JPH07159636A - 導波路型光部品およびその調整方法 - Google Patents
導波路型光部品およびその調整方法Info
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- JPH07159636A JPH07159636A JP30879193A JP30879193A JPH07159636A JP H07159636 A JPH07159636 A JP H07159636A JP 30879193 A JP30879193 A JP 30879193A JP 30879193 A JP30879193 A JP 30879193A JP H07159636 A JPH07159636 A JP H07159636A
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- waveguide
- optical
- optical fiber
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Abstract
(57)【要約】
【目的】導波路型光部品およびその調整方法に関し、光
ファイバとの結合を容易にするように構成された導波路
素子と、この導波路素子に対して光ファイバを結合する
際の調整方法を提供することを目的とする。 【構成】基板１上にアンダークラッド層２を設け、この
アンダークラッド層２上に導波路パターンに対応するリ
ッジ状のコア３を設けるとともに、アンダークラッド層
２とコア３とを覆ってオーバークラッド層４を設けて構
成した石英光導波路基板５に対して、オーバークラッド
層４上に導波路パターンに対応する金属パターン６を設
けて導波路素子を構成し、この導波路素子と光ファイバ
とを結合して導波路光部品を形成する際に、金属パター
ン６を基準として位置合わせを行なうことによって、コ
ア３と光ファイバとの光軸合わせを容易にする。
ファイバとの結合を容易にするように構成された導波路
素子と、この導波路素子に対して光ファイバを結合する
際の調整方法を提供することを目的とする。 【構成】基板１上にアンダークラッド層２を設け、この
アンダークラッド層２上に導波路パターンに対応するリ
ッジ状のコア３を設けるとともに、アンダークラッド層
２とコア３とを覆ってオーバークラッド層４を設けて構
成した石英光導波路基板５に対して、オーバークラッド
層４上に導波路パターンに対応する金属パターン６を設
けて導波路素子を構成し、この導波路素子と光ファイバ
とを結合して導波路光部品を形成する際に、金属パター
ン６を基準として位置合わせを行なうことによって、コ
ア３と光ファイバとの光軸合わせを容易にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、導波路型光部品および
その調整方法に関し、特に光ファイバとの結合を容易に
するように構成された導波路型光部品と、この導波路型
光部品において光ファイバを結合する際の調整方法に関
するものである。
その調整方法に関し、特に光ファイバとの結合を容易に
するように構成された導波路型光部品と、この導波路型
光部品において光ファイバを結合する際の調整方法に関
するものである。
【０００２】光回路を構成する場合、基板上に光導波路
からなる各種の光素子を形成した導波路素子と、光ファ
イバからなる伝送路とを結合して、所望の光回路を構成
するのが一般的であり、種々の導波路型光部品が提案さ
れている。
からなる各種の光素子を形成した導波路素子と、光ファ
イバからなる伝送路とを結合して、所望の光回路を構成
するのが一般的であり、種々の導波路型光部品が提案さ
れている。
【０００３】このような導波路型光部品は、光ファイバ
と結合する際の調整作業が容易であって、熟練した作業
者に依存する必要がなく、かつ調整時間を多く要しない
ものであることが求められている。
と結合する際の調整作業が容易であって、熟練した作業
者に依存する必要がなく、かつ調整時間を多く要しない
ものであることが求められている。
【０００４】
【従来の技術】図７は、従来の導波路型光部品を例示し
たものであって、ガイド溝を用いた石英光導波路の場合
を示している。図７において、６１はシリコンウエハで
あって、その上に設けられた堆積ガラス膜６２中に、光
導波路部６３が形成されている。６４1,６４2,６４3 は
光ファイバに適合した深さと幅とを有するガイド溝であ
って、光導波路部６３の端部６５1,６５2,６５3 に対応
して、堆積ガラス膜６２中に、エッチングによって形成
されている。
たものであって、ガイド溝を用いた石英光導波路の場合
を示している。図７において、６１はシリコンウエハで
あって、その上に設けられた堆積ガラス膜６２中に、光
導波路部６３が形成されている。６４1,６４2,６４3 は
