JPH07209211A - X-ray inspection equipment - Google Patents
X-ray inspection equipmentInfo
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- JPH07209211A JPH07209211A JP6003539A JP353994A JPH07209211A JP H07209211 A JPH07209211 A JP H07209211A JP 6003539 A JP6003539 A JP 6003539A JP 353994 A JP353994 A JP 353994A JP H07209211 A JPH07209211 A JP H07209211A
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- rays
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、検査物にＸ線を照射し
て得られる透過Ｘ線を検出するＸ線検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray inspection apparatus for detecting transmitted X-rays obtained by irradiating an inspection object with X-rays.
【０００２】[0002]
【従来の技術】空港や工場等において、Ｘ線検査装置を
用いた非破壊検査が行われている。Ｘ線検査装置は、Ｘ
線発生器からのＸ線を検査物に照射し、検査物を透過し
たＸ線を検出器で検出して透過Ｘ線画像を生成するもの
である。これにより、空港では禁制品（銃砲、刀剣等）
の有無を検査したり、工場では溶接部の亀裂、欠陥等を
検査することができる。2. Description of the Related Art Non-destructive inspection using an X-ray inspection apparatus is performed at airports, factories and the like. X-ray inspection equipment
The inspection object is irradiated with X-rays from a ray generator, and the detector detects the X-rays transmitted through the inspection object to generate a transmission X-ray image. This allows forbidden items at the airport (guns, swords, etc.)
It is possible to inspect for the presence or absence of cracks, and inspect the factory for cracks, defects, etc.
【０００３】図３から図６は従来のＸ線検査装置を示す
概念図である。3 to 6 are conceptual views showing a conventional X-ray inspection apparatus.
【０００４】(1) Ｘ線検査装置１で発生したＸ線を検査
物２に照射し、検査物２を透過したＸ線を、蛍光板３に
照射させ、蛍光板３の反対側に生じた蛍光画像を反射鏡
４で反射させその映像を目視検査するための装置（図
３）。(1) The X-ray generated by the X-ray inspection apparatus 1 is irradiated onto the inspection object 2, the X-ray transmitted through the inspection object 2 is irradiated onto the fluorescent plate 3, and the fluorescent image generated on the opposite side of the fluorescent plate 3 A device for visually inspecting the image by reflecting the light with a reflecting mirror 4 (FIG. 3).
【０００５】(2) 検査物２を透過したＸ線を、シンチレ
ータ５で光電子に変換した後光電子増倍管６で増倍し、
図示しない蛍光体に照射させて映像を得る装置（図
４）。(2) The X-rays transmitted through the inspection object 2 are converted into photoelectrons by the scintillator 5, and then multiplied by the photomultiplier tube 6,
A device for illuminating a phosphor (not shown) to obtain an image (FIG. 4).
【０００６】(3) 検査物２を透過したＸ線を、フォトダ
イオード７で電気信号に変換し、図示しない画像処理装
置で映像を表示する装置（図５）。(3) A device for converting an X-ray transmitted through the inspection object 2 into an electric signal by a photodiode 7 and displaying an image by an image processing device (not shown) (FIG. 5).
【０００７】(4) 検査物２を透過したＸ線を、イメージ
インテンシファイア８で映像に変換する装置（図６）。(4) A device for converting an X-ray transmitted through the inspection object 2 into an image by the image intensifier 8 (FIG. 6).
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た装置には以下のような問題がある。However, the above-mentioned device has the following problems.
【０００９】(1) 検査物２が移動する連続式検査への適
用が困難であり、しかも蛍光板３の使用可能回数（寿
命）が１０3 ショット程度しかなく短い。(1) It is difficult to apply the method to the continuous inspection in which the inspection object 2 moves, and the usable number (life) of the fluorescent plate 3 is short, only about 10 3 shots.
【００１０】(2),(4) 光電子増倍管６にＸ線が入り込み
ノイズの原因となりやすく、シンチレータ５や光電子増
倍管６の数が複数となりＸ線検査装置が高価となる。(2), (4) X-rays easily enter the photomultiplier tube 6 and cause noise, and the number of scintillators 5 and photomultiplier tubes 6 becomes plural, and the X-ray inspection apparatus becomes expensive.
【００１１】(3) Ｘ線のエネルギーが高い場合、フォト
ダイオード７の寿命が短くなり、検査物２からの散乱Ｘ
線の影響を受けやすくなる。(3) When the X-ray energy is high, the life of the photodiode 7 is shortened, and scattered X from the inspection object 2 is generated.
It becomes easy to be affected by the line.
【００１２】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、移動する検査物を連続的に検査でき、しかも散乱Ｘ
線の影響を受けないＸ線検査装置を提供することにあ
る。Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, to inspect a moving inspection object continuously, and to prevent scattering X
An object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus that is not affected by X-rays.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、検査物にＸ線を照射して得られる透過Ｘ線
より透過Ｘ線画像を得るＸ線検査装置において、透過Ｘ
線を受けると共にその強度に応じて光を発する検出器
と、Ｘ線の照射領域外に設けられ検出器から発せられた
光を受光するためのカメラと、検出器からの光を反射し
てカメラへ入射する反射手段とを備えたものである。In order to achieve the above object, the present invention provides an X-ray inspection apparatus for obtaining a transmission X-ray image from a transmission X-ray obtained by irradiating an inspection object with X-rays.
A detector that receives a ray and emits light according to its intensity, a camera that is provided outside the X-ray irradiation area to receive the light emitted from the detector, and a camera that reflects the light from the detector And a reflection means for making the light incident on.
【００１４】[0014]
【作用】上記構成によれば、検査物にＸ線が照射される
と透過Ｘ線と散乱Ｘ線とが発生する。カメラはＸ線の照
射領域外に設けられているため、直接透過Ｘ線及び散乱
Ｘ線を受けることがないので、ノイズの発生が軽減す
る。透過Ｘ線が検出器で変換された光は反射手段で反射
されてカメラに入射するが、散乱Ｘ線が検出器で変換さ
れた光は反射手段で反射されても透過Ｘ線が変換された
光の光路とは異なる光路に進むためカメラへは入射しな
いので、鮮明な透過画像を得ることができる。According to the above construction, when the inspection object is irradiated with X-rays, transmitted X-rays and scattered X-rays are generated. Since the camera is provided outside the X-ray irradiation area, it does not directly receive the transmitted X-rays and scattered X-rays, which reduces noise generation. The light whose transmitted X-rays are converted by the detector is reflected by the reflecting means and enters the camera, but the light whose scattered X-rays are converted by the detector is also converted by the transmitting means even if it is reflected by the reflecting means. Since the light does not enter the camera because it travels on an optical path different from the optical path of light, a clear transmitted image can be obtained.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
【００１６】図１は本発明のＸ線検査装置の一実施例の
概念図である。同図において、１０はＸ線１１を発生す
るＸ線発生器であり、図示しないコントローラに接続さ
れている。Ｘ線発生器１０の照射領域内には、Ｘ線１１
を受けると共に光に変換する検出器としてのシンチレー
タ（無機材質又は有機材質、約１０6 ショットまで使用
可能）１２が支持部材１３に設けられている。尚、シン
チレータの代わりに蛍光体等他の材料を用いてもよい。
Ｘ線発生器１０とシンチレータ１２との間には、検査物
１４がＸ線１１を横断するように移動させる移動台（ま
たはコンベア）１５が設けられており、この移動台１５
を駆動する駆動装置１６はコントローラに接続されてい
る。Ｘ線発生器１０とシンチレータ１２とを結ぶ破線Ｌ
1 上において、Ｘ線発生器１０の反対側（図では下側）
には反射手段としての反射鏡１７が設けられている。Ｘ
線照射領域外の反射光路Ｌ2 上にはラインセンサカメラ
１８が配置されており、このラインセンサカメラ１８は
散乱Ｘ線の影響をさらに少なくするためＸ線遮蔽板１９
で遮蔽されている。Ｘ線遮蔽板１９で遮蔽された室内に
は画像生成システムのテレビモニタ２０が配置されてお
り、検査員が検査物１４の透過画像を目視検査できるよ
うになっている。FIG. 1 is a conceptual diagram of one embodiment of the X-ray inspection apparatus of the present invention. In the figure, 10 is an X-ray generator that generates X-rays 11, and is connected to a controller (not shown). Within the irradiation area of the X-ray generator 10, X-rays 11
A scintillator (inorganic material or organic material, usable up to about 10 6 shots) 12 as a detector that receives and converts light into light is provided on the support member 13. Note that other materials such as a phosphor may be used instead of the scintillator.
Between the X-ray generator 10 and the scintillator 12, a moving table (or conveyor) 15 for moving the inspection object 14 so as to cross the X-ray 11 is provided.
The drive device 16 for driving the is connected to the controller. A broken line L connecting the X-ray generator 10 and the scintillator 12
1, on the opposite side of the X-ray generator 10 (lower side in the figure)
A reflection mirror 17 is provided as a reflection means. X
A line sensor camera 18 is arranged on the reflected light path L 2 outside the line irradiation region, and the line sensor camera 18 further reduces the influence of scattered X-rays and thereby the X-ray shield plate 19 is provided.
Is shielded by. A television monitor 20 of the image generation system is arranged in the room shielded by the X-ray shield plate 19 so that an inspector can visually inspect the transmission image of the inspection object 14.
【００１７】次に実施例の作用を述べる。Next, the operation of the embodiment will be described.
【００１８】コントローラからの指令によりＸ線発生器
１０からＸ線１１が照射されると共に駆動装置１６が作
動して検査物１４が移動台１５でＸ線発生器１０とシン
チレータ１２との間を横断する。検査物１４にＸ線１１
が照射されると透過Ｘ線と散乱Ｘ線とが発生する。透過
Ｘ線は破線Ｌ1 上を進んでシンチレータ１２に入射して
光に変換される。変換された光は反射鏡１７で反射され
て破線Ｌ2 上を進みラインセンサカメラ１８に入射す
る。In response to a command from the controller, X-rays 11 are emitted from the X-ray generator 10 and the driving device 16 is operated so that the inspection object 14 traverses between the X-ray generator 10 and the scintillator 12 on the moving table 15. To do. X-ray 11 on the inspection object 14
When X-rays are irradiated, transmitted X-rays and scattered X-rays are generated. The transmitted X-rays travel along the broken line L 1 and enter the scintillator 12 to be converted into light. The converted light is reflected by the reflecting mirror 17, travels on the broken line L 2 , and enters the line sensor camera 18.
【００１９】他方、検査物１４内で発生した散乱Ｘ線の
方向は定まっていないため、例えばシンチレータ１２に
入射して発生した光は一点鎖線Ｌ3 ，Ｌ4 で示す光路上
を進み、反射鏡１７で反射された後光路Ｌ5 ，Ｌ6 上を
進んでＸ線遮蔽板１９に当たるなどしてラインセンサカ
メラ１８にはほとんど入射しない。このためテレビモニ
タ２０で検査物１４の鮮明な透過Ｘ線画像を得ることが
できる。また、ラインセンサカメラ１８はＸ線１１の照
射領域外に設けられているので、直接透過Ｘ線や散乱Ｘ
線を受けることがなくなりノイズの発生が軽減する。On the other hand, since the direction of the scattered X-rays generated in the inspection object 14 is not fixed, for example, the light incident upon the scintillator 12 travels on the optical path indicated by the alternate long and short dash lines L 3 and L 4 , and is reflected by the reflecting mirror. After being reflected by 17, the light travels on the optical paths L 5 and L 6 and hits the X-ray shielding plate 19 so that it hardly enters the line sensor camera 18. Therefore, a clear transmitted X-ray image of the inspection object 14 can be obtained on the television monitor 20. Further, since the line sensor camera 18 is provided outside the irradiation area of the X-rays 11, direct transmission X-rays and scattered X-rays are available.
