JPH07135179A - Manufacture of heat-treating furnace and heat-treating furnace - Google Patents
Manufacture of heat-treating furnace and heat-treating furnaceInfo
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- JPH07135179A JPH07135179A JP5305956A JP30595693A JPH07135179A JP H07135179 A JPH07135179 A JP H07135179A JP 5305956 A JP5305956 A JP 5305956A JP 30595693 A JP30595693 A JP 30595693A JP H07135179 A JPH07135179 A JP H07135179A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、熱処理炉製造方法およ
び熱処理炉に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat treatment furnace manufacturing method and a heat treatment furnace.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、半導体ウエハ製造工程での各種
薄膜形成装置は、ＣＶＤ装置、エピタキシャル装置や酸
化膜形成装置等あるいは熱拡散装置として熱処理装置が
用いられている。2. Description of the Related Art In general, as a thin film forming apparatus in a semiconductor wafer manufacturing process, a heat treatment apparatus is used as a CVD apparatus, an epitaxial apparatus, an oxide film forming apparatus or the like or a heat diffusion apparatus.
【０００３】この種の半導体ウエハの各種熱処理に使用
される一般拡散型の熱処理装置は、被処理体である半導
体ウエハが配置される炉室を形成するプロセスチューブ
と、このプロセスチューブの外周に設けられる発熱抵抗
体と、この発熱抵抗体を包囲して設けられている断熱材
とで熱処理炉を構成し、この断熱材を介して上記発熱抵
抗体が取り付けられて支持されている。A general diffusion type heat treatment apparatus used for various heat treatments of this kind of semiconductor wafer is provided with a process tube forming a furnace chamber in which a semiconductor wafer which is an object to be processed is arranged, and an outer periphery of the process tube. The heat generating resistor and a heat insulating material surrounding the heat generating resistor constitute a heat treatment furnace, and the heat generating resistor is attached and supported via the heat insulating material.
【０００４】この場合の発熱抵抗体としては、一例とし
て、バッチ処理が可能な熱処理装置の場合でいうと、ス
パイラル状に配線されたＦｅＣｒＡｌ製等からなるヒー
タが用いられ、炉室内を例えば１２００℃程度まで高温
加熱するようになっている。また、断熱材としては、一
例として、セラミックスファイバ等が用いられ、輻射熱
および伝導熱として奪われる熱量を減少させて効率良く
加熱できるようになっている。As an example of the heating resistor in this case, in the case of a heat treatment apparatus capable of batch processing, a heater made of FeCrAl or the like, which is spirally wired, is used, and the inside of the furnace chamber is, for example, 1200 ° C. It is designed to be heated to a high temperature. Further, as the heat insulating material, for example, a ceramic fiber or the like is used, and the amount of heat taken as radiant heat and conductive heat is reduced to enable efficient heating.
【０００５】ところで、上記断熱材に発熱抵抗体を設置
する場合の方法としては、例えば、特開昭６０−２４６
５８２号公報に記載された方法がある。つまり、この方
法では、発熱抵抗体をコイル状に形成し、この線材に熱
収縮チューブ等の配列ピッチ固定部材を被覆して熱収縮
させることで線材の配列ピッチを固定し、この処理工程
後に、線材の内周に位置する筒状治具に対して線材をス
パイラル状に捲装したうえで線材外周に断熱材を被覆し
ている。そして、被覆された断熱材を温浴脱脂し、この
後、治具の取出しを行なってから上記断熱材を焼成処理
して線材を断熱材中に埋設させた後に仕上処理を行なっ
ている。従って、断熱材の内壁面では、上記焼成処理に
おいて熱収縮チューブが融解すると、線材が凹部内に入
り込んだ状態で露呈している。By the way, as a method for installing a heating resistor on the heat insulating material, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 60-246 is known.
There is a method described in Japanese Patent No. 582. That is, in this method, the heating resistor is formed in a coil shape, and the array pitch fixing member such as a heat-shrinkable tube is coated on this wire to shrink the wires to fix the array pitch of the wire, and after this processing step, The wire is spirally wound around a cylindrical jig located on the inner circumference of the wire and the outer circumference of the wire is covered with a heat insulating material. Then, the coated heat insulating material is degreased in a warm bath, and after that, the jig is taken out, the above heat insulating material is fired to embed the wire in the heat insulating material, and then the finishing treatment is performed. Therefore, on the inner wall surface of the heat insulating material, when the heat-shrinkable tube is melted in the above-mentioned firing process, the wire material is exposed in a state of entering the recess.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た方法では、製造時間が多大になるという問題があっ
た。However, the above method has a problem that the manufacturing time becomes long.
【０００７】つまり、線材は、発熱抵抗体として要求さ
れる熱量を確保するためにコイル状に形成されている。
しかも、コイル状の線材の配列ピッチを固定するために
は、熱収縮チューブを被覆した状態で線材の配列ピッチ
を固定したうえで加熱することが必要になる。また、配
列ピッチを固定された線材の外周に対しては断熱材を貼
り付けて被覆している。That is, the wire is formed in a coil shape in order to secure the amount of heat required for the heating resistor.
In addition, in order to fix the arrangement pitch of the coil-shaped wire rods, it is necessary to fix the arrangement pitch of the wire rods in a state where the heat-shrinkable tube is covered and then heat. Further, a heat insulating material is attached to cover the outer circumference of the wire material whose arrangement pitch is fixed.
【０００８】これらの作業は一般的に手作業による場合
が多く、工程数が多いことが原因して所用時間も多くな
る。しかも、断熱材の被覆に関しては、貼り付け作業が
経験則に任せられることが多く、これによって、厚さも
均一なものでなくなることもあり、熱処理炉としての要
求特性を満足できなくなる場合もあった。また、断熱材
を貼り付ける場合には、所謂、断熱材の材料を切り貼り
して厚さや大きさを調整する場合があることから、作業
性が悪く、しかも、作業空間での雰囲気汚染の問題もあ
る。In general, these operations are often performed manually, and the required time also increases due to the large number of steps. Moreover, regarding the coating of the heat insulating material, the pasting work is often left to the rule of thumb, and this may result in a non-uniform thickness, and it may not be possible to satisfy the required characteristics as a heat treatment furnace. . In addition, when the heat insulating material is attached, the so-called heat insulating material may be cut and attached to adjust the thickness and size, so that workability is poor and there is also a problem of atmospheric pollution in the work space. is there.
【０００９】また、熱収縮チューブを加熱によって溶解
除去した後、断熱材の内壁面に残る凹部内に位置する発
熱抵抗体は、輻射面をなす凹部が内壁面で開口している
ことを理由に、加熱時の熱膨張により凹部から脱落して
しまう虞れもある。Further, after the heat-shrinkable tube is melted and removed by heating, the heat-generating resistor located in the recess remaining on the inner wall surface of the heat insulating material has the reason that the recess forming the radiation surface is opened on the inner wall surface. However, there is also a risk that the thermal expansion during heating may cause it to fall off the concave portion.
