JPH07195045A - 超音波洗浄用洗浄液の浄化・脱酸装置 - Google Patents
超音波洗浄用洗浄液の浄化・脱酸装置Info
- Publication number
- JPH07195045A JPH07195045A JP35232293A JP35232293A JPH07195045A JP H07195045 A JPH07195045 A JP H07195045A JP 35232293 A JP35232293 A JP 35232293A JP 35232293 A JP35232293 A JP 35232293A JP H07195045 A JPH07195045 A JP H07195045A
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- cleaning
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 引火性洗浄液の再使用時における浄化・脱酸
に適した浄化・脱酸装置の提供。 【構成】 蒸留槽１及び貯留槽２を内部に備えた脱酸・
蒸留塔Ａと、内部に冷却水循環機構９を備えた脱酸・冷
却コンデンサＢと浄化・脱酸された被処理液を貯える脱
酸・貯蔵タンクＣと、該貯蔵タンクＣの上部を吸引する
真空ポンプＤと、該真空ポンプＤにより吸引した排気ガ
スを液置換するガス−液置換ユニットＥと、前記蒸留槽
１と貯留槽２の底部から取り出したスラッジを溜めるス
ラッジタンクＦとからなる超音波洗浄用洗浄液の浄化・
脱酸装置。
に適した浄化・脱酸装置の提供。 【構成】 蒸留槽１及び貯留槽２を内部に備えた脱酸・
蒸留塔Ａと、内部に冷却水循環機構９を備えた脱酸・冷
却コンデンサＢと浄化・脱酸された被処理液を貯える脱
酸・貯蔵タンクＣと、該貯蔵タンクＣの上部を吸引する
真空ポンプＤと、該真空ポンプＤにより吸引した排気ガ
スを液置換するガス−液置換ユニットＥと、前記蒸留槽
１と貯留槽２の底部から取り出したスラッジを溜めるス
ラッジタンクＦとからなる超音波洗浄用洗浄液の浄化・
脱酸装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波洗浄用洗浄液の
浄化・脱酸装置に関するものである。本発明は、超音波
洗浄装置に用いられている各種洗浄液、特に引火性洗浄
液の再使用時における浄化・脱酸（脱気）に適した浄化
・脱酸装置を提供するものである。
浄化・脱酸装置に関するものである。本発明は、超音波
洗浄装置に用いられている各種洗浄液、特に引火性洗浄
液の再使用時における浄化・脱酸（脱気）に適した浄化
・脱酸装置を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知の通り、電子部品や精密機械部品の
洗浄にはフロンを洗浄液として用いる超音波洗浄装置が
汎用されており、フロン洗浄液の再使用時における浄化
・脱酸手段についても、例えば、特公平３−４９６３６
号公報や特公平４−３７７５４号公報をはじめとして多
くの先行文献に各種の手段が開示されている。しかし、
近年、フロンが大気中のオゾン層破壊の原因となってい
ることが明らかになって以来、全世界的にフロンの使用
規制が強化され、超音波洗浄装置に用いられているフロ
ン洗浄液についても、その代替物として炭化水素系溶剤
を採用するケースが増加している。従来、フロン洗浄液
の再使用時における浄化・脱酸は、前掲各公報にも見ら
れる通り、超音波洗浄装置自体に組み込まれ、或いは、
付設された浄化・脱酸装置によって行われているが、当
該浄化・脱酸装置は開放式のものであった。
洗浄にはフロンを洗浄液として用いる超音波洗浄装置が
汎用されており、フロン洗浄液の再使用時における浄化
・脱酸手段についても、例えば、特公平３−４９６３６
号公報や特公平４−３７７５４号公報をはじめとして多
くの先行文献に各種の手段が開示されている。しかし、
近年、フロンが大気中のオゾン層破壊の原因となってい
ることが明らかになって以来、全世界的にフロンの使用
規制が強化され、超音波洗浄装置に用いられているフロ
ン洗浄液についても、その代替物として炭化水素系溶剤
を採用するケースが増加している。従来、フロン洗浄液
の再使用時における浄化・脱酸は、前掲各公報にも見ら
れる通り、超音波洗浄装置自体に組み込まれ、或いは、
付設された浄化・脱酸装置によって行われているが、当
該浄化・脱酸装置は開放式のものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】フロン洗浄液の代替物
として超音波洗浄装置に用いられている各種洗浄液の
