JPH07159636A - 導波路型光部品およびその調整方法 - Google Patents
導波路型光部品およびその調整方法Info
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- JPH07159636A JPH07159636A JP30879193A JP30879193A JPH07159636A JP H07159636 A JPH07159636 A JP H07159636A JP 30879193 A JP30879193 A JP 30879193A JP 30879193 A JP30879193 A JP 30879193A JP H07159636 A JPH07159636 A JP H07159636A
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- waveguide
- optical
- optical fiber
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Abstract
(57)【要約】
【目的】導波路型光部品およびその調整方法に関し、光
ファイバとの結合を容易にするように構成された導波路
素子と、この導波路素子に対して光ファイバを結合する
際の調整方法を提供することを目的とする。 【構成】基板1上にアンダークラッド層2を設け、この
アンダークラッド層2上に導波路パターンに対応するリ
ッジ状のコア3を設けるとともに、アンダークラッド層
2とコア3とを覆ってオーバークラッド層4を設けて構
成した石英光導波路基板5に対して、オーバークラッド
層4上に導波路パターンに対応する金属パターン6を設
けて導波路素子を構成し、この導波路素子と光ファイバ
とを結合して導波路光部品を形成する際に、金属パター
ン6を基準として位置合わせを行なうことによって、コ
ア3と光ファイバとの光軸合わせを容易にする。
ファイバとの結合を容易にするように構成された導波路
素子と、この導波路素子に対して光ファイバを結合する
際の調整方法を提供することを目的とする。 【構成】基板1上にアンダークラッド層2を設け、この
アンダークラッド層2上に導波路パターンに対応するリ
ッジ状のコア3を設けるとともに、アンダークラッド層
2とコア3とを覆ってオーバークラッド層4を設けて構
成した石英光導波路基板5に対して、オーバークラッド
層4上に導波路パターンに対応する金属パターン6を設
けて導波路素子を構成し、この導波路素子と光ファイバ
とを結合して導波路光部品を形成する際に、金属パター
ン6を基準として位置合わせを行なうことによって、コ
ア3と光ファイバとの光軸合わせを容易にする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、導波路型光部品および
その調整方法に関し、特に光ファイバとの結合を容易に
するように構成された導波路型光部品と、この導波路型
光部品において光ファイバを結合する際の調整方法に関
するものである。
その調整方法に関し、特に光ファイバとの結合を容易に
するように構成された導波路型光部品と、この導波路型
光部品において光ファイバを結合する際の調整方法に関
するものである。
【0002】光回路を構成する場合、基板上に光導波路
からなる各種の光素子を形成した導波路素子と、光ファ
イバからなる伝送路とを結合して、所望の光回路を構成
するのが一般的であり、種々の導波路型光部品が提案さ
れている。
からなる各種の光素子を形成した導波路素子と、光ファ
イバからなる伝送路とを結合して、所望の光回路を構成
するのが一般的であり、種々の導波路型光部品が提案さ
れている。
【0003】このような導波路型光部品は、光ファイバ
と結合する際の調整作業が容易であって、熟練した作業
者に依存する必要がなく、かつ調整時間を多く要しない
ものであることが求められている。
と結合する際の調整作業が容易であって、熟練した作業
者に依存する必要がなく、かつ調整時間を多く要しない
ものであることが求められている。
【0004】
【従来の技術】図7は、従来の導波路型光部品を例示し
たものであって、ガイド溝を用いた石英光導波路の場合
を示している。図7において、61はシリコンウエハで
あって、その上に設けられた堆積ガラス膜62中に、光
導波路部63が形成されている。641,642,643 は
光ファイバに適合した深さと幅とを有するガイド溝であ
