JPH07177785A - ターボ分子ポンプ駆動電源装置 - Google Patents
ターボ分子ポンプ駆動電源装置Info
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- JPH07177785A JPH07177785A JP5345422A JP34542293A JPH07177785A JP H07177785 A JPH07177785 A JP H07177785A JP 5345422 A JP5345422 A JP 5345422A JP 34542293 A JP34542293 A JP 34542293A JP H07177785 A JPH07177785 A JP H07177785A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 負荷により変化する負荷電流及び、実回転数
をフィ−ドバックすることにより出力電圧を連続して制
御し負荷に応じて安定した電圧電流を供給するタ−ボ分
子ポンプ駆動電源装置を提供すること。 【構成】 インバータ１０及びインバータの出力電圧を
検出する電圧検出回路２５を有し、電圧検出回路２５で
検出された検出出力電圧を電圧制御回路２２及びＰＷＭ
制御器２１を介してフィ−ドバックさせ出力電圧を制御
するタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置において、タ−ボ分
子ポンプ４０の回転数を検出する回転数検出器３１を設
け及び負荷電流を検出する電流検出回路２６、検出負荷
電流及び検出回転数を誤差アンプ２８を介して電圧制御
回路２２にフィ−ドバックさせ、負荷の変動に対して常
に力率＝１の近辺で運転されるように出力電圧を自動調
整する。
をフィ−ドバックすることにより出力電圧を連続して制
御し負荷に応じて安定した電圧電流を供給するタ−ボ分
子ポンプ駆動電源装置を提供すること。 【構成】 インバータ１０及びインバータの出力電圧を
検出する電圧検出回路２５を有し、電圧検出回路２５で
検出された検出出力電圧を電圧制御回路２２及びＰＷＭ
制御器２１を介してフィ−ドバックさせ出力電圧を制御
するタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置において、タ−ボ分
子ポンプ４０の回転数を検出する回転数検出器３１を設
け及び負荷電流を検出する電流検出回路２６、検出負荷
電流及び検出回転数を誤差アンプ２８を介して電圧制御
回路２２にフィ−ドバックさせ、負荷の変動に対して常
に力率＝１の近辺で運転されるように出力電圧を自動調
整する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インバ−タを使用した
タ−ボ分子ポンプの駆動電源装置に関するものである。
タ−ボ分子ポンプの駆動電源装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術】図３は従来のタ−ボ分子ポンプ駆動電源装
置のブロック構成例を示す図である。図示するように従
来のタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置はインバ−タ１０
と、ＰＷＭ制御器２１、電圧制御回路２２、Ｄ／Ａ変換
回路２３、アップダウンカウンタ２４、電圧検出回路２
５、電流検出回路２６、警報回路２７及び起動／停止器
３０で構成される。
置のブロック構成例を示す図である。図示するように従
来のタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置はインバ−タ１０
と、ＰＷＭ制御器２１、電圧制御回路２２、Ｄ／Ａ変換
回路２３、アップダウンカウンタ２４、電圧検出回路２
５、電流検出回路２６、警報回路２７及び起動／停止器
３０で構成される。
【０００３】インバ−タ１０はトランス１１と、スイッ
チング素子１２−１、抵抗器１２−２からなる電流制御
部１２と、整流器１３−１、１３−２、リアクタ１３−
３、コンデンサ１３−４からなる整流部１３と、出力電
