JPH07140046A - レンズ性能検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 テストパターン部に回転等の機構を設けるこ
となく、レンズ性能を検査する。 【構成】 光源１と被検レンズ４との間にテストパター
ンを構成するための液晶２を配置する。テストパターン
の投影像の結像位置に像走査手段５を設け、信号処理手
段６により像を解析する。液晶ドライバ３で液晶２を制
御し、検査方法、被検レンズの検査方向等によりテスト
パターンを変更する。液晶２がテストパターンを変更す
るため、回転機構が不要となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被検レンズにより形成
されるテストパターン投影像の位置的光強度分布を測定
して、被検レンズの軸上を含む複数像高のテストパター
ン投影像の結像状態を検査するレンズ性能検査装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】写真レンズ等の被検レンズを介して、チ
ャートに設けられたスリット等のテストパターンを結像
させ、ＣＣＤ等の受光素子で位置的光強度分布を時系列
信号に変換し、受光素子から得られる信号を解析して被
検レンズの軸上を含む複数の像高の結像性能を検査する
従来のレンズ性能検査装置が特公昭６３−３６４４９号
公報に開示されている。この装置は被検レンズの光軸と
直交する平面内における上記光軸からの任意の距離の複
数位置にそれぞれチャートパターンを配置し、被検レン
ズを介して複数の固体走査素子上に、上記各チャートパ
ターンの像を結像し、各固体走査素子からの出力信号に
より被検レンズのＭＴＦ検査を行うものであり、複数個
の固体走査素子を機械的回動手段により被検レンズの光
軸と直交する平面内で上記各固体走査素子の中央部或い
はその近傍を回転中心として同時に同量回転させて各固
体走査素子の配列方向を変えると共に、上記複数個の各
チャートパターンについても上記固体走査素子の回動後
における配列方向に合うように回動させ、或いは他のチ
ャートパターンを予め配置しておくことにより、これら
各チャートパターンの像が各固体走査素子上に結像され
る関係を作成し、被検レンズの少なくとも２方向でのＭ
ＴＦを検査している。

【０００３】図９はこの従来装置を示し、１１０は光
源、１１１はチャートパターンを保持する円盤状のチャ
ート板、１１２は被検レンズ、１１３，１１４，１１５
はそれぞれ、固体走査素子を支持し、載置する載置板で
ある。光源１１０と、チャート板１１１と、載置板１１
４とは被検レンズ１１２の光軸上に位置し、載置板１１
３と載置板１１５とは載置板１１４をはさんで対向した
位置にある。載置板１１３，１１４，１１５のそれぞれ
には、各中心をはさんで対向した位置に、２つの耳状部
が形成されている。

【０００４】これらの耳状部をそれぞれ１１３Ｌ，１１
３Ｒ，１１４Ｌ，１１４Ｒ，１１５Ｌ，１１５Ｒ，で示
すと、同じ側の耳状部１１３Ｌ，１１４Ｌ，１１５Ｌ及
び反対側の耳状部１１３Ｒ，１１４Ｒ，１１５Ｒはそれ
ぞれワイヤー１１６，１１７の途中で連続的に固着され
ている。各ワイヤー１１６，１１７の一端はそれぞれ駆
動節１１８に固着されている。駆動節１１８はその中心
部が駆動軸１１９と一体的に固着されており、駆動軸１
１９の回転方向により、ワイヤー１１６，１１７のいず
れか一方を引き、他方を緩める。ワイヤー１１６，１１
７の他端は図示を省略してあるが、例えばプーリーに巻
き回されている。駆動軸１１９の途中であって、チャー
ト板１１１に対向した位置にはプーリー１２０が駆動軸
１１９と一体的に設けてあり、チャート板１１１とプー
リー１２０はベルト１２１で連動自在に結ばれている。

【０００５】駆動軸１１９の延長上には回転量検知器１
２２が設けられていて、図示されていない公知の駆動手
段により与えられる駆動軸１１９の回転量を検知して、
測定方向の切換え信号を得る。この回転量検知器１２２
としては例えばロータリーエンコーダーやポテンション
メーター等が使用されるが、その他に、直接、駆動軸１
１９の回転量を機械的に取り出し表示することも可能で
ある。

【０００６】図１０において説明すれば、載置板１１３
の位置は図９における固体走査素子Ｐ１の配された位置
に相当し、同様に載置板１１４は固体走査素子Ｐ２、載
置板１１５は固体走査素子Ｐ３にそれぞれ相当し、各載
置板上にそれぞれ固体走査素子が取り付けられている。
一方、チャート板１１１上に保持されているチャートパ
ータンは符号ｚ１〜ｚ５で示され、この中、チャートパ
ターンｚ１の像は載置板１１５の固体走査素子上に、チ
ャートパターンｚ２の像は載置板１１４の固体走査素子
上にそれぞれ結像している。

【０００７】図１０に示す状態で動径方向でのＭＴＦ測
定が終了した後、駆動軸１１９を時計方向回りの向きに
９０°回転させる。この回動角９０°の制御は前述の回
転量検知器１２２の機能に行われる。かかる回動後の状
態は図１１に示した状態に相当し、接線方向でのＭＴＦ
の測定が行われる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の装置には以下のような欠点がある。被検レンズ
１１２に対してチャート板１１１が平行でないと、被検
レンズに対してチャートパターンの距離が変わるために
測定値に悪影響を及ぼす。このため平行度を保つ必要が
あるが、チャートパターンを機械的に回転移動させる際
やチャート切り換えの際に、被検レンズとチャートとの
平行を保つのが困難となっている。また回転の機構部や
切り換えの機構部が必要なために、チャート部を小型化
するのが困難である。

【０００９】本発明は上記問題点に鑑み、テストパター
ン部に回転等の機構を設ける事なく被検レンズの任意像
高位置の任意方向におけるレンズ性能を検査することが
可能なレンズ性能検査装置を提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段および作用】図１は本発明
の基本構成を示し、１は光源、４は被検レンズ、２はテ
ストパターンを構成する液晶であり、表面を被検レンズ
４に向け被検レンズ４の光軸に対し垂直に配置されてい
る。３は液晶２を制御し種々のパターンを表示させるた
めの液晶ドライバ、５は液晶２上に表示されたテストパ
ターンの投影像の結像位置に被検レンズの光軸に対して
垂直に設置された像走査手段、６は像走査手段５に接続
された信号処理手段をそれぞれ示す。

【００１１】上記構成に於いて、光源１から発した光束
は液晶２に照射される。液晶２は被検レンズ４の性能を
検査するためのテストパターンを表示し、その透過光部
より光源１の光束を通過させる。液晶２によって構成さ
れるテストパターンはＭＴＦ値による検査および目視等
の検査方法の違いにより、また被検レンズの法線および
接線方向等の検査する方向、被検レンズ上のどの位置を
検査するか等の違いにより液晶ドライバ３により制御し
変更する。液晶２によって構成されるテストパターンか
ら射出された光束は、被検レンズ４の結像作用により被
検レンズ４の光軸に対して垂直な平面上にテストパター
ンの投影像を生成する。その平面上に像走査手段５の受
光部が位置するように像走査手段５を配置し、被検レン
ズ４により生成したテストパターンの投影像の位置的光
強度分布を時系列信号に変換する。そして、この信号は
信号処理手段６によりＡ／Ｄ変換等の種々の演算がなさ
れ、投影像のＭＴＦ値や画像処理結果出力から結像状態
を把握することにより、レンズ性能を検査することがで
きる。

【００１２】

【実施例１】図２，図３，図４は本発明の実施例１を示
す。図２において、４は被検レンズ、８は光源としての
冷陰極管、９は導光体で冷陰極管８から発した光を液晶
２に一様にむらなく照射する。２はテストパターンとし
ての透過光開口部を形成するための液晶であり、軸上及
び軸外の検査すべき像高に対応する位置に、図３に示す
ようにスリット透過光開口部を液晶ドライバ３により制
御する。液晶２のスリット透過光開口部は被検レンズ４
の法線方向と接線方向のどちらかを測定するかによって
図３（ａ）または（ｂ）のようにパターンを切り換え
る。なお、図３（ａ），（ｂ）には測定箇所に対応する
スリット透過光開口部２−１ａ，ｂ〜２−５ａ，ｂの全
てを示しているが、検査時には検査すべき箇所に応じて
図３（ｃ）に示すように、検査箇所に対応する位置にの
みスリット透過光開口部を表示する。

【００１３】液晶２の表面は被検レンズ４に向け、被検
レンズの光軸に対し垂直に設置されており、その表面に
はスリット透過光開口部から発せられる光束を被検レン
ズ４の全面に均一に照射するための拡散板としてのオパ
ールガラス１０が密着状態で配置されている。

【００１４】１３は被検レンズ４の光軸を中心として回
転可能な光路切り換え手段であり、軸上光路４ａに進退
可能に配置されたミラー１３ａと、軸外光路４ｂ上に配
置されたミラー１３ｂとを備える。ミラー１３ａは被検
レンズ４の光軸に対して４５度かつ軸外光路３ｂを通過
する軸外光束にけられを生じない軸外像検査位置１３
ａ”または軸外光路軸上光路４ａを通過する軸上光束に
けられを生じないように退避した軸上像検査位置１３
ａ’に適宜切り換えられる。軸外光路４ａは被検レンズ
４の軸外光路４ｂ上に配置されたミラー１３ｂにより、
軸上光路４ａに対して直角に交差する方向（光路４
ｂ’）に変換され、さらにミラー１３ａにより軸上光路
４ａと合致する方向に変換される。

【００１５】１４はコリメータレンズでその光軸は被検
レンズ４の光軸と一致するように設置されている。１１
はコリメータレンズ１４の結像面上に設けられた像走査
手段としての１次元のＣＣＤである。このＣＣＤ１１は
被検レンズ４の光軸に対して垂直に設置され、被検レン
ズ４の光軸を中心として、走査方向がテストパターンの
投影像に対して垂直に交差するように、光路切り換え手
段１３の回転または、ミラー１３ａの位置に対応して回
転可能となっている。１２はＣＣＤ１１に接続されＦＦ
Ｔが可能な信号処理装置１２ａとモニタ１２ｂからなる
信号処理手段である。

【００１６】上記構成において、冷陰極管８から発した
光束は導光体９により液晶２に照射される。液晶２には
被検レンズ４の性能を検査するためのテストパターンと
してのスリット透過光開口部があり、この開口部を冷陰
極管８からの光束の一部が通過し、オパールガラス１０
により拡散されて被検レンズ４の全面に向けて一様に射
出される。被検レンズ４の軸上性能を検査する場合、液
晶２を液晶ドライバ３により制御し、検査する方向によ
り図３に示すテストパターン２−１ａまたは２−１ｂの
どちらかを表示し、ミラー１３ａを軸上像検査位置１３
ａ’に設置する。

【００１７】液晶２の軸上像検査用テストパターン２−
１ａまたは２−１ｂから射出された軸上光束は、軸上光
路４ａを通過しコリメータレンズ１４の集光作用によ
り、ＣＣＤ１１上にテストパターン２−１ａまたは２−
１ｂの投影像を生成する。この時ＣＣＤ１１の走査方向
はテストパターン２−１ａまたは２−１ｂの投影像に対
して垂直な回転位置に設定されている。

【００１８】ＣＣＤ１１上に生成されたテストパターン
２−１ａまたは２−１ｂの投影像の位置的光強度分布
は、ＣＣＤ１１により時系信号に変換され、この信号は
信号処理装置１２ａによりＡ／Ｄ変換され、記憶される
と共に、ＦＦＴによるＭＴＦ計算がなされ、モニタ１２
ｂがＭＴＦ値を表示する。これにより、被検レンズ４に
より生成されたテストパターン２−１ａまたは２−１ｂ
の投影像の結像状態を検査することが可能となる。被検
レンズ４の偏心によりテストパターン２−１ａまたは２
−１ｂがＣＣＤ１１からはずれた場合には、液晶ドライ
バ３により図４（ａ）の２ａ’，２ａ”に示すようにス
リット透過光開口部の位置を調整し、ＣＣＤ１１上にテ
ストパターン２−１ａまたは２−１ｂの投影像を生成す
るようにする。

【００１９】被検レンズ４の軸外性能を検査する場合に
は、液晶２を液晶ドライバ３により制御し、検査する場
所及び方向により図３に示すテストパターン２−２ａ〜
５ａまたは２−２ｂ〜５ｂのうちのどれかを表示し、ミ
ラー１３ａを軸外像検査位置１３ａ”に設置する。テス
トパターン２−２ａ〜５ａまたは２−２ｂ〜５ｂから射
出された軸外光束は、被検レンズ４の結像面Ａ上に置か
れたオパールガラス１０により拡散された後、被検レン
ズ４により平行光束となる。平行光束となった軸外光束
は、軸外光路４ｂからミラー１３ａとミラー１３ｂとに
より光路が切り換えられ、軸上光路３ａを通過し、コリ
メータレンズ１４の集光作用によりＣＣＤ１１上にテス
トパターン２−２ａ〜５ａまたは２−２ｂ〜５ｂの投影
像を生成する。この時にＣＣＤ１１の走査方向はテスト
パターンに対して垂直な回転位置に設定されている。

【００２０】ＣＣＤ１１上に生成されたテストパターン
２−２ａ〜５ａまたは２−２ｂ〜５ｂの投影像の位置的
光強度分布は、ＣＣＤ１１により時系列信号に変換され
る。この信号は信号処理装置１２ａによりＡ／Ｄ変換さ
れ、記憶されると共に、ＦＦＴによるＭＴＦ計算がなさ
れ、モニタ１２ｂがＭＴＦ値を表示する。これにより被
検レンズ４により生成されたテストパターン２−２ａ〜
５ａまたは２−２ｂ〜５ｂの投影像の結像状態を検査す
ることが可能である。被検レンズ４の偏心によりテスト
パターン２−２ａ〜５ａまたは２−２ｂ〜５ｂがＣＣＤ
１１からはずれた場合には、液晶ドライバ３により図４
（ａ）に示すようにスリット透過光開口部の位置を調整
し、ＣＣＤ１１上にテストパターン２−２ａ〜５ａまた
は２−２ｂ〜５ｂの投影像を生成するようにする。

【００２１】また被検レンズ４のＦｎｏにより、液晶２
上のスリット透過光部のスリット幅を変化させ通過する
光量を調整する。ミラー１３ａを軸外像検査位置に設置
したままで、光路切り換え手段をα１〜α３毎に回転さ
せ（図３参照）、それに同期してＣＣＤ１１をテストパ
ターン２−２ａ〜５ａまたは２−２ｂ〜５ｂの投影像に
対して走査方向が垂直となるように回転させることによ
り被検レンズ４の軸上を含む複数像高のテストパターン
投影像の結像状態の検査が可能となる。

【００２２】このような本実施例によれば、冷陰極管８
を液晶２の平面に対して平行に配置し、また導光体９を
薄くし液晶２とオパールガラス１０とに密着させること
が可能であるので、冷陰極管８，導光体９，液晶２，オ
パールガラス１０を含んだ部分を小型化できる。また、
テストパターン投影像の光路が被検レンズ４からコリメ
ータレンズ１４の間で平行光束であるため、被検レンズ
４，光路切り換え手段１３，コリメータレンズ１４の配
置に自由度がある。

【００２３】

【実施例２】図５および図６は本発明の実施例２を示
す。４は被検レンズ、１５は光源としてのＥＬＤ、２は
テストパターンとしての透過光部を形成するための液晶
であり、軸上及び軸外の検査すべき像高に対応する位置
に図６に示すようにピンホール透過光開口部２−１〜２
−５を液晶ドライバ３により制御する。なお、図６には
測定箇所に対応するピンホール透過光開口部２−１〜２
−５の全てを示しているが、検査時には検査すべき箇所
に応じて、検査箇所に対応する位置にのみピンホール透
過光開口部を表示する。このピンホール透過光開口部
は、矢印で示すように微妙に透過光開口部の位置の調整
を行い、また透過光開口部の面積を変化させて、被検レ
ンズ４に照射する光量を変化させることができる。

【００２４】液晶２の表面は被検レンズ４に向け、被検
レンズの光軸に対し垂直に設置されており、その表面に
はピンホール透過光開口部から発せられる光束を被検レ
ンズ４の全面に均一に照射するための拡散板としてのオ
パールガラス１０が密着状態で配置されている。

【００２５】１６は被検レンズ４の結像面上に、被検レ
ンズ４の光軸に対して垂直に設置された像走査手段とし
ての２次元のＣＣＤであり、このＣＣＤは被検レンズ４
の結像面上に軸外測定位置に対応し複数個設置されてい
る。１７はＣＣＤ１６に接続され２次元でのＦＦＴが可
能な信号処理装置１７ａとモニタ１７ｂとを備えた信号
処理手段である。

【００２６】上記構成において、ＥＬＤ１５により液晶
２を照射する。液晶２には被検レンズ４の性能を検査す
るためのテストパターンとしてのピンホール透過光開口
部があり、この開口部をＥＬＤ１５からの光の一部が通
過し、オパールガラス１０により拡散されて被検レンズ
４の全面に向けて一様に射出される。

【００２７】被検レンズ４の軸上および軸外性能を検査
する場合、液晶２を液晶ドライバ３により制御し、検査
する場所により図６に示すテストパターン２−１〜５の
うちのどれかを表示する。液晶２のテストパターンから
射出された軸上および軸外光束は、軸上光路４ａおよび
軸外光路４ｂを通過し被検レンズ４の結像作用により、
ＣＣＤ１６上にテストパターンの投影像を生成する。

【００２８】ＣＣＤ１６上に生成されたテストパターン
の投影像の位置的光強度分布は、ＣＣＤ１６により時系
列信号に変換され、この信号は信号処理装置１７ａによ
りＡ／Ｄ変換され、記憶されると共に、ＦＦＴによる接
線方向および法線方向の２次元でのＭＴＦ計算が行われ
る。そしてモニタ１７ｂがこの２次元のＭＴＦ値を表示
する。これにより被検レンズ４により生成されたテスト
パターンの投影像の接線方向および法線方向の２次元で
の結像状態を検査することが可能である。被検レンズ４
の偏心によりテストパターンがＣＣＤ１６からはずれた
場合には、液晶ドライバ３により図６に示すようにピン
ホール透過光開口部の位置を調整し、ＣＣＤ１６上にテ
ストパターンの投影像を生成する。また被検レンズ４の
Ｆｎｏにより、液晶２上のピンホール開口部面積を変化
させ、通過する光量を調整する。

【００２９】このような本実施例では、光源としてのＥ
ＬＤ１５を薄型化し、液晶２とオパールガラス１０とに
密着させて構成することが可能であるので、ＥＬＤ１
５，液晶２，オパールガラス１０を含んだ部分を小型化
できる。また、被検レンズ４の任意像高位置の接線方向
および法線方向の結像性能をＣＣＤ１６を回転させるこ
となく検査できる。

【００３０】

【実施例３】図７および図８は本発明の実施例３を示
し、４は被検レンズ、１９は光源としてのハロゲン光
源、２０はレンズでハロゲン光源１９から発した光を液
晶２に一様にむらなく照射する。２はテストパターンと
しての透過光開口部を形成するための液晶であり、軸上
及び軸外の検査すべき像高に対応する位置に図８に示す
ようにスリット透過光開口部を液晶ドライバ３により制
御する。この液晶２のスリット透過光開口部は被検レン
ズ４の法線方向と接線方向のどちらかを検査するかによ
ってパターンを切り換える。また、軸外像検査位置も実
施例１の図４に示したと同様にスリット開口部の位置を
任意に変える。なお図８には測定箇所に対応するスリッ
ト透過光開口部の全てを示しているが、検査時には検査
すべき箇所に応じて、対応する位置にのみスリット透過
光開口部を表示する。

【００３１】液晶２の表面は被検レンズ４に向け、被検
レンズ４の光軸に対し垂直に設置されており、スリット
透過光開口部を通過する光束は被検レンズ４の全面に均
一に照射される。

【００３２】２１は被検査レンズ４の結像面上に、被検
レンズ４の光軸に対して垂直に設置された像走査手段と
しての２次元のＣＣＤである。このＣＣＤ２１は被検レ
ンズ４の軸上光路４ａに対して常に垂直な位置関係を保
ったまま同一平面上を移動可能かつＣＣＤ２１を中心と
して回転可能なＸＹテーブル２３上に設置されている。
２２はＣＣＤ２１に接続され２次元でのＦＦＴが可能な
信号処理装置２２ａと、モニタ２２ｂとからなる信号処
理手段を示す。

【００３３】上記構成において、ハロゲン光源１９から
発した光はレンズ２０により拡散されて液晶２に照射さ
れる。液晶２には被検レンズ４の性能を検査するための
テストパターンとしてのスリット透過光開口部があり、
この開口部をハロゲン光源１９からの光の一部が通過
し、被検レンズ４の全面に向けて一様に射出される。

【００３４】被検レンズ４の軸性能を検査する場合、液
晶２を液晶ドライバ３により制御しし、図８に示す軸上
像検査用テストパターン２−１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ，
１ｇ，１ｈのどれかを表示し、ＸＹテーブル２３を駆動
しＣＣＤ２１の中心を被検レンズ４の軸上光路４ａに一
致させる。

【００３５】液晶２の軸上像検査用テストパターン２−
１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈから射出された軸
上光束は、軸上光路４ａを通過し被検レンズ４の結像作
用により、ＣＣＤ２１上にテストパターン２−１ｃ，１
ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈの投影像を生成する。この
時ＣＣＤ２１の走査方向はテストパターン２−１ｃ，１
ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈの投影像に対して垂直な回
転位置に設定されている。

【００３６】ＣＣＤ２１上に生成されたテストパターン
２−１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈの投影像の位
置的光強度分布は、ＣＣＤ２１により時系列信号に変換
され、この信号は信号処理装置２２ａによりＡ／Ｄ変換
され、記憶されると共に、ＦＥＴによるＭＴＦ計算が行
われ、モニタ２２ｂがＭＴＦ値を表示する。これにより
被検レンズ４により生成されたテストパターン２−１
ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈの投影像の結像状態
を検査することが可能である。被検レンズ４の偏心によ
りテストパターン２−１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，
１ｈがＣＣＤ２１からはずれた場合には、液晶ドライバ
３によりスリット透過光開口部の位置を調整し、ＣＣＤ
２１上にテストパターン２−１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ，
１ｇ，１ｈの投影像を生成する。また目視検査の場合に
は、目視軸上像検査用のスリット透過光開口部である図
８（ｅ），（ｆ）の２−１ｇ，１ｈを液晶２上に設け、
その投影像をＣＣＤ２１により時系列信号に変換し、該
信号をモニタ２２ｂに表示し、それを検査者が観察し判
断することにより行う。

【００３７】被検レンズ４の軸外性能を検査する場合に
は、液晶２を液晶ドライバ３により制御し、検査する場
所及び方向により図８に示す軸外像検査用テストパター
ン２−２ｃ，２ｄ，２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈ〜５ｃ，５
ｄ，５ｅ，５ｆ，５ｇ，５ｈのうちのどれかを表示し、
ＸＹテーブル２３を駆動し、ＣＣＤ２１の中心が被検レ
ンズ４の軸外光路４ｂに一致するように設置する。軸外
像検査用テストパターン２−２ｃ，２ｄ，２ｅ，２ｆ，
２ｇ，２ｈ〜５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆ，５ｇ，５ｈから
射出された軸外光束は、被検レンズ４の結像作用により
ＣＣＤ２１上に軸外像検査用テストパターンの投影像を
生成する。この時ＣＣＤ２１の走査方向はテストパター
ンの投影像に対して垂直な回転位置に設定されている。

【００３８】ＣＣＤ２１上に生成された軸外像検査用テ
ストパターン２−２ｃ，２ｄ，２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈ
〜５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆ，５ｇ，５ｈの投影像の位置
的光強度分布は、ＣＣＤ２１により時系列信号に変換さ
れ、この信号は信号処理装置２２ａによりＡ／Ｄ変換さ
れ、記憶されると共に、ＦＦＴによるＭＴＦ計算が行わ
れ、モニタ２２ｂがＭＴＦ値を表示する。これにより被
検レンズ４により生成された軸外像検査用テストパター
ンの投影像の結像状態を検査することが可能である。被
検レンズ４の偏心によりテストパターンの投影像がＣＣ
Ｄ２１からはずれた場合には、液晶ドライバ３によりス
リット開口部位置を調整して、ＣＣＤ２１上にテストパ
ターンの投影像を生成する。

【００３９】また目視検査の場合には、目視軸外像検査
用のスリット透過光開口部である図８（ｅ），（ｆ）に
おける２−２ｇ，３ｇ，４ｇ，５ｇ，または２−２ｈ，
３ｈ，４ｈ，５ｈのスリット透過光開口部を液晶２上に
設け、その投影像をＣＣＤ２１により時系列信号に変換
し、この信号をモニタ２２ｂに表示し、それを検査者が
観察し判断により行う。

【００４０】このような本実施例によれば、モニタ２２
ｂにより目視検査を行うことも可能である。また、液晶
２上のスリット透過光開口部を任意位置に設置し、ＣＣ
Ｄ２１の中心をＸＹテーブル２３によりその軸外光路に
一致するようにして移動させることにより、被検レンズ
４の任意像高位置に対する結像性能を検査することも可
能である。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、テ
ストパターン部に回転等の機構を用いることなく被検レ
ンズの任意測定位置の任意方向の結像性能を検査するこ
とが可能である。また被検レンズの検査をＭＴＦ値によ
り行うとき、被検レンズのＦｎｏが大きな場合は、液晶
の透過光開口部の幅を広くし通過する光量を調整するこ
とにより、被検レンズに照射する光量を増加させること
ができる。さらに、検査の際には検査箇所に対応する場
所にのみテストパターンを表示させ、その投影像を像走
査手段により取り込み、信号処理装置によりＡ／Ｄ変換
等の処理を行い記録し、その後、テストパターンを全て
表示しない状態で像走査手段の信号を取り込み、同様に
Ａ／Ｄ変換等の処理を行い、先に記録したデータから減
算することにより、像走査手段のノイズ、テストパター
ン以外のもれ光の影響を校正できるため、より正確な検
査を行うことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基本構成を示す側面図。

【図２】実施例１を示す側面図。

【図３】実施例１の液晶の正面図。

【図４】図３の透過光部分の正面図。

【図５】実施例２を示す側面図。

【図６】実施例２の液晶の正面図。

【図７】実施例３の正面図。

【図８】実施例３の液晶の正面図。

【図９】従来装置の斜視図。

【図１０】従来装置の測定を示す平面図。

【図１１】従来装置の測定を示す平面図。

【符号の説明】

１ 光源 ２ 液晶 ３ 液晶ドライバ ４ 被検レンズ ５ 像走査手段 ６ 信号処理手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源と、光源からの光束により照射され
   るテストパターンと、このテストパターンの投影像を結
   像させる被検レンズと、前記投影像の位置的光強度分布
   を時系列信号に変換する像走査手段と、この像走査手段
   からの信号を処理する信号処理手段とを備え、前記テス
   トパターンが液晶からなり、この液晶が液晶ドライバに
   より駆動制御可能となっていることを特徴とするレンズ
   性能検査装置。