って、光導波路部63の端部651,652,653 に対応
して、堆積ガラス膜62中に、エッチングによって形成
されている。
たものであって、ガイド溝を用いた石英光導波路の場合
を示している。図7において、61はシリコンウエハで
あって、その上に設けられた堆積ガラス膜62中に、光
導波路部63が形成されている。641,642,643 は
光ファイバに適合した深さと幅とを有するガイド溝であ
って、光導波路部63の端部651,652,653 に対応
して、堆積ガラス膜62中に、エッチングによって形成
されている。
【0005】このような導波路素子において、光導波路
と光ファイバとを結合するためには、ガイド溝641,6
42,643 に端面を研磨した光ファイバ661,662,6
63をそれぞれ埋め込んで、光導波路と光ファイバとの
光軸を合わせたのち、光ファイバの端部をUV(紫外
線)硬化型接着剤671,672,673 によって、接着し
て固定する。
と光ファイバとを結合するためには、ガイド溝641,6
42,643 に端面を研磨した光ファイバ661,662,6
63をそれぞれ埋め込んで、光導波路と光ファイバとの
光軸を合わせたのち、光ファイバの端部をUV(紫外
線)硬化型接着剤671,672,673 によって、接着し
て固定する。
【0006】また、他の方法として、V溝アレーに光フ
ァイバを接着して、その端面を研磨したのち、導波路素
子とV溝アレーとの相互の位置を調整して、光導波路と
光ファイバとの光軸を合わせ、その後、両者を固定する
方法がある。
ァイバを接着して、その端面を研磨したのち、導波路素
子とV溝アレーとの相互の位置を調整して、光導波路と
光ファイバとの光軸を合わせ、その後、両者を固定する
方法がある。
【0007】ガイド溝を用いて光導波路と光ファイバと
を結合する方法では、例えば石英光導波路の場合、火炎
加水分解法によって形成した堆積ガラス膜厚のばらつき
や、エッチング加工によって形成されたガイド溝の深さ
のばらつき等のために、光導波路と光ファイバのコアと
を高精度に接続することは困難である。
を結合する方法では、例えば石英光導波路の場合、火炎
加水分解法によって形成した堆積ガラス膜厚のばらつき
や、エッチング加工によって形成されたガイド溝の深さ
のばらつき等のために、光導波路と光ファイバのコアと
を高精度に接続することは困難である。
【0008】そこで、導波路素子をパッケージ等に接着
固定し、中子に接着して端面を研磨した光ファイバを、
微動ステージを用いてその位置を調整して、導波路素子
と光ファイバとの光軸を合わせたのち、両者を接着し、
または溶接することによって、接続を行う方法が用いら
れている。
固定し、中子に接着して端面を研磨した光ファイバを、
微動ステージを用いてその位置を調整して、導波路素子
と光ファイバとの光軸を合わせたのち、両者を接着し、
または溶接することによって、接続を行う方法が用いら
れている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、接着位
置のばらつきや、作成された光導波路外寸のバラツキ等
のため、外径約8μmのコア同士の位置関係を調整する
場合には、調整作業を熟練した作業者に頼らなければな
らないだけでなく、多くの調整時間を必要とし、量産性
に欠けるという問題があった。
置のばらつきや、作成された光導波路外寸のバラツキ等
のため、外径約8μmのコア同士の位置関係を調整する
場合には、調整作業を熟練した作業者に頼らなければな
らないだけでなく、多くの調整時間を必要とし、量産性
に欠けるという問題があった。
【0010】これは、導波路素子におけるコア部分とク
ラッド部分とがいずれもガラス質であって、しかも両者
の屈折率差が少ないため、調整作業時、導波路素子と光
ファイバとを拡大して表示するモニタTVの画面上にお
いて、導波路素子のコア部分が見ずらいことが、大きな
原因になっている。
ラッド部分とがいずれもガラス質であって、しかも両者
の屈折率差が少ないため、調整作業時、導波路素子と光
ファイバとを拡大して表示するモニタTVの画面上にお
いて、導波路素子のコア部分が見ずらいことが、大きな
原因になっている。
【0011】本発明は、このような従来技術の課題を解
決しようとするものであって、導波路素子における導波
路パターン上に金属からなるパターンを形成して、これ
によってコア部分を認識しやすくすることによって、導
波路素子と光ファイバとを接続する際に、容易にかつ高