内、特に引火性洗浄液、例えば炭化水素系洗浄液につい
ては、その再使用時における浄化・脱酸には、フロン洗
浄液の浄化・脱酸に使用されていた前記の開放式浄化・
脱酸装置を適用することはできない。何故なら、例えば
炭化水素系洗浄液は、引火点が約４０℃〜７０℃前後で
沸点が約１５０℃〜１９０℃前後のものであるため、大
気中で温度を上げると引火して爆発する危険があり、ま
た、炭化水素系洗浄液の種類によっては、その性質に変
化をもたらす場合もあるので、密閉式装置において減圧
下に浄化・脱酸を行うことが必須となるからである。
として超音波洗浄装置に用いられている各種洗浄液の
内、特に引火性洗浄液、例えば炭化水素系洗浄液につい
ては、その再使用時における浄化・脱酸には、フロン洗
浄液の浄化・脱酸に使用されていた前記の開放式浄化・
脱酸装置を適用することはできない。何故なら、例えば
炭化水素系洗浄液は、引火点が約４０℃〜７０℃前後で
沸点が約１５０℃〜１９０℃前後のものであるため、大
気中で温度を上げると引火して爆発する危険があり、ま
た、炭化水素系洗浄液の種類によっては、その性質に変
化をもたらす場合もあるので、密閉式装置において減圧
下に浄化・脱酸を行うことが必須となるからである。
【０００４】なお、特公平１−３１９２１号公報に見ら
れる如き多孔質膜材を用いた気泡分離装置を利用するこ
とは、当該多孔質膜材が炭化水素系洗浄液によって侵さ
れてしまう場合がある。
れる如き多孔質膜材を用いた気泡分離装置を利用するこ
とは、当該多孔質膜材が炭化水素系洗浄液によって侵さ
れてしまう場合がある。
【０００５】そこで、本発明者は、フロン洗浄液の代替
物として用いられている各種洗浄液、特に引火性洗浄液
の再使用時における浄化・脱酸を、安全且つ効率よく行
える装置を提供することを技術的課題として、研究・試
作・実験を重ねた結果、本発明を完成したものである。
また、本発明者は、上記研究・試作・実験の過程におい
て、浄化・脱酸された被処理液と脱酸のみがなされた被
処理液とを必要に応じて別個に取り出せる装置を提供す
ることをも技術的課題とし、本発明を完成したものであ
る。
物として用いられている各種洗浄液、特に引火性洗浄液
の再使用時における浄化・脱酸を、安全且つ効率よく行
える装置を提供することを技術的課題として、研究・試
作・実験を重ねた結果、本発明を完成したものである。
また、本発明者は、上記研究・試作・実験の過程におい
て、浄化・脱酸された被処理液と脱酸のみがなされた被
処理液とを必要に応じて別個に取り出せる装置を提供す
ることをも技術的課題とし、本発明を完成したものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記技術的課題は、次の
通りの本発明によって達成できる。即ち、本発明は、図
１に示す通り、下半部に垂直状の仕切板３を介して、ヒ
ータ４を内蔵した高水位の蒸留槽１と、これに隣接する
低水位の貯留槽２を備え、蒸留槽１の上方には貯留槽２
に向って下方に傾斜する傾斜板６を設けると共に、上半
部にも仕切板３に向って垂下し、且つ傾斜板６に到らな
い仕切壁８を設け、さらに、傾斜板６の上方には浄化・
脱酸の対象とする被処理液を水滴状にて内部に導入する
シャワー７を設け、また、貯留槽２の下側部には内部液
の取出口Ｔ４を、その底部にはスラッジ排出口Ｔ３をそ
れぞれ設けると共に、蒸留槽１の底部にもスラッジ排出
口Ｔ２を設けた密閉式の脱酸・蒸留塔Ａと、脱酸・蒸留
塔Ａ内に発生する前記被処理液の蒸気が上方から導入さ
れ該蒸気を冷却して液化する内部に冷却水循環機構９を
備えた密閉式の脱酸・冷却コンデンサＢと、脱酸・冷却
コンデンサＢ内で液化された前記浄化・脱酸された被処
理液が上方から導入され該液を貯える下側部又は底部に
内部液の取出口Ｔ５を設けた密閉式の脱酸・貯蔵タンク
Ｃと、脱酸・蒸留塔Ａ、脱酸・冷却コンデンサＢおよび
脱酸・貯蔵タンクＣの各内部を吸引して減圧する真空ポ
ンプＤと、真空ポンプＤからの排気ガスが下方から導入
され該排気ガス中の前記被処理液の蒸気を液化して回収
し残部ガスを上方から大気中に排出する内部に前記被処
理液と同種の液を充填すると共に側部に内部液取出口Ｔ
６を設けたガス−液置換ユニットＥとを、吸引・排気路
系パイプ群Ｐ９、Ｐ１０と被処理液路系パイプ群Ｐ１、
Ｐ２、Ｐ３、Ｐ１３とによって連結したことを特徴とす
る超音波洗浄用洗浄液の浄化・脱酸装置である。
通りの本発明によって達成できる。即ち、本発明は、図
１に示す通り、下半部に垂直状の仕切板３を介して、ヒ
ータ４を内蔵した高水位の蒸留槽１と、これに隣接する
低水位の貯留槽２を備え、蒸留槽１の上方には貯留槽２
に向って下方に傾斜する傾斜板６を設けると共に、上半
部にも仕切板３に向って垂下し、且つ傾斜板６に到らな
い仕切壁８を設け、さらに、傾斜板６の上方には浄化・
脱酸の対象とする被処理液を水滴状にて内部に導入する
シャワー７を設け、また、貯留槽２の下側部には内部液
の取出口Ｔ４を、その底部にはスラッジ排出口Ｔ３をそ
れぞれ設けると共に、蒸留槽１の底部にもスラッジ排出
口Ｔ２を設けた密閉式の脱酸・蒸留塔Ａと、脱酸・蒸留
塔Ａ内に発生する前記被処理液の蒸気が上方から導入さ
れ該蒸気を冷却して液化する内部に冷却水循環機構９を
備えた密閉式の脱酸・冷却コンデンサＢと、脱酸・冷却
コンデンサＢ内で液化された前記浄化・脱酸された被処
理液が上方から導入され該液を貯える下側部又は底部に
内部液の取出口Ｔ５を設けた密閉式の脱酸・貯蔵タンク
Ｃと、脱酸・蒸留塔Ａ、脱酸・冷却コンデンサＢおよび
脱酸・貯蔵タンクＣの各内部を吸引して減圧する真空ポ
ンプＤと、真空ポンプＤからの排気ガスが下方から導入
され該排気ガス中の前記被処理液の蒸気を液化して回収
し残部ガスを上方から大気中に排出する内部に前記被処
理液と同種の液を充填すると共に側部に内部液取出口Ｔ
６を設けたガス−液置換ユニットＥとを、吸引・排気路
系パイプ群Ｐ９、Ｐ１０と被処理液路系パイプ群Ｐ１、
Ｐ２、Ｐ３、Ｐ１３とによって連結したことを特徴とす
る超音波洗浄用洗浄液の浄化・脱酸装置である。
【０００７】なお、上記の通りの本発明装置における各
構成要素自体の材料、構造、製作手段等は、いずれも、
当業者にとって周知のものである。
構成要素自体の材料、構造、製作手段等は、いずれも、
当業者にとって周知のものである。
【０００８】
【作用】前記構成を採る本発明の作用は次の通りであ
る。本発明装置においては、真空ポンプＤによって脱酸
・蒸留塔Ａ、脱酸・冷却コンデンサＢ、脱酸・貯蔵タン
クＣ内を吸引して減圧しつつ、浄化・脱酸の対象とする
被処理液を、脱酸・蒸留塔Ａの傾斜板６の上方かシャワ
ー７により水滴状にして注ぐか、あるいは、蒸留槽１内
に注入口Ｔ１から直接注入し、ヒータ４による加熱によ
って脱酸・蒸留塔Ａ内に発生した蒸気を上方のパイプ１
０を介して脱酸・貯蔵コンデンサＢに送り、冷却して液
化し、脱酸・貯蔵タンクＣに貯め、この脱酸・貯蔵タン
クＣから、浄化・脱酸された被処理液を必要量取り出せ
るようにし、一方、真空ポンプＤにより脱酸・蒸留塔
Ａ、脱酸・冷却コンデンサＢおよび脱酸・貯蔵タンクＣ
から吸引した排気ガスをガス−液置換ユニットＥの下部
から注入してガス−液置換し、排ガスを大気に放出させ
るようにすると共に、ガス−液置換ユニットＥ内の被処
理液を取出口Ｔ６から取り出して、上記の浄化・脱酸の
対象とする被処理液の場合と同様に、脱酸・蒸留塔Ａ内
に注入するようにしており、さらに、蒸留槽１と貯留槽
２の底部に溜るスラッジを手動弁Ｓ５の操作によりそれ
ぞれ取出口Ｔ２、Ｔ３からパイプＰ４、Ｐ５を介して取
り出すようにしている。
る。本発明装置においては、真空ポンプＤによって脱酸
・蒸留塔Ａ、脱酸・冷却コンデンサＢ、脱酸・貯蔵タン
クＣ内を吸引して減圧しつつ、浄化・脱酸の対象とする
被処理液を、脱酸・蒸留塔Ａの傾斜板６の上方かシャワ
ー７により水滴状にして注ぐか、あるいは、蒸留槽１内
に注入口Ｔ１から直接注入し、ヒータ４による加熱によ
って脱酸・蒸留塔Ａ内に発生した蒸気を上方のパイプ１
０を介して脱酸・貯蔵コンデンサＢに送り、冷却して液
化し、脱酸・貯蔵タンクＣに貯め、この脱酸・貯蔵タン
クＣから、浄化・脱酸された被処理液を必要量取り出せ
るようにし、一方、真空ポンプＤにより脱酸・蒸留塔
Ａ、脱酸・冷却コンデンサＢおよび脱酸・貯蔵タンクＣ
から吸引した排気ガスをガス−液置換ユニットＥの下部
から注入してガス−液置換し、排ガスを大気に放出させ
るようにすると共に、ガス−液置換ユニットＥ内の被処
理液を取出口Ｔ６から取り出して、上記の浄化・脱酸の
対象とする被処理液の場合と同様に、脱酸・蒸留塔Ａ内
に注入するようにしており、さらに、蒸留槽１と貯留槽
２の底部に溜るスラッジを手動弁Ｓ５の操作によりそれ
ぞれ取出口Ｔ２、Ｔ３からパイプＰ４、Ｐ５を介して取
り出すようにしている。
【０００９】本発明装置においては、脱酸・蒸留塔Ａを
はじめ脱酸・冷却コンデンサＢ、脱酸・貯蔵タンクＣ等
を密閉式としているから約７６０mmHg程度までの減圧が
可能で、例えば炭化水素系洗浄液の場合には、その沸点
の３〜４割程度低い温度によって沸騰させることが可能
となり、また、炭化水素系洗浄液が蒸留槽１内にて引火
点以上の温度に達しても、火元がなく、オーバーフロー
して隣接する貯留槽２に入って急冷・液化されるので引
火の危険性はない。従って本発明装置は、加温や減圧に
より物質の変化を起さないものであれば、不燃性洗浄液
はもとより引火性洗浄液も対象とすることができるので
ある。
はじめ脱酸・冷却コンデンサＢ、脱酸・貯蔵タンクＣ等
を密閉式としているから約７６０mmHg程度までの減圧が
可能で、例えば炭化水素系洗浄液の場合には、その沸点
の３〜４割程度低い温度によって沸騰させることが可能
となり、また、炭化水素系洗浄液が蒸留槽１内にて引火
点以上の温度に達しても、火元がなく、オーバーフロー
して隣接する貯留槽２に入って急冷・液化されるので引
火の危険性はない。従って本発明装置は、加温や減圧に
より物質の変化を起さないものであれば、不燃性洗浄液
はもとより引火性洗浄液も対象とすることができるので
ある。
【００１０】また、本発明装置においては、脱酸・蒸留
塔Ａ、脱酸・冷却コンデンサＢおよび脱酸・貯蔵タンク
Ｃの各内部を吸引して減圧しているから被処理液中の酸
素（空気）を脱酸することが可能となり、特に脱酸・蒸
留塔Ａにおいては、シャワー７から水滴状にて被処理液
を導入するので、内部での接触面積が大きくなるから効
果的に脱酸を行うことができる。また、脱酸・蒸留塔Ａ
内と脱酸・冷却コンデンサＢ内は被処理液の種類に応じ
て最適の減圧度に調節できる。なお、未浄化で脱酸のみ
を行った被処理液を必要とする場合には、貯留槽２の取
出口Ｔ４から取り出すようにしている。
塔Ａ、脱酸・冷却コンデンサＢおよび脱酸・貯蔵タンク
Ｃの各内部を吸引して減圧しているから被処理液中の酸
素（空気）を脱酸することが可能となり、特に脱酸・蒸
留塔Ａにおいては、シャワー７から水滴状にて被処理液
を導入するので、内部での接触面積が大きくなるから効
果的に脱酸を行うことができる。また、脱酸・蒸留塔Ａ
内と脱酸・冷却コンデンサＢ内は被処理液の種類に応じ
て最適の減圧度に調節できる。なお、未浄化で脱酸のみ
を行った被処理液を必要とする場合には、貯留槽２の取
出口Ｔ４から取り出すようにしている。
【００１１】
【実施例】以下に、浄化・脱酸の対象とする被処理液を
炭化水素系洗浄液とした場合の実施例を挙げて、本発明
の構成と作用をより詳しく説明する。図中Ａは密閉式の
脱酸・蒸留塔で、下半部に垂直状の仕切板３を介して右
方にヒータ４と温度計５を備えた高水位の蒸留槽１を形
成すると共に、仕切板３の左方には前記蒸留槽１より低
水位の貯留槽２が形成されており、前記両槽の水位はフ
ロートスイッチ（図示せず）により一定の水位の範囲に
制御されるようになっている。６は蒸留槽１の上部に貯
留槽２に向って下り傾斜を有する傾斜板で、その上部に
シャワー７が設けられ、このシャワー７からシャワリン
グされた被処理液を貯留槽２に注入する役割を果たすも
のである。８は脱酸・蒸留塔Ａ内の上半部に設けられた
仕切壁で、前記下半部の仕切板３の上方に位置し、その
下端は前記傾斜板６の上面には接しない状態に設けら
れ、前記シャワリング部と貯留槽上部とを区画してい
る。図中Ｂは、内部に冷却水循環機構９を設けた脱酸・
冷却コンデンサ（以下単に「コンデンサ」という）で、
脱酸・蒸留塔Ａの左方上部と該コンデンサＢの上部とは
太いパイプ１０にて連結されている。図中Ｃは、コンデ
ンサＢにて冷却・液化される浄化・脱酸された被処理液
（蒸留液）を貯える脱酸・貯蔵タンク（以下単に「貯蔵
タンク」という）で、コンデンサＢの下部に配置され、
三方弁Ｓ２を備えた連通パイプ１１にて連結されてい
る。そしてこの貯蔵タンクＣ内の浄化・脱酸された被処
理液の水位についてもフロートスイッチ（図示せず）に
より一定の水位の範囲に制御されるようになっている。
図中Ｄは真空ポンプ、Ｅは、内部に邪魔板１２を多段か
つジグザグ状に設けたガス−液置換ユニット、Ｆはスラ
ッジタンクであり、ガス−液置換ユニットＦ内の被処理
液の水位についてもフロートスイッチ（図示せず）によ
り一定の水位の範囲に制御されるようになっている。
炭化水素系洗浄液とした場合の実施例を挙げて、本発明
の構成と作用をより詳しく説明する。図中Ａは密閉式の
脱酸・蒸留塔で、下半部に垂直状の仕切板３を介して右
方にヒータ４と温度計５を備えた高水位の蒸留槽１を形
成すると共に、仕切板３の左方には前記蒸留槽１より低
水位の貯留槽２が形成されており、前記両槽の水位はフ
ロートスイッチ（図示せず）により一定の水位の範囲に
制御されるようになっている。６は蒸留槽１の上部に貯
留槽２に向って下り傾斜を有する傾斜板で、その上部に
シャワー７が設けられ、このシャワー７からシャワリン
グされた被処理液を貯留槽２に注入する役割を果たすも
のである。８は脱酸・蒸留塔Ａ内の上半部に設けられた
仕切壁で、前記下半部の仕切板３の上方に位置し、その
下端は前記傾斜板６の上面には接しない状態に設けら
れ、前記シャワリング部と貯留槽上部とを区画してい
る。図中Ｂは、内部に冷却水循環機構９を設けた脱酸・
冷却コンデンサ（以下単に「コンデンサ」という）で、
脱酸・蒸留塔Ａの左方上部と該コンデンサＢの上部とは
太いパイプ１０にて連結されている。図中Ｃは、コンデ
ンサＢにて冷却・液化される浄化・脱酸された被処理液
（蒸留液）を貯える脱酸・貯蔵タンク（以下単に「貯蔵
タンク」という）で、コンデンサＢの下部に配置され、
三方弁Ｓ２を備えた連通パイプ１１にて連結されてい
る。そしてこの貯蔵タンクＣ内の浄化・脱酸された被処
理液の水位についてもフロートスイッチ（図示せず）に
より一定の水位の範囲に制御されるようになっている。
図中Ｄは真空ポンプ、Ｅは、内部に邪魔板１２を多段か
つジグザグ状に設けたガス−液置換ユニット、Ｆはスラ
ッジタンクであり、ガス−液置換ユニットＦ内の被処理
液の水位についてもフロートスイッチ（図示せず）によ
り一定の水位の範囲に制御されるようになっている。
【００１２】本発明装置においては、上記各部間が以下
に説明するように配管され連結されている。超音波洗浄
装置において使用された結果、その再使用に当って浄化
・脱酸を必要とする炭化水素系洗浄液（ソルベントＸＲ
・商品名・引火点７１℃，沸点１９０℃・アクア化学株
式会社 製）を被処理液とし、該被処理液は、図中点線
で示すように被処理液路系パイプＰ１から三方弁Ｓ１に
より分岐されたパイプＰ２を介して前記脱酸・蒸留塔Ａ
の右側上部にシャワー７によりシャワリングされる。な
お、三方弁Ｓ１により分岐されたパイプＰ３を介して蒸
留槽１下方側部の注入口Ｔ１から蒸留槽１内に直接注入
することもできる。蒸留槽１と貯留槽２の底部にはそれ
ぞれスラッジタンクＦに通じるパイプＰ４とＰ５が排出
口Ｔ２とＴ３を介して設けられ、これらのパイプＰ４と
Ｐ５はパイプＰ６にて合流され手動弁Ｓ５の操作にて必
要により、両槽の底部に溜ったスラッジをスラッジタン
クＦ内に取り出せるようになっている。コンデンサＢ内
の冷却水循環機構９には、図中実線で示すパイプＰ７に
より上部から冷却水を注入し、コンデンサＢ内の冷却水
循環機構９内を通って下部からパイプＰ８を介して取り
出せるようになっている。また、貯蔵タンクＣの上部と
コンデンサＢの中間部には図中二点鎖線で示すように三
方弁Ｓ３を介して真空ポンプＤの吸引側に連らなる吸引
パイプＰ９が配管され、貯蔵タンクＣ内とコンデンサＢ
内を減圧状態（約７００mmHg）に維持している。なお、
脱酸・蒸留塔Ａは貯蔵タンクＣやコンデンサＢと密閉状
態にて連結されており、貯蔵タンクＣ内を減圧すること
によりコンデンサＢや脱酸・蒸留塔Ａ内も上記減圧状態
となる。真空ポンプＤにて吸引した排気ガスは、ガス−
液置換ユニットＥの底部に送られ、該置換ユニットＥ内
の被処理液中でのバブリングによるガス−液置換後に大
気中に排出させると共に、ガス−液置換ユニットＥ内の
被処理液も前記点線にて示したパイプＰ１の被処理液と
パイプＰ１３を介して合流させ、脱酸・蒸留塔Ａに送り
込まれる。貯蔵タンクＣ内に貯蔵された浄化・脱酸済み
の被処理液は底部の取出口Ｔ５を介して、図中一点鎖線
にて示す処理済液用パイプＰ１１により三方弁Ｓ４を介
し排出ポンプ１３により取り出し、再度洗浄液として使
用する。一方、貯留槽２内の脱酸液についても貯留槽２
の下方側部の取出口Ｔ４を介してパイプＰ１２により、
前記三方弁Ｓ４の切換えにより独立して取り出すことが
できる。なお、図示しないが、被処理液を脱酸・蒸留塔
Ａ内へ送り込む途中において、水分離フィルター、水分
吸着フィルター、被処理液用コンデンサ等を通してもよ
い。
に説明するように配管され連結されている。超音波洗浄
装置において使用された結果、その再使用に当って浄化
・脱酸を必要とする炭化水素系洗浄液（ソルベントＸＲ
・商品名・引火点７１℃，沸点１９０℃・アクア化学株
式会社 製）を被処理液とし、該被処理液は、図中点線
で示すように被処理液路系パイプＰ１から三方弁Ｓ１に
より分岐されたパイプＰ２を介して前記脱酸・蒸留塔Ａ
の右側上部にシャワー７によりシャワリングされる。な
お、三方弁Ｓ１により分岐されたパイプＰ３を介して蒸
留槽１下方側部の注入口Ｔ１から蒸留槽１内に直接注入
することもできる。蒸留槽１と貯留槽２の底部にはそれ
ぞれスラッジタンクＦに通じるパイプＰ４とＰ５が排出
口Ｔ２とＴ３を介して設けられ、これらのパイプＰ４と
Ｐ５はパイプＰ６にて合流され手動弁Ｓ５の操作にて必
要により、両槽の底部に溜ったスラッジをスラッジタン
クＦ内に取り出せるようになっている。コンデンサＢ内
の冷却水循環機構９には、図中実線で示すパイプＰ７に
より上部から冷却水を注入し、コンデンサＢ内の冷却水
循環機構９内を通って下部からパイプＰ８を介して取り
出せるようになっている。また、貯蔵タンクＣの上部と
コンデンサＢの中間部には図中二点鎖線で示すように三
方弁Ｓ３を介して真空ポンプＤの吸引側に連らなる吸引
パイプＰ９が配管され、貯蔵タンクＣ内とコンデンサＢ
内を減圧状態（約７００mmHg）に維持している。なお、
脱酸・蒸留塔Ａは貯蔵タンクＣやコンデンサＢと密閉状
態にて連結されており、貯蔵タンクＣ内を減圧すること
によりコンデンサＢや脱酸・蒸留塔Ａ内も上記減圧状態
となる。真空ポンプＤにて吸引した排気ガスは、ガス−
液置換ユニットＥの底部に送られ、該置換ユニットＥ内
の被処理液中でのバブリングによるガス−液置換後に大
気中に排出させると共に、ガス−液置換ユニットＥ内の
被処理液も前記点線にて示したパイプＰ１の被処理液と
パイプＰ１３を介して合流させ、脱酸・蒸留塔Ａに送り
込まれる。貯蔵タンクＣ内に貯蔵された浄化・脱酸済み
の被処理液は底部の取出口Ｔ５を介して、図中一点鎖線
にて示す処理済液用パイプＰ１１により三方弁Ｓ４を介
し排出ポンプ１３により取り出し、再度洗浄液として使
用する。一方、貯留槽２内の脱酸液についても貯留槽２
の下方側部の取出口Ｔ４を介してパイプＰ１２により、
前記三方弁Ｓ４の切換えにより独立して取り出すことが
できる。なお、図示しないが、被処理液を脱酸・蒸留塔
Ａ内へ送り込む途中において、水分離フィルター、水分
吸着フィルター、被処理液用コンデンサ等を通してもよ
い。
【００１３】従って、被処理液を点線にて示すパイプＰ
２によって、脱酸・蒸留塔Ａの上部左方からシャワリン
グすると、脱酸・蒸留塔Ａ内は減圧状態にあるため脱酸
され、傾斜板６を伝って貯留槽２に入る。一方、蒸留槽
１内でヒータ４により約１４０℃に加熱された被処理液
は、蒸発して右側上部から太いパイプ１０を通ってコン
デンサＢに入る。蒸留槽１をオーバーフローした被処理
液は隣の貯留槽２に入る。コンデンサＢ内には冷却水循
環機構９が設けられているため、蒸発して送られてきた
蒸気は冷却され液状となってコンデンサＢを通過して連
通パイプ１１を介して下部の貯蔵タンクＣ内に貯えられ
る。貯蔵タンクＣ内の浄化・脱酸された被処理液は、三
方弁Ｓ４を経て排出ポンプ１３により取り出され再使用
される。一方、脱酸のみを行った被処理液を取り出す場
合には前記三方弁Ｓ４を切り替え、貯留槽２と連結され
ているパイプＰ１２を介して排出ポンプ１３により取り
出せる。
２によって、脱酸・蒸留塔Ａの上部左方からシャワリン
グすると、脱酸・蒸留塔Ａ内は減圧状態にあるため脱酸
され、傾斜板６を伝って貯留槽２に入る。一方、蒸留槽
１内でヒータ４により約１４０℃に加熱された被処理液
は、蒸発して右側上部から太いパイプ１０を通ってコン
デンサＢに入る。蒸留槽１をオーバーフローした被処理
液は隣の貯留槽２に入る。コンデンサＢ内には冷却水循
環機構９が設けられているため、蒸発して送られてきた
蒸気は冷却され液状となってコンデンサＢを通過して連
通パイプ１１を介して下部の貯蔵タンクＣ内に貯えられ
る。貯蔵タンクＣ内の浄化・脱酸された被処理液は、三
方弁Ｓ４を経て排出ポンプ１３により取り出され再使用
される。一方、脱酸のみを行った被処理液を取り出す場
合には前記三方弁Ｓ４を切り替え、貯留槽２と連結され
ているパイプＰ１２を介して排出ポンプ１３により取り
出せる。
【００１４】なお、三方弁Ｓ１の切替により被処理液を
蒸留槽１内に直接入れる場合は、貯留槽２の水位が最上
位で蒸留槽１の水位がオーバーフローに達していない場
合にオーバーフローするまで直接注入される。また、各
槽から真空ポンプＤにて真空引きされた酸素（空気）を
含む排気ガスは二点鎖線にて示すパイプＰ１０を介して
ガス−液置換ユニットＥ内に送られ、前記の通り、この
置換ユニット内にてバブリングを行い、ほぼ完全にガス
−液置換されて大気中に排出される。ガス−液置換ユニ
ットＥ内の被処理液は上方側部に設けた取出口Ｔ６より
パイプＰ１３を介して前記点線にて示すパイプＰ１に新
しく送られてくる被処理液と合流させ、以下前記と同じ
経過をたどって脱酸・蒸留塔Ａ内に送られ、以後このサ
イクルが継続的に繰り返して行なわれる。
蒸留槽１内に直接入れる場合は、貯留槽２の水位が最上
位で蒸留槽１の水位がオーバーフローに達していない場
合にオーバーフローするまで直接注入される。また、各
槽から真空ポンプＤにて真空引きされた酸素（空気）を
含む排気ガスは二点鎖線にて示すパイプＰ１０を介して
ガス−液置換ユニットＥ内に送られ、前記の通り、この
置換ユニット内にてバブリングを行い、ほぼ完全にガス
−液置換されて大気中に排出される。ガス−液置換ユニ
ットＥ内の被処理液は上方側部に設けた取出口Ｔ６より
パイプＰ１３を介して前記点線にて示すパイプＰ１に新
しく送られてくる被処理液と合流させ、以下前記と同じ
経過をたどって脱酸・蒸留塔Ａ内に送られ、以後このサ
イクルが継続的に繰り返して行なわれる。
【００１５】
【発明の効果】本発明においては、脱酸・蒸留塔Ａ、脱
酸・冷却コンデンサＢおよび脱酸・貯蔵タンクＣをそれ
ぞれ完全密閉型として連結すると共に、脱酸・蒸留塔Ａ
の内部に蒸留槽１と貯留槽２を独立状に設け、各槽を減
圧状態において作動させるようにしたため、引火性の高
い被処理液でも低温度で沸騰・蒸発させることが可能と
なり、引火の危険がなくなる。また、浄化・脱酸された
被処理液と脱酸のみがなされた被処理液とを一つの装置
から別々に取り出して利用することができる。従って、
本発明装置は、超音波洗浄用洗浄液、特に引火性洗浄液
の再使用時における浄化・脱酸装置として最適のものと
いえる。
酸・冷却コンデンサＢおよび脱酸・貯蔵タンクＣをそれ
ぞれ完全密閉型として連結すると共に、脱酸・蒸留塔Ａ
の内部に蒸留槽１と貯留槽２を独立状に設け、各槽を減
圧状態において作動させるようにしたため、引火性の高
い被処理液でも低温度で沸騰・蒸発させることが可能と
なり、引火の危険がなくなる。また、浄化・脱酸された
被処理液と脱酸のみがなされた被処理液とを一つの装置
から別々に取り出して利用することができる。従って、
本発明装置は、超音波洗浄用洗浄液、特に引火性洗浄液
の再使用時における浄化・脱酸装置として最適のものと
いえる。
【図１】本発明装置の回路図
Ａ 脱酸・蒸留塔 Ｂ 脱酸・冷却コン
デンサ Ｃ 脱酸・貯蔵タンク Ｄ 真空ポンプ Ｅ ガス−液置換ユニット Ｆ スラッジタンク １ 蒸留槽 ２ 貯留槽 ３ 仕切板
４ ヒータ ５ 温度計 ６ 傾斜板 ７ シャワー
８ 仕切壁 ９ 冷却水循環機構 １０ 太いパイプ １
１ 連通パイプ １２ 邪魔板 １３ 排出ポンプ
デンサ Ｃ 脱酸・貯蔵タンク Ｄ 真空ポンプ Ｅ ガス−液置換ユニット Ｆ スラッジタンク １ 蒸留槽 ２ 貯留槽 ３ 仕切板
４ ヒータ ５ 温度計 ６ 傾斜板 ７ シャワー
８ 仕切壁 ９ 冷却水循環機構 １０ 太いパイプ １
１ 連通パイプ １２ 邪魔板 １３ 排出ポンプ
Claims (5)
- 【請求項１】 下半部に垂直状の仕切板３を介して、ヒ
ータ４を内蔵した高水位の蒸留槽１と、これに隣接する
低水位の貯留槽２を備え、蒸留槽１の上方には貯留槽２
に向って下方に傾斜する傾斜板６を設けると共に、上半
部にも仕切板３に向って垂下し、且つ傾斜板６に到らな
い仕切壁８を設け、さらに、傾斜板６の上方には浄化・
脱酸の対象とする被処理液を水滴状にて内部に導入する
シャワー７を設け、また、貯留槽２の下側部には内部液
の取出口Ｔ４を、その底部にはスラッジ排出口Ｔ３を、
それぞれ設けると共に、蒸留槽１の底部にもスラッジ排
出口Ｔ２を設けた密閉式の脱酸・蒸留塔Ａと、 脱酸・蒸留塔Ａ内に発生する前記被処理液の蒸気が上方
から導入され該蒸気を冷却して液化する内部に冷却水循
環機構９を備えた密閉式の脱酸・冷却コンデンサＢと、 脱酸・冷却コンデンサＢ内で液化された前記被処理液が
上方から導入され該液を貯える下側部又は底部に内部液
の取出口Ｔ５を設けた密閉式の脱酸・貯蔵タンクＣと、 脱酸・蒸留塔Ａ、脱酸・冷却コンデンサＢおよび脱酸・
貯蔵タンクＣの各内部を吸引して減圧する真空ポンプＤ
と、 真空ポンプＤからの排気ガスが下方から導入され該排気
ガス中の前記被処理液の蒸気を液化して回収し残部ガス
を上方から大気中に排出する内部に前記被処理液と同種
の液を充填すると共に側部に内部液取出口Ｔ６を設けた
ガス−液置換ユニットＥとを、 吸引・排気路系パイプ群Ｐ９、Ｐ１０と被処理液路系パ
イプ群Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ１３とによって連結したこ
とを特徴とする超音波洗浄用洗浄液の浄化・脱酸装置。 - 【請求項２】 蒸留槽１の下側部に浄化・脱酸の対象と
する被処理液を該槽内に導入する注入口Ｔ１が設けられ
ている請求項１記載の超音波洗浄用洗浄液の浄化・脱酸
装置。 - 【請求項３】 ガス−液置換ユニットＥの内部液取出口
Ｔ６から脱酸・蒸留塔Ａのシャワー７に到る被処理液路
系パイプＰ１３、Ｐ１、Ｐ２が設けられている請求項１
記載の超音波洗浄用洗浄液の浄化・脱酸装置。 - 【請求項４】 ガス−液置換ユニットＥの内部液取出口
Ｔ６から蒸留槽１の下側部の注入口Ｔ１に到る被処理液
路系パイプＰ１３、Ｐ１、Ｐ３が設けられている請求項
２記載の超音波洗浄用洗浄液の浄化・脱酸装置。 - 【請求項５】 脱酸・冷却コンデンサＣを介して脱酸・
蒸留塔Ａ内が吸引され減圧されるように吸引・排気路系
パイプＰ９が配管されている請求項１乃至４のいずれか
に記載の超音波洗浄用洗浄液の浄化・脱酸装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35232293A JPH07195045A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 超音波洗浄用洗浄液の浄化・脱酸装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35232293A JPH07195045A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 超音波洗浄用洗浄液の浄化・脱酸装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07195045A true JPH07195045A (ja) | 1995-08-01 |
Family
ID=18423272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35232293A Withdrawn JPH07195045A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 超音波洗浄用洗浄液の浄化・脱酸装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07195045A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104690033A (zh) * | 2015-03-17 | 2015-06-10 | 山东大学 | 一种试验用机械零件超声盐浴复合清洗机 |
| JP2016538111A (ja) * | 2013-10-10 | 2016-12-08 | ドリーム ヒート トリーティング カンパニー，リミテッド | 廃水再生装置及びそれを含む廃水リサイクル洗浄設備 |
| JP6242032B1 (ja) * | 2017-06-15 | 2017-12-06 | ジャパン・フィールド株式会社 | 洗浄溶剤の真空蒸留回収装置 |
| CN111851143A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-10-30 | 南京博物院 | 一种用于整本纸质文献脱酸的工艺及设备 |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP35232293A patent/JPH07195045A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016538111A (ja) * | 2013-10-10 | 2016-12-08 | ドリーム ヒート トリーティング カンパニー，リミテッド | 廃水再生装置及びそれを含む廃水リサイクル洗浄設備 |
| JP2017192941A (ja) * | 2013-10-10 | 2017-10-26 | ドリーム ヒート トリーティング カンパニー，リミテッド | 廃水リサイクル洗浄設備 |
| CN104690033A (zh) * | 2015-03-17 | 2015-06-10 | 山东大学 | 一种试验用机械零件超声盐浴复合清洗机 |
| JP6242032B1 (ja) * | 2017-06-15 | 2017-12-06 | ジャパン・フィールド株式会社 | 洗浄溶剤の真空蒸留回収装置 |
| JP2019000803A (ja) * | 2017-06-15 | 2019-01-10 | ジャパン・フィールド株式会社 | 洗浄溶剤の真空蒸留回収装置 |
| CN111851143A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-10-30 | 南京博物院 | 一种用于整本纸质文献脱酸的工艺及设备 |
| CN111851143B (zh) * | 2020-08-25 | 2024-01-16 | 南京博物院 | 一种用于整本纸质文献脱酸的工艺及设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |