JPH0720065A - Device for inspecting foreign matter on color filter for appearance - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To surely detect the appearance of a fine foreign matter on a color filter by fetching a step pattern on the color filter illuminated with randomly reflected light rays as a picture when the color filter is moved forward and backward and performing binarization and logical operation on the picture based on positional data. CONSTITUTION:After placing a color filter (a) at a prescribed position on a moving section 2, the section 2 is operated while the filter (a) is irradiated with the light from one light source 5 of a lighting section 4. Upon receiving the light from the light source 5, the filter (a) becomes bright against a photographing section 3 and the entire area of a bright step pattern is latched as a picture. A control section 10 binarizes picture data sent from the photographing section 3 based on positional data representing a detected area as a division and stores the binarized data in a memory device 9. When a uniaxial table comes into contact with a forward movement completion detecting limit switch 15, the uniaxial table stops. When the table comes into contact with a backward movement completion detecting limit switch 16, the movement of the moving section 2 is stopped and the other light source 6 of the section 4 is also turned off. Thus the picture reading is completed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルタ（液晶
表示装置用のカラーフィルタ）上における異物の有無を
検査する微小異物外観検査装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting the appearance of minute foreign matter on a color filter (color filter for a liquid crystal display device) for inspecting the presence or absence of foreign matter.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、この種の外観検査装置は、対象
物、すなわちカラーフィルタの上方斜め方向から光を照
射し、その光を受けて乱反射により光輝するパターン
を、カラーフィルタに対して上方に設置されたカメラに
て撮影し、得られた画像による光輝パターンから異物の
有無を検査するようにしたものである。2. Description of the Related Art Conventionally, a visual inspection apparatus of this type irradiates light from an obliquely upper direction of an object, that is, a color filter, and a pattern which receives the light and shines due to irregular reflection is provided above the color filter. The image is taken by the installed camera, and the presence or absence of foreign matter is inspected from the bright pattern based on the obtained image.

【０００３】図１３は上記外観検査装置１の原理を示し
ている。この図１３において、２はカラーフィルタａを
載置して往復移動する一軸テーブルからなる移動部、３
はＣＣＤカメラ（或いはこのＣＣＤカメラを複数台並べ
たカメラ列）からなる撮影部、４は照明部で、カラーフ
ィルタの移動方向Ｘの一方側から光を照射する光源５と
他方側から光を照射する光源６とからなるものである。
そして前記照明部４の一方の光源５によって光を上方斜
め方向からカラーフィルタａに照射して、カラーフィル
タａ上で段差を生じている部分に乱反射を起こして光輝
させ、移動部２の動作によりカラーフィルタａが一方向
（矢印Ｌ方向：図上右へ）に移動させながら前記撮影部
３でカラーフィルタａ全面に亘って段差パターンを撮影
する（図１３（ロ）。また照明部４の他方の光源６から
光をカラーフィルタａに照射して段差パターンを光輝さ
せ、カラーフィルタａを他方（矢印Ｒ方向：図上左へ）
に移動させながら撮影部３でカラーフィルタａ全面に亘
って段差パターンを撮影する（図１３（ハ）。このの
ち、撮影部３から画像として得られたカラーフィルタの
往移動時における段差パターンと復移動時における段差
パターンとのそれぞれから、カラーフィルタの画素のエ
ッジパターン以外の光輝部分があるかどうかを判断する
ことによって、異物の有無を検査するようにしている。
すなわち、仮にカラーフィルタ上に異物が存在している
場合に、異物によって生じた段差部分も光輝させ、その
光輝を画像として捉えようとした構成のものであった。FIG. 13 shows the principle of the appearance inspection apparatus 1. In FIG. 13, reference numeral 2 denotes a moving portion formed of a uniaxial table on which a color filter a is placed and which reciprocates.
Is a photographing unit composed of a CCD camera (or a camera row in which a plurality of CCD cameras are arranged), and 4 is an illuminating unit. And a light source 6 for
Then, the light source 5 of the illuminating unit 4 irradiates the color filter a with light from an obliquely upper direction to cause irregular reflection in a portion having a step on the color filter a so that the color filter a shines. While the color filter a is moved in one direction (the direction of arrow L: to the right in the figure), the image capturing unit 3 captures an image of the step pattern over the entire surface of the color filter a (FIG. 13B). The color filter a is irradiated with light from the light source 6 of FIG. 1 to make the step pattern shine, and the color filter a is illuminated on the other side (direction of arrow R: left in the figure).
The step pattern is photographed over the entire surface of the color filter a by the image pickup unit 3 while moving to the position (FIG. 13C). After that, the step pattern and the step pattern at the time of the forward movement of the color filter obtained as an image from the image pickup unit 3 are restored. The presence or absence of foreign matter is inspected by determining whether or not there is a bright portion other than the edge pattern of the pixel of the color filter from each of the step patterns during movement.
That is, if a foreign substance is present on the color filter, the stepped portion caused by the foreign substance is made to shine, and the shine is captured as an image.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように従来の外観検査装置では、斜め上方から光を当
てているため、カラーフィルタ上に形成されている画素
のエッジ部分も光輝して段差パターンとして画像に捉え
られるようになり、仮に異物が付着していてその異物が
大きい場合には、画素のエッジによる段差パターンと異
物の段差パターンとを判別することができるが、微小な
異物が画素のエッジ部分に乗っていた場合には、その判
別が行えないという問題が生じている。However, as described above, in the conventional appearance inspection apparatus, since the light is applied obliquely from above, the edge portion of the pixel formed on the color filter also shines and the step pattern is formed. When a foreign substance is attached and the foreign substance is large, it is possible to distinguish between the step pattern due to the edge of the pixel and the step pattern of the foreign substance. When the vehicle is on the edge portion, there is a problem that the determination cannot be made.

【０００５】そこで本発明は上記した事情に鑑みて、画
素のエッジ部分に位置する微小異物の段差パターンを画
素のエッジ部分の段差パターンから区別することを課題
とし、異物の検出精度を向上させることを目的とする。In view of the above-mentioned circumstances, the present invention has an object to distinguish the step pattern of the minute foreign matter located at the edge portion of the pixel from the step pattern of the edge portion of the pixel, and improve the foreign matter detection accuracy. With the goal.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は上記した課題を
考慮してなされたもので、カラーフィルタを往復移動さ
せる移動部と、カラーフィルタの往方向移動時にカラー
フィルタ移動方向の一方側から光をカラーフィルタに照
射するとともに、カラーフィルタの復方向移動時にカラ
ーフィルタ移動方向の他方側から光をカラーフィルタに
照射する照明部と、カラーフィルタの移動行程上に固定
され、該カラーフィルタの往方向移動時と復方向移動時
に前記照明部からの光が乱反射して光輝したカラーフィ
ルタ上の段差パターンを画像として取り込む撮影部と、
前記撮影部により得られた往方向移動時の画像デ−タと
復方向移動時の画像デ−タとのそれぞれを、カラーフィ
ルタに対して設定された位置デ−タに基づいて二値化デ
−タに変換し、往方向移動時の二値化デ−タと復方向移
動時の二値化デ−タとを論理積演算する制御部と、前記
制御部による論理積演算の結果を位置デ−タに基づいて
出力する出力部とを備えることを特徴とするカラーフィ
ルタ上の微小異物外観検査装置を提供して、上記した課
題を解消するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above problems, and includes a moving part for moving a color filter back and forth, and a light from one side of the color filter moving direction when the color filter moves in the forward direction. Illuminating the color filter and irradiating the color filter with light from the other side of the color filter moving direction when the color filter moves in the backward direction, and the color filter moving direction fixed in the forward direction. An image capturing unit that captures, as an image, a step pattern on a color filter where the light from the illumination unit is irregularly reflected and shines during movement and in the backward movement,
Each of the image data at the time of moving in the forward direction and the image data at the time of moving in the backward direction obtained by the photographing unit is binarized based on the position data set for the color filter. Data, and performs a logical product operation of the binarized data when moving in the forward direction and the binary data when moving in the backward direction, and the result of the logical product operation by the control unit. An object of the present invention is to provide a visual inspection apparatus for minute foreign matter on a color filter, which is provided with an output section for outputting data based on data.

【０００７】[0007]

【作用】本発明においては、それぞれ異なる方向から光
を受けてカラーフィルタの往移動時の段差パターンと復
移動時の段差パターンとがそれぞれ異なるパターンとし
て撮影部に取り込まれるようになる。その原理は図１１
（イ）に示すようにカラーフィルタａの図上左斜め上方
向から光ｂが照射されると、画素ｃの左側エッジ部分ｄ
で乱反射が生じて光輝し、その光輝した段差パターンが
撮影部３に取り込まれるようになるものであり、画素ｃ
の右側エッジ部分ｅは撮影部３側に対して光輝しないよ
うになる。また図１１（ロ）に示すように図上右斜め上
方向から光ｂが照射されると、画素ｃの右側エッジ部分
ｅで乱反射が生じて光輝し、その段差パターンが撮影部
３に取り込まれ、画素ｃの左側エッジ部分ｄは撮影部３
側に対して光輝しないようになる。そして図１２（イ）
に示すように画素ｃの左側エッジ部分ｄに微小異物ｆが
乗っていた場合、左斜め上側から光ｂが照射されると、
微小異物ｆの左片面ｇと左側エッジ部分ｄ（微小異物以
外の部分）とが光輝して、段差パターン（微小異物の段
差パターンを含む）が撮影部３に取り込まれるようにな
る。さらに右斜め上側から光ｂが照射されると、微小異
物ｆの右片面ｈと右側エッジ部分ｅとが光輝して、その
段差パターン（微小異物の段差パターンを含む）が撮影
部３に取り込まれるようになる（図１２（ロ）。このよ
うに往移動時と復移動時とで異なるパターンが撮影部３
側に取り込まれるようになる。In the present invention, by receiving light from different directions, the step pattern when the color filter moves forward and the step pattern when the color filter moves backward are taken into the photographing section as different patterns. The principle is shown in Figure 11.
As shown in (a), when the light b is irradiated from the diagonally left upper direction of the color filter a in the figure, the left edge portion d of the pixel c is
Irregular reflection occurs at the pixel c, and the bright step pattern is captured by the imaging unit 3.
The right edge portion e does not shine against the photographing unit 3 side. Further, as shown in FIG. 11B, when the light b is irradiated from the diagonally right upper direction in the drawing, diffuse reflection occurs at the right edge portion e of the pixel c, and the image shines, and the step pattern is captured by the imaging unit 3. , The left edge portion d of the pixel c is the imaging unit 3
It will not shine to the side. And FIG. 12 (a)
When the minute foreign matter f is on the left edge portion d of the pixel c as shown in FIG.
The left one surface g of the minute foreign matter f and the left edge portion d (the portion other than the minute foreign matter) shine, and the step pattern (including the step pattern of the minute foreign matter) is taken in by the imaging unit 3. When the light b is further radiated from the obliquely upper right side, the right one surface h and the right edge portion e of the minute foreign matter f shine, and the step pattern (including the step pattern of the minute foreign matter) is captured by the imaging unit 3. As shown in FIG. 12B, different patterns are thus obtained between the forward movement and the backward movement.
It will be taken in by the side.