精度に、光軸合わせの調整を行うことができるようにす
ることを目的としている。
決しようとするものであって、導波路素子における導波
路パターン上に金属からなるパターンを形成して、これ
によってコア部分を認識しやすくすることによって、導
波路素子と光ファイバとを接続する際に、容易にかつ高
精度に、光軸合わせの調整を行うことができるようにす
ることを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】 (1) 本発明の導波路素子は、基板1上にアンダークラッ
ド層2を設け、アンダークラッド層2上に導波路パター
ンに対応するリッジ状のコア3を設けるとともに、アン
ダークラッド層2とコア3とを覆ってオーバークラッド
層4を設けてなる石英光導波路基板5において、オーバ
ークラッド層4上に導波路パターンに対応する金属パタ
ーン6を設けたものである。
ド層2を設け、アンダークラッド層2上に導波路パター
ンに対応するリッジ状のコア3を設けるとともに、アン
ダークラッド層2とコア3とを覆ってオーバークラッド
層4を設けてなる石英光導波路基板5において、オーバ
ークラッド層4上に導波路パターンに対応する金属パタ
ーン6を設けたものである。
【0013】(2) (1) の場合に、金属パターン6をアル
ミニウム(Al)膜から構成する。
ミニウム(Al)膜から構成する。
【0014】(3) 本発明の導波路型光部品は、(1) また
は (2)の場合に、導波路素子を金属パッケージに収容し
て固定するとともに、光ファイバをコアに対して光軸を
合わせて固定して構成したものである。
は (2)の場合に、導波路素子を金属パッケージに収容し
て固定するとともに、光ファイバをコアに対して光軸を
合わせて固定して構成したものである。
【0015】(4) 本発明の導波路型光部品の調整方法
は、基板上にアンダークラッド層を設けるとともに、こ
のアンダークラッド層上に導波路パターンに対応するリ
ッジ状のコアを設け、さらにアンダークラッド層とコア
とを覆ってオーバークラッド層を設けてなる石英光導波
路基板における、オーバークラッド層上に導波路パター
ンに対応する金属パターンを設けた導波路素子に対し
て、この金属パターンと光ファイバとの相対位置を調整
することによって、コアと光ファイバとの光軸合わせを
行なうものである。
は、基板上にアンダークラッド層を設けるとともに、こ
のアンダークラッド層上に導波路パターンに対応するリ
ッジ状のコアを設け、さらにアンダークラッド層とコア
とを覆ってオーバークラッド層を設けてなる石英光導波
路基板における、オーバークラッド層上に導波路パター
ンに対応する金属パターンを設けた導波路素子に対し
て、この金属パターンと光ファイバとの相対位置を調整
することによって、コアと光ファイバとの光軸合わせを
行なうものである。
【0016】
【作用】火炎加水分解法および反応性イオンエッチング
法によって形成した、石英光導波路基板の上部に、金属
材料によって、コアと同一の幅か、または僅かに広い幅
を有する導波路パターンを形成する。その後、反応性エ
ッチング法によって形成した、クラッド内に埋め込まれ
た導波路フレーム上を、ダイシングによって切断して、
個別の導波路素子を作成する。
法によって形成した、石英光導波路基板の上部に、金属
材料によって、コアと同一の幅か、または僅かに広い幅
を有する導波路パターンを形成する。その後、反応性エ
ッチング法によって形成した、クラッド内に埋め込まれ
た導波路フレーム上を、ダイシングによって切断して、
個別の導波路素子を作成する。
【0017】導波路素子と光ファイバとの接続は、次の
ようにして行う。まず、パッケージ等に導波路素子を接
着する。次に、導波路素子を接着したパッケージを調整
治具に取り付ける。この調整治具の上部には、画像認識
装置が設けられていて、導波路上に描かれた金属材料か
らなる導波路パターンを読み取ることによって、導波路
素子内部のコアの位置を検出する。インタフェースとな
る光ファイバは、このようにして、コア位置を定めるこ
とによって、容易に初期位置に調整することができる。
ようにして行う。まず、パッケージ等に導波路素子を接
着する。次に、導波路素子を接着したパッケージを調整
治具に取り付ける。この調整治具の上部には、画像認識
装置が設けられていて、導波路上に描かれた金属材料か
らなる導波路パターンを読み取ることによって、導波路
素子内部のコアの位置を検出する。インタフェースとな
