JPH07138070A - ガラス状炭素被覆炭素質材料の製造方法 - Google Patents
ガラス状炭素被覆炭素質材料の製造方法Info
- Publication number
- JPH07138070A JPH07138070A JP5309815A JP30981593A JPH07138070A JP H07138070 A JPH07138070 A JP H07138070A JP 5309815 A JP5309815 A JP 5309815A JP 30981593 A JP30981593 A JP 30981593A JP H07138070 A JPH07138070 A JP H07138070A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glassy carbon
- aromatic polyimide
- polyimide resin
- carbonaceous
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 炭素質基材面に、クラックや剥離現象を伴う
ことなしに優れた組織性状のガラス状炭素被膜を形成し
得るガラス状炭素被覆炭素材料の製造方法。 【構成】 炭素質基材を芳香族ポリイミド前駆体溶液で
被覆処理したのち加熱して表面にガラス転移温度 (Ｔg)
が３００℃以下の芳香族ポリイミド樹脂被膜を形成し、
ついで非酸化性雰囲気下で焼成炭化または更に黒鉛化処
理することを特徴とする。形成する芳香族ポリイミド樹
脂被膜は、融点 (Ｔm)が熱分解開始温度 (Ｔtd) より低
いものであることが好ましい。
ことなしに優れた組織性状のガラス状炭素被膜を形成し
得るガラス状炭素被覆炭素材料の製造方法。 【構成】 炭素質基材を芳香族ポリイミド前駆体溶液で
被覆処理したのち加熱して表面にガラス転移温度 (Ｔg)
が３００℃以下の芳香族ポリイミド樹脂被膜を形成し、
ついで非酸化性雰囲気下で焼成炭化または更に黒鉛化処
理することを特徴とする。形成する芳香族ポリイミド樹
脂被膜は、融点 (Ｔm)が熱分解開始温度 (Ｔtd) より低
いものであることが好ましい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、炭素質基材面に優れた
組織性状のガラス状炭素被膜を形成することができるガ
ラス状炭素被覆炭素質材料の製造方法に関する。
組織性状のガラス状炭素被膜を形成することができるガ
ラス状炭素被覆炭素質材料の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般の炭素質材料は本質的に多孔質組織
を呈している関係で、材質の緻密性および機械的強度が
低い欠点がある。これらの欠点を補うため、炭素質基材
の組織内部にフェノール系やフラン系などの炭化歩留り
が高い熱硬化性樹脂液を強制含浸したのち焼成炭化処理
して材質組織の緻密性ならびに強度特性を向上させる改
質手段が施されている。また、これとは別に、組織内部
の緻密化までは対象とせず、炭素質基材の表面層のみを
緻密にしてガス不透過性の炭素質被膜を形成する方法も
実用されている。
を呈している関係で、材質の緻密性および機械的強度が
低い欠点がある。これらの欠点を補うため、炭素質基材
の組織内部にフェノール系やフラン系などの炭化歩留り
が高い熱硬化性樹脂液を強制含浸したのち焼成炭化処理
して材質組織の緻密性ならびに強度特性を向上させる改
質手段が施されている。また、これとは別に、組織内部
の緻密化までは対象とせず、炭素質基材の表面層のみを
緻密にしてガス不透過性の炭素質被膜を形成する方法も
実用されている。
【０００３】このうち、後者の炭素質基材面に緻密な炭
素質被膜を形成する手段としては、ガラス状炭素に転化
するような樹脂質物質を基材面に被覆したのち焼成炭化
処理を施して表面に強固なガラス状炭素の被膜を形成す
る方法が有効とされており、従来、被覆する樹脂質物質
に例えばポリ塩化ビニルを出発原料とするピッチ状物質
を用いる方法（特公昭52−39684 号公報) 、芳香族ポリ
イミド樹脂を用いる方法（特公平２−36550 号公報）、
ポリカルボジイミド樹脂を用いる方法（特開平４−2097
81号公報）等が提案されている。
素質被膜を形成する手段としては、ガラス状炭素に転化
するような樹脂質物質を基材面に被覆したのち焼成炭化
処理を施して表面に強固なガラス状炭素の被膜を形成す
る方法が有効とされており、従来、被覆する樹脂質物質
に例えばポリ塩化ビニルを出発原料とするピッチ状物質
を用いる方法（特公昭52−39684 号公報) 、芳香族ポリ
イミド樹脂を用いる方法（特公平２−36550 号公報）、
ポリカルボジイミド樹脂を用いる方法（特開平４−2097
81号公報）等が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】近時、半導体製造用ほ
か特に汚染性が問題となる用途に炭素質部材が多く用い
られるようになっているが、これら用途分野においては
使用中に組織から炭素パーティクルが脱落することのな
い均質で緻密な非汚染性の材質組織が強く開発要求され
ている。したがって、炭素質基材面に非汚染性を防止す
るに十分な膜厚と優れた組織性状を有するガラス状炭素
被膜を形成することができれば前記要求に適切に対応す
ることが可能となる。
か特に汚染性が問題となる用途に炭素質部材が多く用い
られるようになっているが、これら用途分野においては
使用中に組織から炭素パーティクルが脱落することのな
い均質で緻密な非汚染性の材質組織が強く開発要求され
ている。したがって、炭素質基材面に非汚染性を防止す
るに十分な膜厚と優れた組織性状を有するガラス状炭素
被膜を形成することができれば前記要求に適切に対応す
ることが可能となる。
【０００５】しかしながら、上記した従来技術において
は炭素質基材面に５μm を越える膜厚のガラス状炭素被
膜を形成しようとすると、被覆した樹脂膜が焼成炭化過
程で著しい収縮を生じ、その結果被膜にクラック（亀
裂）や剥離現象が発生する事態が避けられなかった。
は炭素質基材面に５μm を越える膜厚のガラス状炭素被
膜を形成しようとすると、被覆した樹脂膜が焼成炭化過
程で著しい収縮を生じ、その結果被膜にクラック（亀
裂）や剥離現象が発生する事態が避けられなかった。
【０００６】本発明者は、芳香族ポリイミド樹脂を被覆
材料とした際の樹脂性状と熱収縮現象との関係について
多角的な研究を重ねたところ、炭素質基材面に被覆する
芳香族ポリイミド樹脂のガラス転移点が一定温度以下の
場合には５μm を越えるガラス状炭素被膜を形成しても
クラックや剥離現象が発生せず、常に組織性状に優れる
ガラス状炭素被膜を被覆形成し得ることを確認した。
材料とした際の樹脂性状と熱収縮現象との関係について
多角的な研究を重ねたところ、炭素質基材面に被覆する
芳香族ポリイミド樹脂のガラス転移点が一定温度以下の
場合には５μm を越えるガラス状炭素被膜を形成しても
クラックや剥離現象が発生せず、常に組織性状に優れる
ガラス状炭素被膜を被覆形成し得ることを確認した。
【０００７】本発明は前記の知見に基づいて開発された
もので、その目的は、炭素質基材面にクラックや剥離現
象を発生させずに優れた組織性状を備える実用的膜厚の
ガラス状炭素被膜を形成することができるガラス状炭素
被覆炭素質材料の製造方法を提供することにある。
もので、その目的は、炭素質基材面にクラックや剥離現
象を発生させずに優れた組織性状を備える実用的膜厚の
ガラス状炭素被膜を形成することができるガラス状炭素
被覆炭素質材料の製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明によるガラス状炭素被覆炭素質材料の製造方
法は、炭素質基材を芳香族ポリイミド前駆体溶液で被覆
処理したのち加熱して表面にガラス転移温度 (Ｔg)が３
００℃以下の芳香族ポリイミド樹脂被膜を形成し、つい
で非酸化性雰囲気下で焼成炭化または更に黒鉛化処理す
ることを構成上の特徴とする。
めの本発明によるガラス状炭素被覆炭素質材料の製造方
法は、炭素質基材を芳香族ポリイミド前駆体溶液で被覆
処理したのち加熱して表面にガラス転移温度 (Ｔg)が３
００℃以下の芳香族ポリイミド樹脂被膜を形成し、つい
で非酸化性雰囲気下で焼成炭化または更に黒鉛化処理す
ることを構成上の特徴とする。
