JPH07167017A - 有孔装置 - Google Patents
有孔装置Info
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- JPH07167017A JPH07167017A JP6239145A JP23914594A JPH07167017A JP H07167017 A JPH07167017 A JP H07167017A JP 6239145 A JP6239145 A JP 6239145A JP 23914594 A JP23914594 A JP 23914594A JP H07167017 A JPH07167017 A JP H07167017A
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- Japan
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- hole
- perforated device
- side wall
- air channel
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M61/00—Fuel-injectors not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00
- F02M61/16—Details not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M61/02 - F02M61/14
- F02M61/18—Injection nozzles, e.g. having valve seats; Details of valve member seated ends, not otherwise provided for
- F02M61/1853—Orifice plates
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M61/00—Fuel-injectors not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00
- F02M61/16—Details not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M61/02 - F02M61/14
- F02M61/168—Assembling; Disassembling; Manufacturing; Adjusting
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M69/00—Low-pressure fuel-injection apparatus ; Apparatus with both continuous and intermittent injection; Apparatus injecting different types of fuel
- F02M69/04—Injectors peculiar thereto
- F02M69/047—Injectors peculiar thereto injectors with air chambers, e.g. communicating with atmosphere for aerating the nozzles
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15D—FLUID DYNAMICS, i.e. METHODS OR MEANS FOR INFLUENCING THE FLOW OF GASES OR LIQUIDS
- F15D1/00—Influencing flow of fluids
- F15D1/08—Influencing flow of fluids of jets leaving an orifice
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
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- Fluid Mechanics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
- Nozzles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 シリコン板から成る有孔装置を用いた液体の
噴霧に対する流動特性を最適化する。 【構成】 有孔装置は上方のシリコン板２と下方のシリ
コン板３により構成されている。上方のシリコン板２の
噴射孔４を通して液体を噴射することができる。下方の
シリコン板３には凹入部が設けられており、これらの凹
入部によりエアチャネル８が形成される。エアチャネル
８を所定のように配置することにより、噴射孔４を通っ