る光ファイバは、このようにして、コア位置を定めるこ
とによって、容易に初期位置に調整することができる。
【0018】従って本発明によれば、導波路型光部品に
おいて、導波路素子と光ファイバとの光軸の調整を、容
易にかつ高精度に行うことができる。
おいて、導波路素子と光ファイバとの光軸の調整を、容
易にかつ高精度に行うことができる。
【0019】
【実施例】図1は、本発明の一実施例における導波路素
子の構成を示したものである。1はシリコンウエハまた
は石英ガラス等からなる基板であって、その上にアンダ
ークラッド層2が設けられている。このアンダークラッ
ド層2上には、導波路パターンに対応する形状のリッジ
状のコア3が設けられている。さらにアンダークラッド
層2とコア3とを覆ってオーバークラッド層4を設ける
ことによって、石英光導波路基板5が形成されている。
子の構成を示したものである。1はシリコンウエハまた
は石英ガラス等からなる基板であって、その上にアンダ
ークラッド層2が設けられている。このアンダークラッ
ド層2上には、導波路パターンに対応する形状のリッジ
状のコア3が設けられている。さらにアンダークラッド
層2とコア3とを覆ってオーバークラッド層4を設ける
ことによって、石英光導波路基板5が形成されている。
【0020】このような石英光導波路基板5に対して、
オーバークラッド層4の上部に、コア3に対応して金属
パターン6を設ける。金属パターン6は、導波路パター
ンと同形であって、その幅は、コア3と同一か、または
僅かに広い。金属パターン6は、コア3の直上に設けら
れているので、光ファイバとの位置合わせ時に、この金
属パターン6を基準として位置調整を行なうことによっ
て、コア3との位置合わせを行なうことができる。
オーバークラッド層4の上部に、コア3に対応して金属
パターン6を設ける。金属パターン6は、導波路パター
ンと同形であって、その幅は、コア3と同一か、または
僅かに広い。金属パターン6は、コア3の直上に設けら
れているので、光ファイバとの位置合わせ時に、この金
属パターン6を基準として位置調整を行なうことによっ
て、コア3との位置合わせを行なうことができる。
【0021】図2は、本発明の一実施例における、導波
路型光部品の構成を示したものである。7は本発明の導
波路素子であって、その上部に金属パターン8が示され
ている。導波路素子7は、SUS(ステンレススチー
ル)等からなる金属パッケージ9内部に収容され固定さ
れている。101,102 は光ファイバケーブルであっ
て、それぞれ中子111,112 に収容され固定されてい
る。中子111,112 は、金属パッケージ9に固定され
ている。光ファイバケーブル101,102 の光ファイバ
121,122 は、金属パターン8の下部にあるコア(図
示されず)に、光軸合わせして結合されている。
路型光部品の構成を示したものである。7は本発明の導
波路素子であって、その上部に金属パターン8が示され
ている。導波路素子7は、SUS(ステンレススチー
ル)等からなる金属パッケージ9内部に収容され固定さ
れている。101,102 は光ファイバケーブルであっ
て、それぞれ中子111,112 に収容され固定されてい
る。中子111,112 は、金属パッケージ9に固定され
ている。光ファイバケーブル101,102 の光ファイバ
121,122 は、金属パターン8の下部にあるコア(図
示されず)に、光軸合わせして結合されている。
【0022】図3は、中子の構成例を示したものであ
る。10は光ファイバケーブルを示し、樹脂被覆が施さ
れている。11はSUS等からなる中子であって、光フ
ァイバケーブル10を保持し、固定するとともに、その
一端から光ファイバ12を導き出すことができるような
構造を有している。光ファイバ12の端面13は、導波
路素子との結合に備えて、鏡面に研磨されている。
る。10は光ファイバケーブルを示し、樹脂被覆が施さ
れている。11はSUS等からなる中子であって、光フ
ァイバケーブル10を保持し、固定するとともに、その
一端から光ファイバ12を導き出すことができるような
構造を有している。光ファイバ12の端面13は、導波
路素子との結合に備えて、鏡面に研磨されている。
【0023】図4は、本発明の一実施例における導波路
素子の作成方法を示したものであって、(a)はアンダ
ークラッド層とコア層の形成、(b)はレジストの塗
布、(c)は露光、(d)はエッチング、(e)はオー
バークラッド層の堆積の各工程を示し、(f)は完成し
た石英光導波路基板のウエハを示している。また、
(g)はアルミニウム層の被着、(h)はレジストの塗
布、(i)は露光、(j)はエッチングの各工程を示
し、(k)は完成した導波路素子のウエハを示してい
る。
素子の作成方法を示したものであって、(a)はアンダ
ークラッド層とコア層の形成、(b)はレジストの塗
布、(c)は露光、(d)はエッチング、(e)はオー
バークラッド層の堆積の各工程を示し、(f)は完成し
た石英光導波路基板のウエハを示している。また、
(g)はアルミニウム層の被着、(h)はレジストの塗
布、(i)は露光、(j)はエッチングの各工程を示
し、(k)は完成した導波路素子のウエハを示してい
る。
【0024】まず、シリコンウエハまたは石英ガラス等
からなる基板21上に、火炎加水分解法によって、
(a)に示すようにアンダークラッド層22と、コア層
23とからなるガラス層を形成する。この際、形成され
たガラス層における、アンダークラッド層22と、コア
層23との比屈折率差は0.75%、コア層23の厚さ
は6μmである。
からなる基板21上に、火炎加水分解法によって、
(a)に示すようにアンダークラッド層22と、コア層
23とからなるガラス層を形成する。この際、形成され
たガラス層における、アンダークラッド層22と、コア
層23との比屈折率差は0.75%、コア層23の厚さ
は6μmである。
【0025】次に、フォトリソグラフィ技術および反応
性イオンエッチング法によって、幅6μmの導波路パタ
ーン、および幅100μmの導波路切りわけ用のフレー
ムを形成する。すなわち、(b)に示すようにコア層2
3の上に全面にレジスト層24を塗布したのち露光し現
像して、(c)に示すようにマスクとなるレジスト25
を残す。さらにエッチングを行うことによって、(d)
に示すようにレジスト25の部分以外のコア層を除去し
て、リッジ状のコア26とフレーム27とを形成する。
その後、火炎加水分解法によって、上部の全体にオーバ
ークラッド層28を形成することによって、(f)に示
すような、石英光導波路基板のウエハ29が完成する。
石英光導波路基板のウエハ29において、30は導波
路、31はフレームである。
性イオンエッチング法によって、幅6μmの導波路パタ
ーン、および幅100μmの導波路切りわけ用のフレー
ムを形成する。すなわち、(b)に示すようにコア層2
3の上に全面にレジスト層24を塗布したのち露光し現
像して、(c)に示すようにマスクとなるレジスト25
を残す。さらにエッチングを行うことによって、(d)
に示すようにレジスト25の部分以外のコア層を除去し
て、リッジ状のコア26とフレーム27とを形成する。
その後、火炎加水分解法によって、上部の全体にオーバ
ークラッド層28を形成することによって、(f)に示
すような、石英光導波路基板のウエハ29が完成する。
石英光導波路基板のウエハ29において、30は導波
路、31はフレームである。
【0026】次に、石英光導波路基板のウエハ29の上
部に、(g)に示すように、真空蒸着法によって、約2
000Åの厚さのアルミニウム(Al)薄膜32を形成
する。その後、全面にレジスト層33を塗布し、クロム
(Cr)マスク等によって、(i)に示すように、幅が
10μmの導波路パターンのレジスト34を露光し現像
する。最後に、リン酸溶液によってエッチングして、
(j)に示すように、導波路パターン状に形成されたア
ルミニウム薄膜パターン35を形成することによって、
(k)に示されたような導波路素子のウエハ36が完成
する。導波路素子のウエハ36において、37はアルミ
ニウム薄膜パターンである。
部に、(g)に示すように、真空蒸着法によって、約2
000Åの厚さのアルミニウム(Al)薄膜32を形成
する。その後、全面にレジスト層33を塗布し、クロム
(Cr)マスク等によって、(i)に示すように、幅が
10μmの導波路パターンのレジスト34を露光し現像
する。最後に、リン酸溶液によってエッチングして、
(j)に示すように、導波路パターン状に形成されたア
ルミニウム薄膜パターン35を形成することによって、
(k)に示されたような導波路素子のウエハ36が完成
する。導波路素子のウエハ36において、37はアルミ
ニウム薄膜パターンである。
【0027】その後、導波路素子のウエハ36におい
て、クラッドガラス内部に形成されているフレーム31
を、ダイシング作業によって切断することによって、個
別の導波路素子が作成される。
て、クラッドガラス内部に形成されているフレーム31
を、ダイシング作業によって切断することによって、個
別の導波路素子が作成される。
【0028】図5は、光軸調整装置の概要を示したもの
である。図中、41は導波路素子を固定する金属パッケ
ージ、42は金属パッケージ41を固定するパッケージ
固定部、43,44はそれぞれ光ファイバ45,46の
位置調整を行うための光ファイバ調整部、47は導波路
素子と光ファイバの画像を撮像するためのCCDカメ
ラ、48はCCDカメラ47の画像を表示するためのモ
ニタTV、49は一方の光ファイバ45に光を入力する
ためのLED光源、50は他方の光ファイバ46の出力
光の強度を測定するための光パワーメータである。
である。図中、41は導波路素子を固定する金属パッケ
ージ、42は金属パッケージ41を固定するパッケージ
固定部、43,44はそれぞれ光ファイバ45,46の
位置調整を行うための光ファイバ調整部、47は導波路
素子と光ファイバの画像を撮像するためのCCDカメ
ラ、48はCCDカメラ47の画像を表示するためのモ
ニタTV、49は一方の光ファイバ45に光を入力する
ためのLED光源、50は他方の光ファイバ46の出力
光の強度を測定するための光パワーメータである。
【0029】パッケージ固定部42は、X,Y,Zの3
軸方向に移動可能に構成されている。また2系統の光フ
ァイバ調整部43,44は、X,Y,Zの3軸方向に移
動可能であるとともに、水平方向と垂直方向に、それぞ
れあおり角θ,φを与えることができるように構成され
ている。
軸方向に移動可能に構成されている。また2系統の光フ
ァイバ調整部43,44は、X,Y,Zの3軸方向に移
動可能であるとともに、水平方向と垂直方向に、それぞ
れあおり角θ,φを与えることができるように構成され
ている。
【0030】図6は、本発明の一実施例の導波路型光部
品の光軸調整方法を示したものであって、図5に示され
た光ファイバ45と導波路素子との光軸調整を行なう場
合を示し、モニタ画面上の画像によって説明している。
図中において、(a)は金属パッケージとこれに取り付
けた導波路素子および光ファイバケーブルを光軸調整装
置にセットした状態、(b)は金属パターンと光ファイ
バとの軸ずれ量の測定状態、(c)は軸ずれを補正した
状態、(d)は導波路素子と光ファイバとを近接配置し
た状態、(e)は導波路素子と光ファイバとの接着固定
状態をそれぞれ示している。
品の光軸調整方法を示したものであって、図5に示され
た光ファイバ45と導波路素子との光軸調整を行なう場
合を示し、モニタ画面上の画像によって説明している。
図中において、(a)は金属パッケージとこれに取り付
けた導波路素子および光ファイバケーブルを光軸調整装
置にセットした状態、(b)は金属パターンと光ファイ
バとの軸ずれ量の測定状態、(c)は軸ずれを補正した
状態、(d)は導波路素子と光ファイバとを近接配置し
た状態、(e)は導波路素子と光ファイバとの接着固定
状態をそれぞれ示している。
【0031】図6において、Aはモニタ画面を示してい
る。導波路素子51はSUS等からなる金属パッケージ
52に接着固定され、金属パッケージ52は図5に示さ
れたパッケージ固定部42に固定されている。光ファイ
バケーブル53はSUS等からなる中子54に収容され
て接着固定され、中子54は、図5に示された光ファイ
バ調整部43に固定されている。図6において(a)
は、このようにして、導波路素子51と光ファイバケー
ブル53とが、最初にセットされた状態を示している。
光ファイバ55の端面は、予め研磨されている。
る。導波路素子51はSUS等からなる金属パッケージ
52に接着固定され、金属パッケージ52は図5に示さ
れたパッケージ固定部42に固定されている。光ファイ
バケーブル53はSUS等からなる中子54に収容され
て接着固定され、中子54は、図5に示された光ファイ
バ調整部43に固定されている。図6において(a)
は、このようにして、導波路素子51と光ファイバケー
ブル53とが、最初にセットされた状態を示している。
光ファイバ55の端面は、予め研磨されている。
【0032】最初、画面上において、導波路素子51上
の金属パターン56と、光ファイバ55との軸ずれ量を
測定する。(b)においては、ずれ量ΔXが例えば0.
38(mm)であったことが示されている。
の金属パターン56と、光ファイバ55との軸ずれ量を
測定する。(b)においては、ずれ量ΔXが例えば0.
38(mm)であったことが示されている。
【0033】次に、(c)に示すように、光ファイバ調
整部43を図示のY方向に移動させて、画面上におい
て、金属パターン56と光ファイバ55との軸が一致す
るように補正を行う。金属パッケージ52には、この
際、中子54が触れることなく移動できるように、穴5
7が設けられている。
整部43を図示のY方向に移動させて、画面上におい
て、金属パターン56と光ファイバ55との軸が一致す
るように補正を行う。金属パッケージ52には、この
際、中子54が触れることなく移動できるように、穴5
7が設けられている。
【0034】次に、(d)に示すように、光ファイバ調
整部43を図示のX方向に移動させて、導波路素子51
の端部と、光ファイバ55の端面とが所定の距離に近接
配置されるようにする。
整部43を図示のX方向に移動させて、導波路素子51
の端部と、光ファイバ55の端面とが所定の距離に近接
配置されるようにする。
【0035】図5に示された他の光ファイバ46の光軸
調整も、同様にして、光ファイバ調整部44を用いて行
なうことができる。
調整も、同様にして、光ファイバ調整部44を用いて行
なうことができる。
【0036】次に、光軸調整装置におけるLED光源4
9と、光パワーメータ50とを動作させて、光パワーメ
ータ50における検出レベルが最大になるように、光フ
ァイバ調整部43を各方向に微動させる。なお、(d)
の段階までの調整では、Z方向の調整は行なわれない
が、Y方向とX方向の調整を行なったことによって、あ
る程度、軸ずれが補正されているので、直ちに光学的調
整に移行することができる。
9と、光パワーメータ50とを動作させて、光パワーメ
ータ50における検出レベルが最大になるように、光フ
ァイバ調整部43を各方向に微動させる。なお、(d)
の段階までの調整では、Z方向の調整は行なわれない
が、Y方向とX方向の調整を行なったことによって、あ
る程度、軸ずれが補正されているので、直ちに光学的調
整に移行することができる。
【0037】このようにして光軸調整が終了したのち、
光ファイバ55の端面と、金属パターン56の直下に位
置する、導波路パターンを形成するコアの部分とを、U
V硬化型接着剤58によって接着して固定する。なおこ
の際、中子54も、金属パッケージ52に接着して固定
する。
光ファイバ55の端面と、金属パターン56の直下に位
置する、導波路パターンを形成するコアの部分とを、U
V硬化型接着剤58によって接着して固定する。なおこ
の際、中子54も、金属パッケージ52に接着して固定
する。
【0038】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、導
波路素子における導波路パターン上に金属パターンを形
成したので、この金属パターンを用いることによって、
容易に導波路パターンの位置を画像情報として認識する
ことができ、従って、導波路型光部品における光ファイ
バとの光軸調整を容易に、かつ短時間に行なうことがで
きる。
波路素子における導波路パターン上に金属パターンを形
成したので、この金属パターンを用いることによって、
容易に導波路パターンの位置を画像情報として認識する
ことができ、従って、導波路型光部品における光ファイ
バとの光軸調整を容易に、かつ短時間に行なうことがで
きる。
【図1】本発明の一実施例における導波路素子の構成を
示す図である。
示す図である。
【図2】本発明の一実施例における導波路型光部品の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図3】中子の構成例を示す図である。
【図4】本発明の一実施例における導波路素子の作成方
法を示す図であって、(a)はアンダークラッド層とコ
ア層の形成、(b)はレジストの塗布、(c)は露光、
(d)はエッチング、(e)はオーバークラッド層の堆
積の各工程を示し、(f)は完成した石英光導波路基板
のウエハを示している。また、(g)はアルミニウム層
の被着、(h)はレジストの塗布、(i)は露光、
(j)はエッチングの各工程を示し、(k)は完成した
導波路素子のウエハを示す。
法を示す図であって、(a)はアンダークラッド層とコ
ア層の形成、(b)はレジストの塗布、(c)は露光、
(d)はエッチング、(e)はオーバークラッド層の堆
積の各工程を示し、(f)は完成した石英光導波路基板
のウエハを示している。また、(g)はアルミニウム層
の被着、(h)はレジストの塗布、(i)は露光、
(j)はエッチングの各工程を示し、(k)は完成した
導波路素子のウエハを示す。
【図5】光軸調整装置の概要を示す図である。
【図6】本発明の一実施例の導波路型光部品の光軸調整
方法を示す図であって、(a)は金属パッケージとこれ
に取り付けた導波路素子および光ファイバケーブルを光
軸調整装置にセットした状態、(b)は金属パターンと
光ファイバとの軸ずれ量の測定状態、(c)は軸ずれを
補正した状態、(d)は導波路素子と光ファイバとを近
接配置した状態、(e)は導波路素子と光ファイバとの
接着固定状態をそれぞれ示す。
方法を示す図であって、(a)は金属パッケージとこれ
に取り付けた導波路素子および光ファイバケーブルを光
軸調整装置にセットした状態、(b)は金属パターンと
光ファイバとの軸ずれ量の測定状態、(c)は軸ずれを
補正した状態、(d)は導波路素子と光ファイバとを近
接配置した状態、(e)は導波路素子と光ファイバとの
接着固定状態をそれぞれ示す。
【図7】従来の導波路型光部品を例示する図である。
1 基板 2 アンダークラッド層 3 コア 4 オーバークラッド層 5 石英光導波路基板 6 金属パターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 7139−2K G02B 6/24 301
Claims (4)
- 【請求項1】 基板(1)上にアンダークラッド層
(2)を設け、該アンダークラッド層(2)上に導波路
パターンに対応するリッジ状のコア(3)を設けるとと
もに、該アンダークラッド層(2)とコア(3)とを覆