【０００８】撮影部３によって画像デ−タとして取り込
まれた往移動時の段差パターンと復移動時の段差パター
ンは、制御部においてカラーフィルタの位置デ−タに基
づいて二値化デ−タに変換される。例えば図１１に示さ
れている断面部分に対して１１，１２，１３，１４とい
うような位置デ−タが設定され、図１２に示されている
断面部分に対して２１，２２，２３，２４というような
位置デ−タが設定されているとすると、The step pattern at the time of forward movement and the step pattern at the time of backward movement captured as image data by the photographing section 3 are converted into binarized data based on the position data of the color filter in the control section. To be converted. For example, position data such as 11, 12, 13, 14 are set for the cross-section shown in FIG. 11, and 21, 22, 23, 24 are set for the cross-section shown in FIG. If position data like this is set,

【０００９】[0009]

【表１】 図１１ 位置デ−タ １１，１２，１３，１４ （イ） 往移動時の二値化デ−タ １， １， ０， ０ （ロ） 復移動時の二値化デ−タ ０， ０， ０， １ 図１２ 位置デ−タ ２１，２２，２３，２４ （イ） 往移動時の二値化デ−タ １， １， ０， ０ （ロ） 復移動時の二値化デ−タ ０， １， ０， １[Table 1] Fig. 11 Position data 11, 12, 13, 14 (a) Binarized data during forward movement 1, 1, 0, 0 (b) Binarized data during backward movement 0, 0, 0, 1 Fig. 12 Position data 21, 22, 23, 24 (a) Binarization data during forward movement 1, 1, 0, 0 (b) Binarization during backward movement Data 0, 1, 0, 1

【００１０】というふうに二値化される。そして往移動
時の二値化デ−タと復移動時の二値化デ−タとが論理積
演算され、It is binarized as follows. Then, the binary data at the time of forward movement and the binary data at the time of backward movement are logically ANDed,

【００１１】[0011]

【表２】 図１１ 位置デ−タ １１，１２，１３，１４ 論理積演算の結果 ０， ０， ０， ０ 図１２ 位置デ−タ ２１，２２，２３，２４ 論理積演算の結果 ０， １， ０， ０[Table 2] Fig. 11 Position data 11, 12, 13, 14 Results of AND operation 0, 0, 0, 0 Fig. 12 Position data 21, 22, 23, 24 Results of AND operation 0, 1 , 0, 0

【００１２】というふうに位置デ−タに対応した論理積
演算の結果が得られ、その結果を出力によって出力する
ことにより異物の有無が判断できるようになる。As described above, the result of the logical product operation corresponding to the position data is obtained, and by outputting the result, the presence / absence of foreign matter can be determined.

【００１３】[0013]

【実施例】つぎに本発明を図１から図６に示す一実施例
に基づいて詳細に説明する。図１に示すようにカラーフ
ィルタ上の微小異物外観検査装置１は、カラーフィルタ
ａを載置して往復移動する一軸テーブルからなる移動部
２、ＣＣＤカメラを複数台並べたカメラ列からなりカラ
ーフィルタの移動行程上に固定される撮影部３、カラー
フィルタの移動方向Ｘの一方側から光を照射する光源５
と他方側から光を照射する光源６とからなる照明部４、
コンピュータ機器から構成され、入出力インターフェイ
ス装置７とＣＰＵ装置８とメモリ装置９を有する制御部
１０、前記制御部１０による演算結果を出力するディス
プレイ装置１１とプリンタ１２とを有する出力部１３と
を具備している。上記制御部１０は後述するように取り
込まれた画像デ−タを二値化デ−タに変換し、その二値
化デ−タの論理積演算を行うものであるとともに、装置
全体をコントロールする機能を備えていて、上記移動部
２の駆動機器１４、往動作完了検知リミットスイッチ１
５、復動作完了検知リミットスイッチ１６が制御部１０
の入出力インターフェイス装置７に接続され、一軸テー
ブルの動作が制御されるとともに、上記撮影部３、照明
部４も入出力インターフェイス装置７に接続されて必要
時に動作するように設けられている。さらに入出力イン
ターフェイス装置７に接続されている出力部１３に加え
て、コンソールパネル（操作盤）１７が接続されて、所
望の条件を入力設定できるように設けられている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will now be described in detail with reference to an embodiment shown in FIGS. As shown in FIG. 1, the apparatus 1 for inspecting minute foreign matter on a color filter comprises a moving section 2 which is a uniaxial table on which a color filter a is mounted and which reciprocates, and a camera row in which a plurality of CCD cameras are arranged. 3 fixed on the moving path of the light source 5, the light source 5 for irradiating light from one side of the moving direction X of the color filter
And a light source 6 for irradiating light from the other side,
The control unit 10 includes a computer device and has an input / output interface device 7, a CPU device 8, and a memory device 9, and an output unit 13 having a display device 11 for outputting a calculation result by the control unit 10 and a printer 12. is doing. As will be described later, the control unit 10 converts the captured image data into binarized data, performs a logical product operation of the binarized data, and controls the entire apparatus. The drive device 14 for the moving section 2 and the forward movement completion detection limit switch 1 having a function
5, the return operation completion detection limit switch 16 is the control unit 10
Is connected to the input / output interface device 7 to control the operation of the uniaxial table, and the photographing unit 3 and the illumination unit 4 are also connected to the input / output interface device 7 so as to operate when necessary. Further, in addition to the output unit 13 connected to the input / output interface device 7, a console panel (operation panel) 17 is connected so that a desired condition can be input and set.

【００１４】上記装置１を用いてカラーフィルタ上の異
物を検査するに際して、図２に示すようにカラーフィル
タの検査エリアＥがコンソールパネル１７から入力指定
されると、撮影部３を構成しているＣＣＤカメラの解像
度に合わせて前記検査エリアＥが横方向にｎ等分され、
縦方向にはＣＣＤカメラ３ｂの配列数などに合わせてｍ
等分されてｍ×ｎのグリッド状に区分され、それぞれに
制御部１０上で位置デ−タが付されるようになる。これ
は、図９で示すフローチャートにおいて、メモリマップ
Ａ，Ｂ，Ｃ（ｍ×ｎ×３）の形成段階に対応する。メモ
リマップＡは後述する往方向移動時の二値化デ−タを位
置デ−タに対応させて書き込めるようにしたメモリ上の
領域、メモリマップＢは復方向移動時の二値化デ−タを
位置デ−タに対応させて書き込めるようにしたメモリ上
の領域、メモリマップＣは論理積演算の結果を位置デ−
タに対応させて書き込めるようにしたメモリ上の領域で
ある。When inspecting a foreign substance on a color filter using the above-mentioned device 1, when an inspection area E of the color filter is input and designated from the console panel 17 as shown in FIG. 2, the photographing section 3 is constituted. According to the resolution of the CCD camera, the inspection area E is laterally divided into n equal parts,
M in the vertical direction according to the number of CCD cameras 3b
The data is equally divided and divided into m × n grids, and position data is attached to each of them on the control unit 10. This corresponds to the step of forming the memory maps A, B, C (m × n × 3) in the flowchart shown in FIG. The memory map A is an area on the memory in which the binary data when moving in the forward direction, which will be described later, can be written in correspondence with the position data, and the memory map B is the binary data when moving in the backward direction. The memory map C, which is an area on the memory in which data can be written in correspondence with the position data, stores the result of the logical product operation in the position data.
It is an area on the memory that can be written corresponding to the data.

【００１５】上記移動部２の所定位置にカラーフィルタ
ａを載置させた（上記検査エリアＥにカラーフィルタａ
の検査すべき領域を対応させる）後、上記照明部４の一
方の光源５から光が照射された状態で移動部２の動作に
よりカラーフィルタａがＬ方向に移動し、後述するよう
にカラーフィルタａで光輝する段差パターンが撮影部３
に取り込まれる。なお、照明部４の光源５はカラーフィ
ルタａの移動方向Ｘの一方側に位置してＬ方向に移動す
るカラーフィルタａに向けて斜め上方から光を照射させ
るようにしたもの（往方向移動時に照射）であり、光源
６は移動方向Ｘの他方側に位置してＲ方向に移動するカ
ラーフィルタａに向けて斜め上方から光を照射させるよ
うにしたもの（復方向移動時に照射）である。A color filter a was placed at a predetermined position of the moving section 2 (the color filter a was placed in the inspection area E).
(Corresponding to the region to be inspected), the color filter a moves in the L direction by the operation of the moving unit 2 in the state where the light source 5 of the illumination unit 4 irradiates the color filter a. The stepped pattern shining with a is the photographing unit 3
Is taken into. The light source 5 of the illumination unit 4 is arranged on one side of the moving direction X of the color filter a and irradiates light from diagonally above toward the color filter a moving in the L direction (when moving in the forward direction). The light source 6 is arranged so as to irradiate light from diagonally above toward the color filter a which is located on the other side of the moving direction X and moves in the R direction (irradiation when moving in the backward direction).

【００１６】図３は、画素パターンが形成され、一つの
画素ｃの左側エッジ部分ｄに微小異物ｆが位置している
カラーフィルタａを示していて、このカラーフィルタａ
が上述したように光源５からの光ｂを受けると、図４に
示すように、各画素ｃの左側エッジ部分ｄと前記微小異
物ｆの左片面ｇが上記撮影部３に対して光輝した状態と
なり、この光輝した段差パターン全面が画像として取り
込まれることになる。また、光源６からの光ｂを受ける
と、図５に示すように、各画素ｃの右側エッジ部分ｅと
前記微小異物ｆの右片面ｈが上記撮影部３に対して光輝
した状態となり、この光輝した段差パターン全面が画像
として取り込まれる。FIG. 3 shows a color filter a in which a pixel pattern is formed and a minute foreign substance f is located at the left edge portion d of one pixel c.
When the light b is received from the light source 5 as described above, the left edge portion d of each pixel c and the left side surface g of the minute foreign matter f shines on the photographing unit 3 as shown in FIG. Therefore, the entire surface of the bright step pattern is captured as an image. Further, when the light b from the light source 6 is received, as shown in FIG. 5, the right edge portion e of each pixel c and the right one surface h of the minute foreign matter f shine against the photographing unit 3, The entire bright step pattern is captured as an image.

【００１７】一方、制御部１０においては、カラーフィ
ルタａがＬ方向に移動し撮影部３から送り込まれる画像
デ−タを、検知エリアを区画として表す位置デ−タに基
づいて二値化し、その二値化デ−タをメモリ装置９に記
憶させるようにしている。図６に示すようにカラーフィ
ルタａがＬ方向に移動し、撮影部３が、カラーフィルタ
ａ上の一列目の区画（例えば、位置デ−タが１１，２
１，３１，…，ｍ１となる並んだ区画）の情報（画像デ
−タ）が制御部１０に取り込まれて（図９におけるの
ＣＣＤ信号の取り込み）、二値化デ−タＡ１１，Ａ２
１，Ａ３１，…，Ａｍ１として変換され、これがメモリ
装置９に書き込まれる。そしてカラーフィルタａが移動
するにつれて、変化された二値化デ−タ Ａ１２，Ａ２
２，Ａ３２，…，Ａｍ２、 Ａ１３，Ａ２３，Ａ３３，
…，Ａｍ３、 〜、 Ａ１ｎ，Ａ２ｎ，Ａ３ｎ，…，Ａ
ｍｎが書き込まれる（メモリマップＡへの書き込み）。
設定された検査エリアＥの画像の取り込みが終了し、一
軸テーブルと往動作完了検知リミットスイッチ１５とが
接触すると前記一軸テーブルが停止する。そして光源５
が消灯し、代わって光源６が点灯すると、一軸テーブル
がＲ方向に移動する。On the other hand, in the control section 10, the image data sent from the photographing section 3 by moving the color filter a in the L direction is binarized based on the position data representing the detection area as a section, The binarized data is stored in the memory device 9. As shown in FIG. 6, the color filter a moves in the L direction, and the image capturing unit 3 causes the first row of partitions on the color filter a (for example, the position data is 11 and 2).
The information (image data) in the aligned sections 1, 31, ..., M1) is fetched by the control unit 10 (CCD signal fetch in FIG. 9), and the binarized data A11, A2.
, A31, ..., Am1 are converted and written in the memory device 9. The binarized data A12, A2 changed as the color filter a moves.
2, A32, ..., Am2, A13, A23, A33,
..., Am3, ..., A1n, A2n, A3n, ..., A
mn is written (writing to memory map A).
When the capturing of the image of the set inspection area E is completed and the uniaxial table and the forward movement completion detection limit switch 15 come into contact with each other, the uniaxial table stops. And light source 5
Is turned off and the light source 6 is turned on instead, the uniaxial table moves in the R direction.

【００１８】カラーフィルタａがＲ方向に移動し始める
と、撮影部３によって、検査エリアＥのｎ列目に並んだ
区画（位置デ−タ １ｎ，２ｎ，３ｎ，…，ｍｎ）から
画像デ−タが取り込まれ（図９におけるのＣＣＤ信号
の取り込み）、制御部１０にて二値化デ−タ Ｂ１ｎ−
１，Ｂ２ｎ−１，Ｂ３ｎ−１，…，Ｂｍｎ−１、Ｂ１ｎ
−２，Ｂ２ｎ−２，Ｂ３ｎ−２，…，Ｂｍｎ−１、
〜、 Ｂ１１，Ｂ２１，Ｂ３１，…，Ｂｍ１として変換
されてメモリ装置９に書き込まれる（メモリマップＢへ
の書き込み）。一軸テーブルが復動作完了検知リミット
スイッチ１６と接触すると移動部２の動作は停止すると
ともに、前記光源６も消灯して画像の読み込みが終了す
る。When the color filter a starts to move in the R direction, the image data is picked up by the photographing unit 3 from the section (position data 1n, 2n, 3n, ..., mn) arranged in the nth row of the inspection area E. Data is taken in (CCD signal in FIG. 9 is taken in), and the control unit 10 binarizes the data B1n-.
1, B2n-1, B3n-1, ..., Bmn-1, B1n
-2, B2n-2, B3n-2, ..., Bmn-1,
, B11, B21, B31, ..., Bm1 are converted and written in the memory device 9 (writing to the memory map B). When the uniaxial table comes in contact with the backward movement completion detection limit switch 16, the movement of the moving unit 2 is stopped, the light source 6 is also turned off, and the reading of the image is completed.

【００１９】図６（イ）は往方向移動時（Ｌ方向）に得
られた段差パターン（微小異物の段差パターンを含む）
と検査エリアＥとを重ね合わせ、位置デ−タで示される
各区画での二値化デ−タの状態を表現したもので、光輝
した段差パターンを捉えて二値化デ−タに変換した時に
「１」となる区画を斜線で示し、段差パターンがなく二
値化デ−タに変換した時に「０」となる区画には斜線を
設けていないものである。そして図６（ロ）は（イ）で
示された検査エリアＥでの二値化デ−タ（Ａｉｊ）を示
しており、段差パターンとして捉えられた微小異物ｆの
左片面ｇに対応する区画の二値化デ−タＡ６８も「１」
として得られる。また図７（イ）は復方向移動時（Ｒ方
向）に得られた段差パターンと検査エリアＥとを重ね合
わせ、位置デ−タで示される各区画での二値化デ−タの
状態を表現したものである。そして往方向移動時での二
値化変換の場合と同様にして、段差パターンとして捉え
られた微小異物ｆの右片面ｇも段差パターンとして捉え
られると、図７（ロ）に示すようにこれに対応する区画
の二値化デ−タＢ６８も「１」として得られる。FIG. 6A shows a step pattern (including a step pattern of minute foreign matter) obtained during forward movement (L direction).
And the inspection area E are overlapped with each other to represent the state of the binarized data in each section indicated by the position data, and the bright step pattern is captured and converted into the binarized data. The section that sometimes becomes "1" is shown by hatching, and the section that becomes "0" when converted to binarized data without a step pattern is not provided with diagonal lines. 6B shows the binarized data (Aij) in the inspection area E shown in FIG. 6A, which corresponds to the left side surface g of the minute foreign matter f captured as a step pattern. Binarization data A68 is also "1"
Obtained as. Further, FIG. 7A shows the state of the binarized data in each section indicated by the position data by superimposing the step pattern and the inspection area E obtained during the backward movement (R direction). It is a representation. Then, similarly to the case of the binarization conversion during the forward movement, when the right side surface g of the minute foreign matter f captured as the step pattern is also captured as the step pattern, it is changed to this as shown in FIG. The binarized data B68 of the corresponding section is also obtained as "1".

【００２０】往方向移動時の二値化デ−タと復方向移動
時の二値化デ−タが得られると、メモリ装置９から読み
込んだ前記二値化デ−タ（Ａｉｊ，Ｂｉｊ）の論理積演
算（Ｃｉｊ＝Ａｉｊ・Ｂｉｊ）が制御部１０において行
われる。これは図１０におけるの工程で表現されてお
り、演算結果がメモリマップＣ（Ｃｉｊ）に書き込まれ
る。具体的には、往方向移動時の二値化デ−タＡｉｊと
復方向移動時の二値化デ−タＢｉｊとの値が「０」−
「０」、「１」−「０」、「０」−「１」であった場合
には論理積演算結果デ−タＣｉｊは「０」となり、
「１」−「１」であった場合には「１」として処理され
るものである。重複する段差パターンと検査エリアＥの
重ね合わせを示す図８（イ）に表現されているように、
斜線部分に微小異物が検出された状態となり、図８
（ロ）に示すようにメモリマップＣの対応部分に「１」
が立つことになる。すなわち段差パターンの重複した位
置デ−タ６−８の区画での二値化デ−タはＡ６８＝１，
Ｂ６８＝１となることから、その論理積演算の処理によ
ってＣ６８＝１（Ｃ６８＝Ａ６８・Ｂ６８）となる。こ
のようにして検査エリアＥ全面のメモリマップＣからＣ
ｉｊが読み出されて、結果が出力部１３で出力され（図
９における）、微小異物が画素のエッジ部分に乗った
状態であっても、その存在が検出されるようになる。な
お、論理積演算の結果の出力様式は各種のものが適宜に
設定できるものである。When the binarized data when moving in the forward direction and the binarized data when moving in the backward direction are obtained, the binarized data (Aij, Bij) read from the memory device 9 is stored. A logical product operation (Cij = Aij · Bij) is performed in the control unit 10. This is represented by the step in FIG. 10, and the calculation result is written in the memory map C (Cij). Specifically, the value of the binarized data Aij during the forward movement and the value of the binarized data Bij during the backward movement are "0"-
In the case of "0", "1"-"0", "0"-"1", the AND operation result data Cij becomes "0",
If it is "1"-"1", it is processed as "1". As shown in FIG. 8A showing the overlapping of the overlapping step patterns and the inspection area E,
As shown in FIG.
As shown in (b), "1" is added to the corresponding part of the memory map C.
Will stand. That is, the binarization data in the section of the position data 6-8 where the step patterns overlap is A68 = 1.
Since B68 = 1, C68 = 1 (C68 = A68 · B68) due to the AND operation. In this way, the memory maps C to C of the entire inspection area E are
ij is read and the result is output by the output unit 13 (in FIG. 9), and the presence of the minute foreign matter can be detected even when the minute foreign matter is on the edge portion of the pixel. Various output modes of the result of the logical product operation can be appropriately set.

【００２１】図９と図１０は本微小異物外観検査装置１
の作動における一例の流れをフローチャートとして示す
ものであり、は往方向移動時の処理工程、は復方向
移動時の処理工程、は論理積演算処理工程、は出力
工程を示している。FIG. 9 and FIG. 10 show the present fine foreign matter appearance inspection apparatus 1
2 is a flow chart showing an example of the flow of the operation of, wherein is a processing step at the time of forward movement, is a processing step at the time of backward movement, is a logical product operation processing step, and is an output step.

【００２２】[0022]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のカラーフ
ィルタ上の微小異物外観検査装置は、カラーフィルタを
往復移動させる移動部と、カラーフィルタの往方向移動
時にカラーフィルタ移動方向の一方側から光をカラーフ
ィルタに照射するとともに、カラーフィルタの復方向移
動時にカラーフィルタ移動方向の他方側から光をカラー
フィルタに照射する照明部と、カラーフィルタの移動行
程上に固定され、該カラーフィルタの往方向移動時と復
方向移動時に前記照明部からの光が乱反射して光輝した
カラーフィルタ上の段差パターンを画像として取り込む
撮影部と、前記撮影部により得られた往方向移動時の画
像デ−タと復方向移動時の画像デ−タとのそれぞれを、
カラーフィルタに対して設定された位置デ−タに基づい
て二値化デ−タに変換し、往方向移動時の二値化デ−タ
と復方向移動時の二値化デ−タとを論理積演算する制御
部と、前記制御部による論理積演算の結果を位置デ−タ
に基づいて出力する出力部とを備えることを特徴とする
ものである。このように本装置にあっては、画素のエッ
ジからなる段差パターンの情報を取り除くように働く制
御部を備えていることから、その制御部の働きによって
画素のエッジ部分に位置した微細な異物をも確実に検出
できるようになり、検出精度の向上した装置となるな
ど、実用性に極めて優れた効果を奏するものである。As described above, the apparatus for inspecting the appearance of minute foreign matter on a color filter according to the present invention includes a moving portion for moving the color filter back and forth, and a color filter moving direction from one side when the color filter moves in the forward direction. An illumination unit that irradiates the color filter with light and also irradiates the color filter with light from the other side of the color filter moving direction when the color filter moves in the backward direction, and is fixed on the moving path of the color filter. An image capturing unit that captures, as an image, a step pattern on a color filter where the light from the illumination unit diffuses and diffuses during direction movement and backward direction movement, and image data obtained by the image capturing unit during forward movement And the image data when moving in the backward direction,
Based on the position data set for the color filter, it is converted into binarized data, and the binarized data when moving in the forward direction and the binarized data when moving in the backward direction are converted. It is characterized by comprising a control unit for performing a logical product operation and an output unit for outputting the result of the logical product operation by the control unit based on the position data. As described above, the present apparatus is provided with the control unit that works to remove the information of the step pattern composed of the edge of the pixel. Therefore, the control unit works to remove the fine foreign matter located at the edge portion of the pixel. It becomes possible to reliably detect even the above, and it becomes an apparatus having an improved detection accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明に係るカラーフィルタ上の微小異物外観
検査装置の一実施例を概略的に示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory view schematically showing an embodiment of an apparatus for inspecting appearance of minute foreign matter on a color filter according to the present invention.

【図２】検査エリアを示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing an inspection area.

【図３】カラーフィルタを示すもので、（イ）は画素の
配列を平面で示す説明図、（ロ）は（イ）のロ−ロ線部
における断面を示す説明図である。3A and 3B show color filters, in which FIG. 3A is an explanatory view showing an array of pixels in a plane, and FIG. 3B is an explanatory view showing a cross-section taken along a line B-B in FIG.

【図４】カラーフィルタの往方向移動時における光輝し
た段差パターンを示すもので、（イ）は段差パターンを
平面で示す説明図、（ロ）は（イ）のロ−ロ線部の断面
を示す説明図である。FIG. 4 is a diagram showing a bright step pattern when the color filter is moved in the forward direction, (a) is an explanatory view showing the step pattern in a plane, and (b) is a cross section of the line portion of (a). It is an explanatory view shown.

【図５】カラーフィルタの復方向移動時における光輝し
た段差パターンを示すもので、（イ）は段差パターンを
平面で示す説明図、（ロ）は（イ）のロ−ロ線部の断面
を示す説明図である。5A and 5B show a step pattern which is bright when the color filter is moved in the backward direction. FIG. 5A is an explanatory view showing the step pattern in a plane, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along the line of FIG. It is an explanatory view shown.

【図６】カラーフィルタの往方向移動時において取り込
まれた画像デ−タとメモリマップとを示すもので、
（イ）は検査エリアと段差パターンとの重ね合わせを示
す説明図、（ロ）は往方向移動時の画像デ−タを二値化
したメモリマップを示す説明図である。FIG. 6 is a diagram showing an image data and a memory map captured when the color filter moves in the forward direction,
(A) is an explanatory view showing the superposition of the inspection area and the step pattern, and (B) is an explanatory view showing a memory map in which the image data at the time of the forward movement is binarized.

【図７】カラーフィルタの復方向移動時において取り込
まれた画像デ−タとメモリマップとを示すもので、
（イ）は検査エリアと段差パターンとの重ね合わせを示
す説明図、（ロ）は復方向移動時の画像デ−タを二値化
したメモリマップを示す説明図である。FIG. 7 shows image data and a memory map captured when the color filter is moved in the backward direction,
(A) is an explanatory view showing the superposition of the inspection area and the step pattern, and (B) is an explanatory view showing a memory map in which the image data at the time of backward movement is binarized.

【図８】カラーフィルタの画像デ−タの重複部分とメモ
リマップとを示すもので、（イ）は検査エリアと段差パ
ターン重複部分との重ね合わせを示す説明図、（ロ）は
論理積演算結果が書き込まれたメモリマップを示す説明
図である。8A and 8B show an overlapping portion of image data of a color filter and a memory map, FIG. 8A is an explanatory diagram showing superposition of an inspection area and a step pattern overlapping portion, and FIG. It is explanatory drawing which shows the memory map in which the result was written.

【図９】装置作動の流れをフローチャートで示す説明図
である。FIG. 9 is an explanatory diagram showing a flow chart of the operation of the apparatus.

【図１０】装置作動の流れをフローチャートで示す説明
図である。FIG. 10 is an explanatory view showing a flow chart of the operation of the apparatus.

【図１１】光輝する段差パターンの取り込み状態を示す
もので、（イ）は往方向移動時の取り込みを示す説明
図、（ロ）は復方向移動時の取り込みを示す説明図であ
る。11A and 11B are diagrams showing a captured state of a bright step pattern, in which FIG. 11A is an explanatory diagram showing capturing during forward movement, and FIG. 11B is an explanatory diagram showing capturing during backward movement.

【図１２】同じく光輝する段差パターンの取り込み状態
を示すもので、（イ）は往方向移動時の取り込みを示す
説明図、（ロ）は復方向移動時の取り込みを示す説明図
である。FIGS. 12A and 12B also show a captured state of a bright step pattern, in which FIG. 12A is an explanatory diagram showing capturing during forward movement, and FIG. 12B is an explanatory diagram showing capturing during backward movement.

【図１３】従来例を示すもので、（イ）は装置構成を概
略的に示す説明図、（ロ）は往方向移動時の画像取り込
みを示す説明図、（ハ）は復方向移動時の画像取り込み
を示す説明図である。13A and 13B are views showing a conventional example, in which FIG. 13A is an explanatory view schematically showing the apparatus configuration, FIG. 13B is an explanatory view showing image capturing during forward movement, and FIG. 13C is during backward movement. It is explanatory drawing which shows image acquisition.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…外観検査装置 ２…移動部 ３…撮影部 ４…照明部 ５，６…光源 １０…制御部 １３…出力部 ａ…カラーフィルタ ｂ…光 ｃ…画素 ｆ…微細異物 Ｅ…検査エリア Ａ，Ｂ，Ｃ…メモリマップ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Appearance inspection device 2 ... Moving part 3 ... Imaging part 4 ... Illumination part 5, 6 ... Light source 10 ... Control part 13 ... Output part a ... Color filter b ... Light c ... Pixel f ... Fine foreign matter E ... Inspection area A, B, C ... Memory map

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】カラーフィルタを往復移動させる移動部
と、 カラーフィルタの往方向移動時にカラーフィルタ移動方
向の一方側から光をカラーフィルタに照射するととも
に、カラーフィルタの復方向移動時にカラーフィルタ移
動方向の他方側から光をカラーフィルタに照射する照明
部と、 カラーフィルタの移動行程上に固定され、該カラーフィ
ルタの往方向移動時と復方向移動時に前記照明部からの
光が乱反射して光輝したカラーフィルタ上の段差パター
ンを画像として取り込む撮影部と、 前記撮影部により得られた往方向移動時の画像デ−タと
復方向移動時の画像デ−タとのそれぞれを、カラーフィ
ルタに対して設定された位置デ−タに基づいて二値化デ
−タに変換し、往方向移動時の二値化デ−タと復方向移
動時の二値化デ−タとを論理積演算する制御部と、 前記制御部による論理積演算の結果を位置デ−タに基づ
いて出力する出力部とを備えることを特徴とするカラー
フィルタ上の微小異物外観検査装置。1. A moving part for moving a color filter back and forth, a color filter moving direction when the color filter moves backward, while irradiating light to the color filter from one side of the color filter moving direction when the color filter moves forward. The illumination unit that irradiates the color filter with light from the other side of the color filter is fixed on the moving path of the color filter, and the light from the illumination unit diffuses and shines when the color filter moves in the forward direction and in the backward direction. An image capturing unit that captures the step pattern on the color filter as an image, and image data obtained by the image capturing unit when moving in the forward direction and image data when moving in the backward direction are respectively supplied to the color filter. Based on the set position data, it is converted into binary data, and the binary data when moving in the forward direction and the binary data when moving in the backward direction are logically processed. A control unit for calculating the position of the result of the logical AND operation de by the control unit - the fine foreign matter inspection system on the color filter characterized by comprising an output section for outputting, based on the data.