JPH07103845A - 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 燃料タンク及びドラム缶等の強度が低い容器
等並びにエンジン本体等のように高い圧力を印加すると
大漏れが発生する虞れがある被試験体の漏洩試験に適用
することができる漏洩試験方法及び漏洩試験装置を提供
する。 【構成】 被試験体１１をチャンバ１２内に格納し、ポ
ンプ１５，１６により被試験体１１内及びチャンバ１２
内を排気する。このとき、被試験体１１内の圧力とチャ
ンバ１２内の圧力との差圧を差圧計１４で検出し、差圧
が被試験体１１の最大許容範囲を超えないように、バル
ブＶ１，Ｖ２等を制御する。その後、被試験体１１内に
規定圧力のトレーサガスを導入し、漏洩試験を実施す
る。大気圧に戻すときも同様に差圧を検出し、その値が
最大許容範囲を超えないようにチャンバ１２内及び被試
験体１１内の圧力を調整する。被試験体１１内のトレー
サガス回収時も、同様に差圧を制御する。ガス回収後
は、被試験体１１内に大気を導入する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被試験体内にトレーサ
ガス（Ｈｅ等）を導入し、トレーサガスの漏れの有無又
は許容限度以上の漏れがあるか否かを判定する漏洩試験
方法及び漏洩試験装置に関し、被試験体をチャンバ内に
装入し被試験体内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を
所定の範囲内に維持しつつ前記被試験体内及び前記チャ
ンバ内を排気することにより、強度が低い容器等の被試
験体の変形、破損及び漏洩の拡大を防止できる漏洩試験
方法方法及び漏洩試験装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、漏洩試験装置（リークテスタ）と
しては、以下に示すものがある。即ち、図４に示す真空
吹き付け式漏洩試験装置においては、被試験体１の内部
に導通可能にリークディテクタ２を接続すると共に、被
試験体１の内部を真空排気する粗引ポンプ３を被試験体
１に接続する。そして、Ｈｅ（ヘリウム）ガスボンベ４
に接続されたＨｅガス吹き付け管５から被試験体１にＨ
ｅガスを吹き付けることができるようになっている。

【０００３】この装置においては、ポンプ３により被試
験体１内を真空に排気した後、リークディテクタ２を被
試験体１の内部に連結し、吹き付け管５を介してＨｅガ
スを被試験体１に吹き付ける。そうすると、被試験体１
に漏洩箇所があれば、その漏洩箇所からＨｅガスが被試
験体１中に入り、リークディテクタ２に検出される。

【０００４】図５に示す真空フード式漏洩試験装置にお
いては、図４の場合と同様に被試験体１の内部とリーク
ディテクタ２及び粗引ポンプ３とを選択的に連結できる
ように接続し、更に被試験体１を容器内に挿入する等し
て被試験体１をフード６で覆うようになっている。

【０００５】この装置においては、ポンプ３により被試
験体１の内部を真空に排気し、次いで、フード６内にＨ
ｅガスを充填する。そうすると、被試験体１に漏洩箇所
があれば、その部分を介してＨｅガスがリークディテク
タ２に入り、Ｈｅが検出される。この装置によれば、被
試験体１の全体のリークの有無を検出し、全体のリーク
量の判定を行うことができる。

【０００６】図６に示す真空内圧法においては、チャン
バ７内に、予めＨｅガスを封入した被試験体１を装入
し、ポンプ３によりチャンバ７内を排気する。そうする
と、被試験体１に漏洩箇所がある場合に、そこからＨｅ
ガスが漏出してリークディテクタ２に検出される。

【０００７】また、図７に示すスニファー法による漏洩
試験装置においては、Ｈｅガスを加圧した被試験体１の
周囲をスニファープローブ４により探索し、被試験体１
の漏洩箇所から漏れてきたＨｅガスをリークディテクタ
２により検出する。

【０００８】更に、図８に示す積分法による漏洩検出装
置においては、Ｈｅガスを加圧圧入した被試験体１を容
量が既知のフード８内に装入し、フード８内をポンプ３
により排気した後、長時間放置し、その間に被試験体１
から漏れてくるＨｅガスによるＨｅ濃度の変化を測定
し、これを積分することにより微少リーク量を検出す
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の従来の漏洩検出装置には、いずれも以下に示す問題点
がある。即ち、Ｈｅ等のトレーサガスの漏れ量を高精度
に測定できる検出器は、一般的に、真空に近い圧力下
（例えば、１０ｍｂ以下）でないと動作させることがで
きない。図４，５に示す装置は、被試験体１内を真空排
気し、この被試験体１内の内部をリークディテクタに連
結するのでこのような検出器を使用することができる
が、被試験体１の内側と外側で約１気圧の圧力差が生じ
て、例えば、燃料タンク及びドラム缶等のように強度が
低い容器（以下、軟弱な容器という）等の漏洩試験を実
施しようとすると、被試験体が変形又は破損してしま
う。また、これらの装置を例えばエンジン本体からのリ
ーク量の測定に適用すると、漏れが著しく増大し、所謂
大漏れが発生する。図６，８に示す漏洩検出装置は、Ｈ
ｅガスを被試験体内に圧入した後、排気状態の外部に漏
出してくるＨｅガスを検出することにより漏洩を検知す
るが、この場合も、被試験体の内部と外部との圧力差が
大きく、軟弱な容器等に適用することができない。図７
に示すスニファー法においては、被試験体の外側は大気
圧であると共に被試験体内にＨｅガスを圧入するので、
被試験体の内側と外側との差圧が小さく、軟弱な容器等
の漏洩試験に適用することが可能である。しかし、この
スニファー法においては、被試験体の周囲の漏れが予想
される箇所にプローブを近づけてポイント−ポイントで
漏れを探索する必要があるため、１個の被試験体を検査
するのに長時間を必要とし、煩雑であるという欠点があ
る。

【００１０】なお、被試験体の変形又は破損が予想され
る場合に、被試験体に補強部材を取り付けて被試験体の
変形及び破損を回避する方法もある。しかし、この方法
は、被試験体の形状に応じた補強部材が必要であるた
め、試験コストの増大を招来すると共に、被試験体の形
状毎に異なる補強部材を用意する必要があり、煩雑であ
る。

【００１１】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、燃料タンク及びドラム缶等の軟弱な容器並
びにエンジン本体等のように許容差圧以上の圧力を印加
すると大漏れが発生する虞れがある被試験体の漏洩試験
に適用することができる漏洩試験方法及び漏洩試験装置
を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明に係る漏洩試験方
法は、被試験体内にトレーサガスを導入しこの被試験体
からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験方法にお
いて、前記被試験体をチャンバ内に格納する工程と、前
記被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力との差圧を
前記被試験体に応じて設定された所定の差圧範囲に維持
しつつ前記被試験体内及び前記チャンバ内を排気する工
程と、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入する工
程と、を有することを特徴とする。

【００１３】本発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を
気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気
可能のチャンバ内排気手段と、前記被試験体内を排気可
能の被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレ
ーサガスを導入可能のトレーサガス導入手段と、前記チ
ャンバに連結されてチャンバ内のトレーサガスを検出す
るトレーサガス検出手段と、前記被試験体内の圧力と前
記チャンバ内の圧力との差圧を検出する差圧検出手段
と、この差圧検出手段による差圧検出結果に基づき前記
チャンバ内及び前記被試験体内を排気するとき並びに前
記被試験体内に前記トレーサガスを導入するときの前記
被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力との差圧を予
め設定された範囲内に調整する差圧調整手段と、を有す
ることを特徴とする。

【００１４】

【作用】本発明に係る漏洩試験方法においては、被試験
体をチャンバ内に格納した後、被試験体内の圧力とチャ
ンバ内の圧力との差圧を所定の範囲内に維持しつつ、前
記被試験体内及び前記チャンバ内の両方を排気して減圧
状態にする。つまり、本発明においては、被試験体内及
びチャンバ内の圧力差を、被試験体に変形、破損又は大
漏れ等の不都合が発生しないように予め設定された所定
の範囲内に維持しつつ、被試験体内及びチャンバ内を排
気して減圧状態にする。これにより、被試験体の変形及
び破損等を防止しつつ、チャンバ内を、例えば高精度の
ガス検出器が使用可能の高真空（例えば、１０ｍｂ以
下）にすることができる。その後、前記被試験体内にト
レーサガスを導入し、漏洩試験を実施する。本発明にお
いては、このように被試験体をチャンバ内に格納し、被
試験体の全体の漏洩の有無を検出して全体の漏洩量を判
定するので、漏洩が予想される箇所に検出器を近づける
スニファー法と異なり、測定に要する時間を短縮できる
と共に漏洩量を正確に判定でき、更に労力を軽減でき
る。

【００１５】一方、本発明に係る漏洩試験装置において
は、チャンバ内に被試験体を格納し、チャンバ内排気手
段及び被試験体内排気手段により夫々チャンバ内及び被
試験体内を排気する。また、トレーサガス導入手段によ
り、前記被試験体内にトレーサガスを導入する。このと
き、差圧検出手段は被試験体内の圧力とチャンバ内の圧
力との差圧を検出する。そして、その検出結果に基づい
て、差圧調整手段が例えばバルブの開閉等を制御し、被
試験体内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を予め設定
された範囲内に調整する。これにより、被試験体の内側
と外側との差圧が大きくなることを防止できて、軟弱容
器等の変形及び破損並びに被試験体からの大漏れの発生
を回避できる。

【００１６】

【実施例】次に、本発明の実施例について、添付の図面
を参照して説明する。

【００１７】図１は、本発明の第１の実施例に係る漏洩
試験装置を示す模式図である。真空チャンバ１２はその
内側に被試験体１１を気密的に格納可能になっている。
この被試験体１１はパイプ１７に連結されており、この
パイプ１７はチャンバ１２の外側に気密的に導出されて
いる。そして、このパイプ１７はバルブＶ２を介して排
気ポンプ１６に連結されている。また、このパイプ１７
に接続されたバルブＶ４及びバルブＶ５を介して、被試
験体１１の内部に夫々エアー（空気）及びトレーサガス
（Ｈｅ等）が導入可能になっている。

【００１８】一方、真空チャンバ１２はパイプ１８に連
結されており、このパイプ１８はバルブＶ１を介して排
気ポンプ１５に連結されている。また、このパイプ１８
に接続されたバルブＶ３を介して、チャンバ１２内にエ
アーを導入可能になっている。差圧計１４は、パイプ１
７及びパイプ１８に接続されており、被試験体１１内の
圧力とチャンバ１２内の圧力との差圧を検出する。ま
た、チャンバ１２には、トレーサガス検知器１３が連結
されている。

【００１９】次に、このように構成された本実施例に係
る漏洩試験装置を使用した漏洩試験方法について説明す
る。なお、予め、被試験体の強度等に応じて、変形、破
損及び大漏れが生じない差圧の最大許容値が求められて
いるとする。

【００２０】先ず、チャンバ１２内に被試験体１１を装
入し、被試験体１１とパイプ１７とを連結する。次に、
排気ポンプ１５，１６を駆動し、バルブＶ１，Ｖ２を開
にして、チャンバ１２内及び被試験体１１内を排気す
る。このとき、被試験体１１の内側の圧力が外側の圧力
（即ち、チャンバ１２内の圧力）よりも大きくその差圧
が前記最大許容値に近い場合は、バルブＶ２を閉じて差
圧を小さくする。逆に、被試験体１１の外側の圧力が内
側の圧力よりも大きくその差圧が最大許容値に近い場合
は、バルブＶ１を閉じて差圧を小さくする。差圧が小さ
くなれば、バルブＶ２又はバルブＶ１を再度開にする。
このようにして、被試験体１１の内側と外側との差圧を
最大許容値以下に維持しつつ、チャンバ１２内の圧力を
トレーサガス検知器１３が正常に動作する圧力（例え
ば、１０ｍｂ以下）にする。その後、バルブＶ１，Ｖ２
を閉じ、バルブＶ５を開いて、被試験体１１の内側と外
側との差圧を最大許容値以下に維持しつつ、被試験体１
１内にトレーサガスを導入する。そして、トレーサガス
検知器１３により被試験体１１から漏れて出たトレーサ
ガスを検出する。

【００２１】測定終了後は、以下のようにして大気圧ま
で戻す。先ず、バルブＶ３，Ｖ４を開く。そして、被試
験体１１の内側の圧力が外側の圧力よりも大きく、差圧
が最大許容値に近い場合は、バルブＶ４を閉じる。逆
に、被試験体１１の外側の圧力が内側の圧力よりも大き
く、差圧が最大許容値に近い場合は、バルブＶ３を閉じ
る。これにより、差圧を小さくすることができる。差圧
が小さくなれば、バルブＶ３又はＶ４を再度開く。この
ようにして、差圧を最大許容値以下に維持しつつ、バル
ブＶ３，Ｖ４を開閉して、被試験体１１及びチャンバ１
２内の圧力を大気圧にまで戻す。その後、チャンバ１２
内から被試験体１１を取り出す。

【００２２】本実施例においては、被試験体１１の内側
の圧力と外側の圧力との差圧が被試験体の強度等に基づ
いて設定された最大許容値以下になるように各バルブを
操作して、被試験体内及びチャンバ内を排気するので、
被試験体が軟弱な容器等又はエンジン本体であっても、
被試験体の変形、破損及び大漏れの発生を回避できる。

【００２３】なお、上述の実施例ではバルブＶ１〜Ｖ４
の開閉を繰り返すことにより差圧を所定の範囲内に維持
したが、例えば各バルブに段階的に開度を設定し、バル
ブ開度を調整することにより差圧を調整してもよい。ま
た、図３に示すように１本のパイプに複数のバルブ
Ｖ_A，Ｖ_B，Ｖ_Cを並列に設け、これらのバルブを選択的
に開閉することにより差圧を調整するようにしてもよ
い。

【００２４】図２は本発明の第２の実施例に係る漏洩試
験装置を示す模式図である。真空チャンバ１２はその内
側に被試験体１１を気密的に格納可能になっている。被
試験体１１は、その内部が例えば１／４インチ径の銅製
パイプＰ１に連結される。このパイプＰ１は、真空チャ
ンバ１２の外側に気密的に導出され、パイプＰ４を介し
てバルブネットワーク制御装置２６に連結されている。
このパイプＰ４には、その途中にバルブＶ７が設けられ
ている。バルブネットワーク制御装置２６は、ラインレ
ギュレター３１及びバルブＶ８を介してＨｅガスのボン
ベ２４に接続されている。また、このバルブネットワー
ク制御装置２６は、パイプＰ５を介して排気装置２２に
接続されている。そして、このバルブネットワーク制御
装置２６は、後述する制御信号発生器２２及び排気制御
装置２５からの信号により、パイプＰ４をＨｅガスボン
ベ２４、排気ポンプ３３又は大気中に選択的に連通させ
る。

【００２５】真空チャンバ１２は、パイプＰ７を介して
真空排気装置２８に連結されている。このパイプＰ７に
は主バルブ（電動制御型可変コンダクタンス弁）ＶＲが
介装されている。また、この真空チャンバ１２にはバル
ブ（電動制御型可変コンダクタンス弁）Ｖ６が取り付け
られており、このバルブＶ６を介して真空チャンバ１２
内にエアーを導入可能になっている。更に、真空チャン
バ１２には、バルブＶｓが取り付けられており、このバ
ルブＶｓにはパイプＰ８を介してリークディテクタ２９
が連結されている。このリークディテクタ２９はＨｅガ
スを検出してこれを電気信号に変換し、その検出信号を
配線３０を介して漏洩判定装置（図示せず）に出力す
る。

【００２６】真空チャンバ１２内の圧力は、圧力ゲージ
２７により表示される。また、本装置には、真空チャン
バ１２内の圧力と被試験体１１内の圧力との差圧を検出
する差圧計２１が設けられており、この差圧計２１から
は両者の差圧に応じた電気信号が出力される。この信号
は制御信号発生器２２に与えられる。この制御信号発生
器２２は、差圧計２１から与えられた信号と、差圧設定
器２３から与えられた信号とに基づいて、エアー導入制
御装置３２、排気制御装置２５及びバルブネットワーク
制御装置２６に制御信号を出力する。差圧設定器２３に
は、被試験体１１に変形、破損及び大漏れ等が生じない
差圧の最大許容値よりも若干小さな値が設定される。エ
アー導入制御装置３２は、制御信号発生器２２からの信
号に基づいて、バルブＶ６を制御する。また、排気制御
装置２５も、制御信号発生器２２からの信号に基づい
て、主バルブＶＲを制御する。更に、排気制御装置２５
には外部から排気制御指令信号が与えられ、エアー導入
制御装置３２及びバルブネットワーク制御装置２６には
外部からチャンバ内エアー導入指令信号が与えられるよ
うになっている。

【００２７】次に、このように構成された本実施例に係
る漏洩試験装置の動作について説明する。先ず、真空チ
ャンバ１２内に被試験体１１を装入し、パイプＰ１と被
試験体１１とを連結する。また、差圧設定器２３に、被
試験体１１に応じた差圧を設定する。その後、排気ポン
プ２８，３３を駆動する。外部（例えば、制御盤等）か
ら排気制御指令信号が与えられると、排気制御装置２５
はバルブＶＲを駆動して、チャンバ１２の内部空間を排
気ポンプ２８に連通させる。また、バルブネットワーク
制御装置２６は、被試験体１１の内部空間を排気ポンプ
３３に連通させる。これにより、被試験体１１内及びチ
ャンバ１２内から排気される。このとき、差圧計２１は
被試験体１１内の圧力とチャンバ１２内の圧力との差圧
を検出しており、その結果を制御信号発生器２２に出力
している。制御信号発生器２２は、差圧計２１から与え
られる信号と差圧設定器２３から与えられる信号とに基
づいて、制御信号を発生し、排気制御装置２５、エアー
導入制御装置３２及びバルブネットワーク制御装置２６
に出力する。例えば、被試験体１１内の圧力がチャンバ
１２内の圧力よりも高く、その差圧が設定された値を超
えた場合、制御信号発生器２２はバルブＶＲの開度を小
さくすべく排気制御装置２５に信号を出力し、排気制御
装置２５はこの信号によってバルブＶＲの開度を小さく
する。一方、被試験体１１内の圧力がチャンバ１２内の
圧力よりも低くその差圧が設定された値を超えた場合
は、制御信号発生器２２の出力に基づき、排気制御装置
２５はバルブＶＲの開度を大きくし、バルブネットワー
ク２６はその内部のバルブの開度を小さくする。このよ
うにして、被試験体１１内の圧力とチャンバ１２内の圧
力との差圧を設定値以下に維持しつつ、被試験体１１内
及びチャンバ１２内を排気する。

【００２８】次に、バルブネットワーク制御装置２６
は、外部から排気制御装置２５を介して与えられるトレ
ーサガス置換制御指令信号Ｓに基づき、内部のバルブを
切り替えて、パイプＰ４をＨｅガスボンベ２４に連結す
る。これにより、被試験体１１内にＨｅガスが充填され
る。このようにして、被試験体１１の内側の圧力と外側
の圧力との差圧を被試験体１１に破損が生じない程度
（例えば、１気圧以下：約１００ｋＰａ以下）に維持し
つつ、チャンバ１２内の圧力をＨｅリークディテクタ２
９が稼動可能な圧力（例えば、１０ｍｂ以下）まで低下
したときに、バルブＶＲを閉じ、バルブＶｓを開にす
る。なお、このとき、バルブＶＲを閉にしないで、真空
チャンバ１２内の排気を継続していてもよい。

【００２９】被試験体１１に漏洩箇所がある場合は、被
試験体１１内に導入されたＨｅガスがこの漏洩箇所を介
して被試験体１１から排出され、真空チャンバ１２内の
空間に出てくる。そして、真空チャンバ１２内のＨｅガ
ス濃度がリークディテクタ２９により検出される。この
検出信号は配線３０を介して判定装置に送出される。こ
のようにして、被試験体１１に対する漏洩試験を実施す
ることができる。

【００３０】漏洩試験終了後は、被試験体１１の内側と
外側との差圧を設定値以下に維持しつつ、被測定体１１
及びチャンバ１２内に空気を導入する。即ち、外部から
与えられるチャンバ内エアー導入指令信号により、エア
ー導入制御装置３２はバルブＶ６を開にして、チャンバ
１２内にエアーを導入する。また、バルブネットワーク
制御装置２６は、チャンバ内エアー導入指令信号により
その内部のバルブを切り替えて、被試験体１１内にエア
ーを導入する。このとき、差圧計２１の出力に基づいて
制御信号発生器２２から信号が出力され、この信号に応
じてエアー導入制御装置３２及びバルブネットワーク制
御装置２６が作動し、バルブＶ６及びバルブネットワー
ク制御装置２６内のバルブ開度が調整される。これによ
り、被試験体１１内の圧力とチャンバ１２内の圧力との
差圧が差圧設定器２３に設定された値以下に維持され
る。このようにして、被試験体１１内及びチャンバ１２
内の圧力が大気圧になった後、被試験体１１をチャンバ
１２から取り出す。

【００３１】本実施例においては、被試験体１１の内側
と外側との差圧を被試験体の強度等に応じて設定された
設定値以下に維持しつつ被試験体１１内及びチャンバ１
２内を減圧するから、被試験体１１の変形、破損及び大
漏れの発生を回避しつつ、被試験体１１の漏洩試験を実
施することができる。また、差圧の調整は、差圧計の出
力の基き、バルブネットワーク制御装置２６、エアー導
入制御装置３２及び排気制御装置２５がバルブの開度を
制御することにより行うので、作業者による操作が不要
であり、作業性が優れている。更に、本実施例装置は、
漏洩が予想される部分の近傍にディテクタを配置して漏
洩を調べる従来のスニファー式の漏洩試験装置と異な
り、被試験体１１からの漏洩を全体的に調べることがで
きるため、漏洩試験の信頼性が高いと共に、１個の被試
験体の試験に要する時間が短く、大量の被試験体を試験
する場合に好適である。更に、漏洩試験の自動化も容易
である。

【００３２】なお、上述の実施例においては、被試験体
の内側と外側との差圧の検出を差圧計により行う場合に
ついて説明したが、その外に、差圧スイッチにより差圧
を検出してもよいし、被試験体の内側と外側との圧力を
２つの圧力計を用いて個別的に測定しその両方の圧力計
の出力から差圧を求めてもよい。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、被
試験体内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を所定値以
下に維持しつつ前記被試験体内及びチャンバ内を排気
し、その後前記チャンバ内にトレーサガスを導入するか
ら、燃料タンク及びドラム等の軟弱な容器並びにエンジ
ン本体等の漏洩試験に適用しても、被試験体の変形、破
損及び大漏れの発生を回避することができる。

【００３４】また、本発明装置によれば、差圧検出手段
が被試験体内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を検出
し、その検出結果に基づいて、差圧調整手段が被試験体
内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を調整するから、
上述の方法を実現することができて、被試験体の変形、
破損及び大漏れの発生を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施例に係る漏洩試験装置を
示す模式図である。

【図２】 本発明の第２の実施例に係る漏洩試験装置を
示す模式図である。

【図３】 並列に設けられたバルブを示す模式図であ
る。

【図４】 従来の真空吹き付け式漏洩検出装置を示す模
式図である。

【図５】 従来の真空フード式漏洩試験装置を示す模式
図である。

【図６】 従来の真空内圧式漏洩試験装置を示す模式図
である。

【図７】 従来のスニファー式漏洩試験装置を示す模式
図である。

【図８】 従来の積分式漏洩試験装置を示す模式図であ
る。

【符号の説明】

１，１１…被試験体、２，２９…リークディテクタ、
３，１５，１６，２８，３３…ポンプ、４，２４…Ｈｅ
ボンベ、１２…チャンバ、１３…トレーサガス検知器、
１４，２１…差圧計、２２…制御信号発生器、２３…差
圧設定器

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被試験体内にトレーサガスを導入しこの
   被試験体からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験
   方法において、前記被試験体をチャンバ内に格納する工
   程と、前記被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力と
   の差圧を前記被試験体に応じて設定された所定の範囲内
   に維持しつつ前記被試験体内及び前記チャンバ内を排気
   する工程と、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入
   する工程と、を有することを特徴とする漏洩試験方法。
2. 【請求項２】 被試験体を気密的に格納可能のチャンバ
   と、このチャンバ内を排気可能のチャンバ内排気手段
   と、前記被試験体内を排気可能の被試験体内排気手段
   と、前記被試験体の内部にトレーサガスを導入可能のト
   レーサガス導入手段と、前記チャンバに連結されてチャ
   ンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段
   と、前記被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力との
   差圧を検出する差圧検出手段と、この差圧検出手段によ
   る差圧検出結果に基づき前記チャンバ内及び前記被試験
   体内を排気するとき並びに前記被試験体内に前記トレー
   サガスを導入するときの前記被試験体内の圧力と前記チ
   ャンバ内の圧力との差圧を予め設定された範囲内に調整
   する差圧調整手段と、を有することを特徴とする漏洩試
   験装置。