【０００９】本発明の被覆対象となる炭素質基材は、予
め所望の形状に加工された通常の炭素または黒鉛材料で
あれば材質性状に特に限定はないが、緻密質の等方性黒
鉛材料を用いることが好ましい。
め所望の形状に加工された通常の炭素または黒鉛材料で
あれば材質性状に特に限定はないが、緻密質の等方性黒
鉛材料を用いることが好ましい。
【００１０】芳香族ポリイミド樹脂は、前駆体であるポ
リアミック酸を有機溶媒に溶解したワニス状の芳香族ポ
リイミド前駆体溶液として炭素質基材に被覆処理され
る。ワニス形成に用いられる有機溶媒としては、Ｎ−メ
チル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド
等が用いられ、被覆処理に都合の良い粘度範囲、好まし
くは５〜３０重量％の濃度に調整して使用に供される。
被覆処理は、例えば前記芳香族ポリイミドの前駆体溶液
を炭素質基材の表面にスプレー、刷毛塗り等により均質
かつ平滑に塗布する方法、あるいは炭素質基材を前駆体
溶液に浸漬し、必要に応じて減圧含浸する方法によって
おこなわれる。
リアミック酸を有機溶媒に溶解したワニス状の芳香族ポ
リイミド前駆体溶液として炭素質基材に被覆処理され
る。ワニス形成に用いられる有機溶媒としては、Ｎ−メ
チル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド
等が用いられ、被覆処理に都合の良い粘度範囲、好まし
くは５〜３０重量％の濃度に調整して使用に供される。
被覆処理は、例えば前記芳香族ポリイミドの前駆体溶液
を炭素質基材の表面にスプレー、刷毛塗り等により均質
かつ平滑に塗布する方法、あるいは炭素質基材を前駆体
溶液に浸漬し、必要に応じて減圧含浸する方法によって
おこなわれる。
【００１１】炭素基材の表面に付着したポリアミック酸
成分は、酸素含有雰囲気下で１００〜４００℃の温度域
で加熱することにより芳香族ポリイミド樹脂の被膜に転
化させる。なお、このポリイミド化処理は、前記加熱に
よる処理のほか、無水酢酸のような酸無水物に第３級ア
ミンを加えて化学的にポリイミド樹脂膜に転化させるこ
ともできる。
成分は、酸素含有雰囲気下で１００〜４００℃の温度域
で加熱することにより芳香族ポリイミド樹脂の被膜に転
化させる。なお、このポリイミド化処理は、前記加熱に
よる処理のほか、無水酢酸のような酸無水物に第３級ア
ミンを加えて化学的にポリイミド樹脂膜に転化させるこ
ともできる。
【００１２】本発明の主要な構成要件は、上記の被覆処
理工程で形成される芳香族ポリイミド樹脂の被膜がガラ
ス転移温度 (Ｔg)３００℃以下の性状を保持する点に特
徴付けられる。このガラス転移温度 (Ｔg)が３００℃を
上廻ると後工程の焼成炭化過程で被膜にクラックが発生
したり、剥離現象が生じるため５μm を越える膜厚の正
常なガラス状炭素被膜を形成することができなくなる。
理工程で形成される芳香族ポリイミド樹脂の被膜がガラ
ス転移温度 (Ｔg)３００℃以下の性状を保持する点に特
徴付けられる。このガラス転移温度 (Ｔg)が３００℃を
上廻ると後工程の焼成炭化過程で被膜にクラックが発生
したり、剥離現象が生じるため５μm を越える膜厚の正
常なガラス状炭素被膜を形成することができなくなる。
【００１３】ガラス転移温度 (Ｔg)が３００℃以下の芳
香族ポリイミド樹脂被膜は、芳香族ポリイミド樹脂の前
駆体となるポリアミック酸の組成を選択することにより
形成することができる。例えば、表１に示すような酸成
分およびジアミン成分からなるポリアミック酸で構成さ
れた表２に示す構造式の芳香族ポリアミド樹脂被膜は、
ガラス転移温度が３００℃以下となり、本発明に好まし
く使用される。
香族ポリイミド樹脂被膜は、芳香族ポリイミド樹脂の前
駆体となるポリアミック酸の組成を選択することにより
形成することができる。例えば、表１に示すような酸成
分およびジアミン成分からなるポリアミック酸で構成さ
れた表２に示す構造式の芳香族ポリアミド樹脂被膜は、
ガラス転移温度が３００℃以下となり、本発明に好まし
く使用される。
【００１４】
【表１】
【００１５】
【表２】
【００１６】また、一般にガラス転移温度 (Ｔg)と融点
(Ｔm)との間には〔Ｔm(K)＝１．３３Ｔg(K)〕の関係が
ある。そして、芳香族ポリイミド樹脂の熱分解開始温度
(Ｔtd) は個々に若干の変動はあるものの、概ね５００
℃近辺にあることからガラス転移温度 (Ｔg)の大小によ
って炭化挙動が異なり、融点 (Ｔm)が熱分解開始温度
(Ｔtd) を下廻る場合に良好なガラス状炭素被膜の形成
が可能となる。したがって、形成する芳香族ポリイミド
樹脂の被膜は、その融点 (Ｔm)が熱分解開始温度(Ｔtd)
より低いことが好ましい。
(Ｔm)との間には〔Ｔm(K)＝１．３３Ｔg(K)〕の関係が
ある。そして、芳香族ポリイミド樹脂の熱分解開始温度
(Ｔtd) は個々に若干の変動はあるものの、概ね５００
℃近辺にあることからガラス転移温度 (Ｔg)の大小によ
って炭化挙動が異なり、融点 (Ｔm)が熱分解開始温度
(Ｔtd) を下廻る場合に良好なガラス状炭素被膜の形成
が可能となる。したがって、形成する芳香族ポリイミド
樹脂の被膜は、その融点 (Ｔm)が熱分解開始温度(Ｔtd)
より低いことが好ましい。
【００１７】芳香族ポリイミド樹脂の被膜を形成した炭
素質基材は、ついで常法に従い非酸化性雰囲気下で８０
０〜１５００℃の温度により焼成炭化処理を施して芳香
族ポリイミド樹脂被膜を炭素化する。この処理により、
炭素質基材面に膜厚５μm を越える組織欠陥のないガラ
ス状炭素の平滑な被膜が形成されるが、上記の被覆工程
および焼成炭化工程を反復することにより更に厚肉のガ
ラス状炭素被膜を形成することができる。焼成炭化処理
した炭素質基材は、必要に応じて２０００〜３０００℃
の温度で黒鉛化処理され、またハロゲン化ガスを流通し
ながら加熱処理する高純度精製処理を施して目的のガラ
ス状炭素被覆炭素質材料を得る。
素質基材は、ついで常法に従い非酸化性雰囲気下で８０
０〜１５００℃の温度により焼成炭化処理を施して芳香
族ポリイミド樹脂被膜を炭素化する。この処理により、
炭素質基材面に膜厚５μm を越える組織欠陥のないガラ
ス状炭素の平滑な被膜が形成されるが、上記の被覆工程
および焼成炭化工程を反復することにより更に厚肉のガ
ラス状炭素被膜を形成することができる。焼成炭化処理
した炭素質基材は、必要に応じて２０００〜３０００℃
の温度で黒鉛化処理され、またハロゲン化ガスを流通し
ながら加熱処理する高純度精製処理を施して目的のガラ
ス状炭素被覆炭素質材料を得る。
【００１８】
【作用】一般に芳香族ポリイミド樹脂は、構成高分子が
良く配向しているうえ、配向面が炭化によって生成する
六角網面と近似している。したがって、炭素化は極めて
円滑に進行する反面、焼成炭化の段階で２０％近い著し
い寸法収縮を伴う。このため、炭素質基材面に被覆した
芳香族ポリイミド樹脂被膜を焼成炭化する場合には、転
化するガラス状炭素被膜にクラックや層間剥離が生じ易
く、とくに厚肉の被膜を形成するほどこのような組織欠
陥の発生が顕著となる。
良く配向しているうえ、配向面が炭化によって生成する
六角網面と近似している。したがって、炭素化は極めて
円滑に進行する反面、焼成炭化の段階で２０％近い著し
い寸法収縮を伴う。このため、炭素質基材面に被覆した
芳香族ポリイミド樹脂被膜を焼成炭化する場合には、転
化するガラス状炭素被膜にクラックや層間剥離が生じ易
く、とくに厚肉の被膜を形成するほどこのような組織欠
陥の発生が顕著となる。
【００１９】本発明によるガラス転移温度が３００℃以
下の芳香族ポリイミド樹脂被膜においては、前記の焼成
炭化段階での寸法収縮に伴う応力が効果的に緩和され
る。この理由は、ガラス転移温度 (Ｔg)が３００℃を越
える場合には芳香族ポリイミドが軟化することなく熱分
解が進行するのに対し、ガラス転移温度 (Ｔg)が３００
℃以下の場合には熱分解が始まる温度よりも低い温度で
軟化が起こり、炭化が溶融状態で進行するため収縮に際
する応力の緩和が抵抗なく進行するためである。この応
力緩和の作用によって、炭素質基材面にクラックや層間
剥離などの組織欠陥がなく、強固で平滑な膜厚５μm 以
上のガラス状炭素被膜を形成することが可能となる。
下の芳香族ポリイミド樹脂被膜においては、前記の焼成
炭化段階での寸法収縮に伴う応力が効果的に緩和され
る。この理由は、ガラス転移温度 (Ｔg)が３００℃を越
える場合には芳香族ポリイミドが軟化することなく熱分
解が進行するのに対し、ガラス転移温度 (Ｔg)が３００
℃以下の場合には熱分解が始まる温度よりも低い温度で
軟化が起こり、炭化が溶融状態で進行するため収縮に際
する応力の緩和が抵抗なく進行するためである。この応
力緩和の作用によって、炭素質基材面にクラックや層間
剥離などの組織欠陥がなく、強固で平滑な膜厚５μm 以
上のガラス状炭素被膜を形成することが可能となる。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の実施例を比較例と対比して詳
細に説明する。
細に説明する。
【００２１】実施例１〜５ 表１に示す酸成分とジアミン成分からなる組成 (1)〜
(5) の各ポリアミック酸を、Ｎ−メチル−２−ピロリド
ンに溶解して１０重量％濃度の芳香族ポリイミド前駆体
溶液のワニスを調製した。このワニスを、等方性黒鉛材
〔東海カーボン（株）製、Ｇ３４７：縦横150mm 、厚さ
10mm〕の平板全面に均一に刷毛塗りしたのち、大気によ
る熱風乾燥器内で５０℃の温度で２４時間、さらに１５
０℃の温度で３時間乾燥させて、被膜の溶媒成分を除去
した。ついで、２５０℃の温度で１２時間加熱して被膜
層を完全に表２の (1)〜(5) に示した構造式の芳香族ポ
リイミド樹脂に転化させた。
(5) の各ポリアミック酸を、Ｎ−メチル−２−ピロリド
ンに溶解して１０重量％濃度の芳香族ポリイミド前駆体
溶液のワニスを調製した。このワニスを、等方性黒鉛材
〔東海カーボン（株）製、Ｇ３４７：縦横150mm 、厚さ
10mm〕の平板全面に均一に刷毛塗りしたのち、大気によ
る熱風乾燥器内で５０℃の温度で２４時間、さらに１５
０℃の温度で３時間乾燥させて、被膜の溶媒成分を除去
した。ついで、２５０℃の温度で１２時間加熱して被膜
層を完全に表２の (1)〜(5) に示した構造式の芳香族ポ
リイミド樹脂に転化させた。
【００２２】被覆処理後の黒鉛材を窒素雰囲気に保持さ
れた焼成炉に移し、１０００℃の温度で焼成炭化処理し
て芳香族ポリイミド樹脂の被覆層をガラス状炭素被膜に
炭素化した。このようにして黒鉛基材面に形成されたガ
ラス状炭素被膜の膜厚は、いずれも５〜６μm で極めて
平滑であった。形成された各ガラス状炭素被膜の組織状
況を芳香族ポリイミド樹脂被膜の性状と対比させて観察
した結果を表５に示した。
れた焼成炉に移し、１０００℃の温度で焼成炭化処理し
て芳香族ポリイミド樹脂の被覆層をガラス状炭素被膜に
炭素化した。このようにして黒鉛基材面に形成されたガ
ラス状炭素被膜の膜厚は、いずれも５〜６μm で極めて
平滑であった。形成された各ガラス状炭素被膜の組織状
況を芳香族ポリイミド樹脂被膜の性状と対比させて観察
した結果を表５に示した。
【００２３】比較例１〜３ 表３の (6)〜(8) に示す組成のポリアミック酸を用い、
実施例と同様にして芳香族ポリイミド樹脂の前駆体溶液
を調製したのち、実施例と同一の黒鉛基材の全面に均一
に刷毛塗りした。これを実施例と同一条件で加熱処理
し、表４の (6)〜(8) に示した構造式の芳香族ポリイミ
ド樹脂被膜に転化させた。被膜形成後の黒鉛基材は、実
施例と同一条件で焼成炭化処理を施して膜厚５〜６μm
のガラス状炭素被膜を形成した。得られたガラス状炭素
被膜の組織状況を観察し、その結果を表５に併載した。
実施例と同様にして芳香族ポリイミド樹脂の前駆体溶液
を調製したのち、実施例と同一の黒鉛基材の全面に均一
に刷毛塗りした。これを実施例と同一条件で加熱処理
し、表４の (6)〜(8) に示した構造式の芳香族ポリイミ
ド樹脂被膜に転化させた。被膜形成後の黒鉛基材は、実
施例と同一条件で焼成炭化処理を施して膜厚５〜６μm
のガラス状炭素被膜を形成した。得られたガラス状炭素
被膜の組織状況を観察し、その結果を表５に併載した。
【００２４】
【表３】
【００２５】
【表４】
【００２６】
【表５】
【００２７】表５の結果から、ガラス転移温度 (Ｔg)が
３００℃以下であり、融点 (Ｔm)が熱分解開始温度 (Ｔ
td) より低い芳香族ポリイミド樹脂被膜を焼成炭化処理
して黒鉛素材面に形成した実施例のガラス状炭素被膜
は、クラックや剥離現象が全く認められず、強固で連続
的な平滑被膜であった。これに対し、前記の要件を外れ
る比較例のガラス状炭素被膜ではクラック、剥離等の組
織欠陥が認められた。
３００℃以下であり、融点 (Ｔm)が熱分解開始温度 (Ｔ
td) より低い芳香族ポリイミド樹脂被膜を焼成炭化処理
して黒鉛素材面に形成した実施例のガラス状炭素被膜
は、クラックや剥離現象が全く認められず、強固で連続
的な平滑被膜であった。これに対し、前記の要件を外れ
る比較例のガラス状炭素被膜ではクラック、剥離等の組
織欠陥が認められた。
【００２８】
【発明の効果】以上のとおり、本発明に従えば炭素質基
材面に選択された特定性状の芳香族ポリイミド樹脂被膜
を形成し、これを焼成炭化することにより、クラックや
層間剥離等の組織欠陥を伴うことなく、常に優れた組織
性状を備える膜厚５μm 以上のガラス状炭素被膜を形成
することができる。したがって、非汚染性が要求される
半導体製造用はじめ多様な用途部材を対象としたガラス
状炭素被覆炭素質材料の工業的な製造技術として極めて
有用である。
材面に選択された特定性状の芳香族ポリイミド樹脂被膜
を形成し、これを焼成炭化することにより、クラックや
層間剥離等の組織欠陥を伴うことなく、常に優れた組織
性状を備える膜厚５μm 以上のガラス状炭素被膜を形成
することができる。したがって、非汚染性が要求される
半導体製造用はじめ多様な用途部材を対象としたガラス
状炭素被覆炭素質材料の工業的な製造技術として極めて
有用である。
Claims (2)
- 【請求項１】 炭素質基材を芳香族ポリイミド前駆体溶
液で被覆処理したのち加熱して表面にガラス転移温度
(Ｔg)が３００℃以下の芳香族ポリイミド樹脂被膜を形
成し、ついで非酸化性雰囲気下で焼成炭化または更に黒
鉛化処理することを特徴とするガラス状炭素被覆炭素質
材料の製造方法。 - 【請求項２】 融点 (Ｔm)が熱分解開始温度 (Ｔtd) よ
り低い芳香族ポリイミド樹脂被膜を形成する請求項１記
載のガラス状炭素被覆炭素質材料の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5309815A JPH07138070A (ja) | 1993-11-15 | 1993-11-15 | ガラス状炭素被覆炭素質材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5309815A JPH07138070A (ja) | 1993-11-15 | 1993-11-15 | ガラス状炭素被覆炭素質材料の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07138070A true JPH07138070A (ja) | 1995-05-30 |
Family
ID=17997587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5309815A Pending JPH07138070A (ja) | 1993-11-15 | 1993-11-15 | ガラス状炭素被覆炭素質材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07138070A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007254231A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Nissan Motor Co Ltd | 炭素材料、複合材料、炭素材料の製造方法及び複合材料の製造方法 |
| KR20150045314A (ko) * | 2013-10-18 | 2015-04-28 | 에스케이씨 주식회사 | 코팅된 열전도성 탄소 입자를 이용한 그라파이트 시트 및 이의 제조방법 |
| JP2021066830A (ja) * | 2019-10-25 | 2021-04-30 | 株式会社レグルス | 樹脂組成物、熱膨張性のシート状又はパテ状の耐火製品及び樹脂組成物の製造方法 |
-
1993
- 1993-11-15 JP JP5309815A patent/JPH07138070A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007254231A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Nissan Motor Co Ltd | 炭素材料、複合材料、炭素材料の製造方法及び複合材料の製造方法 |
| KR20150045314A (ko) * | 2013-10-18 | 2015-04-28 | 에스케이씨 주식회사 | 코팅된 열전도성 탄소 입자를 이용한 그라파이트 시트 및 이의 제조방법 |
| JP2021066830A (ja) * | 2019-10-25 | 2021-04-30 | 株式会社レグルス | 樹脂組成物、熱膨張性のシート状又はパテ状の耐火製品及び樹脂組成物の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2664047B2 (ja) | 炭素繊維強化炭素複合材料の製造方法 | |
| JPH07138070A (ja) | ガラス状炭素被覆炭素質材料の製造方法 | |
| JPH1017382A (ja) | 炭化珪素成形体の製造方法 | |
| JP3522810B2 (ja) | 炭素−セラミック複合体及びその製造方法 | |
| JP3215978B2 (ja) | ガラス状炭素被覆体の製造方法 | |
| JPH05319928A (ja) | 炭素／セラミックス複合系高機能材料の製造方法 | |
| JP3422515B2 (ja) | 炭素質基材の耐酸化性被膜形成法 | |
| JP2777903B2 (ja) | 耐熱耐食性無機材料およびその製造方法 | |
| JPH0848509A (ja) | 炭素質多孔体の製造方法 | |
| JPH10245275A (ja) | 黒鉛型を用いた炭素繊維強化炭素材の製造方法 | |
| JPH0365505A (ja) | 低密度膨張黒鉛成形体及びその製造法 | |
| JP4037969B2 (ja) | 窒化ホウ素を被覆した炭化ケイ素ー炭素複合材を用いた黒鉛製品 | |
| JPH0236550B2 (ja) | ||
| JPH06345571A (ja) | 高温耐酸化性ｃ／ｃ複合材の製造方法 | |
| JPH0718013B2 (ja) | ガラス状炭素被覆体の製造方法 | |
| CN117658688A (zh) | 一种石墨构件的玻璃碳涂层的加工工艺 | |
| JP3038493B2 (ja) | 耐酸化性ｃ／ｃ材の製造方法 | |
| CN116282160A (zh) | 一种纳米Hf6Ta2O17包覆片状石墨颗粒复合粉体及制备方法和应用 | |
| JP3038483B2 (ja) | 耐酸化性カーボン材の製造方法 | |
| JPH0524921A (ja) | 耐酸化性ｃ／ｃ複合材の製造方法 | |
| JPH0776083B2 (ja) | 高密度ガラス状カーボン材の製造方法 | |
| CN117735993A (zh) | 一种高温稳定性碳碳复合材料的制备工艺 | |
| CN114716254A (zh) | 一种Cf@SiC短纤维及其制备方法 | |
| JPH0826858A (ja) | ガラス状炭素被覆層を有する炭素材およびその製造方法 | |
| CA2131016A1 (en) | Process for increasing strength of structural ceramic materials by forming ceramic coating on surface and product formed thereby |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040402 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040520 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040824 |