【００１０】そこで、本発明の目的は、上記した従来の
熱処理炉の製造方法における問題に鑑み、作業性を向上
させるとともに、製造に要する時間を短縮することので
きる熱処理炉の製造方法を提供することにある。Therefore, in view of the above-mentioned problems in the conventional method for manufacturing a heat treatment furnace, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a heat treatment furnace which can improve workability and shorten the time required for manufacturing. Especially.
【００１１】また本発明の目的は、製造時に脱落防止を
行なえる構造を備えた熱処理炉を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a heat treatment furnace having a structure capable of preventing falling during manufacturing.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、中空筒状の断熱材の内壁面
にスパイラル線状の発熱抵抗体を備えた熱処理炉の製造
方法であって、上記断熱材の軸方向に沿って隣り合う上
記発熱抵抗体同士を互いに分離した状態で保持するセパ
レータおよびこのセパレータを上記断熱材の周方向で所
定位置に位置決めして軸方向に整列させる治具を準備
し、上記治具を回転させながら上記発熱抵抗体をセパレ
ータに捲装して発熱抵抗体の組立て体を形成する発熱抵
抗体巻き付け工程と、上記治具により周方向での位置決
めが行われた上記セパレータ同士の間に多孔質部材から
なる濾過材を配置する工程と、上記濾過材を配置された
セパレータを断熱材の材料をなす無機質繊維を含むスラ
リー中に浸漬させる発熱抵抗体の組立て体浸漬工程と、
上記発熱抵抗体の組立て体浸漬工程において、発熱抵抗
体の内部からの吸引によりその表面にスラリーを堆積さ
せるスラリーの堆積工程と、上記スラリーが表面に堆積
した発熱抵抗体の組立て体を乾燥させる工程と、治具の
周面と乾燥した断熱材の内周面との間から上記濾過材を
抜出す濾過材除去工程と、上記乾燥後、上記治具を断熱
材内部から取り出す治具除去工程と、を含むことを特徴
としている。In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is a method for manufacturing a heat treatment furnace having a spiral linear heating resistor on an inner wall surface of a hollow cylindrical heat insulating material. And a separator that holds the heating resistors adjacent to each other along the axial direction of the heat insulating material in a state where they are separated from each other and the separator is positioned at a predetermined position in the circumferential direction of the heat insulating material and aligned in the axial direction. A jig is prepared, and the heating resistor winding step of winding the heating resistor around the separator to form an assembly of the heating resistors while rotating the jig, and positioning in the circumferential direction by the jig are performed. The step of arranging the filter material made of a porous member between the separators performed, and the step of immersing the separator in which the filter material is arranged in the slurry containing the inorganic fibers forming the material of the heat insulating material And assembly immersion step of the resistor,
In the step of immersing the heating resistor assembly in the assembly, a step of depositing a slurry to deposit slurry on the surface of the heating resistor by suction from the inside thereof, and a step of drying the assembly of the heating resistor having the slurry deposited on the surface thereof. And a filter material removing step of extracting the filter material from between the peripheral surface of the jig and the inner peripheral surface of the dried heat insulating material, and a jig removing step of removing the jig from the inside of the heat insulating material after the drying. It is characterized by including and.
【００１３】請求項２記載の発明は、請求項１におい
て、上記スラリーは、シリカ、アルミナを含む繊維質成
分と水と懸濁させるためのバインダとを含む液状体であ
ることを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the slurry is a liquid material containing a fibrous component containing silica and alumina and a binder for suspending with water.
【００１４】請求項３記載の発明は、線材からなる発熱
抵抗体が内壁面に沿ってスパイラル状に連続する状態に
配置された断熱材を備えている熱処理炉において、上記
断熱材の内壁面から差込まれ、上記発熱抵抗体の配列ピ
ッチを設定して同発熱抵抗体を保持する櫛歯状のセパレ
ータを備え、このセパレータは、櫛歯先端が断熱材中に
埋設されるとともに、上記断熱材の内壁面と上記発熱抵
抗体との間に径方向の隙間を設定して櫛歯の基部側で発
熱抵抗体を保持することを特徴としている。According to a third aspect of the present invention, in a heat treatment furnace provided with a heat insulating material in which a heating resistor made of a wire is arranged in a spirally continuous manner along an inner wall surface, It is provided with a comb-teeth-shaped separator that is inserted and holds the heat-generating resistors by setting the arrangement pitch of the heat-generating resistors, and the tip of the comb-teeth is embedded in the heat-insulating material. A radial gap is set between the inner wall surface and the heating resistor to hold the heating resistor on the base side of the comb teeth.
【００１５】請求項４記載の発明は、請求項３におい
て、上記セパレータは、隣り合う櫛歯の長さが異ならせ
てあることを特徴としている。According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect, the separators are configured such that adjacent comb teeth have different lengths.
【００１６】請求項５記載の発明は、請求項３または４
において、上記セパレータは、櫛歯の長い方に、長手方
向と直角に張り出す突起部が形成されていることを特徴
としている。The invention according to claim 5 is the invention according to claim 3 or 4.
In the above-mentioned, the separator is characterized in that the long comb teeth are formed with protrusions projecting at right angles to the longitudinal direction.
【００１７】[0017]
【作用】本発明では、発熱抵抗体を構成する線材は、コ
イル状に形成されることなくセパレータによって互いに
分離した状態で保持される。このため、コイル状に形成
する手間が省け、しかも、発熱抵抗体の配列ピッチを規
定する場合にはセパレータの配列ピッチを基準にして設
定が可能であるので、所謂、ピッチを自動的に設定する
ことができるために配列の手間も省くことができる。In the present invention, the wire rods constituting the heating resistor are held in a state of being separated from each other by the separator without being formed into a coil shape. For this reason, it is possible to save the trouble of forming the coil shape, and when defining the array pitch of the heating resistors, it is possible to set the array pitch of the separators as a reference, so that the pitch is automatically set. Therefore, the labor of arrangement can be saved.
【００１８】また、上記セパレータに捲装された発熱抵
抗体の組立て体に断熱材を設ける場合には、単に、スラ
リー中に浸漬された組立て体の内部からの吸引のみで発
熱抵抗体の外周面に断熱材を堆積させることができるの
で、貼り付け等の手作業を省くことができる。In the case of providing a heat insulating material on the assembly of the heating resistors wound around the separator, the outer peripheral surface of the heating resistor is simply sucked from the inside of the assembly immersed in the slurry. Since the heat insulating material can be deposited on the substrate, manual work such as sticking can be omitted.
【００１９】さらに本発明では、セパレータに保持され
る発熱抵抗体は、櫛歯の内部において断熱材の内壁面と
の間に径方向での隙間を設定された状態で保持される。
つまり、先端を断熱材中に埋設された櫛歯の基部側にて
発熱抵抗体は保持される。このため、発熱抵抗体の熱膨
張による径方向の変形を上記隙間によって吸収すること
ができるとともに、内壁面内側に位置する櫛歯の基部に
より係止されることで発熱抵抗体の折損や脱落を防止す
ることができる。しかも、セパレータは、櫛歯の長さを
隣り合うもの同士で異ならせることにより、セパレータ
に対する断熱材を構成するスラリーの繊維質成分の充填
量を増加させることでセパレータの固定を確実にするこ
とができる。また、このセパレータの固定を確実にする
のは、櫛歯に形成された突起部により抜け止めされるこ
とでも達成される。Further, in the present invention, the heat generating resistor held by the separator is held in a state where a radial gap is set between the comb teeth and the inner wall surface of the heat insulating material.
That is, the heating resistor is held by the base side of the comb teeth whose tip is embedded in the heat insulating material. Therefore, the radial deformation due to the thermal expansion of the heating resistor can be absorbed by the gap, and the heating resistor is prevented from being broken or dropped by being locked by the base of the comb teeth located inside the inner wall surface. Can be prevented. Moreover, in the separator, the length of the comb teeth is made different between the adjacent ones, thereby increasing the filling amount of the fibrous component of the slurry constituting the heat insulating material with respect to the separator, thereby ensuring the fixing of the separator. it can. Further, the secure fixing of the separator can also be achieved by preventing the separator from coming off by the protrusions formed on the comb teeth.
【００２０】[0020]
【実施例】以下、図１乃至図７に示す実施例によって本
発明の詳細を説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be described below with reference to the embodiments shown in FIGS.
【００２１】まず、上記各工程により製造される熱処理
炉の構成を図１において説明する。First, the structure of the heat treatment furnace manufactured by the above steps will be described with reference to FIG.
【００２２】すなわち、熱処理炉１０は、中空筒状の断
熱材１６の内壁面にスパイラル線状の発熱抵抗体１２を
備えている。そして、発熱抵抗体１２は、セパレータ１
４によってそれぞれが接触することなく離間させてあ
る。That is, the heat treatment furnace 10 is equipped with a spiral linear heating resistor 12 on the inner wall surface of a hollow cylindrical heat insulating material 16. The heating resistor 12 is the separator 1
They are separated by 4 without contacting each other.
【００２３】発熱抵抗体１２は、例えば、ＦｅＣｒＡｌ
を主成分とした線材からなるヒータが用いられている。
この発熱抵抗体１２は、熱処理炉の内壁面の径を以て熱
処理炉の軸方向にリード方向を設定されて一本の線材が
スパイラル状に巻かれたものである。熱処理炉１０の軸
方向に沿って連続して捲装されている発熱抵抗体１２
は、隣り合うもの同士がセパレータ１４によって分離さ
れている。The heating resistor 12 is made of, for example, FeCrAl.
A heater made of a wire material containing as a main component is used.
The heating resistor 12 is formed by spirally winding one wire with the lead direction set in the axial direction of the heat treatment furnace by the diameter of the inner wall surface of the heat treatment furnace. A heating resistor 12 which is continuously wound along the axial direction of the heat treatment furnace 10.
Are separated from each other by the separator 14.
【００２４】セパーレータ１４は、図２に示すように、
基部１４Ａからの突出長さを隣り合うもの同士で交互に
異ならせた櫛歯状部材であり、例えば、長さの長い櫛歯
１４Ｂと短い櫛歯１４Ｃとを一対に組わせたブロック体
で構成されている。そして、これら櫛歯は、発熱抵抗体
１２によって得られる必要熱量が確保できる線間ピッチ
を設定されている。さらに、この線間ピッチに合せて隣
り合う櫛歯の間には隙間が設けられ、この隙間内に発熱
抵抗体１２を挿入できるようになっている。また、長さ
の長い櫛歯１４Ｂには、その表面に櫛歯の突出方向と直
角な方向に突出させた突起１４Ｄが両面に形成されてい
る。この突起１４Ｄは、後述する断熱材１６中に埋設さ
れた際に抜け止めのためのアンダーカット部を断熱材１
６中に設けるためのものである。The separator 14 is, as shown in FIG.
It is a comb tooth-shaped member in which the protruding lengths from the base portion 14A are alternately different between adjacent ones. For example, it is composed of a block body in which a long comb tooth 14B and a short comb tooth 14C are combined in a pair. Has been done. The comb teeth are set to have a line pitch that can secure a necessary amount of heat obtained by the heating resistor 12. Further, a gap is provided between the adjacent comb teeth according to the line pitch, and the heating resistor 12 can be inserted into the gap. Further, the comb teeth 14B having a long length are formed on both surfaces with protrusions 14D protruding on the surface in a direction perpendicular to the protruding direction of the comb teeth. The protrusion 14D has an undercut portion for preventing the detachment when it is embedded in a heat insulating material 16 which will be described later.
It is to be provided in the No. 6.
【００２５】セパレータ１４は、図３に示すように、発
熱抵抗体１２を熱処理炉１０の内壁面に露出させた状態
で櫛歯の先端が断熱材１６中に埋設されるようになって
いるが、発熱抵抗体１２と断熱材１６との間には、図４
において符号Ｇで示すように、発熱抵抗体１２と断熱材
１６の内壁面との間に径方向で僅かな隙間を設定するこ
とができるようになっている。これは、発熱抵抗体１２
の熱膨張による径方向での伸張変位を吸収するためであ
る。As shown in FIG. 3, the separator 14 is designed such that the tips of the comb teeth are embedded in the heat insulating material 16 with the heating resistor 12 exposed on the inner wall surface of the heat treatment furnace 10. Between the heat-generating resistor 12 and the heat insulating material 16, as shown in FIG.
As indicated by reference character G, a slight gap can be set in the radial direction between the heating resistor 12 and the inner wall surface of the heat insulating material 16. This is the heating resistor 12
This is because the expansion displacement in the radial direction due to the thermal expansion of is absorbed.
【００２６】このような構成からなる熱処理炉１０は、
図５に示す工程により製造される。The heat treatment furnace 10 having such a structure is
It is manufactured by the process shown in FIG.
【００２７】図５は、本発明による熱処理炉の製造方法
を説明するためのフローチャートである。FIG. 5 is a flow chart for explaining the method of manufacturing the heat treatment furnace according to the present invention.
【００２８】すなわち、この工程は、 （１）治具を用いた発熱抵抗体巻き付け工程 （２）発熱抵抗体へ濾過材を配置する工程 （３）スラリー槽への発熱抵抗体浸漬工程 （４）発熱抵抗体の組立て体に対するスラリーの堆積工
程 （５）発熱抵抗体の組立て体の乾燥工程 （６）濾過材の除去工程 （７）治具の除去工程 からなる。That is, this step is (1) a step of winding a heating resistor using a jig (2) a step of arranging a filter material on the heating resistor (3) a step of immersing the heating resistor in a slurry tank (4) A step of depositing the slurry on the assembly of the heating resistor (5) a step of drying the assembly of the heating resistor (6) a step of removing the filtering material (7) a step of removing the jig.
【００２９】以下、各工程につき説明する。 （１）発熱抵抗体巻き付け工程 この工程では、発熱抵抗体１２をスパイラル状に捲装す
ることが行なわれる。このため、発熱抵抗体１２同士を
離間させた状態で捲装するための治具が用いられる。す
なわち、この治具２０は、図６に示すように、中空状支
軸２２の表面から放射状に延びるスポークの先端に固定
された基盤２４を有するドラム状骨組体である。そし
て、基盤２４の外周面には、外向きに開放するチャンネ
ル形状からなるガイド部材２６が周方向に沿って複数設
けられている。このガイド部材２６は、周方向でセパレ
ータ１４の位置を位置決めするとともに、軸方向に沿っ
てセパレータ１４を整列させるために設けられている。
従って、ガイド部材２６内に挿填されるセパレータ１４
は、櫛歯が外側に突出した状態で軸方向に整列される。Each step will be described below. (1) Winding resistor winding step In this step, the heating resistor 12 is wound in a spiral shape. Therefore, a jig is used to wind the heating resistors 12 apart from each other. That is, as shown in FIG. 6, the jig 20 is a drum-shaped skeleton having a base 24 fixed to the tip of the spokes extending radially from the surface of the hollow support shaft 22. On the outer peripheral surface of the base 24, a plurality of channel-shaped guide members 26 that open outward are provided along the circumferential direction. The guide member 26 is provided to position the separator 14 in the circumferential direction and to align the separator 14 in the axial direction.
Therefore, the separator 14 inserted in the guide member 26
Are axially aligned with the comb teeth protruding outward.
【００３０】また、支軸２２の周面には、複数の開口２
２Ａが形成されており、この開口２２Ａは、中空部に連
通する吸引口を構成している。A plurality of openings 2 are formed on the peripheral surface of the support shaft 22.
2A is formed, and this opening 22A constitutes a suction port communicating with the hollow portion.
【００３１】このような構成の治具２０に対して発熱抵
抗体１２を捲装する場合には、スパイラル状に形成され
た発熱抵抗体１２をセパレータ１４の櫛歯間に挿入す
る。このとき、ガイド部材２６は、基盤２４と一体の支
軸２２を回転させることができるので、作業者は、各セ
パレータ１４を手元に移動させることで発熱抵抗体１２
の捲装を同じ位置で行なうことができる。 （２）発熱抵抗体への濾過材配置工程 この工程は、（１）の発熱抵抗体巻き付け工程が終了し
た後に実行される。When the heating resistor 12 is wound around the jig 20 having such a structure, the heating resistor 12 formed in a spiral shape is inserted between the comb teeth of the separator 14. At this time, since the guide member 26 can rotate the support shaft 22 integrated with the base 24, an operator moves each separator 14 at his / her hand to generate the heat generating resistor 12.
The winding can be performed at the same position. (2) Filtering Material Arrangement Step on Heating Resistor This step is performed after the winding step of the heating resistor of (1) is completed.
【００３２】この工程は、断熱材１６を発熱抵抗体１２
の外表面に形成する際の断熱材料の堆積部を設置するた
めの工程である。そして、この工程では、熱処理炉１０
の周方向でセパレータ１４同士の間の外側表面、換言す
れば、発熱抵抗体１２のみが表面に露出している箇所
に、後述する断熱材料であるスラリーの繊維質成分との
間で非接着性を有する、例えば繊維状の金属あるいはポ
リウレタン製のスポンジ等の多孔質部材をシート状に形
成した繊維質部材からなる濾過材２８（図６参照）が配
置される。なお、この濾過材２８としては、繊維質を有
して、主に断熱材料中の水分の透過が可能なものであれ
ばよく、例えば、紙等を用いることができる。In this step, the heat insulating material 16 is attached to the heating resistor 12.
Is a step for installing a deposition portion of a heat insulating material when forming on the outer surface of the. Then, in this step, the heat treatment furnace 10
The non-adhesiveness between the outer surface between the separators 14 in the circumferential direction, in other words, the location where only the heating resistor 12 is exposed on the surface, with the fibrous component of the slurry, which is a heat insulating material described later. A filter material 28 (see FIG. 6) is provided, which is made of a fibrous member having a sheet-like porous member such as a sponge made of fibrous metal or polyurethane. The filter medium 28 may be made of a fibrous material that is capable of mainly permeating the moisture in the heat insulating material, and for example, paper or the like can be used.
【００３３】濾過材配置工程が終了することで発熱抵抗
体１２が組立てられた組立て体１２Ａは、スラリー槽内
への浸漬工程を実行される。 （３）スラリー槽への発熱抵抗体浸漬工程 この工程では、発熱抵抗体１２の組立て体１２Ａにおけ
る治具２０の軸方向両端を塞いだ上で組立て体１２Ａ
を、図７に示すスラリー槽３０に移し換えて浸漬する。
従って、発熱抵抗体１２の組立て体１２Ａの内部は密閉
されることになる。このため、内部雰囲気を減圧雰囲気
とすることで組立て体１２Ａの外部からスラリーを吸引
することができる。When the filter material arranging step is completed, the assembly 12A in which the heat generating resistor 12 is assembled is subjected to the immersion step in the slurry tank. (3) Step of immersing the heating resistor in the slurry tank In this step, both ends in the axial direction of the jig 20 in the assembly 12A of the heating resistor 12 are closed, and then the assembly 12A is closed.
Is transferred to and immersed in the slurry tank 30 shown in FIG.
Therefore, the inside of the assembly 12A of the heating resistor 12 is hermetically sealed. Therefore, the slurry can be sucked from the outside of the assembly 12A by setting the reduced pressure atmosphere in the internal atmosphere.
【００３４】一方、この工程に用いられるスラリーは、
無機質繊維と水とこれら両者を結合するためのバインダ
とで構成された液状体が用いられる。そして、本実施例
におけるスラリーとしては、シリカとアルミナあるいは
珪酸アルミナを含む懸濁液が用いられている。 （４）発熱抵抗体の組立て体に対するスラリーの堆積工
程 この工程は、発熱抵抗体１２の外周に断熱材１６を設け
るための工程であり、図７に示すように、中空状の支軸
２２が吸引ポンプ３２に連結されることで、支軸２２の
開口２２Ａを介して発熱抵抗体１２の組立て体１２Ａ内
が減圧雰囲気とされる。このため、スラリー中に浸漬さ
れた発熱抵抗体１２の組立て体１２Ａは、その外表面か
らスラリーを内部に向け吸引することになる。そして、
吸引されたスラリーは、主に水分が濾過材を透過し、一
方、スラリー中に含まれているシリカ、アルミナ等の繊
維質成分が濾過材２８上に堆積して積層されることにな
る。On the other hand, the slurry used in this step is
A liquid material composed of an inorganic fiber, water, and a binder for binding both of them is used. A suspension containing silica and alumina or alumina silicate is used as the slurry in this embodiment. (4) Slurry depositing step on the heat-generating resistor assembly This step is a step for providing the heat insulating material 16 on the outer periphery of the heat-generating resistor 12, and as shown in FIG. By being connected to the suction pump 32, the inside of the assembly 12A of the heating resistor 12 is made into a reduced pressure atmosphere through the opening 22A of the support shaft 22. Therefore, the assembly 12A of the heating resistor 12 immersed in the slurry sucks the slurry toward the inside from the outer surface thereof. And
Moisture permeates through the filter medium mainly in the sucked slurry, while fibrous components such as silica and alumina contained in the slurry are deposited and laminated on the filter medium 28.
【００３５】なお、水分だけでなく、濾過材２８を介し
て発熱抵抗体１２の組立て体１２Ａ内部に導入されたス
ラリー中の繊維質成分は、吸引ポンプ３２に連結されて
いる吐出パイプ３４を介して回収される。なお、このス
ラリー中の繊維質成分は、再度、スラリー槽３０内に循
環させるようにしてもよい。このとき、発熱抵抗体１２
の組立て体１２Ａは、支軸２２を駆動して回転させるこ
とができるので、槽内のスラリーを撹拌することができ
る。このため、槽内に収容されているスラリー中の繊維
質成分が一様な分布でない場合でも、撹拌により均一分
布を設定されることになる。このため、発熱抵抗体１２
の組立て体１２Ａの周方向に対してスラリー中の繊維質
成分が均一接触することで、堆積量も周方向で均一化す
ることができる。Not only the moisture but also the fibrous component in the slurry introduced into the assembly 12A of the heating resistor 12 through the filter medium 28 is passed through the discharge pipe 34 connected to the suction pump 32. Be recovered. The fibrous component in the slurry may be circulated in the slurry tank 30 again. At this time, the heating resistor 12
Since the assembly 12A can drive and rotate the support shaft 22, the slurry in the tank can be stirred. Therefore, even if the fibrous component in the slurry contained in the tank is not uniformly distributed, the uniform distribution is set by stirring. Therefore, the heating resistor 12
By uniformly contacting the fibrous component in the slurry with respect to the circumferential direction of the assembly 12A, the amount of deposition can also be made uniform in the circumferential direction.
【００３６】そして、スラリー中の繊維質成分の堆積
は、図４において、ハッチングの疎密で示すように、発
熱抵抗体１２の組立て体１２Ａの外表面近傍側の密度が
高く、この高密度層１６Ａの上部では、堆積が進行する
に従い透過される度合いが小さくなることで、高密度層
１６Ａよりも低い密度の低密度層１６Ｂが形成される。
これにより、径方向における発熱抵抗体１２の外表面側
では高密度層１６Ａによってセパレータ１４を保持でき
るに十分な強度が確保され、そして、高密度層１６Ａの
外表面側では、低密度層１６Ｂによって断熱材の軽量化
が実現される。このような断熱材１６の密度の違いは、
敢えてスラリーの濃度等を切り換えるのではなく、堆積
するスラリー中の繊維質成分の量に応じて透過状態が変
化するのを利用して自動的に設定される。The deposition of the fibrous component in the slurry has a high density near the outer surface of the assembly 12A of the heating resistor 12 as indicated by the sparse and dense hatching in FIG. In the upper part of the, the degree of permeation becomes smaller as the deposition proceeds, so that the low density layer 16B having a lower density than the high density layer 16A is formed.
As a result, the outer surface side of the heating resistor 12 in the radial direction has sufficient strength to hold the separator 14 by the high density layer 16A, and the outer surface side of the high density layer 16A is provided by the low density layer 16B. The weight of the heat insulating material is reduced. The difference in the density of the heat insulating material 16 is
Rather than changing the concentration of the slurry, it is automatically set by utilizing the fact that the permeation state changes depending on the amount of fibrous components in the deposited slurry.
【００３７】しかも、スラリー中の繊維質成分が堆積し
ていくに従って、このときに生じる凝縮圧力により濾過
材２８は径方向で押し潰された状態となる。このため、
濾過材２８は、当初の厚さに対して堆積工程が終了する
時点には、図４において符号Ｇで示した隙間に相当する
厚さに設定される。なお、本実施例ではスラリーを、一
種の密度を対象としたが、これに限ることなく、堆積層
中で異なる密度を有するスラリーを用いて、複数の密度
を有する堆積層とすることも可能である。Moreover, as the fibrous component in the slurry accumulates, the condensing pressure generated at this time causes the filter medium 28 to be crushed in the radial direction. For this reason,
The filter material 28 is set to have a thickness corresponding to the gap indicated by the symbol G in FIG. 4 when the deposition process is completed with respect to the initial thickness. In this embodiment, the slurry is intended for one kind of density, but the present invention is not limited to this, and it is also possible to use a slurry having different densities in the deposited layer to form a deposited layer having a plurality of densities. is there.
【００３８】そして、スラリーの堆積工程では、濾過材
２８上にスラリーが堆積するとき、セパレータ１４の櫛
歯の長さの違いにより、短い櫛歯１４Ｃに達するまでス
ラリー中の繊維質成分が入り込むことになる。このた
め、櫛歯間へのスラリー中の繊維質成分の充填量を増加
させることができることになり、これによって、スラリ
ーと櫛歯との一体化が強固にされる。In the slurry depositing step, when the slurry is deposited on the filter medium 28, due to the difference in the length of the comb teeth of the separator 14, the fibrous component in the slurry may enter until reaching the short comb teeth 14C. become. Therefore, it is possible to increase the filling amount of the fibrous component in the slurry between the comb teeth, which strengthens the integration of the slurry and the comb teeth.
【００３９】なお、上記した実施例において、濾過材２
８へのスラリーの堆積効率を上げる意味で、図４中、符
号３６で示すように、発熱抵抗体１２の内側表面に金網
成形型を配置することも可能である。金網成形型３６を
用いた場合には、金網成形型３６中を通過する際にスラ
リーの移動速度が抑えられ、濾過材２８の表面近傍でス
ラリーが滞ることになるので、濾過材２８へ降り積もる
量が増加して堆積量が増加することになる。In the above embodiment, the filter medium 2
For the purpose of increasing the efficiency of the slurry deposition on the wire 8, it is possible to dispose a wire mesh forming die on the inner surface of the heating resistor 12, as shown by reference numeral 36 in FIG. When the wire mesh forming die 36 is used, the moving speed of the slurry is suppressed when passing through the wire mesh forming die 36, and the slurry stays in the vicinity of the surface of the filter medium 28. Will increase and the amount of deposition will increase.
【００４０】一方、スラリーの堆積量に依存する断熱材
１４の厚さは、吸引圧力、発熱抵抗体１２の組立て体１
２Ａの回転速度等によって設定することができるので、
設計にあたってこのような要件を決めておくことが必要
である。On the other hand, the thickness of the heat insulating material 14 which depends on the amount of the deposited slurry depends on the suction pressure and the assembly 1 of the heating resistor 12.
Since it can be set by the rotation speed of 2A, etc.,
It is necessary to determine such requirements in design.
【００４１】上記した各要件に応じて堆積量が設定さ
れ、断熱材１４の厚さが得られ、熱処理炉としての形態
が得られると、組立て体１２Ａの乾燥工程が実行され
る。 （５）発熱抵抗体の組立て体の乾燥工程 この工程では、自然あるいは強制乾燥される。 （６）濾過材除去工程 この工程では、スラリー中の繊維質成分の堆積によって
厚さを有する断熱材１６の内壁面と発熱抵抗体１２の組
立て体１２Ａ外表面でかつセパレータ間に配置されてい
た濾過材２８が引き出される。このため、濾過材２８が
引き出された後には、断熱材１６の内壁面と発熱抵抗体
１２との間に、図４において符号Ｇで示す間隙が形成さ
れ、この間隙Ｇが、発熱抵抗体１２の熱膨張による伸張
変位を吸収するためのスペースとされる。 （７）治具除去工程 この工程では、セパレータ１４を位置決めするとともに
軸方向に整列させるために用いられていた治具２０が断
熱材１６の内部から引き出される。これによって、断熱
材１６の内壁面には、発熱抵抗体１２がセパレータ１４
によって内側への脱落を防止された状態で設けられたこ
とになる。When the amount of deposition is set according to the above-mentioned requirements, the thickness of the heat insulating material 14 is obtained, and the form as the heat treatment furnace is obtained, the drying process of the assembly 12A is executed. (5) Drying Step of Assembly of Heating Resistor In this step, natural or forced drying is performed. (6) Filtering Material Removal Step In this step, the inner wall surface of the heat insulating material 16 having a thickness due to the deposition of the fibrous component in the slurry and the outer surface of the assembly 12A of the heating resistor 12 and the separator were arranged between the separators. The filter material 28 is pulled out. Therefore, after the filter material 28 is pulled out, a gap indicated by reference symbol G in FIG. 4 is formed between the inner wall surface of the heat insulating material 16 and the heat generating resistor 12, and this gap G is formed. It is a space for absorbing the extensional displacement due to the thermal expansion of. (7) Jig Removal Step In this step, the jig 20 used for positioning the separator 14 and aligning it in the axial direction is pulled out from the inside of the heat insulating material 16. As a result, the heating resistor 12 is attached to the separator 14 on the inner wall surface of the heat insulating material 16.
Therefore, it is provided in a state in which it is prevented from falling inside.
【００４２】以上のような本実施例によれば、断熱材１
６に埋設されるセパレータ１４に保持される発熱抵抗体
１２とこれに対向する断熱材１６の表面との間の隙間、
つまり、発熱抵抗体１２の熱膨張による径方向への伸張
変位を吸収するための隙間は、改めて設定する必要がな
い。すなわち、この両部材の間には、濾過材の捲装工程
において、スラリー中の繊維質成分の堆積時に発生する
凝縮圧力によって濾過材２８が収縮変形することで自動
的に得られる。According to the present embodiment as described above, the heat insulating material 1
A gap between the heat generating resistor 12 held by the separator 14 embedded in 6 and the surface of the heat insulating material 16 facing the heat generating resistor 12,
That is, it is not necessary to newly set the gap for absorbing the expansion displacement in the radial direction due to the thermal expansion of the heating resistor 12. That is, between the two members, in the winding process of the filter medium, the filter medium 28 is automatically obtained by contracting and deforming due to the condensing pressure generated when the fibrous component in the slurry is accumulated.
【００４３】また本実施例によれば、発熱抵抗体１２の
脱落を完全に防止することができる。すなわち、セパレ
ータ１４は、基部１４Ａが断熱材１６の内壁面側に露出
した状態で取付けられ、発熱抵抗体１２を配置する隙間
側に位置する櫛歯の先端側が断熱材１６に埋設される。
従って、発熱抵抗体１２は、セパレータ１４の基部によ
って熱処理炉の内側に向けた移動を規制されることにな
るので、熱処理炉の内壁から脱落するようなことがな
い。Further, according to this embodiment, it is possible to completely prevent the exothermic resistor 12 from falling off. That is, the separator 14 is attached in a state where the base portion 14A is exposed to the inner wall surface side of the heat insulating material 16, and the tip end side of the comb teeth located on the gap side where the heat generating resistor 12 is arranged is embedded in the heat insulating material 16.
Therefore, since the heating resistor 12 is restricted from moving toward the inside of the heat treatment furnace by the base of the separator 14, it does not fall off from the inner wall of the heat treatment furnace.
【００４４】さらに本実施例によれば、断熱材料である
スラリーの透過工程において、スラリー中の繊維質成分
の分散状態を発熱抵抗体１２の組立て体１２Ａの周方向
で均一化することができる。つまり、スラリーの透過工
程においては、発熱抵抗体１２の組立て体１２Ａを回転
させることができるので、この組立て体１２Ａによって
スラリーを撹拌することができる。このため、スラリー
中の繊維質成分の分散を偏寄させることがない。これに
より、組立て体１２Ａの周方向で濾過材２８を透過する
スラリー中の繊維質成分が均一な量とされることで堆積
量、換言すれば、断熱材１６としての厚さが周方向で均
一化されることになる。Further, according to this embodiment, in the permeation step of the slurry which is the heat insulating material, the dispersion state of the fibrous component in the slurry can be made uniform in the circumferential direction of the assembly 12A of the heating resistor 12. That is, since the assembly 12A of the heating resistor 12 can be rotated in the slurry permeation step, the slurry can be stirred by the assembly 12A. Therefore, the dispersion of the fibrous component in the slurry is not biased. As a result, the fibrous component in the slurry that permeates the filter medium 28 in the circumferential direction of the assembly 12A becomes a uniform amount, so that the deposited amount, in other words, the thickness of the heat insulating material 16 is uniform in the circumferential direction. Will be realized.
【００４５】また、本実施例によれば、断熱材１６の厚
さを容易に変更調整することができる。つまり、スラリ
ーの透過工程においては、発熱抵抗体１２の組立て体１
２Ａの回転速度および吸引ポンプによるスラリーの吸引
速度を調整することが可能である。このため、濾過材に
対するスラリー中の繊維質成分の透過速度を変えること
で、断熱材に相当するスラリー中の繊維質成分の堆積量
を変更でき、これによって、断熱材の厚さを所望の厚さ
に設定することができる。Further, according to this embodiment, the thickness of the heat insulating material 16 can be easily changed and adjusted. That is, in the slurry permeation step, the assembly 1 of the heating resistor 12 is
It is possible to adjust the rotation speed of 2A and the suction speed of the slurry by the suction pump. Therefore, by changing the permeation rate of the fibrous component in the slurry to the filter material, the deposition amount of the fibrous component in the slurry, which corresponds to the heat insulating material, can be changed. Can be set to
【００４６】さらに、本実施例によれば、濾過材２８の
表面に堆積するスラリー中の繊維質成分の密度を径方向
で異ならせることで、熱処理炉の重量の増加を防止する
ことができる。つまり、スラリー中の繊維質成分は、濾
過材の表面に堆積するに従い、同一吸引圧力である場合
には、外側に位置するほど、透過のために必要な圧力の
影響が小さくなるので、密度が小さくされることにな
る。換言すれば、断熱層をなす空気層の存在が多くな
る。なお、このスラリーは、原料を変えることで堆積層
内での密度を異ならせるようにしてもよい。Further, according to this embodiment, the density of the fibrous component in the slurry deposited on the surface of the filter material 28 is made different in the radial direction, so that the increase in the weight of the heat treatment furnace can be prevented. That is, as the fibrous component in the slurry is deposited on the surface of the filter medium, when the suction pressure is the same, the effect of the pressure required for permeation becomes smaller toward the outer side, so that the density is It will be made smaller. In other words, there are more air layers that form the heat insulating layer. The slurry may have different densities in the deposited layer by changing the raw material.
【００４７】なお、本発明は、上記実施例に限られるも
のではなく、本発明の要旨の範囲内で種々変形してもよ
いこと勿論である。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and it goes without saying that various modifications may be made within the scope of the gist of the present invention.
【００４８】例えば、本発明が対象とする熱処理炉によ
って熱処理される被処理体は、少なくとも面状形状の被
処理体であればよく、半導体ウエハ以外にも、例えば、
ＬＣＤ基板等であっても良い。さらに本発明が適用され
る熱処理炉としては、ＣＶＤ装置以外にも、例えば、酸
化、拡散、アニールに適用される装置を対象とすること
も可能である。For example, the object to be heat-treated by the heat treatment furnace targeted by the present invention may be at least an object having a planar shape, and other than the semiconductor wafer, for example,
It may be an LCD substrate or the like. Further, as the heat treatment furnace to which the present invention is applied, other than the CVD apparatus, for example, an apparatus applied to oxidation, diffusion or annealing can be targeted.
【００４９】[0049]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
熱処理炉を製造する際の作業性を向上させて製造に要す
る時間を短縮することができる。つまり、発熱抵抗体を
なす線材は、コイル状に形成する必要がなく、単に、軸
方向に沿ってスパイラル状に配列すればよい。しかも、
配列の際のピッチは、セパレータによって予め設定され
ているので、人手によりピッチを設定する必要がなく、
配列の手間を省くことができる。As described above, according to the present invention,
Workability in manufacturing the heat treatment furnace can be improved and the time required for manufacturing can be shortened. That is, it is not necessary to form the wire material forming the heating resistor into a coil shape, but it is sufficient to simply arrange the wire material in a spiral shape along the axial direction. Moreover,
The pitch at the time of arrangement is preset by the separator, so there is no need to manually set the pitch,
The arrangement work can be omitted.
【００５０】また、上記スパイラル状に捲装された発熱
抵抗体に対して断熱材を設ける場合には、発熱抵抗体の
組立て体に濾過材を設けた上で内部からのスラリーの吸
引操作のみを行えばよい。これにより、濾過材の表面に
スラリー中の繊維質成分の堆積を可能にして、貼り付け
等の手作業をなくすことができる。When a heat insulating material is provided for the heating resistor wound in a spiral shape, a filter material is provided on the assembly of the heating resistors and only the operation of sucking the slurry from the inside is performed. Just go. As a result, the fibrous component in the slurry can be deposited on the surface of the filter material, and manual work such as sticking can be eliminated.
【００５１】さらに本発明によれば、セパレータによっ
て保持される発熱抵抗体は、セパーレータの櫛歯の内部
において断熱材の内壁面との間に径方向の隙間を設定さ
れることで、熱膨張による径方向への伸張変形を吸収さ
れることができる。しかも、上記セパレータの基部が断
熱材の内壁面に対向した状態で位置し、その基部と内壁
面との間に発熱抵抗体が配置されるので、発熱抵抗体が
熱膨張した場合に折損や脱落するのを未然に防止するこ
とができる。そして、セパレータは、隣り合う櫛歯同士
で先端までの長さを異ならせてあるので、セパレータの
櫛歯間への断熱材料であるスラリーの充填量を増加させ
ることができ、これにより、セパレータの保持が強固に
行われることになる。そして、櫛歯には、断熱材料であ
るスラリーとの結合を強化する構造が設けられている。
つまり、櫛歯における長い方の櫛歯には、断熱材料にア
ンダーカット部を形成するための突起部が設けられてい
る。従って、突起部が断熱材料に引掛かることで、抜け
あるいは位置ずれを防止することが可能になる。Further, according to the present invention, the heat generating resistor held by the separator is provided with a radial gap between the comb teeth of the separator and the inner wall surface of the heat insulating material, so that the heat generating resistor is caused by thermal expansion. It is possible to absorb the extensional deformation in the radial direction. Moreover, since the base portion of the separator is positioned so as to face the inner wall surface of the heat insulating material, and the heating resistor is arranged between the base portion and the inner wall surface, when the heating resistor thermally expands, it breaks or falls off. This can be prevented in advance. Since the separator has different lengths between the adjacent comb teeth up to the tip, it is possible to increase the filling amount of the slurry that is the heat insulating material between the comb teeth of the separator, and thereby the separator It will be held firmly. The comb teeth are provided with a structure that strengthens the bond with the slurry that is the heat insulating material.
That is, the longer comb tooth is provided with the protrusion for forming the undercut portion in the heat insulating material. Therefore, it is possible to prevent the protrusion or the displacement from being caused by the protrusion being caught by the heat insulating material.
【図１】本発明による熱処理炉の製造方法によって得ら
れる熱処理炉の一部を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a part of a heat treatment furnace obtained by a method for manufacturing a heat treatment furnace according to the present invention.
【図２】図１に示した熱処理炉に用いられるセパレータ
の構造を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a structure of a separator used in the heat treatment furnace shown in FIG.
【図３】図１中、符号Ａ−Ａで示す方向の矢視断面図で
ある。3 is a sectional view taken along the line AA in FIG.
【図４】図３中、符号Ｂ−Ｂで示す方向の矢視断面図で
ある。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the arrow BB in FIG.
【図５】本発明による熱処理炉の製造工程を説明するた
めのフローチャートである。FIG. 5 is a flow chart for explaining a manufacturing process of the heat treatment furnace according to the present invention.
【図６】本発明による熱処理炉の製造方法における発熱
抵抗体の捲装工程に用いられる治具の構成を説明するた
めの斜視図である。FIG. 6 is a perspective view for explaining the structure of a jig used in the step of winding the heating resistor in the method for manufacturing the heat treatment furnace according to the present invention.
【図７】本発明による熱処理炉の製造方法における発熱
抵抗体の組立て体の一工程を説明するための模式図であ
る。FIG. 7 is a schematic diagram for explaining one step of an assembly of heating resistors in the method for manufacturing a heat treatment furnace according to the present invention.
１０ 熱処理炉 １２ 発熱抵抗体 １２Ａ 発熱抵抗体の組立て体 １４ セパレータ １４Ａ 基部 １４Ｂ 長い方の櫛歯 １４Ｃ 短い方の櫛歯 １４Ｄ 突起部 １６ 断熱材 １６Ａ 高密度層 １６Ｂ 低密度層 ２０ 治具 ２２ 回転軸 ２４ 基盤 ２８ 濾過材 ３０ スラリー槽 ３２ 吸引ポンプ 10 Heat Treatment Furnace 12 Heating Resistor 12A Assembly of Heating Resistor 14 Separator 14A Base 14B Longer Comb Teeth 14C Shorter Comb Teeth 14D Protrusion 16 Heat Insulation 16A High Density Layer 16B Low Density Layer 20 Jig 22 Rotating Shaft 24 Base 28 Filtering Material 30 Slurry Tank 32 Suction Pump
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三浦 恭彰 神奈川県津久井郡城山町町屋１丁目２番41 号 東京エレクトロン東北株式会社相模事 業所内 (72)発明者 横川 修 神奈川県津久井郡城山町町屋１丁目２番41 号 東京エレクトロン東北株式会社相模事 業所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Yasuaki Miura 1-24-1 Machiya, Shiroyama-cho, Tsukui-gun, Kanagawa Tokyo Electron Tohoku Co., Ltd. Sagami Business Office (72) Inventor Osamu Yokogawa Shiroyama-machi, Tsukui-gun, Kanagawa 1-24-141 Tokyo Electron Tohoku Co., Ltd. Sagami Office
Claims (5)
線状の発熱抵抗体を備えた熱処理炉の製造方法であっ
て、 上記断熱材の軸方向に沿って隣り合う上記発熱抵抗体同
士を互いに分離した状態で保持するセパレータおよびこ
のセパレータを上記断熱材の周方向で所定位置に位置決
めして軸方向に整列させる治具を準備し、上記治具を回
転させながら上記発熱抵抗体をセパレータに捲装して発
熱抵抗体の組立て体を形成する発熱抵抗体巻き付け工程
と、 上記治具により周方向での位置決めが行われた上記セパ
レータ同士の間に多孔質部材からなる濾過材を配置する
工程と、 上記濾過材を配置されたセパレータを断熱材の材料をな
す無機質繊維を含むスラリー中に浸漬させる発熱抵抗体
の組立て体浸漬工程と、 上記発熱抵抗体の組立て体浸漬工程において、発熱抵抗
体の内部からの吸引によりその表面にスラリーを堆積さ
せるスラリーの堆積工程と、 上記スラリーが表面に堆積した発熱抵抗体の組立て体を
乾燥させる工程と、 治具の周面と乾燥した断熱材の内周面との間から上記濾
過材を抜出す濾過材除去工程と、 上記乾燥後、上記治具を断熱材内部から取り出す治具除
去工程と、 を含むことを特徴とする熱処理炉の製造方法。1. A method of manufacturing a heat treatment furnace comprising a spiral tubular heating resistor on the inner wall surface of a hollow cylindrical heat insulating material, wherein the heating resistors are adjacent to each other along the axial direction of the heat insulating material. A separator for holding the separators in a state of being separated from each other and a jig for positioning the separator at a predetermined position in the circumferential direction of the heat insulating material and aligning the separator in the axial direction, and rotating the jig to separate the heating resistor into the separator. A heating resistor winding step of winding the heating resistor to form an assembly of the heating resistor, and placing a filter material made of a porous member between the separators positioned in the circumferential direction by the jig. And a step of immersing the heating resistor assembly in which the separator having the filter material is immersed in a slurry containing inorganic fibers forming a heat insulating material, and the heating resistor assembly immersing step. In the process, a step of depositing a slurry that deposits a slurry on the surface of the heating resistor by suction from the inside, a step of drying the assembly of the heating resistor that has the slurry deposited on the surface, and a peripheral surface of the jig. And a jig removing step of taking out the jig from the inside of the heat insulating material after the drying, and a step of removing the filter material from the inner surface of the dried heat insulating material. Manufacturing method of heat treatment furnace.
水と懸濁させるためのバインダとを含む液状体であるこ
とを特徴とする熱処理炉の製造方法。2. The method for manufacturing a heat treatment furnace according to claim 1, wherein the slurry is a liquid material containing a fibrous component containing silica and alumina, and a binder for suspending with water.
てスパイラル状に連続する状態に配置された断熱材を備
えている熱処理炉において、 上記断熱材の内壁面から差込まれ、上記発熱抵抗体の配
列ピッチを設定して同発熱抵抗体を保持する櫛歯状のセ
パレータを備え、 このセパレータは、櫛歯先端が断熱材中に埋設されると
ともに、上記断熱材の内壁面と上記発熱抵抗体との間に
径方向の隙間を設定して櫛歯の基部側で発熱抵抗体を保
持することを特徴とする熱処理炉。3. A heat treatment furnace comprising a heat-insulating material in which a heating resistor made of a wire material is arranged in a spirally continuous manner along an inner wall surface of the heat-insulating material. A comb-teeth-shaped separator that holds the heating resistors by setting the arrangement pitch of the resistors is provided, and the tip of the comb teeth is embedded in the heat insulating material. A heat treatment furnace characterized in that a radial gap is set between the resistor and the resistor to hold the heating resistor on the base side of the comb teeth.
ることを特徴とする熱処理炉。4. The heat treatment furnace according to claim 3, wherein the separators have adjacent comb teeth having different lengths.
張り出す突起部が形成されていることを特徴とする熱処
理炉。5. The heat treatment furnace according to claim 3, wherein the separator has a protrusion formed on the longer side of the comb teeth so as to project at a right angle to the longitudinal direction.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5305956A JPH07135179A (en) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | Manufacture of heat-treating furnace and heat-treating furnace |
| US08/337,366 US5506389A (en) | 1993-11-10 | 1994-11-08 | Thermal processing furnace and fabrication method thereof |
| JP6300298A JP2840558B2 (en) | 1993-11-10 | 1994-11-09 | Heat treatment furnace and manufacturing method thereof |
| KR1019940029435A KR100235548B1 (en) | 1993-11-10 | 1994-11-10 | Manufacture of heat-treating furnace and heat-treating furnace |
| TW083110430A TW273637B (en) | 1993-11-10 | 1994-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5305956A JPH07135179A (en) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | Manufacture of heat-treating furnace and heat-treating furnace |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07135179A true JPH07135179A (en) | 1995-05-23 |
Family
ID=17951322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5305956A Pending JPH07135179A (en) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | Manufacture of heat-treating furnace and heat-treating furnace |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07135179A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008263170A (en) * | 2007-03-20 | 2008-10-30 | Tokyo Electron Ltd | Heat treatment furnace and vertical heat treatment equipment |
| JP2012009702A (en) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Heating device and manufacturing method of semiconductor device |
-
1993
- 1993-11-10 JP JP5305956A patent/JPH07135179A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008263170A (en) * | 2007-03-20 | 2008-10-30 | Tokyo Electron Ltd | Heat treatment furnace and vertical heat treatment equipment |
| JP2012009702A (en) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Heating device and manufacturing method of semiconductor device |
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