JPH07103845A - 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 - Google Patents
漏洩試験方法及び漏洩試験装置Info
- Publication number
- JPH07103845A JPH07103845A JP25189793A JP25189793A JPH07103845A JP H07103845 A JPH07103845 A JP H07103845A JP 25189793 A JP25189793 A JP 25189793A JP 25189793 A JP25189793 A JP 25189793A JP H07103845 A JPH07103845 A JP H07103845A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- pressure
- under test
- differential pressure
- test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
等並びにエンジン本体等のように高い圧力を印加すると
大漏れが発生する虞れがある被試験体の漏洩試験に適用
することができる漏洩試験方法及び漏洩試験装置を提供
する。 【構成】 被試験体11をチャンバ12内に格納し、ポ
ンプ15,16により被試験体11内及びチャンバ12
内を排気する。このとき、被試験体11内の圧力とチャ
ンバ12内の圧力との差圧を差圧計14で検出し、差圧
が被試験体11の最大許容範囲を超えないように、バル
ブV1,V2等を制御する。その後、被試験体11内に
規定圧力のトレーサガスを導入し、漏洩試験を実施す
る。大気圧に戻すときも同様に差圧を検出し、その値が
最大許容範囲を超えないようにチャンバ12内及び被試
験体11内の圧力を調整する。被試験体11内のトレー
サガス回収時も、同様に差圧を制御する。ガス回収後
は、被試験体11内に大気を導入する。
Description
ガス(He等)を導入し、トレーサガスの漏れの有無又
は許容限度以上の漏れがあるか否かを判定する漏洩試験
方法及び漏洩試験装置に関し、被試験体をチャンバ内に
装入し被試験体内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を
所定の範囲内に維持しつつ前記被試験体内及び前記チャ
ンバ内を排気することにより、強度が低い容器等の被試
験体の変形、破損及び漏洩の拡大を防止できる漏洩試験
方法方法及び漏洩試験装置に関するものである。
しては、以下に示すものがある。即ち、図4に示す真空
吹き付け式漏洩試験装置においては、被試験体1の内部
に導通可能にリークディテクタ2を接続すると共に、被
試験体1の内部を真空排気する粗引ポンプ3を被試験体
1に接続する。そして、He(ヘリウム)ガスボンベ4
に接続されたHeガス吹き付け管5から被試験体1にH
eガスを吹き付けることができるようになっている。
験体1内を真空に排気した後、リークディテクタ2を被
試験体1の内部に連結し、吹き付け管5を介してHeガ
スを被試験体1に吹き付ける。そうすると、被試験体1
に漏洩箇所があれば、その漏洩箇所からHeガスが被試
験体1中に入り、リークディテクタ2に検出される。
いては、図4の場合と同様に被試験体1の内部とリーク
ディテクタ2及び粗引ポンプ3とを選択的に連結できる
ように接続し、更に被試験体1を容器内に挿入する等し
て被試験体1をフード6で覆うようになっている。
験体1の内部を真空に排気し、次いで、フード6内にH
eガスを充填する。そうすると、被試験体1に漏洩箇所
があれば、その部分を介してHeガスがリークディテク
タ2に入り、Heが検出される。この装置によれば、被
試験体1の全体のリークの有無を検出し、全体のリーク
量の判定を行うことができる。
バ7内に、予めHeガスを封入した被試験体1を装入
し、ポンプ3によりチャンバ7内を排気する。そうする
と、被試験体1に漏洩箇所がある場合に、そこからHe
ガスが漏出してリークディテクタ2に検出される。
試験装置においては、Heガスを加圧した被試験体1の
周囲をスニファープローブ4により探索し、被試験体1
の漏洩箇所から漏れてきたHeガスをリークディテクタ
2により検出する。
置においては、Heガスを加圧圧入した被試験体1を容
量が既知のフード8内に装入し、フード8内をポンプ3
により排気した後、長時間放置し、その間に被試験体1
から漏れてくるHeガスによるHe濃度の変化を測定
し、これを積分することにより微少リーク量を検出す
る。
の従来の漏洩検出装置には、いずれも以下に示す問題点
がある。即ち、He等のトレーサガスの漏れ量を高精度
に測定できる検出器は、一般的に、真空に近い圧力下
(例えば、10mb以下)でないと動作させることがで
きない。図4,5に示す装置は、被試験体1内を真空排
