JPH07157715A - コーティング用組成物の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】アルコキシシラン溶液に水を加えてアルコキシ
基の一部または全部を加水分解した後、副生するアルコ
ールおよび水を留出させながら縮合を行なうことを特徴
とするシロキサンポリマ含有コーティング用組成物の製
造方法。 【効果】本発明のコーティング用組成物は、塗布性に優
れており、塗布後の被膜にムラ、筋などの欠陥が発生し
ない。また、保存中も粘度変化、塗布性劣化がなく、保
存安定性が優れている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はシロキサンポリマを含有
したコーティング用組成物の製造方法に関するものであ
り、さらに詳しくは塗布性および保存安定性の優れたコ
ーティング用組成物を与える製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】アルコキシシランを原料としてこれを水
で加水分解して得られるシロキサンポリマを含有したコ
ーティング用組成物は、例えば特開昭６３−２４１０７
６号、特開平３−１２６６１２号、特開平３−１８８１
７９号公報等に示されるごとく広く知られている。この
ようなコーティング用組成物は通常親水性溶媒中でアル
コキシシランを水および触媒を加えて加水分解縮合させ
て製造されるものであり、縮合の進行は副生するアルコ
ールを還流させながら、あるいは還流温度以下で加熱し
て行なわれており、この加水分解縮合させた反応溶液を
必要に応じて、所定の濃度に約６０℃までの低温域で減
圧下濃縮あるいは希釈したものをコーティング用組成物
とするものである。

【０００３】しかし、従来の製法によるコーティング用
組成物はシロキサンポリマだけではなく、副生するアル
コール成分や加水分解のために加えた水の過剰分や縮合
反応によって生成した水をも含んでいるので、シロキサ
ンポリマが疎水性であることに起因して、このコーティ
ング用組成物は塗布性が悪いという問題点を有してい
た。

【０００４】さらには、従来のコーティング用組成物
は、加水分解縮合反応促進用に加えた触媒に起因して、
保存中に徐々に加水分解縮合反応が進行するため、保存
安定性が悪いという問題をも有していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、塗布
性および保存安定性が共に優れたシロキサンポリマ含有
コーティング用組成物を簡便に与える製造方法を提供す
ることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
アルコキシシラン溶液に水を加えてアルコキシ基の一部
または全部を加水分解した後、副生するアルコールおよ
び水を留出させながら縮合を行なうことを特徴とするシ
ロキサンポリマ含有コーティング用組成物の製造方法に
より達成されるものである。

【０００７】すなわち、従来のアルコキシシランを原料
としてこれを水で加水分解して得られるシロキサンポリ
マを含有したコーティング用組成物の塗布性不良の原因
について本発明者らが検討を行なったところ、溶剤成分
に副生するアルコール成分あるいは水が含まれているこ
とが主原因であり、また、保存中に加水分解縮合反応が
進行することが保存安定性不良の原因となっていること
が分かった。かくして本発明者等は縮合工程において副
生するアルコール成分および水を留出せしめ、かつこの
ような縮合方法を適用することで比較的高縮合度に至る
まで安定に縮合を進行せしめることができ、塗布性、保
存安定性ともに良好なコーティング用組成物が得られる
ことを見出だし本発明に到達したものである。

【０００８】以下、本発明の構成を順に説明する。

【０００９】本発明において用いられるアルコキシシラ
ンは、そのアルコキシ基が加水分解性を有していれば特
に限定はない。好ましくは、次の一般式（１）で表され
るものである。

【００１０】 ［Ｒ_x Ｓｉ（ＯＲ´）_4-x ］ （１） （ただし、Ｒ、Ｒ´は同一もしくは異なっていてもよ
く、それぞれ水素、アルキル基、アリール基、アリル
基、フルオロアルキル基を表す。またｘは０〜３の整数
である。） 具体例としては、テトラヒドロキシシラン、テトラメト
キシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリメトキ
シシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリメト
キシシラン、ビニルトリエトキシシラン、フェニルトリ
メトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ジメチ
ルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフ
ェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラ
ン、トリフルオロメチルメトキシシラン、トリフルオロ
エチルトリメトキシシランなどを挙げることができる。
好ましくは、メチルトリメトキシシラン１０〜１００モ
ル％、フェニルトリメトキシシラン１０〜１００モル
％、およびジメチルジメトキシシラン０〜５０モル％か
ら成る組成物であり、さらに好ましくはメチルトリメト
キシシラン３０〜８０モル％、フェニルトリメトキシシ
ラン１０〜８０モル％、およびジメチルジメトキシシラ
ン０〜３０モル％から成る組成物である。

【００１１】また、テトラアルコキシチタン、テトラア
ルコキシジルコニウムに代表される金属アルコキシド、
あるいは金属アセチルアセトンのような金属アルコキシ
ドの誘導体を共縮合させることも可能である。

【００１２】本発明における組成物調製の反応（加水分
解および縮合反応）は、通常有機溶剤中で行なわれる。
したがって、アルコキシシラン溶液の溶剤成分として
は、公知の有機溶剤を適宜使用できるが、分子内に少な
くとも一個の水酸基および／またはエーテル結合を有す
る液体が好ましく、また、沸点が１００〜３００℃の液
体であることが好ましい。特に、分子内に少なくとも一
個の水酸基およびエーテル結合を有する沸点１００〜３
００℃の液体、さらには１５０〜２００℃の液体が好ま
しい。このような有機溶剤成分としては、例えば３−メ
チル−３−メトキシブタノール、３−メチル−３−メト
キシブチルアセテート、プロピレングリコール−モノ−
メチルエーテル、プロピレングリコール−モノ−メチル
エーテルアセテート、ジプロピレングリコール−モノ−
メチルエーテル、トリプロピレングリコール−モノ−メ
チルエーテル、プロピレングリコール−モノ−３級−ブ
チルエーテル、イソブチルアルコール、イソアミルアル
コール、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテー
ト、ブチルセロソルブ、ブチルセロソルブアセテート、
メチルカルビトール、メチルカルビトールアセテート、
エチルカルビトール、エチルカルビトールアセテート等
が挙げられるがこれらに限定されるものではない。これ
らの中で特に好ましいものは、３−メチル−３−メトキ
シブタノール、３−メチル−３−メトキシブチルアセテ
ート、プロピレングリコール−モノ−メチルエーテル、
プロピレングリコール−モノ−メチルエーテルアセテー
トなどである。

【００１３】分子内に水酸基を有する液体を溶剤成分と
して用いると、共沸によって水の蒸発を促進するので縮
合反応時に水の留出を容易にすることができる。また、
得られるコーティング用組成物の塗布性が優れたものと
なる。

【００１４】分子内にエーテル結合を有する液体を溶剤
成分として用いると、生成するシロキサンポリマの溶解
性が優れたものとなり、また、得られるコーティング用
組成物の塗布性が優れたものとなる。また、酢酸エステ
ル構造を有する液体は同様に塗布性の優れたコーティン
グ用組成物を与える。

【００１５】沸点が１００℃よりも低い液体は、縮合反
応時に留出が大きく、水との共沸により蒸発しやすいの
で好ましくない。また、３００℃よりも高い沸点を有す
る液体は、反応後の溶液をそのままコーティング用組成
物として使用した場合に、塗布後の乾燥によっては蒸発
せずコーティング塗膜に残留するので好ましくない。

【００１６】これらの有機溶剤の使用量は任意に選択可
能であるが、アルコキシシラン１重量部に対して、０．
５〜５．０重量部の範囲で用いるのが好ましい。

【００１７】本発明においてはこのようなアルコキシシ
ラン溶液中のアルコキシシラン濃度は１０〜８０重量％
が好ましく、より好ましくは１５〜６０重量％、さらに
好ましくは２０〜５０重量％である。１０重量％未満で
は縮合の進行が不充分となり、８０重量％よりも多いと
調製中の溶液がゲル化を生じやすい。

【００１８】本発明においては、このようなアルコキシ
シラン溶液に水と、必要に応じて加水分解触媒を加え
て、アルコキシ基の一部または全部を加水分解した後、
副生するアルコールおよび水を留出させながら縮合を行
なう。縮合反応により副生するアルコールとは、アルコ
キシシラン［Ｒ_x Ｓｉ（ＯＲ´）_4-x ］の分解により生
じたアルコールＲ´ＯＨである。また、溶液中には、加
水分解反応のために過剰に加えた水や縮合反応によって
新たに生成した水も含まれている。これらのアルコール
および水がコーティング組成物中に含まれていると、シ
ロキサンポリマが疎水性であるために塗布性の低下の原
因となる。このように、アルコールおよび水を留出させ
ながら縮合を行なうことにより、比較的高重合度に至る
まで安定に縮合を進行せしめることができるので、得ら
れた組成物中に加水分解触媒が存在していても加水分解
縮合反応は進行しにくく、保存安定性に優れたものとな
る。アルコールおよび水の留出は、通常の蒸留法、すな
わちアルコキシシラン溶液を加熱することにより行なえ
ばよい。

