JPH07205015A - ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置 - Google Patents
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置Info
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- JPH07205015A JPH07205015A JP73494A JP73494A JPH07205015A JP H07205015 A JPH07205015 A JP H07205015A JP 73494 A JP73494 A JP 73494A JP 73494 A JP73494 A JP 73494A JP H07205015 A JPH07205015 A JP H07205015A
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ワイヤーを走行させたままでワイヤー磨耗量を
連続的に検知し、ワイヤーの断線事故を防止すると共
に、作業能率を向上させる。 【構成】ワイヤー１４のワイヤー走行系路のうちワイヤ
ー１４のみの電気抵抗を有する２点間に一対の導体ロー
ラ１８を配設し、電源装置４２から導体ローラを介して
ワイヤー１４の前記２点間に電流を流し、２点間の電流
値をワイヤー１４に磨耗がない時点から連続的に電流計
４４で測定し、測定した電流値の下降量からワイヤー１
４の磨耗度を検知するようにした。即ち、ワイヤー１４
が磨耗して細くなったワイヤー１４は、磨耗のないワイ
ヤーの断面積よりも小さくなるので電気抵抗が大きくな
る。これにより、磨耗したワイヤー１４は、磨耗のない
ワイヤーの電流値に対してワイヤー磨耗量に応じて電流
値が下降してくるという電気的特性を用いてワイヤー磨
耗度を検知するようにした。
連続的に検知し、ワイヤーの断線事故を防止すると共
に、作業能率を向上させる。 【構成】ワイヤー１４のワイヤー走行系路のうちワイヤ
ー１４のみの電気抵抗を有する２点間に一対の導体ロー
ラ１８を配設し、電源装置４２から導体ローラを介して
ワイヤー１４の前記２点間に電流を流し、２点間の電流
値をワイヤー１４に磨耗がない時点から連続的に電流計
４４で測定し、測定した電流値の下降量からワイヤー１
４の磨耗度を検知するようにした。即ち、ワイヤー１４
が磨耗して細くなったワイヤー１４は、磨耗のないワイ
ヤーの断面積よりも小さくなるので電気抵抗が大きくな
る。これにより、磨耗したワイヤー１４は、磨耗のない
ワイヤーの電流値に対してワイヤー磨耗量に応じて電流
値が下降してくるという電気的特性を用いてワイヤー磨
耗度を検知するようにした。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】本発明はワイヤーソーのワイヤー磨
耗量検知方法及びその装置に係り、特に、円柱状の半導
体インゴットを、走行するワイヤーで多数の薄板状のウ
ェーハに切断するワイヤーソーにおいて、ワイヤーの交
換時期を正確に知るためにワイヤーの磨耗量を検知する
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置に
関する。
耗量検知方法及びその装置に係り、特に、円柱状の半導
体インゴットを、走行するワイヤーで多数の薄板状のウ
ェーハに切断するワイヤーソーにおいて、ワイヤーの交
換時期を正確に知るためにワイヤーの磨耗量を検知する
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック等の被加
工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、複数の
溝付きローラ間にワイヤーが巻掛けられてワイヤー列が
形成され、高速走行するワイヤー列に被加工物を押し当
てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給して
砥粒のラッピング作用により被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。このワイヤーソーのワ
イヤーは被加工物を切断しているうちに磨耗され、切断
中にワイヤーが断線する危険性があるため、断線する前
にワイヤーを交換する必要がある。
工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、複数の
溝付きローラ間にワイヤーが巻掛けられてワイヤー列が
形成され、高速走行するワイヤー列に被加工物を押し当
てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給して
砥粒のラッピング作用により被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。このワイヤーソーのワ
イヤーは被加工物を切断しているうちに磨耗され、切断
中にワイヤーが断線する危険性があるため、断線する前
にワイヤーを交換する必要がある。
【０００３】そして、従来のワイヤーソーのワイヤー磨
耗量検知方法は、ワイヤーを一定時間使用したらワイヤ
ーソーを停止させて、作業員がマイクロメータでワイヤ
ー径を測定することによりワイヤー磨耗量を検知し、ワ
イヤーが所定の細さまで磨耗していたら交換するように
していた。
耗量検知方法は、ワイヤーを一定時間使用したらワイヤ
ーソーを停止させて、作業員がマイクロメータでワイヤ
ー径を測定することによりワイヤー磨耗量を検知し、ワ
イヤーが所定の細さまで磨耗していたら交換するように
していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法は、ワイヤーの
磨耗量を連続して検知することができないので、ワイヤ
ー径の測定から次の測定までの間にワイヤーが断線して
作業が停止するという危険性があると共に、測定の都度
ワイヤーソーを停止しなくてはならないので、作業能率
が悪くなるという欠点があった。また、新しい切断条件
の時にも、ワイヤー径をその都度マイクロメータで測定
して切断条件を決定しなくてはならず煩雑であった。
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法は、ワイヤーの
磨耗量を連続して検知することができないので、ワイヤ
ー径の測定から次の測定までの間にワイヤーが断線して
作業が停止するという危険性があると共に、測定の都度
ワイヤーソーを停止しなくてはならないので、作業能率
が悪くなるという欠点があった。また、新しい切断条件
の時にも、ワイヤー径をその都度マイクロメータで測定
して切断条件を決定しなくてはならず煩雑であった。
【０００５】このような背景から、ワイヤーを走行させ
たままでワイヤー磨耗量を連続的に検知することのでき
るワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置
が要望されていた。本発明は、このような事情に鑑みて
なされたもので、ワイヤーを走行させたままでワイヤー
磨耗量を連続的に検知することのできるので、ワイヤー
の断線事故を防止すると共に、作業能率を向上できるワ
イヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置を提
供することを目的とする。
たままでワイヤー磨耗量を連続的に検知することのでき
るワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置
が要望されていた。本発明は、このような事情に鑑みて
なされたもので、ワイヤーを走行させたままでワイヤー
磨耗量を連続的に検知することのできるので、ワイヤー
の断線事故を防止すると共に、作業能率を向上できるワ
イヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、走行するワイヤーに被加工物を押し当てると
共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多数
の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知方法に於いて、前記ワイヤーのワイヤー走行
系路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有する２点間に電
流を流してその電流値又は電圧値を測定し、前記測定し
た電流値又は電圧値の変化からワイヤーの磨耗量を検知
することを特徴とする。
する為に、走行するワイヤーに被加工物を押し当てると
共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多数
の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知方法に於いて、前記ワイヤーのワイヤー走行
系路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有する２点間に電
流を流してその電流値又は電圧値を測定し、前記測定し
た電流値又は電圧値の変化からワイヤーの磨耗量を検知
することを特徴とする。
【０００７】また、本発明は、前記目的を達成する為
に、走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共に、
前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤー磨耗量
検知方法に於いて、前記ワイヤーのワイヤー径をレーザ
外径測定器で測定してワイヤーの磨耗量を検知すること
を特徴とする。
に、走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共に、
前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤー磨耗量
検知方法に於いて、前記ワイヤーのワイヤー径をレーザ
外径測定器で測定してワイヤーの磨耗量を検知すること
を特徴とする。
【０００８】
【作用】第１の発明によれば、走行するワイヤーのワイ
ヤー走行系路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有する２
点間に一対の導体ローラを配設し、電源装置から前記導
体ローラを介してワイヤーの前記２点間に電流を流し、
前記２点間の電流値又は電圧値を測定し、測定した電流
値又は電圧値の変化からワイヤーの磨耗量を検知するよ
うにした。即ち、磨耗して細くなったワイヤーは、磨耗
のないワイヤーの断面積よりも小さくなるので電気抵抗
が大きくなる。これにより、磨耗したワイヤーは、磨耗
のないワイヤーの電流値に対してワイヤー磨耗度に応じ
て電流値が変化するという電気的特性を用いてワイヤー
磨耗量を検知するようにした。従って、ワイヤーを走行
させたままでワイヤーの磨耗量を連続的に検知すること
ができる。
ヤー走行系路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有する２
点間に一対の導体ローラを配設し、電源装置から前記導
体ローラを介してワイヤーの前記２点間に電流を流し、
前記２点間の電流値又は電圧値を測定し、測定した電流
値又は電圧値の変化からワイヤーの磨耗量を検知するよ
うにした。即ち、磨耗して細くなったワイヤーは、磨耗
のないワイヤーの断面積よりも小さくなるので電気抵抗
が大きくなる。これにより、磨耗したワイヤーは、磨耗
のないワイヤーの電流値に対してワイヤー磨耗度に応じ
て電流値が変化するという電気的特性を用いてワイヤー
磨耗量を検知するようにした。従って、ワイヤーを走行
させたままでワイヤーの磨耗量を連続的に検知すること
ができる。
【０００９】また、第２の発明によれば、走行するワイ
ヤーのワイヤー径を非接触型測定器であるレーザ外径測
定器で測定してワイヤーの磨耗量を検知するよにした。
これにより、ワイヤーを走行させたままでワイヤーの磨
耗度を連続的に検知することができる。
ヤーのワイヤー径を非接触型測定器であるレーザ外径測
定器で測定してワイヤーの磨耗量を検知するよにした。
これにより、ワイヤーを走行させたままでワイヤーの磨
耗度を連続的に検知することができる。
【００１０】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置の好ましい
実施例について詳説する。本発明のワイヤーソーのワイ
ヤー磨耗量検知方法及びその装置の第１実施例を説明す
る。図１は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知装置を組み込んだワイヤーソー１０の概略構成図であ
る。図１に示すように、３本の溝付きローラ１２、１
２、１２に電気的な導体性を有する１本のワイヤー１４
が所定の張力で順次巻き掛けられてワイヤー列１６が形
成される。また、ワイヤー１４の一方端は電気的導体性
を有する一対の導体ローラ１８、１８に係合された後、
巻取リール２０に巻回される。また、ワイヤー１４の他
方端も、電気的導体性を有する一対の導体ローラ２２、
２２に係合された後、供給リール２４に巻回される。そ
して、供給リール２４から繰り出されたワイヤー１４
は、図中実線矢印２６方向に高速走行（６００ｍ／分以
上）しながら巻取リール２０に巻き取られる。また、巻
取リール２０に巻き取られたワイヤー１４は図中破線矢
印２８方向に逆走行して供給リール２４に巻き取られ
る。即ち、ワイヤー１４は供給リール２４と巻取リール
２０の間を往復走行する。また、高速走行するワイヤー
１４には、砥液供給ノズル３０から砥粒（通常、ＧＣ♯
６００〜♯１０００程度のものが使用される）を含む加
工液３２が供給される。２本の砥液供給ノズル３０を設
けた理由は、ワイヤー１４の往復走行に対応させるため
である。
ソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置の好ましい
実施例について詳説する。本発明のワイヤーソーのワイ
ヤー磨耗量検知方法及びその装置の第１実施例を説明す
る。図１は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知装置を組み込んだワイヤーソー１０の概略構成図であ
る。図１に示すように、３本の溝付きローラ１２、１
２、１２に電気的な導体性を有する１本のワイヤー１４
が所定の張力で順次巻き掛けられてワイヤー列１６が形
成される。また、ワイヤー１４の一方端は電気的導体性
を有する一対の導体ローラ１８、１８に係合された後、
巻取リール２０に巻回される。また、ワイヤー１４の他
方端も、電気的導体性を有する一対の導体ローラ２２、
２２に係合された後、供給リール２４に巻回される。そ
して、供給リール２４から繰り出されたワイヤー１４
は、図中実線矢印２６方向に高速走行（６００ｍ／分以
上）しながら巻取リール２０に巻き取られる。また、巻
取リール２０に巻き取られたワイヤー１４は図中破線矢
印２８方向に逆走行して供給リール２４に巻き取られ
る。即ち、ワイヤー１４は供給リール２４と巻取リール
２０の間を往復走行する。また、高速走行するワイヤー
１４には、砥液供給ノズル３０から砥粒（通常、ＧＣ♯
６００〜♯１０００程度のものが使用される）を含む加
工液３２が供給される。２本の砥液供給ノズル３０を設
けた理由は、ワイヤー１４の往復走行に対応させるため
である。
【００１１】また、前記ワイヤー列１６の上方には、ワ
ーク送りテーブル３４が切断送り方向（図中Ｙ−Ｙ方
向）に移動可能に設けられると共に、ワーク送りテーブ
ル３４のワイヤー列１６側には、被加工物である半導体
インゴット３６がワークブロック３８とスライスベース
４０を介して支持される。そして、半導体インゴット３
６とスライスベース４０、及びスライスベース４０とワ
ークブロック３８の間は接着材で接合される共に、ワー
クブロック３８とワーク送りテーブル３４とは、ワーク
送りテーブル３４に形成された蟻溝３４Ａに、その蟻溝
３４Ａに対応するように形成されたワークブロック３８
の突起部３８Ａが嵌合固定される。これにより、ワーク
送りテーブル３４を切断送り方向（ワイヤー列１６側）
に移動させると、半導体インゴット３６は高速走行する
ワイヤー列１６に押し当てられ、ワイヤー列１６に供給
される加工液３２の砥粒によるラッピング作用により半
導体インゴット３６を多数の薄板状のウェーハに切断す
る。
ーク送りテーブル３４が切断送り方向（図中Ｙ−Ｙ方
向）に移動可能に設けられると共に、ワーク送りテーブ
ル３４のワイヤー列１６側には、被加工物である半導体
インゴット３６がワークブロック３８とスライスベース
４０を介して支持される。そして、半導体インゴット３
６とスライスベース４０、及びスライスベース４０とワ
ークブロック３８の間は接着材で接合される共に、ワー
クブロック３８とワーク送りテーブル３４とは、ワーク
送りテーブル３４に形成された蟻溝３４Ａに、その蟻溝
３４Ａに対応するように形成されたワークブロック３８
の突起部３８Ａが嵌合固定される。これにより、ワーク
送りテーブル３４を切断送り方向（ワイヤー列１６側）
に移動させると、半導体インゴット３６は高速走行する
ワイヤー列１６に押し当てられ、ワイヤー列１６に供給
される加工液３２の砥粒によるラッピング作用により半
導体インゴット３６を多数の薄板状のウェーハに切断す
る。
【００１２】また、巻取リール２０側に設けられた前記
一対の導体ローラ１８、１８の一方の導体ローラ１８か
ら延びた電気配線４１は電源装置４２、電流計４４を介
して他方の導体ローラ１８に接続される。これにより、
一対の導体ローラ１８、１８、電源装置４２、電流計４
４、導体ローラ１８、１８間のワイヤー１４及び電気配
線４１により第１の電気回路４６が形成される。また、
供給リール２４側に設けられた前記一対の導体ローラ２
２、２２にも、電源装置４８、電流計５０、導体ローラ
２２、２２間のワイヤー１４及び電気配線５２により第
２の電気回路５４が形成される。また、第１の電気回路
４６に設けられた一対の導体ローラ１８、１８の間隔Ｌ
は、第２の電気回路５４に設けられた一対の導体ローラ
２２、２２の間隔Ｌと等しくなるように形成されると共
に、第１の電気回路４６と第２の電源回路５４の夫々の
導体ローラ１８、２２、電源装置４２、４８、電流計４
４、５０、電気配線４１、５２の電気抵抗は同じになる
ように形成する。即ち、第１の電気回路４６と第２の電
気回路５４において、一対の導体ローラ１８、２２間の
ワイヤー１４の電気抵抗のみが変数となるように構成す
る。また、第１の電気回路４６の電流計４４及び第２の
電気回路５４の電流計５０は、それぞれケーブル５６、
５８により演算装置６０に接続される。演算装置６０に
は、夫々の電気回路４６、５４の電流計４４、５０でワ
イヤー１４に磨耗がない時点から連続的に測定された電
流値が逐次入力され、ワイヤー１４に磨耗がない時点で
の電流値に対するワイヤー１４に磨耗がある時点での電
流値の差が下降量として演算される（演算装置の第１の
機能）。また、演算装置６０は、ワイヤー１４に磨耗が
ない時点から連続的に測定された夫々の電気回路の電流
値の差を算出して、算出した差を積算することにより電
流値の下降量を演算する第２の機能をも有する。また、
演算装置６０には、予め現場実験により求められた「ワ
イヤー１４に磨耗がない時点での電流値に対するワイヤ
ー１４の磨耗量に応じた電流値の下降量との相関関係」
が入力されている。また、演算装置６０はケーブル６２
により警報装置６４に接続される。
一対の導体ローラ１８、１８の一方の導体ローラ１８か
ら延びた電気配線４１は電源装置４２、電流計４４を介
して他方の導体ローラ１８に接続される。これにより、
一対の導体ローラ１８、１８、電源装置４２、電流計４
４、導体ローラ１８、１８間のワイヤー１４及び電気配
線４１により第１の電気回路４６が形成される。また、
供給リール２４側に設けられた前記一対の導体ローラ２
２、２２にも、電源装置４８、電流計５０、導体ローラ
２２、２２間のワイヤー１４及び電気配線５２により第
２の電気回路５４が形成される。また、第１の電気回路
４６に設けられた一対の導体ローラ１８、１８の間隔Ｌ
は、第２の電気回路５４に設けられた一対の導体ローラ
２２、２２の間隔Ｌと等しくなるように形成されると共
に、第１の電気回路４６と第２の電源回路５４の夫々の
導体ローラ１８、２２、電源装置４２、４８、電流計４
４、５０、電気配線４１、５２の電気抵抗は同じになる
ように形成する。即ち、第１の電気回路４６と第２の電
気回路５４において、一対の導体ローラ１８、２２間の
ワイヤー１４の電気抵抗のみが変数となるように構成す
る。また、第１の電気回路４６の電流計４４及び第２の
電気回路５４の電流計５０は、それぞれケーブル５６、
５８により演算装置６０に接続される。演算装置６０に
は、夫々の電気回路４６、５４の電流計４４、５０でワ
イヤー１４に磨耗がない時点から連続的に測定された電
流値が逐次入力され、ワイヤー１４に磨耗がない時点で
の電流値に対するワイヤー１４に磨耗がある時点での電
流値の差が下降量として演算される（演算装置の第１の
機能）。また、演算装置６０は、ワイヤー１４に磨耗が
ない時点から連続的に測定された夫々の電気回路の電流
値の差を算出して、算出した差を積算することにより電
流値の下降量を演算する第２の機能をも有する。また、
演算装置６０には、予め現場実験により求められた「ワ
イヤー１４に磨耗がない時点での電流値に対するワイヤ
ー１４の磨耗量に応じた電流値の下降量との相関関係」
が入力されている。また、演算装置６０はケーブル６２
により警報装置６４に接続される。
【００１３】次に、上記の如く構成されたワイヤーソー
１０を用いて本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知方法を説明する。供給リール２４から巻き戻されて高
速走行するワイヤー１４は、第２の電気回路５４の導体
ローラ２２に係合してから３本の溝付きローラ１２でワ
イヤー列１６を形成した後、第１の電気回路４６の導体
ローラ１８に係合して巻取リール２０に巻き取られる。
一方、半導体インゴット３６を支持するワーク送りテー
ブル３４は、切断送り方向に移動して半導体インゴット
３６を高速走行するワイヤー列１６に押し当てると共
に、巻取リール２０側の液供給ノズル３０からワイヤー
列１６に加工液３２を供給しながら半導体インゴット３
６を多数の薄板状のウェーハに切断する。そして、ワイ
ヤー１４は半導体インゴット３６を切断することにより
磨耗されるので、切断中にワイヤー１４が断線するのを
防止するためにワイヤー１４の磨耗量を正確に検知し、
ワイヤー１４が切断する前にワイヤー１４を交換する必
要がある。
１０を用いて本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知方法を説明する。供給リール２４から巻き戻されて高
速走行するワイヤー１４は、第２の電気回路５４の導体
ローラ２２に係合してから３本の溝付きローラ１２でワ
イヤー列１６を形成した後、第１の電気回路４６の導体
ローラ１８に係合して巻取リール２０に巻き取られる。
一方、半導体インゴット３６を支持するワーク送りテー
ブル３４は、切断送り方向に移動して半導体インゴット
３６を高速走行するワイヤー列１６に押し当てると共
に、巻取リール２０側の液供給ノズル３０からワイヤー
列１６に加工液３２を供給しながら半導体インゴット３
６を多数の薄板状のウェーハに切断する。そして、ワイ
ヤー１４は半導体インゴット３６を切断することにより
磨耗されるので、切断中にワイヤー１４が断線するのを
防止するためにワイヤー１４の磨耗量を正確に検知し、
ワイヤー１４が切断する前にワイヤー１４を交換する必
要がある。
【００１４】そこで、本発明のワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知方法によれば、ワイヤー１４を走行させなが
ら、半導体インゴット３６の切断部の下流側に位置する
第１の電気回路４６に電源装置４２から電流を流し、一
対の導体ローラ１８間の電流値をワイヤーに磨耗がない
時点から電流計４４で連続的に測定し、測定した電流値
の下降量を演算装置で演算する（演算装置の第１の機能
を使用）。即ち、磨耗して細くなったワイヤー１４は、
磨耗のないワイヤー１４の断面積よりも小さくなるので
電気抵抗が大きくなる。これにより、磨耗したワイヤー
１４は、磨耗のないワイヤー１４の電流値に対してワイ
ヤー磨耗量に応じて電流値が下降してくるという電気的
特性を用いてワイヤー磨耗量を検知するようにした。そ
して、演算した下降量が所定下降量に達したら演算装置
からの指示で警報装置が作動し、交換時期であることを
作業員に知らせワイヤーを交換する。
磨耗量検知方法によれば、ワイヤー１４を走行させなが
ら、半導体インゴット３６の切断部の下流側に位置する
第１の電気回路４６に電源装置４２から電流を流し、一
対の導体ローラ１８間の電流値をワイヤーに磨耗がない
時点から電流計４４で連続的に測定し、測定した電流値
の下降量を演算装置で演算する（演算装置の第１の機能
を使用）。即ち、磨耗して細くなったワイヤー１４は、
磨耗のないワイヤー１４の断面積よりも小さくなるので
電気抵抗が大きくなる。これにより、磨耗したワイヤー
１４は、磨耗のないワイヤー１４の電流値に対してワイ
ヤー磨耗量に応じて電流値が下降してくるという電気的
特性を用いてワイヤー磨耗量を検知するようにした。そ
して、演算した下降量が所定下降量に達したら演算装置
からの指示で警報装置が作動し、交換時期であることを
作業員に知らせワイヤーを交換する。
【００１５】また、供給リール２４から繰り出されたワ
イヤー１４が全て巻取リール２０に巻き取られたら、巻
取リール２０からワイヤー１４を繰り出して供給リール
２４に巻き取らせる際に、半導体インゴット３６を上記
したと同様に切断する。この時、半導体インゴット３６
の切断部の下流側に位置する第２の電気回路５４を使用
して上記したと同様にワイヤー磨耗量を検知する。
イヤー１４が全て巻取リール２０に巻き取られたら、巻
取リール２０からワイヤー１４を繰り出して供給リール
２４に巻き取らせる際に、半導体インゴット３６を上記
したと同様に切断する。この時、半導体インゴット３６
の切断部の下流側に位置する第２の電気回路５４を使用
して上記したと同様にワイヤー磨耗量を検知する。
【００１６】また、第１の電気回路４６と第２の電気回
路５４を同時に使用して、夫々の電気回路４６、５４で
測定された電流値の差を演算装置６０で積算していき、
ワイヤー１４に磨耗がない時点からの電流値の下降量を
演算するようにしてもよい（演算装置の第２の機能を使
用）。このように、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨
耗量検知方法及びその装置によれば、ワイヤー１４を走
行させたままでワイヤーの磨耗度を連続的に検知するこ
とができる。従って、ワイヤー磨耗量を連続的に検知す
ることにより、ワイヤー１４全体の平均的な磨耗度を検
知できると共に、ワイヤー１４の一部の磨耗量が大きい
場合にも検知することができるので、ワイヤー１４の交
換時期を正確に知ることができ、ワイヤー１４の断線事
故を未然に防止することができる。また、ワイヤー１４
の走行を停止する必要がないので、作業能率を向上でき
ると共に、新しい切断条件を決める時の作業能率が向上
する。また、ワイヤー１４の磨耗量に応じた切断条件を
容易に決定することができるので、ウェーハ厚みの管理
が容易になる。
路５４を同時に使用して、夫々の電気回路４６、５４で
測定された電流値の差を演算装置６０で積算していき、
ワイヤー１４に磨耗がない時点からの電流値の下降量を
演算するようにしてもよい（演算装置の第２の機能を使
用）。このように、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨
耗量検知方法及びその装置によれば、ワイヤー１４を走
行させたままでワイヤーの磨耗度を連続的に検知するこ
とができる。従って、ワイヤー磨耗量を連続的に検知す
ることにより、ワイヤー１４全体の平均的な磨耗度を検
知できると共に、ワイヤー１４の一部の磨耗量が大きい
場合にも検知することができるので、ワイヤー１４の交
換時期を正確に知ることができ、ワイヤー１４の断線事
故を未然に防止することができる。また、ワイヤー１４
の走行を停止する必要がないので、作業能率を向上でき
ると共に、新しい切断条件を決める時の作業能率が向上
する。また、ワイヤー１４の磨耗量に応じた切断条件を
容易に決定することができるので、ウェーハ厚みの管理
が容易になる。
【００１７】尚、第１の電気回路４６及び第２の電気回
路５４の電流値の下降量によりワイヤー磨耗量を検知す
るようにしたが、電流計４４、５０の代わりに電圧計を
設けて電圧値の下降量によりワイヤー磨耗量を検知する
ようにしてもよい。更には抵抗計を設けて抵抗値の上昇
量によりワイヤー磨耗量を検知するようにしてもよい。
また、ワイヤー１４の走行を停止して測定することもで
きる。
路５４の電流値の下降量によりワイヤー磨耗量を検知す
るようにしたが、電流計４４、５０の代わりに電圧計を
設けて電圧値の下降量によりワイヤー磨耗量を検知する
ようにしてもよい。更には抵抗計を設けて抵抗値の上昇
量によりワイヤー磨耗量を検知するようにしてもよい。
また、ワイヤー１４の走行を停止して測定することもで
きる。
【００１８】次に、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨
耗量検知方法及びその装置の第２実施例を説明する。図
２は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置
を組み込んだワイヤーソー６６の概略構成図である。
尚、第１実施例と同じ部材、装置には同符号を付して説
明する。第１実施例との違いは、ワイヤー１４のワイヤ
ー径を非接触型測定器であるレーザ外径測定器６８、７
０でを測定し、測定したワイヤー１４のワイヤー径と予
め測定した磨耗していないワイヤー１４の基準ワイヤー
径との差を比較して、比較した差の大小からワイヤーの
磨耗量を検知するよにした点である。レーザ外径測定器
６８、７０は、測定物の外径寸法をレーザ光等の走査に
基づいて測定するものである。即ち、巻取リール２０側
に配設された２個のパスローラ７２、７２の間を走行す
るワイヤー１４の下方に第１のレーザ外径測定器６８の
受光器６８Ａが配設され、ワイヤー１４の上方に第１の
レーザ外径測定器６８の投光器６８Ｂが配設される。同
様に、供給リール２４側に配設された２個のパスローラ
７４、７４の間を走行するワイヤー１４の下方に第２の
レーザ外径測定器７０の受光器７０Ａが配設され、ワイ
ヤー１４の上方に第２のレーザ外径測定器７０の投光器
７０Ｂが配設される。また、夫々のレーザ外径測定器６
８、７０は夫々のケーブル５６、５８を介して演算装置
７６に接続される。演算装置７６は、夫々のレーザ外径
測定器６８、７０で測定されたワイヤー径と予め測定さ
れて入力されている前記基準ワイヤー径との差を比較
し、ワイヤー径の細化量を演算する第１の機能と、夫々
のレーザ外径測定器６８、７０で測定されたワイヤー径
の差を算出して、算出した差を積算することによりワイ
ヤー径の細化量を演算する第２の機能を有する。また、
演算装置７６はケーブル６２により警報装置６４に接続
される。その他の構成は、第１実施例と同様である。
耗量検知方法及びその装置の第２実施例を説明する。図
２は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置
を組み込んだワイヤーソー６６の概略構成図である。
尚、第１実施例と同じ部材、装置には同符号を付して説
明する。第１実施例との違いは、ワイヤー１４のワイヤ
ー径を非接触型測定器であるレーザ外径測定器６８、７
０でを測定し、測定したワイヤー１４のワイヤー径と予
め測定した磨耗していないワイヤー１４の基準ワイヤー
径との差を比較して、比較した差の大小からワイヤーの
磨耗量を検知するよにした点である。レーザ外径測定器
６８、７０は、測定物の外径寸法をレーザ光等の走査に
基づいて測定するものである。即ち、巻取リール２０側
に配設された２個のパスローラ７２、７２の間を走行す
るワイヤー１４の下方に第１のレーザ外径測定器６８の
受光器６８Ａが配設され、ワイヤー１４の上方に第１の
レーザ外径測定器６８の投光器６８Ｂが配設される。同
様に、供給リール２４側に配設された２個のパスローラ
７４、７４の間を走行するワイヤー１４の下方に第２の
レーザ外径測定器７０の受光器７０Ａが配設され、ワイ
ヤー１４の上方に第２のレーザ外径測定器７０の投光器
７０Ｂが配設される。また、夫々のレーザ外径測定器６
８、７０は夫々のケーブル５６、５８を介して演算装置
７６に接続される。演算装置７６は、夫々のレーザ外径
測定器６８、７０で測定されたワイヤー径と予め測定さ
れて入力されている前記基準ワイヤー径との差を比較
し、ワイヤー径の細化量を演算する第１の機能と、夫々
のレーザ外径測定器６８、７０で測定されたワイヤー径
の差を算出して、算出した差を積算することによりワイ
ヤー径の細化量を演算する第２の機能を有する。また、
演算装置７６はケーブル６２により警報装置６４に接続
される。その他の構成は、第１実施例と同様である。
【００１９】上記の如く構成されたワイヤーソー６６に
おける半導体インゴット３６の切断は、第１実施例と同
様に行われる。そして、供給リール２４から巻取リール
２０にワイヤー１４が走行する場合は、半導体インゴッ
ト３６の切断部の下流側に位置する第１のレーザ外径測
定器６８を使用してワイヤー径を連続的に測定し、測定
したワイヤー径と基準ワイヤー径とを演算装置７６で比
較することにより、ワイヤー径の細化量を演算する（演
算装置の第１の機能を使用）。そして、ワイヤー径の細
化量が所定細化量に達したら、演算装置７６からの指示
で警報装置６４を作動し、ワイヤーの交換時期を作業員
に知らせる。また、巻取リール２０から供給リール２４
にワイヤーが走行する場合は、半導体インゴット３６の
切断部の下流側に位置する第２のレーザ外径測定器７０
を使用してワイヤー径を測定し、同様にワイヤー磨耗度
を検知する。また、第１のレーザ外径測定器６８と第２
のレーザ外径測定器７０を同時に使用して、夫々のレー
ザ外径測定器６８、７０で測定されたワイヤー径の差を
演算装置７６で積算していき、ワイヤー１４に磨耗がな
い時点からのワイヤー径の細化量を演算するようにして
もよい（演算装置の第２の機能を使用）。
おける半導体インゴット３６の切断は、第１実施例と同
様に行われる。そして、供給リール２４から巻取リール
２０にワイヤー１４が走行する場合は、半導体インゴッ
ト３６の切断部の下流側に位置する第１のレーザ外径測
定器６８を使用してワイヤー径を連続的に測定し、測定
したワイヤー径と基準ワイヤー径とを演算装置７６で比
較することにより、ワイヤー径の細化量を演算する（演
算装置の第１の機能を使用）。そして、ワイヤー径の細
化量が所定細化量に達したら、演算装置７６からの指示
で警報装置６４を作動し、ワイヤーの交換時期を作業員
に知らせる。また、巻取リール２０から供給リール２４
にワイヤーが走行する場合は、半導体インゴット３６の
切断部の下流側に位置する第２のレーザ外径測定器７０
を使用してワイヤー径を測定し、同様にワイヤー磨耗度
を検知する。また、第１のレーザ外径測定器６８と第２
のレーザ外径測定器７０を同時に使用して、夫々のレー
ザ外径測定器６８、７０で測定されたワイヤー径の差を
演算装置７６で積算していき、ワイヤー１４に磨耗がな
い時点からのワイヤー径の細化量を演算するようにして
もよい（演算装置の第２の機能を使用）。
【００２０】これにより、第２実施例の場合も第１実施
例と同様の効果を奏することができる。尚、本実施例で
は、被加工物として半導体インゴットで説明したが、こ
れに限定されるものではなく、他の硬度脆性材料、例え
ば磁性材料やセラミック等の切断にも適用することがで
きる。また、導体ローラの代わりに導体棒でもよく、電
流値等を測定する時に、ワイヤーに押し当てるようにし
てもよい。
例と同様の効果を奏することができる。尚、本実施例で
は、被加工物として半導体インゴットで説明したが、こ
れに限定されるものではなく、他の硬度脆性材料、例え
ば磁性材料やセラミック等の切断にも適用することがで
きる。また、導体ローラの代わりに導体棒でもよく、電
流値等を測定する時に、ワイヤーに押し当てるようにし
てもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、第１の発明に係る
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置に
よれば、ワイヤーのワイヤー走行系路のうちワイヤーの
みの電気抵抗を有する２点間に電流を流し、前記２点間
の電流値又は電圧値を測定し、測定した電流値又は電圧
値の変化からワイヤーの磨耗量を検知するようにした。
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置に
よれば、ワイヤーのワイヤー走行系路のうちワイヤーの
みの電気抵抗を有する２点間に電流を流し、前記２点間
の電流値又は電圧値を測定し、測定した電流値又は電圧
値の変化からワイヤーの磨耗量を検知するようにした。
【００２２】また、第２の発明に係るワイヤーソーのワ
イヤー磨耗量検知方法及びその装置によれば、ワイヤー
径を非接触型測定器であるレーザ外径測定器で測定して
ワイヤーの磨耗量を検知するよにした。これにより、第
１及び第２の発明ともに、ワイヤーを走行させたままで
ワイヤーの磨耗量を連続的に検知することができる。従
って、ワイヤーの交換時期を正確に知ることができるの
で、ワイヤーの断線事故を未然に防止することができ
る。また、ワイヤーの走行を停止する必要がないので、
作業能率を向上できる。また、ワイヤーの磨耗度に応じ
た切断条件を容易に決定することができるので、ウェー
ハ厚みの管理が容易になる。
イヤー磨耗量検知方法及びその装置によれば、ワイヤー
径を非接触型測定器であるレーザ外径測定器で測定して
ワイヤーの磨耗量を検知するよにした。これにより、第
１及び第２の発明ともに、ワイヤーを走行させたままで
ワイヤーの磨耗量を連続的に検知することができる。従
って、ワイヤーの交換時期を正確に知ることができるの
で、ワイヤーの断線事故を未然に防止することができ
る。また、ワイヤーの走行を停止する必要がないので、
作業能率を向上できる。また、ワイヤーの磨耗度に応じ
た切断条件を容易に決定することができるので、ウェー
ハ厚みの管理が容易になる。
【図１】図１は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗
量検知方法及びその装置の第１実施例を説明するもの
で、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置を
組み込んだワイヤーソーの概略構成図である。
量検知方法及びその装置の第１実施例を説明するもの
で、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置を
組み込んだワイヤーソーの概略構成図である。
【図２】図２は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗
量検知方法及びその装置の第２実施例を説明するもの
で、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置を
組み込んだワイヤーソーの概略構成図である。
量検知方法及びその装置の第２実施例を説明するもの
で、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置を
組み込んだワイヤーソーの概略構成図である。
１０、６６…ワイヤーソー １２…溝付きローラ １４…ワイヤー １６…ワイヤー列 １８、２２…導体ローラ ２０…巻取ロール ２４…供給リール ３０…砥液供給ノズル ３２…加工液 ３４…ワーク送りテーブル ３６…半導体インゴット ３８…ワークブロック ４０…スライスベース ４２、４８…電源装置 ４４、５０…電流計 ４１、５２…電気配線 ６０、７６…演算装置 ６４…警報装置 ６８、７０…レーザ外径測定器
Claims (4)
- 【請求項１】走行するワイヤーに被加工物を押し当てる
と共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知方法に於いて、 前記ワイヤーのワイヤー走行系路のうちワイヤーのみの
電気抵抗を有する２点間に電流を流してその電流値又は
電圧値を測定し、 前記測定した電流値又は電圧値の変化からワイヤーの磨
耗量を検知することを特徴とするワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知方法。 - 【請求項２】走行するワイヤーに被加工物を押し当てる
と共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知方法に於いて、 前記ワイヤーのワイヤー径をレーザ外径測定器で測定し
てワイヤーの磨耗量を検知することを特徴とするワイヤ
ーソーのワイヤー磨耗量検知方法。 - 【請求項３】走行するワイヤーに被加工物を押し当てる
と共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知装置に於いて、 前記ワイヤーのワイヤー走行系路のうちワイヤーのみの
電気抵抗を有する２点間に配設された一対の導体ローラ
と、 前記導体ローラを介してワイヤーの前記２点間に電流を
流す電源装置と、 前記２点間に流れる電流値又は電圧値を測定する測定手
段と、から成り、 前記２点間の電流値又は電圧値を測定してその変化から
ワイヤーの磨耗量を検知することを特徴とするワイヤー
ソーのワイヤー磨耗量検知装置。 - 【請求項４】走行するワイヤーに被加工物を押し当てる
と共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗度を検知するワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知
装置に於いて、 前記ワイヤーのワイヤー径を測定するレーザ外径測定器
により、ワイヤーの磨耗量を検知することを特徴とする
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP73494A JPH07205015A (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP73494A JPH07205015A (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07205015A true JPH07205015A (ja) | 1995-08-08 |
Family
ID=11481961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP73494A Pending JPH07205015A (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07205015A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1738886A1 (fr) * | 2005-06-27 | 2007-01-03 | HCT Shaping Systems S.A. | Procédé de détection d'un dysfonctionnement dans un dispositif de sciage par fil et dispositif pour la mise en oeuvre dudit procédé |
| JP2010523348A (ja) * | 2007-04-04 | 2010-07-15 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | １つの構成素子ブロックから多数のセラミック製の構成素子を分離するための方法およびシステム |
| WO2011032602A1 (en) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | Applied Materials, Inc. | Pulley for a wire saw device, wire saw device and method for operating same |
| CN103052468A (zh) * | 2010-09-27 | 2013-04-17 | 小松Ntc株式会社 | 用于检测线锯中的断线的方法和设备 |
| WO2016068526A1 (ko) * | 2014-10-30 | 2016-05-06 | 한국생산기술연구원 | 와이어소 가공상태 감시장치 및 그것이 설치된 와이어소 |
| JP2018058147A (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社タカトリ | ワイヤソー及びワイヤソーのワイヤ巻き取り方法 |
-
1994
- 1994-01-10 JP JP73494A patent/JPH07205015A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1738886A1 (fr) * | 2005-06-27 | 2007-01-03 | HCT Shaping Systems S.A. | Procédé de détection d'un dysfonctionnement dans un dispositif de sciage par fil et dispositif pour la mise en oeuvre dudit procédé |
| JP2007007848A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-18 | Hct Shaping Systems Sa | ワイヤソーにおける機能障害の検出方法、およびこの方法を実施するための装置 |
| US7501831B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-10 | Hct Shaping Systems Sa | Process for the detection of a malfunction in a device for wire sawing and device for practicing said process |
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| CN102548696A (zh) * | 2009-09-18 | 2012-07-04 | 应用材料公司 | 供线锯装置所用的滑轮、线锯装置及操作方法 |
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| JP2018058147A (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社タカトリ | ワイヤソー及びワイヤソーのワイヤ巻き取り方法 |
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