The line is not received and the generation of noise is reduced.
【００２０】以上において本実施例では、Ｘ線の照射領
域外にラインセンサカメラを設け、反射鏡でシンチレー
タからの光をラインセンサに入射させたので、ラインセ
ンサカメラのＸ線によるノイズの発生を軽減することが
でき、鮮明な生成画像を得ることができる。As described above, in the present embodiment, since the line sensor camera is provided outside the X-ray irradiation area and the light from the scintillator is incident on the line sensor by the reflecting mirror, noise due to the X-ray of the line sensor camera is not generated. It can be reduced, and a clear generated image can be obtained.
【００２１】従来のＸ線検査装置では、光電子増倍管や
フォトダイオードが用いられおり、その最小サイズが数
ｍｍ程度あるので高解像度が得られないが、本実施例の
Ｘ線検査装置ではシンチレータのサイズを小さくするこ
とが可能なため高解像度を得ることができる。In the conventional X-ray inspection apparatus, a photomultiplier tube and a photodiode are used, and since the minimum size thereof is about several mm, high resolution cannot be obtained, but in the X-ray inspection apparatus of this embodiment, the scintillator is used. Since it is possible to reduce the size of, high resolution can be obtained.
【００２２】大型の検査物を検査する場合、従来のシン
チレータと光電子増倍管とを用いたＸ線検査装置では、
２素子共かなりの数が必要となり、またイメージインテ
ンシファイアを用いたＸ線検査装置では、イメージイン
テンシファイアの大きさに限度があるため（１０〜１２
型）対応が困難となるが、本実施例のＸ線検査装置では
シンチレータのみ検査物の大きさに合わせて複数化する
か又は、図２に示すようにシンチレータ１２を複数個配
置して細長の検出器２１を形成し検査物１４の各断面１
４ａを重ね合わせて映像化すれば対応できる。この場合
カメラは１台でもよい。尚、図２は図１に示した実施例
の変形例を示す概念図である。When inspecting a large inspection object, an X-ray inspection apparatus using a conventional scintillator and a photomultiplier tube,
A considerable number of elements are required for each of the two elements, and the size of the image intensifier is limited in the X-ray inspection apparatus using the image intensifier (10 to 12).
However, in the X-ray inspection apparatus of the present embodiment, only the scintillator is made plural according to the size of the inspection object, or a plurality of scintillators 12 are arranged as shown in FIG. Each cross section 1 of the inspection object 14 forming the detector 21
This can be done by superimposing 4a and visualizing. In this case, one camera may be used. 2 is a conceptual diagram showing a modification of the embodiment shown in FIG.
【００２３】尚、本実施例では反射手段として反射鏡を
用いたが、これに限定されるものではなく、プリズムや
凹面鏡を用いてシンチレータからの光を反射させてもよ
く、光ファイバを用いてシンチレータからの光をコア内
に反射させてカメラに入射させてもよい。またラインセ
ンサカメラの代わりにエリアセンサカメラを用いてもよ
い。さらに本実施例では検査物を移動させる場合で説明
したが、これに限定されるものではなく、検査装置を移
動させるようにしてもよい。さらにまた、図１において
反射鏡からの反射光が入射光に対して直角となっている
が、これに限定されるものではなくラインセンサカメラ
がＸ線照射領域の外にあればよい。In this embodiment, the reflecting mirror is used as the reflecting means, but the reflecting means is not limited to this, and the light from the scintillator may be reflected by using a prism or a concave mirror, and an optical fiber is used. The light from the scintillator may be reflected inside the core and incident on the camera. An area sensor camera may be used instead of the line sensor camera. Further, although the case where the inspection object is moved has been described in the present embodiment, the present invention is not limited to this, and the inspection device may be moved. Furthermore, although the reflected light from the reflecting mirror is perpendicular to the incident light in FIG. 1, the invention is not limited to this, and the line sensor camera may be located outside the X-ray irradiation area.
【００２４】さらに本実施例では反射鏡を１枚用いた場
合で説明したが、複数枚用いて光を反射させることによ
りＸ線検査装置を小型化することができる。Further, in the present embodiment, the case where one reflecting mirror is used has been described, but the X-ray inspection apparatus can be downsized by using a plurality of reflecting mirrors to reflect light.
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。In summary, according to the present invention, the following excellent effects are exhibited.
【００２６】検出器からの光の光路を照射領域外に設け
られたカメラへ反射するので、移動する検査物を連続的
に検査でき、しかも散乱Ｘ線の影響を受けないＸ線検査
装置を実現することができる。Since the optical path of the light from the detector is reflected to the camera provided outside the irradiation area, a moving inspection object can be continuously inspected, and an X-ray inspection apparatus which is not affected by scattered X-rays is realized. can do.
【図１】本発明のＸ線検査装置の一実施例の概念図であ
る。FIG. 1 is a conceptual diagram of an embodiment of an X-ray inspection apparatus of the present invention.
【図２】図１に示した実施例の変形例を示す概念図であ
る。FIG. 2 is a conceptual diagram showing a modified example of the embodiment shown in FIG.
【図３】従来のＸ線検査装置を示す概念図である。FIG. 3 is a conceptual diagram showing a conventional X-ray inspection apparatus.
【図４】従来のＸ線検査装置を示す概念図である。FIG. 4 is a conceptual diagram showing a conventional X-ray inspection apparatus.
【図５】従来のＸ線検査装置を示す概念図である。FIG. 5 is a conceptual diagram showing a conventional X-ray inspection apparatus.
【図６】従来のＸ線検査装置を示す概念図である。FIG. 6 is a conceptual diagram showing a conventional X-ray inspection apparatus.
１１ Ｘ線 １２ 検出器（シンチレータ） １４ 検査物 １７ 反射手段（反射鏡） １８ カメラ（ラインセンサカメラ） Reference Signs List 11 X-ray 12 Detector (scintillator) 14 Inspection object 17 Reflecting means (reflecting mirror) 18 Camera (line sensor camera)
Claims (1)
線より透過Ｘ線画像を得るＸ線検査装置において、前記
透過Ｘ線を受けると共にその強度に応じて光を発する検
出器と、前記Ｘ線の照射領域外に設けられ前記検出器か
ら発せられた光を受光するためのカメラと、前記検出器
からの光を反射して前記カメラへ入射する反射手段とを
備えたことを特徴とするＸ線検査装置。1. A transmission X obtained by irradiating an inspection object with X-rays.
In an X-ray inspection apparatus that obtains a transmitted X-ray image from X-rays, a detector that receives the transmitted X-ray and emits light according to its intensity, and a detector that is provided outside the X-ray irradiation area and is emitted from the detector An X-ray inspection apparatus comprising: a camera for receiving light, and a reflecting means for reflecting the light from the detector and making the light incident on the camera.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6003539A JPH07209211A (en) | 1994-01-18 | 1994-01-18 | X-ray inspection equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6003539A JPH07209211A (en) | 1994-01-18 | 1994-01-18 | X-ray inspection equipment |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07209211A true JPH07209211A (en) | 1995-08-11 |
Family
ID=11560222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6003539A Pending JPH07209211A (en) | 1994-01-18 | 1994-01-18 | X-ray inspection equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07209211A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009014514A (en) * | 2007-07-04 | 2009-01-22 | Jfe Engineering Kk | Pipe corrosion diagnostic method |
-
1994
- 1994-01-18 JP JP6003539A patent/JPH07209211A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009014514A (en) * | 2007-07-04 | 2009-01-22 | Jfe Engineering Kk | Pipe corrosion diagnostic method |
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