【００１９】加水分解縮合反応をさせるために用いる水
はイオン交換水が好ましく、その量はアルコキシシラン
１モルに対して、１〜４倍モルの範囲で用いるのが好ま
しい。

【００２０】また、加水分解縮合反応をさせるために必
要に応じて用いられる加水分解触媒としては、酸触媒が
好ましく、塩酸、硫酸、酢酸、トリフルオロ酢酸、リン
酸、ほう酸、パラトルエンスルフォン酸などが好ましく
使用される。また本発明のコーティング用組成物の用途
に応じては、多価カルボン酸ないしその無水物も好まし
く使用される。このような多価カルボン酸としては特に
限定されるものではないが、具体的には１，２，３，４
−ブタンテトラカルボン酸、３，４，３´，４´−ベン
ゾフェノンテトラカルボン酸、ピロメリット酸、３，
４，３´，４´−ビフェニルテトラカルボン酸、マレイ
ン酸、アジピン酸等が好ましく使用できる。

【００２１】加水分解および縮合の反応条件は、反応系
の構成に応じて決定され、特に限定されるものではない
が、加水分解は０〜７０℃、０．１〜５時間、縮合は７
０〜１８０℃、１〜１０時間で進行せしめることが望ま
しく、特に保存安定性が良好でかつ高分子量のシロキサ
ンポリマを得るには生成水を留出させながらの縮合を７
０〜１８０℃、さらには９０〜１５０℃で進行せしめる
ことが好ましい。本発明によると、従来の環流よりも高
い温度で縮合を行なうことができるので、得られるシロ
キサンポリマの安定性も高いものとなる。

【００２２】このようにして調製された溶液をそのまま
コーティング剤とすることも可能であるが、必要に応じ
て、溶剤を追加あるいは除去して粘度を調製すること、
さらには溶剤を除去してシロキサンポリマを単離し、再
び所望の溶剤に溶解しコーティング剤とすることも可能
である。このときの溶剤としては、前記のアルコキシシ
ラン溶液の溶剤と同様のものがそのまま使用できる。

【００２３】従来の環流により加水分解縮合を行なった
場合には、保存安定性が低いので反応溶液から水や触媒
を除去しないと実用的なものは得られなかったが、本発
明によると、高重合度のシロキサンポリマが得られるの
で、水や触媒を除去しなくても保存安定性に優れたコー
ティング用組成物を得ることができる。したがって、製
造工程の簡略化、低コスト化が達成される。

【００２４】本発明のコーティング用組成物には、塗布
性をさらに改良するために公知の界面活性剤を添加する
こともできる。

【００２５】また、コーティング膜の要求特性に応じて
他の添加剤を加えることも有用である。

【００２６】例えば、ジルコニウム、チタン、アルミニ
ウム等の金属のキレート化合物の添加により、コーティ
ング膜と塗布される各種基材との接着性を改良すること
ができる。このような金属キレート化合物としては、具
体的にはテトラアルコキシジルコニウム、テトラアルコ
キシチタン、トリアルコキシアルミニウム等の金属アル
コオキサイドをアセチルアセトン、アルキルアセトアセ
テートのようなβ−ジケトンあるいはβ−ケトエステル
等と反応せしめて得られる金属キレート化合物が好まし
く使用できる。アルコキシシランと金属アルコキシドあ
るいは金属キレートを共縮合して得られるコーティング
用組成物は特公平６−５５９２５号、特開平３−２０３
７７号、特開平５−７８４８９号、特開平５−１７９２
０１号等で公知であり、そのコーティング膜の有用性も
知られているが、これらの公知技術と比較して、特に本
発明によって得られるコーティング組成物に金属キレー
トを添加して得られるコーティング剤は塗布性と保存安
定性において優れたものとなる。

【００２７】また、グリシドオキシアルキルアルコキシ
シラン、アミノアルキルアルコキシシランあるいはアミ
ノアリールアルコキシシランを添加してコーティング膜
の接着性を改良することができる。特に本発明のコーテ
ィング用組成物の調製において加水分解あるいは縮合触
媒として、多価カルボン酸あるいはその無水物が使用さ
れたとき、得られたコーティング用組成物への添加剤と
してアミノアルキルアルコキシシランまたはアミノアリ
ールアルコキシシランを使用することによって、このコ
ーティング用組成物から得られるコーティング膜に接着
性の他に靭性を付与することができる。すなわち、これ
らの添加剤成分のアルコキシ基はコーティング用組成物
中に残存する微量の水あるいは触媒成分と反応して、こ
れらの添加剤成分の誘導体の形でコーティング用組成物
中に存在し、コーティング膜の形成過程で適用基材との
接着性改良剤あるいは膜の靭性改良剤として機能するも
のである。

【００２８】本発明におけるコーティング用組成物は基
板塗布、乾燥後、通常、加熱により硬化しコーティング
塗膜となるが、この加熱時の反応促進剤として、熱によ
って反応促進剤を発生する化合物を含有させることによ
り、さらに緻密な膜を得ることができる。

【００２９】この熱によって反応促進剤を発生する化合
物としては、熱酸発生剤、あるいは熱アミン発生剤が好
ましい。具体的には、熱酸発生剤としてパラトルエンス
ルフォン酸エステル類、燐酸エステル類、ヨードニウム
塩類、スルホニウム塩が挙げられ、アルキルフェニルト
シレート、３級アルキルトシレート、トリアルキルフェ
ニルフォスフェート、トリアルキルフォスフェート、ベ
ンゾイントシレート、トリ（ニトロベンジル）フォスフ
ェート、トリアニソインフォスフェート、ジアリールヨ
ードニウム塩、トリアリールスルホニウム塩、熱アミン
発生剤としてニトロベンジルシクロヘキシルカルバメー
ト、ジ（メトキシベンジル）ヘキサメチレンジカルバメ
ートなどを挙げることができる。

【００３０】本発明の製造方法によるコーティング用組
成物は、ＬＣＤ用カラーフィルターの保護膜、半導体素
子の保護膜、層間絶縁膜、導波路形成用材料、位相シフ
ター用材料、さらには各種電子部品の保護膜として用い
ることができるが、これらに限定されるものではない。

【００３１】

【実施例】次に、実施例により本発明をさらに詳細に説
明する。

【００３２】実施例１ メチルトリメトキシシラン９５．２ｇ（０．７ｍｏ
ｌ）、フェニルトリメトキシシラン７５．６ｇ（０．３
８ｍｏｌ）をプロピレングリコールモノメチルエーテル
１６４．７ｇに溶解した後に、燐酸０．８５ｇと水４
３．２ｇの混合物を攪拌しながら加え、加水分解を行な
った。得られた溶液をバス温１０５℃で２時間加熱し、
主として副生するメタノールからなる成分１０４ｇを留
出せしめた。次いでバス温１３５℃で０．５時間加熱
し、内温を１１２℃まで上げて、主として水とプロピレ
ングリコールモノメチルエーテルからなる成分３９ｇを
留出せしめた後、室温まで冷却し、シロキサンポリマ含
有コーティング用組成物を得た。

【００３３】このコーティング用組成物をシリコンウェ
ハ上にスピンコーターを用いてコートしたところ、ムラ
のない良好な膜が得られ、良好な塗布性を示した。ま
た、このコーティング用組成物を冷蔵庫５℃で１ケ月保
存した後、同様のコーティングを行なったが、塗布性の
変化は見られなかった。

【００３４】比較例１ 実施例１と同様に、メチルトリメトキシシラン９５．２
ｇ（０．７ｍｏｌ）、フェニルトリメトキシシラン７
５．６ｇ（０．３８ｍｏｌ）をプロピレングリコールモ
ノメチルエーテル１６４．７ｇに溶解した後に、燐酸
０．８５ｇと水４３．２ｇの混合物を攪拌しながら加え
た。得られた溶液を加熱し、還流させながら、２４時間
反応させて、シロキサンポリマ含有コーティング用組成
物を得た。

【００３５】このコーティング用組成物をシリコンウェ
ハ上にスピンコーターを用いてコートしたところ、多数
のクレーター状のムラが見られた。また、さらに、この
コーティング用組成物は冷蔵庫保存により、粘度上昇が
見られた。

【００３６】実施例２ メチルトリメトキシシラン９５．２ｇ（０．７ｍｏ
ｌ）、ジメチルジメトキシシラン３６ｇ（０．３ｍｏ
ｌ）、フェニルトリメトキシシラン３９．６ｇ（０．２
ｍｏｌ）を３−メチル−３−メトキシブタノール１００
ｇとプロピレングリコールモノメチルエーテル９３．４
ｇの混合物に溶解し、これに、水６０ｇ、リン酸４ｇを
攪拌しながら加えた。得られた溶液をバス温１０５℃で
２時間加熱し、内温を９０℃まで上げて、主として副生
するメタノールからなる成分９０ｇを留出せしめた。次
いでバス温１３０℃で１．０時間加熱し、内温を１１８
℃まで上げて、主として水とプロピレングリコールモノ
メチルエーテルからなる成分７０ｇを留出せしめた後、
室温まで冷却し、シロキサンポリマ含有コーティング用
組成物を得た。

【００３７】このコーティング用組成物をシリコンウェ
ハ上にスピンコーターを用いてコートしたところ、ムラ
のない良好な膜が得られ、良好な塗布性を示した。ま
た、このコーティング用組成物を冷蔵庫５℃で３ケ月保
存したが、粘度上昇は無く、同様のコーティングを行な
ったが、塗布性の変化は見られなかった。

【００３８】比較例２ メチルトリメトキシシラン１９０ｇ（１．４ｍｏｌ）、
ジメチルジメトキシシラン７２ｇ（０．６ｍｏｌ）、フ
ェニルトリメトキシシラン７．９ｇ（０．４ｍｏｌ）を
メチルイソブチルケトン９０ｇに溶解し、これに、水１
２０ｇ、リン酸１０ｇを攪拌しながら加えた。得られた
溶液を加熱し、還流させながら、３時間反応させた。得
られた溶液を減圧下に６０℃で濃縮して、シロキサンポ
リマ含有コーティング用組成物を得た。

【００３９】このコーティング用組成物をシリコンウェ
ハ上にスピンコーターを用いてコートしたところ、ムラ
のない良好な膜が得られたが、冷蔵庫で３ケ月保存後、
著しい粘度上昇が生じ、スピンコーターを用いたコーテ
ィングができなかった。

【００４０】実施例３ メチルトリメトキシシラン１９０．４ｇ（１．４ｍｏ
ｌ）、ジメチルジメトキシシラン７２ｇ（０．６ｍｏ
ｌ）、フェニルトリメトキシシラン７９．２ｇ（０．４
ｍｏｌ）をプロピレングリコールモノメチルエーテル２
５５．６ｇに溶解し、これに、水１２０ｇ、酢酸０．２
ｇの混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液をバス
温１０５℃で２時間加熱し、内温を９５℃まで上げて、
主として副生するメタノールからなる成分１８０ｇを留
出せしめた。次いでバス温１３０℃で０．５時間加熱
し、内温を１１０℃まで上げて、主として水とプロピレ
ングリコールモノメチルエーテルからなる成分１２４ｇ
を留出せしめた後、室温まで冷却し、シロキサンポリマ
含有コーティング用組成物を得た。

【００４１】このコーティング用組成物をシリコンウェ
ハ上にスピンコーターを用いてコートしたところ、ムラ
のない良好な膜が得られ、良好な塗布性を示した。ま
た、このコーティング用組成物を室温で３ケ月保存した
が、粘度上昇は無く、同様のコーティングを行なったと
ころ、塗布性の変化は見られなかった。

【００４２】実施例４ 実施例３で得たコーティング用組成物にさらにベンゾイ
ントシレートをシロキサンポリマに対して、０．５重量
％添加した。

【００４３】ベンゾイントシレート添加後のコーティン
グ用組成物は、未添加品同様に良好な塗布性と保存安定
性を有していた。さらに、電子顕微鏡観察によるとキュ
ア後の膜はより緻密な膜となっていることが観察され
た。

【００４４】実施例５ メチルトリメトキシシラン６８ｇ（０．５ｍｏｌ）、フ
ェニルトリメトキシシラン１９．８ｇ（０．１ｍｏｌ）
を３−メチル−３−メトキシブタノール１００ｇとプロ
ピレングリコールモノメチルエーテル５０ｇの混合物に
溶解し、パラトルエンスルフォン酸０．１ｇと水２７ｇ
の混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液をバス温
１０５℃で２時間加熱し、主として副生するメタノール
からなる成分４０ｇを留出せしめた。次いでバス温１３
５℃で０．５時間加熱し、内温を１２８℃まで上げて、
主として水とプロピレングリコールモノメチルエーテル
からなる成分３９ｇを留出せしめた後、室温まで冷却し
た。このようにして得られたコーティング用組成物をシ
リコンウェハ上にスピンコーターを用いてコートしたと
ころ、ムラのない良好な膜が得られ、良好な塗布性を示
した。また、このコーティング用組成物を冷蔵庫５℃で
１ケ月保存した後、同様のコーティングを行なったが、
塗布性の変化は見られなかった。

【００４５】実施例６ メチルトリメトキシシラン２７２．０ｇ（２．０ｍｏ
ｌ）、フェニルトリメトキシシラン３９６．０ｇ（２．
０ｍｏｌ）を３−メチル−３−メトキシブタノール７７
９．３ｇに溶解した後に、燐酸６．７ｇと水２１６．０
ｇの混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液をバス
温１０５℃で３時間加熱し、主として副生するメタノー
ルからなる成分３０２ｇを留出せしめた。次いでバス温
１３５℃で２．５時間加熱し、内温を１１８℃まで上げ
て、主として水とメタノールからなる成分１４７ｇを留
出せしめた後、室温まで冷却した。このようにして得ら
れたコーティング組成物をシリコンウェハ上にスピンコ
ーターを用いてコートしたところ、ムラのない良好な膜
が得られ、良好な塗布性を示した。また、このコーティ
ング用組成物を冷蔵庫５℃で１ケ月保存した後、同様の
コーティングを行なったが、塗布性の変化は見られなか
った。

【００４６】実施例７ 実施例６と同様のコーティング用組成物を調製した後、
ジルコニウムのアセト酢酸エチルエステル２価キレート
の３−メチル−３−メトキシブタノール溶液（ジルコニ
ア換算含量１０重量％）をコーティング用組成物に対し
て５重量％添加混合して、キレート添加のコーティング
用組成物を調製した。このようにして得られたコーティ
ング組成物をガラス板上にスピンコーターを用いてコー
トしたところ、ムラのない良好な膜が得られ、良好な塗
布性を示した。このコーティングガラス基板を９０℃、
５分さらに２９０℃、３０分の加熱硬化を行なった後に
１２０℃、２気圧、相対湿度１００％のオーブンに入れ
て４８時間の処理を行なったが、コーティング膜の剥離
は生じなかった。

【００４７】参考例 実施例６で得られたコーティング用組成物を実施例７と
同様にガラス板上にスピンコーターを用いてコートした
ところ、ムラのない良好な膜が得られ、良好な塗布性を
示したが、このコーティングガラス基板を９０℃、５分
さらに２９０℃、３０分の加熱硬化を行なった後に１２
０℃、２気圧、相対湿度１００％のオーブンに入れて４
８時間の処理を行なったところ、コーティング膜の１部
がガラス板から剥離した。

【００４８】実施例８ メチルトリメトキシシラン４０．８ｇ（０．３ｍｏ
ｌ）、フェニルトリメトキシシラン５９．４ｇ（０．３
ｍｏｌ）およびベンゾフェノンテトラカルボン酸２無水
物４．８３ｇを３−メチル−３−メトキシブタノール２
００ｇに溶解した後に、燐酸６．７ｇと水２１６．０ｇ
の混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液をバス温
１０５℃で３時間加熱し、主として副生するメタノール
からなる成分４０ｇを留出せしめた。次いでバス温１３
５℃で２．５時間加熱し、内温を１２５℃まで上げて、
主として水とメタノールからなる成分２２ｇを留出せし
めた後、室温まで冷却した。このようにして得られたコ
ーティング組成物をシリコンウェハ上にスピンコーター
を用いてコートしたところ、ムラのない良好な膜が得ら
れ、良好な塗布性を示した。また、このコーティング用
組成物を室温（２５℃）で１ケ月保存した後、同様のコ
ーティングを行なったが、塗布性の変化は見られなかっ
た。

【００４９】実施例９ メチルトリメトキシシラン４０．８ｇ（０．３ｍｏ
ｌ）、フェニルトリメトキシシラン５９．４ｇ（０．３
ｍｏｌ）およびベンゾフェノンテトラカルボン酸２無水
物４．８３ｇを３−メチル−３−メトキシブタノール２
００ｇに溶解した後に、燐酸６．７ｇと水２１６．０ｇ
の混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液をバス温
１０５℃で３時間加熱し、主として副生するメタノール
からなる成分４０ｇを留出せしめた。次いでバス温１３
５℃で２．５時間加熱し、内温を１２５℃まで上げて、
主として水とメタノールからなる成分２２ｇを留出せし
めた後、５０℃まで冷却した。このようにして得られた
溶液にアミノプロピルメチルジエトキシシラン５．８ｇ
と３−メチル−３−メトキシブタノール５７．３ｇを添
加してコーティング組成物とした。このようにして得ら
れたコーティング組成物をガラス板上にスピンコーター
を用いてコートしたところ、ムラのない良好な膜が得ら
れ、良好な塗布性を示した。このコーティングガラス基
板を９０℃、５分さらに２９０℃、３０分の加熱硬化を
行なった後に１２０℃、２気圧、相対湿度１００％のオ
ーブンに入れて４８時間の処理を行なったが、コーティ
ング膜の剥離は生じなかった。

【００５０】

【発明の効果】本発明の製造方法によるコーティング用
組成物は、塗布性に優れており、塗布後の被膜にムラ、
筋などの欠陥が発生しない。また、保存中も粘度変化、
塗布性劣化がなく、保存安定性が優れている。

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アルコキシシラン溶液に水を加えてアル
   コキシ基の一部または全部を加水分解した後、副生する
   アルコールおよび水を留出させながら、加水分解・縮合
   または縮合を行なうことを特徴とするシロキサンポリマ
   含有コーティング用組成物の製造方法。
2. 【請求項２】 アルコキシシラン溶液の溶剤成分の一部
   または全部が、沸点１００〜３００℃の液体であること
   を特徴とする請求項１記載のコーティング用組成物の製
   造方法。
3. 【請求項３】 アルコキシシラン溶液の溶剤成分の一部
   または全部が、分子内に少なくとも一個の水酸基および
   ／またはエーテル結合を有する液体であることを特徴と
   する請求項１記載のコーティング用組成物の製造方法。
4. 【請求項４】 アルコキシシラン溶液の溶剤成分の一部
   または全部が、分子内に少なくとも一個の水酸基および
   エーテル結合を有する沸点１００〜３００℃の液体であ
   ることを特徴とする請求項１記載のコーティング用組成
   物の製造方法。
5. 【請求項５】 アルコキシシラン溶液に水と加水分解触
   媒を加えて加水分解することを特徴とする請求項１記載
   のコーティング用組成物の製造方法。
6. 【請求項６】 加水分解触媒が酸触媒であることを特徴
   とする請求項６記載のコーティング用組成物の製造方
   法。
7. 【請求項７】 縮合の進行が７０〜１８０℃で行なわれ
   ることを特徴とする請求項１記載のコーティング用組成
   物の製造方法。
8. 【請求項８】 アルコキシシランが、下記一般式（１）
   で表わされる化合物であることを特徴とする請求項１記
   載のコーティング用組成物の製造方法。 ［Ｒ_x Ｓｉ（ＯＲ´）_4-x ］ （１） （ただし、Ｒ、Ｒ´は同一もしくは異なっていてもよ
   く、それぞれ水素、アルキル基、アリール基、アリル
   基、フルオロアルキル基を表す。またｘは０〜３の整数
   である。）
9. 【請求項９】 アルコキシシランの少なくとも一部とし
   て、メチルトリアルコキシシランおよびフェニルトリア
   ルコキシシランを含むことを特徴とする請求項８記載の
   コーティング用組成物の製造方法。
10. 【請求項１０】 コーティング組成物が金属キレート化
    合物を含有することを特徴とする請求項１記載のコーテ
    ィング用組成物の製造方法。
11. 【請求項１１】 金属キレート化合物が、ジルコニウ
    ム、チタンおよびアルミニウムからなる群から選ばれる
    少なくとも一種の金属のキレート化合物であることを特
    徴とするコーティング用組成物の製造方法。
12. 【請求項１２】 アルコキシシラン溶液が、多価カルボ
    ン酸またはその無水物を含有することを特徴とする請求
    項１記載のコーティング用組成物の製造方法。
13. 【請求項１３】 コーティング用組成物に、アミノアル
    キルアルコキシシランおよび／またはアミノアリールア
    ルコキシシランが添加されてなることを特徴とする請求
    項１記載のコーティング用組成物の製造方法。