JPH0696159A - レイアウト図形処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 斜め線を含むレイアウトデータを処理する際
のスリットの境界線を決定する時の交点処理を省くこと
により処理全体の高速化を図ること。 【構成】 斜め線を含むレイアウトデータを処理する際
にレイアウトデータを複数のスリットに分割して処理す
るレイアウト図形処理方法において、前記レイアウトデ
ータの中の斜め線１３，１７・・以外のデータ１２，１
８・・の頂点の座標値のみを基準としてスリットの境界
線Ａ，Ｂ，Ｃ，・・を決定し、各スリット内において斜
め線の列を該斜め線に外接する長方形で代表して処理す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、大規模集積回路にお
ける大量のレイアウト図形データを電子計算機を用いて
細長い短冊状の領域に分割して、その領域単位にレイア
ウト図形データを処理する、レイアウト図形処理方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、大規模集積回路（ＬＳＩ）の集積
度が高まると同時に、その回路を実現するために作成さ
れるレイアウト図形データの規模も非常に大きなものに
なってきている。

【０００３】このレイアウト図形データの規模の増大
は、デザインルールチェック（ＤＲＣ）や回路図の一致
検証（ＬＶＳ）などのレイアウト検証のためのレイアウ
ト図形データの処理に必要な時間を増加させ、集積回路
の開発時間に少なからぬ影響を与えている。

【０００４】このようなレイアウト図形データの規模の
増大傾向に対し、データの規模の増大が処理時間に与え
る影響を小さくする図形処理の公知の技術の一つとし
て、スリット法が知られている。

【０００５】この方法は、レイアウト図形データ全体を
個々のデータの頂点や交点の座標で細長い短冊状のスリ
ット領域に区切り、このスリット領域ごとにデータを処
理する方法である。このように各スリット領域ごとにそ
のスリット領域内のデータのみを処理の対象とすること
により、レイアウト図形データ全体の規模の増大が全体
の処理時間に与える影響を抑えている。

【０００６】しかし、この方法においてはレイアウト図
形数の増加よりもむしろ、スリットの数の増加の方が処
理時間に影響を与えることがいわれており、特に斜め線
を許したデータにおいては交点の有無やその座標値を求
める計算が処理速度を制限していると言われている。

【０００７】スリットの境界線が必要となる位置は、各
図形データの外周を表現する線が曲がる座標が用いられ
る。一般に、レイアウト図形データにおいて、個々の図
形データは長方形あるいは多角形で表現されているた
め、その頂点の座標値がスリットの境界の位置に利用さ
れる。したがって、面積の割に多くの頂点を持つデータ
が存在する場合には、そのデータを分割するスリットは
細かく分割されることになる。実際、曲線を斜め線を含
んだ線分列で近似したデータなどにおいては非常に多く
の頂点がきざまれ、スリット数を増やしていた。このた
め処理時間が増大し、スリットを使用することによる処
理時間の短縮という効果が損なわれるという問題があっ
た。

【０００８】この問題に対する解決方法としては、例え
ば、斜め線を許したデータに対する場合の解決方法とし
て特開平２−３３６６６号公報に開示されている方法が
挙げられる。同公報に記載の発明においては、一連の斜
め線の列を一つの斜め線で代替させ、その線の列の両側
の頂点（代替した線分の両端点）の座標のみをスリット
の分割の基準に加えるという方法により、スリットの数
の削減が行なわれている。

【０００９】一方、斜め線を許したデータにおいては図
形の頂点の座標の他に、データ図形同士の交点の座標も
スリットの境界として加えなければならず、この交点の
有無を調べる計算、交点の座標値を求める計算自体も負
荷の重い処理となる。以降、この交点の有無を調べる計
算、交点の座標値を求める計算を交点処理と呼ぶ。

【００１０】たとえば、図１に示されるような、第１レ
イヤに含まれる図形データ１，２と、第２レイヤに含ま
れる図形データ３，４に対してスリットを設定した場合
の例を図２に示す。この図２は、第１レイヤと第２レイ
ヤの間での処理、例えば第１レイヤと第２レイヤの図形
間での論理演算を行なうためのスリットの分割の例であ
り、図形の頂点の他に、図形同士の交点の座標を基にス
リットの分割が行なわれる。図２のａ〜ｏはスリットの
境界線であり、ｄ，ｅ，ｇ，ｉ，ｋ，ｌが交点の座標を
基準としたスリットの境界線である。図２から判るよう
に、スリットの数が非常に多くなるため、全体のスリッ
トの処理に時間がかかるとともに、スリット位置をを求
める計算自体にも時間がかかってしまう。

【００１１】大規模集積回路の大部分が斜め線を用いな
いデータから作成されており、その大部分については本
来交点処理が必要でないにも関わらず、一部に斜めのデ
ータが用いられるとレイアウトデータの全て、あるいは
その大部分について交点処理が必要となる。上記の特開
平２−３３６６６号公報に記載の方法も斜め線を削減す
ることにより交点処理の減少は期待できるが、処理する
データ上に斜め線は残るため、レイアウトデータの全体
あるいはその大部分に対して交点処理を行なわなければ
ならない。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、斜め線を含むレイアウトデータを処理する際のスリ
ットの境界線を決定する時の交点処理を省くことにより
処理全体の高速化を図ることにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するため、斜め線を含むレイアウトデータを処理する
際にレイアウトデータを複数のスリットに分割して処理
するレイアウト図形処理方法において、前記レイアウト
データの中の斜め線以外のデータの頂点の座標値のみを
基準としてスリットの境界線を決定し、各スリット内に
おいて斜め線の列を該斜め線に外接する長方形で代表し
て処理することを特徴とする。

【００１４】

【作用】本発明によれば、スリットの境界を定めるとき
には、レイアウトデータの交点は参照されない。したが
って、交点の有無あるいはその座標値を求める処理が不
要となり、全体の処理時間が短縮される。また、斜め線
は外接長方形で代表され、重なりがある部分においての
み局所的に交点処理が行われる。

【００１５】

【実施例】以下、図面を参照しながら実施例に基づいて
本発明の特徴を具体的に説明する。

【００１６】図１は本発明のレイアウト図形処理方法に
おいて処理の対象となる斜め線を用いたデータを含むレ
イアウトデータの例である。白抜きの図形１，２が一つ
の図形群、網点模様の入った図形３，４がもう一つの図
形群に属する。以降、説明のため、白抜きの図形１，２
を含んだ図形群を第１レイヤ、網点模様の入った図形
３，４を含む図形群を第２レイヤと呼ぶ。図１中の符号
１１〜１８は図形データ１の形状を表現する線分列、同
様に符号２１〜２８は図形データ２、符号３１〜３８は
図形データ３、符号４１〜４８は図形データ４の、各々
の形状を表現する線分列を示している。

【００１７】上記レイアウトデータは複数のスリットに
分割される。ここでは説明のため、スリットの方向はｙ
軸に平行な方向として進める。

【００１８】本実施例においては、スリットの分割を斜
め線以外の図形データの頂点の座標のみを基準として行
ない、斜め線の扱いとしては、スリットで分割された領
域ごとに外接長方形を設け、その外接長方形が例えば交
わりをもったときのみ対応する斜め線について処理す
る。以下、具体的な処理方法について詳細に説明する。

【００１９】まず、斜め線以外のデータの頂点の座標の
みを基準にしてスリットの分割を行行う。図１に示すレ
イアウトデータに対してスリットの分割を行う場合、斜
め線以外のデータ、たとえば、線分１２や３５の頂点の
座標のみを基準にして、図３に示すようにスリットの分
割が行われる。図３における符号Ａ〜Ｈは、ここで設定
されるスリットの境界線である。このように、本実施例
においては、スリットの境界線を決定する際の交点処理
が省略されるので、スリット設定の際の計算量は大幅に
削減される。

【００２０】次に、本実施例おけるスリット領域内にお
ける斜め線の扱いについて説明する。

【００２１】斜め線のデータを、上記の段階において設
定されたスリットごとに分割する。この斜め線のデータ
の分割を線分データ３３を例として図４に示す。線分デ
ータ３３はスリットの境界Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅと接触を
持ち、この内、境界Ｂ，Ｃ，Ｄにより分割される。この
分割の結果の線分が７３１〜７３４である。これらの線
分の各々に対して、外接長方形３３１〜３３４を用意し
て関係づける。つまり、例えば外接長方形３３１のデー
タから線分７３１のデータを参照できることを意味す
る。同様の処理を、図３に示される斜め線１３，１７，
２３，２７，３７，４３，４７についても行なう。

【００２２】次に、この外接長方形についての各スリッ
ト内での処理について説明する。

【００２３】図５は、スリット境界ＢからＤまでの領域
の、特に斜め線１３，１７，２３，３３，３７，４３が
存在する部分の領域について示したものである。ここで
理解を容易にするため、第１レイヤ側と第２レイヤ側と
に分けて説明する。図５（ａ）は第２レイヤ側（図形１
と２）、図５（ｂ）は第１レイヤ側（図形３と４）の図
形データの対応部分について示してある。図５（ａ）に
おいて、符号７３２，７３３は斜め線３３を分割した線
分、符号３３２，３３３は各々線分７３２，７３３の外
接長方形、符号７７１，７７２は斜め線３７を分割した
線分、符号３７１，３７２は各々線分７７１，７７２の
外接長方形、符号８３１は斜め線４３を分割した線分、
符号４３１は線分８３１の外接長方形である。また図５
（ｂ）において、符号５３４，５３３は斜め線１３を分
割した線分、符号１３４，１３３は各々線分５３４，５
３３の外接長方形、符号５７５，５７４は斜め線１７を
分割した線分、符号１７５，１７４は各々線分５７５，
５７４の外接長方形、符号６３５は斜め線２３を分割し
た線分、符号２３５は線分６３５の外接長方形である。
図６は、図５（ａ）と（ｂ）を重ね合わせた図を示す。

【００２４】次に、各スリットにおいて外接長方形の処
理を、外接長方形が重なりを持たない場合の処理と重な
りをもつ場合の処理について、それぞれ図７（ａ）と
（ｂ）を用いて説明する。

【００２５】図７（ａ）は、図６のスリット境界ＢとＣ
の間のスリットの図である。このスリットにおいて、ま
ず、第２レイヤ側の外接長方形３７１，３３２と第１レ
イヤ側の外接長方形１３４，１７５の間で交わりを調べ
る。この時、交わりが存在しないので、このスリットに
おいては線分７７１，７３２，１３４，１７５について
は交点の有無を含め、処理は行なわれない。

【００２６】図７の（ｂ）は、図６のスリット境界Ｃと
Ｄの間のスリットの図である。このスリットにおいて
は、第２レイヤ側の外接長方形４３１，３７２，３３３
と第１レイヤ側の外接長方形１３３，１７４，２３５の
間に交わりを持つものが存在する。これを図９に示す。
この交わりをもつ外接長方形に対してそれぞれ関係づけ
られている線分について詳細部の処理を行なう。この処
理の例を外接長方形１３３を例にとり、図８を用いて説
明する。

【００２７】図８において、符号１３３が注目する外接
長方形、符号５３３はその外接長方形１３３と関係づけ
られた線分、符号３３３と３７２は外接長方形１３３と
交わる第２レイヤ側の外接長方形、符号７７２と７３３
は各々外接長方形３３３と３７２に関係づけられた線分
を示す。

【００２８】交わりを持つ外接長方形については、その
外接長方形の領域の範囲で局所的に、外接長方形に関連
づけられた線分を直接処理する。この線分を直接処理す
る方法としては、線分の交点を求めて、その交点を順次
たどっていく方法を用いることもできるし、局所的に交
点処理を行ない、通常のスリット法を用いてもよい。図
８の符号９０１，９０２，９０３は、交点を順次たどっ
ていく方法を採用して得られた、外接長方形１３３の範
囲における第１レイヤの図形を第２レイヤの図形のＡＮ
Ｄ処理 (共通領域を求める処理）の結果を示す線分であ
る。

【００２９】斜め線のデータは全体のデータ量に対して
通常は少ないため、斜め線の代替データとして導入する
外接長方形のデータ自体も全体のデータに対して少な
く、その内、他のデータとの交わりをもつものはさらに
少なくなる。その結果、データ同士の交点の有無、交点
の座標値の計算の回数を非常に少なくできる。

【００３０】一方、一つの外接長方形に対する交わりの
個数が多くなると、個々の外接長方形での処理の量が多
くなってしまうが、本発明では斜め線を、先に設定する
スリットで分割した後で外接長方形を用意する方法を採
用しているため、外接長方形一つ一つの大きさを小さく
することができ、その結果、一つの外接長方形が交わり
を持つデータの個数を削減できる。

【００３１】図１０は、上述の処理を実現するためのハ
ードウェアを示す概略ブロック図である。

【００３２】図１０において、プロセッサ５１に対して
バス５２を介してＲＯＭ（読み出し専用メモリ）５３、
ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）等からなる主記憶装
置５４、ハードディスク装置等の大容量記憶装置５５、
キーボード５６ａやマウス５６ｂからの入力を処理する
入力インターフェース５６、マスクパターン等を表示す
るためのディスプレイ装置５７等が接続されている。マ
スクパターンを設計したり先に述べたパターンを検証す
るためのプログラムは、ＲＯＭ５３に予め書き込まれて
いるか、或いは、大容量記憶装置５５に格納されてお
り、実行に際して主記憶装置５４に転送される。プロセ
ッサ５１は、このプログラムに基づいて処理を進める。

【００３３】マスクパターン作成の際には、キーボード
５６ａやマウス５６ｂの操作によりパターンを規定する
ための座標等を指定して、ディスプレイ装置５７に表示
された図形を見ながら集積回路の各プロセスごとのマス
クパターンを作成し、作成後のマスクパターンをレイア
ウト図形データとして大容量記憶装置５５に格納する。

【００３４】マスクパターン検証の際には、マスクパタ
ーン検証のプログラムに基づいて処理を行う。マスクパ
ターンの検証処理について、図１１のフローチャートを
参照して説明する。

【００３５】先ず、検証すべきマスクパターンのデータ
をたとえば大容量記憶装置５５から読み込む (ステップ
１０１）。次に、マスクパターンデータに含まれている
全ての図形データに関して各図形データの傾斜を調べ斜
め線以外の図形データの座標のみを基準としてスリット
を設定する (ステップ１０２、図３参照）。次に、斜め
線のデータを設定されたスリットごとに分割して各線分
を形成し、各線分に対して外接長方形を用意し各線分に
関連付ける (ステップ１０３，１０４、図４参照）。次
に、スリットを選択し (ステップ１０５）、先ず斜め線
データがあるかどうか判断し (ステップ１０６）、あれ
ばスリット内において外接長方形が重なっているか否か
を判別する (ステップ１０７）。重なりがない場合に
は、水平線と同様な扱いで処理し、斜め線に対する特殊
な処理は行われない (ステップ１０８）。重なりがある
場合には、重なりを持っている外接長方形にそれぞれ関
連付けられている線分について詳細部の処理を行う (ス
テップ１０９、図８参照）。また、ステップ１０６で斜
め線データがある場合には、水平・垂直線専用の処理を
行う (ステップ１１０）。スリット内の処理が終わった
ら次のスリットに移り、ステップ１０５〜１１０の処理
を繰り返す。全スリットの処理が終了したら (ステップ
１１１）処理を終了する。

【００３６】なお、上記の例の中においては、各外接長
方形に関連づけられていたのは線分１本ずつであった
が、これは連なった線分列であっても構わない。

【００３７】

【発明の効果】本発明によれば、大規模なＬＳＩ等の一
部に斜め線を用いたレイアウトデータのレイアウト検証
をスリット法において行なうに際して、スリットの境界
を定めるときの交点の有無あるいはその座標値を求める
処理を省略できる。これにより、レイアウトデータの処
理全体の高速化を計ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のレイアウト図形処理方法において処
理の対象となる斜め線を用いたデータを含むレイアウト
データの例を示す図である。

【図２】 図１に示されるレイアウトデータを、従来の
方法で複数のスリット領域に分割した状態を示す図であ
る。

【図３】 図１に示されるレイアウトデータを、斜め線
以外の線分の頂点を基準にした本発明の方法により複数
のスリット領域に分割した状態を示す図である。

【図４】 斜め線を分割した線分と外接長方形を説明す
る図である。

【図５】 斜め線が存在するスリット領域をレイヤ別に
分けて示す図である。

【図６】 図５（ａ）と（ｂ）を重ねた図である。

【図７】 図６に示した二つのスリット領域を分割して
示した図である。

【図８】 外接長方形が重なりを持った場合の処理を説
明する図である。

【図９】 外接長方形が重なりを持った場合を説明する
図である。

【図１０】 本発明のレイアウト図形処理方法を実施す
るためのハードウェア構成例を示すブロック図である。

【図１１】 本発明のレイアウト図形処理方法における
処理の流れを示すフローチャートである。

【符号の説明】 １〜４…図形データ、１１〜１８，２１〜２８，３１〜
３８，４１〜４８…図形データの外周を示す線分デー
タ、５１…プロセッサ、５２…バス、５４…主記憶装
置、５５…大容量記憶装置、５６…入力インターフェー
ス、５６ａ…キーボード、５６ｂ…マウス、５７…ディ
スプレイ装置、１３１〜１３４，１７１〜１７４，２３
１〜２３４，２７１〜２７４，３３１〜３３４，３７１
〜３７４，４３１〜４３４，４７１〜４７４…外接長方
形、５３１〜５３４，５７１〜５７４，６３１〜６３
４，６７１〜６７４，７３１〜７３４，７７１〜７７
４，８３１〜８３４，８７１〜８７４…線分データを分
割してできた線分、９０１〜９０３…局所的なＡＮＤ処
理の結果を示す線分、Ａ〜Ｈ…本発明におけるスリット
の境界線、ａ〜ｏ…従来の方法によるスリットの境界線

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 斜め線を含むレイアウトデータを処理す
   る際にレイアウトデータを複数のスリットに分割して処
   理するレイアウト図形処理方法において、前記レイアウ
   トデータの中の斜め線以外のデータの頂点の座標値のみ
   を基準としてスリットの境界線を決定し、各スリット内
   において斜め線の列を該斜め線に外接する長方形で代表
   して処理することを特徴とするレイアウト図形処理方
   法。