光ファイバに適合した深さと幅とを有するガイド溝であ
って、光導波路部６３の端部６５1,６５2,６５3 に対応
して、堆積ガラス膜６２中に、エッチングによって形成
されている。
【０００５】このような導波路素子において、光導波路
と光ファイバとを結合するためには、ガイド溝６４1,６
４2,６４3 に端面を研磨した光ファイバ６６1,６６2,６
６3をそれぞれ埋め込んで、光導波路と光ファイバとの
光軸を合わせたのち、光ファイバの端部をＵＶ（紫外
線）硬化型接着剤６７1,６７2,６７3 によって、接着し
て固定する。
と光ファイバとを結合するためには、ガイド溝６４1,６
４2,６４3 に端面を研磨した光ファイバ６６1,６６2,６
６3をそれぞれ埋め込んで、光導波路と光ファイバとの
光軸を合わせたのち、光ファイバの端部をＵＶ（紫外
線）硬化型接着剤６７1,６７2,６７3 によって、接着し
て固定する。
【０００６】また、他の方法として、Ｖ溝アレーに光フ
ァイバを接着して、その端面を研磨したのち、導波路素
子とＶ溝アレーとの相互の位置を調整して、光導波路と
光ファイバとの光軸を合わせ、その後、両者を固定する
方法がある。
ァイバを接着して、その端面を研磨したのち、導波路素
子とＶ溝アレーとの相互の位置を調整して、光導波路と
光ファイバとの光軸を合わせ、その後、両者を固定する
方法がある。
【０００７】ガイド溝を用いて光導波路と光ファイバと
を結合する方法では、例えば石英光導波路の場合、火炎
加水分解法によって形成した堆積ガラス膜厚のばらつき
や、エッチング加工によって形成されたガイド溝の深さ
のばらつき等のために、光導波路と光ファイバのコアと
を高精度に接続することは困難である。
を結合する方法では、例えば石英光導波路の場合、火炎
加水分解法によって形成した堆積ガラス膜厚のばらつき
や、エッチング加工によって形成されたガイド溝の深さ
のばらつき等のために、光導波路と光ファイバのコアと
を高精度に接続することは困難である。
【０００８】そこで、導波路素子をパッケージ等に接着
固定し、中子に接着して端面を研磨した光ファイバを、
微動ステージを用いてその位置を調整して、導波路素子
と光ファイバとの光軸を合わせたのち、両者を接着し、
または溶接することによって、接続を行う方法が用いら
れている。
固定し、中子に接着して端面を研磨した光ファイバを、
微動ステージを用いてその位置を調整して、導波路素子
と光ファイバとの光軸を合わせたのち、両者を接着し、
または溶接することによって、接続を行う方法が用いら
れている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、接着位
置のばらつきや、作成された光導波路外寸のバラツキ等
のため、外径約８μｍのコア同士の位置関係を調整する
場合には、調整作業を熟練した作業者に頼らなければな
らないだけでなく、多くの調整時間を必要とし、量産性
に欠けるという問題があった。
置のばらつきや、作成された光導波路外寸のバラツキ等
のため、外径約８μｍのコア同士の位置関係を調整する
場合には、調整作業を熟練した作業者に頼らなければな
らないだけでなく、多くの調整時間を必要とし、量産性
に欠けるという問題があった。
【００１０】これは、導波路素子におけるコア部分とク
ラッド部分とがいずれもガラス質であって、しかも両者
の屈折率差が少ないため、調整作業時、導波路素子と光
ファイバとを拡大して表示するモニタＴＶの画面上にお
いて、導波路素子のコア部分が見ずらいことが、大きな
原因になっている。
ラッド部分とがいずれもガラス質であって、しかも両者
の屈折率差が少ないため、調整作業時、導波路素子と光
ファイバとを拡大して表示するモニタＴＶの画面上にお
いて、導波路素子のコア部分が見ずらいことが、大きな
原因になっている。
【００１１】本発明は、このような従来技術の課題を解
決しようとするものであって、導波路素子における導波
路パターン上に金属からなるパターンを形成して、これ
によってコア部分を認識しやすくすることによって、導
波路素子と光ファイバとを接続する際に、容易にかつ高
精度に、光軸合わせの調整を行うことができるようにす
ることを目的としている。
決しようとするものであって、導波路素子における導波
路パターン上に金属からなるパターンを形成して、これ
によってコア部分を認識しやすくすることによって、導
波路素子と光ファイバとを接続する際に、容易にかつ高
精度に、光軸合わせの調整を行うことができるようにす
ることを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】 (1) 本発明の導波路素子は、基板１上にアンダークラッ
ド層２を設け、アンダークラッド層２上に導波路パター
ンに対応するリッジ状のコア３を設けるとともに、アン
ダークラッド層２とコア３とを覆ってオーバークラッド