て貫流する液体流の噴霧ならびに噴射角度を制御可能で
ある。
噴霧に対する流動特性を最適化する。 【構成】 有孔装置は上方のシリコン板２と下方のシリ
コン板３により構成されている。上方のシリコン板２の
噴射孔４を通して液体を噴射することができる。下方の
シリコン板３には凹入部が設けられており、これらの凹
入部によりエアチャネル８が形成される。エアチャネル
８を所定のように配置することにより、噴射孔４を通っ
て貫流する液体流の噴霧ならびに噴射角度を制御可能で
ある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、上方および下方の単結
晶シリコン板を備えた有孔装置に関する。この場合、上
方のシリコン板は噴射孔を有し、下方のシリコン板は貫
通孔を有し、上方のシリコン板と下方のシリコン板は互
いに結合されており、上方のシリコン板に対向している
下方のシリコン板の表面に凹入部が設けられており、該
凹入部は、貫通孔から下方のシリコン板の外周部まで延
在してエアチャネルを形成するように構成されている。
晶シリコン板を備えた有孔装置に関する。この場合、上
方のシリコン板は噴射孔を有し、下方のシリコン板は貫
通孔を有し、上方のシリコン板と下方のシリコン板は互
いに結合されており、上方のシリコン板に対向している
下方のシリコン板の表面に凹入部が設けられており、該
凹入部は、貫通孔から下方のシリコン板の外周部まで延
在してエアチャネルを形成するように構成されている。
【０００２】
【従来の技術】ドイツ連邦共和国特許出願公開第４１１
２１５０号公報によれば、単結晶のシリコンから成る上
方および下方のシリコン板を有する有孔装置がすでに知
られている。上方のシリコン板には４つの噴射孔が設け
られており、下方のシリコン板には１つの共通の大きな
貫通孔が組み込まれている。下方のシリコン板には、上
記の貫通孔から下方のシリコン板外周部まで達する凹入
部が組み込まれており、これによりエアチャネルが形成
されている。この種の有孔装置は有利には噴射ノズルに
利用でき、これは噴射開口部を通して液体流を案内しエ
アチャネルを介して気体流を導入する場合である。気体
流によって液体流の噴霧が改善される。ドイツ連邦共和
国特許出願第４２３３７０３号により、この種の有孔装
置の下方のシリコン板を加工するための低コストの方法
が公知である。その際にこの加工は、下方のシリコン板
の両面から同時に化学的にエッチングすることによって
行われる。
２１５０号公報によれば、単結晶のシリコンから成る上
方および下方のシリコン板を有する有孔装置がすでに知
られている。上方のシリコン板には４つの噴射孔が設け
られており、下方のシリコン板には１つの共通の大きな
貫通孔が組み込まれている。下方のシリコン板には、上
記の貫通孔から下方のシリコン板外周部まで達する凹入
部が組み込まれており、これによりエアチャネルが形成
されている。この種の有孔装置は有利には噴射ノズルに
利用でき、これは噴射開口部を通して液体流を案内しエ
アチャネルを介して気体流を導入する場合である。気体
流によって液体流の噴霧が改善される。ドイツ連邦共和
国特許出願第４２３３７０３号により、この種の有孔装
置の下方のシリコン板を加工するための低コストの方法
が公知である。その際にこの加工は、下方のシリコン板
の両面から同時に化学的にエッチングすることによって
行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、有孔
装置を用いた液体の噴霧に対する流動特性を最適化する
ことにある。
装置を用いた液体の噴霧に対する流動特性を最適化する
ことにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段および利点】本発明によれ
ばこの課題は、請求項１または請求項１０に記載の特徴
を有する構成により解決される。
ばこの課題は、請求項１または請求項１０に記載の特徴
を有する構成により解決される。
【０００５】それぞれ１つの噴射孔と１つの貫通孔とを
対応づけることにより、有孔装置を用いた液体の噴霧に
対する流動特性を最適化することができる。
対応づけることにより、有孔装置を用いた液体の噴霧に
対する流動特性を最適化することができる。
【０００６】従属請求項に記載された構成により、請求
項１に記載の有孔装置の有利な実施形態が可能である。
この場合、下方のシリコン板を同時に２面にわたって加
工できるように貫通孔の側壁を構成することは、製造コ
ストを低減できる理由から殊に有利である。有利な配置
構成として４つの噴射孔を前提としており、その理由
は、このようにして各貫通孔に２つの側からエアチャネ
ルを連通させることができるからである。その際、上方
のシリコン板と下方のシリコン板との間における十字形
の結合面により、両方の基板間の結合面を大きく保持す
ることができ、したがって機械的な強度を改善できる。
貫通孔の側壁に対して平行な側壁を有するエアチャネル
の実施形態の場合、貫通孔のための製造プロセスを同様
にエアチャネルのためにも利用できる。各貫通孔に対し
２つのエアチャネルを設けた配置構成により、噴射孔か
ら噴射される液体の噴射角度がいっそう小さい噴射角度
の方向へと制御されるようになる。噴射角度の同様の低
減は、貫通孔の外側の角にそれぞれ１つのエアチャネル
を設けた配置構成により達成される。エアチャネルをそ
れぞれ貫通孔の周縁領域に設けた配置構成により、４つ
の噴射孔を通って流入する液体噴射流にねじれが加えら
れ、これによって液体の水滴の大きさと噴射角度との間
における有利な妥協点が得られる。４つのエアチャネル
を設け、各貫通孔が互いに対向する２つの角で１つのエ
アチャネルと連通されているようにした配置構成によ
り、噴射孔を通って噴射される液体の噴霧が著しく良好
になる。その際、このような小さい水滴直径が噴射直後
にすでに形成されていると殊に有利である。小さい水滴
直径は、それぞれ２つのエアチャネルが対向する角に配
属されている貫通孔によっても達成される。
項１に記載の有孔装置の有利な実施形態が可能である。
この場合、下方のシリコン板を同時に２面にわたって加
工できるように貫通孔の側壁を構成することは、製造コ
ストを低減できる理由から殊に有利である。有利な配置
構成として４つの噴射孔を前提としており、その理由
は、このようにして各貫通孔に２つの側からエアチャネ
ルを連通させることができるからである。その際、上方
のシリコン板と下方のシリコン板との間における十字形
の結合面により、両方の基板間の結合面を大きく保持す
ることができ、したがって機械的な強度を改善できる。
貫通孔の側壁に対して平行な側壁を有するエアチャネル
の実施形態の場合、貫通孔のための製造プロセスを同様
にエアチャネルのためにも利用できる。各貫通孔に対し
２つのエアチャネルを設けた配置構成により、噴射孔か
ら噴射される液体の噴射角度がいっそう小さい噴射角度
の方向へと制御されるようになる。噴射角度の同様の低
減は、貫通孔の外側の角にそれぞれ１つのエアチャネル
を設けた配置構成により達成される。エアチャネルをそ
れぞれ貫通孔の周縁領域に設けた配置構成により、４つ
の噴射孔を通って流入する液体噴射流にねじれが加えら
れ、これによって液体の水滴の大きさと噴射角度との間
における有利な妥協点が得られる。４つのエアチャネル
を設け、各貫通孔が互いに対向する２つの角で１つのエ
アチャネルと連通されているようにした配置構成によ
り、噴射孔を通って噴射される液体の噴霧が著しく良好
になる。その際、このような小さい水滴直径が噴射直後
にすでに形成されていると殊に有利である。小さい水滴
直径は、それぞれ２つのエアチャネルが対向する角に配
属されている貫通孔によっても達成される。
【０００７】図面には本発明の実施例が示されており、
次にそれらの実施例について詳細に説明する。
次にそれらの実施例について詳細に説明する。
【０００８】
【実施例の説明】図１および図２には、本発明の第１の
実施例が示されている。図１には、有孔装置１を図２の
ラインＩ−Ｉにしたがって下方から見た底面図が示され
ている。図２には、図１のラインＩＩ−ＩＩに沿って切
断した有孔装置１の横断面図が示されている。この有孔
装置１は、上方のシリコン板２と下方のシリコン板３に
より構成されている。上方のシリコン板２には４つの噴
射孔４が設けられている。下方のシリコン板３は４つの
貫通孔５を有しており、この場合、それぞれ１つの貫通
孔５は１つの噴射孔４に対応づけられている。下方のシ
リコン板３はさらに、各貫通孔５を有孔装置１の外周部
７と連通するエアチャネル８が形成されるように構成さ
れている。図１に示されているように、各貫通孔５には
２つのエアチャネル８が配属されており、これらのエア
チャネルはそれぞれ貫通孔５の外側の面に連通してい
る。各貫通孔５はそれぞれ上方の側壁９と下方の側壁１
０を有している。これらの側壁９，１０はそれぞれ、互
いに約１０８゜の角度を成している。
実施例が示されている。図１には、有孔装置１を図２の
ラインＩ−Ｉにしたがって下方から見た底面図が示され
ている。図２には、図１のラインＩＩ−ＩＩに沿って切
断した有孔装置１の横断面図が示されている。この有孔
装置１は、上方のシリコン板２と下方のシリコン板３に
より構成されている。上方のシリコン板２には４つの噴
射孔４が設けられている。下方のシリコン板３は４つの
貫通孔５を有しており、この場合、それぞれ１つの貫通
孔５は１つの噴射孔４に対応づけられている。下方のシ
リコン板３はさらに、各貫通孔５を有孔装置１の外周部
７と連通するエアチャネル８が形成されるように構成さ
れている。図１に示されているように、各貫通孔５には
２つのエアチャネル８が配属されており、これらのエア
チャネルはそれぞれ貫通孔５の外側の面に連通してい
る。各貫通孔５はそれぞれ上方の側壁９と下方の側壁１
０を有している。これらの側壁９，１０はそれぞれ、互
いに約１０８゜の角度を成している。
【０００９】上方のシリコン板２における噴射孔４はそ
れぞれ、台形状の横断面を有している。このような凹入
部は、１００−配向のシリコンでの異方性のシリコンエ
ッチングによって著しく簡単に達成できる。その際、噴
