JPH07142433A - ポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄用治具 - Google Patents
ポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄用治具Info
- Publication number
- JPH07142433A JPH07142433A JP29071893A JP29071893A JPH07142433A JP H07142433 A JPH07142433 A JP H07142433A JP 29071893 A JP29071893 A JP 29071893A JP 29071893 A JP29071893 A JP 29071893A JP H07142433 A JPH07142433 A JP H07142433A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polytetrafluoroethylene
- water
- fluorine gas
- cleaning
- cleaning jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 45
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 39
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 title claims abstract description 30
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 title claims abstract description 30
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 title claims abstract description 30
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 7
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 3
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000011160 research Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- LFYJSSARVMHQJB-QIXNEVBVSA-N bakuchiol Chemical compound CC(C)=CCC[C@@](C)(C=C)\C=C\C1=CC=C(O)C=C1 LFYJSSARVMHQJB-QIXNEVBVSA-N 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000012770 industrial material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 フッ素ガスで接触処理したポリテトラフルオ
ロエチレン製水系洗浄用治具。 【効果】 本発明のポリテトラフルオロエチレン製水系
洗浄用治具は、優れた水切れ性を有している。このた
め、各種分野の水系洗浄工程における被洗浄物用の保持
具として使用した場合、洗浄、乾燥に要する時間短縮す
ることができる。
ロエチレン製水系洗浄用治具。 【効果】 本発明のポリテトラフルオロエチレン製水系
洗浄用治具は、優れた水切れ性を有している。このた
め、各種分野の水系洗浄工程における被洗浄物用の保持
具として使用した場合、洗浄、乾燥に要する時間短縮す
ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、各種分野の水系洗浄工
程において被洗浄物の保持具として使用するポリテトラ
フルオロエチレン製水系洗浄用治具に関する。
程において被洗浄物の保持具として使用するポリテトラ
フルオロエチレン製水系洗浄用治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、洗浄剤としてのフロン使用の規制
にともない、半導体や精密機械洗浄の分野において、水
系洗浄工程が普及してきている。この工程では、いくつ
もの槽に分けて入れられた数種の水系洗浄液又は洗浄水
中に、半導体ウェハー洗浄用キャリヤー等の治具に保持
された被洗浄物を連続的に順次浸漬する方式が多く採用
されている。
にともない、半導体や精密機械洗浄の分野において、水
系洗浄工程が普及してきている。この工程では、いくつ
もの槽に分けて入れられた数種の水系洗浄液又は洗浄水
中に、半導体ウェハー洗浄用キャリヤー等の治具に保持
された被洗浄物を連続的に順次浸漬する方式が多く採用
されている。
【０００３】従来、この工程において使用されるキャリ
ヤー等の治具類の成形材料としては、ポリテトラフルオ
ロエチレンが知られている。このポリテトラフルオロエ
チレンは水切れ性の目安となる水との接触角が１１０°
程度とされ、一般的な工業材料の中でも高いレベルにあ
り、水切れ性が要求される水系洗浄用治具材料としては
好ましいものである。
ヤー等の治具類の成形材料としては、ポリテトラフルオ
ロエチレンが知られている。このポリテトラフルオロエ
チレンは水切れ性の目安となる水との接触角が１１０°
程度とされ、一般的な工業材料の中でも高いレベルにあ
り、水切れ性が要求される水系洗浄用治具材料としては
好ましいものである。
【０００４】しかし、水はフロンと比べると極めて揮発
性が劣るため、治具用材料としていかにポリテトラフル
オロエチレンを使用したとしても、水切れ性の低下が問
題となる。即ち、洗浄槽から引き上げた被洗浄物の付着
水除去に時間と手間がかかることが生産性の低下を招く
という問題、更に、付着水が他の洗浄槽の洗浄液を汚染
し、その交換寿命を縮めるという問題である。また、被
洗浄物とキャリヤー等の治具との接触部分には特に水が
溜り易く、用途によってはその滞留水の除去の遅れが、
製品不良の原因となるとも考えられている。
性が劣るため、治具用材料としていかにポリテトラフル
オロエチレンを使用したとしても、水切れ性の低下が問
題となる。即ち、洗浄槽から引き上げた被洗浄物の付着
水除去に時間と手間がかかることが生産性の低下を招く
という問題、更に、付着水が他の洗浄槽の洗浄液を汚染
し、その交換寿命を縮めるという問題である。また、被
洗浄物とキャリヤー等の治具との接触部分には特に水が
溜り易く、用途によってはその滞留水の除去の遅れが、
製品不良の原因となるとも考えられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の問題点を解決す
べく、従来より、洗浄液を加温して揮発性を上げ、極め
てゆっくりした速度で被洗浄物を引き上げて付着水を液
面で蒸発させる方法、また遠心分離器で付着水を除去す
る方法などが試みられている。しかし、これらの方法
も、時間、手間、コストなどの生産性の点から十分であ
るとはいえない。そこで本発明は、水切れ性が大幅に向
上され、付着水量を小さくでき、生産性を向上させるこ
とができるポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄用治
具を提供することを目的とする。
べく、従来より、洗浄液を加温して揮発性を上げ、極め
てゆっくりした速度で被洗浄物を引き上げて付着水を液
面で蒸発させる方法、また遠心分離器で付着水を除去す
る方法などが試みられている。しかし、これらの方法
も、時間、手間、コストなどの生産性の点から十分であ
るとはいえない。そこで本発明は、水切れ性が大幅に向
上され、付着水量を小さくでき、生産性を向上させるこ
とができるポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄用治
具を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明ポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄用治
具は、フッ素ガスで接触処理したポリテトラフルオロエ
チレンより成るものである。
に、本発明ポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄用治
具は、フッ素ガスで接触処理したポリテトラフルオロエ
チレンより成るものである。
【０００７】以下、本発明をその製造方法を示しながら
説明する。まず、所望形状のポリテトラフルオロエチレ
ン成形体を製造する。この成形体の製造方法は特に制限
されるものではなく、用途に応じ公知のプラスチック加
工技術を適宜組み合わせて適用することができるが、特
に棒や板に圧縮成形して熱処理した物を切削加工して成
形したものが、水切れ性の点で良い結果を与える。
説明する。まず、所望形状のポリテトラフルオロエチレ
ン成形体を製造する。この成形体の製造方法は特に制限
されるものではなく、用途に応じ公知のプラスチック加
工技術を適宜組み合わせて適用することができるが、特
に棒や板に圧縮成形して熱処理した物を切削加工して成
形したものが、水切れ性の点で良い結果を与える。
【０００８】このようにして得られた所望形状のポリテ
トラフルオロエチレン成形体を、フッ素ガスにより接触
処理する。
トラフルオロエチレン成形体を、フッ素ガスにより接触
処理する。
【０００９】この接触処理方法は特に制限されるもので
はなく、例えば、次の方法により処理することができ
る。まず、ポリテトラフルオロエチレン成形体を金属製
チャンバーに入れる。次に、処理温度を設定した後、チ
ャンバー内に一定範囲濃度のフッ素ガスを導入する。一
定時間そのままで保持した後、フッ素ガスを空気と置換
して、ポリテトラフルオロエチレン成形体を取り出す。
はなく、例えば、次の方法により処理することができ
る。まず、ポリテトラフルオロエチレン成形体を金属製
チャンバーに入れる。次に、処理温度を設定した後、チ
ャンバー内に一定範囲濃度のフッ素ガスを導入する。一
定時間そのままで保持した後、フッ素ガスを空気と置換
して、ポリテトラフルオロエチレン成形体を取り出す。
【００１０】この場合の処理温度は、常温〜２５０℃が
好ましい。温度が常温未満の場合には処理時間が長くな
り過ぎ、水切れ性も低下するので好ましくない。また、
２５０℃を超える場合には、ポリテトラフルオロエチレ
ン成形体が熱変形し易くなり、寸法精度が低下するため
好ましくない。特に好ましい処理温度は１５０〜２２０
℃である。
好ましい。温度が常温未満の場合には処理時間が長くな
り過ぎ、水切れ性も低下するので好ましくない。また、
２５０℃を超える場合には、ポリテトラフルオロエチレ
ン成形体が熱変形し易くなり、寸法精度が低下するため
好ましくない。特に好ましい処理温度は１５０〜２２０
℃である。
【００１１】この場合のフッ素ガス濃度は、処理温度と
関連し、また使用するチャンバーの容積に応じた処理時
間を考慮して、適宜決定することが好ましい。即ち、処
理温度が低温の場合にはフッ素ガス濃度を高濃度とし
（処理時間は比較的長くなる）、高温の場合には低濃度
とする（処理時間は比較的短くなる）。本発明において
は、上記処理温度との関連において、フッ素ガス濃度が
１０〜２００torrの範囲であることが好ましく、５０〜
１５０torrが特に好ましい。
関連し、また使用するチャンバーの容積に応じた処理時
間を考慮して、適宜決定することが好ましい。即ち、処
理温度が低温の場合にはフッ素ガス濃度を高濃度とし
（処理時間は比較的長くなる）、高温の場合には低濃度
とする（処理時間は比較的短くなる）。本発明において
は、上記処理温度との関連において、フッ素ガス濃度が
１０〜２００torrの範囲であることが好ましく、５０〜
１５０torrが特に好ましい。
【００１２】本発明のポリテトラフルオロエチレン製水
系洗浄用治具としては、例えば半導体ウェハー洗浄用キ
ャリヤー、液晶表示器用ガラス板洗浄用キャリヤーある
いは液晶表示器用ガラス板洗浄用ガイドロールが好まし
いものとして挙げられる。
系洗浄用治具としては、例えば半導体ウェハー洗浄用キ
ャリヤー、液晶表示器用ガラス板洗浄用キャリヤーある
いは液晶表示器用ガラス板洗浄用ガイドロールが好まし
いものとして挙げられる。
【００１３】
【作用】本発明のポリテトラフルオロエチレン製水系洗
浄用治具は、その表面がフッ素ガス処理される結果、表
面エネルギーが小さいものとなり、優れた水切り作用を
奏する。特にこの作用は切削加工して得られたポリテト
ラフルオロエチレン成形体の場合に顕著であるが、これ
はその表面付近のポリテトラフルオロエチレンの分子鎖
が切削により切断され、これにより生成した活性な末端
基が、その後のフッ素処理により、−ＣＦ3基に変換さ
れたため、その結果−ＣＦ3基の低分極率により成形体
の表面エネルギーが低下し、水を付着しにくくするもの
と推定される。
浄用治具は、その表面がフッ素ガス処理される結果、表
面エネルギーが小さいものとなり、優れた水切り作用を
奏する。特にこの作用は切削加工して得られたポリテト
ラフルオロエチレン成形体の場合に顕著であるが、これ
はその表面付近のポリテトラフルオロエチレンの分子鎖
が切削により切断され、これにより生成した活性な末端
基が、その後のフッ素処理により、−ＣＦ3基に変換さ
れたため、その結果−ＣＦ3基の低分極率により成形体
の表面エネルギーが低下し、水を付着しにくくするもの
と推定される。
【００１４】
【実施例】以下、実施例及び比較例により本発明を具体
的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものでは
ない。
的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものでは
ない。
【００１５】実施例１〜３及び比較例補強用ＳＵＳ材を
打ち込んだロール状のポリテトラフルオロエチレン成形
体を、ソロバン玉型に切削加工し、図１に示すような形
状（２０ｍｍ×２７０ｍｍ）の液晶表示器用ガラス板洗
浄用ガイドロール模造品を製造した。次に、このガイド
ロール模造品に対し、下記表１に示す処理条件でフッ素
ガス接触処理した。
打ち込んだロール状のポリテトラフルオロエチレン成形
体を、ソロバン玉型に切削加工し、図１に示すような形
状（２０ｍｍ×２７０ｍｍ）の液晶表示器用ガラス板洗
浄用ガイドロール模造品を製造した。次に、このガイド
ロール模造品に対し、下記表１に示す処理条件でフッ素
ガス接触処理した。
【００１６】
【表１】
【００１７】これらの実施例１〜３のガイドロール模造
品とフッ素ガス接触処理していないガイドロール模造品
（比較例）とを供試体とし、水切れ性の試験をした。試
験方法は次のとおりである。まず、供試体を電子天秤に
より吊り下げ、その常態における重量を秤量した。次
に、吊り下げられた供試体の下方に蒸留水を入れたガラ
ス容器を置き、それを約５ｃｍ／ｓｅｃの速度で上昇さ
せ、最後には供試体の全体が完全に水没するように浸漬
させた。５分間経過後、ガラス容器を約５ｃｍ／ｓｅｃ
の速度で下降させ、供試体を完全に水から出し、そのま
まその重量を測定した。この操作を計５回行い、常態重
量（浸漬回数０）との差を水の付着量（単位ｇ）とし
た。測定条件は、水温２２℃、室温２４℃、湿度４５％
であった。結果を表２に示す。
品とフッ素ガス接触処理していないガイドロール模造品
（比較例）とを供試体とし、水切れ性の試験をした。試
験方法は次のとおりである。まず、供試体を電子天秤に
より吊り下げ、その常態における重量を秤量した。次
に、吊り下げられた供試体の下方に蒸留水を入れたガラ
ス容器を置き、それを約５ｃｍ／ｓｅｃの速度で上昇さ
せ、最後には供試体の全体が完全に水没するように浸漬
させた。５分間経過後、ガラス容器を約５ｃｍ／ｓｅｃ
の速度で下降させ、供試体を完全に水から出し、そのま
まその重量を測定した。この操作を計５回行い、常態重
量（浸漬回数０）との差を水の付着量（単位ｇ）とし
た。測定条件は、水温２２℃、室温２４℃、湿度４５％
であった。結果を表２に示す。
【００１８】
【表２】
【００１９】表２から明らかなとおり、実施例１〜３の
場合は比較例と比べると、水付着量が１／２〜１／７と
少なく、優れた水切れ性を示していた。
場合は比較例と比べると、水付着量が１／２〜１／７と
少なく、優れた水切れ性を示していた。
【００２０】
【発明の効果】本発明のポリテトラフルオロエチレン製
水系洗浄用治具は、その表面エネルギーが小さいので、
優れた水切れ性を有している。このため、水系洗浄工程
に使用した場合でも、水の付着量が小さいので、その除
去が容易である。また、複数の洗浄工程に連続的に使用
する場合には、一の工程から他の工程への水の持ち込み
量を小さくできるため、洗浄液の汚染も小さく、その交
換寿命を長くすることができる。このように、本発明の
ポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄用治具を使用す
ることにより、洗浄と乾燥に要する時間を短縮でき、コ
ストも低減できるので、生産性を大きく向上させること
ができる。本発明のポリテトラフルオロエチレン製水系
洗浄用治具は、各種分野の水系洗浄工程において使用す
ることができる。
水系洗浄用治具は、その表面エネルギーが小さいので、
優れた水切れ性を有している。このため、水系洗浄工程
に使用した場合でも、水の付着量が小さいので、その除
去が容易である。また、複数の洗浄工程に連続的に使用
する場合には、一の工程から他の工程への水の持ち込み
量を小さくできるため、洗浄液の汚染も小さく、その交
換寿命を長くすることができる。このように、本発明の
ポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄用治具を使用す
ることにより、洗浄と乾燥に要する時間を短縮でき、コ
ストも低減できるので、生産性を大きく向上させること
ができる。本発明のポリテトラフルオロエチレン製水系
洗浄用治具は、各種分野の水系洗浄工程において使用す
ることができる。
【図１】 図１は、水切れ性を確認する試験に用いた液
晶表示器用ガラス板洗浄用ガイドロール模造品の正面図
である。
晶表示器用ガラス板洗浄用ガイドロール模造品の正面図
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小野 雅宏 茨城県石岡市大字柏原６−１ 株式会社ア スク中央研究所内 (72)発明者 斉木 幸則 千葉県佐倉市大作２−４−２ 小野田セメ ント株式会社中央研究所内 (72)発明者 市川 美奈 千葉県佐倉市大作２−４−２ 小野田セメ ント株式会社中央研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 フッ素ガスで接触処理したポリテトラフ
ルオロエチレン製水系洗浄用治具。 - 【請求項２】 温度が常温〜２５０℃でフッ素ガス濃度
が１０〜２００torrの条件下、フッ素ガス接触処理する
ことを特徴とする請求項１記載のポリテトラフルオロエ
チレン製水系洗浄用治具。 - 【請求項３】 ポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄
用治具が、ポリテトラフルオロエチレン成形体を切削加
工して得られたものである請求項１又は２記載のポリテ
トラフルオロエチレン製水系洗浄用治具。 - 【請求項４】 ポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄
用治具が、半導体ウェハー洗浄用キャリヤー、液晶表示
器用ガラス板洗浄用キャリヤー又は同ガイドロールであ
る請求項１〜３の何れか１項記載のポリテトラフルオロ
エチレン製水系洗浄用治具。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29071893A JPH07142433A (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | ポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄用治具 |
| KR1019940000534A KR940018419A (ko) | 1993-01-18 | 1994-01-13 | 발수성을 향상시킨 불소 함유 고분자 성형체 및 이로 부터 제조된 세정용 지그 |
| DE4401363A DE4401363A1 (de) | 1993-01-18 | 1994-01-18 | Formteile aus fluorhaltigem Polymer mit erhöhter Wasserabstoßung und daraus hergestellte Einspannvorrichtungen zum Waschen |
| US08/450,990 US5599489A (en) | 1993-01-18 | 1995-05-25 | Preparing molded articles of fluorine-containing polymer with increased water-repellency |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29071893A JPH07142433A (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | ポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07142433A true JPH07142433A (ja) | 1995-06-02 |
Family
ID=17759629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29071893A Pending JPH07142433A (ja) | 1993-01-18 | 1993-11-19 | ポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07142433A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002060987A1 (fr) * | 2001-01-30 | 2002-08-08 | Daikin Industries, Ltd. | Resine de moulage pour tamis utilise dans le nettoyage de pieces electroniques et tamis obtenu |
-
1993
- 1993-11-19 JP JP29071893A patent/JPH07142433A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002060987A1 (fr) * | 2001-01-30 | 2002-08-08 | Daikin Industries, Ltd. | Resine de moulage pour tamis utilise dans le nettoyage de pieces electroniques et tamis obtenu |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4261791A (en) | Two step method of cleaning silicon wafers | |
| KR100979691B1 (ko) | 연마 유리 기판의 제조 방법 | |
| CN1329748A (zh) | 晶片清洗和蒸汽干燥***和方法 | |
| WO2002019390A2 (en) | Cleaning of semiconductor process equipment chamber parts using organic solvents | |
| WO2007049545A1 (ja) | ガラス条の製造方法 | |
| US6375752B1 (en) | Method of wet-cleaning sintered silicon carbide | |
| JPH07142433A (ja) | ポリテトラフルオロエチレン製水系洗浄用治具 | |
| JP4188473B2 (ja) | 炭化ケイ素焼結体の湿式洗浄方法 | |
| JP2000128692A (ja) | ポリシリコンの洗浄方法 | |
| CN1224077C (zh) | 回收芯片的清洗方法 | |
| US6451124B1 (en) | Process for the chemical treatment of semiconductor wafers | |
| JP3020873B2 (ja) | 有機アミン系薬剤使用機器用材料 | |
| EP0481811B1 (en) | Treatment method of cleaning surface of plastic molded item | |
| JP3031407B2 (ja) | ステンレス鋼及びその製造方法 | |
| JP2003332292A (ja) | シリコン製品の浄化方法 | |
| JP3518892B2 (ja) | 精密洗浄方法および洗浄装置 | |
| DE19901014C1 (de) | Verfahren zur Bestimmung des Tiefenprofils von metallischen Verunreinigungen in einer Halbleiterscheibe | |
| JPH0574922A (ja) | ウエーハ洗浄用薬品容器の製造方法 | |
| JPH04202028A (ja) | 板ガラスの洗浄法 | |
| JPH0947732A (ja) | 精密洗浄方法 | |
| KR20060095018A (ko) | 금속 증착챔버의 실드 세정방법 | |
| CN117309538A (zh) | 一种表征mlci的银内电极的处理方法 | |
| JPH10189675A (ja) | パ−ティクル検出用ダミーウエハ | |
| JP2001107300A (ja) | アルミニウム材の電解研磨処理方法 | |
| RU1445128C (ru) | Способ травления оптических деталей из стеклокристаллического материала |