JPH07205015A - ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置 - Google Patents
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置Info
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- JPH07205015A JPH07205015A JP73494A JP73494A JPH07205015A JP H07205015 A JPH07205015 A JP H07205015A JP 73494 A JP73494 A JP 73494A JP 73494 A JP73494 A JP 73494A JP H07205015 A JPH07205015 A JP H07205015A
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- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ワイヤーを走行させたままでワイヤー磨耗量を
連続的に検知し、ワイヤーの断線事故を防止すると共
に、作業能率を向上させる。 【構成】ワイヤー14のワイヤー走行系路のうちワイヤ
ー14のみの電気抵抗を有する2点間に一対の導体ロー
ラ18を配設し、電源装置42から導体ローラを介して
ワイヤー14の前記2点間に電流を流し、2点間の電流
値をワイヤー14に磨耗がない時点から連続的に電流計
44で測定し、測定した電流値の下降量からワイヤー1
4の磨耗度を検知するようにした。即ち、ワイヤー14
が磨耗して細くなったワイヤー14は、磨耗のないワイ
ヤーの断面積よりも小さくなるので電気抵抗が大きくな
る。これにより、磨耗したワイヤー14は、磨耗のない
ワイヤーの電流値に対してワイヤー磨耗量に応じて電流
値が下降してくるという電気的特性を用いてワイヤー磨
耗度を検知するようにした。
連続的に検知し、ワイヤーの断線事故を防止すると共
に、作業能率を向上させる。 【構成】ワイヤー14のワイヤー走行系路のうちワイヤ
ー14のみの電気抵抗を有する2点間に一対の導体ロー
ラ18を配設し、電源装置42から導体ローラを介して
ワイヤー14の前記2点間に電流を流し、2点間の電流
値をワイヤー14に磨耗がない時点から連続的に電流計
44で測定し、測定した電流値の下降量からワイヤー1
4の磨耗度を検知するようにした。即ち、ワイヤー14
が磨耗して細くなったワイヤー14は、磨耗のないワイ
ヤーの断面積よりも小さくなるので電気抵抗が大きくな
る。これにより、磨耗したワイヤー14は、磨耗のない
ワイヤーの電流値に対してワイヤー磨耗量に応じて電流
値が下降してくるという電気的特性を用いてワイヤー磨
耗度を検知するようにした。
Description
【0001】
【発明の利用分野】本発明はワイヤーソーのワイヤー磨
耗量検知方法及びその装置に係り、特に、円柱状の半導
体インゴットを、走行するワイヤーで多数の薄板状のウ
ェーハに切断するワイヤーソーにおいて、ワイヤーの交
換時期を正確に知るためにワイヤーの磨耗量を検知する
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置に
関する。
耗量検知方法及びその装置に係り、特に、円柱状の半導
体インゴットを、走行するワイヤーで多数の薄板状のウ
ェーハに切断するワイヤーソーにおいて、ワイヤーの交
換時期を正確に知るためにワイヤーの磨耗量を検知する
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック等の被加
工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、複数の
溝付きローラ間にワイヤーが巻掛けられてワイヤー列が
形成され、高速走行するワイヤー列に被加工物を押し当
てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給して
砥粒のラッピング作用により被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。このワイヤーソーのワ
イヤーは被加工物を切断しているうちに磨耗され、切断
中にワイヤーが断線する危険性があるため、断線する前
にワイヤーを交換する必要がある。
工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、複数の
溝付きローラ間にワイヤーが巻掛けられてワイヤー列が
形成され、高速走行するワイヤー列に被加工物を押し当
てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給して
砥粒のラッピング作用により被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。このワイヤーソーのワ
イヤーは被加工物を切断しているうちに磨耗され、切断
中にワイヤーが断線する危険性があるため、断線する前
にワイヤーを交換する必要がある。
【0003】そして、従来のワイヤーソーのワイヤー磨
耗量検知方法は、ワイヤーを一定時間使用したらワイヤ
ーソーを停止させて、作業員がマイクロメータでワイヤ
ー径を測定することによりワイヤー磨耗量を検知し、ワ
イヤーが所定の細さまで磨耗していたら交換するように
していた。
耗量検知方法は、ワイヤーを一定時間使用したらワイヤ
ーソーを停止させて、作業員がマイクロメータでワイヤ
ー径を測定することによりワイヤー磨耗量を検知し、ワ
イヤーが所定の細さまで磨耗していたら交換するように
していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法は、ワイヤーの
磨耗量を連続して検知することができないので、ワイヤ
ー径の測定から次の測定までの間にワイヤーが断線して
作業が停止するという危険性があると共に、測定の都度
ワイヤーソーを停止しなくてはならないので、作業能率
が悪くなるという欠点があった。また、新しい切断条件
の時にも、ワイヤー径をその都度マイクロメータで測定
して切断条件を決定しなくてはならず煩雑であった。
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法は、ワイヤーの
磨耗量を連続して検知することができないので、ワイヤ
ー径の測定から次の測定までの間にワイヤーが断線して
作業が停止するという危険性があると共に、測定の都度
ワイヤーソーを停止しなくてはならないので、作業能率
が悪くなるという欠点があった。また、新しい切断条件
の時にも、ワイヤー径をその都度マイクロメータで測定
して切断条件を決定しなくてはならず煩雑であった。
【0005】このような背景から、ワイヤーを走行させ
たままでワイヤー磨耗量を連続的に検知することのでき
るワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置
が要望されていた。本発明は、このような事情に鑑みて
なされたもので、ワイヤーを走行させたままでワイヤー
磨耗量を連続的に検知することのできるので、ワイヤー
の断線事故を防止すると共に、作業能率を向上できるワ
イヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置を提
供することを目的とする。
たままでワイヤー磨耗量を連続的に検知することのでき
るワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置
が要望されていた。本発明は、このような事情に鑑みて
なされたもので、ワイヤーを走行させたままでワイヤー
磨耗量を連続的に検知することのできるので、ワイヤー
の断線事故を防止すると共に、作業能率を向上できるワ
イヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置を提
供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、走行するワイヤーに被加工物を押し当てると
共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多数
の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知方法に於いて、前記ワイヤーのワイヤー走行
系路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有する2点間に電
流を流してその電流値又は電圧値を測定し、前記測定し
た電流値又は電圧値の変化からワイヤーの磨耗量を検知
することを特徴とする。
する為に、走行するワイヤーに被加工物を押し当てると
共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多数
の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知方法に於いて、前記ワイヤーのワイヤー走行
系路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有する2点間に電
流を流してその電流値又は電圧値を測定し、前記測定し
た電流値又は電圧値の変化からワイヤーの磨耗量を検知
することを特徴とする。
【0007】また、本発明は、前記目的を達成する為
に、走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共に、
前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤー磨耗量
検知方法に於いて、前記ワイヤーのワイヤー径をレーザ
外径測定器で測定してワイヤーの磨耗量を検知すること
を特徴とする。
に、走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共に、
前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤー磨耗量
検知方法に於いて、前記ワイヤーのワイヤー径をレーザ
外径測定器で測定してワイヤーの磨耗量を検知すること
を特徴とする。
【0008】
【作用】第1の発明によれば、走行するワイヤーのワイ
ヤー走行系路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有する2
点間に一対の導体ローラを配設し、電源装置から前記導
体ローラを介してワイヤーの前記2点間に電流を流し、
前記2点間の電流値又は電圧値を測定し、測定した電流
値又は電圧値の変化からワイヤーの磨耗量を検知するよ
うにした。即ち、磨耗して細くなったワイヤーは、磨耗
のないワイヤーの断面積よりも小さくなるので電気抵抗
が大きくなる。これにより、磨耗したワイヤーは、磨耗
のないワイヤーの電流値に対してワイヤー磨耗度に応じ
て電流値が変化するという電気的特性を用いてワイヤー
磨耗量を検知するようにした。従って、ワイヤーを走行
させたままでワイヤーの磨耗量を連続的に検知すること
ができる。
ヤー走行系路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有する2
点間に一対の導体ローラを配設し、電源装置から前記導
体ローラを介してワイヤーの前記2点間に電流を流し、
前記2点間の電流値又は電圧値を測定し、測定した電流
値又は電圧値の変化からワイヤーの磨耗量を検知するよ
うにした。即ち、磨耗して細くなったワイヤーは、磨耗
のないワイヤーの断面積よりも小さくなるので電気抵抗
が大きくなる。これにより、磨耗したワイヤーは、磨耗
のないワイヤーの電流値に対してワイヤー磨耗度に応じ
て電流値が変化するという電気的特性を用いてワイヤー
磨耗量を検知するようにした。従って、ワイヤーを走行
させたままでワイヤーの磨耗量を連続的に検知すること
ができる。
【0009】また、第2の発明によれば、走行するワイ
ヤーのワイヤー径を非接触型測定器であるレーザ外径測
定器で測定してワイヤーの磨耗量を検知するよにした。
これにより、ワイヤーを走行させたままでワイヤーの磨
耗度を連続的に検知することができる。
ヤーのワイヤー径を非接触型測定器であるレーザ外径測
定器で測定してワイヤーの磨耗量を検知するよにした。
これにより、ワイヤーを走行させたままでワイヤーの磨
耗度を連続的に検知することができる。
【0010】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置の好ましい
実施例について詳説する。本発明のワイヤーソーのワイ
ヤー磨耗量検知方法及びその装置の第1実施例を説明す
る。図1は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知装置を組み込んだワイヤーソー10の概略構成図であ
る。図1に示すように、3本の溝付きローラ12、1
2、12に電気的な導体性を有する1本のワイヤー14
が所定の張力で順次巻き掛けられてワイヤー列16が形
成される。また、ワイヤー14の一方端は電気的導体性
を有する一対の導体ローラ18、18に係合された後、
巻取リール20に巻回される。また、ワイヤー14の他
方端も、電気的導体性を有する一対の導体ローラ22、
22に係合された後、供給リール24に巻回される。そ
して、供給リール24から繰り出されたワイヤー14
は、図中実線矢印26方向に高速走行(600m/分以
上)しながら巻取リール20に巻き取られる。また、巻
取リール20に巻き取られたワイヤー14は図中破線矢
印28方向に逆走行して供給リール24に巻き取られ
る。即ち、ワイヤー14は供給リール24と巻取リール
20の間を往復走行する。また、高速走行するワイヤー
14には、砥液供給ノズル30から砥粒(通常、GC♯
600〜♯1000程度のものが使用される)を含む加
工液32が供給される。2本の砥液供給ノズル30を設
けた理由は、ワイヤー14の往復走行に対応させるため
である。
ソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置の好ましい
実施例について詳説する。本発明のワイヤーソーのワイ
ヤー磨耗量検知方法及びその装置の第1実施例を説明す
る。図1は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知装置を組み込んだワイヤーソー10の概略構成図であ
る。図1に示すように、3本の溝付きローラ12、1
2、12に電気的な導体性を有する1本のワイヤー14
が所定の張力で順次巻き掛けられてワイヤー列16が形
成される。また、ワイヤー14の一方端は電気的導体性
を有する一対の導体ローラ18、18に係合された後、
巻取リール20に巻回される。また、ワイヤー14の他
方端も、電気的導体性を有する一対の導体ローラ22、
22に係合された後、供給リール24に巻回される。そ
して、供給リール24から繰り出されたワイヤー14
は、図中実線矢印26方向に高速走行(600m/分以
上)しながら巻取リール20に巻き取られる。また、巻
取リール20に巻き取られたワイヤー14は図中破線矢
印28方向に逆走行して供給リール24に巻き取られ
る。即ち、ワイヤー14は供給リール24と巻取リール
20の間を往復走行する。また、高速走行するワイヤー
14には、砥液供給ノズル30から砥粒(通常、GC♯
600〜♯1000程度のものが使用される)を含む加
工液32が供給される。2本の砥液供給ノズル30を設
けた理由は、ワイヤー14の往復走行に対応させるため
である。
【0011】また、前記ワイヤー列16の上方には、ワ
ーク送りテーブル34が切断送り方向(図中Y−Y方
向)に移動可能に設けられると共に、ワーク送りテーブ
ル34のワイヤー列16側には、被加工物である半導体
インゴット36がワークブロック38とスライスベース
40を介して支持される。そして、半導体インゴット3
6とスライスベース40、及びスライスベース40とワ
ークブロック38の間は接着材で接合される共に、ワー
クブロック38とワーク送りテーブル34とは、ワーク
送りテーブル34に形成された蟻溝34Aに、その蟻溝
34Aに対応するように形成されたワークブロック38
の突起部38Aが嵌合固定される。これにより、ワーク
送りテーブル34を切断送り方向(ワイヤー列16側)
に移動させると、半導体インゴット36は高速走行する
ワイヤー列16に押し当てられ、ワイヤー列16に供給
される加工液32の砥粒によるラッピング作用により半
導体インゴット36を多数の薄板状のウェーハに切断す
る。
ーク送りテーブル34が切断送り方向(図中Y−Y方
向)に移動可能に設けられると共に、ワーク送りテーブ
ル34のワイヤー列16側には、被加工物である半導体
インゴット36がワークブロック38とスライスベース
40を介して支持される。そして、半導体インゴット3
6とスライスベース40、及びスライスベース40とワ
ークブロック38の間は接着材で接合される共に、ワー
クブロック38とワーク送りテーブル34とは、ワーク
送りテーブル34に形成された蟻溝34Aに、その蟻溝
34Aに対応するように形成されたワークブロック38
の突起部38Aが嵌合固定される。これにより、ワーク
送りテーブル34を切断送り方向(ワイヤー列16側)
に移動させると、半導体インゴット36は高速走行する
ワイヤー列16に押し当てられ、ワイヤー列16に供給
される加工液32の砥粒によるラッピング作用により半
導体インゴット36を多数の薄板状のウェーハに切断す
る。
【0012】また、巻取リール20側に設けられた前記
一対の導体ローラ18、18の一方の導体ローラ18か
ら延びた電気配線41は電源装置42、電流計44を介
して他方の導体ローラ18に接続される。これにより、
一対の導体ローラ18、18、電源装置42、電流計4
4、導体ローラ18、18間のワイヤー14及び電気配
線41により第1の電気回路46が形成される。また、
供給リール24側に設けられた前記一対の導体ローラ2
2、22にも、電源装置48、電流計50、導体ローラ
22、22間のワイヤー14及び電気配線52により第
2の電気回路54が形成される。また、第1の電気回路
46に設けられた一対の導体ローラ18、18の間隔L
は、第2の電気回路54に設けられた一対の導体ローラ
22、22の間隔Lと等しくなるように形成されると共
に、第1の電気回路46と第2の電源回路54の夫々の
導体ローラ18、22、電源装置42、48、電流計4
4、50、電気配線41、52の電気抵抗は同じになる
ように形成する。即ち、第1の電気回路46と第2の電
気回路54において、一対の導体ローラ18、22間の
ワイヤー14の電気抵抗のみが変数となるように構成す
る。また、第1の電気回路46の電流計44及び第2の
電気回路54の電流計50は、それぞれケーブル56、
58により演算装置60に接続される。演算装置60に
は、夫々の電気回路46、54の電流計44、50でワ
イヤー14に磨耗がない時点から連続的に測定された電
流値が逐次入力され、ワイヤー14に磨耗がない時点で
の電流値に対するワイヤー14に磨耗がある時点での電
流値の差が下降量として演算される(演算装置の第1の
機能)。また、演算装置60は、ワイヤー14に磨耗が
ない時点から連続的に測定された夫々の電気回路の電流
値の差を算出して、算出した差を積算することにより電
流値の下降量を演算する第2の機能をも有する。また、
演算装置60には、予め現場実験により求められた「ワ
イヤー14に磨耗がない時点での電流値に対するワイヤ
ー14の磨耗量に応じた電流値の下降量との相関関係」
が入力されている。また、演算装置60はケーブル62
により警報装置64に接続される。
一対の導体ローラ18、18の一方の導体ローラ18か
ら延びた電気配線41は電源装置42、電流計44を介
して他方の導体ローラ18に接続される。これにより、
一対の導体ローラ18、18、電源装置42、電流計4
4、導体ローラ18、18間のワイヤー14及び電気配
線41により第1の電気回路46が形成される。また、
供給リール24側に設けられた前記一対の導体ローラ2
2、22にも、電源装置48、電流計50、導体ローラ
22、22間のワイヤー14及び電気配線52により第
2の電気回路54が形成される。また、第1の電気回路
46に設けられた一対の導体ローラ18、18の間隔L
は、第2の電気回路54に設けられた一対の導体ローラ
22、22の間隔Lと等しくなるように形成されると共
に、第1の電気回路46と第2の電源回路54の夫々の
導体ローラ18、22、電源装置42、48、電流計4
4、50、電気配線41、52の電気抵抗は同じになる
ように形成する。即ち、第1の電気回路46と第2の電
気回路54において、一対の導体ローラ18、22間の
ワイヤー14の電気抵抗のみが変数となるように構成す
る。また、第1の電気回路46の電流計44及び第2の
電気回路54の電流計50は、それぞれケーブル56、
58により演算装置60に接続される。演算装置60に
は、夫々の電気回路46、54の電流計44、50でワ
イヤー14に磨耗がない時点から連続的に測定された電
流値が逐次入力され、ワイヤー14に磨耗がない時点で
の電流値に対するワイヤー14に磨耗がある時点での電
流値の差が下降量として演算される(演算装置の第1の
機能)。また、演算装置60は、ワイヤー14に磨耗が
ない時点から連続的に測定された夫々の電気回路の電流
値の差を算出して、算出した差を積算することにより電
流値の下降量を演算する第2の機能をも有する。また、
演算装置60には、予め現場実験により求められた「ワ
イヤー14に磨耗がない時点での電流値に対するワイヤ
ー14の磨耗量に応じた電流値の下降量との相関関係」
が入力されている。また、演算装置60はケーブル62
により警報装置64に接続される。
【0013】次に、上記の如く構成されたワイヤーソー
10を用いて本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知方法を説明する。供給リール24から巻き戻されて高
速走行するワイヤー14は、第2の電気回路54の導体
ローラ22に係合してから3本の溝付きローラ12でワ
イヤー列16を形成した後、第1の電気回路46の導体
ローラ18に係合して巻取リール20に巻き取られる。
一方、半導体インゴット36を支持するワーク送りテー
ブル34は、切断送り方向に移動して半導体インゴット
36を高速走行するワイヤー列16に押し当てると共
に、巻取リール20側の液供給ノズル30からワイヤー
列16に加工液32を供給しながら半導体インゴット3
6を多数の薄板状のウェーハに切断する。そして、ワイ
ヤー14は半導体インゴット36を切断することにより
磨耗されるので、切断中にワイヤー14が断線するのを
防止するためにワイヤー14の磨耗量を正確に検知し、
ワイヤー14が切断する前にワイヤー14を交換する必
要がある。
10を用いて本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知方法を説明する。供給リール24から巻き戻されて高
速走行するワイヤー14は、第2の電気回路54の導体
ローラ22に係合してから3本の溝付きローラ12でワ
イヤー列16を形成した後、第1の電気回路46の導体
ローラ18に係合して巻取リール20に巻き取られる。
一方、半導体インゴット36を支持するワーク送りテー
ブル34は、切断送り方向に移動して半導体インゴット
36を高速走行するワイヤー列16に押し当てると共
に、巻取リール20側の液供給ノズル30からワイヤー
列16に加工液32を供給しながら半導体インゴット3
6を多数の薄板状のウェーハに切断する。そして、ワイ
ヤー14は半導体インゴット36を切断することにより
磨耗されるので、切断中にワイヤー14が断線するのを
防止するためにワイヤー14の磨耗量を正確に検知し、
ワイヤー14が切断する前にワイヤー14を交換する必
要がある。
【0014】そこで、本発明のワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知方法によれば、ワイヤー14を走行させなが
ら、半導体インゴット36の切断部の下流側に位置する
第1の電気回路46に電源装置42から電流を流し、一
対の導体ローラ18間の電流値をワイヤーに磨耗がない
時点から電流計44で連続的に測定し、測定した電流値
の下降量を演算装置で演算する(演算装置の第1の機能
を使用)。即ち、磨耗して細くなったワイヤー14は、
磨耗のないワイヤー14の断面積よりも小さくなるので
電気抵抗が大きくなる。これにより、磨耗したワイヤー
14は、磨耗のないワイヤー14の電流値に対してワイ
ヤー磨耗量に応じて電流値が下降してくるという電気的
特性を用いてワイヤー磨耗量を検知するようにした。そ
して、演算した下降量が所定下降量に達したら演算装置
からの指示で警報装置が作動し、交換時期であることを
作業員に知らせワイヤーを交換する。
磨耗量検知方法によれば、ワイヤー14を走行させなが
ら、半導体インゴット36の切断部の下流側に位置する
第1の電気回路46に電源装置42から電流を流し、一
対の導体ローラ18間の電流値をワイヤーに磨耗がない
時点から電流計44で連続的に測定し、測定した電流値
の下降量を演算装置で演算する(演算装置の第1の機能
を使用)。即ち、磨耗して細くなったワイヤー14は、
磨耗のないワイヤー14の断面積よりも小さくなるので
電気抵抗が大きくなる。これにより、磨耗したワイヤー
14は、磨耗のないワイヤー14の電流値に対してワイ
ヤー磨耗量に応じて電流値が下降してくるという電気的
特性を用いてワイヤー磨耗量を検知するようにした。そ
して、演算した下降量が所定下降量に達したら演算装置
からの指示で警報装置が作動し、交換時期であることを
作業員に知らせワイヤーを交換する。
【0015】また、供給リール24から繰り出されたワ
イヤー14が全て巻取リール20に巻き取られたら、巻
取リール20からワイヤー14を繰り出して供給リール
24に巻き取らせる際に、半導体インゴット36を上記
したと同様に切断する。この時、半導体インゴット36
の切断部の下流側に位置する第2の電気回路54を使用
して上記したと同様にワイヤー磨耗量を検知する。
イヤー14が全て巻取リール20に巻き取られたら、巻
取リール20からワイヤー14を繰り出して供給リール
24に巻き取らせる際に、半導体インゴット36を上記
したと同様に切断する。この時、半導体インゴット36
の切断部の下流側に位置する第2の電気回路54を使用
して上記したと同様にワイヤー磨耗量を検知する。
【0016】また、第1の電気回路46と第2の電気回
路54を同時に使用して、夫々の電気回路46、54で
測定された電流値の差を演算装置60で積算していき、
ワイヤー14に磨耗がない時点からの電流値の下降量を
演算するようにしてもよい(演算装置の第2の機能を使
用)。このように、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨
耗量検知方法及びその装置によれば、ワイヤー14を走
行させたままでワイヤーの磨耗度を連続的に検知するこ
とができる。従って、ワイヤー磨耗量を連続的に検知す
ることにより、ワイヤー14全体の平均的な磨耗度を検
知できると共に、ワイヤー14の一部の磨耗量が大きい
場合にも検知することができるので、ワイヤー14の交
換時期を正確に知ることができ、ワイヤー14の断線事
故を未然に防止することができる。また、ワイヤー14
の走行を停止する必要がないので、作業能率を向上でき
ると共に、新しい切断条件を決める時の作業能率が向上
する。また、ワイヤー14の磨耗量に応じた切断条件を
容易に決定することができるので、ウェーハ厚みの管理
が容易になる。
路54を同時に使用して、夫々の電気回路46、54で
測定された電流値の差を演算装置60で積算していき、
ワイヤー14に磨耗がない時点からの電流値の下降量を
演算するようにしてもよい(演算装置の第2の機能を使
用)。このように、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨
耗量検知方法及びその装置によれば、ワイヤー14を走
行させたままでワイヤーの磨耗度を連続的に検知するこ
とができる。従って、ワイヤー磨耗量を連続的に検知す
ることにより、ワイヤー14全体の平均的な磨耗度を検
知できると共に、ワイヤー14の一部の磨耗量が大きい
場合にも検知することができるので、ワイヤー14の交
換時期を正確に知ることができ、ワイヤー14の断線事
故を未然に防止することができる。また、ワイヤー14
の走行を停止する必要がないので、作業能率を向上でき
ると共に、新しい切断条件を決める時の作業能率が向上
する。また、ワイヤー14の磨耗量に応じた切断条件を
容易に決定することができるので、ウェーハ厚みの管理
が容易になる。
【0017】尚、第1の電気回路46及び第2の電気回
路54の電流値の下降量によりワイヤー磨耗量を検知す
るようにしたが、電流計44、50の代わりに電圧計を
設けて電圧値の下降量によりワイヤー磨耗量を検知する
ようにしてもよい。更には抵抗計を設けて抵抗値の上昇
量によりワイヤー磨耗量を検知するようにしてもよい。
また、ワイヤー14の走行を停止して測定することもで
きる。
路54の電流値の下降量によりワイヤー磨耗量を検知す
るようにしたが、電流計44、50の代わりに電圧計を
設けて電圧値の下降量によりワイヤー磨耗量を検知する
ようにしてもよい。更には抵抗計を設けて抵抗値の上昇
量によりワイヤー磨耗量を検知するようにしてもよい。
また、ワイヤー14の走行を停止して測定することもで
きる。
【0018】次に、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨
耗量検知方法及びその装置の第2実施例を説明する。図
2は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置
を組み込んだワイヤーソー66の概略構成図である。
尚、第1実施例と同じ部材、装置には同符号を付して説
明する。第1実施例との違いは、ワイヤー14のワイヤ
ー径を非接触型測定器であるレーザ外径測定器68、7
0でを測定し、測定したワイヤー14のワイヤー径と予
め測定した磨耗していないワイヤー14の基準ワイヤー
径との差を比較して、比較した差の大小からワイヤーの
磨耗量を検知するよにした点である。レーザ外径測定器
68、70は、測定物の外径寸法をレーザ光等の走査に
基づいて測定するものである。即ち、巻取リール20側
に配設された2個のパスローラ72、72の間を走行す
るワイヤー14の下方に第1のレーザ外径測定器68の
受光器68Aが配設され、ワイヤー14の上方に第1の
レーザ外径測定器68の投光器68Bが配設される。同
様に、供給リール24側に配設された2個のパスローラ
74、74の間を走行するワイヤー14の下方に第2の
レーザ外径測定器70の受光器70Aが配設され、ワイ
ヤー14の上方に第2のレーザ外径測定器70の投光器
70Bが配設される。また、夫々のレーザ外径測定器6
8、70は夫々のケーブル56、58を介して演算装置
76に接続される。演算装置76は、夫々のレーザ外径
測定器68、70で測定されたワイヤー径と予め測定さ
れて入力されている前記基準ワイヤー径との差を比較
し、ワイヤー径の細化量を演算する第1の機能と、夫々
のレーザ外径測定器68、70で測定されたワイヤー径
の差を算出して、算出した差を積算することによりワイ
ヤー径の細化量を演算する第2の機能を有する。また、
演算装置76はケーブル62により警報装置64に接続
される。その他の構成は、第1実施例と同様である。
耗量検知方法及びその装置の第2実施例を説明する。図
2は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置
を組み込んだワイヤーソー66の概略構成図である。
尚、第1実施例と同じ部材、装置には同符号を付して説
明する。第1実施例との違いは、ワイヤー14のワイヤ
ー径を非接触型測定器であるレーザ外径測定器68、7
0でを測定し、測定したワイヤー14のワイヤー径と予
め測定した磨耗していないワイヤー14の基準ワイヤー
径との差を比較して、比較した差の大小からワイヤーの
磨耗量を検知するよにした点である。レーザ外径測定器
68、70は、測定物の外径寸法をレーザ光等の走査に
基づいて測定するものである。即ち、巻取リール20側
に配設された2個のパスローラ72、72の間を走行す
るワイヤー14の下方に第1のレーザ外径測定器68の
受光器68Aが配設され、ワイヤー14の上方に第1の
レーザ外径測定器68の投光器68Bが配設される。同
様に、供給リール24側に配設された2個のパスローラ
74、74の間を走行するワイヤー14の下方に第2の
レーザ外径測定器70の受光器70Aが配設され、ワイ
ヤー14の上方に第2のレーザ外径測定器70の投光器
70Bが配設される。また、夫々のレーザ外径測定器6
8、70は夫々のケーブル56、58を介して演算装置
76に接続される。演算装置76は、夫々のレーザ外径
測定器68、70で測定されたワイヤー径と予め測定さ
れて入力されている前記基準ワイヤー径との差を比較
し、ワイヤー径の細化量を演算する第1の機能と、夫々
のレーザ外径測定器68、70で測定されたワイヤー径
の差を算出して、算出した差を積算することによりワイ
ヤー径の細化量を演算する第2の機能を有する。また、
演算装置76はケーブル62により警報装置64に接続
される。その他の構成は、第1実施例と同様である。
【0019】上記の如く構成されたワイヤーソー66に
おける半導体インゴット36の切断は、第1実施例と同
様に行われる。そして、供給リール24から巻取リール
20にワイヤー14が走行する場合は、半導体インゴッ
ト36の切断部の下流側に位置する第1のレーザ外径測
定器68を使用してワイヤー径を連続的に測定し、測定
したワイヤー径と基準ワイヤー径とを演算装置76で比
較することにより、ワイヤー径の細化量を演算する(演
算装置の第1の機能を使用)。そして、ワイヤー径の細
化量が所定細化量に達したら、演算装置76からの指示
で警報装置64を作動し、ワイヤーの交換時期を作業員
に知らせる。また、巻取リール20から供給リール24
にワイヤーが走行する場合は、半導体インゴット36の
切断部の下流側に位置する第2のレーザ外径測定器70
を使用してワイヤー径を測定し、同様にワイヤー磨耗度
を検知する。また、第1のレーザ外径測定器68と第2
のレーザ外径測定器70を同時に使用して、夫々のレー
ザ外径測定器68、70で測定されたワイヤー径の差を
演算装置76で積算していき、ワイヤー14に磨耗がな
い時点からのワイヤー径の細化量を演算するようにして
もよい(演算装置の第2の機能を使用)。
おける半導体インゴット36の切断は、第1実施例と同
様に行われる。そして、供給リール24から巻取リール
20にワイヤー14が走行する場合は、半導体インゴッ
ト36の切断部の下流側に位置する第1のレーザ外径測
定器68を使用してワイヤー径を連続的に測定し、測定
したワイヤー径と基準ワイヤー径とを演算装置76で比
較することにより、ワイヤー径の細化量を演算する(演
算装置の第1の機能を使用)。そして、ワイヤー径の細
化量が所定細化量に達したら、演算装置76からの指示
で警報装置64を作動し、ワイヤーの交換時期を作業員
に知らせる。また、巻取リール20から供給リール24
にワイヤーが走行する場合は、半導体インゴット36の
切断部の下流側に位置する第2のレーザ外径測定器70
を使用してワイヤー径を測定し、同様にワイヤー磨耗度
を検知する。また、第1のレーザ外径測定器68と第2
のレーザ外径測定器70を同時に使用して、夫々のレー
ザ外径測定器68、70で測定されたワイヤー径の差を
演算装置76で積算していき、ワイヤー14に磨耗がな
い時点からのワイヤー径の細化量を演算するようにして
もよい(演算装置の第2の機能を使用)。
【0020】これにより、第2実施例の場合も第1実施
例と同様の効果を奏することができる。尚、本実施例で
は、被加工物として半導体インゴットで説明したが、こ
れに限定されるものではなく、他の硬度脆性材料、例え
ば磁性材料やセラミック等の切断にも適用することがで
きる。また、導体ローラの代わりに導体棒でもよく、電
流値等を測定する時に、ワイヤーに押し当てるようにし
てもよい。
例と同様の効果を奏することができる。尚、本実施例で
は、被加工物として半導体インゴットで説明したが、こ
れに限定されるものではなく、他の硬度脆性材料、例え
ば磁性材料やセラミック等の切断にも適用することがで
きる。また、導体ローラの代わりに導体棒でもよく、電
流値等を測定する時に、ワイヤーに押し当てるようにし
てもよい。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように、第1の発明に係る
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置に
よれば、ワイヤーのワイヤー走行系路のうちワイヤーの
みの電気抵抗を有する2点間に電流を流し、前記2点間
の電流値又は電圧値を測定し、測定した電流値又は電圧
値の変化からワイヤーの磨耗量を検知するようにした。
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置に
よれば、ワイヤーのワイヤー走行系路のうちワイヤーの
みの電気抵抗を有する2点間に電流を流し、前記2点間
の電流値又は電圧値を測定し、測定した電流値又は電圧
値の変化からワイヤーの磨耗量を検知するようにした。
【0022】また、第2の発明に係るワイヤーソーのワ
イヤー磨耗量検知方法及びその装置によれば、ワイヤー
径を非接触型測定器であるレーザ外径測定器で測定して
ワイヤーの磨耗量を検知するよにした。これにより、第
1及び第2の発明ともに、ワイヤーを走行させたままで
ワイヤーの磨耗量を連続的に検知することができる。従
って、ワイヤーの交換時期を正確に知ることができるの
で、ワイヤーの断線事故を未然に防止することができ
る。また、ワイヤーの走行を停止する必要がないので、
作業能率を向上できる。また、ワイヤーの磨耗度に応じ
た切断条件を容易に決定することができるので、ウェー
ハ厚みの管理が容易になる。
イヤー磨耗量検知方法及びその装置によれば、ワイヤー
径を非接触型測定器であるレーザ外径測定器で測定して
ワイヤーの磨耗量を検知するよにした。これにより、第
1及び第2の発明ともに、ワイヤーを走行させたままで
ワイヤーの磨耗量を連続的に検知することができる。従
って、ワイヤーの交換時期を正確に知ることができるの
で、ワイヤーの断線事故を未然に防止することができ
る。また、ワイヤーの走行を停止する必要がないので、
作業能率を向上できる。また、ワイヤーの磨耗度に応じ
た切断条件を容易に決定することができるので、ウェー
ハ厚みの管理が容易になる。
【図1】図1は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗
量検知方法及びその装置の第1実施例を説明するもの
で、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置を
組み込んだワイヤーソーの概略構成図である。
量検知方法及びその装置の第1実施例を説明するもの
で、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置を
組み込んだワイヤーソーの概略構成図である。
【図2】図2は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗
量検知方法及びその装置の第2実施例を説明するもの
で、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置を
組み込んだワイヤーソーの概略構成図である。
量検知方法及びその装置の第2実施例を説明するもの
で、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置を
組み込んだワイヤーソーの概略構成図である。
10、66…ワイヤーソー 12…溝付きローラ 14…ワイヤー 16…ワイヤー列 18、22…導体ローラ 20…巻取ロール 24…供給リール 30…砥液供給ノズル 32…加工液 34…ワーク送りテーブル 36…半導体インゴット 38…ワークブロック 40…スライスベース 42、48…電源装置 44、50…電流計 41、52…電気配線 60、76…演算装置 64…警報装置 68、70…レーザ外径測定器
Claims (4)
- 【請求項1】走行するワイヤーに被加工物を押し当てる
と共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知方法に於いて、 前記ワイヤーのワイヤー走行系路のうちワイヤーのみの
電気抵抗を有する2点間に電流を流してその電流値又は
電圧値を測定し、 前記測定した電流値又は電圧値の変化からワイヤーの磨
耗量を検知することを特徴とするワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知方法。 - 【請求項2】走行するワイヤーに被加工物を押し当てる
と共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知方法に於いて、 前記ワイヤーのワイヤー径をレーザ外径測定器で測定し
てワイヤーの磨耗量を検知することを特徴とするワイヤ
ーソーのワイヤー磨耗量検知方法。 - 【請求項3】走行するワイヤーに被加工物を押し当てる
と共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知装置に於いて、 前記ワイヤーのワイヤー走行系路のうちワイヤーのみの
電気抵抗を有する2点間に配設された一対の導体ローラ
と、 前記導体ローラを介してワイヤーの前記2点間に電流を
流す電源装置と、 前記2点間に流れる電流値又は電圧値を測定する測定手
段と、から成り、 前記2点間の電流値又は電圧値を測定してその変化から
ワイヤーの磨耗量を検知することを特徴とするワイヤー
ソーのワイヤー磨耗量検知装置。 - 【請求項4】走行するワイヤーに被加工物を押し当てる
と共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗度を検知するワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知
装置に於いて、 前記ワイヤーのワイヤー径を測定するレーザ外径測定器
により、ワイヤーの磨耗量を検知することを特徴とする
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP73494A JPH07205015A (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP73494A JPH07205015A (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07205015A true JPH07205015A (ja) | 1995-08-08 |
Family
ID=11481961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP73494A Pending JPH07205015A (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07205015A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1738886A1 (fr) * | 2005-06-27 | 2007-01-03 | HCT Shaping Systems S.A. | Procédé de détection d'un dysfonctionnement dans un dispositif de sciage par fil et dispositif pour la mise en oeuvre dudit procédé |
JP2010523348A (ja) * | 2007-04-04 | 2010-07-15 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 1つの構成素子ブロックから多数のセラミック製の構成素子を分離するための方法およびシステム |
WO2011032602A1 (en) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | Applied Materials, Inc. | Pulley for a wire saw device, wire saw device and method for operating same |
CN103052468A (zh) * | 2010-09-27 | 2013-04-17 | 小松Ntc株式会社 | 用于检测线锯中的断线的方法和设备 |
WO2016068526A1 (ko) * | 2014-10-30 | 2016-05-06 | 한국생산기술연구원 | 와이어소 가공상태 감시장치 및 그것이 설치된 와이어소 |
JP2018058147A (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社タカトリ | ワイヤソー及びワイヤソーのワイヤ巻き取り方法 |
-
1994
- 1994-01-10 JP JP73494A patent/JPH07205015A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1738886A1 (fr) * | 2005-06-27 | 2007-01-03 | HCT Shaping Systems S.A. | Procédé de détection d'un dysfonctionnement dans un dispositif de sciage par fil et dispositif pour la mise en oeuvre dudit procédé |
JP2007007848A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-18 | Hct Shaping Systems Sa | ワイヤソーにおける機能障害の検出方法、およびこの方法を実施するための装置 |
US7501831B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-10 | Hct Shaping Systems Sa | Process for the detection of a malfunction in a device for wire sawing and device for practicing said process |
JP2010523348A (ja) * | 2007-04-04 | 2010-07-15 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 1つの構成素子ブロックから多数のセラミック製の構成素子を分離するための方法およびシステム |
WO2011032602A1 (en) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | Applied Materials, Inc. | Pulley for a wire saw device, wire saw device and method for operating same |
CN102548696A (zh) * | 2009-09-18 | 2012-07-04 | 应用材料公司 | 供线锯装置所用的滑轮、线锯装置及操作方法 |
CN103052468A (zh) * | 2010-09-27 | 2013-04-17 | 小松Ntc株式会社 | 用于检测线锯中的断线的方法和设备 |
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JP2018058147A (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社タカトリ | ワイヤソー及びワイヤソーのワイヤ巻き取り方法 |
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