ってオーバークラッド層(4)を設けてなる石英光導波
路基板(5)において、 前記オーバークラッド層(4)上に前記導波路パターン
に対応する金属パターン(6)を設けてなることを特徴
とする導波路素子。 - 【請求項2】 前記金属パターン(6)がアルミニウム
(Al)膜からなることを特徴とする請求項1に記載の
導波路素子。 - 【請求項3】 前記導波路素子(7)を金属パッケージ
(9)に収容して固定するとともに、光ファイバ(10
1,112 )を前記コア(3)に対して光軸を合わせて固
定してなることを特徴とする請求項1または2に記載の
導波路型光部品。 - 【請求項4】 基板上にアンダークラッド層を設けると
ともに、該アンダークラッド層上に導波路パターンに対
応するリッジ状のコアを設け、さらに該アンダークラッ
ド層とコアとを覆ってオーバークラッド層を設けてなる
石英光導波路基板における、前記オーバークラッド層上
に前記導波路パターンに対応する金属パターンを設けた
導波路素子に対して、該金属パターンと光ファイバとの
相対位置を調整することによって、前記コアと光ファイ
バとの光軸合わせを行なうことを特徴とする導波路型光
部品の調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30879193A JPH07159636A (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | 導波路型光部品およびその調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30879193A JPH07159636A (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | 導波路型光部品およびその調整方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07159636A true JPH07159636A (ja) | 1995-06-23 |
Family
ID=17985357
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30879193A Withdrawn JPH07159636A (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | 導波路型光部品およびその調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07159636A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7275937B2 (en) | 2004-04-30 | 2007-10-02 | Finisar Corporation | Optoelectronic module with components mounted on a flexible circuit |
US7311240B2 (en) | 2004-04-30 | 2007-12-25 | Finisar Corporation | Electrical circuits with button plated contacts and assembly methods |
JP2008090129A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュールの製造方法、及び、光素子 |
JP2008090128A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュールの製造方法 |
US7425135B2 (en) | 2004-04-30 | 2008-09-16 | Finisar Corporation | Flex circuit assembly |
JP2019028116A (ja) * | 2017-07-26 | 2019-02-21 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路、光導波路接続体および電子機器 |
-
1993
- 1993-12-09 JP JP30879193A patent/JPH07159636A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7275937B2 (en) | 2004-04-30 | 2007-10-02 | Finisar Corporation | Optoelectronic module with components mounted on a flexible circuit |
US7311240B2 (en) | 2004-04-30 | 2007-12-25 | Finisar Corporation | Electrical circuits with button plated contacts and assembly methods |
US7425135B2 (en) | 2004-04-30 | 2008-09-16 | Finisar Corporation | Flex circuit assembly |
JP2008090129A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュールの製造方法、及び、光素子 |
JP2008090128A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュールの製造方法 |
JP2019028116A (ja) * | 2017-07-26 | 2019-02-21 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路、光導波路接続体および電子機器 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |