装置及び高調波パルスレーザ発生方法 |
| JP2015032766A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | キヤノン株式会社 | 被検体情報取得装置、レーザー装置および医療装置 |
| US9819138B2 (en) | 2013-08-06 | 2017-11-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Object information acquiring apparatus, laser apparatus, and medical apparatus |
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