JPH07198268A - Heating device in nitrogen gas atmosphere - Google Patents
Heating device in nitrogen gas atmosphereInfo
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- JPH07198268A JPH07198268A JP34326893A JP34326893A JPH07198268A JP H07198268 A JPH07198268 A JP H07198268A JP 34326893 A JP34326893 A JP 34326893A JP 34326893 A JP34326893 A JP 34326893A JP H07198268 A JPH07198268 A JP H07198268A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、加熱炉内に窒素ガスを
流通させて非酸化雰囲気で物品の加熱を行う窒素ガス雰
囲気加熱装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nitrogen gas atmosphere heating apparatus for heating an article in a non-oxidizing atmosphere by circulating nitrogen gas in a heating furnace.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えばプリント配線板に電子部品を実装
する場合には、プリント配線板のパッド上にクリーム半
田を塗布し、その上に電子部品を搭載したものを、加熱
炉内に通し、炉内の熱でクリーム半田を溶融させてパッ
ドと部品リードを半田付けしている。このとき、加熱炉
内には窒素ガスを充満させて、プリント配線板や電子部
品の酸化を防止する必要がある。2. Description of the Related Art For example, when mounting an electronic component on a printed wiring board, cream solder is applied to the pad of the printed wiring board, and the electronic component mounted on the pad is passed through a heating furnace. The heat inside melts the cream solder and solders the pads to the component leads. At this time, it is necessary to fill the heating furnace with nitrogen gas to prevent oxidation of the printed wiring board and electronic parts.
【０００３】加熱炉内に窒素ガスを充満させるには従
来、シャッターで炉内外を遮断する方式が一般的であっ
たが、この方式はトラブルが発生しやすいため、最近、
図２に示すような非接触シール方式の加熱炉が提案され
ている。この加熱炉は、内部に面状ヒーター11、棒状ヒ
ーター13およびファン15などが設置された加熱室17と、
入口通路19と、出口通路21とを備えており、その中を電
子部品を搭載したプリント配線板23が両側縁をチェーン
コンベア25により支持された状態で走行するようになっ
ている。Conventionally, in order to fill the heating furnace with nitrogen gas, a method of shutting off the inside and outside of the furnace with a shutter has been generally used. However, since this method easily causes troubles, recently,
A non-contact seal type heating furnace as shown in FIG. 2 has been proposed. This heating furnace has a heating chamber 17 in which a sheet heater 11, a rod heater 13 and a fan 15 are installed,
An inlet passage 19 and an outlet passage 21 are provided, and a printed wiring board 23 on which electronic components are mounted runs therein, with both side edges thereof being supported by a chain conveyor 25.
【０００４】加熱室17内には電子部品を搭載したプリン
ト配線板23の酸化防止のため窒素ガスを充満させてあ
る。窒素ガスは窒素ガス噴出管27から供給される。窒素
ガスの供給量は、外部から炉内に空気が侵入するのを防
止するため、入口通路19および出口通路21から常時窒素
ガスが炉外に流出するように調節される。窒素ガスが外
部に流出する量をできるだけ少なくするため、入口通路
19および出口通路21内には、コンベア25の走行方向に所
定の間隔をおいて多数のシール板29が設置されている。
これにより入口通路19、出口通路21を通って流れ出す窒
素ガスに抵抗を与え、窒素ガスの使用量を少なくしてい
る。The heating chamber 17 is filled with nitrogen gas in order to prevent oxidation of the printed wiring board 23 on which electronic components are mounted. Nitrogen gas is supplied from the nitrogen gas ejection pipe 27. The supply amount of nitrogen gas is adjusted so that the nitrogen gas always flows out of the furnace from the inlet passage 19 and the outlet passage 21 in order to prevent air from entering the furnace from the outside. In order to minimize the amount of nitrogen gas flowing out, the inlet passage
In the 19 and the exit passage 21, a large number of seal plates 29 are installed at predetermined intervals in the traveling direction of the conveyor 25.
As a result, resistance is given to the nitrogen gas flowing out through the inlet passage 19 and the outlet passage 21, and the amount of nitrogen gas used is reduced.
【０００５】なお図２の例では、窒素ガス噴出管27を出
口通路21内に設置したが、窒素ガス噴出管27は加熱室17
内に設置される場合もある。In the example shown in FIG. 2, the nitrogen gas jet pipe 27 is installed in the outlet passage 21, but the nitrogen gas jet pipe 27 is provided in the heating chamber 17.
It may be installed inside.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】加熱炉へ窒素ガスを供
給するには従来、液体窒素タンク、窒素ガスＰＳＡ(Pre
ssure Swing Adsorption) 装置などが用いられていた
が、これらの供給手段は不便であるとか大型である等の
難点があるため、最近、空気から窒素ガスを分離する分
離膜を有する窒素ガス発生器で窒素ガスを発生させ、そ
れを加熱炉に供給することが検討されている。[Problems to be Solved by the Invention] To supply nitrogen gas to a heating furnace, a liquid nitrogen tank and a nitrogen gas PSA (Pre
ssure Swing Adsorption) device was used, but these supply means have the disadvantages such as inconvenience and large size, so recently, in nitrogen gas generators having a separation membrane for separating nitrogen gas from air It is considered to generate nitrogen gas and supply it to a heating furnace.
【０００７】ところで、加熱炉内を窒素ガス雰囲気に保
つのは被加熱物品の酸化防止が目的であるから加熱炉内
は酸素濃度をできるだけ低く抑える必要がある。しかし
分離膜を用いた窒素ガス発生器で発生した窒素ガス中に
は僅かながら酸素が残り、加熱炉内の酸素濃度を十分低
く抑えることが困難であることが判明した。By the way, it is necessary to keep the oxygen concentration in the heating furnace as low as possible because the purpose of keeping the inside of the heating furnace in a nitrogen gas atmosphere is to prevent oxidation of the article to be heated. However, it has been found that it is difficult to suppress the oxygen concentration in the heating furnace to a sufficiently low level because a small amount of oxygen remains in the nitrogen gas generated by the nitrogen gas generator using the separation membrane.
【０００８】そこで、分離膜による窒素ガス発生器で発
生した窒素ガスに水素ガスを混合し、混合ガス中の酸素
と水素を触媒により燃焼反応させて、窒素ガスの純度を
高めることを検討した。しかしこの方式は、加熱炉に窒
素ガスが供給されていないときに水素ガスだけが供給さ
れる状態になると、爆発のおそれがあり、危険である。Therefore, it was studied to increase the purity of nitrogen gas by mixing hydrogen gas with nitrogen gas generated in a nitrogen gas generator using a separation membrane, and causing oxygen and hydrogen in the mixed gas to burn and react with a catalyst. However, this method is dangerous because there is a risk of explosion if only hydrogen gas is supplied to the heating furnace when nitrogen gas is not supplied.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
課題を解決した窒素ガス雰囲気加熱装置を提供するもの
で、その構成は、窒素ガス供給装置から加熱炉に窒素ガ
スを供給して加熱炉内を窒素ガス雰囲気に保つ窒素ガス
雰囲気加熱装置であって、前記窒素ガス供給装置は、空
気から窒素ガスを分離する分離膜を用いた窒素ガス発生
器と、水素ガス供給源と、窒素ガス発生器で発生した窒
素ガスに水素ガス供給源から供給された水素ガスを混合
する混合部と、混合されたガス中の酸素と水素を燃焼反
応させて窒素ガス中の酸素濃度を低下させる精製器とを
備え、さらに加熱炉へ窒素ガスが供給されているか否か
を検知する窒素ガス供給検知器と、その窒素ガス供給検
知器が窒素ガスの供給を検知したときにのみ水素ガス供
給源からの水素ガスの供給を可能にする弁とを備えてい
ることを特徴とするものである。The present invention provides a nitrogen gas atmosphere heating device that solves the above-mentioned problems, and has a structure in which nitrogen gas is supplied from a nitrogen gas supply device to a heating furnace. A nitrogen gas atmosphere heating device for maintaining the inside of a heating furnace in a nitrogen gas atmosphere, wherein the nitrogen gas supply device is a nitrogen gas generator using a separation membrane for separating nitrogen gas from air, a hydrogen gas supply source, and nitrogen. A mixing unit that mixes the hydrogen gas supplied from the hydrogen gas supply source with the nitrogen gas generated by the gas generator, and a purification process that causes the oxygen and hydrogen in the mixed gas to burn and react to reduce the oxygen concentration in the nitrogen gas. And a nitrogen gas supply detector for detecting whether or not nitrogen gas is being supplied to the heating furnace, and a hydrogen gas supply source only when the nitrogen gas supply detector detects the supply of nitrogen gas. Hydrogen moth And it is characterized in that it comprises a valve which allows the supply of.
【００１０】[0010]
【作用】分離膜による窒素ガス発生器で発生した窒素ガ
スには微量の酸素が含まれている。この酸素の濃度を低
下させるには、窒素ガスに水素ガスを混合して、Ｐｄま
たはＰｔ等の貴金属を触媒として酸素と水素を反応さ
せ、酸素を除去することが有効である。窒素ガスの供給
量をほぼ一定とすれば、窒素ガス中の酸素濃度を低下さ
せるためには水素ガスの供給量を増加させればよい。水
素ガスの供給量は、窒素ガスの純度により異なるが、窒
素ガス発生器で１０ｍ3 ／hr、純度９９．９％の窒素ガ
スを発生させた場合、その純度を９９．９９９％にする
には、水素ガスを約２０リットル／hr供給すればよい。[Function] The nitrogen gas generated by the separation membrane nitrogen gas generator contains a small amount of oxygen. In order to reduce the concentration of oxygen, it is effective to mix hydrogen gas with nitrogen gas and react oxygen with hydrogen using a noble metal such as Pd or Pt as a catalyst to remove oxygen. If the supply amount of nitrogen gas is kept substantially constant, the supply amount of hydrogen gas may be increased in order to reduce the oxygen concentration in the nitrogen gas. The supply amount of hydrogen gas varies depending on the purity of nitrogen gas, but when nitrogen gas of 10 m 3 / hr and a purity of 99.9% is generated by a nitrogen gas generator, the purity can be 99.999%. The hydrogen gas may be supplied at about 20 liters / hr.
【００１１】水素ガスの供給は、窒素ガス供給検知器が
加熱炉へ窒素ガスが供給されていることを検知したとき
にのみ水素ガス供給用の弁が開くことにより行われる。
このため加熱炉へ窒素ガスが供給されていないときに水
素ガスのみが供給されることがなく、安全である。The hydrogen gas is supplied by opening the hydrogen gas supply valve only when the nitrogen gas supply detector detects that the nitrogen gas is being supplied to the heating furnace.
Therefore, only hydrogen gas is not supplied to the heating furnace when nitrogen gas is not supplied, which is safe.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図１は本発明の一実施例を示す。この窒素
ガス雰囲気加熱装置は、加熱炉31に窒素ガス供給装置33
から窒素ガスを供給し、加熱炉31内を窒素ガス雰囲気に
保つものである。加熱炉31の構造は図２に示した従来の
加熱炉と同様であるので、同一部分には同一符号を付し
て説明を省略する。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. This nitrogen gas atmosphere heating device includes a heating furnace 31 and a nitrogen gas supply device 33.
The nitrogen gas is supplied from here to maintain the inside of the heating furnace 31 in a nitrogen gas atmosphere. Since the structure of the heating furnace 31 is the same as that of the conventional heating furnace shown in FIG. 2, the same parts are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００１３】窒素ガス供給装置33は、空気を取り入れて
圧縮するコンプレッサー35と、圧縮空気を加熱するヒー
ター37と、分離膜により圧縮空気から窒素ガスを分離す
る窒素ガス発生器39と、分離された窒素ガスに、水素ガ
ス供給源41から流量制御弁43を通して供給される水素ガ
スを混合する混合部45と、混合されたガス中の酸素と水
素を触媒により燃焼反応させて純度の高い窒素ガスを得
る精製器47とから構成されている。混合部45は例えば配
管のＴ形またはＹ形接続部で２種類のガスを合流させる
タイプのものである。精製器47で精製された高純度の窒
素ガスは配管49により窒素ガス噴出管27に送られ、加熱
炉31内に供給される。一方、水素ガスの流量制御弁43の
開度は加熱炉31内の酸素濃度を検出する検出器51の出力
により制御される。The nitrogen gas supply device 33 is separated from a compressor 35 that takes in and compresses air, a heater 37 that heats the compressed air, and a nitrogen gas generator 39 that separates the nitrogen gas from the compressed air by a separation membrane. Nitrogen gas, a mixing unit 45 for mixing hydrogen gas supplied from the hydrogen gas supply source 41 through the flow rate control valve 43, and oxygen and hydrogen in the mixed gas are burned and reacted by a catalyst to produce high-purity nitrogen gas. And a refining device 47 to obtain. The mixing section 45 is of a type that joins two kinds of gas at a T-shaped or Y-shaped connecting portion of a pipe, for example. The high-purity nitrogen gas refined by the purifier 47 is sent to the nitrogen gas ejection pipe 27 by the pipe 49 and supplied into the heating furnace 31. On the other hand, the opening degree of the hydrogen gas flow rate control valve 43 is controlled by the output of the detector 51 that detects the oxygen concentration in the heating furnace 31.
【００１４】窒素ガス発生器39からはほぼ一定流量の窒
素ガスを供給する。窒素ガスの供給量を一定とすれば、
窒素ガス発生器39で発生する窒素ガス中の酸素濃度もほ
ぼ一定となり、また加熱炉31の空気の吸い込み量もほぼ
一定となり、加熱炉31内の酸素濃度は何等かの外乱がな
いかぎり一定に保たれる。From the nitrogen gas generator 39, a substantially constant flow rate of nitrogen gas is supplied. If the supply of nitrogen gas is constant,
The oxygen concentration in the nitrogen gas generated by the nitrogen gas generator 39 is also substantially constant, the air intake amount of the heating furnace 31 is also substantially constant, and the oxygen concentration in the heating furnace 31 is constant unless there is any disturbance. To be kept.
【００１５】酸素濃度検出器51は常時、加熱炉31内の酸
素濃度を検出し、検出信号を制御器53に送る。制御器53
は検出した酸素濃度に応じて流量制御弁43の開度を制御
する。すなわち酸素濃度が高いときは、その程度に応じ
て流量制御弁43の開度を大きくし、水素ガスの供給量を
多くする。すると窒素ガス中の酸素がより多く除去さ
れ、精製器47からは酸素濃度の低い窒素ガスが加熱炉31
に供給されるため、加熱炉31内の酸素濃度を低下させる
ことができる。また加熱炉31内の酸素濃度が低いときは
上記と逆の操作を行う。The oxygen concentration detector 51 always detects the oxygen concentration in the heating furnace 31 and sends a detection signal to the controller 53. Controller 53
Controls the opening of the flow control valve 43 according to the detected oxygen concentration. That is, when the oxygen concentration is high, the opening degree of the flow rate control valve 43 is increased and the hydrogen gas supply amount is increased according to the degree. Then, more oxygen in the nitrogen gas is removed, and nitrogen gas having a low oxygen concentration is discharged from the purifier 47 into the heating furnace 31.
Oxygen concentration in the heating furnace 31 can be reduced because it is supplied to the heating furnace 31. When the oxygen concentration in the heating furnace 31 is low, the reverse operation is performed.
【００１６】例えば窒素ガス発生器39から酸素濃度1000
ppm の窒素ガスを10ｍ3 ／hrの流量で供給する場合、水
素ガスを約20リットル／hrの流量で供給すれば、加熱炉
31内の酸素濃度を100ppmに保つことができる。精製器47
はＰｄまたはＰｔ系の触媒を用いると、ＳＶ（空筒速
度）＝30,000までは窒素ガス中の酸素と注入した水素ガ
スが十分反応する。For example, from a nitrogen gas generator 39 to an oxygen concentration of 1000
When supplying nitrogen gas of ppm at a flow rate of 10 m 3 / hr, hydrogen gas at a flow rate of about 20 liters / hr can be used as a heating furnace.
The oxygen concentration in 31 can be maintained at 100 ppm. Purifier 47
When a Pd or Pt-based catalyst is used, oxygen in nitrogen gas and injected hydrogen gas sufficiently react until SV (blank speed) = 30,000.
【００１７】またこの窒素ガス供給装置33は、加熱炉31
への窒素ガスの供給状態を検知する窒素ガス供給検知器
55と、水素ガスの供給をオンオフする開閉弁57とを備え
ている。窒素ガス供給検知器55は、窒素ガス供給装置33
から加熱炉31へ供給される窒素ガスの圧力または流量を
圧力センサーまたは流量センサーにより検出し、規定の
圧力または流量に達しているか否かを検知するものであ
る。Further, this nitrogen gas supply device 33 includes a heating furnace 31.
Gas supply detector that detects the supply state of nitrogen gas to the
55 and an opening / closing valve 57 for turning on / off the supply of hydrogen gas. The nitrogen gas supply detector 55 is the nitrogen gas supply device 33.
The pressure sensor or the flow sensor detects the pressure or flow rate of the nitrogen gas supplied from the heating furnace 31 to the heating furnace 31 to detect whether or not the pressure or flow rate has reached the specified pressure or flow rate.
【００１８】開閉弁57は電磁弁などで構成され、窒素ガ
ス供給検知器55からの信号により動作する。すなわち窒
素ガス供給検知器55が加熱炉31へ窒素ガスが適正に供給
されていることを検知したときは開となって水素ガスの
供給を可能にし、窒素ガスが適正に供給されていないこ
とを検知したときは閉となって水素ガスの供給を遮断す
る。これにより加熱炉31へ窒素ガスが供給されずに水素
ガスのみが供給されるのを防止することができる。なお
流量制御弁43は開度を零にすることもできるので、流量
制御弁43が開閉弁を兼ねる構造にすることもできる。The on-off valve 57 is composed of a solenoid valve or the like, and operates by a signal from the nitrogen gas supply detector 55. That is, when the nitrogen gas supply detector 55 detects that the nitrogen gas is properly supplied to the heating furnace 31, it is opened to enable the supply of hydrogen gas, and the nitrogen gas is not properly supplied. When detected, it closes and shuts off the supply of hydrogen gas. This can prevent only the hydrogen gas from being supplied to the heating furnace 31 without supplying the nitrogen gas. Since the flow control valve 43 can be set to zero in opening degree, the flow control valve 43 can also have a structure that doubles as an opening / closing valve.
【００１９】[0019]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、窒
素ガス雰囲気加熱装置の窒素ガス源として分離膜による
窒素ガス発生器を使用する場合に、窒素ガス発生器で発
生した窒素ガスに水素ガスを混合し、混合されたガス中
の酸素と水素を燃焼反応させて酸素を除去するようにし
たので、窒素ガスの純度を高めることができ、加熱炉内
の酸素濃度を十分低く抑えることが可能となる。As described above, according to the present invention, when a nitrogen gas generator using a separation membrane is used as a nitrogen gas source of a nitrogen gas atmosphere heating device, hydrogen is generated in the nitrogen gas generator. Since the gases are mixed and the oxygen and hydrogen in the mixed gas are burned and reacted to remove oxygen, the purity of nitrogen gas can be increased and the oxygen concentration in the heating furnace can be suppressed to a sufficiently low level. It will be possible.
【００２０】また窒素ガス中の酸素を除去するのに用い
る水素ガスは、加熱炉へ窒素ガスが供給されていること
を検知したときにのみ弁が開いて供給を可能にするよう
になっているので、加熱炉へ水素ガスのみが供給される
ことがなく、安全である。Further, the hydrogen gas used to remove oxygen in the nitrogen gas can be supplied by opening the valve only when it is detected that the nitrogen gas is being supplied to the heating furnace. Therefore, it is safe because only hydrogen gas is not supplied to the heating furnace.
【図１】 本発明の一実施例に係る窒素ガス雰囲気加熱
装置の説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram of a nitrogen gas atmosphere heating device according to an embodiment of the present invention.
【図２】 従来の窒素ガス雰囲気加熱炉を示す断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a conventional nitrogen gas atmosphere heating furnace.
17：加熱室 19：入口通路 21：出口通路 25：コンベア 27：窒素ガス噴出管 29：シール板 31：加熱炉 33：窒素ガス
供給装置 35：コンプレッサー 37：ヒーター 39：分離膜による窒素ガス発生器 41：水素ガス
源 43：流量制御弁 45：混合部 47：精製器 51：酸素濃度
検出器 53：制御器 55：窒素ガス
供給検知器 57：開閉弁17: Heating chamber 19: Inlet passage 21: Outlet passage 25: Conveyor 27: Nitrogen gas jet pipe 29: Seal plate 31: Heating furnace 33: Nitrogen gas supply device 35: Compressor 37: Heater 39: Nitrogen gas generator by separation membrane 41: Hydrogen gas source 43: Flow control valve 45: Mixing section 47: Purifier 51: Oxygen concentration detector 53: Controller 55: Nitrogen gas supply detector 57: Open / close valve
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０７ Ｊ 7128−4Ｅ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Office reference number FI technical display location // H05K 3/34 507 J 7128-4E
Claims (1)
供給して加熱炉内を窒素ガス雰囲気に保つ窒素ガス雰囲
気加熱装置であって、前記窒素ガス供給装置は、空気か
ら窒素ガスを分離する分離膜を用いた窒素ガス発生器
と、水素ガス供給源と、窒素ガス発生器で発生した窒素
ガスに水素ガス供給源から供給された水素ガスを混合す
る混合部と、混合されたガス中の酸素と水素を燃焼反応
させて窒素ガス中の酸素濃度を低下させる精製器とを備
え、さらに加熱炉へ窒素ガスが供給されているか否かを
検知する窒素ガス供給検知器と、その窒素ガス供給検知
器が窒素ガスの供給を検知したときにのみ水素ガス供給
源からの水素ガスの供給を可能にする弁とを備えている
ことを特徴とする窒素ガス雰囲気加熱装置。1. A nitrogen gas atmosphere heating device for supplying nitrogen gas from a nitrogen gas supply device to a heating furnace to maintain a nitrogen gas atmosphere in the heating furnace, wherein the nitrogen gas supply device separates nitrogen gas from air. In the mixed gas, a nitrogen gas generator using a separation membrane, a hydrogen gas supply source, a mixing unit for mixing the nitrogen gas generated by the nitrogen gas generator with the hydrogen gas supplied from the hydrogen gas supply source, And a nitrogen gas supply detector for detecting whether or not nitrogen gas is being supplied to the heating furnace, and a purifier for reducing the oxygen concentration in the nitrogen gas by burning and reacting oxygen and hydrogen in A nitrogen gas atmosphere heating device, comprising: a valve that enables the supply of hydrogen gas from a hydrogen gas supply source only when the supply detector detects the supply of nitrogen gas.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34326893A JPH07198268A (en) | 1993-01-13 | 1993-12-17 | Heating device in nitrogen gas atmosphere |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1942993 | 1993-01-13 | ||
| JP5-19429 | 1993-01-13 | ||
| JP34326893A JPH07198268A (en) | 1993-01-13 | 1993-12-17 | Heating device in nitrogen gas atmosphere |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07198268A true JPH07198268A (en) | 1995-08-01 |
Family
ID=26356258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34326893A Pending JPH07198268A (en) | 1993-01-13 | 1993-12-17 | Heating device in nitrogen gas atmosphere |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07198268A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100862861B1 (en) * | 2002-10-14 | 2008-10-09 | 주식회사 포스코 | An apparatus for supplying hns gas into heating furnace in emergency |
| CN113664321A (en) * | 2021-09-10 | 2021-11-19 | 浙江田中精机股份有限公司 | Overflow extrusion type tin furnace |
-
1993
- 1993-12-17 JP JP34326893A patent/JPH07198268A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100862861B1 (en) * | 2002-10-14 | 2008-10-09 | 주식회사 포스코 | An apparatus for supplying hns gas into heating furnace in emergency |
| CN113664321A (en) * | 2021-09-10 | 2021-11-19 | 浙江田中精机股份有限公司 | Overflow extrusion type tin furnace |
| CN113664321B (en) * | 2021-09-10 | 2022-08-09 | 浙江田中精机股份有限公司 | Overflow extrusion type tin furnace |
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