層４を設けてなる石英光導波路基板５において、オーバ
ークラッド層４上に導波路パターンに対応する金属パタ
ーン６を設けたものである。
ド層２を設け、アンダークラッド層２上に導波路パター
ンに対応するリッジ状のコア３を設けるとともに、アン
ダークラッド層２とコア３とを覆ってオーバークラッド
層４を設けてなる石英光導波路基板５において、オーバ
ークラッド層４上に導波路パターンに対応する金属パタ
ーン６を設けたものである。
【００１３】(2) (1) の場合に、金属パターン６をアル
ミニウム（Ａｌ）膜から構成する。
ミニウム（Ａｌ）膜から構成する。
【００１４】(3) 本発明の導波路型光部品は、(1) また
は (2)の場合に、導波路素子を金属パッケージに収容し
て固定するとともに、光ファイバをコアに対して光軸を
合わせて固定して構成したものである。
は (2)の場合に、導波路素子を金属パッケージに収容し
て固定するとともに、光ファイバをコアに対して光軸を
合わせて固定して構成したものである。
【００１５】(4) 本発明の導波路型光部品の調整方法
は、基板上にアンダークラッド層を設けるとともに、こ
のアンダークラッド層上に導波路パターンに対応するリ
ッジ状のコアを設け、さらにアンダークラッド層とコア
とを覆ってオーバークラッド層を設けてなる石英光導波
路基板における、オーバークラッド層上に導波路パター
ンに対応する金属パターンを設けた導波路素子に対し
て、この金属パターンと光ファイバとの相対位置を調整
することによって、コアと光ファイバとの光軸合わせを
行なうものである。
は、基板上にアンダークラッド層を設けるとともに、こ
のアンダークラッド層上に導波路パターンに対応するリ
ッジ状のコアを設け、さらにアンダークラッド層とコア
とを覆ってオーバークラッド層を設けてなる石英光導波
路基板における、オーバークラッド層上に導波路パター
ンに対応する金属パターンを設けた導波路素子に対し
て、この金属パターンと光ファイバとの相対位置を調整
することによって、コアと光ファイバとの光軸合わせを
行なうものである。
【００１６】
【作用】火炎加水分解法および反応性イオンエッチング
法によって形成した、石英光導波路基板の上部に、金属
材料によって、コアと同一の幅か、または僅かに広い幅
を有する導波路パターンを形成する。その後、反応性エ
ッチング法によって形成した、クラッド内に埋め込まれ
た導波路フレーム上を、ダイシングによって切断して、
個別の導波路素子を作成する。
法によって形成した、石英光導波路基板の上部に、金属
材料によって、コアと同一の幅か、または僅かに広い幅
を有する導波路パターンを形成する。その後、反応性エ
ッチング法によって形成した、クラッド内に埋め込まれ
た導波路フレーム上を、ダイシングによって切断して、
個別の導波路素子を作成する。
【００１７】導波路素子と光ファイバとの接続は、次の
ようにして行う。まず、パッケージ等に導波路素子を接
着する。次に、導波路素子を接着したパッケージを調整
治具に取り付ける。この調整治具の上部には、画像認識
装置が設けられていて、導波路上に描かれた金属材料か
らなる導波路パターンを読み取ることによって、導波路
素子内部のコアの位置を検出する。インタフェースとな
る光ファイバは、このようにして、コア位置を定めるこ
とによって、容易に初期位置に調整することができる。
ようにして行う。まず、パッケージ等に導波路素子を接
着する。次に、導波路素子を接着したパッケージを調整
治具に取り付ける。この調整治具の上部には、画像認識
装置が設けられていて、導波路上に描かれた金属材料か
らなる導波路パターンを読み取ることによって、導波路
素子内部のコアの位置を検出する。インタフェースとな
る光ファイバは、このようにして、コア位置を定めるこ
とによって、容易に初期位置に調整することができる。
【００１８】従って本発明によれば、導波路型光部品に
おいて、導波路素子と光ファイバとの光軸の調整を、容
易にかつ高精度に行うことができる。
おいて、導波路素子と光ファイバとの光軸の調整を、容
易にかつ高精度に行うことができる。
【００１９】
【実施例】図１は、本発明の一実施例における導波路素
子の構成を示したものである。１はシリコンウエハまた
は石英ガラス等からなる基板であって、その上にアンダ
ークラッド層２が設けられている。このアンダークラッ
ド層２上には、導波路パターンに対応する形状のリッジ
状のコア３が設けられている。さらにアンダークラッド
層２とコア３とを覆ってオーバークラッド層４を設ける
ことによって、石英光導波路基板５が形成されている。
子の構成を示したものである。１はシリコンウエハまた
は石英ガラス等からなる基板であって、その上にアンダ
ークラッド層２が設けられている。このアンダークラッ
ド層２上には、導波路パターンに対応する形状のリッジ
状のコア３が設けられている。さらにアンダークラッド
層２とコア３とを覆ってオーバークラッド層４を設ける
ことによって、石英光導波路基板５が形成されている。
【００２０】このような石英光導波路基板５に対して、
オーバークラッド層４の上部に、コア３に対応して金属
パターン６を設ける。金属パターン６は、導波路パター
ンと同形であって、その幅は、コア３と同一か、または
僅かに広い。金属パターン６は、コア３の直上に設けら
れているので、光ファイバとの位置合わせ時に、この金
属パターン６を基準として位置調整を行なうことによっ
て、コア３との位置合わせを行なうことができる。
オーバークラッド層４の上部に、コア３に対応して金属
パターン６を設ける。金属パターン６は、導波路パター
ンと同形であって、その幅は、コア３と同一か、または
僅かに広い。金属パターン６は、コア３の直上に設けら
れているので、光ファイバとの位置合わせ時に、この金
属パターン６を基準として位置調整を行なうことによっ
て、コア３との位置合わせを行なうことができる。
【００２１】図２は、本発明の一実施例における、導波
路型光部品の構成を示したものである。７は本発明の導
波路素子であって、その上部に金属パターン８が示され
ている。導波路素子７は、ＳＵＳ（ステンレススチー
ル）等からなる金属パッケージ９内部に収容され固定さ
れている。１０1,１０2 は光ファイバケーブルであっ
て、それぞれ中子１１1,１１2 に収容され固定されてい
る。中子１１1,１１2 は、金属パッケージ９に固定され
ている。光ファイバケーブル１０1,１０2 の光ファイバ
１２1,１２2 は、金属パターン８の下部にあるコア（図
示されず）に、光軸合わせして結合されている。
路型光部品の構成を示したものである。７は本発明の導
波路素子であって、その上部に金属パターン８が示され
ている。導波路素子７は、ＳＵＳ（ステンレススチー
ル）等からなる金属パッケージ９内部に収容され固定さ
れている。１０1,１０2 は光ファイバケーブルであっ
て、それぞれ中子１１1,１１2 に収容され固定されてい
る。中子１１1,１１2 は、金属パッケージ９に固定され
ている。光ファイバケーブル１０1,１０2 の光ファイバ
１２1,１２2 は、金属パターン８の下部にあるコア（図
示されず）に、光軸合わせして結合されている。
【００２２】図３は、中子の構成例を示したものであ
る。１０は光ファイバケーブルを示し、樹脂被覆が施さ
れている。１１はＳＵＳ等からなる中子であって、光フ
ァイバケーブル１０を保持し、固定するとともに、その
一端から光ファイバ１２を導き出すことができるような
構造を有している。光ファイバ１２の端面１３は、導波
路素子との結合に備えて、鏡面に研磨されている。
る。１０は光ファイバケーブルを示し、樹脂被覆が施さ
れている。１１はＳＵＳ等からなる中子であって、光フ
ァイバケーブル１０を保持し、固定するとともに、その
一端から光ファイバ１２を導き出すことができるような
構造を有している。光ファイバ１２の端面１３は、導波
路素子との結合に備えて、鏡面に研磨されている。
【００２３】図４は、本発明の一実施例における導波路
素子の作成方法を示したものであって、（ａ）はアンダ
ークラッド層とコア層の形成、（ｂ）はレジストの塗
布、（ｃ）は露光、（ｄ）はエッチング、（ｅ）はオー
バークラッド層の堆積の各工程を示し、（ｆ）は完成し
た石英光導波路基板のウエハを示している。また、
（ｇ）はアルミニウム層の被着、（ｈ）はレジストの塗
布、（ｉ）は露光、（ｊ）はエッチングの各工程を示
し、（ｋ）は完成した導波路素子のウエハを示してい
る。
素子の作成方法を示したものであって、（ａ）はアンダ
ークラッド層とコア層の形成、（ｂ）はレジストの塗
布、（ｃ）は露光、（ｄ）はエッチング、（ｅ）はオー
バークラッド層の堆積の各工程を示し、（ｆ）は完成し
た石英光導波路基板のウエハを示している。また、
（ｇ）はアルミニウム層の被着、（ｈ）はレジストの塗
布、（ｉ）は露光、（ｊ）はエッチングの各工程を示
し、（ｋ）は完成した導波路素子のウエハを示してい
る。
【００２４】まず、シリコンウエハまたは石英ガラス等
からなる基板２１上に、火炎加水分解法によって、
（ａ）に示すようにアンダークラッド層２２と、コア層
２３とからなるガラス層を形成する。この際、形成され
たガラス層における、アンダークラッド層２２と、コア
層２３との比屈折率差は０．７５％、コア層２３の厚さ
は６μｍである。
からなる基板２１上に、火炎加水分解法によって、
（ａ）に示すようにアンダークラッド層２２と、コア層
２３とからなるガラス層を形成する。この際、形成され
たガラス層における、アンダークラッド層２２と、コア
層２３との比屈折率差は０．７５％、コア層２３の厚さ
は６μｍである。
【００２５】次に、フォトリソグラフィ技術および反応
性イオンエッチング法によって、幅６μｍの導波路パタ
ーン、および幅１００μｍの導波路切りわけ用のフレー
ムを形成する。すなわち、（ｂ）に示すようにコア層２
３の上に全面にレジスト層２４を塗布したのち露光し現
像して、（ｃ）に示すようにマスクとなるレジスト２５
を残す。さらにエッチングを行うことによって、（ｄ）
に示すようにレジスト２５の部分以外のコア層を除去し
て、リッジ状のコア２６とフレーム２７とを形成する。
その後、火炎加水分解法によって、上部の全体にオーバ
ークラッド層２８を形成することによって、（ｆ）に示
すような、石英光導波路基板のウエハ２９が完成する。
石英光導波路基板のウエハ２９において、３０は導波
路、３１はフレームである。
性イオンエッチング法によって、幅６μｍの導波路パタ
ーン、および幅１００μｍの導波路切りわけ用のフレー
ムを形成する。すなわち、（ｂ）に示すようにコア層２
３の上に全面にレジスト層２４を塗布したのち露光し現
像して、（ｃ）に示すようにマスクとなるレジスト２５
を残す。さらにエッチングを行うことによって、（ｄ）
に示すようにレジスト２５の部分以外のコア層を除去し
て、リッジ状のコア２６とフレーム２７とを形成する。
その後、火炎加水分解法によって、上部の全体にオーバ
ークラッド層２８を形成することによって、（ｆ）に示
すような、石英光導波路基板のウエハ２９が完成する。
石英光導波路基板のウエハ２９において、３０は導波
路、３１はフレームである。
【００２６】次に、石英光導波路基板のウエハ２９の上
部に、（ｇ）に示すように、真空蒸着法によって、約２
０００Åの厚さのアルミニウム（Ａｌ）薄膜３２を形成
する。その後、全面にレジスト層３３を塗布し、クロム
（Ｃｒ）マスク等によって、（ｉ）に示すように、幅が
１０μｍの導波路パターンのレジスト３４を露光し現像
する。最後に、リン酸溶液によってエッチングして、
（ｊ）に示すように、導波路パターン状に形成されたア
ルミニウム薄膜パターン３５を形成することによって、
（ｋ）に示されたような導波路素子のウエハ３６が完成
する。導波路素子のウエハ３６において、３７はアルミ
ニウム薄膜パターンである。
部に、（ｇ）に示すように、真空蒸着法によって、約２
０００Åの厚さのアルミニウム（Ａｌ）薄膜３２を形成
する。その後、全面にレジスト層３３を塗布し、クロム
（Ｃｒ）マスク等によって、（ｉ）に示すように、幅が
１０μｍの導波路パターンのレジスト３４を露光し現像
する。最後に、リン酸溶液によってエッチングして、
（ｊ）に示すように、導波路パターン状に形成されたア
ルミニウム薄膜パターン３５を形成することによって、
（ｋ）に示されたような導波路素子のウエハ３６が完成
する。導波路素子のウエハ３６において、３７はアルミ
ニウム薄膜パターンである。
【００２７】その後、導波路素子のウエハ３６におい
て、クラッドガラス内部に形成されているフレーム３１
を、ダイシング作業によって切断することによって、個
別の導波路素子が作成される。
て、クラッドガラス内部に形成されているフレーム３１
を、ダイシング作業によって切断することによって、個
別の導波路素子が作成される。
【００２８】図５は、光軸調整装置の概要を示したもの
である。図中、４１は導波路素子を固定する金属パッケ
ージ、４２は金属パッケージ４１を固定するパッケージ
固定部、４３，４４はそれぞれ光ファイバ４５，４６の
位置調整を行うための光ファイバ調整部、４７は導波路
素子と光ファイバの画像を撮像するためのＣＣＤカメ
ラ、４８はＣＣＤカメラ４７の画像を表示するためのモ
ニタＴＶ、４９は一方の光ファイバ４５に光を入力する
ためのＬＥＤ光源、５０は他方の光ファイバ４６の出力
光の強度を測定するための光パワーメータである。
である。図中、４１は導波路素子を固定する金属パッケ
ージ、４２は金属パッケージ４１を固定するパッケージ
固定部、４３，４４はそれぞれ光ファイバ４５，４６の
位置調整を行うための光ファイバ調整部、４７は導波路
素子と光ファイバの画像を撮像するためのＣＣＤカメ
ラ、４８はＣＣＤカメラ４７の画像を表示するためのモ
ニタＴＶ、４９は一方の光ファイバ４５に光を入力する
ためのＬＥＤ光源、５０は他方の光ファイバ４６の出力
光の強度を測定するための光パワーメータである。
【００２９】パッケージ固定部４２は、Ｘ，Ｙ，Ｚの３
軸方向に移動可能に構成されている。また２系統の光フ
ァイバ調整部４３，４４は、Ｘ，Ｙ，Ｚの３軸方向に移
動可能であるとともに、水平方向と垂直方向に、それぞ
れあおり角θ，φを与えることができるように構成され
ている。
軸方向に移動可能に構成されている。また２系統の光フ
ァイバ調整部４３，４４は、Ｘ，Ｙ，Ｚの３軸方向に移
動可能であるとともに、水平方向と垂直方向に、それぞ
れあおり角θ，φを与えることができるように構成され
ている。
【００３０】図６は、本発明の一実施例の導波路型光部
品の光軸調整方法を示したものであって、図５に示され
た光ファイバ４５と導波路素子との光軸調整を行なう場
合を示し、モニタ画面上の画像によって説明している。
図中において、（ａ）は金属パッケージとこれに取り付
けた導波路素子および光ファイバケーブルを光軸調整装
置にセットした状態、（ｂ）は金属パターンと光ファイ
バとの軸ずれ量の測定状態、（ｃ）は軸ずれを補正した
状態、（ｄ）は導波路素子と光ファイバとを近接配置し
た状態、（ｅ）は導波路素子と光ファイバとの接着固定
状態をそれぞれ示している。
品の光軸調整方法を示したものであって、図５に示され
た光ファイバ４５と導波路素子との光軸調整を行なう場
合を示し、モニタ画面上の画像によって説明している。
図中において、（ａ）は金属パッケージとこれに取り付
けた導波路素子および光ファイバケーブルを光軸調整装
置にセットした状態、（ｂ）は金属パターンと光ファイ
バとの軸ずれ量の測定状態、（ｃ）は軸ずれを補正した
状態、（ｄ）は導波路素子と光ファイバとを近接配置し
た状態、（ｅ）は導波路素子と光ファイバとの接着固定
状態をそれぞれ示している。
【００３１】図６において、Ａはモニタ画面を示してい
る。導波路素子５１はＳＵＳ等からなる金属パッケージ
５２に接着固定され、金属パッケージ５２は図５に示さ
れたパッケージ固定部４２に固定されている。光ファイ
バケーブル５３はＳＵＳ等からなる中子５４に収容され
て接着固定され、中子５４は、図５に示された光ファイ
バ調整部４３に固定されている。図６において（ａ）
は、このようにして、導波路素子５１と光ファイバケー
ブル５３とが、最初にセットされた状態を示している。
光ファイバ５５の端面は、予め研磨されている。
る。導波路素子５１はＳＵＳ等からなる金属パッケージ
５２に接着固定され、金属パッケージ５２は図５に示さ
れたパッケージ固定部４２に固定されている。光ファイ
バケーブル５３はＳＵＳ等からなる中子５４に収容され
て接着固定され、中子５４は、図５に示された光ファイ
バ調整部４３に固定されている。図６において（ａ）
は、このようにして、導波路素子５１と光ファイバケー
ブル５３とが、最初にセットされた状態を示している。
光ファイバ５５の端面は、予め研磨されている。
【００３２】最初、画面上において、導波路素子５１上
の金属パターン５６と、光ファイバ５５との軸ずれ量を
測定する。（ｂ）においては、ずれ量ΔＸが例えば０．
３８（ｍｍ）であったことが示されている。
の金属パターン５６と、光ファイバ５５との軸ずれ量を
測定する。（ｂ）においては、ずれ量ΔＸが例えば０．
３８（ｍｍ）であったことが示されている。
【００３３】次に、（ｃ）に示すように、光ファイバ調
整部４３を図示のＹ方向に移動させて、画面上におい
て、金属パターン５６と光ファイバ５５との軸が一致す
るように補正を行う。金属パッケージ５２には、この
際、中子５４が触れることなく移動できるように、穴５
７が設けられている。
整部４３を図示のＹ方向に移動させて、画面上におい
て、金属パターン５６と光ファイバ５５との軸が一致す
るように補正を行う。金属パッケージ５２には、この
際、中子５４が触れることなく移動できるように、穴５
７が設けられている。
【００３４】次に、（ｄ）に示すように、光ファイバ調
整部４３を図示のＸ方向に移動させて、導波路素子５１
の端部と、光ファイバ５５の端面とが所定の距離に近接
配置されるようにする。
整部４３を図示のＸ方向に移動させて、導波路素子５１
の端部と、光ファイバ５５の端面とが所定の距離に近接
配置されるようにする。
【００３５】図５に示された他の光ファイバ４６の光軸
調整も、同様にして、光ファイバ調整部４４を用いて行
なうことができる。
調整も、同様にして、光ファイバ調整部４４を用いて行
なうことができる。
【００３６】次に、光軸調整装置におけるＬＥＤ光源４
９と、光パワーメータ５０とを動作させて、光パワーメ
ータ５０における検出レベルが最大になるように、光フ
ァイバ調整部４３を各方向に微動させる。なお、（ｄ）
の段階までの調整では、Ｚ方向の調整は行なわれない
が、Ｙ方向とＸ方向の調整を行なったことによって、あ
る程度、軸ずれが補正されているので、直ちに光学的調
整に移行することができる。
９と、光パワーメータ５０とを動作させて、光パワーメ
ータ５０における検出レベルが最大になるように、光フ
ァイバ調整部４３を各方向に微動させる。なお、（ｄ）
の段階までの調整では、Ｚ方向の調整は行なわれない
が、Ｙ方向とＸ方向の調整を行なったことによって、あ
る程度、軸ずれが補正されているので、直ちに光学的調
整に移行することができる。
【００３７】このようにして光軸調整が終了したのち、
光ファイバ５５の端面と、金属パターン５６の直下に位
置する、導波路パターンを形成するコアの部分とを、Ｕ
Ｖ硬化型接着剤５８によって接着して固定する。なおこ
の際、中子５４も、金属パッケージ５２に接着して固定
する。
光ファイバ５５の端面と、金属パターン５６の直下に位
置する、導波路パターンを形成するコアの部分とを、Ｕ
Ｖ硬化型接着剤５８によって接着して固定する。なおこ
の際、中子５４も、金属パッケージ５２に接着して固定
する。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、導
波路素子における導波路パターン上に金属パターンを形
成したので、この金属パターンを用いることによって、
容易に導波路パターンの位置を画像情報として認識する
ことができ、従って、導波路型光部品における光ファイ
バとの光軸調整を容易に、かつ短時間に行なうことがで
きる。
波路素子における導波路パターン上に金属パターンを形
成したので、この金属パターンを用いることによって、
容易に導波路パターンの位置を画像情報として認識する
ことができ、従って、導波路型光部品における光ファイ
バとの光軸調整を容易に、かつ短時間に行なうことがで
きる。
【図１】本発明の一実施例における導波路素子の構成を
示す図である。
示す図である。
【図２】本発明の一実施例における導波路型光部品の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図３】中子の構成例を示す図である。
【図４】本発明の一実施例における導波路素子の作成方
法を示す図であって、（ａ）はアンダークラッド層とコ
ア層の形成、（ｂ）はレジストの塗布、（ｃ）は露光、
（ｄ）はエッチング、（ｅ）はオーバークラッド層の堆
積の各工程を示し、（ｆ）は完成した石英光導波路基板
のウエハを示している。また、（ｇ）はアルミニウム層
の被着、（ｈ）はレジストの塗布、（ｉ）は露光、
（ｊ）はエッチングの各工程を示し、（ｋ）は完成した
導波路素子のウエハを示す。
法を示す図であって、（ａ）はアンダークラッド層とコ
ア層の形成、（ｂ）はレジストの塗布、（ｃ）は露光、
（ｄ）はエッチング、（ｅ）はオーバークラッド層の堆
積の各工程を示し、（ｆ）は完成した石英光導波路基板
のウエハを示している。また、（ｇ）はアルミニウム層
の被着、（ｈ）はレジストの塗布、（ｉ）は露光、
（ｊ）はエッチングの各工程を示し、（ｋ）は完成した
導波路素子のウエハを示す。
【図５】光軸調整装置の概要を示す図である。
【図６】本発明の一実施例の導波路型光部品の光軸調整
方法を示す図であって、（ａ）は金属パッケージとこれ
に取り付けた導波路素子および光ファイバケーブルを光
軸調整装置にセットした状態、（ｂ）は金属パターンと
光ファイバとの軸ずれ量の測定状態、（ｃ）は軸ずれを
補正した状態、（ｄ）は導波路素子と光ファイバとを近
接配置した状態、（ｅ）は導波路素子と光ファイバとの
接着固定状態をそれぞれ示す。
方法を示す図であって、（ａ）は金属パッケージとこれ
に取り付けた導波路素子および光ファイバケーブルを光
軸調整装置にセットした状態、（ｂ）は金属パターンと
光ファイバとの軸ずれ量の測定状態、（ｃ）は軸ずれを
補正した状態、（ｄ）は導波路素子と光ファイバとを近
接配置した状態、（ｅ）は導波路素子と光ファイバとの
接着固定状態をそれぞれ示す。
【図７】従来の導波路型光部品を例示する図である。
１ 基板 ２ アンダークラッド層 ３ コア ４ オーバークラッド層 ５ 石英光導波路基板 ６ 金属パターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 7139−2Ｋ Ｇ０２Ｂ 6/24 ３０１
Claims (4)
- 【請求項１】 基板（１）上にアンダークラッド層
（２）を設け、該アンダークラッド層（２）上に導波路
パターンに対応するリッジ状のコア（３）を設けるとと
もに、該アンダークラッド層（２）とコア（３）とを覆
ってオーバークラッド層（４）を設けてなる石英光導波
路基板（５）において、 前記オーバークラッド層（４）上に前記導波路パターン
に対応する金属パターン（６）を設けてなることを特徴
とする導波路素子。 - 【請求項２】 前記金属パターン（６）がアルミニウム
（Ａｌ）膜からなることを特徴とする請求項１に記載の
導波路素子。 - 【請求項３】 前記導波路素子（７）を金属パッケージ
（９）に収容して固定するとともに、光ファイバ（１０
1,１１2 ）を前記コア（３）に対して光軸を合わせて固
定してなることを特徴とする請求項１または２に記載の
導波路型光部品。 - 【請求項４】 基板上にアンダークラッド層を設けると
ともに、該アンダークラッド層上に導波路パターンに対
応するリッジ状のコアを設け、さらに該アンダークラッ
ド層とコアとを覆ってオーバークラッド層を設けてなる
石英光導波路基板における、前記オーバークラッド層上
に前記導波路パターンに対応する金属パターンを設けた
導波路素子に対して、該金属パターンと光ファイバとの
相対位置を調整することによって、前記コアと光ファイ
バとの光軸合わせを行なうことを特徴とする導波路型光
部品の調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30879193A JPH07159636A (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | 導波路型光部品およびその調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30879193A JPH07159636A (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | 導波路型光部品およびその調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07159636A true JPH07159636A (ja) | 1995-06-23 |
Family
ID=17985357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30879193A Withdrawn JPH07159636A (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | 導波路型光部品およびその調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07159636A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7275937B2 (en) | 2004-04-30 | 2007-10-02 | Finisar Corporation | Optoelectronic module with components mounted on a flexible circuit |
| US7311240B2 (en) | 2004-04-30 | 2007-12-25 | Finisar Corporation | Electrical circuits with button plated contacts and assembly methods |
| JP2008090129A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュールの製造方法、及び、光素子 |
| JP2008090128A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュールの製造方法 |
| US7425135B2 (en) | 2004-04-30 | 2008-09-16 | Finisar Corporation | Flex circuit assembly |
| JP2019028116A (ja) * | 2017-07-26 | 2019-02-21 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路、光導波路接続体および電子機器 |
-
1993
- 1993-12-09 JP JP30879193A patent/JPH07159636A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7275937B2 (en) | 2004-04-30 | 2007-10-02 | Finisar Corporation | Optoelectronic module with components mounted on a flexible circuit |
| US7311240B2 (en) | 2004-04-30 | 2007-12-25 | Finisar Corporation | Electrical circuits with button plated contacts and assembly methods |
| US7425135B2 (en) | 2004-04-30 | 2008-09-16 | Finisar Corporation | Flex circuit assembly |
| JP2008090129A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュールの製造方法、及び、光素子 |
| JP2008090128A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュールの製造方法 |
| JP2019028116A (ja) * | 2017-07-26 | 2019-02-21 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路、光導波路接続体および電子機器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |