JPH07128408A - Ｅｏプローブ - Google Patents
ＥｏプローブInfo
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- JPH07128408A JPH07128408A JP5275326A JP27532693A JPH07128408A JP H07128408 A JPH07128408 A JP H07128408A JP 5275326 A JP5275326 A JP 5275326A JP 27532693 A JP27532693 A JP 27532693A JP H07128408 A JPH07128408 A JP H07128408A
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- Japan
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- laser light
- measured
- laser
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ＥＯ（電気光学効果）素子とレーザ光を用いた
非接触電気検査用プローブにおいて、Ｓ／Ｎ比を向上さ
せる。 【構成】ＥＯ素子１０１と被測定物１０２の電界により
変調のかかったレーザ光を同相・逆相に分離する偏光ビ
ームスプリッタ１０３と、フォトディテクタ１０４，１
０５とを一体化し、これを回転させることにより、同相
・逆相のレーザ光量分離比を制御し、同量とする。ま
た、片方のフォトディテクタ１０４，１０５を移動調整
することにより分離されたレーザ光１０８ｃ，１０８ｄ
の位相を調整する。この分離、光量・位相調整されたレ
ーザ光１０８ｃ，１０８ｄの差分をとることにより、レ
ーザ光１０８ａに起因する雑音を除去し、Ｓ／Ｎ比を向
上させる。
非接触電気検査用プローブにおいて、Ｓ／Ｎ比を向上さ
せる。 【構成】ＥＯ素子１０１と被測定物１０２の電界により
変調のかかったレーザ光を同相・逆相に分離する偏光ビ
ームスプリッタ１０３と、フォトディテクタ１０４，１
０５とを一体化し、これを回転させることにより、同相
・逆相のレーザ光量分離比を制御し、同量とする。ま
た、片方のフォトディテクタ１０４，１０５を移動調整
することにより分離されたレーザ光１０８ｃ，１０８ｄ
の位相を調整する。この分離、光量・位相調整されたレ
ーザ光１０８ｃ，１０８ｄの差分をとることにより、レ
ーザ光１０８ａに起因する雑音を除去し、Ｓ／Ｎ比を向
上させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電気回路を非接触で試
験する非接触型電圧測定装置であるＥＯプローブに関
し、特にＥＯプローブのレーザ光源に起因する雑音成分
を除去する光作動入力光学系路に関する。
験する非接触型電圧測定装置であるＥＯプローブに関
し、特にＥＯプローブのレーザ光源に起因する雑音成分
を除去する光作動入力光学系路に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来この種のレーザ光を用いた非接触型
電圧測定装置は、例えば特開平３−６４６５号公報に示
されるように、被測定物である電気回路に容量負荷を与
えないため高周波数領域でも正確な波形観測が可能にな
るといった目的で用いられている。
電圧測定装置は、例えば特開平３−６４６５号公報に示
されるように、被測定物である電気回路に容量負荷を与
えないため高周波数領域でも正確な波形観測が可能にな
るといった目的で用いられている。
【０００３】次に、この従来例の非接触型電圧測定装置
について図面を参照して説明する。
について図面を参照して説明する。
【０００４】図３は従来のレーザ光を用いた非接触型電
圧測定装置の一例を示すブロック図である。
圧測定装置の一例を示すブロック図である。
【０００５】レーザ光源３０１から放射されるレーザ光
の周波数は特定の周波数に安定化されている。この光は
ミラー３０２で光路を変更され、ビームスプリッタ３０
３、凸レンズ３０４、マイクロセル３０５を通過し、ウ
ェハー上に形成されたＩＣ３０６の電極上に集光され
る。この電極からの反射光は再度マイクロセル３０５、
凸レンズ３０４を通過し平行光と成った後ビームスプリ
ッタ３０３で反射され光検出器３１０に入射される。こ
こで、マイクロセル３０５はシュタルク効果を有するガ
スを封入したものである。
の周波数は特定の周波数に安定化されている。この光は
ミラー３０２で光路を変更され、ビームスプリッタ３０
３、凸レンズ３０４、マイクロセル３０５を通過し、ウ
ェハー上に形成されたＩＣ３０６の電極上に集光され
る。この電極からの反射光は再度マイクロセル３０５、
凸レンズ３０４を通過し平行光と成った後ビームスプリ
ッタ３０３で反射され光検出器３１０に入射される。こ
こで、マイクロセル３０５はシュタルク効果を有するガ
スを封入したものである。
【０００６】光検出器３１０ではフォトダイオード、水
銀カドミテルル検出器等を用いて光信号を電気信号に変
換する。光検出器３１０の出力信号はロックイン増幅器
３１１で発振器３０８の参照信号と同期検波され参照信
号と同期の取れた成分のみが検出される。その結果、レ
−ザ光源３０１の光強度のドリフトが除去できＳ／Ｎ比
の良い信号が検出できる。又、検出信号は周波数変調さ
れたレーザ光を同期検波しているので光吸収強度の一次
微分となっている。マイクロセル３０５の凸レンズ３０
４よりの面には導電性で光を通す透明薄膜電極が付けら
れており、この電極にＩＣ３０６のグランド電位を基準
とした電圧が直流増幅器３０７によりかけられている。
直流増幅器３０７の電圧はレーザ光源３０１の発振周波
数との兼ね合いでマイクロセル３０５内のガスの光吸収
周波数がＩＣ３０６の電極の電圧の変化とロックイン増
幅器３１１で出力する信号の変化が比例する位置に来る
ように設定されている。ここで、ＩＣ３０６上の電極の
電圧が変化するとシュタルク効果によりマイクロセル３
０５内のガスの光吸収周波数が変化し、検出される光強
度が変化しロックイン増幅器３１１の出力は変化する。
銀カドミテルル検出器等を用いて光信号を電気信号に変
換する。光検出器３１０の出力信号はロックイン増幅器
３１１で発振器３０８の参照信号と同期検波され参照信
号と同期の取れた成分のみが検出される。その結果、レ
−ザ光源３０１の光強度のドリフトが除去できＳ／Ｎ比
の良い信号が検出できる。又、検出信号は周波数変調さ
れたレーザ光を同期検波しているので光吸収強度の一次
微分となっている。マイクロセル３０５の凸レンズ３０
４よりの面には導電性で光を通す透明薄膜電極が付けら
れており、この電極にＩＣ３０６のグランド電位を基準
とした電圧が直流増幅器３０７によりかけられている。
直流増幅器３０７の電圧はレーザ光源３０１の発振周波
数との兼ね合いでマイクロセル３０５内のガスの光吸収
周波数がＩＣ３０６の電極の電圧の変化とロックイン増
幅器３１１で出力する信号の変化が比例する位置に来る
ように設定されている。ここで、ＩＣ３０６上の電極の
電圧が変化するとシュタルク効果によりマイクロセル３
０５内のガスの光吸収周波数が変化し、検出される光強
度が変化しロックイン増幅器３１１の出力は変化する。
【０００７】また、他の例としてレーザ光源の光強度の
ドリフトしか補償していないものもある。
ドリフトしか補償していないものもある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のレーザ
光を用いた非接触型電圧測定装置では、被測定物である
電気回路（ここではＩＣ）に印加する電圧をロックイン
増幅器の参照信号と同期させている。つまり予め周波数
の解っている信号の電気回路内での波形観測にしか適用
できないという課題がある。
光を用いた非接触型電圧測定装置では、被測定物である
電気回路（ここではＩＣ）に印加する電圧をロックイン
増幅器の参照信号と同期させている。つまり予め周波数
の解っている信号の電気回路内での波形観測にしか適用
できないという課題がある。
【０００９】また、他の例のものは、レーザ光源の光強
度のドリフトしか補償していないため、ＥＯ（電気光学
効果）素子を用いてその偏光面の変化を被測定物の電圧
の変化として捕らえる場合、レーザ光源の偏光面のドリ
フト及びＥＯ素子の自然複屈折によるレーザ光偏光面の
回転によるビームスプリッタ反射光量の変化を補償でき
ず、光検出器入力光量不足により被測定物電圧検出感度
が低下するという課題がある。
度のドリフトしか補償していないため、ＥＯ（電気光学
効果）素子を用いてその偏光面の変化を被測定物の電圧
の変化として捕らえる場合、レーザ光源の偏光面のドリ
フト及びＥＯ素子の自然複屈折によるレーザ光偏光面の
回転によるビームスプリッタ反射光量の変化を補償でき
ず、光検出器入力光量不足により被測定物電圧検出感度
が低下するという課題がある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のＥＯプローブ
は、レーザ光と被測定物の電気信号により印加されレー
ザ光の偏光状態に変調をかけるＥＯ素子とを用いて被測
定物を測定する非接触電気信号試験用ＥＯプローブにお
いて、被測定物で反射されＥＯ素子を通過した被測定レ
ーザ光を同相・逆相成分に分離する偏光ビームスプリッ
タ及び分離された被測定レーザ光の両成分を電気信号に
変換する光検出器を一体化した構造を具備し、一体化し
た構造を回転させることにより被測定レーザ光の偏光面
の偏光ビームスプリッタに対する入射角を調整し分離さ
れた両成分の光量を同量に調整する機能と、同相・逆相
に分離した被測定レーザ光の光路差を光検出器を移動さ
せることにより調整しレーザ光両成分の位相差を調整す
る機能と、同相・逆相に分離し位相差を調整された被測
定レーザ光量の両成分の差分をとることで雑音成分を除
去する機能とを含むことを特徴としている。
は、レーザ光と被測定物の電気信号により印加されレー
ザ光の偏光状態に変調をかけるＥＯ素子とを用いて被測
定物を測定する非接触電気信号試験用ＥＯプローブにお
いて、被測定物で反射されＥＯ素子を通過した被測定レ
ーザ光を同相・逆相成分に分離する偏光ビームスプリッ
タ及び分離された被測定レーザ光の両成分を電気信号に
変換する光検出器を一体化した構造を具備し、一体化し
た構造を回転させることにより被測定レーザ光の偏光面
の偏光ビームスプリッタに対する入射角を調整し分離さ
れた両成分の光量を同量に調整する機能と、同相・逆相
に分離した被測定レーザ光の光路差を光検出器を移動さ
せることにより調整しレーザ光両成分の位相差を調整す
る機能と、同相・逆相に分離し位相差を調整された被測
定レーザ光量の両成分の差分をとることで雑音成分を除
去する機能とを含むことを特徴としている。
【００１１】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１２】図１は本発明によるＥＯプローブの一実施
例を適用した光学系路を示す構成図、図２は図１のレー
ザ光源の光強度の変化と被測定信号によって変調される
レーザ光の光量変化の様子を分離された後の同相・逆相
の両成分について示した図である。
例を適用した光学系路を示す構成図、図２は図１のレー
ザ光源の光強度の変化と被測定信号によって変調される
レーザ光の光量変化の様子を分離された後の同相・逆相
の両成分について示した図である。
【００１３】図１において、ＥＯ素子１０１は、ＥＯ素
子１０１を被測定物１０２上の測定点１１０の電気信号
と導電性で光を通す透明薄膜電極１１１とで挟み込むこ
とにより電界を印加することで、ＥＯ素子１０１に入射
し反対側端面の誘電体多層反射膜１１２で反射されるレ
ーザ光１０８ａの偏光状態を変調するものである。
子１０１を被測定物１０２上の測定点１１０の電気信号
と導電性で光を通す透明薄膜電極１１１とで挟み込むこ
とにより電界を印加することで、ＥＯ素子１０１に入射
し反対側端面の誘電体多層反射膜１１２で反射されるレ
ーザ光１０８ａの偏光状態を変調するものである。
【００１４】ＥＯ素子としては、例えば、一軸性結晶で
あるニオブ酸リチウムを縦型動作で用いる。このＥＯ素
子に電界を印加すると、ポッケルス効果により屈折率変
化を起こし、このＥＯ素子を通過するレーザ光は偏光状
態が変化する。つまり、偏光面が印加された電界に比例
して回転することになる。
あるニオブ酸リチウムを縦型動作で用いる。このＥＯ素
子に電界を印加すると、ポッケルス効果により屈折率変
化を起こし、このＥＯ素子を通過するレーザ光は偏光状
態が変化する。つまり、偏光面が印加された電界に比例
して回転することになる。
【００１５】ミラー１０９はレーザ光１０８ａをＥＯ素
子１０１に導くためのものである。凸レンズ１１３は微
小測定点を測定するため平行光であるレーザ光１０８ａ
を集光し、また、反射され戻ってくるレーザ光を平行光
に戻すためのものである。
子１０１に導くためのものである。凸レンズ１１３は微
小測定点を測定するため平行光であるレーザ光１０８ａ
を集光し、また、反射され戻ってくるレーザ光を平行光
に戻すためのものである。
【００１６】この実施例のＥＯプローブは、偏光ビーム
スプリッタ１０３と、フォトディテクタ１０４及び１０
５を、それぞれの位置関係が不変となるように固定し、
受光ユニット１０６とし、レーザ光１０８ｂを軸として
回転させる機能を備える。これにより、被被測定物１０
２の測定点１１０に電気信号が印加されていない状態の
レーザ光１０８ｂの偏光面と偏光ビームスプリッタ１０
３の位置関係が制御できるようになり、レーザ光１０８
ｂの偏光ビームスプリッタ１０３によるレーザ光１０８
ｃ及び１０８ｄへの光量分離比を、受光ユニット１０６
の回転により制御することが可能となり、レーザ光１０
８ｃ及び１０８ｄの光量を同量に調整することができる
ようになる。つまり、初期状態のバイアスを調整し、よ
り検出感度が高く、被測定物１０２の測定点１１０の電
気信号に光検出器の出力が比例する状態にすることにな
る。
スプリッタ１０３と、フォトディテクタ１０４及び１０
５を、それぞれの位置関係が不変となるように固定し、
受光ユニット１０６とし、レーザ光１０８ｂを軸として
回転させる機能を備える。これにより、被被測定物１０
２の測定点１１０に電気信号が印加されていない状態の
レーザ光１０８ｂの偏光面と偏光ビームスプリッタ１０
３の位置関係が制御できるようになり、レーザ光１０８
ｂの偏光ビームスプリッタ１０３によるレーザ光１０８
ｃ及び１０８ｄへの光量分離比を、受光ユニット１０６
の回転により制御することが可能となり、レーザ光１０
８ｃ及び１０８ｄの光量を同量に調整することができる
ようになる。つまり、初期状態のバイアスを調整し、よ
り検出感度が高く、被測定物１０２の測定点１１０の電
気信号に光検出器の出力が比例する状態にすることにな
る。
【００１７】偏光ビームスプリッタ１０３はレーザ光１
０８ｂを同相・逆相（Ｐ偏光、Ｓ偏光）に分離するため
のものである。フォトディテクタ１０４，１０５は分離
されたレーザ光１０８ｃ，１０８ｄを電気信号に変換す
る光変換器であり、差動増幅器１０７は同相・逆相の電
気信号の差分を取ることにより信号成分を検出するため
のものである。
０８ｂを同相・逆相（Ｐ偏光、Ｓ偏光）に分離するため
のものである。フォトディテクタ１０４，１０５は分離
されたレーザ光１０８ｃ，１０８ｄを電気信号に変換す
る光変換器であり、差動増幅器１０７は同相・逆相の電
気信号の差分を取ることにより信号成分を検出するため
のものである。
【００１８】ＥＯ素子１０１を透過し、反射され、被測
定物１０２上の測定点１１０の電気信号により変調され
たレーザ光１０８ｂは、受光ユニット１０６の回転によ
りその偏光面と偏光ビームスプリッタ１０３との関係が
調整され、偏光ビームスプリッタ１０３により同相・逆
相のレーザ光１０８ｃ及び１０８ｄに分離され、フォト
ディテクタ１０４及び１０５にそれぞれ入射され、電気
信号に変換される。
定物１０２上の測定点１１０の電気信号により変調され
たレーザ光１０８ｂは、受光ユニット１０６の回転によ
りその偏光面と偏光ビームスプリッタ１０３との関係が
調整され、偏光ビームスプリッタ１０３により同相・逆
相のレーザ光１０８ｃ及び１０８ｄに分離され、フォト
ディテクタ１０４及び１０５にそれぞれ入射され、電気
信号に変換される。
【００１９】偏光ビームスプリッタ１０３は入射光に対
し分離される出力光量の分離比を、その入射光の偏光面
との位置関係により無段階に調整することができるもの
であり、また、図２の同相成分２０１、逆相成分２０２
に示すように入射光の光強度のドリフトは同相・逆相
共、同位相で現れ、測定点１１０の電気信号により変調
された信号成分は逆位相として現れる。
し分離される出力光量の分離比を、その入射光の偏光面
との位置関係により無段階に調整することができるもの
であり、また、図２の同相成分２０１、逆相成分２０２
に示すように入射光の光強度のドリフトは同相・逆相
共、同位相で現れ、測定点１１０の電気信号により変調
された信号成分は逆位相として現れる。
【００２０】また、片方のフォトディテクタ１０５をレ
ーザ光１０８ｄの光軸に平行に移動させることにより光
路差を調整し、この光路差の調整により、偏光ビームス
プリッタ１０３でレーザ光１０８ｂを同相・逆相に分離
する際に生ずるレーザ光１０８ｃ及び１０８ｄの光学的
な位相差と、フォトディテクタ１０４及び１０５で光電
気変換の際に生ずる電気信号の位相差との両方を調整す
る。
ーザ光１０８ｄの光軸に平行に移動させることにより光
路差を調整し、この光路差の調整により、偏光ビームス
プリッタ１０３でレーザ光１０８ｂを同相・逆相に分離
する際に生ずるレーザ光１０８ｃ及び１０８ｄの光学的
な位相差と、フォトディテクタ１０４及び１０５で光電
気変換の際に生ずる電気信号の位相差との両方を調整す
る。
【００２１】上述のように分離され、被測定物１０２の
測定点１１０に電気信号が印加されていない状態のレー
ザ光の分離比が同量となるように調整され、位相差を調
整されたレーザ光１０８ｃ及び１０８ｄを、フォトディ
テクタ１０４及び１０５により電気信号に変換し、それ
ぞれ正入力、負入力として作動増幅器１０７に入力して
おき、ここで測定点１１０に電気信号を印加すると、作
動増幅器１０７の出力はレーザ光源の光強度ドリフトが
除去され、偏光面のドリフト及びＥＯ素子の自然複屈折
によるレーザ光偏光面の回転を補償したＳ／Ｎ比の良い
信号となる。
測定点１１０に電気信号が印加されていない状態のレー
ザ光の分離比が同量となるように調整され、位相差を調
整されたレーザ光１０８ｃ及び１０８ｄを、フォトディ
テクタ１０４及び１０５により電気信号に変換し、それ
ぞれ正入力、負入力として作動増幅器１０７に入力して
おき、ここで測定点１１０に電気信号を印加すると、作
動増幅器１０７の出力はレーザ光源の光強度ドリフトが
除去され、偏光面のドリフト及びＥＯ素子の自然複屈折
によるレーザ光偏光面の回転を補償したＳ／Ｎ比の良い
信号となる。
【００２２】尚、上記においては、ＥＯ素子としてニオ
ブ酸リチウムを使用して説明したが、ＥＯ素子としてタ
ンタル酸リチウムを使用しても良い。この場合、素子の
違いは感度に影響するだけで動作は同様であり、また、
ニオブ酸リチウムとタンタル酸リチウムとは感度におい
てもさはど差はない。
ブ酸リチウムを使用して説明したが、ＥＯ素子としてタ
ンタル酸リチウムを使用しても良い。この場合、素子の
違いは感度に影響するだけで動作は同様であり、また、
ニオブ酸リチウムとタンタル酸リチウムとは感度におい
てもさはど差はない。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＥＯプロ
ーブは、被測定物に対する印加信号を参照信号として用
いることが無いため、被測定信号と同期を取る必要がな
くどのような信号でも測定でき、同期を取るための付加
回路も必要としないという効果がある。
ーブは、被測定物に対する印加信号を参照信号として用
いることが無いため、被測定信号と同期を取る必要がな
くどのような信号でも測定でき、同期を取るための付加
回路も必要としないという効果がある。
【００２４】また、本発明のＥＯプローブは、レーザ光
源の光強度ドリフトを除去し、レーザ光源の偏光面ドリ
フト及びＥＯ素子の自然複屈折によるレーザ光偏光面の
回転の補償を行うため、被測定信号の検出感度及び検出
した信号のＳ／Ｎ比を向上できるという効果がある。
源の光強度ドリフトを除去し、レーザ光源の偏光面ドリ
フト及びＥＯ素子の自然複屈折によるレーザ光偏光面の
回転の補償を行うため、被測定信号の検出感度及び検出
した信号のＳ／Ｎ比を向上できるという効果がある。
【００２５】また、本発明のＥＯプローブは、レーザ光
の偏光面と、レーザ光を同相・逆相の両成分に分離する
偏光ビームスプリッタとの位置関係を制御できるように
することによりレーザ光の同相・逆相両成分の分離比を
容易に制御、調整できるようにし、また、フォトディテ
クタを移動させることにより同相、逆相成分の位相差を
容易に制御、調整できるようにしたため、フォトディテ
クタによって電気信号に変換された同相・逆相両成分か
ら被測定物電気信号を取り出す際に作動増幅器の利得調
整、位相調整する必要がなくなり、そのための電気的な
付加回路が必要なくなるという効果がある。
の偏光面と、レーザ光を同相・逆相の両成分に分離する
偏光ビームスプリッタとの位置関係を制御できるように
することによりレーザ光の同相・逆相両成分の分離比を
容易に制御、調整できるようにし、また、フォトディテ
クタを移動させることにより同相、逆相成分の位相差を
容易に制御、調整できるようにしたため、フォトディテ
クタによって電気信号に変換された同相・逆相両成分か
ら被測定物電気信号を取り出す際に作動増幅器の利得調
整、位相調整する必要がなくなり、そのための電気的な
付加回路が必要なくなるという効果がある。
【図１】本発明によるＥＯプローブの一実施例を適用し
た光学系路を示す構成図である。
た光学系路を示す構成図である。
【図２】図１のレーザ光源の光強度の変化と被測定信号
によって変調されるレーザ光の光量変化の様子を分離さ
れた後の同相・逆相の両成分について示した図である。
によって変調されるレーザ光の光量変化の様子を分離さ
れた後の同相・逆相の両成分について示した図である。
【図３】従来のレーザ光を用いた非接触型電圧測定装置
の一例を示すブロック図である。
の一例を示すブロック図である。
１０１ ＥＯ素子 １０２ 被測定物 １０３ 偏光ビームスプリッタ １０４ フォトディテクタ １０５ フォトディテクタ １０６ 受光ユニット １０７ 作動増幅器 １０８ａ〜ｄ レーザ光 １０９ ミラー １１０ 測定点 １１１ 透明薄膜電極 １１２ 誘電体多層反射膜 １１３ 凸レンズ ２０１ 同相成分 ２０２ 逆相成分 ３０１ レーザ光源 ３０２ ミラー ３０３ ビームスプリッタ ３０４ 凸レンズ ３０５ マイクロセル ３０６ ＩＣ ３０７ 直流増幅器 ３０８ 発振器 ３０９ 移動ステージ ３１０ 光検出器 ３１１ ロックイン増幅器
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光と被測定物の電気信号により印
加され前記レーザ光の偏光状態に変調をかけるＥＯ（電
気光学効果）素子とを用いて前記被測定物を測定する非
接触電気信号試験用ＥＯプローブにおいて、 前記被測定物で反射され前記ＥＯ素子を通過した被測定
レーザ光を同相・逆相成分に分離する偏光ビームスプリ
ッタ及び前記分離された被測定レーザ光の両成分を電気
信号に変換する光検出器を一体化した構造を具備し、前
記一体化した構造を回転させることにより前記被測定レ
ーザ光の偏光面の前記偏光ビームスプリッタに対する入
射角を調整し前記分離された両成分の光量を同量に調整
する機能と、前記同相・逆相に分離した被測定レーザ光
の光路差を前記光検出器を移動させることにより調整し
前記レーザ光両成分の位相差を調整する機能と、前記同
相・逆相に分離し位相差を調整された被測定レーザ光量
の両成分の差分をとることで雑音成分を除去する機能と
を含むことを特徴とするＥＯプローブ。 - 【請求項２】 前記光検出器が、フォトディテクタまた
はフォトダイオードまたは光電管であることを特徴とす
る請求項１記載のＥＯプローブ。 - 【請求項３】 前記ＥＯ素子が、ニオブ酸リチウムまた
はタンタル酸リチウムであることを特徴とする請求項１
または２記載のＥＯプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5275326A JPH07128408A (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | Ｅｏプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5275326A JPH07128408A (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | Ｅｏプローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07128408A true JPH07128408A (ja) | 1995-05-19 |
Family
ID=17553903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5275326A Pending JPH07128408A (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | Ｅｏプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07128408A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008510392A (ja) * | 2004-08-13 | 2008-04-03 | シーエムウェア， インコーポレイテッド | コンピュータ・アプリケーションをリモート・サイトから制御するシステム及び方法 |
| CN110646956A (zh) * | 2019-09-27 | 2020-01-03 | 中国科学院上海高等研究院 | 剪切连续可调的双折射分束器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05164788A (ja) * | 1991-12-18 | 1993-06-29 | Fujitsu Ltd | 信号測定装置 |
-
1993
- 1993-11-04 JP JP5275326A patent/JPH07128408A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05164788A (ja) * | 1991-12-18 | 1993-06-29 | Fujitsu Ltd | 信号測定装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008510392A (ja) * | 2004-08-13 | 2008-04-03 | シーエムウェア， インコーポレイテッド | コンピュータ・アプリケーションをリモート・サイトから制御するシステム及び方法 |
| CN110646956A (zh) * | 2019-09-27 | 2020-01-03 | 中国科学院上海高等研究院 | 剪切连续可调的双折射分束器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19960402 |