JPH07112625B2 - アルミニウムの真空ろう付方法および真空ろう付炉と、真空ろう付用アルミニウムブレージングシート - Google Patents

アルミニウムの真空ろう付方法および真空ろう付炉と、真空ろう付用アルミニウムブレージングシート

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JPH07112625B2 JP3071851A JP7185191A JPH07112625B2 JP H07112625 B2 JPH07112625 B2 JP H07112625B2 JP 3071851 A JP3071851 A JP 3071851A JP 7185191 A JP7185191 A JP 7185191A JP H07112625 B2 JPH07112625 B2 JP H07112625B2
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  • Ceramic Products (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｍｇ含有アルミニウム
ろうにて真空ろう付炉中に搬入されたワークのろう付を
行うアルミニウムの真空ろう付方法および炉と、真空ろ
う付用アルミニウムブレージングシートに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、米国特許第３３２１８２８号
や米国特許第３０１５１６７号等を基本技術として、Ｍ
ｇを添加したろう材を芯材にクラッドしたブレージング
シートを用いたアルミニウムの真空ろう付方法が知られ
ている。
【０００３】このろう材中のＭｇは、（１）ブレージン
グシート表面の酸化被膜の破壊、（２）ゲッタ作用によ
るろう付炉中の酸化性の雰囲気（Ｈ2 Ｏ，Ｏ2 ）の除
去、および（３）還元作用を期待して添加されている。
【０００４】ところが、このＭｇは、真空ろう付に不可
欠な一方で、ろう付炉中に蒸着し、機械的な不具合を起
こすという問題があった。また、炉中に蒸着したＭｇに
吸着されたＨ2 Ｏがろう付中に脱離してろう付品質を低
下さるという問題もあった。
【０００５】そこで、炉体の内部に遮熱板によって囲ま
れた加熱室を設け、ワークをこの加熱室内に搬入すると
共に、排気・加熱工程中において、炉内温度がＭｇの蒸
発する温度に達した場合には、加熱室のガス流通口を遮
蔽部材によって閉じ、蒸発したＭｇが炉体内に飛散しな
いようにした特開昭６３−５２７６４号の提案がある。
【０００６】この提案の技術によって、炉内のＭｇ飛散
による汚損の問題を解決することができた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】こうした従来のアルミ
ニウムの真空ろう付方法において、ブレージングシート
にクラッドするろう材に添加されるＭｇの量は通常１．
２〜２重量％であった。一方、資源の有効利用の観点か
ら、このＭｇ添加量を低下させることが望まれている。
【０００８】ところが、Ｍｇ添加量を低下させると、酸
化被膜破壊作用やゲッタ作用や還元作用といったＭｇを
添加するそもそもの目的に対応する作用が十分でなくな
るという問題がある。
【０００９】上述の特開昭６３−５２７６４号によれ
ば、一見、Ｍｇの高密度化が期待でき、Ｍｇ含有量を低
下してもよい様に思われる。しかし、そもそもこの公報
記載の技術は、Ｍｇ蒸着による炉内汚損の問題を解決す
ることが目的であることから、炉内温度がＭｇ蒸着によ
る汚損の始まる蒸発開始温度に達した時に加熱室のガス
流通口を閉鎖する条件となっていたため、Ｍｇの高密度
化が期待できたとしても、加熱室内の水蒸気量が多けれ
ばＭｇがゲッタ作用を発揮しても水蒸気が残余し、ろう
付が十分できなかった。
【００１０】つまり、従来はＭｇの高密度化は図られて
いたものの、Ｍｇ含有量を低下させるためにはどうした
らよいかという対策は何等なされていなかったのであ
る。本発明は、ろう材中のＭｇ添加量を低下させても、
酸化被膜破壊作用やゲッタ作用や還元作用を十分に発揮
することのできるアルミニウムの真空ろう付方法を提供
することを第１の目的として完成された。
【００１１】また、かかる真空ろう付方法を実施するに
適し、効率よく真空ろう付けを行うことのできるアルミ
ニウムの真空ろう付炉を提供することを第２の目的とし
て完成された。
【００１２】さらに、こうした新規なアルミニウムの真
空ろう付方法において使用するに最適の真空ろう付用ア
ルミニウムろうを芯材の表面にクラッドしたブレージン
グシートを提供することを第３の目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段及び作用】かかる第１の目
的を達成するために、所定量のＭｇを含有するアルミニ
ウムろうにて真空ろう付炉中に搬入されたワークのろう
付を行うアルミニウムの真空ろう付方法において、真空
ろう付炉の炉内圧力が１×１０ -4 Torr以下の高真空に達
した後に炉内温度が前記Ｍｇ含有アルミニウムろうの固
相線の温度以上の所定値を越えるように炉内圧力と炉内
温度との関係を制御すると共に、炉内温度が該所定値に
達したら炉内における前記ワークの周囲所定範囲の気体
の流通を制限することを特徴とする請求項１記載の発明
を完成した。換言すれば、炉内圧力が１×１０ -4 Torrに
達した後で炉内温度がＭｇ含有アルミニウムろうの固相
線の温度以上の所定値に達する様に、炉内圧力について
の条件の方を先に満足し、炉内温度の条件をその後で満
足するように制御し、これら２つの条件が満足されたと
きにワークの周囲所定範囲の気体の流通を制限するので
ある。
【００１４】この請求項１記載の発明の作用を説明する
前に、アルミニウムの真空ろう付におけるろう材の挙動
等について説明する。こうしたアルミニウムろうに含有
されるＭｇは、温度約５００℃以上、圧力約０．７８To
rr以下の真空加熱で気化する性質を有している。この気
化が最も盛んになるのはアルミニウムろうの固相線の温
度近傍である。
【００１５】この固相線の温度は、Ｍｇの添加量によっ
て変化する。一例として、一般的なアルミニウムろうで
あるＡｌ−１０％Ｓｉ合金にＭｇを添加したＭｇ含有ア
ルミニウムろうの状態図を図１に示す。この図におい
て、点Ａ，Ｂを結ぶ曲線と点Ｂ，Ｃ，Ｄを結ぶ直線が固
相線である。図示の様に、Ｍｇ添加量が０．８５重量％
以上の場合は固相線の温度が５５５℃となり、添加量が
０．８５重量％より少なくなるに従って固相線の温度が
上昇し、無添加の場合は５７７℃となる。
【００１６】ここで、例えば従来からアルミニウムの真
空ろう付に用いられているＭｇ添加量が１．２重量％の
Ｍｇ含有アルミニウムろうについて炉の昇温状況とＭｇ
の蒸発の関係を考察してみる。この１．２重量％のＭｇ
を含有したアルミニウムろうでは、炉内温度が約５００
℃に達した辺りからＭｇの蒸発が始まり、５５５℃（固
相線の温度）に達するとＭｇ蒸発が盛んになり、約５６
０℃〜５７０℃で蒸発がピークを迎え、その後さらに昇
温するに従って蒸発量が減少するという挙動を示すとい
うことが考察される。
【００１７】一方、Ｍｇのゲッタ作用は化１，化２に示
す様な反応である。
【００１８】
【化１】
【００１９】
【化２】
【００２０】真空ろう付においては、化１に示したＨ2
Ｏに対するゲッタ作用が特に重要である。それは、圧力
が１０-9Torr以上では、真空ろう付炉内の壁面等に吸着
されていた水分が脱離し、真空中の主成分がＨ2 Ｏとな
っているからである。
【００２１】このＨ2 Ｏに対するゲッタ作用はさらに、
真空ろう付雰囲気中のＨ2 Ｏを除去するゲッタ作用「雰
囲気ゲッタ作用」と、固相線の温度以上において発生し
た溶融したろう材が再酸化してその流動性が失われるこ
とを防ぐゲッタ作用「再酸化防止ゲッタ作用」とに分け
ることができる。
【００２２】従って、まずＨ2 Ｏが十分に少ないろう付
雰囲気を実現し、効率のよい雰囲気ゲッタ作用を発揮さ
せる条件を整えることが望ましい。効率よい雰囲気ゲッ
タ作用を発揮させるためにはワーク周辺の真空度を高め
れば高めるほどよく、ワーク周辺の真空引きを継続する
のが望ましいことになる。一方、炉内温度が固相線の温
度に達するとろう材中に液相が出現してくることから、
再酸化防止ゲッタ作用を効率よく発揮させるために、ワ
ーク近傍の雰囲気中のＭｇ密度を高くすることが望まし
い。効率のよい再酸化防止ゲッタ作用を発揮させるに
は、ワーク近傍にＭｇが滞るようにすることが望まし
く、その意味でワーク周辺の気体の流通を制限するこ
と、即ち、真空引きをしないように遮弊してしまうこと
が望ましいのである。この様に、雰囲気ゲッタ作用の効
率化のためにはワーク周辺の気体の真空引きを継続する
ことが望ましく、再酸化防止ゲッタ作用の効率化のため
にはワーク周辺の気体が真空引きされないで停滞するよ
うにすることが望ましく、両作用の効率化を考えたと
き、互いに相反するものとなる。
【００２３】請求項１記載の発明における炉内圧力が１
×１０ -4 Torr以下の高真空に達した後という気体流通制
限のための第１の条件は、雰囲気中のＨ2 Ｏの量を十分
に少なくして雰囲気ゲッタ作用を効率よく実現するため
の条件である。また、炉内温度がＭｇ含有アルミニウム
ろうの固相線の温度以上の所定値に達するという第２の
条件は、ろう材中のＭｇが雰囲気中に盛んに蒸発して高
密度のＭｇ雰囲気となり、再酸化防止ゲッタ作用を効率
よく実現するための条件である。
【００２４】この様な二つの条件を満足する場合に炉内
におけるワークの周囲所定範囲の気体の流通を制限する
という構成を採用したことにより、請求項１記載の発明
によれば、固相線の温度以上における良好な再酸化防止
ゲッタ作用を実現することができるのである。
【００２５】ここで、もし、炉内温度に関する第２の条
件だけに基づいて炉内における気体の流通を制限したと
すると、ワークの周囲所定範囲の雰囲気中のＨ2 Ｏ量が
十分に低下しておらず、雰囲気中Ｍｇ量が高密度になっ
たとしても多量のＭｇを雰囲気ゲッタ作用に振り向けな
ければならず、十分な再酸化防止ゲッタ作用が発揮でき
なくなるおそれがある。また、雰囲気ゲッタ作用自体が
不十分なものとなる場合もある。
【００２６】一方、第１の条件は満足するものの、第２
の条件を満足せずに、固相線の温度を相当に越えた後に
気体の流通を制限したのでは、ワークの周囲所定範囲の
雰囲気中の高密度のＭｇ雰囲気を形成することができな
くなって、やはり十分な再酸化防止ゲッタ作用を発揮で
きなくなる。
【００２７】この様に、この圧力と温度の二つの条件
は、いずれかが満たされないと多量のＭｇ蒸気を雰囲気
中に含まなければ十分な再酸化防止ゲッタ作用を発揮さ
せることができなくなり、結局は、ブレージングシート
にクラッドしたろう材中に１．２重量％以上のＭｇを含
有させておかなければならないという結果を招くのであ
る。
【００２８】これに対し、請求項１記載の発明によれ
ば、ワークの周囲所定範囲内の雰囲気中では、Ｈ2 Ｏは
十分に少なくすることができ、Ｍｇは十分に多くするこ
とができるから、ろう材中には再酸化防止ゲッタ作用に
必要な最小限のＭｇを含有させておくだけでよくなる。
従って、Ｍｇ含有量が１．２重量％未満のろう材による
真空ろう付を可能にすることができるのである。
【００２９】なお、実際に工業化する際には、上述の第
２の条件を固相線の温度近傍にするとよい。また、加熱
パターンは、炉内圧力が第１の条件である高真空に達す
る前に固相線の温度を大幅に越えないようにすることが
必要である。そして、気体流通を制限する以前の排気条
件として、炉のコンダクタンスを大きくし、急速に排気
することのできる条件を設定するとよい。
【００３０】ところで、ろう材の表面には酸化被膜が形
成されている。真空ろう付においては、この酸化被膜直
下に形成されるＭｇＯまたはＡｌ2 Ｏ3 の微結晶が成長
することで、被膜にマイクロクラックが生成される。な
お、ＭｇＯの微結晶は、ろう材中を体積拡散してくるＭ
ｇによって酸化被膜直下に形成される。
【００３１】一方、ろう材の温度が固相線に達するとま
ず、ろう材の結晶粒界から液相が出現する。そして、こ
の液相がろう材表面まで達すると、液相と固相との線膨
張係数の違いや、Ｍｇが気化するに伴う体積膨張の結果
として、先にろう材表面に生成したマイクロクラックが
拡大してクラックとなる。
【００３２】ところで、ろう材中に含有されているＭｇ
は、固体中を拡散すると共に液相中をも拡散し、ろう材
表面に達し、ろう付雰囲気中に存在するＨ2 Ｏ分子に衝
突され、化１の反応をし、上述した雰囲気ゲッタ作用を
引き起こすことになる。この雰囲気ゲッタ作用は、ろう
材表面にクラックが発生し、さらにろう材の液相が出現
し始めると盛んになる。
【００３３】従って、効率のよい雰囲気ゲッタ作用を発
揮させるためには、ろう材の表面における酸化被膜の破
壊を低温化することが望ましい。そこで、請求項１記載
の構成に加えて、さらに、真空ろう付炉内へ前記ワーク
を搬入するより前に、熱処理によって前記Ｍｇ含有アル
ミニウムろう中のＭｇ2Ｓｉの粒子径を微細化させる粒
径微細化工程を実行することを特徴とする請求項２記載
のアルミニウムの真空ろう付方法の発明を完成した。
【００３４】この粒径微細化工程においては、Ｍｇ2 Ｓ
ｉ粒子の核発生を増大し、析出物の成長を低減すること
によりＭｇ2 Ｓｉの粒子径を小さくする手法を採用する
とよい。具体的には、通常のろう材の製造時に均質化を
目的として実施される均質化工程（ソーキング）におい
て、ソーキング温度を低温にし、かつ短時間にした熱処
理をすればよい。
【００３５】ろう付過程における昇温により、Ｍｇ2 Ｓ
ｉ粒子は、その表面から周囲のＡｌと反応しながら分解
していく（化３）。
【００３６】
【化３】
【００３７】請求項２記載の発明によれば、その粒径微
細化工程にてＭｇ2 Ｓｉの粒子径を小さくすることによ
り、Ｍｇ2 Ｓｉ粒子全体のトータルとしての全表面積を
増大させることができる。表面積が増大するということ
は、結果として化３の反応速度、即ちＭｇ2 Ｓｉの分解
速度を増大させることになる。
【００３８】この様に、請求項２記載の発明によれば、
Ｍｇ2 Ｓｉの粒子径を小さくすることにより、より低温
から大量のＭｇを拡散させることができる。そして、酸
化被膜の破壊の低温化と、雰囲気ゲッタ作用の開始の低
温化とを図ることができるのである。
【００３９】なお、粒径微細化工程においては、Ｍｇ2
Ｓｉの粒子径が代表値にて５μｍ以下になる様に調整す
ると特によく、代表値２μｍ以下に調整するとさらによ
い。ところで、酸化被膜の破壊の低温化だけではなく、
破壊の進行の迅速化を図ることも、少ないＭｇ含有量に
て良好な真空ろう付を行うに有効である。勿論、破壊の
低温化と破壊進行の迅速化とを両方行うことができるな
らばより優れた作用を発揮する。
【００４０】こうした観点から、請求項１または請求項
２記載の構成に加えて、真空ろう付炉内へ前記ワークを
搬入するより前に、エッチング処理によって前記Ｍｇ含
有アルミニウムろうの表面の酸化被膜を薄くする酸化被
膜薄膜化工程を実行することを特徴とする請求項３記載
の発明をも完成した。
【００４１】上述の様に、酸化被膜の直下にＭｇＯまた
はＡｌ2 Ｏ3 の微結晶が成長し、これが酸化被膜を押
し、酸化被膜にマイクロクラックが発生することでろう
材の酸化被膜の破壊が開始する。従って、破壊すべき酸
化被膜が薄ければ、酸化被膜の破壊が容易になる。その
最も有効な手法として、ＮａＯＨの希釈液などの弱アル
カリによるエッチング処理をあげることができる。
【００４２】このエッチング処理については、ろう材
（ブレージングシート）の製造段階において最終焼鈍の
直前に実行する洗浄の際に、洗浄液を適宜選択すること
によって洗浄時にエッチングをも実行する様にすればよ
い。勿論、洗浄とは別工程にてエッチング処理を行うこ
ととしてもよい。
【００４３】また、エッチング処理はろう付の前に完了
していればよいから、例えば、ろう付部品のプレスなど
の加工の後、部品毎に洗浄する際に洗浄液の選定によっ
てエッチングを行うこととしてもよい。なお、部品毎で
はなく、部品同士を組み付けながら洗浄し、または部品
の組み付けが完了した形で洗浄工程または独立の工程に
おいてエッチングを行うこととしてもよい。
【００４４】なお、酸化被膜薄膜化工程における薄膜化
の目標としては、酸化被膜の厚さが１００オングストロ
ーム（Å）未満になる様にするとよい。また、このエッ
チング処理においては、次の点にも注意することが望ま
しい。
【００４５】それは、エッチングをし過ぎてろう材中に
析出しているＳｉ粒子がろう材表面に露出しない様にす
るということである。この様な注意が必要な理由は、ろ
う材の表面にＳｉ粒子が露出して来ると、その周りでは
ろう材中のＳｉ濃度が高くなり、固相線が上昇し、その
結果、ろう材の流動性が阻害されるからである。
【００４６】一方、本発明者らは、第２の目的を達成す
るために、所定量のＭｇを含有するアルミニウムろうに
てろう付されるワークが搬入される炉体と、該炉体内の
圧力が１×１０ -4 Torr以下の高真空に達したことを推定
または検知する高真空達成検知手段と、前記炉体内の温
度が前記Ｍｇ含有アルミニウムろうの固相線の温度近傍
の所定値に達したことを推定または検知する固相線の温
度達成検知手段と、前記高真空達成検知手段によって炉
内圧力が高真空に達しことが推定または検知された後
で、前記固相線の温度達成検知手段によって炉内温度が
前記固相線の温度近傍の所定値に達したことが推定また
は検知された場合に、前記炉体内における前記ワークの
周囲所定範囲内の気体の流通を制限する気体流通制限手
段とを備えたアルミニウムの真空ろう付炉という請求項
４記載の発明をも完成した。
【００４７】ここで、高真空達成検知手段は、圧力セン
サによる実測値により高真空の達成を検知する構成とし
てもよいし、真空排気の開始からの時間計測等を行い、
炉の容積や排気能力等を考慮して高真空の達成を推定す
る構成としてもよい。
【００４８】また、固相線の温度達成検知手段は、温度
センサによるワークの昇温状態の実測値により固相線の
温度の達成を検知する構成としてもよいし、加熱の開始
からの時間計測等を行い、伝熱特性等を考慮して固相線
の温度の達成を推定する構成や、ろう付炉内の雰囲気を
質量分析計などによってモニタリングし、そのパターン
によってワークの温度を推定する構成などにしてもよ
い。
【００４９】質量分析計によるモニタリングの例を図２
に示す。これは、０．８重量％のＭｇを含有するＡｌ−
１０％Ｓｉ合金ろうをクラッドしたブレージングシート
を実験炉中に配設し、質量分析した結果を、ろう材の温
度を横軸にとって示したものである。図示の様に、ろう
材の温度が固相線に達すると、Ｍｇの気化によって炉内
にＭｇが充満してくる。他方、このＭｇの雰囲気ゲッタ
作用によって、炉内のＨ2 ＯはＨ2 に変化していく。従
って、ろう材の温度が固相線に達する辺りで炉内のＨ2
Ｏが減少し、変わりにＨ2 が増大してくる。この現象か
ら分かるように、質量分析によってＨ2 の増加を捉える
ことで、炉内温度が固相線の温度に到達したことを推定
または検知することができるのである。
【００５０】気体流通制限手段は、ろう付炉と真空ポン
プとの間にシャッタなどの開閉扉を設けたり、排気制御
バルブ等を設けるなどの構成を採用し、シャッタやバル
ブを閉鎖することによって、ワークの周囲所定範囲にお
ける気体の流通を制限する構成とすることができる。
【００５１】この請求項４記載の発明によれば、炉内圧
力が高真空で、かつ炉内温度が固相線の温度に達した状
態で気体流通制限手段を作動させる構成としたから、ろ
う付の際に、ワークの近傍所定範囲はＨ2 Ｏが十分に少
なく、かつＭｇが高密度となり、雰囲気ゲッタ作用や再
酸化防止ゲッタ作用や酸化被膜破壊作用といったＭｇの
作用を効率よく発揮させることができる。従って、アル
ミニウムろう中に含有すべきＭｇ量を低減させることが
できる。
【００５２】また、高真空達成後に固相線の温度に達し
た時点で、気体流通制限手段を作動させるという構成で
あるから、炉体内の圧力が高真空に達するより前に炉体
内の温度が固相線の温度に達してしまわない様に排気の
開始時期や加熱の開始時期を調整すべきであることはい
うまでもない。
【００５３】なお、気体流通制限手段による気体の流通
制限をしない状態においては排気に対するコンダクタン
スが大きくなり、かつ気体の流通制限をした状態では排
気に対するコンダクタンスが非常に小さくなる様にして
おくと、排気の迅速化とＭｇの高密度化とを達成するの
に都合がよい。
【００５４】また、この真空ろう付炉においては、気体
の流通を制限された範囲内に、４００℃以下の低温部分
が残存しない様にしておくことが望ましい。即ち、ヒー
タ等の配置を工夫するなどして、ろう付炉内のＭｇが閉
じ込められた領域は、全て高温の炉壁や遮蔽板や扉など
で閉鎖されることとなる炉体構造を採用することが望ま
しいのである。これは、炉壁などに低温部分があると、
気化したＭｇがここに付着してしまうから、これを防止
するためである。
【００５５】さらに、本発明者らは、第３の目的を達成
するために、Ｍｇ含有量が１．２重量％未満であって、
かつ含有されるＭｇの内のＭｇ2 Ｓｉの粒子径が代表値
で５μｍ以下に調整された真空ろう付用アルミニウムろ
うをクラッドしたブレージングシートの構成からなる請
求項５記載の発明と、Ｍｇ含有量が１．２重量％未満で
あって、かつ表面の酸化被膜厚さが１００Å未満とされ
た真空ろう付用アルミニウムろうをクラッドしたブレー
ジングシートの構成からなる請求項６記載の発明とを完
成した。
【００５６】従来より一般に使用されているブレージン
グシートにクラッドしてあるＭｇ含有アルミニウムろう
においては、Ｍｇ2 Ｓｉの粒子径が８〜１５μｍである
のに対し、請求項５記載の真空ろう付用アルミニウムろ
うは、Ｍｇ2 Ｓｉの粒子径が十分に小さくなっている。
従って、ろう付における昇温時にＭｇの拡散性が良く、
酸化被膜の破壊を低温化することができる。この結果、
Ｍｇの含有量が１．２重量％未満と少なくても、ゲッタ
作用等について、Ｍｇ含有量が１．２重量％以上のもの
に劣ることがない。
【００５７】一方、従来より一般に使用されているブレ
ージングシートにクラッドしてあるＭｇ含有アルミニウ
ムろうにおいては、表面の酸化被膜の厚さが１００〜５
００Å程度であったのに対し、請求項６記載の真空ろう
付用アルミニウムろうは、酸化被膜の厚さが十分に小さ
くなっている。従って、ろう付の際の酸化被膜の破壊を
迅速化することができる。この結果、Ｍｇの含有量が
１．２重量％未満と少なくても、ゲッタ作用等につい
て、Ｍｇ含有量が１．２重量％以上のものに劣ることが
ない。
【００５８】そして、これら請求項５または請求項６記
載の真空ろう付用アルミニウムろうをクラッドしたブレ
ージングシートによれば、ろう付における品質の低下を
招くことなく、資源の節約をすることができるのであ
る。なお、これら請求項５または請求項６記載の真空ろ
う付用アルミニウムろうをクラッドしたブレージングシ
ートは、特に請求項１記載の真空ろう付方法に適用する
とその作用・効果を極めて良好に発揮することができ
る。
【００５９】
【実施例】次に、本発明を適用した実施例を説明する。
図３，図４は、実施例として採用した真空ろう付炉１を
示している。
【００６０】真空ろう付炉１は、ろう付中は全体が高温
に保持される構造になっており、ワーク３が搬入される
炉体５と、この炉体５と連結された真空ポンプ７と、炉
体５と真空ポンプ７との間に配設されて排気口９を開閉
するシャッタ１１とを備えている。
【００６１】シャッタ１１は、モータ１３にて駆動さ
れ、開閉動作を行う。このモータ１３は、制御装置１５
からの駆動指令を受けて動作する。制御装置１５は、制
御部１５ａと、記憶部１５ｂと、入出力部１５ｃとを備
えている。そして、入出力部１５ｃを介してモータ１
３，真空ポンプ７および炉体５に配設されたヒータ１７
と連結されている。
【００６２】また、炉体には圧力センサ１９と温度セン
サ２１とが配設されている。これらのセンサ１９，２１
も、制御装置１５の入出力部１５ｃに連結され、炉内圧
力と炉内温度とをモニタリングできる様にも構成されて
いる。
【００６３】制御装置１５の制御部１５ａは、記憶部１
５ｂに記憶した制御プログラムに基づいて入出力部１５
ｃから真空ポンプ７，ヒータ１７およびモータ１３への
制御信号を出力する。この制御プログラムの内容は、炉
体５の圧力が炉内水蒸気量が十分に少なくなる所定の高
真空状態に達し、かつ炉内温度が５００℃以上の所定値
に達したらモータ１３を駆動してシャッタ１１を閉鎖
し、その後は炉体５のワーク３近傍の所定範囲における
排気を制限するというもので、時間の経過と共に順次工
程を実行する様になっている。
【００６４】なお、圧力の到達や温度の到達は、予め炉
体５の排気コンダクタンスや伝熱特性やワーク３の伝熱
特性等を考慮してチャート化しておき、真空ポンプ７の
駆動開始からの経過時間により圧力を推定し、ヒータ１
７の駆動開始からの経過時間により温度を推定すること
により検知することとしている。
【００６５】また、シャッタ１１の閉鎖条件としての温
度は、ワーク３においてブレージングシートにクラッド
して使用されるろう材の固相線の温度であって、図１に
示した様な状態図に基づいて、ろう材中のＭｇの含有量
に対応して決定され、プログラミングされる。
【００６６】プログラムの一例を図５にて説明する。こ
れはＭｇ含有量が０．６重量％のＡｌ−１０％Ｓｉ合金
ろうのクラッド材を真空加熱した場合のＭｇ気化とＨ2
Ｏの減少の様子を示した質量分析結果（記号（ｂ）を付
した図示実線）と、同じクラッド材を用いろう付を実施
する場合の炉内圧力とワーク温度のプログラムとを示し
た図である。
【００６７】プログラムでは、まず真空ポンプ７を駆動
して炉内の排気を開始し、炉内圧力が８×１０-5Torrに
達した時点でヒータ１７を駆動して昇温を開始し、０．
６重量％のＭｇを含有するＡｌ−１０％Ｓｉ合金ろうの
固相線の温度である５６５℃に到達した時にモータ１３
を駆動してシャッタ１１を閉鎖するという手順で制御を
実行した。
【００６８】なお、質量分析結果においては、比較のた
めに１．２重量％のＭｇを含有するＡｌ−１０％Ｓｉ合
金ろうのクラッド材を真空加熱した場合のＭｇ気化とＨ
2 Ｏの減少の様子を示した質量分析結果も併せて示して
いる（記号（ａ）を付した図中一点鎖線）。
【００６９】Ｍｇを０．６重量％添加したろう材の質量
分析結果によれば、ろう材が固相線の温度５６５℃に達
すると、Ｍｇの気化量が急増する。また、炉中のＨ2 Ｏ
が十分に減少している。したがって、このタイミングに
併せて、即ち、ワークの温度がろう材の固相線の温度に
達したとき、シャッタを閉じ、ろう付炉中の排気を制限
し、ろう付炉中のＭｇを充満させることができる。図７
に、排気を制御した場合の炉内の質量分析結果を示す。
シャッタを閉じることにより、Ｈ2 の量が急増してい
る。これは、ろう付炉雰囲気内のＭｇ量が増加し、ゲッ
タ作用により、Ｈ 2 Ｏが急速に除去されていることがわ
かる。
【００７０】次に、本発明の有効性を確認するために、
Ｍｇ含有量を１．０重量％未満に調整し、また、ろう材
中のＭｇ2 Ｓｉの粒子径を微細化し、あるいは表面の酸
化被膜を薄膜化した種々のろうがクラッドされたブレー
ジングシートを用いて、図６に示す排気・加熱条件にて
ろう付を行い、それぞれのフィレット長さを計測して評
価を行った。加熱条件は図６のパターンで一定とし、ワ
ークの温度が夫々のブレージングシートにクラッドした
ろう材の固相線の温度に達したところでシャッタを閉じ
た。
【００７１】まず、使用したブレージングシートにクラ
ッドしたＡｌ−１０％Ｓｉ合金ろう材について説明す
る。各ろう材のＭｇ含有量と、Ｍｇ2 Ｓｉの粒子径と、
酸化被膜の厚さとを表１に示す。
【００７２】
【表１】
【００７３】ここで、Ｍｇ2 Ｓｉ粒子径の微細化につい
ては、ろう材製造工程において、ソーキング工程で、均
質化を実施するとともに、微細化を行うよう、条件を設
定する。ここでは、ソーキング温度を低温に抑え、また
ソーキング時間を短くし、Ｍｇ2 Ｓｉの核生成を抑え、
かつ粒子の成長時間を抑えるようにする。
【００７４】また、酸化被膜の薄膜化処理については、
ＮａＯＨを希釈し、ブレージングシートの最終焼鈍の前
に洗浄を行うことによりろう材の表面をエッチングする
処理として行った。なお、この際に、ろう材の表面に、
ろう材中の析出物であるＳｉが露出しない様に注意し
た。つまり、洗浄によるエッチングが強エッチングとな
らない様に注意した。
【００７５】次に、図６の排気・加熱条件を説明する。
排気は、最初の１０数分を「荒引」とし、その後３０数
分経過までをシャッタ１１を開放した状態での「本引」
として炉内圧力を５×１０-5Torrまで低下させ、その後
約５０分経過時点までシャッタ１１を閉鎖しての「本
引」を継続し、以後排気を停止して炉の開放とした。
【００７６】この間、加熱については、排気と共に開始
し、シャッタ１１の閉鎖時点で、各ろう材に応じた固相
線の温度に到達する様に加熱し、排気の停止時点で加熱
を停止することとした。
【００７７】この排気・加熱条件でろう材NoＣ〜Ｊをク
ラッドしたブレージングシートについてろう付を行い、
フィレット長さを計測した結果を図８に示す。なお、ろ
う材NoＡ，Ｂについては、排気中のシャッタ１１の閉鎖
は行わない条件での結果を示す。
【００７８】ろう材NoＣ〜Ｈは、Ｍｇ含有量が１．０重
量％未満であるにも拘らず、いずれも２．５ｍｍ以上の
フィレット長さのろう付となっており、満足のいくもの
であった。このことから、高真空達成後であり、固相線
の温度近傍に達した時点でシャッタ１１を閉鎖するとい
う実施例の排気制御により、Ｍｇ含有率の低いろう材で
も良好なろう付が可能であるということが分かった。
【００７９】また、ろう材NoＣとＥ（またはＤとＦ）を
比較すると分かる様に、Ｍｇ2 Ｓｉ粒子径の微細化処理
を行ったものの方が、微細化処理を行わないものよりも
フィレット長さが大きくなった。さらに、ろう材NoＣと
Ｄを比較すると分かる様に、酸化被膜の薄膜化処理を行
ったものの方が、薄膜化処理を行わないものよりもフィ
レット長さが大きくなった。
【００８０】これらのことから、排気制御に加えて、Ｍ
ｇ2 Ｓｉの粒径微細化処理または酸化被膜の薄膜化処理
を施すと、さらにＭｇの含有率を低下させても良好なろ
う付性を得ることが可能であることが分かった。勿論両
処理を実施すればなおよいということも分かった。
【００８１】実際、０．３重量％と０．４重量％のＭｇ
を含有するろう材をクラッドしたブレージングシートに
ついて、Ｍｇ2 Ｓｉ粒子径の微細化処理と酸化被膜の薄
膜化処理の両方を行ない、かつ排気制御を行なった結
果、フィレット長さが２．５ｍｍを越え、またろう付品
質が良好であることがわかった。
【００８２】実際、表１の材料のうち、Ａ，Ｆ，Ｇ，
Ｉ，Ｊについて検討したが、そのろう付部の静圧強度等
は表２に示すように良好であった。なお、排気制御
「有」のもののシャッタ閉鎖時の炉内圧力の条件は２×
１０-5Torrであり、炉内温度の条件は各ろう材について
の固相線の温度とした。
【００８３】
【表２】
【００８４】この様に、Ｍｇ2 Ｓｉの粒子径を代表値で
２μｍとし、酸化被膜厚さを８０Åとし、排気制御を行
うことにより、Ｍｇ含有量が０．３重量％のもの（ろう
材NoＷ）においても十分な静圧強度が得られた。
【００８５】次に、これら排気制御、Ｍｇ2 Ｓｉ粒子径
の微細化処理および酸化被膜の薄膜化処理が、Ｍｇ含有
率が１．２重量％以下のろう材について有効であること
を他の実験で確認した結果を説明する。
【００８６】この実験では、図９に示すように、実験炉
である真空ろう付炉３０の中に蓋３１をしたビーカ３３
を配設し、このビーカ３３をろう付炉に見立て、またこ
のビーカ３３の中にワークに見立てたろう付モデル３５
を入れる。ろう付モデル３５は各種ろう材をクラッドし
たブレージングシートをプレス成形して作られている。
実験では容量１．２リットルのビーカ３３を用いた。ビ
ーカ３３の外径はφ１１５ｍｍである。蓋３１には
（Ａ）φ２０ｍｍの孔３７を開けたものと（Ｂ）φ１１
５ｍｍの孔を開けたもの（蓋なし）とを用意した。実験
は炉３０内及びビーカ３３内の圧力を５×１０-5Torrに
するまで十分に排気を行ない、その後に、加熱を開始し
た。従って、この実験では、排気制御を行わない条件に
相当するものとして（Ｂ）φ１１５ｍｍの排気孔から排
気を行なった「排気無制御条件」と、排気制御を行う条
件に相当するものとして、（Ａ）φ２０ｍｍの排気孔か
ら排気を行なった「排気制御条件」とを採用して比較を
行なった。なお、ろう付モデル３５には熱電対３９を配
設し、これの出力を温度測定器４１にてモニタリングす
ると共に、質量分析計４３にてビーカ３３内の質量分析
を行なった。
【００８７】まず、表３に示すＭｇ含有率を０．８重量
％とした二種類のＡｌ−１０％Ｓｉ合金のろう材（NoＫ
とNoＬ）をクラッドしたブレージングシートを用意し、
ろう材NoＫをクラッドしたブレージングシートについて
は上述の「排気無制御条件」で、ろう材NoＬを用いたブ
レージングシートについては上述の「排気制御条件」で
実験を行い、このときの炉内の質量分析によるＭｇ量の
比較をした。その結果を図１０に示す。
【００８８】
【表３】
【００８９】図１０から明らかな様に、「排気制御」の
有無により、固相線の温度を越える辺りからビーカ内の
Ｍｇ量に大きな差が生じていることが分かる。なお、ろ
う材NoＫとＬでは、排気の条件以外に、Ｍｇ2 Ｓｉ粒子
径が大きく異なる点等がある。そこで、さらに図１１に
示す様に、ろう材NoＮ〜Ｒをクラッドしたブレージング
シートを用意し、ろう付試験を行い、フィレット長さを
比較した。なお、各ブレージングシートにクラッドされ
たろう材のＭｇ含有量と、Ｍｇ2 Ｓｉ粒子径と、酸化被
膜厚さおよび排気条件は、図中に記載した。なお、酸化
被膜薄膜化処理においては、エッチング回数を２回とし
て通常レベル（１００〜５００Å）に比べて極めて薄い
ものを得た。
【００９０】まず、ろう材NoＮとＯとを比較すると、排
気無制御条件下ではＭｇ含有量が１．２重量％未満のろ
う材では十分な品質のろう付ができないという従来の問
題点が容易に理解できる。
【００９１】次に、ろう材NoＯとＰとを比較すると、排
気制御条件を付加することによってＭｇ含有量が０．８
重量％以下のろう材についても十分なろう付品質を確保
することができるということが理解できる。
【００９２】また、ろう材NoＰとＱとを比較すると、排
気制御条件に加えて、Ｍｇ2 Ｓｉ粒子径の微細化を行う
ことでさらにろう付品質の向上を図ることができるとい
うことも理解できる。
【００９３】さらに、ろう材NoＱとＲとを比較すると、
酸化被膜がより薄いほどろう付品質の向上を図ることが
できるということも理解できる。以上の種々の実験の結
果、高真空に達した後に炉内を（少なくともワーク近傍
の所定範囲において）気体の流通が制限される状態に排
気を制御することにより、Ｍｇ含有率が１．２重量％以
下のアルミニウムろうをクラッドしたブレージングシー
トでも良好な品質のろう付を実施することができるとい
うことが分かった。
【００９４】また、この排気制御に加えて、ろう材中の
Ｍｇ2 Ｓｉ粒子径の微細化および／またはろう材表面の
酸化被膜の薄膜化をも行うことによって、同じＭｇ含有
量のアルミニウムろうをクラッドしたブレージングシー
トにおいても一層のろう付品質の向上が図れるというこ
とが分かった。
【００９５】なお、ろう材NoＫ〜Ｒをクラッドしたブレ
ージングシートについて行った実験では、最初から排気
が制限された状態の炉で圧力が高真空に達した後に加熱
するという手法を採用した。このような処理法は、処理
に時間がかかり、サイクルタイムを長くするため、工業
化には適さない。
【００９６】しかし、図３および図４に示した様な装置
を用いて、図５または図６に例示した様に、高真空に達
した後に排気を制限するという手法を採用すれば、工業
化において処理時間の長時間化等を招くことがない。
【００９７】以上本発明の一実施例を説明したが、本発
明はこれに限定されず、例えばさらにＭｇ2 Ｓｉ粒子径
を小さくするなど、その要旨を逸脱しない範囲内の種々
なる態様を採用することができる。
【００９８】
【発明の効果】以上の如く請求項１記載のアルミニウム
の真空ろう付方法によれば、ブレージングシートにクラ
ッドするろう材中のＭｇ添加量を低下させても、酸化被
膜破壊作用やゲッタ作用や還元作用を十分に発揮するこ
とができ、Ｍｇの節約を図ることができる。と同時にＭ
ｇの散逸による炉の汚染を減らすことができる。
【００９９】また、請求項２または請求項３に記載のア
ルミニウムの真空ろう付方法によれば、さらに一層のＭ
ｇ節約が可能である。一方、請求項４記載のアルミニウ
ムの真空ろう付炉によれば、請求項１〜３に記載のアル
ミニウムの真空ろう付方法を実際に工業化することがで
き、効率よく、しかも資源節約の効果の高いろう付を行
うことができる。
【０１００】さらに、請求項５または請求項６に記載の
真空ろう付用アルミニウムろうをクラッドしたブレージ
ングシートによれば、請求項１〜３に記載した各発明を
実施するに適した資源節約型の新規なろう材を提供する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 Ａｌ−１０％Ｓｉ合金の状態図である。
【図２】 昇温中の真空ろう付炉内のＨ2 ＯおよびＭｇ
の量の変化を質量分析計によりモニタリングした結果の
グラフである。
【図３】 実施例の真空ろう付炉の構成を示す模式図で
ある。
【図４】 実施例の真空ろう付炉の制御系の関係を示す
ブロック図である。
【図５】 制御プログラムの一例に従って真空ろう付を
行った際の、炉内の圧力と温度の時間変化と、昇温中の
質量分析結果と、真空ろう付炉の様子とを併せて示した
説明図である。
【図６】 他の制御プログラムの一例に従って真空ろう
付を行った際の、炉内の圧力とワークの温度とを示した
グラフである。
【図７】 図６の加熱排気パターンでの炉内雰囲気の質
量分析結果を示すグラフである。
【図８】 図６のプログラムに従って、種々のろう材に
ついてろう付を行い、フィレット長さを計測した結果を
示す棒グラフである。
【図９】 実験的に見立てた真空加熱炉の構成を示す模
式図である。
【図１０】 図９の実験炉を用いて排気孔の大きさを変
えて高真空達成後に昇温した場合のＭｇの量を質量分析
により計測した結果のグラフである。
【図１１】 図９の実験炉で種々のろう材についてろう
付を行い、フィレット長さを計測した結果を、ろう材の
条件とろう付の条件とを併記して示した棒グラフであ
る。
【符号の説明】
１・・・真空ろう付炉、３・・・ワーク、５・・・炉
体、７・・・真空ポンプ、９・・・排気口、１１・・・
シャッタ、１３・・・モータ、１５・・・制御装置１
５、１７・・・ヒータ、１９・・・圧力センサ、２１・
・・温度センサ。
フロントページの続き (72)発明者 田中 保之 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 日本電 装株式会社内 (72)発明者 平上 浩司 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 日本電 装株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−115678（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−247469（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−52764（ＪＰ，Ａ)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 所定量のＭｇを含有するアルミニウムろ
    うにて真空ろう付炉中に搬入されたワークのろう付を行
    うアルミニウムの真空ろう付方法において、真空ろう付
    炉の炉内圧力が１×１０ -4 Torr以下の高真空に達した後
    に炉内温度が前記Ｍｇ含有アルミニウムろうの固相線の
    温度以上の所定値を越えるように炉内圧力と炉内温度と
    の関係を制御すると共に、炉内温度が該所定値に達した
    ら炉内における前記ワークの周囲所定範囲の気体の流通
    を制限することを特徴とするアルミニウムの真空ろう付
    方法。
  2. 【請求項２】 真空ろう付炉内へ前記ワークを搬入する
    より前に、熱処理によって前記Ｍｇ含有アルミニウムろ
    う中のＭｇ2 Ｓｉの粒子径を微細化させる粒径微細化工
    程を実行することを特徴とする請求項１記載のアルミニ
    ウムの真空ろう付方法。
  3. 【請求項３】 真空ろう付炉内へ前記ワークを搬入する
    より前に、エッチング処理によって前記Ｍｇ含有アルミ
    ニウムろうの表面の酸化被膜を薄くする酸化被膜薄膜化
    工程を実行することを特徴とする請求項１または２に記
    載のアルミニウムの真空ろう付方法。
  4. 【請求項４】 所定量のＭｇを含有するアルミニウムろ
    うにてろう付されるワークが搬入される炉体と、 該炉体内の圧力が１×１０ -4 Torr以下の高真空に達した
    ことを推定または検知する高真空達成検知手段と、 前記炉体内の温度が前記Ｍｇ含有アルミニウムろうの固
    相線の温度近傍の所定値に達したことを推定または検知
    する固相線の温度達成検知手段と、 前記高真空達成検知手段によって炉内圧力が高真空に達
    しことが推定または検知された後で、前記固相線の温度
    達成検知手段によって炉内温度が前記固相線の温度近傍
    の所定値に達したことが推定または検知された場合に、
    前記炉体内における前記ワークの周囲所定範囲内の気体
    の流通を制限する気体流通制限手段とを備えたアルミニ
    ウムの真空ろう付炉。
  5. 【請求項５】 Ｍｇ含有量が１．２重量％未満であっ
    て、かつ含有されるＭｇの内のＭｇ2 Ｓｉの粒子径が代
    表値で５μｍ以下に調整されたろうをクラッドした真空
    ろう付用アルミニウムブレージングシート。
  6. 【請求項６】 Ｍｇ含有量が１．２重量％未満であっ
    て、かつ表面の酸化被膜厚さが１００オングストローム
    未満とされたろうをクラッドした真空ろう付用アルミニ
    ウムブレージングシート。
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GB9411070A GB2278796B (en) 1991-04-04 1992-04-01 Aluminum brazing sheet
DE4211220A DE4211220B4 (de) 1991-04-04 1992-04-03 Verfahren und Ofen zum Vakuumhartlöten von Aluminium und Aluminium-Hartlötblech zum Vakuumhartlöten
AU71627/94A AU667444B2 (en) 1991-04-04 1994-09-02 Aluminum brazing sheet for vacuum brazing
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100246031B1 (ko) * 1993-02-12 2000-04-01 오카메 히로무 알루미늄 진공 브레이징로 및 알루미늄 진공 브레이징 방법
DE4412792A1 (de) * 1994-04-14 1995-10-19 Leybold Materials Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Verbinden von flächigen Werkstücken
CA2152833A1 (en) * 1994-07-06 1996-01-07 Timothy A. Neeser Vacuum insulation panel and method for manufacturing
FR2752244B1 (fr) * 1996-08-06 1998-09-18 Pechiney Rhenalu Produit pour construction soudee en alliage almgmn a tenue a la corrosion amelioree
US6359267B1 (en) * 2000-05-31 2002-03-19 Ameritherm, Inc. Induction heating system
US7434719B2 (en) * 2005-12-09 2008-10-14 Air Products And Chemicals, Inc. Addition of D2 to H2 to detect and calibrate atomic hydrogen formed by dissociative electron attachment
CA2679648C (en) * 2007-04-07 2015-02-03 Inficon Gmbh Method for the production of a diaphragm vacuum measuring cell
US8609254B2 (en) 2010-05-19 2013-12-17 Sanford Process Corporation Microcrystalline anodic coatings and related methods therefor
US8512872B2 (en) 2010-05-19 2013-08-20 Dupalectpa-CHN, LLC Sealed anodic coatings
US8991480B2 (en) * 2010-12-15 2015-03-31 Uop Llc Fabrication method for making brazed heat exchanger with enhanced parting sheets
CN102744482B (zh) * 2012-07-31 2014-12-31 郑州机械研究所 一种使用真空钎焊装置钎焊铝合金工件的方法
CN113664317B (zh) * 2021-08-16 2023-10-24 西安远航真空钎焊技术有限公司 一种螺旋线结构高温合金微细管的成型方法

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3321828A (en) * 1962-01-02 1967-05-30 Gen Electric Aluminum brazing
US3373483A (en) * 1966-09-19 1968-03-19 Gen Electric Fluxless aluminum brazing
US3782929A (en) * 1970-10-02 1974-01-01 Atomic Energy Commission Fluxless aluminum brazing
US3788824A (en) * 1971-10-05 1974-01-29 Reynolds Metals Co Aluminous metal brazing materials
FR2185946A5 (ja) * 1972-05-23 1974-01-04 Chausson Usines Sa
US3898053A (en) * 1973-05-25 1975-08-05 Reynolds Metals Co Brazing materials
US3853547A (en) * 1973-05-25 1974-12-10 Reynolds Metals Co Brazing materials
US3843333A (en) * 1973-08-31 1974-10-22 Kaiser Aluminium Chem Corp Aluminum brazing sheet
US4140262A (en) * 1977-04-15 1979-02-20 Midcon Pipeline Equipment Co. Size-adjustable internal pipe clamp apparatus
US4119262A (en) * 1977-07-05 1978-10-10 Ford Motor Company Method of joining metal, particularly aluminum or aluminum alloys, using bromine fluxing agent
US4143802A (en) * 1977-10-05 1979-03-13 Ford Motor Company Fluxless braze processing of aluminum
DE2745772C2 (de) * 1977-10-12 1982-01-28 Ipsen Industries International Gmbh, 4190 Kleve Vakuum-Aluminiumlötofen
JPS5461015A (en) * 1977-10-25 1979-05-17 Kobe Steel Ltd Manufacture of aluminum-soldered fin heat exchanger
US4146163A (en) * 1977-11-09 1979-03-27 Aluminum Company Of America Production of aluminum brazing sheet
US4098957A (en) * 1977-11-25 1978-07-04 Aluminum Company Of America Aluminum brazing sheet
US4240574A (en) * 1978-03-13 1980-12-23 Ford Motor Company Fluxless brazing of aluminum in inert gas
JPS60247469A (ja) * 1984-05-21 1985-12-07 Nippon Denso Co Ltd アルミニウム合金のろう付け方法
JPS6352764A (ja) * 1986-08-22 1988-03-05 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd アルミニウムの真空ろう付方法および真空ろう付炉
FR2605723B1 (fr) * 1986-10-22 1989-02-24 Traitement Sous Vide Four pour le brasage sous vide d'un metal tel que l'aluminium ou des alliages d'aluminium
CA1309322C (en) * 1988-01-29 1992-10-27 Paul Emile Fortin Process for improving the corrosion resistance of brazing sheet
US5016809A (en) * 1989-09-05 1991-05-21 Ford Motor Company Thermal degreasing in reactive atmospheres and subsequent brazing of aluminum-based sheets or parts
US5104459A (en) * 1989-11-28 1992-04-14 Atlantic Richfield Company Method of forming aluminum alloy sheet
EP0597091B1 (en) * 1990-03-09 1997-11-05 Furukawa Aluminum Co., Ltd. Brazing sheet comprising brazing material based on aluminum-magnesium-silicon alloy
JP2737803B2 (ja) * 1990-03-09 1998-04-08 古河電気工業株式会社 真空ろう付け用アルミニウムブレージングシート
US4988036A (en) * 1990-04-09 1991-01-29 General Motors Corporation Vacuum braze cycle for clad aluminum sheet
DE4015741A1 (de) * 1990-05-16 1991-11-21 Metallgesellschaft Ag Verfahren zur herstellung von mg(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)si enthaltenden legierungen
US5096110A (en) * 1990-12-17 1992-03-17 Ford Motor Company Control system for vacuum brazing process

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Publication number Publication date
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