射孔４の側壁は、シリコン単結晶の１１１−結晶面によ
り形成される。この場合、噴射孔４の側壁は、上方のシ
リコン板２の表面に対し約５４゜の角度を有する。下方
のシリコン板３を形成するための製造方法は、ドイツ連
邦共和国特許出願第４２３３７０３号明細書に詳細に記
載されている。下方のシリコン板３の両面を同時に処理
することで、それぞれシリコン単結晶の１１１−結晶面
により形成される側壁９，１０が生成される。この場
合、これらの側壁９，１０はそれぞれ、１００−配向の
下方のシリコン板３の表面に対し約５４゜の角度を有す
る。このような配置構成であるため、側壁９，１０は互
いに約１０８゜の角度を有する。
れぞれ、台形状の横断面を有している。このような凹入
部は、１００−配向のシリコンでの異方性のシリコンエ
ッチングによって著しく簡単に達成できる。その際、噴
射孔４の側壁は、シリコン単結晶の１１１−結晶面によ
り形成される。この場合、噴射孔４の側壁は、上方のシ
リコン板２の表面に対し約５４゜の角度を有する。下方
のシリコン板３を形成するための製造方法は、ドイツ連
邦共和国特許出願第４２３３７０３号明細書に詳細に記
載されている。下方のシリコン板３の両面を同時に処理
することで、それぞれシリコン単結晶の１１１−結晶面
により形成される側壁９，１０が生成される。この場
合、これらの側壁９，１０はそれぞれ、１００−配向の
下方のシリコン板３の表面に対し約５４゜の角度を有す
る。このような配置構成であるため、側壁９，１０は互
いに約１０８゜の角度を有する。
【００１０】図３には、図２のラインＩＩＩ−ＩＩＩに
沿ってみた下方のシリコン板３の平面図が示されてい
る。図４には、下方のシリコン板３の斜視図が示されて
いる。これらの図からわかるように、下方のシリコン板
３に凹入部６が設けられており、これらの凹入部はそれ
ぞれ貫通孔５からシリコン板３の外周部７に達してい
る。この場合、各凹入部６は、それぞれ貫通孔５の上方
の側壁１０に対し平行な側壁１２を有している。凹入部
６の製造は、貫通孔５を下方のシリコン板３にエッチン
グするのと同じプロセスで行われる。下方のシリコン板
３と上方のシリコン板２とを結合することにより、エア
チャネル８が生じるようにして凹入部６が密閉される。
各貫通孔５の間に十字形の結合領域１１が残されてお
り、この結合領域により下方のシリコン板３も上方のシ
リコン板２と結合される。各貫通孔５の間にもあるこの
結合領域１１により、両方のシリコン板２，３の間で機
械的に著しく堅牢な結合が得られる。
沿ってみた下方のシリコン板３の平面図が示されてい
る。図４には、下方のシリコン板３の斜視図が示されて
いる。これらの図からわかるように、下方のシリコン板
３に凹入部６が設けられており、これらの凹入部はそれ
ぞれ貫通孔５からシリコン板３の外周部７に達してい
る。この場合、各凹入部６は、それぞれ貫通孔５の上方
の側壁１０に対し平行な側壁１２を有している。凹入部
６の製造は、貫通孔５を下方のシリコン板３にエッチン
グするのと同じプロセスで行われる。下方のシリコン板
３と上方のシリコン板２とを結合することにより、エア
チャネル８が生じるようにして凹入部６が密閉される。
各貫通孔５の間に十字形の結合領域１１が残されてお
り、この結合領域により下方のシリコン板３も上方のシ
リコン板２と結合される。各貫通孔５の間にもあるこの
結合領域１１により、両方のシリコン板２，３の間で機
械的に著しく堅牢な結合が得られる。
【００１１】図１〜４に示された有孔装置は有利には、
たとえばドイツ連邦共和国特許第４１１２１５０号明細
書に記載されているように、液体の噴射および噴霧に利
用できる。この場合、噴射開口部４を通して液体たとえ
ばガソリンが噴射され、これはエアチャネル８を介して
吹き込まれるか吸い込まれる空気流により微細に噴霧さ
れる。その際、流出する液体の噴射角度と噴霧により生
じる水滴の大きさを制御できることが望ましい。この場
合、噴射角度をそのつど組み込み場所の幾何学的条件に
整合させる必要がある。噴霧のためには、著しく小さい
水滴直径が有利である。複数のエアチャネル８を備えた
１つの貫通孔５が各噴射孔４に対応づけられていれば、
これら両方のパラメータを著しく良好に制御できる。図
１〜４に示された装置構成であればエアチャネル８によ
り、良好な噴霧も保証されるし、４つの噴射孔４を通っ
て流入する液体流の圧縮つまり噴射角度の低減も得られ
る。
たとえばドイツ連邦共和国特許第４１１２１５０号明細
書に記載されているように、液体の噴射および噴霧に利
用できる。この場合、噴射開口部４を通して液体たとえ
ばガソリンが噴射され、これはエアチャネル８を介して
吹き込まれるか吸い込まれる空気流により微細に噴霧さ
れる。その際、流出する液体の噴射角度と噴霧により生
じる水滴の大きさを制御できることが望ましい。この場
合、噴射角度をそのつど組み込み場所の幾何学的条件に
整合させる必要がある。噴霧のためには、著しく小さい
水滴直径が有利である。複数のエアチャネル８を備えた
１つの貫通孔５が各噴射孔４に対応づけられていれば、
これら両方のパラメータを著しく良好に制御できる。図
１〜４に示された装置構成であればエアチャネル８によ
り、良好な噴霧も保証されるし、４つの噴射孔４を通っ
て流入する液体流の圧縮つまり噴射角度の低減も得られ
る。
【００１２】図５〜１０には、下方のシリコン板３に関
する別の実施例が示されている。有孔装置を完成させる
ためには、図１および図２に示されているように、これ
らの下方のシリコン板３はそれぞれ１つの上方のシリコ
ン板２と結合される。これらの下方のシリコン板３の製
造は、図１〜４ないしはドイツ連邦共和国特許出願４２
３３７０３号明細書に記載されているのと同様にして行
われる。ここでも、互いに約１０８゜の角度を成す上方
と下方の側壁８，９が形成される。凹入部６の側壁１２
はやはり、貫通孔５の上方の側壁９に対し平行である。
する別の実施例が示されている。有孔装置を完成させる
ためには、図１および図２に示されているように、これ
らの下方のシリコン板３はそれぞれ１つの上方のシリコ
ン板２と結合される。これらの下方のシリコン板３の製
造は、図１〜４ないしはドイツ連邦共和国特許出願４２
３３７０３号明細書に記載されているのと同様にして行
われる。ここでも、互いに約１０８゜の角度を成す上方
と下方の側壁８，９が形成される。凹入部６の側壁１２
はやはり、貫通孔５の上方の側壁９に対し平行である。
【００１３】図５および図６には、下方のシリコン板３
の別の実施例の平面図と横断面図が示されている。この
場合、図６における横断面は、図５のラインＶＩ−ＶＩ
に沿って切断したシリコン板３の様子に相応するもので
ある。このシリコン板３はやはり４つの貫通孔５を有し
ている。さらに、ここに示されている下方のシリコン板
３はやはり凹入部６を有しており、これらの凹入部によ
り貫通孔５がシリコン板３の外周部７と連通している。
そしてこれらの凹入部６によりやはりエアチャネル８が
形成される。ここに図示されているシリコン板３の場
合、貫通孔５に対する凹入部６の配置が示されており、
この配置により、噴射孔４を通って貫流する液体流に対
し非対称に当たるエアチャネル８が形成される。この構
成により、噴射孔４を通って流入する液体のいかなる流
れにも所定のねじれが加わり、その結果、４つの流体の
流れは所定の範囲内で互いに渦を生じさせるようにな
る。そしてこのような配置構成によって、良好な噴霧が
同時に小さな噴射角度で生じる。凹入部６はここでは、
これらの凹入部６の側壁１２が貫通孔５の側壁９と整列
されているように描かれている。しかしながら同様に良
好には、流入する液体流にねじれが加わるように、エア
チャネル８が噴射孔４に対しずらされて設けられている
ような配置構成も考えられる。
の別の実施例の平面図と横断面図が示されている。この
場合、図６における横断面は、図５のラインＶＩ−ＶＩ
に沿って切断したシリコン板３の様子に相応するもので
ある。このシリコン板３はやはり４つの貫通孔５を有し
ている。さらに、ここに示されている下方のシリコン板
３はやはり凹入部６を有しており、これらの凹入部によ
り貫通孔５がシリコン板３の外周部７と連通している。
そしてこれらの凹入部６によりやはりエアチャネル８が
形成される。ここに図示されているシリコン板３の場
合、貫通孔５に対する凹入部６の配置が示されており、
この配置により、噴射孔４を通って貫流する液体流に対
し非対称に当たるエアチャネル８が形成される。この構
成により、噴射孔４を通って流入する液体のいかなる流
れにも所定のねじれが加わり、その結果、４つの流体の
流れは所定の範囲内で互いに渦を生じさせるようにな
る。そしてこのような配置構成によって、良好な噴霧が
同時に小さな噴射角度で生じる。凹入部６はここでは、
これらの凹入部６の側壁１２が貫通孔５の側壁９と整列
されているように描かれている。しかしながら同様に良
好には、流入する液体流にねじれが加わるように、エア
チャネル８が噴射孔４に対しずらされて設けられている
ような配置構成も考えられる。
【００１４】図７および図８には、下方のシリコン板３
に関するさらに別の実施例が示されている。図７にはシ
リコン板３の平面図が示されており、図８にはラインＶ
ＩＩＩ−ＶＩＩＩに沿って切断した平面図が示されてい
る。このシリコン板３には、それぞれ１つの角が貫通孔
５と接触している凹入部６が設けられている。これらの
凹入部６により、貫通孔５の角にそれぞれ空気流を流す
エアチャネル８が形成される。このようにして、４つの
噴射孔４を通って流入する液体流が空気流により圧縮さ
れる。したがってこのような配置構成により、これらの
液体流の噴射角度を著しく小さくすることができる。凹
入部６の側壁１２はやはり、貫通孔５の上方の側壁９に
対し平行である。このシリコン板３の製造も、図１〜４
に示されているようにして行われる。
に関するさらに別の実施例が示されている。図７にはシ
リコン板３の平面図が示されており、図８にはラインＶ
ＩＩＩ−ＶＩＩＩに沿って切断した平面図が示されてい
る。このシリコン板３には、それぞれ１つの角が貫通孔
５と接触している凹入部６が設けられている。これらの
凹入部６により、貫通孔５の角にそれぞれ空気流を流す
エアチャネル８が形成される。このようにして、４つの
噴射孔４を通って流入する液体流が空気流により圧縮さ
れる。したがってこのような配置構成により、これらの
液体流の噴射角度を著しく小さくすることができる。凹
入部６の側壁１２はやはり、貫通孔５の上方の側壁９に
対し平行である。このシリコン板３の製造も、図１〜４
に示されているようにして行われる。
【００１５】図９および図１０には、シリコン板３に関
するさらに別の実施例が示されている。このシリコン板
３にも凹入部６が設けられており、これらの凹入部によ
り貫通凹入部５がシリコン板３の外周部７と連通されて
いる。そしてこれらの凹入部６により、貫通孔５の互い
に対向する角にそれぞれ空気流を流入させるエアチャネ
ル８が形成される。このため、流入する両方の空気流は
ほぼ互いに対向するように配向されている。空気流が互
いに対向するようにした２つのエアチャネルによるこの
配置構成により、噴射孔４を通って流入する液体の噴霧
が著しく良好になる。正方形に配置された４つの貫通孔
５による４つの噴射孔４のためのここに図示されている
配置構成の場合、これは設計の点からみて、それぞれ２
つの貫通孔５をシリコン板３の外周部７と連通させる凹
入部６を設けることによって、著しく簡単に達成され
る。このようにして貫通孔５の各々に著しく簡単に、こ
こに示されている正方形の貫通孔５の互いに対向する角
に位置する２つのエアチャネル８が設けられる。この場
合にやはり著しく有利であるのは、良好な噴霧−つまり
液体の水滴が小さく形成されること−が、すでにそのま
ま貫通孔５内に生じることであり、液体流のその後の経
過においてはじめて生じるのではないことである。噴射
孔４を通って流入する液体流の両側から作用する２つの
エアチャネル８が設けられているならば、常にこのよう
な良好な噴霧が得られる。したがって、図９と図１０に
示した噴射孔４と４つの噴射孔のためのエアチャネル８
による配置構成は、複数の噴射孔の別の配置構成につい
ても、あるいはただ１つの噴射孔による配置構成につい
ても同様に考えられる。
するさらに別の実施例が示されている。このシリコン板
３にも凹入部６が設けられており、これらの凹入部によ
り貫通凹入部５がシリコン板３の外周部７と連通されて
いる。そしてこれらの凹入部６により、貫通孔５の互い
に対向する角にそれぞれ空気流を流入させるエアチャネ
ル８が形成される。このため、流入する両方の空気流は
ほぼ互いに対向するように配向されている。空気流が互
いに対向するようにした２つのエアチャネルによるこの
配置構成により、噴射孔４を通って流入する液体の噴霧
が著しく良好になる。正方形に配置された４つの貫通孔
５による４つの噴射孔４のためのここに図示されている
配置構成の場合、これは設計の点からみて、それぞれ２
つの貫通孔５をシリコン板３の外周部７と連通させる凹
入部６を設けることによって、著しく簡単に達成され
る。このようにして貫通孔５の各々に著しく簡単に、こ
こに示されている正方形の貫通孔５の互いに対向する角
に位置する２つのエアチャネル８が設けられる。この場
合にやはり著しく有利であるのは、良好な噴霧−つまり
液体の水滴が小さく形成されること−が、すでにそのま
ま貫通孔５内に生じることであり、液体流のその後の経
過においてはじめて生じるのではないことである。噴射
孔４を通って流入する液体流の両側から作用する２つの
エアチャネル８が設けられているならば、常にこのよう
な良好な噴霧が得られる。したがって、図９と図１０に
示した噴射孔４と４つの噴射孔のためのエアチャネル８
による配置構成は、複数の噴射孔の別の配置構成につい
ても、あるいはただ１つの噴射孔による配置構成につい
ても同様に考えられる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、それぞれ１つの噴射孔
と１つの貫通孔とを対応づけることにより、有孔装置を
用いた液体の噴霧に対する流動特性を最適化することが
できる。
と１つの貫通孔とを対応づけることにより、有孔装置を
用いた液体の噴霧に対する流動特性を最適化することが
できる。
【図１】本発明による有孔装置の第１の実施例を下方か
ら見た図である。
ら見た図である。
【図２】図１による有孔装置の横断面図である。
【図３】図１による有孔装置の下方のシリコン板の平面
図である。
図である。
【図４】図３による下方のシリコン板の斜視図である。
【図５】別の実施例による下方のシリコン板の平面図で
ある。
ある。
【図６】別の実施例による下方のシリコン板の横断面図
である。
である。
【図７】さらに別の実施例による下方のシリコン板の平
面図である。
面図である。
【図８】さらに別の実施例による下方のシリコン板の横
断面図である。
断面図である。
【図９】別の実施例による下方のシリコン板の平面図で
ある。
ある。
【図１０】別の実施例による下方のシリコン板の横断面
図である。
図である。
１ 有孔装置 ２ 上方のシリコン板 ３ 下方のシリコン板 ４ 噴射孔 ５ 貫通孔 ６ 凹入部 ７ 基板外周部 ８ エアチャネル ９，１０ 貫通孔側壁 １１ 結合領域 １２ 凹入部側壁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ユルゲン ブーフホルツ ドイツ連邦共和国 ラウフェン リースリ ングシュトラーセ 11 (72)発明者 ウド ヤウアーニッヒ ドイツ連邦共和国 ロイトリンゲン グス タフ−シュヴァープ−シュトラーセ 22
Claims (10)
- 【請求項１】 上方および下方の単結晶シリコン板
（２，３）を備えた有孔装置（１）であって、上方のシ
リコン板（２）は噴射孔（４）を有し、下方のシリコン
板（３）は貫通孔（５）を有し、上方のシリコン板
（２）と下方のシリコン板（３）は互いに結合されてお
り、上方のシリコン板（２）に対向している下方のシリ
コン板（３）の表面に凹入部（６）が設けられており、
該凹入部は、貫通孔（５）から下方のシリコン板（３）
の外周部（７）まで延在してエアチャネル（８）を形成
するように構成されている有孔装置において、 複数の噴射孔（４）が設けられており、各噴射孔（４）
に１つの貫通孔（５）が対応して設けられていることを
特徴とする有孔装置。 - 【請求項２】 前記貫通孔(５)は上方の側壁(９)と下方
の側壁（１０）を有しており、前記の上方の側壁（９）
は、下方のシリコン板（３）の表面から該下方のシリコ
ン板（３）のほぼ半分の厚さの深さまで延在しており、
前記の下方の側壁（１０）は、下方のシリコン板（３）
のほぼ半分の厚さから該下方のシリコン板（３）の下方
の表面まで延在しており、前記の上方の側壁（９）と下
方の側壁（１０）は互いに約１０８゜の角度を有する、
請求項１記載の有孔装置。 - 【請求項３】 ４つの噴射孔(４)が設けられており、該
４つの噴射孔（４）は１つの正方形の角に配置されてい
る、請求項１または２記載の有孔装置。 - 【請求項４】 前記貫通孔（５）の横断面は正方形であ
り、前記の上方のシリコン板（２）と下方のシリコン板
（３）は各貫通孔（５）の間で十字形の結合面（１１）
により結合されている、請求項３記載の有孔装置。 - 【請求項５】 前記凹入部（６）は側壁（１２）を有し
ており、該側壁（１２）は前記貫通孔（５）の上方の側
壁（９）に対して平行である、請求項４記載の有孔装
置。 - 【請求項６】 各貫通孔（５）に２つのエアチャネル
（８）が配属されており、各エアチャネル（８）は前記
貫通孔（５）の１つの面に直角に連通している、請求項
５記載の有孔装置。 - 【請求項７】 各貫通孔（５）に１つのエアチャネル
（８）が配属されており、該エアチャネルは前記貫通孔
（５）の１つの角に連通している、請求項５記載の有孔
装置。 - 【請求項８】 各貫通孔（５）に１つのエアチャネル
（８）が配属されており、該エアチャネルは前記貫通孔
（５）の一方の面に直角に連通しており、該エアチャネ
ル（８）を通って流入可能な気体流は、配属された噴射
孔（４）を通って流入可能な液体流にずらされて当た
り、これにより該液体流にねじれが加えられる、請求項
５記載の有孔装置。 - 【請求項９】 ４つのエアチャネル（８）が設けられて
おり、各エアチャネル（８）はそれぞれ隣り合う２つの
貫通孔（５）の角に連通し、これにより各貫通孔（５）
は互いに対向する２つの辺で１つのエアチャネル（８）
と連通されている、請求項５記載の有孔装置。 - 【請求項１０】 上方のシリコン板（２）と下方のシリ
コン板（３）を備えた有孔装置であって、前記の上方の
シリコン板（２）に１つの噴射孔（４）が設けられてお
り、該噴射孔の下の下方のシリコン板（３）に貫通孔
（５）が設けられており、さらに少なくとも２つのエア
チャネル（８）が設けられている形式の有孔装置におい
て、 エアチャネル（８）が貫通孔（５）の互いに対向する辺
に配置されており、該エアチャネル（８）を通して、各
空気流の運動方向が互いに反対になるように空気流が流
入されることを特徴とする有孔装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4333519A DE4333519A1 (de) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | Lochkörper |
| DE4333519.5 | 1993-10-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07167017A true JPH07167017A (ja) | 1995-07-04 |
Family
ID=6499183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6239145A Pending JPH07167017A (ja) | 1993-10-01 | 1994-10-03 | 有孔装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5553789A (ja) |
| JP (1) | JPH07167017A (ja) |
| DE (1) | DE4333519A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999061785A1 (fr) * | 1998-05-22 | 1999-12-02 | Zexel Corporation | Buse d'injection hydraulique |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5860602A (en) * | 1996-12-06 | 1999-01-19 | Tilton; Charles L | Laminated array of pressure swirl atomizers |
| EP0939858B1 (de) | 1997-09-16 | 2004-04-28 | Robert Bosch Gmbh | Lochscheibe bzw. zerstäuberscheibe und einspritzventil mit einer lochscheibe bzw. zerstäuberscheibe |
| US6357677B1 (en) | 1999-10-13 | 2002-03-19 | Siemens Automotive Corporation | Fuel injection valve with multiple nozzle plates |
| US6499674B2 (en) * | 2000-12-18 | 2002-12-31 | Wei-Min Ren | Air assist fuel injector with multiple orifice plates |
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| DE10212234A1 (de) * | 2002-03-19 | 2003-10-09 | Junker Gmbh O | Vorrichtung zur gleichmäßigen Beaufschlagung einer planen Fläche eines Werkstücks mit einem erhitzten Gas |
| CN105121833B (zh) * | 2013-04-16 | 2017-07-25 | 三菱电机株式会社 | 燃料喷射阀 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5035358A (en) * | 1989-03-22 | 1991-07-30 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Fuel injector for use in an engine |
| DE4112150C2 (de) * | 1990-09-21 | 1998-11-19 | Bosch Gmbh Robert | Lochkörper und Ventil mit Lochkörper |
| DE4205887A1 (de) * | 1992-02-26 | 1993-09-02 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur einspritzung eines brennstoff-gas-gemisches |
| DE4233703A1 (de) * | 1992-10-07 | 1994-04-14 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung von Silizium-Einspritzplatten und Siliziumplatte |
-
1993
- 1993-10-01 DE DE4333519A patent/DE4333519A1/de not_active Withdrawn
-
1994
- 1994-09-19 US US08/308,319 patent/US5553789A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-10-03 JP JP6239145A patent/JPH07167017A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999061785A1 (fr) * | 1998-05-22 | 1999-12-02 | Zexel Corporation | Buse d'injection hydraulique |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5553789A (en) | 1996-09-10 |
| DE4333519A1 (de) | 1995-04-06 |
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