流を検出する抵抗器１４と、スイッチング素子１５−１
からなる出力制御部１５で構成され、出力制御部１５は
タ−ボ分子ポンプ４０に駆動電源を供給する。
チング素子１２−１、抵抗器１２−２からなる電流制御
部１２と、整流器１３−１、１３−２、リアクタ１３−
３、コンデンサ１３−４からなる整流部１３と、出力電
流を検出する抵抗器１４と、スイッチング素子１５−１
からなる出力制御部１５で構成され、出力制御部１５は
タ−ボ分子ポンプ４０に駆動電源を供給する。
【０００４】インバ−タ１０のトランス１１の１次側
は、電流制御部１２と直列に接続され整流ダイオードを
介してＡＣ電源に接続される。トランス１１の２次電圧
は整流部１３で直流電圧に変換され、出力制御部１５に
供給される。出力制御部１５は該直流電圧を高周波数の
３相交流に変換し、タ−ボ分子ポンプ４０に駆動電源を
供給する。整流部１３と出力制御部１５の負側接続線に
は電流を検出する為の抵抗器１４が挿入され、片方はア
−スに他方は電流検出回路２６へ接続され、整流部１３
の出力電圧は電圧検出回路２５へ接続されている。
は、電流制御部１２と直列に接続され整流ダイオードを
介してＡＣ電源に接続される。トランス１１の２次電圧
は整流部１３で直流電圧に変換され、出力制御部１５に
供給される。出力制御部１５は該直流電圧を高周波数の
３相交流に変換し、タ−ボ分子ポンプ４０に駆動電源を
供給する。整流部１３と出力制御部１５の負側接続線に
は電流を検出する為の抵抗器１４が挿入され、片方はア
−スに他方は電流検出回路２６へ接続され、整流部１３
の出力電圧は電圧検出回路２５へ接続されている。
【０００５】電流制御部１２は電圧制御回路２２で駆動
されるＰＷＭ制御器２１の出力信号で制御される。電圧
検出回路２５で整流部１３の出力を検出し、その検出信
号を電圧制御回路２２に出力し、電流検出回路２６は負
荷電流を検出しその検出信号を警報回路２７へ出力して
いる。アップダウンカウンタ２４は起動／停止器３０か
らの起動信号によりクロック信号のパルスをカウント
し、カウント値をＤ／Ａ変換回路２３に出力する。Ｄ／
Ａ変換回路２３はこのカウント値をそれに応じたアナロ
グ電圧値に変換し電圧制御回路２２へ出力する。
されるＰＷＭ制御器２１の出力信号で制御される。電圧
検出回路２５で整流部１３の出力を検出し、その検出信
号を電圧制御回路２２に出力し、電流検出回路２６は負
荷電流を検出しその検出信号を警報回路２７へ出力して
いる。アップダウンカウンタ２４は起動／停止器３０か
らの起動信号によりクロック信号のパルスをカウント
し、カウント値をＤ／Ａ変換回路２３に出力する。Ｄ／
Ａ変換回路２３はこのカウント値をそれに応じたアナロ
グ電圧値に変換し電圧制御回路２２へ出力する。
【０００６】起動／停止器３０を起動にすると、その起
動信号によりアップダウンカウンタ２４はクロック信号
をカウントアップしそのカウント値をＤ／Ａ変換回路２
３へ出力する。Ｄ／Ａ変換回路２３はカウント値に応じ
てアナログ電圧値を電圧制御回路２２へ入力する。電圧
制御回路２２は電圧検出回路２５からフィ−ドバックさ
れた電圧と照合しながらＰＷＭ制御器２１を通して電流
制御部１２の通電区間を制御し、トランス１１の出力電
圧を制御する。これにより整流部１３の出力電圧はアッ
プダウンカウンタ２４のカウント値に応じて上昇し、出
力制御部１５は該上昇する出力電圧を出力制御部１５で
３相の交流に変換し、タ−ボ分子ポンプ４０に供給し起
動する。
動信号によりアップダウンカウンタ２４はクロック信号
をカウントアップしそのカウント値をＤ／Ａ変換回路２
３へ出力する。Ｄ／Ａ変換回路２３はカウント値に応じ
てアナログ電圧値を電圧制御回路２２へ入力する。電圧
制御回路２２は電圧検出回路２５からフィ−ドバックさ
れた電圧と照合しながらＰＷＭ制御器２１を通して電流
制御部１２の通電区間を制御し、トランス１１の出力電
圧を制御する。これにより整流部１３の出力電圧はアッ
プダウンカウンタ２４のカウント値に応じて上昇し、出
力制御部１５は該上昇する出力電圧を出力制御部１５で
３相の交流に変換し、タ−ボ分子ポンプ４０に供給し起
動する。
【０００７】起動完了後、電圧制御回路２２は電圧検出
回路２５からフィ−ドバックされた電圧を一定になるよ
うにＰＷＭ制御器２１を制御し、インバ−タ出力電圧Ｖ
を定格電圧に保つ。尚、インバ−タ１０を停止する時
は、起動／停止器３０から停止信号をアップダウンカウ
ンタ２４に送り、カウントダウンすることによりインバ
−タ出力周波数をカウントダウンに伴い降下させ回生制
動にて停止する。
回路２５からフィ−ドバックされた電圧を一定になるよ
うにＰＷＭ制御器２１を制御し、インバ−タ出力電圧Ｖ
を定格電圧に保つ。尚、インバ−タ１０を停止する時
は、起動／停止器３０から停止信号をアップダウンカウ
ンタ２４に送り、カウントダウンすることによりインバ
−タ出力周波数をカウントダウンに伴い降下させ回生制
動にて停止する。
【０００８】その他に電源装置としてポンプの負荷に合
わせて無負荷時（又は軽負荷時）は定格電圧の１／２の
電圧を出力する電源装置が使用されている。
わせて無負荷時（又は軽負荷時）は定格電圧の１／２の
電圧を出力する電源装置が使用されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
一定の定格電圧を出力する電源装置を使用した場合、タ
−ボ分子ポンプ４０が無負荷時には無効電力が増加し、
その無効電流による抵抗損の熱でポンプの温度が高くな
ってしまうと云う問題がある。また、タ−ボ分子ポンプ
４０が無負荷（軽負荷）時は出力電圧を定格出力時の１
／２にする電源装置を使用した場合は負荷の状態により
出力電圧が１／２になったり、全出力（定格出力）にな
ったりする不安定な状態になることがあると云う問題が
あった。
一定の定格電圧を出力する電源装置を使用した場合、タ
−ボ分子ポンプ４０が無負荷時には無効電力が増加し、
その無効電流による抵抗損の熱でポンプの温度が高くな
ってしまうと云う問題がある。また、タ−ボ分子ポンプ
４０が無負荷（軽負荷）時は出力電圧を定格出力時の１
／２にする電源装置を使用した場合は負荷の状態により
出力電圧が１／２になったり、全出力（定格出力）にな
ったりする不安定な状態になることがあると云う問題が
あった。
【００１０】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、上記問題点を除去し、負荷により変化する負荷電流
及び、実回転数をフィ−ドバックすることにより出力電
圧を連続して制御し負荷に応じて安定した電圧電流を供
給するタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置を提供することを
目的とする。
で、上記問題点を除去し、負荷により変化する負荷電流
及び、実回転数をフィ−ドバックすることにより出力電
圧を連続して制御し負荷に応じて安定した電圧電流を供
給するタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置を提供することを
目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、図１に示すようにインバータ１０及びインバ
ータの出力電圧を検出する電圧検出回路２５を有し、電
圧検出回路２５で検出された検出出力電圧を電圧制御回
路２２及びＰＷＭ制御器２１を介してフィ−ドバックさ
せ出力電圧を制御するタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置に
おいて、タ−ボ分子ポンプ４０の回転数を検出する回転
数検出器３１を設け及び負荷電流を検出する電流検出回
路２６、検出負荷電流及び検出回転数を誤差アンプ２８
を介して電圧制御回路２２にフィ−ドバックさせ、負荷
の変動に対して常に力率＝１の近辺で運転されるように
出力電圧を自動調整することを特徴とする。
本発明は、図１に示すようにインバータ１０及びインバ
ータの出力電圧を検出する電圧検出回路２５を有し、電
圧検出回路２５で検出された検出出力電圧を電圧制御回
路２２及びＰＷＭ制御器２１を介してフィ−ドバックさ
せ出力電圧を制御するタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置に
おいて、タ−ボ分子ポンプ４０の回転数を検出する回転
数検出器３１を設け及び負荷電流を検出する電流検出回
路２６、検出負荷電流及び検出回転数を誤差アンプ２８
を介して電圧制御回路２２にフィ−ドバックさせ、負荷
の変動に対して常に力率＝１の近辺で運転されるように
出力電圧を自動調整することを特徴とする。
【００１２】
【作用】本発明では、電流検出回路２６の出力信号は誤
差アンプ２８へ入力され、誤差アンプ２８は設定値と比
較してその差信号を電圧制御回路２２へ供給すると共
に、回転数検出器３１からＦ／Ｖ変換回路２９を通して
得た実回転数信号を定格回転数と比較してその差信号を
電圧制御回路２２へ供給する。従って図２に示すように
起動完了後、負荷が軽い場合は出力電圧Ｖを下げ（図２
のｂ、ｆ）、負荷が大きい場合は出力電圧Ｖを上げる
（図２のｄ）。ポンプ負荷が徐々に増加する場合は出力
電圧Ｖは直線ｃに沿って上昇し、ポンプ負荷が徐々に減
少する場合は出力電圧Ｖは直線ｅに沿って下降し、負荷
が中間負荷であればそれに応じた点Ｐの出力電圧Ｖが出
力される。従って、従来のように不安定な状態は無くな
る。
差アンプ２８へ入力され、誤差アンプ２８は設定値と比
較してその差信号を電圧制御回路２２へ供給すると共
に、回転数検出器３１からＦ／Ｖ変換回路２９を通して
得た実回転数信号を定格回転数と比較してその差信号を
電圧制御回路２２へ供給する。従って図２に示すように
起動完了後、負荷が軽い場合は出力電圧Ｖを下げ（図２
のｂ、ｆ）、負荷が大きい場合は出力電圧Ｖを上げる
（図２のｄ）。ポンプ負荷が徐々に増加する場合は出力
電圧Ｖは直線ｃに沿って上昇し、ポンプ負荷が徐々に減
少する場合は出力電圧Ｖは直線ｅに沿って下降し、負荷
が中間負荷であればそれに応じた点Ｐの出力電圧Ｖが出
力される。従って、従来のように不安定な状態は無くな
る。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は本発明のタ−ボ分子ポンプ駆動電
源装置のブロック構成を示す図である。図示するように
本発明のタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置はインバ−タ１
０と、ＰＷＭ制御器２１、電圧制御回路２２、Ｄ／Ａ変
換回路２３、アップダウンカウンタ２４、電圧検出回路
２５、電流検出回路２６、警報回路２７、誤差アンプ２
８、Ｆ／Ｖ変換回路２９、起動／停止器３０及び回転数
検出器３１で構成される。
細に説明する。図１は本発明のタ−ボ分子ポンプ駆動電
源装置のブロック構成を示す図である。図示するように
本発明のタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置はインバ−タ１
０と、ＰＷＭ制御器２１、電圧制御回路２２、Ｄ／Ａ変
換回路２３、アップダウンカウンタ２４、電圧検出回路
２５、電流検出回路２６、警報回路２７、誤差アンプ２
８、Ｆ／Ｖ変換回路２９、起動／停止器３０及び回転数
検出器３１で構成される。
【００１４】インバ−タ１０は、トランス１１、スイッ
チング素子１２−１と抵抗器１２−２からなる電流制御
部１２、整流素子１３−１，１３−２とリアクタ１３−
３とコンデンサ１３−４からなる整流部１３、出力電流
を検出する抵抗器１４、複数（図では６）のスイッチン
グ素子１５−１からなる出力制御部１５で構成され、出
力制御部１５からタ−ボ分子ポンプ４０に駆動電源を供
給する。
チング素子１２−１と抵抗器１２−２からなる電流制御
部１２、整流素子１３−１，１３−２とリアクタ１３−
３とコンデンサ１３−４からなる整流部１３、出力電流
を検出する抵抗器１４、複数（図では６）のスイッチン
グ素子１５−１からなる出力制御部１５で構成され、出
力制御部１５からタ−ボ分子ポンプ４０に駆動電源を供
給する。
【００１５】トランス１１の１次側は、電流制御部１２
と直列に接続され整流ダイオードを介してＡＣ電源に接
続される。トランス１１の２次電圧は整流部１３で直流
電圧に変換され、該変換された直流電圧は出力制御部１
５に供給される。出力制御部１５は図示しない制御装置
によりスイッチング素子１５−１がＯＮ−ＯＦＦ制御さ
れるようになっており、該スイッチング素子１５−１の
ＯＮ−ＯＦＦ制御により、整流部１３からの直流電圧を
３相交流に変換し、タ−ボ分子ポンプ４０に供給する。
整流部１３と出力制御部１５の負側接続線には電流を検
出する為の抵抗器１４が挿入され、片方はア−スに他方
は電流検出回路２６へ接続され、整流部１３の出力電圧
は電圧検出回路２５へ接続されている。
と直列に接続され整流ダイオードを介してＡＣ電源に接
続される。トランス１１の２次電圧は整流部１３で直流
電圧に変換され、該変換された直流電圧は出力制御部１
５に供給される。出力制御部１５は図示しない制御装置
によりスイッチング素子１５−１がＯＮ−ＯＦＦ制御さ
れるようになっており、該スイッチング素子１５−１の
ＯＮ−ＯＦＦ制御により、整流部１３からの直流電圧を
３相交流に変換し、タ−ボ分子ポンプ４０に供給する。
整流部１３と出力制御部１５の負側接続線には電流を検
出する為の抵抗器１４が挿入され、片方はア−スに他方
は電流検出回路２６へ接続され、整流部１３の出力電圧
は電圧検出回路２５へ接続されている。
【００１６】電流制御部１２は電圧制御回路２２の出力
信号で駆動されるＰＷＭ制御器２１の出力信号で制御さ
れる。電圧検出回路２５は整流部１３の出力電圧を検出
し、その検出信号を電圧制御回路２２に出力する。電流
検出回路２６は抵抗器の端部電圧から整流部１３の出力
電流を検出し、その検出信号を警報回路２７と誤差アン
プ２８へ出力する。誤差アンプ２８にはＦ／Ｖ変換回路
２９の出力信号とアップダウンカウンタ２４の出力信号
とが入力されている。
信号で駆動されるＰＷＭ制御器２１の出力信号で制御さ
れる。電圧検出回路２５は整流部１３の出力電圧を検出
し、その検出信号を電圧制御回路２２に出力する。電流
検出回路２６は抵抗器の端部電圧から整流部１３の出力
電流を検出し、その検出信号を警報回路２７と誤差アン
プ２８へ出力する。誤差アンプ２８にはＦ／Ｖ変換回路
２９の出力信号とアップダウンカウンタ２４の出力信号
とが入力されている。
【００１７】Ｆ／Ｖ変換回路２９にはターボ分子ポンプ
４０の回転数を検出する回転数検出器３１の検出出力が
入力されており、Ｆ／Ｖ変換回路２９は該回転数検出器
３１で検出された実回転数の検出信号を電圧値に変換
し、誤差アンプ２８に出力する。誤差アンプ２８は設定
値と整流部１３の出力電流を比較してその差信号を電圧
制御回路２２へ供給すると共に、Ｆ／Ｖ変換回路２９か
らのターボ分子ポンプ４０の実回転数の検出信号とター
ボ分子ポンプ４０の定格回転数と比較し、その差信号を
電圧制御回路２２へ供給する。
４０の回転数を検出する回転数検出器３１の検出出力が
入力されており、Ｆ／Ｖ変換回路２９は該回転数検出器
３１で検出された実回転数の検出信号を電圧値に変換
し、誤差アンプ２８に出力する。誤差アンプ２８は設定
値と整流部１３の出力電流を比較してその差信号を電圧
制御回路２２へ供給すると共に、Ｆ／Ｖ変換回路２９か
らのターボ分子ポンプ４０の実回転数の検出信号とター
ボ分子ポンプ４０の定格回転数と比較し、その差信号を
電圧制御回路２２へ供給する。
【００１８】アップダウンカウンタ２４は起動／停止器
３０の出力信号により、クロック信号をカウントし、カ
ウント値をＤ／Ａ変換回路２３に出力し、Ｄ／Ａ変換回
路２３はこのカウント値をアナログ電圧信号に変換し電
圧制御回路２２へ入力する。また、起動／停止器３０に
よる起動時の一定時間内はアップダウンカウンタ２４か
ら、誤差アンプ２８への出力信号はなく、誤差アンプの
出力は停止されている。
３０の出力信号により、クロック信号をカウントし、カ
ウント値をＤ／Ａ変換回路２３に出力し、Ｄ／Ａ変換回
路２３はこのカウント値をアナログ電圧信号に変換し電
圧制御回路２２へ入力する。また、起動／停止器３０に
よる起動時の一定時間内はアップダウンカウンタ２４か
ら、誤差アンプ２８への出力信号はなく、誤差アンプの
出力は停止されている。
【００１９】次に、上記構成のタ−ボ分子ポンプ駆動電
源装置の起動時の動作を説明する。起動／停止器３０か
ら起動出力信号により、アップダウンカウンタ２４はク
ロック信号を所定時間カウントアップし、そのカウント
値をＤ／Ａ変換回路２３へ出力する。Ｄ／Ａ変換回路２
３はカウント値をそれに応じてアナログ電圧信号に変換
し、電圧制御回路２２へ出力する。電圧制御回路２２は
該アナログ電圧信号を電圧検出回路２５からの電圧検出
信号と照合しながらＰＷＭ制御器２１を通して電流制御
部１２の通電区間を制御し、トランス１１の出力電圧を
制御する。
源装置の起動時の動作を説明する。起動／停止器３０か
ら起動出力信号により、アップダウンカウンタ２４はク
ロック信号を所定時間カウントアップし、そのカウント
値をＤ／Ａ変換回路２３へ出力する。Ｄ／Ａ変換回路２
３はカウント値をそれに応じてアナログ電圧信号に変換
し、電圧制御回路２２へ出力する。電圧制御回路２２は
該アナログ電圧信号を電圧検出回路２５からの電圧検出
信号と照合しながらＰＷＭ制御器２１を通して電流制御
部１２の通電区間を制御し、トランス１１の出力電圧を
制御する。
【００２０】これにより整流部１３の出力電圧はアップ
ダウンカウンタ２４のカウント値の上昇と共に上昇し、
この上昇する直流出力電圧が出力制御部１５を通じて３
相の交流に変換され、タ−ボ分子ポンプ４０を起動す
る。図２は整流部１３の直流出力電圧特性を示す図であ
る。上記起動時の一定時間内はアップダウンカウンタ２
４から誤差アンプ２８への出力信号は無く、誤差アンプ
２８の出力は停止されているから、電源起動時には整流
部１３の出力電圧であるインバ−タ出力電圧Ｖは図２の
直線ａに沿って上昇する。この間、インバ−タ１０はＶ
ＶＶＦ（可変電圧＆可変周波数）で動作する。
ダウンカウンタ２４のカウント値の上昇と共に上昇し、
この上昇する直流出力電圧が出力制御部１５を通じて３
相の交流に変換され、タ−ボ分子ポンプ４０を起動す
る。図２は整流部１３の直流出力電圧特性を示す図であ
る。上記起動時の一定時間内はアップダウンカウンタ２
４から誤差アンプ２８への出力信号は無く、誤差アンプ
２８の出力は停止されているから、電源起動時には整流
部１３の出力電圧であるインバ−タ出力電圧Ｖは図２の
直線ａに沿って上昇する。この間、インバ−タ１０はＶ
ＶＶＦ（可変電圧＆可変周波数）で動作する。
【００２１】一定時間が経過するとアップダウンカウン
タ２４の値が一定値になり、同時にアップダウンカウン
タ２４から出力信号が誤差アンプ２８に出力され、誤差
アンプ２８は動作し、電流検出回路２６からの負荷電流
をフィ−ドバックさせると共に、ターボ分子ポンプの実
回転数が入力され定格回転数と比較されその差分を電圧
制御回路２２へフィ−ドバックさせる。
タ２４の値が一定値になり、同時にアップダウンカウン
タ２４から出力信号が誤差アンプ２８に出力され、誤差
アンプ２８は動作し、電流検出回路２６からの負荷電流
をフィ−ドバックさせると共に、ターボ分子ポンプの実
回転数が入力され定格回転数と比較されその差分を電圧
制御回路２２へフィ−ドバックさせる。
【００２２】次にタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置の運転
時の動作を説明する。インバ−タ１０は定格周波数を出
力するように運転される。タ−ボ分子ポンプ４０の負荷
が軽い場合は無効電力が増加し、電流が増加するので電
圧制御回路２２は誤差アンプ２８からの信号でインバ−
タ出力電圧Ｖを下げるように動作し、負荷の増加／減少
に従って電圧を上昇／下降させる。従って、図２に示す
ように、起動完了後、負荷が軽い場合は整流部１３の出
力電圧Ｖを下げ（図２のｂ、ｆ）、負荷が大きい場合は
整流部１３の出力電圧Ｖを上げる（図２のｄ）。
時の動作を説明する。インバ−タ１０は定格周波数を出
力するように運転される。タ−ボ分子ポンプ４０の負荷
が軽い場合は無効電力が増加し、電流が増加するので電
圧制御回路２２は誤差アンプ２８からの信号でインバ−
タ出力電圧Ｖを下げるように動作し、負荷の増加／減少
に従って電圧を上昇／下降させる。従って、図２に示す
ように、起動完了後、負荷が軽い場合は整流部１３の出
力電圧Ｖを下げ（図２のｂ、ｆ）、負荷が大きい場合は
整流部１３の出力電圧Ｖを上げる（図２のｄ）。
【００２３】ポンプ負荷が徐々に増加する場合は整流部
１３の出力電圧Ｖは直線ｃに沿って上昇し、ポンプ負荷
が徐々に減少する場合は整流部１３の出力電圧Ｖは直線
ｅに沿って下降し、負荷が中間負荷であればそれに応じ
た点Ｐの整流部１３の出力電圧Ｖが出力される。尚、イ
ンバ−タ１０を停止する時は、起動／停止器３０で停止
信号をアップダウンカウンタ２４に送り、該アップダウ
ンカウンタ２４でカウントダウンすることにより、イン
バータ出力周波数をカウントダウンに伴い降下させて回
生制動にて停止する。
１３の出力電圧Ｖは直線ｃに沿って上昇し、ポンプ負荷
が徐々に減少する場合は整流部１３の出力電圧Ｖは直線
ｅに沿って下降し、負荷が中間負荷であればそれに応じ
た点Ｐの整流部１３の出力電圧Ｖが出力される。尚、イ
ンバ−タ１０を停止する時は、起動／停止器３０で停止
信号をアップダウンカウンタ２４に送り、該アップダウ
ンカウンタ２４でカウントダウンすることにより、イン
バータ出力周波数をカウントダウンに伴い降下させて回
生制動にて停止する。
【００２４】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明によ
れば、下記のような優れた効果が期待される。本発明は
電流検出手段から負荷電流及び、回転数検出手段からタ
−ボ分子ポンプの回転数をフィ−ドバックさせて出力電
圧を調整し、負荷の変動に対して常に力率＝１の近辺で
運転するように出力電圧を自動調整するから、負荷の変
動に対して出力電圧は連続的に安定して制御され、電流
も最小限に抑えられ無効な電流による温度上昇も抑えら
れる。
れば、下記のような優れた効果が期待される。本発明は
電流検出手段から負荷電流及び、回転数検出手段からタ
−ボ分子ポンプの回転数をフィ−ドバックさせて出力電
圧を調整し、負荷の変動に対して常に力率＝１の近辺で
運転するように出力電圧を自動調整するから、負荷の変
動に対して出力電圧は連続的に安定して制御され、電流
も最小限に抑えられ無効な電流による温度上昇も抑えら
れる。
【図１】本発明のタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置のブロ
ック構成を示す図である。
ック構成を示す図である。
【図２】本発明のタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置の出力
電圧特性を示す図である。
電圧特性を示す図である。
【図３】従来のタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置のブロッ
ク構成例を示す図である。
ク構成例を示す図である。
１０ インバ−タ １１ トランス １２ 電流制御部 １２−１ スイッチング素子 １２−２ 抵抗器 １３ 整流部 １３−１ 整流器 １３−２ 整流器 １３−３ リアクタ １３−４ コンデンサ １４ 抵抗器 １５ 出力制御部 １５−１ スイッチング素子 ２１ ＰＷＭ制御器 ２２ 電圧制御回路 ２３ Ｄ／Ａ変換回路 ２４ アップダウンカウンタ ２５ 電圧検出回路 ２６ 電流検出回路 ２７ 警報回路 ２８ 誤差アンプ ２９ Ｆ／Ｖ変換回路 ３０ 起動／停止器 ３１ 回転数検出器 ４０ タ−ボ分子ポンプ
Claims (1)
- 【請求項１】 インバータ及びインバータの出力電圧を
検出する電圧検出手段を有し、前記電圧検出手段で検出
された検出出力電圧をフィ−ドバックさせ出力電圧を制
御する電圧制御手段を具備するタ−ボ分子ポンプ駆動電
源装置において、 タ−ボ分子ポンプの回転数を検出する回転数検出手段を
設け及び負荷電流を検出する電流検出手段、前記電圧制
御手段へ検出負荷電流及び検出回転数をフィ−ドバック
させる調整手段を設け、 調整手段は負荷の変動に対して常に力率＝１の近辺で運
転されるように出力電圧を自動調整することを特徴とす
るタ−ボ分子ポンプ駆動電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34542293A JP3196095B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | ターボ分子ポンプ駆動電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34542293A JP3196095B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | ターボ分子ポンプ駆動電源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07177785A true JPH07177785A (ja) | 1995-07-14 |
| JP3196095B2 JP3196095B2 (ja) | 2001-08-06 |
Family
ID=18376498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34542293A Expired - Lifetime JP3196095B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | ターボ分子ポンプ駆動電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3196095B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102278320A (zh) * | 2010-06-08 | 2011-12-14 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | 质谱用涡轮分子泵控制电路 |
| JP2012010499A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ用モータ駆動装置およびポンプシステム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58175989A (ja) * | 1982-04-05 | 1983-10-15 | Mitsubishi Electric Corp | インバ−タ装置 |
| JPH02215996A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-28 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ駆動電源装置 |
-
1993
- 1993-12-20 JP JP34542293A patent/JP3196095B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58175989A (ja) * | 1982-04-05 | 1983-10-15 | Mitsubishi Electric Corp | インバ−タ装置 |
| JPH02215996A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-28 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ駆動電源装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102278320A (zh) * | 2010-06-08 | 2011-12-14 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | 质谱用涡轮分子泵控制电路 |
| JP2012010499A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ用モータ駆動装置およびポンプシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3196095B2 (ja) | 2001-08-06 |
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