気し、この被試験体1内の内部をリークディテクタに連
結するのでこのような検出器を使用することができる
が、被試験体1の内側と外側で約1気圧の圧力差が生じ
て、例えば、燃料タンク及びドラム缶等のように強度が
低い容器(以下、軟弱な容器という)等の漏洩試験を実
施しようとすると、被試験体が変形又は破損してしま
う。また、これらの装置を例えばエンジン本体からのリ
ーク量の測定に適用すると、漏れが著しく増大し、所謂
大漏れが発生する。図6,8に示す漏洩検出装置は、H
eガスを被試験体内に圧入した後、排気状態の外部に漏
出してくるHeガスを検出することにより漏洩を検知す
るが、この場合も、被試験体の内部と外部との圧力差が
大きく、軟弱な容器等に適用することができない。図7
に示すスニファー法においては、被試験体の外側は大気
圧であると共に被試験体内にHeガスを圧入するので、
被試験体の内側と外側との差圧が小さく、軟弱な容器等
の漏洩試験に適用することが可能である。しかし、この
スニファー法においては、被試験体の周囲の漏れが予想
される箇所にプローブを近づけてポイント−ポイントで
漏れを探索する必要があるため、1個の被試験体を検査
するのに長時間を必要とし、煩雑であるという欠点があ
る。
る場合に、被試験体に補強部材を取り付けて被試験体の
変形及び破損を回避する方法もある。しかし、この方法
は、被試験体の形状に応じた補強部材が必要であるた
め、試験コストの増大を招来すると共に、被試験体の形
状毎に異なる補強部材を用意する必要があり、煩雑であ
る。
のであって、燃料タンク及びドラム缶等の軟弱な容器並
びにエンジン本体等のように許容差圧以上の圧力を印加
すると大漏れが発生する虞れがある被試験体の漏洩試験
に適用することができる漏洩試験方法及び漏洩試験装置
を提供することを目的とする。
法は、被試験体内にトレーサガスを導入しこの被試験体
からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験方法にお
いて、前記被試験体をチャンバ内に格納する工程と、前
記被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力との差圧を
前記被試験体に応じて設定された所定の差圧範囲に維持
しつつ前記被試験体内及び前記チャンバ内を排気する工
程と、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入する工
程と、を有することを特徴とする。
気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気
可能のチャンバ内排気手段と、前記被試験体内を排気可
能の被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレ
ーサガスを導入可能のトレーサガス導入手段と、前記チ
ャンバに連結されてチャンバ内のトレーサガスを検出す
るトレーサガス検出手段と、前記被試験体内の圧力と前
記チャンバ内の圧力との差圧を検出する差圧検出手段
と、この差圧検出手段による差圧検出結果に基づき前記
チャンバ内及び前記被試験体内を排気するとき並びに前
記被試験体内に前記トレーサガスを導入するときの前記
被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力との差圧を予
め設定された範囲内に調整する差圧調整手段と、を有す
ることを特徴とする。
体をチャンバ内に格納した後、被試験体内の圧力とチャ
ンバ内の圧力との差圧を所定の範囲内に維持しつつ、前
記被試験体内及び前記チャンバ内の両方を排気して減圧
状態にする。つまり、本発明においては、被試験体内及
びチャンバ内の圧力差を、被試験体に変形、破損又は大
漏れ等の不都合が発生しないように予め設定された所定
の範囲内に維持しつつ、被試験体内及びチャンバ内を排
気して減圧状態にする。これにより、被試験体の変形及
び破損等を防止しつつ、チャンバ内を、例えば高精度の
ガス検出器が使用可能の高真空(例えば、10mb以
下)にすることができる。その後、前記被試験体内にト
レーサガスを導入し、漏洩試験を実施する。本発明にお
いては、このように被試験体をチャンバ内に格納し、被
試験体の全体の漏洩の有無を検出して全体の漏洩量を判
定するので、漏洩が予想される箇所に検出器を近づける
スニファー法と異なり、測定に要する時間を短縮できる
と共に漏洩量を正確に判定でき、更に労力を軽減でき
る。
は、チャンバ内に被試験体を格納し、チャンバ内排気手
段及び被試験体内排気手段により夫々チャンバ内及び被
試験体内を排気する。また、トレーサガス導入手段によ
り、前記被試験体内にトレーサガスを導入する。このと
き、差圧検出手段は被試験体内の圧力とチャンバ内の圧
力との差圧を検出する。そして、その検出結果に基づい
て、差圧調整手段が例えばバルブの開閉等を制御し、被
試験体内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を予め設定
された範囲内に調整する。これにより、被試験体の内側
と外側との差圧が大きくなることを防止できて、軟弱容
器等の変形及び破損並びに被試験体からの大漏れの発生
を回避できる。
を参照して説明する。
試験装置を示す模式図である。真空チャンバ12はその
内側に被試験体11を気密的に格納可能になっている。
この被試験体11はパイプ17に連結されており、この
パイプ17はチャンバ12の外側に気密的に導出されて
いる。そして、このパイプ17はバルブV2を介して排
気ポンプ16に連結されている。また、このパイプ17
に接続されたバルブV4及びバルブV5を介して、被試
験体11の内部に夫々エアー(空気)及びトレーサガス
(He等)が導入可能になっている。
結されており、このパイプ18はバルブV1を介して排
気ポンプ15に連結されている。また、このパイプ18
に接続されたバルブV3を介して、チャンバ12内にエ
アーを導入可能になっている。差圧計14は、パイプ1
7及びパイプ18に接続されており、被試験体11内の
圧力とチャンバ12内の圧力との差圧を検出する。ま
た、チャンバ12には、トレーサガス検知器13が連結
されている。
る漏洩試験装置を使用した漏洩試験方法について説明す
る。なお、予め、被試験体の強度等に応じて、変形、破
損及び大漏れが生じない差圧の最大許容値が求められて
いるとする。
入し、被試験体11とパイプ17とを連結する。次に、
排気ポンプ15,16を駆動し、バルブV1,V2を開
にして、チャンバ12内及び被試験体11内を排気す
る。このとき、被試験体11の内側の圧力が外側の圧力
(即ち、チャンバ12内の圧力)よりも大きくその差圧
が前記最大許容値に近い場合は、バルブV2を閉じて差
圧を小さくする。逆に、被試験体11の外側の圧力が内
側の圧力よりも大きくその差圧が最大許容値に近い場合
は、バルブV1を閉じて差圧を小さくする。差圧が小さ
くなれば、バルブV2又はバルブV1を再度開にする。
このようにして、被試験体11の内側と外側との差圧を
最大許容値以下に維持しつつ、チャンバ12内の圧力を
トレーサガス検知器13が正常に動作する圧力(例え
ば、10mb以下)にする。その後、バルブV1,V2
を閉じ、バルブV5を開いて、被試験体11の内側と外
側との差圧を最大許容値以下に維持しつつ、被試験体1
1内にトレーサガスを導入する。そして、トレーサガス
検知器13により被試験体11から漏れて出たトレーサ
ガスを検出する。
で戻す。先ず、バルブV3,V4を開く。そして、被試
験体11の内側の圧力が外側の圧力よりも大きく、差圧
が最大許容値に近い場合は、バルブV4を閉じる。逆
に、被試験体11の外側の圧力が内側の圧力よりも大き
く、差圧が最大許容値に近い場合は、バルブV3を閉じ
る。これにより、差圧を小さくすることができる。差圧
が小さくなれば、バルブV3又はV4を再度開く。この
ようにして、差圧を最大許容値以下に維持しつつ、バル
ブV3,V4を開閉して、被試験体11及びチャンバ1
2内の圧力を大気圧にまで戻す。その後、チャンバ12
内から被試験体11を取り出す。
の圧力と外側の圧力との差圧が被試験体の強度等に基づ
いて設定された最大許容値以下になるように各バルブを
操作して、被試験体内及びチャンバ内を排気するので、
被試験体が軟弱な容器等又はエンジン本体であっても、
被試験体の変形、破損及び大漏れの発生を回避できる。
の開閉を繰り返すことにより差圧を所定の範囲内に維持
したが、例えば各バルブに段階的に開度を設定し、バル
ブ開度を調整することにより差圧を調整してもよい。ま
た、図3に示すように1本のパイプに複数のバルブ
VA,VB,VCを並列に設け、これらのバルブを選択的
に開閉することにより差圧を調整するようにしてもよ
い。
験装置を示す模式図である。真空チャンバ12はその内
側に被試験体11を気密的に格納可能になっている。被
試験体11は、その内部が例えば1/4インチ径の銅製
パイプP1に連結される。このパイプP1は、真空チャ
ンバ12の外側に気密的に導出され、パイプP4を介し
てバルブネットワーク制御装置26に連結されている。
このパイプP4には、その途中にバルブV7が設けられ
ている。バルブネットワーク制御装置26は、ラインレ
ギュレター31及びバルブV8を介してHeガスのボン
ベ24に接続されている。また、このバルブネットワー
ク制御装置26は、パイプP5を介して排気装置22に
接続されている。そして、このバルブネットワーク制御
装置26は、後述する制御信号発生器22及び排気制御
装置25からの信号により、パイプP4をHeガスボン
ベ24、排気ポンプ33又は大気中に選択的に連通させ
る。
真空排気装置28に連結されている。このパイプP7に
は主バルブ(電動制御型可変コンダクタンス弁)VRが
介装されている。また、この真空チャンバ12にはバル
ブ(電動制御型可変コンダクタンス弁)V6が取り付け
られており、このバルブV6を介して真空チャンバ12
内にエアーを導入可能になっている。更に、真空チャン
バ12には、バルブVsが取り付けられており、このバ
ルブVsにはパイプP8を介してリークディテクタ29
が連結されている。このリークディテクタ29はHeガ
スを検出してこれを電気信号に変換し、その検出信号を
配線30を介して漏洩判定装置(図示せず)に出力す
る。
27により表示される。また、本装置には、真空チャン
バ12内の圧力と被試験体11内の圧力との差圧を検出
する差圧計21が設けられており、この差圧計21から
は両者の差圧に応じた電気信号が出力される。この信号
は制御信号発生器22に与えられる。この制御信号発生
器22は、差圧計21から与えられた信号と、差圧設定
器23から与えられた信号とに基づいて、エアー導入制
御装置32、排気制御装置25及びバルブネットワーク
制御装置26に制御信号を出力する。差圧設定器23に
は、被試験体11に変形、破損及び大漏れ等が生じない
差圧の最大許容値よりも若干小さな値が設定される。エ
アー導入制御装置32は、制御信号発生器22からの信
号に基づいて、バルブV6を制御する。また、排気制御
装置25も、制御信号発生器22からの信号に基づい
て、主バルブVRを制御する。更に、排気制御装置25
には外部から排気制御指令信号が与えられ、エアー導入
制御装置32及びバルブネットワーク制御装置26には
外部からチャンバ内エアー導入指令信号が与えられるよ
うになっている。
る漏洩試験装置の動作について説明する。先ず、真空チ
ャンバ12内に被試験体11を装入し、パイプP1と被
試験体11とを連結する。また、差圧設定器23に、被
試験体11に応じた差圧を設定する。その後、排気ポン
プ28,33を駆動する。外部(例えば、制御盤等)か
ら排気制御指令信号が与えられると、排気制御装置25
はバルブVRを駆動して、チャンバ12の内部空間を排
気ポンプ28に連通させる。また、バルブネットワーク
制御装置26は、被試験体11の内部空間を排気ポンプ
33に連通させる。これにより、被試験体11内及びチ
ャンバ12内から排気される。このとき、差圧計21は
被試験体11内の圧力とチャンバ12内の圧力との差圧
を検出しており、その結果を制御信号発生器22に出力
している。制御信号発生器22は、差圧計21から与え
られる信号と差圧設定器23から与えられる信号とに基
づいて、制御信号を発生し、排気制御装置25、エアー
導入制御装置32及びバルブネットワーク制御装置26
に出力する。例えば、被試験体11内の圧力がチャンバ
12内の圧力よりも高く、その差圧が設定された値を超
えた場合、制御信号発生器22はバルブVRの開度を小
さくすべく排気制御装置25に信号を出力し、排気制御
装置25はこの信号によってバルブVRの開度を小さく
する。一方、被試験体11内の圧力がチャンバ12内の
圧力よりも低くその差圧が設定された値を超えた場合
は、制御信号発生器22の出力に基づき、排気制御装置
25はバルブVRの開度を大きくし、バルブネットワー
ク26はその内部のバルブの開度を小さくする。このよ
うにして、被試験体11内の圧力とチャンバ12内の圧
力との差圧を設定値以下に維持しつつ、被試験体11内
及びチャンバ12内を排気する。
は、外部から排気制御装置25を介して与えられるトレ
ーサガス置換制御指令信号Sに基づき、内部のバルブを
切り替えて、パイプP4をHeガスボンベ24に連結す
る。これにより、被試験体11内にHeガスが充填され
る。このようにして、被試験体11の内側の圧力と外側
の圧力との差圧を被試験体11に破損が生じない程度
(例えば、1気圧以下:約100kPa以下)に維持し
つつ、チャンバ12内の圧力をHeリークディテクタ2
9が稼動可能な圧力(例えば、10mb以下)まで低下
したときに、バルブVRを閉じ、バルブVsを開にす
る。なお、このとき、バルブVRを閉にしないで、真空
チャンバ12内の排気を継続していてもよい。
試験体11内に導入されたHeガスがこの漏洩箇所を介
して被試験体11から排出され、真空チャンバ12内の
空間に出てくる。そして、真空チャンバ12内のHeガ
ス濃度がリークディテクタ29により検出される。この
検出信号は配線30を介して判定装置に送出される。こ
のようにして、被試験体11に対する漏洩試験を実施す
ることができる。
外側との差圧を設定値以下に維持しつつ、被測定体11
及びチャンバ12内に空気を導入する。即ち、外部から
与えられるチャンバ内エアー導入指令信号により、エア
ー導入制御装置32はバルブV6を開にして、チャンバ
12内にエアーを導入する。また、バルブネットワーク
制御装置26は、チャンバ内エアー導入指令信号により
その内部のバルブを切り替えて、被試験体11内にエア
ーを導入する。このとき、差圧計21の出力に基づいて
制御信号発生器22から信号が出力され、この信号に応
じてエアー導入制御装置32及びバルブネットワーク制
御装置26が作動し、バルブV6及びバルブネットワー
ク制御装置26内のバルブ開度が調整される。これによ
り、被試験体11内の圧力とチャンバ12内の圧力との
差圧が差圧設定器23に設定された値以下に維持され
る。このようにして、被試験体11内及びチャンバ12
内の圧力が大気圧になった後、被試験体11をチャンバ
12から取り出す。
と外側との差圧を被試験体の強度等に応じて設定された
設定値以下に維持しつつ被試験体11内及びチャンバ1
2内を減圧するから、被試験体11の変形、破損及び大
漏れの発生を回避しつつ、被試験体11の漏洩試験を実
施することができる。また、差圧の調整は、差圧計の出
力の基き、バルブネットワーク制御装置26、エアー導
入制御装置32及び排気制御装置25がバルブの開度を
制御することにより行うので、作業者による操作が不要
であり、作業性が優れている。更に、本実施例装置は、
漏洩が予想される部分の近傍にディテクタを配置して漏
洩を調べる従来のスニファー式の漏洩試験装置と異な
り、被試験体11からの漏洩を全体的に調べることがで
きるため、漏洩試験の信頼性が高いと共に、1個の被試
験体の試験に要する時間が短く、大量の被試験体を試験
する場合に好適である。更に、漏洩試験の自動化も容易
である。
の内側と外側との差圧の検出を差圧計により行う場合に
ついて説明したが、その外に、差圧スイッチにより差圧
を検出してもよいし、被試験体の内側と外側との圧力を
2つの圧力計を用いて個別的に測定しその両方の圧力計
の出力から差圧を求めてもよい。
試験体内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を所定値以
下に維持しつつ前記被試験体内及びチャンバ内を排気
し、その後前記チャンバ内にトレーサガスを導入するか
ら、燃料タンク及びドラム等の軟弱な容器並びにエンジ
ン本体等の漏洩試験に適用しても、被試験体の変形、破
損及び大漏れの発生を回避することができる。
が被試験体内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を検出
し、その検出結果に基づいて、差圧調整手段が被試験体
内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を調整するから、
上述の方法を実現することができて、被試験体の変形、
破損及び大漏れの発生を防止することができる。
示す模式図である。
示す模式図である。
る。
式図である。
図である。
である。
図である。
る。
3,15,16,28,33…ポンプ、4,24…He
ボンベ、12…チャンバ、13…トレーサガス検知器、
14,21…差圧計、22…制御信号発生器、23…差
圧設定器
Claims (2)
- 【請求項1】 被試験体内にトレーサガスを導入しこの
被試験体からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験
方法において、前記被試験体をチャンバ内に格納する工
程と、前記被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力と
の差圧を前記被試験体に応じて設定された所定の範囲内
に維持しつつ前記被試験体内及び前記チャンバ内を排気
する工程と、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入
する工程と、を有することを特徴とする漏洩試験方法。 - 【請求項2】 被試験体を気密的に格納可能のチャンバ
と、このチャンバ内を排気可能のチャンバ内排気手段
と、前記被試験体内を排気可能の被試験体内排気手段
と、前記被試験体の内部にトレーサガスを導入可能のト
レーサガス導入手段と、前記チャンバに連結されてチャ
ンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段
と、前記被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力との
差圧を検出する差圧検出手段と、この差圧検出手段によ
る差圧検出結果に基づき前記チャンバ内及び前記被試験
体内を排気するとき並びに前記被試験体内に前記トレー
サガスを導入するときの前記被試験体内の圧力と前記チ
ャンバ内の圧力との差圧を予め設定された範囲内に調整
する差圧調整手段と、を有することを特徴とする漏洩試
験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25189793A JP3348484B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25189793A JP3348484B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07103845A true JPH07103845A (ja) | 1995-04-21 |
JP3348484B2 JP3348484B2 (ja) | 2002-11-20 |
Family
ID=17229584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25189793A Expired - Lifetime JP3348484B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3348484B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007147327A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Denso Corp | 気密漏れ検査装置 |
JP4562303B2 (ja) * | 2001-03-08 | 2010-10-13 | ヤマハファインテック株式会社 | 漏洩試験装置及び漏洩試験方法 |
CN107850508A (zh) * | 2015-07-20 | 2018-03-27 | 普发真空公司 | 用于检验密封产品的密闭度的方法和用于检测泄漏的设备 |
CN108871695A (zh) * | 2018-06-08 | 2018-11-23 | 合肥国轩高科动力能源有限公司 | 一种锂电池注液前的测漏装置 |
CN111665003A (zh) * | 2019-03-08 | 2020-09-15 | 丰田自动车株式会社 | 电池包的泄漏检查方法及泄漏检查装置 |
KR20210000796A (ko) * | 2019-06-25 | 2021-01-06 | 주식회사 동희산업 | 차량용 플라스틱 연료탱크의 성능 검사장치 및 방법 |
CN113188729A (zh) * | 2021-04-26 | 2021-07-30 | 上海闻泰信息技术有限公司 | 气密测试治具 |
WO2023237338A1 (fr) * | 2022-06-10 | 2023-12-14 | Pfeiffer Vacuum | Procédé de détection de fuite amélioré et dispositif associé |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109189113A (zh) * | 2018-08-13 | 2019-01-11 | 北京卫星环境工程研究所 | 真空试验中小压差航天器产品的压力控制***及控制方法 |
-
1993
- 1993-10-07 JP JP25189793A patent/JP3348484B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4562303B2 (ja) * | 2001-03-08 | 2010-10-13 | ヤマハファインテック株式会社 | 漏洩試験装置及び漏洩試験方法 |
JP2007147327A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Denso Corp | 気密漏れ検査装置 |
CN107850508A (zh) * | 2015-07-20 | 2018-03-27 | 普发真空公司 | 用于检验密封产品的密闭度的方法和用于检测泄漏的设备 |
CN107850508B (zh) * | 2015-07-20 | 2020-06-05 | 普发真空公司 | 用于检验密封产品的密闭度的方法和用于检测泄漏的设备 |
CN108871695A (zh) * | 2018-06-08 | 2018-11-23 | 合肥国轩高科动力能源有限公司 | 一种锂电池注液前的测漏装置 |
CN111665003A (zh) * | 2019-03-08 | 2020-09-15 | 丰田自动车株式会社 | 电池包的泄漏检查方法及泄漏检查装置 |
KR20210000796A (ko) * | 2019-06-25 | 2021-01-06 | 주식회사 동희산업 | 차량용 플라스틱 연료탱크의 성능 검사장치 및 방법 |
CN113188729A (zh) * | 2021-04-26 | 2021-07-30 | 上海闻泰信息技术有限公司 | 气密测试治具 |
WO2023237338A1 (fr) * | 2022-06-10 | 2023-12-14 | Pfeiffer Vacuum | Procédé de détection de fuite amélioré et dispositif associé |
FR3136550A1 (fr) * | 2022-06-10 | 2023-12-15 | Pfeiffer Vacuum | Procédé de détection de fuite amélioré et dispositif associé |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3348484B2 (ja) | 2002-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5625141A (en) | Sealed parts leak testing method and apparatus for helium spectrometer leak detection | |
US5386717A (en) | Gas leakage testing method | |
EP0466657B1 (en) | In-line volume testing a plastic bottle | |
US7752891B2 (en) | Method for testing containers, use of the method, and a testing device | |
US5915270A (en) | Method for testing containers, use of the method, and a testing device | |
US6314794B1 (en) | Method and apparatus for detecting leaks in heat exchangers for motor vehicles | |
JPS5817299A (ja) | 低温貯蔵タンクのリ−ク検知システム | |
US6119507A (en) | Method and apparatus for recovering helium after testing for leaks in a sample holder | |
US5600996A (en) | Method and apparatus for testing the tightness of housings | |
JP3348484B2 (ja) | 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 | |
CN107907273B (zh) | 一种产品局部密封外表面气密性检测方法 | |
EP0498434B1 (en) | Gas leakage testing method and device | |
CN109540421A (zh) | 气密性检测装置及方法 | |
JPS62231127A (ja) | 包装物の気密性制御と制御装置 | |
JP3201667B2 (ja) | 逆止弁用試験装置及び逆止弁の試験方法 | |
CN220322645U (zh) | 一种密封性测试*** | |
JPH02122234A (ja) | リークテスト装置 | |
CN111157180B (zh) | 一种飞艇地面泄漏量的测量***及测试方法 | |
JP3430979B2 (ja) | 漏洩試験方法および漏洩試験装置 | |
JP2002267565A (ja) | 漏洩試験装置及び漏洩試験方法 | |
JPH09115555A (ja) | 電池の気密性の検査方法及び検査装置 | |
JPH11241971A (ja) | リークテスト装置 | |
RU2728322C1 (ru) | Способ контроля герметичности изделий и устройство для его осуществления | |
JP2000046682A (ja) | ヘリウムリークテスト装置 | |
RU2077040C1 (ru) | Способ контроля герметичности пневмогидросистем |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070913 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080913 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090913 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100913 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100913 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110913 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120913 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130913 Year of fee payment: 11 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |